特許 7259891 電子線照射装置及び電子線照射装置のメンテナンス方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-10

(45)【発行日】2023-04-18

(54)【発明の名称】電子線照射装置及び電子線照射装置のメンテナンス方法

(51)【国際特許分類】

   G21K 5/04 20060101AFI20230411BHJP

【ＦＩ】

G21K5/04 E

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021104146

(22)【出願日】2021-06-23

(65)【公開番号】P2023003145

(43)【公開日】2023-01-11

【審査請求日】2022-09-07

【早期審査対象出願】

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】503237806

【氏名又は名称】株式会社ＮＨＶコーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】永井 雅浩

(72)【発明者】

【氏名】木村 寿男

【審査官】松平 佳巳

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－１９４３９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－０９２４９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－２２４７９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１６０５００（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ２１Ｋ ５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電源装置と、
前記電源装置からの電力供給により、電子を加速させて電子線を生じさせる加速管と、
前記電源装置及び前記加速管を収容する圧力タンクと、
を備える電子線照射装置であって、
前記圧力タンクは、前記電源装置を収容する第１分割体と、前記加速管を収容する第２分割体とに分割可能に構成され、
前記第２分割体は、前記加速管から出射される前記電子線を前記圧力タンクの外部に出射するための出射口を有し、
前記電源装置は、前記第２分割体に連結される連結部を有し、
前記第１分割体と前記第２分割体とは、前記圧力タンクの軸線に沿う方向に分離されるものであり、
前記軸線を中心とする周方向において、前記第１分割体に対する前記第２分割体の固定角度を変更可能に構成されている、
電子線照射装置。

【請求項2】

前記電源装置は、前記第１分割体に対して相対移動可能に支持されるベースと、前記ベースに固定された電源本体と、を有し、
前記第１分割体と前記第２分割体とが組み合わされて前記圧力タンクを構成する状態において、前記電源本体の全体が前記第１分割体の内部に収容されている、
請求項１に記載の電子線照射装置。

【請求項3】

前記連結部は、前記第２分割体に対して着脱可能に連結される、
請求項１または請求項２に記載の電子線照射装置。

【請求項4】

前記第１分割体と前記第２分割体とが互いに離間する方向において、前記第２分割体が固定側とされ、前記第１分割体が可動側とされている、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の電子線照射装置。

【請求項5】

請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の電子線照射装置のメンテナンス方法であって、
前記連結部が前記第２分割体に連結された状態で前記第１分割体を前記第２分割体から分離することで、前記電源装置を前記圧力タンクから露出させる露出工程を含む、
電子線照射装置のメンテナンス方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子線照射装置及び電子線照射装置のメンテナンス方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば特許文献１には、高電圧を発生させるための電源装置を圧力タンク内に備えた電子線照射装置について記載されている。電子線照射装置には、圧力タンク内において電源装置の他に加速管が収容されるものがある。加速管は、電源装置からの電力供給により、電子を加速させて電子線を生じさせる。加速管で加速された電子線は、圧力タンクに形成された出射口を介して圧力タンクの外部に出射される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平９－９２４９５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明者らは、圧力タンク内に電源装置及び加速管を備えた電子線照射装置において、圧力タンク内の部品のメンテナンスを如何に簡素化できるかを検討していた。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決する電子線照射装置は、電源装置と、前記電源装置からの電力供給により、電子を加速させて電子線を生じさせる加速管と、前記電源装置及び前記加速管を収容する圧力タンクと、を備える電子線照射装置であって、前記圧力タンクは、前記電源装置を収容する第１分割体と、前記加速管を収容する第２分割体とに分割可能に構成され、前記第２分割体は、前記加速管から出射される前記電子線を前記圧力タンクの外部に出射するための出射口を有し、前記電源装置は、前記第２分割体に連結される連結部を有している。

【0006】

この構成によれば、電源装置のメンテナンスを行う際、電源装置が連結部によって第２分割体に連結された状態で、第１分割体を第２分割体から分離させる。これにより、第１分割体を第２分割体から分離させるだけで、電源装置を圧力タンクから露出させてメンテナンス可能な状態とすることが可能となる。すなわち、圧力タンクを開放すべく第１分割体と第２分割体とを分離する工程と、圧力タンクから電源装置を露出させる工程とが１つの工程となるため、電源装置のメンテナンス作業の簡素化が可能である。また、第１分割体と第２分割体とを分離させた状態では、作業者が第２分割体内に立ち入らずとも腕だけを第２分割体内に入れて加速管のメンテナンスが可能である。

【0007】

上記電子線照射装置において、前記電源装置は、前記第１分割体に対して相対移動可能に支持されるベースと、前記ベースに固定された電源本体と、を有し、前記第１分割体と前記第２分割体とが組み合わされて前記圧力タンクを構成する状態において、前記電源本体の全体が前記第１分割体の内部に収容されている。

【0008】

この構成によれば、電源本体の全体が第１分割体の内部に収容されている。すなわち、電源本体が第２分割体には入り込んでいない構成である。したがって、第１分割体を第２分割体から外すことで、電源本体のより広い範囲を圧力タンクから露出させることが可能となる。

【0009】

上記電子線照射装置において、前記連結部は、前記第２分割体に対して着脱可能に連結される。
この構成によれば、連結部を第２分割体から外すことによって、電源装置を第２分割体から分離させることが可能となる。

【0010】

上記電子線照射装置において、前記第１分割体と前記第２分割体とが互いに離間する方向において、前記第２分割体が固定側とされ、前記第１分割体が可動側とされている。
この構成によれば、走査管などの機構を加速管に接続した状態のまま、第１分割体を第２分割体から離すことが可能となる。これにより、電源装置を圧力タンクから露出すべく、第１分割体と第２分割体とを分離する工程を簡素化することが可能となる。

【0011】

上記電子線照射装置において、前記第１分割体と前記第２分割体とは、前記圧力タンクの軸線に沿う方向に分離されるものであり、前記軸線を中心とする周方向において、前記第１分割体に対する前記第２分割体の固定角度を変更可能に構成されている。

【0012】

この構成によれば、第１分割体に対する第２分割体の固定角度を変更することにより、第２分割体の出射口の方向、すなわち加速管の出射方向を変更することが可能となる。したがって、同一の圧力タンクを用いることで設計を簡素化しつつ、加速管の出射方向を変更することが可能となる。

【0013】

上記課題を解決する電子線照射装置のメンテナンス方法は、上記の電子線照射装置のメンテナンス方法であって、前記連結部が前記第２分割体に連結された状態で前記第１分割体を前記第２分割体から分離することで、前記電源装置を前記圧力タンクから露出させる露出工程を含む。

【0014】

この態様によれば、露出工程において第１分割体を第２分割体から分離させるだけで、電源装置を圧力タンクから露出させてメンテナンス可能な状態とすることが可能となる。すなわち、圧力タンクを開放すべく第１分割体と第２分割体とを分離する工程と、圧力タンクから電源装置を露出させる工程とが１つの工程となるため、電源装置のメンテナンス作業の簡素化が可能である。

【発明の効果】

【0015】

本発明の電子線照射装置及び電子線照射装置のメンテナンス方法によれば、圧力タンク内の部品におけるメンテナンスの簡素化が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】実施形態における電子線照射装置の概略構成図。

【図2】同形態における圧力タンク付近の構成を示す模式図。

【図3】同形態における圧力タンクを第２分割体側から見た側面図。

【図4】同形態における圧力タンクの第２分割体を開口側から見た側面図。

【図5】同形態の電子線照射装置におけるメンテナンスの態様を説明するための模式図。

【図6】同形態の電子線照射装置におけるメンテナンスの態様を説明するための模式図。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、電子線照射装置及び電子線照射装置のメンテナンス方法の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。また、本明細書における「垂直」や「直交」は、厳密に垂直や直交の場合のみでなく、本実施形態における作用ならびに効果を奏する範囲内で概ね垂直や直交の場合も含まれる。

【0018】

（電子線照射装置１０の概略構成）
図１に示す本実施形態の電子線照射装置１０は、走査型の電子線照射装置である。電子線照射装置１０は、熱電子放出を行う例えばタングステン製のフィラメント１１を備えている。フィラメント１１は、電源装置３１に含まれるフィラメント用電源１２からの電源供給に基づく自身の加熱により電子を放出する。フィラメント１１は、加速管１３の上端側に設けられている。

【0019】

加速管１３は、フィラメント１１が配置される上端側が閉塞された筒状をなしている。加速管１３は、自身の管軸方向に並設される複数の加速電極１４を有している。加速電極１４は、電源装置３１に含まれる加速電極用電源１５からの電源供給に基づき、フィラメント１１から放出された電子を収束させつつ下方に向けて加速させるような電界を生じさせる。つまり、加速管１３では、加速電極１４にて生じる電界にて、管軸方向の下方に向く電子流、すなわち電子線ｅが生じるようになっている。加速管１３は、下端部に走査管１６が接続されている。加速管１３と走査管１６とは互いに内部空間１７が連通し、その内部空間１７において電子線ｅが加速管１３から走査管１６側に進む。

【0020】

走査管１６は、上端側が幅狭で、下方に向かうほど拡開する形状をなしている。走査管１６は、その幅狭の上端部に走査コイル１８が設けられている。走査コイル１８は、自身への通電に基づき、加速管１３にて生成された電子線ｅの向きを偏向、すなわち電子線ｅの走査を行う。走査管１６の下端部には例えば略長方形状の開口窓部１９が設けられており、開口窓部１９には略長方形状の窓箔２０が取り付けられている。窓箔２０は、電子線ｅを透過させつつも、開口窓部１９を密閉させるものである。つまり、加速管１３と走査管１６とに跨がる内部空間１７は、密閉空間にて構成されている。内部空間１７は、例えば走査管１６に接続された真空ポンプ２１の駆動にて、少なくとも電子線ｅを生じさせる期間は真空状態とされる。

【0021】

上記したフィラメント用電源１２、加速電極用電源１５、走査コイル１８及び真空ポンプ２１は、制御装置２２にて制御される。制御装置２２は、フィラメント用電源１２及び加速電極用電源１５を通じて電子線ｅの出力調整を行ったり、走査コイル１８を通じて電子線ｅの走査制御を行ったり、真空ポンプ２１を通じて加速管１３及び走査管１６の内部空間１７の真空調整を行ったりする。

【0022】

そして、開口窓部１９に装着の窓箔２０を介して出射される電子線ｅは、例えば搬送装置２３により搬送方向ｘに搬送される被照射物２４に対して照射され、被照射物２４に所定処理を行う。なおこの場合、電子線照射装置１０は、略長方形状の開口窓部１９の長手方向が搬送装置２３の搬送直交方向ｙに向く配置である。そして、搬送方向ｘ及び搬送直交方向ｙを含めた電子線ｅの所定走査が行われて、開口窓部１９に対応した略長方形状の照射エリアＡの照射が行われる。電子線ｅの被照射物２４への照射効果としては、例えば素材の性質改善や機能付加、殺菌・滅菌等が期待できる。

【0023】

（圧力タンク３２）
電源装置３１及び加速管１３は、圧力タンク３２の内部に収容されている。圧力タンク３２の内部には、例えばＳＦ６ガスなどの絶縁ガスが充填される。圧力タンク３２の内部の気圧は例えば０．５ＭＰａ程度の高気圧に設定される。圧力タンク３２は、例えば、金属などの導体からなる。なお、圧力タンク３２は、例えば、電気的に接地されている。

【0024】

図２に示すように、圧力タンク３２は、方向Ｘ１に沿って延びる形状をなしている。圧力タンク３２は、方向Ｘ１に沿う軸線Ｌを中心とする筒状をなす周壁３３と、方向Ｘ１における周壁３３の両端部にそれぞれ設けられる底壁３４，３５と、を備えている。周壁３３は、軸線Ｌを中心とする例えば円筒状をなしている。圧力タンク３２内は高圧とされるため、軸線Ｌに沿った方向から見た周壁３３の形状は、円筒状とするのが好ましい。

【0025】

圧力タンク３２は、第１分割体４０及び第２分割体５０を有してなる分割構造をなしている。本実施形態では、第１分割体４０と第２分割体５０とが互いに組み合わされることで、圧力タンク３２が構成される。

【0026】

第１分割体４０は、周壁３３の一部を構成する第１周壁部４１と、前記底壁３４とを有している。第２分割体５０は、周壁３３の一部を構成する第２周壁部５１と、前記底壁３５とを有している。第１周壁部４１及び第２周壁部５１の各々は、例えば円筒状をなしている。圧力タンク３２の周壁３３において、第１周壁部４１と第２周壁部５１の境は、例えば軸線Ｌに直交する平面状をなしている。また、第１周壁部４１と第２周壁部５１の境は、例えば、方向Ｘ１において圧力タンク３２の中心からずれた位置に設定されている。方向Ｘ１における寸法について、第２周壁部５１は第１周壁部４１よりも小さくなっている。

【0027】

第１分割体４０は、第１周壁部４１における底壁３４とは反対側の端部に第１フランジ部４２を有している。第１フランジ部４２は、第１周壁部４１の当該端部の全周にわたって設けられている。なお、方向Ｘ１における第１フランジ部４２の厚さは、例えば、第１周壁部４１の径方向の厚さよりも厚く設定されている。

【0028】

第２分割体５０は、第２周壁部５１における底壁３５とは反対側の端部に第２フランジ部５２を有している。第２フランジ部５２は、第２周壁部５１の当該端部の全周にわたって設けられている。なお、方向Ｘ１における第２フランジ部５２の厚さは、例えば、第２周壁部５１の径方向の厚さよりも厚く設定されている。

【0029】

第１フランジ部４２と第２フランジ部５２とは、互いに接する状態で例えば図示しないボルトなどにより連結される。そして、第１フランジ部４２と第２フランジ部５２とが互いに連結されることで、圧力タンク３２の内部に密閉空間が形成される。

【0030】

第１分割体４０は、支持台６１に支持されている。第１分割体４０は、脚部４３を有している。脚部４３は、例えば、第１周壁部４１の外周面に設けられている。脚部４３は、支持台６１の上面に設けられた第１レール６２に支持されている。第１レール６２は、軸線Ｌに沿って延びている。脚部４３は、第１レール６２に対して、軸線Ｌに沿った方向に移動可能である。すなわち、第１分割体４０は、支持台６１に対して、軸線Ｌに沿った方向に移動可能に構成されている。また、軸線Ｌを中心とする回転方向において、支持台６１に対する第１分割体４０の固定向きは、脚部４３が支持台６１側を向く向きで一定である。

【0031】

第２分割体５０は、軸線Ｌに沿って移動可能である第１分割体４０に対し、固定側として構成されている。第２分割体５０は、例えば支持台６１に対して固定される。例えば、第２分割体５０は、底壁３５に固定座５３を有している。固定座５３は、底壁３５の外表面に固定されている。固定座５３は、支持台６１が有する支持部６３に例えばボルト締結にて固定される。

【0032】

（圧力タンク３２の内部の構成）
第１分割体４０は、その内部において、軸線Ｌに沿って延びる第２レール４４を有している。第２レール４４は、第１周壁部４１の内周面に固定されている。第２レール４４は、例えば、軸線Ｌに直交する水平方向に並んで一対設けられている。

【0033】

電源装置３１は、ベース３６と、ベース３６に支持された電源本体３７とを有している。ベース３６は、第２レール４４に支持されている。ベース３６は、第２レール４４に対して、軸線Ｌに沿った方向に相対移動可能に構成されている。なお、第２レール４４は、軸線Ｌに沿った方向においてベース３６を固定可能な図示しないロック部を有している。

【0034】

ベース３６に支持された電源本体３７は、フィラメント用電源１２及び加速電極用電源１５を含んで構成されている。電源本体３７の少なくとも一部は、第１分割体４０の内部に収容される。図２は、一例として、第１分割体４０の内部に電源本体３７の全体が収容される構成を示している。電源本体３７は、方向Ｘ１における全長が第１周壁部４１の内側に収まっている。軸線Ｌに沿う方向において、電源本体３７の寸法は、ベース３６の寸法よりも短く設定されている。

【0035】

第２分割体５０の内部には、加速管１３が収容されている。加速管１３は、第２周壁部５１の内周面に設置されている。第２周壁部５１には、圧力タンク３２の内外を連通する出射口５４が設けられている。圧力タンク３２の内部において、加速管１３の電子線出射口は、第２周壁部５１の出射口５４に接続されている。圧力タンク３２の外部において、第２周壁部５１の出射口５４には、走査管１６が接続されている。

【0036】

電源本体３７と加速管１３とは、電線３８にて接続されている。電線３８は、フィラメント用電源１２とフィラメント１１とを接続する電線と、加速電極用電源１５と加速電極１４とを接続する電線とを含む。電線３８は、導体からなるシールドパイプ３９内に通されている。シールドパイプ３９は電線３８を保護する。なお、第１周壁部４１と第２周壁部５１の境は、軸線Ｌに沿った方向において、圧力タンク３２内に収容される電源本体３７と加速管１３との間の位置に設定されている。

【0037】

図３に示すように、第２分割体５０の第２フランジ部５２には、例えば、複数の第１ボルト挿通孔５５が形成されている。各第１ボルト挿通孔５５は、第２フランジ部５２を軸線Ｌに沿って貫通する。複数の第１ボルト挿通孔５５は、例えば、軸線Ｌを中心とする周方向において互いに等間隔に設けられている。また、第１分割体４０の第１フランジ部４２においても、第１ボルト挿通孔５５と同様の図示しないボルト挿通孔が形成されている。そして、第１フランジ部４２のボルト挿通孔及び第２フランジ部５２の第１ボルト挿通孔５５を共に貫通する図示しないボルトの締結により、第１フランジ部４２と第２フランジ部５２とが互いに固定される。

【0038】

第２分割体５０の固定座５３は、軸線Ｌを中心とする例えば環状をなしている。なお、本明細書の説明で使用される「環状」という用語は、端部のない連続形状、並びに、Ｃ字形のようなギャップを有する非連続的な形状の両方を含む。また、本明細書の説明で使用される「環状」という用語は、１つの部品で構成されるものだけではなく、複数の部品を組み合わせて環状をなすものも含む。固定座５３は、方向Ｘ１視において、例えば円環状をなしている。固定座５３には、複数の第２ボルト挿通孔５６が形成されている。各第２ボルト挿通孔５６は、固定座５３を軸線Ｌに沿って貫通する。複数の第２ボルト挿通孔５６は、例えば、軸線Ｌを中心とする周方向において互いに等間隔に設けられている。固定座５３は、第２ボルト挿通孔５６に挿通される図示しないボルトによって支持部６３に固定される。

【0039】

軸線Ｌを中心とする周方向において、第１分割体４０に対する第２分割体５０の固定角度は１つに定められておらず、少なくとも２つの角度で変更可能である。
図２及び図３に示す例では、第２分割体５０は、加速管１３の出射方向が支持台６１側、すなわち鉛直方向の下側を向くように、第１分割体４０に固定されている。図３では、鉛直方向の下側を向く加速管１３の出射方向をＤ１としている。この第２分割体５０の固定角度を第１の位置として、第２分割体５０を第１の位置から軸線Ｌを中心に４５°回転させた第２の位置に角度変更して、第２分割体５０を第１分割体４０に固定可能である。図３では、第２分割体５０を第２の位置で固定した場合の加速管１３を２点鎖線で示している。第２の位置における加速管１３の出射方向Ｄ２は、水平に対して平行である。

【0040】

なお、第２分割体５０の固定位置の変更角度は、周方向における第１ボルト挿通孔５５の形成間隔で決まる。本実施形態では、第１分割体４０に対する第２分割体５０の固定角度を、第１の位置及び第２の位置以外の向きに変更可能である。例えば、加速管１３の出射方向を、第２の位置の１８０°反対向きや、鉛直方向上向き、または、第１の位置の出射方向Ｄ１及び第２の位置の出射方向Ｄ２に対して傾斜する方向に変更可能である。

【0041】

図２及び図４に示すように、電源装置３１は、第２分割体５０に連結される連結部７１を有している。連結部７１は、電源装置３１のベース３６に設けられている。連結部７１は、例えば、軸線Ｌに沿う方向におけるベース３６の一端部に設けられている。連結部７１は、例えば、ベース３６に対して別部品とされた連結プレート７２を介して第２分割体５０に連結される。

【0042】

第２分割体５０は、連結プレート７２が固定される被連結部５７を有している。被連結部５７は、例えば、第２周壁部５１の内周面から内径側に突出する鍔状をなしている。被連結部５７は、例えば、軸線Ｌを中心とする周方向に沿った連続的または断続的な環状をなしている。軸線Ｌに沿った方向において、被連結部５７の形成位置は、例えば第２フランジ部５２の厚さの範囲内に設定されている。すなわち、被連結部５７は、第２フランジ部５２の径方向内側に位置している。被連結部５７には、例えばボルトなどによって連結プレート７２が着脱可能に固定される。

【0043】

連結プレート７２には、例えばボルトなどによってベース３６の連結部７１が着脱可能に固定される。被連結部５７に対する連結プレート７２の固定位置は、軸線Ｌを中心とする周方向において変更可能である。これにより、周方向における第２分割体５０の固定角度によらず、連結部７１を連結プレート７２に固定することが可能である。

【0044】

図２に示すように、ベース３６において、連結部７１とは反対側の端部３６ａには、図示しないストッパが設けられている。当該ストッパは、軸線Ｌに沿った方向において、第２レール４４の被係止部位に係止される。これにより、軸線Ｌに沿った方向において、ベース３６が第２レール４４から脱落しないようになっている。

【0045】

次に、電子線照射装置１０における圧力タンク３２内の部品のメンテナンス方法について説明する。
電源装置３１のメンテナンス時には、まず、圧力タンク３２の内部に充填された絶縁ガスを取り除くガス回収工程を行う。

【0046】

次に、電源装置３１を圧力タンク３２から露出させる露出工程を行う。露出工程では、まず、第１フランジ部４２と第２フランジ部５２の連結を解除する。その後、図５に示すように、第１分割体４０を第２分割体５０から離す方向、すなわち方向Ｘ１に移動させる。このとき、ベース３６の連結部７１は第２分割体５０の被連結部５７に連結された状態であるため、ベース３６及び電源本体３７は、第１分割体４０と共に移動しない。これにより、第１分割体４０を方向Ｘ１に移動させることで、電源本体３７の大部分が圧力タンク３２から露出される。このように、電源本体３７が圧力タンク３２から露出された状態で、電源本体３７のメンテナンスが可能である。これにより、作業者が圧力タンク３２内の閉所に立ち入って行う作業を不要とすることが可能である。

【0047】

本実施形態では、第２分割体５０は主に加速管１３を収容する部位であり、軸線Ｌに沿う寸法において第２分割体５０は第１分割体４０よりも短い。したがって、第２分割体５０の開口５０ａから加速管１３までの距離が短いため、第１分割体４０を第２分割体５０から離した状態では、加速管１３、シールドパイプ３９及び電線３８のメンテナンスも容易に行うことが可能である。したがって、作業者が第２分割体５０内の閉所に立ち入って行う作業を不要とすることが可能である。

【0048】

次に、周方向における第２分割体５０の固定角度の変更態様について説明する。
被連結部５７に対する連結部７１の連結を解除するとともに、前記ロック部によってベース３６を第２レール４４に固定する。本実施形態では、例えば、連結プレート７２を被連結部５７に固定したままの状態とし、連結プレート７２に対する連結部７１の固定を外す。また、電線３８と電源本体３７との接続を外す。この状態で、図６に示すように、第１分割体４０を方向Ｘ１に移動させる。すると、第１分割体４０は電源装置３１と共に第２分割体５０から分離される。

【0049】

次に、支持部６３に対する固定座５３の固定を外す。これにより、第２分割体５０が支持台６１から外される。この状態では、周方向における第２分割体５０の固定角度を、加速管１３、シールドパイプ３９及び電線３８ごと変更可能である。そして、周方向における第２分割体５０の固定角度を変更した後、固定座５３を支持部６３に固定する。これにより、第２分割体５０の出射口５４の向き、すなわち加速管１３の出射方向が変更される。周方向における連結プレート７２の固定位置は、周方向における第２分割体５０の固定角度に応じて、ベース３６の連結部７１に固定可能な位置に変更される。

【0050】

なお、図６に示すように、被連結部５７に対する連結部７１の連結を解除し、第１分割体４０を電源装置３１と共に第２分割体５０から分離した状態において、加速管１３、シールドパイプ３９及び電線３８のメンテナンスを行うことも可能である。

【0051】

本実施形態の効果について説明する。
（１）電子線照射装置１０は、電源装置３１と、電源装置３１からの電力供給により電子を加速させて電子線ｅを生じさせる加速管１３と、電源装置３１及び加速管１３を収容する圧力タンク３２と、を備える。圧力タンク３２は、電源装置３１を収容する第１分割体４０と、加速管１３を収容する第２分割体５０とに分割可能に構成される。第２分割体５０は、加速管１３から出射される電子線ｅを圧力タンク３２の外部に出射するための出射口５４を有する。電源装置３１は、第２分割体５０に連結される連結部７１を有する。そして、電子線照射装置１０のメンテナンス方法は、連結部７１が第２分割体５０に連結された状態で第１分割体４０を第２分割体５０から分離することで、電源装置３１を圧力タンク３２から露出させる露出工程を含む。

【0052】

この態様によれば、電源装置３１のメンテナンスを行う際、電源装置３１が連結部７１によって第２分割体５０に連結された状態で、第１分割体４０を第２分割体５０から分離させる。これにより、第１分割体４０を第２分割体５０から分離させるだけで、電源装置３１を圧力タンク３２から露出させてメンテナンス可能な状態とすることが可能となる。すなわち、圧力タンク３２を開放すべく第１分割体４０と第２分割体５０とを分離する工程と、圧力タンク３２から電源装置３１を露出させる工程とが１つの工程となるため、電源装置３１のメンテナンス作業の簡素化が可能である。また、第１分割体４０と第２分割体５０とを分離させた状態では、作業者が第２分割体５０内に立ち入らずとも腕だけを第２分割体５０内に入れて加速管１３のメンテナンスが可能である。

【0053】

（２）電源装置３１は、第１分割体４０に対して相対移動可能に支持されるベース３６と、ベース３６に固定された電源本体３７と、を有する。そして、第１分割体４０と第２分割体５０とが組み合わされて圧力タンク３２を構成する状態において、電源本体３７の全体が第１分割体４０の内部に収容されている。この構成によれば、電源本体３７の全体が第１分割体４０の内部に収容されている。すなわち、電源本体３７が第２分割体５０には入り込んでいない構成である。したがって、第１分割体４０を第２分割体５０から外すことで、電源本体３７のより広い範囲を圧力タンク３２から露出させることが可能となる。

【0054】

（３）連結部７１は、第２分割体５０に対して着脱可能に連結される。この構成によれば、連結部７１を第２分割体５０から外すことによって、電源装置３１を第２分割体５０から分離させることが可能となる。第２分割体５０に対する連結部７１の連結を外した状態では、第１分割体４０を電源装置３１と共に移動させて、第１分割体４０及び電源装置３１を第２分割体５０から分離させることが可能となる。第１分割体４０及び電源装置３１が第２分割体５０から分離させた状態では、加速管１３、シールドパイプ３９及び電線３８のメンテナンスを容易に行うことが可能である。さらに、第１分割体４０及び電源装置３１が第２分割体５０から分離させた状態では、周方向における第２分割体５０の固定角度を変更することが可能となる。

【0055】

（４）第１分割体４０と第２分割体５０とが互いに離間する方向、すなわち軸線Ｌに沿う方向において、第２分割体５０が固定側とされ、第１分割体４０が可動側とされている。この構成によれば、走査管１６などの機構を加速管１３に接続した状態のまま、第１分割体４０を第２分割体５０から離すことが可能となる。これにより、電源装置３１を圧力タンク３２から露出すべく、第１分割体４０と第２分割体５０とを分離する工程を簡素化することが可能となる。

【0056】

（５）第１分割体４０と第２分割体５０とは、圧力タンク３２の軸線Ｌに沿う方向に分離されるものである。そして、電子線照射装置１０は、軸線Ｌを中心とする周方向において、第１分割体４０に対する第２分割体５０の固定角度を変更可能に構成されている。この構成によれば、第１分割体４０に対する第２分割体５０の固定角度を変更することにより、第２分割体５０の出射口５４の方向、すなわち加速管１３の出射方向を変更することが可能となる。したがって、同一の圧力タンク３２を用いることで設計を簡素化しつつ、加速管１３の出射方向を変更することが可能となる。

【0057】

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・上記実施形態の露出工程では、第２分割体５０に対する連結部７１の連結を解除するとき、連結プレート７２を被連結部５７に固定したままの状態として、連結プレート７２に対する連結部７１の固定を外す。しかしながら、これに特に限定されるものではなく、被連結部５７に対する連結プレート７２の固定を外すことによって、第２分割体５０に対する連結部７１の連結を解除してもよい。また例えば、連結プレート７２を、ベース３６に対して分離不能に設けてベース３６の一部位として構成してもよい。この場合、連結プレート７２は、第２分割体５０に連結される連結部を構成する。

【0058】

・上記実施形態では、第２分割体５０が支持台６１に対して固定されるが、これ以外に例えば、支持台６１とは関連性のない設備の壁に第２分割体５０が固定される構成としてもよい。

【0059】

・上記実施形態では、周方向における第２分割体５０の固定角度が変更可能とされるが、これに限らず、周方向における第２分割体５０の固定角度が変更不可である構成としてもよい。

【0060】

・上記実施形態では、第２分割体５０は、軸線Ｌに沿って移動可能である第１分割体４０に対し、固定側として構成されるが、この関係性を逆にした構成、すなわち第１分割体４０を固定側とし、第２分割体５０を可動側としてもよい。

【0061】

・上記実施形態の連結部７１は、第２分割体５０に対して着脱可能とされるが、これに限らず、連結部７１が第２分割体５０に対して分離不能に固定されるものであってもよい。

【0062】

・上記実施形態では、第１分割体４０と第２分割体５０とが組み合わされて圧力タンク３２を構成する状態において、電源本体３７の全体が第１分割体４０の内部に収容されるが、これに特に限定されるものではない。例えば、第１分割体４０と第２分割体５０とが組み合わされて圧力タンク３２を構成する状態において、電源本体３７の軸線Ｌ方向の一端部が第２分割体５０内に入り込む構成であってもよい。

【0063】

・上記実施形態では、第１分割体４０と第２分割体５０との連結構造として、第１フランジ部４２と第２フランジ部５２とをボルト締結しているが、これに特に限定されるものではない。例えば、第１フランジ部４２と第２フランジ部５２とを、クランプなどで軸線Ｌ方向に挟む連結構造としてもよい。

【0064】

・上記実施形態では、第１周壁部４１と第２周壁部５１の境は、例えば軸線Ｌに直交する平面状をなすが、これ以外に例えば、軸線Ｌに対して傾斜する平面状や、非平面状としてもよい。

【0065】

・上記実施形態では、電子線ｅを走査コイル１８にて走査して照射エリアＡの照射を行う走査型の電子線照射装置１０に適用したが、照射エリアに対応して複数のフィラメントを用い走査コイルを省略した態様のエリア型の電子線照射装置に適用してもよい。

【符号の説明】

【0066】

１０…電子線照射装置
１３…加速管
３１…電源装置
３２…圧力タンク
３６…ベース
３７…電源本体
４０…第１分割体
５０…第２分割体
５４…出射口
７１…連結部
ｅ…電子線
Ｌ…軸線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】