特許 7263433 プローブカード装置及びデュアルアームプローブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-14

(45)【発行日】2023-04-24

(54)【発明の名称】プローブカード装置及びデュアルアームプローブ

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20230417BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20230417BHJP

【ＦＩ】

G01R1/073 E

H01L21/66 B

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021075606

(22)【出願日】2021-04-28

(65)【公開番号】P2022086975

(43)【公開日】2022-06-09

【審査請求日】2021-04-28

(31)【優先権主張番号】109142031

(32)【優先日】2020-11-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】517009143

【氏名又は名称】中華精測科技股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＣＨＵＮＧＨＷＡ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＴＥＳＴ ＴＥＣＨ．ＣＯ．，ＬＴＤ

【住所又は居所原語表記】ＮＯ．１５，ＧＯＮＧＹＥ ３ＲＤ ＲＯＡＤ，ＰＩＮＧＪＨＥＮ ＤＩＳＴ，ＴＡＯＹＵＡＮ ＣＩＴＹ ３２４，ＴＡＩＷＡＮ

(74)【代理人】

【識別番号】100101878

【弁理士】

【氏名又は名称】木下 茂

(72)【発明者】

【氏名】謝 開傑

(72)【発明者】

【氏名】蘇 偉誌

(72)【発明者】

【氏名】陳 弘明

(72)【発明者】

【氏名】ベル サンカー ラマチャンドラン

【審査官】島田 保

(56)【参考文献】

【文献】韓国登録特許第１０－２０４７２６４（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】米国特許第０６５３０１４８（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】米国特許出願公開第２０２０／０１６６５４１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／００４１４３０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国登録特許第１０－１１７２９９８（ＫＲ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｒ １／０６－１／０７３

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに離れて配置される第１の誘導板ユニット及び第２の誘導板ユニットと、
前記第１の誘導板ユニット及び前記第２の誘導板ユニットに貫設する複数のデュアルアームプローブと、
を具備し、
各前記デュアルアームプローブに長さ方向が定義され、かつ、前記長さ方向に沿ってプローブ長を有し、各前記デュアルアームプローブの外面に、前記長さ方向に平行となるお互いに反対側に位置される２つの幅広側面が含まれ、
各前記デュアルアームプローブは、
前記第２の誘導板ユニット側から見て前記第１の誘導板ユニットの外側に位置し、分岐端部開口を有する、分岐端部と、
前記第１の誘導板ユニット側から見て前記第２の誘導板ユニットの外側に位置し、分離可能にテスト対象物に当接するために用いられる、試験端部と、
前記分岐端部に接続され、前記試験端部に向かって延在する第１の接続部と、
前記試験端部に接続され、前記分岐端部に向かって延在する第２の接続部と、
前記第１の接続部と前記第２の接続部を連接する行程部と、
を含み、
各前記デュアルアームプローブには、前記分岐端部開口から前記長さ方向に沿って前記試験端部に向かって２つの前記幅広側面の一方から他方に貫通するスロットが延伸して形成され、このように、各前記デュアルアームプローブは前記スロットを通して、互いの間に所定の距離が設けられる２つの分岐アームが定義され、各前記デュアルアームプローブにおける前記スロットは、前記長さ方向でのスロット長が前記プローブ長の５０％～９０％であり、複数の前記デュアルアームプローブにおいて、１つの前記デュアルアームプローブの前記距離と、別の１つの前記デュアルアームプローブの前記距離とは異なっており、
前記長さ方向に垂直となる各前記デュアルアームプローブにおける２つの前記分岐アームの断面において、何れか一方の前記分岐アームの断面積は、他方の前記分岐アームの断面積の９０％～１１０％であり、
複数の前記デュアルアームプローブは、それぞれにおける２つの分岐アームの断面積の総合が、互いに同様となるように構成され、
少なくとも１つの前記デュアルアームプローブでは、前記分岐端部と前記第１の接続部と前記行程部にわたって、２つの前記分岐アームにおける互いに対向する２つの内面における一方の前記内面に、複数のリブが前記長さ方向に間隔をあけて突出するように形成される、
ことを特徴とするプローブカード装置。

【請求項2】

前記第１の誘導板ユニットと前記第２の誘導板ユニットとが互いに斜めに位置がずれている場合、複数の前記リブを有する少なくとも１つの前記デュアルアームプローブでは、その２つの前記分岐アームが少なくとも１つの前記リブを通して互いの間の間隔を保持し、複数の前記リブを有する少なくとも１つの前記デュアルアームプローブにおいて、２つの前記内面における他方の前記内面に、複数の前記リブに対応した少なくとも１つの、位置制限切れ目が凹設され、かつ、少なくとも１つの前記位置制限切れ目の深さは、少なくとも１つの前記リブの高さよりも小さい、請求項１に記載のプローブカード装置。

【請求項3】

前記第１の接続部は、各前記デュアルアームプローブにおける前記第１の誘導板ユニット内に位置し、前記第２の接続部は、各前記デュアルアームプローブにおける前記第２の誘導板ユニット内に位置し、少なくとも１つの前記デュアルアームプローブにおいて、前記スロットは、前記分岐端部開口から前記第２の接続部まで延在し、前記デュアルアームプローブにおける、前記行程部は、前記第１の誘導板ユニットと前記第２の誘導板ユニットの間に位置し、各前記デュアルアームプローブにおいて、前記行程部の２つの末端部分の前記幅広側面での幅は、２つの前記末端部分の間に位置する前記行程部の主体部分の前記幅広側面での幅よりも大きく、各前記デュアルアームプローブにおける前記外面は、前記長さ方向に平行となるお互いに反対側に位置される２つの幅狭側面を含み、各前記デュアルアームプローブにおいて、何れか一方の前記分岐アームにおける何れか一方の前記幅狭側面の幅は、前記幅広側面での厚さの２０％～１００％でなる、請求項１に記載のプローブカード装置。

【請求項4】

前記プローブカード装置はさらに、前記第１の誘導板ユニットに近接する信号転送板を含み、少なくとも１つの前記デュアルアームプローブにおいて、２つの前記分岐アームを前記長さ方向において異なる長さにすることによって、２つの前記分岐アームは一方の前記分岐アームのみが前記信号転送板に当接することにするか、或いは２つの前記分岐アームを前記長さ方向において同じ長さにして、２つの前記分岐アームが一緒に前記信号転送板に当接するようにする、請求項１に記載のプローブカード装置。

【請求項5】

長さ方向が定義され、前記長さ方向にプローブ長を有し、かつ、外面に前記長さ方向に平行となるお互いに反対側に位置される２つの幅広側面が含まれ、
分岐端部開口を有する分岐端部と、
それぞれが両端部に位置し、分離可能にテスト対象物に当接するために用いられる、試験端部と、
前記分岐端部に接続され、前記試験端部に向かって延在する第１の接続部と、
前記試験端部に接続され、前記分岐端部に向かって延在する第２の接続部と、
前記第１の接続部と前記第２の接続部を連接する行程部と、
を含み、
前記分岐端部開口から前記長さ方向に沿って前記試験端部に向かって２つの前記幅広側面の一方から他方に貫通するスロットが延伸して形成されることによって、互いの間に所定の距離が設けられる２つの分岐アームが定義され、かつ、前記スロットが前記長さ方向でのスロット長は、前記プローブ長の５０％～９０％であり、
前記長さ方向に垂直となる前記２つの分岐アームの断面において、何れか一方の前記分岐アームの断面積は、他方の前記分岐アームの断面積の９０％～１１０％であり、
前記分岐端部と前記第１の接続部と前記行程部にわたって、２つの前記分岐アームにおける互いに対向する２つの内面における一方の前記内面に、複数のリブが前記長さ方向に間隔をあけて突出するように形成される、
ことを特徴とするデュアルアームプローブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はプローブカードに関し、特にプローブカード装置及びデュアルアームプローブに関する。

【背景技術】

【0002】

信号転送板の回路レイアウトに合わせるため、既存のプローブカード装置には、様々な導電性プローブが含まれている。なお、様々な前記導電性プローブの断面積に大きい差異があるため、様々な前記導電性プローブに異なる導電性特性（例えば、抵抗値）及び異なる機械的物性（例えば、圧接力）が持たされるようになっている。

【0003】

そこで、本発明者は、上記の欠点を改善できると考え、科学的な原理を研究・応用し、最終的に本発明の合理的な設計と上記の欠点の効果的な改善を実現しました。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明に係る実施形態は、既存の導電性プローブに生じうる欠点を改善するプローブカード装置及びデュアルアームプローブを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明に係る実施形態は、互いに離れて配置される第１の誘導板ユニット及び第２の誘導板ユニットと、前記第１の誘導板ユニット及び前記第２の誘導板ユニットに貫設する複数のデュアルアームプローブと、を具備するプローブカード装置を開示する。各前記デュアルアームプローブに長さ方向が定義され、かつ、前記長さ方向に沿ってプローブ長を有し、各前記デュアルアームプローブの外面は、前記長さ方向に平行となるお互いに反対側に位置される２つの幅広側面が含まれる。なかでも、各前記デュアルアームプローブは、前記第２の誘導板ユニット側から見て前記第１の誘導板ユニットの外側に位置し、分岐端部開口を有する分岐端部と、前記第１の誘導板ユニット側から見て前記第２の誘導板ユニットの外側に位置し、分離可能にテスト対象物に当接するための試験端部と、を有する。なかでも、各前記デュアルアームプローブには、前記分岐端部開口から前記長さ方向に沿って前記試験端部に向かって２つの前記幅広側面の一方から他方に貫通するスロットが延伸して形成されることによって、各前記デュアルアームプローブは、前記スロットによって互いの間に特定の距離が設けられる２つの分岐アームが定義される。なかでも、各前記デュアルアームプローブにおける前記スロットは、前記長さ方向でのスロット長は、前記プローブ長の５０％～９０％であり、複数の前記デュアルアームプローブにおいて、１つの前記デュアルアームプローブの前記距離と、別の１つの前記デュアルアームプローブの前記距離とは異なっている。なかでも、前記長さ方向に垂直となる各前記デュアルアームプローブにおける２つの前記分岐アームの断面において、何れか一方の前記分岐アームの断面積は他方の前記分岐アームの断面積の９０％～１１０％である。

【0006】

本発明に係る実施形態は、下記のようなデュアルアームプローブを開示している。デュアルアームプローブでは、長さ方向が定義され、前記長さ方向に沿ってプローブ長を有し、かつ、前記デュアルアームプローブの外面に前記長さ方向に平行となる、お互いに反対側に位置される２つの幅広側面を有する。なかでも、前記デュアルアームプローブは、分岐端部開口を有する分岐端部と、テスト対象物に当接するための試験端部とを含む。かつ、前記分岐端部と前記試験端部はそれぞれ前記デュアルアームプローブの両端部に位置する。なかでも、前記デュアルアームプローブは、前記分岐端部開口から前記長さ方向に沿って前記試験端部に向かって２つの前記幅広側面の一方から他方に貫通するスロットが延伸して形成されることによって、前記デュアルアームプローブは、前記スロットによって互いの間に特定の距離が設けられる２つの分岐アームが定義される。なかでも、前記デュアルアームプローブにおける前記スロットの前記長さ方向でのスロット長は、前記プローブ長の５０％～９０％である。なかでも、前記長さ方向に垂直となる前記デュアルアームプローブにおける２つの分岐アームの断面において、何れか一方の前記分岐アームの断面積は、他方の前記分岐アームの断面積の９０％～１１０％である。

【発明の効果】

【0007】

上記を纏めて、本発明に係る実施形態に開示されたプローブカード装置に含まれた複数の前記デュアルアームプローブは、同様な構造原理の基に、異なる構造（例えば、複数の前記デュアルアームプローブにおいて、１つの前記デュアルアームプローブの前記距離と、別の１つの他方の前記デュアルアームプローブの前記距離とは異なる）を有することが可能となるため、前記信号転送板のレイアウトに合わせることが可能である。

【0008】

また、本発明に係る実施形態に開示された前記デュアルアームプローブは、２つの前記分岐アームの構造での設計（例えば、何れか一方の前記分岐アームの断面積は、他方の前記分岐アームの断面積の９０％～１１０％である）を通して、複数の前記デュアルアームプローブに略相似的な導電性特性（例えば、抵抗値）及び略相似的な機械的物性（例えば、圧接力）を持たせることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明に係る第１の実施形態のプローブカード装置を示す平面模式図である。

【図2】図１におけるプローブカード装置において、第１のガイドプレートと第２のガイドプレートが互いに位置がずれた状態を示す平面模式図である。

【図3】図１におけるデュアルアームプローブを示す斜視模式図である。

【図4】図１における断面線ＩＶ－ＩＶに沿った断面模式図である。

【図5】本発明に係る第１の実施形態のデュアルアームプローブの変形例を示す斜視模式図である。

【図6】図１の部分ＶＩを示す拡大模式図である。

【図7】図２の部分ＶＩＩを示す拡大模式図である。

【図8】図１の部分ＶＩＩＩを示す拡大模式図である。

【図9】本発明に係る第２の実施形態のデュアルアームプローブを示す斜視模式図である。

【図10】図９の部分Ｘを示す拡大模式図である。

【図11】本発明に係る第３の実施形態のデュアルアームプローブを示す斜視模式図である。

【図12】本発明に係る第３の実施形態のデュアルアームプローブの変形例を示す斜視模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

発明の特徴及び技術内容がより一層分かるように、以下本発明に関する詳細な説明と添付図面を参照する。しかし、提供される添付図面は参考と説明のために提供するものに過ぎず、本発明の特許請求の範囲を制限するためのものではない。

【0011】

下記より、具体的な実施例で本発明が開示する「プローブカード装置及びデュアルアームプローブ」に係る実施形態を説明する。当業者は本明細書の公開内容により本発明のメリット及び効果を理解し得る。本発明は他の異なる実施形態により実行又は応用できる。本明細書における各細節も様々な観点又は応用に基づいて、本発明の精神を逸脱しない限りに、均等の変形と変更を行うことができる。また、本発明の図面は簡単で模式的に説明するためのものであり、実際的な寸法を示すものではない。以下の実施形態において、さらに本発明に係る技術事項を説明するが、公開された内容は本発明を限定するものではない。

【0012】

なお、本明細書において「第１」、「第２」、「第３」等の用語で各種の部品又は信号を説明する場合があるが、これらの部品又は信号はこれらの用語によって制限されるものではない。これらの用語は、主として一つの部品と別の部品、又は一つの信号と別の信号を区分するためのものであることが理解されたい。また、本明細書に用いられる「又は」という用語は、実際の状況に応じて、関連する項目中の何れか一つ又は複数の組合せを含み得る。
［第１の実施形態］

【0013】

図１～図８に示すように、図１～図８は、本発明に係る第１の実施形態を示す。図１及び図２に示すように、本実施形態はプローブカード装置１０００を開示する。プローブカード装置１０００は、プローブヘッド１００、及び前記プローブヘッド１００の一方側（例えば、図１におけるプローブヘッド１００の上方側）に当接する信号転送板２００を具備する。かつ、前記プローブヘッド１００の他方側（例えば、図１のプローブヘッド１００の下方側）ではテスト対象物（ｄｅｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ｔｅｓｔ，ＤＵＴ）（図示されないが、例えば、半導体ウェーハである）に当接するために用いられる。

【0014】

なお、前記プローブカード装置１０００における各要素の構造及び接続関係をよりはっきりと示すために、本実施形態の理解の便宜上、図面には、前記プローブカード装置１０００の局部構造のみが示されていることは説明しておきたい。しかし、本発明は図面の構造に制限されない。次には、前記プローブヘッド１００における各要素及びそれらの連接関係を紹介する。

【0015】

図１に示すように、前記プローブヘッド１００は、第１の誘導板ユニット１、前記第１の誘導板ユニット１と離れて配置される第２の誘導板ユニット２、前記第１の誘導板ユニット１と第２の誘導板ユニット２との間に挟まれたスペーサー３、及び前記第１の誘導板ユニット１と前記第２の誘導板ユニット２に貫設する複数のデュアルアームプローブ４、を含む。

【0016】

なお、前記デュアルアームプローブ４は、本実施形態では、前記第１の誘導板ユニット１、前記第２の誘導板ユニット２、及び前記スペーサー３と合わせて説明するが、本発明はこの例に制限されないのを説明しておきたい。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記前記デュアルアームプローブ４は独立に適用され、（例えば、販売）、または別の要素と組み合わせて利用されてもよい。

【0017】

本実施形態において、前記第１の誘導板ユニット１が１つの第１のガイドプレートを、前記第２の誘導板ユニット２が１つの第２のガイドプレートを含む。なお、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記第１の誘導板ユニット１が複数の第１のガイドプレート（及び隣り合う２つの前記第１のガイドプレートの間に挟まれたスペーサー）を、前記第２の誘導板ユニット２が複数の第２のガイドプレート（及び隣り合う２つの前記第２のガイドプレートの間に挟まれたスペーサー）を含んでもよい。複数の前記第１のガイドプレートは互いに位置がずれて配置されてもよい。複数の前記第２のガイドプレートが互いに位置がずれて配置されてもよい。前記第１の誘導板ユニット１が前記第２の誘導板ユニット２に対して位置がずれて配置されてもよい。

【0018】

また、前記スペーサー３は環状構造に形成されてもよい。また、前記スペーサー３は、前記第１の誘導板ユニット１及び前記第２の誘導板ユニット２における比較的に外側となる部分に挟持されてもよいが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記プローブカード装置１０００における前記スペーサー３は省略、または他の要素によって置き換えられてもよい。

【0019】

なお、複数の前記デュアルアームプローブ４は、本実施形態では、少なくとも２種類の異なる構造を有するが、少なくとも２種類の前記デュアルアームプローブ４の構造原理はほぼ同様であるため、説明の便宜上、次は１つの前記デュアルアームプローブ４を例として、構造原理と他のデュアルアームプローブ４と同様な部分について紹介するが、本発明はこの例に制限されないことは説明しておきたい。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記プローブヘッド１００は少なくとも２種類の前記デュアルアームプローブ４、及び直線状に構成される少なくとも１つの既存の導電性プローブを含んでもよい。

【0020】

また、前記デュアルアームプローブ４の構造をより理解しやすく説明するために、以下は、まず前記第１の誘導板ユニット１が未だ前記第２の誘導板ユニット２に対して位置がずれていない状態をもって、デュアルアームプローブ４の構造を説明する。

【0021】

図１及び図３に示すように、前記デュアルアームプローブ４は、一体成型となるワンピース構造であり、かつ、前記デュアルアームプローブ４はほぼ直線状に形成され長さ方向Ｌが定義されている、なかでも、前記デュアルアームプローブ４において、前記長さ方向Ｌに沿ってプローブ長Ｌ４を有し、かつ、前記デュアルアームプローブ４の外面に２つの幅広側面４ａと２つの幅狭側面４ｂが含まれる。２つの前記幅広側面４ａと２つの前記幅狭側面４ｂはいずれも前記長さ方向Ｌに平行となる。かつ、２つの前記幅広側面４ａはそれぞれ、前記デュアルアームプローブ４における互いに相対する一方の両側に位置し、また、２つの前記幅狭側面４ｂはそれぞれ前記デュアルアームプローブ４における互いに相対する他方の両側に位置する。

【0022】

別の見方をすると、前記デュアルアームプローブ４は、それぞれ両端部に位置する分岐端部４１及び試験端部４２と、前記分岐端部４１に接続され、前記試験端部４２に向かって延在する第１の接続部４３と、前記試験端部４２に接続され、前記分岐端部４１に向かって延在する第２の接続部４４と、前記第１の接続部４３と前記第２の接続部４４を接続する行程部４５と、を含む。即ち、前記デュアルアームプローブ４は、前記長さ方向Ｌに沿って、順に前記分岐端部４１、前記第１の接続部４３、前記行程部４５、前記第２の接続部４４、及び前記試験端部４２を含むが、本発明はこの例に制限されない。

【0023】

なかでも、前記分岐端部４１は、前記第２の誘導板ユニット２側から見て前記第１の誘導板ユニット１の外側（例えば、前記第１の誘導板ユニット１の上方側）に位置すると共に、前記第１の誘導板ユニット１に近接する前記信号転送板２００に当接するために用いられる。前記試験端部４２は、前記第１の誘導板ユニット１側から見て前記第２の誘導板ユニット２の外側（例えば、前記第２の誘導板ユニット２の下方側）に位置すると共に、前記第２の誘導板ユニット２に近接する前記テスト対象物に分離可能に当接するため用いられる。また、前記第１の接続部４３が前記第１の誘導板ユニット１内に位置し、前記第２の接続部４４が前記第２の誘導板ユニット２内に位置し、前記行程部４５が前記第１の誘導板ユニット１と前記第２の誘導板ユニット２との間に位置する。

【0024】

さらに詳しくは、前記分岐端部４１に分岐端部開口４１１が設けられ、かつ、前記デュアルアームプローブ４において、前記分岐端部開口４１１から前記長さ方向Ｌに沿って前記試験端部４２に向かって２つの前記幅広側面４ａの一方から他方に貫通するスロット４ｃが延伸して形成される。このように、前記デュアルアームプローブ４は前記スロット４ｃによって、互いの間に距離Ｄ４ｄが設けられた２つの分岐アーム４ｄが定義される。

【0025】

なかでも、複数の前記デュアルアームプローブ４において、１つの前記デュアルアームプローブ４の前記距離Ｄ４ｄと、別の１つの前記デュアルアームプローブ４の前記距離Ｄ４ｄとは異なっている。即ち、複数の前記デュアルアームプローブ４は同様な構造原理の基に、さらに異なる構造を有し得る。このように、前記信号転送板２００の回路レイアウトに合わせることが可能である。

【0026】

また、前記スロット４ｃにおける前記長さ方向Ｌでのスロット長Ｌ４ｃは、前記プローブ長Ｌ４の５０％～９０％である。また、図１及び図４に示すように、前記長さ方向Ｌに垂直となる各前記デュアルアームプローブ４における２つの前記分岐アーム４ｄの断面において、何れか一方の前記分岐アーム４ｄの断面積は、他方の前記分岐アーム４ｄの断面積の９０％～１１０％（例えば、１００％）であり、かつ、何れか一方の前記分岐アーム４ｄにおける何れか一方の前記幅狭側面４ｂの幅Ｗ４ｂは、前記幅広側面４ａでの厚さＴ４ｄの２０％～１００％である。なお、前記断面積は、本実施形態では下記リブ４ｄ２と位置制限切れ目４ｄ３を含んでいないことを説明しておきたい。

【0027】

このように、構造相違の複数の前記デュアルアームプローブ４は、各前記デュアルアームプローブ４における２つの前記分岐アーム４ｄの断面積の総合が略相似的なことによって、略相似的な導電性特性（例えば、抵抗値）及び略相似的な機械的物性（例えば、圧接力）を有するようになる。なかでも、各前記デュアルアームプローブ４における何れか一方の前記分岐アーム４ｄの断面積は、他方の前記分岐アーム４ｄの断面積に等しいのが好ましい。このように、複数の前記デュアルアームプローブ４にほぼ同様な導電性特性と機械的物性を持たせることができる。

【0028】

ところで、実際のニーズに合わせるために、何れか一方の前記デュアルアームプローブ４では、２つの前記分岐アーム４ｄの細部構成に変化を加えてもよい。例えば、少なくとも１つの前記デュアルアームプローブ４は下記複数の技術的特徴の少なくとも１つを含んでもよいが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記デュアルアームプローブ４は下記何れかの技術的特徴を含まなくてもよい。

【0029】

図１及び図３に示すように、２つの前記分岐アーム４ｄは、前記長さ方向Ｌにおいて同じ長さを有し、かつ、２つの前記分岐アーム４ｄは一緒に前記信号転送板２００に当接するように構成される。即ち、前記分岐端部開口４１１は、前記分岐端部４１の末端面に凹設され、かつ、前記分岐端部開口４１１は、ほぼ前記長さ方向Ｌに沿って前記スロット４ｃに連通する。

【0030】

なかでも、前記スロット４ｃは、本実施形態では、前記分岐端部開口４１１から前記第２の接続部４４に延伸する。即ち、前記スロット４ｃの末端は前記第２の誘導板ユニット２内に位置するのであるが、本発明はこの例に制限されない。例えば、図５に示すように、少なくとも１つの前記デュアルアームプローブ４における前記スロット４ｃは、前記分岐端部開口４１１から前記行程部４５のほぼ中央まで延在してもよい。

【0031】

さらに詳しくは、図１、図６、及び図７に示すように、前記デュアルアームプローブ４では、２つの前記分岐アーム４ｄにおける互いに対向する２つの内面４ｄ１における一方の前記内面４ｄ１に少なくとも１つのリブ４ｄ２が突出して配置される。なお、他方の前記内面４ｄ１に、少なくとも１つの前記リブ４ｄ２に対応した少なくとも１つの位置制限切れ目４ｄ３が凹設される。かつ、少なくとも１つの前記位置制限切れ目４ｄ３の深さＤ４ｄ３は、少なくとも１つの前記リブ４ｄ２の高さＨ４ｄ２よりも小さい。

【0032】

本実施形態において、図１及び図６に示すように、前記デュアルアームプローブ４において、一方の前記分岐アーム４ｄの前記内面４ｄ１に、前記分岐端部４１と前記第１の接続部４３と前記行程部４５にわたって、前記長さ方向Ｌに沿って間隔をあけて排列される複数の前記リブ４ｄ２が形成され、かつ、他方の前記分岐アーム４ｄの前記内面４ｄ１に、複数の前記リブ４ｄ２に対応する複数の前記位置制限切れ目４ｄ３が凹設されてもよいが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記デュアルアームプローブ４では、何れか１つの前記リブ４ｄ２の位置を、１つの前記位置制限切れ目４ｄ３に対応させるように、各前記分岐アーム４ｄに少なくとも１つの前記リブ４ｄ２と少なくとも１つの前記位置制限切れ目４ｄ３を形成させてもよい。また、前記デュアルアームプローブ４は、少なくとも１つの前記分岐アーム４ｄに少なくとも１つの前記リブ４ｄ２を形成させるが、何れも前記位置制限切れ目４ｄ３を形成させなくてもよい。

【0033】

このように、図１及び図２に示すように、前記第１の誘導板ユニット１と前記第２の誘導板ユニット２とが互いに斜めに位置がずれている場合、少なくとも１つの前記リブ４ｄ２を有する少なくとも１つの前記デュアルアームプローブ４において、その２つの前記分岐アーム４ｄは、少なくとも１つの前記リブ４ｄ２（またはそれに対応した少なくとも１つの前記位置制限切れ目４ｄ３と合わせて）を通して、互いの間の間隔を保持することができる。

【0034】

また、図１及び図８に示すように、何れか１つの前記デュアルアームプローブ４において、前記行程部４５における２つの末端部分４５１の前記幅広側面４ａでの幅Ｗ４５１は、２つの前記末端部分４５１の間に位置する前記行程部４５の主体部分４５２の前記幅広側面４ａでの幅Ｗ４５２よりも大きい。
［第２の実施形態］

【0035】

図９及び図１０に示すように、図９及び図１０は、本発明に係る第２の実施形態を示す。本実施形態は上記第１の実施形態とほぼ同様であるため、２つの実施形態の一致点については繰り返さない。なお、本実施形態が前記第１の実施形態に対する相違点は次のように説明する。

【0036】

本実施形態に係る少なくとも１つの前記デュアルアームプローブ４において、２つの前記分岐アーム４ｄは前記長さ方向Ｌにおいて異なる長さを有し、かつ、２つの前記分岐アーム４ｄにおける一方の前記分岐アーム４ｄのみが前記信号転送板２００に当接するようになる。即ち、前記分岐端部４１における前記分岐端部開口４１１は、前記幅狭側面４ｂの一方に凹設されるため、前記分岐端部開口４１１は前記長さ方向Ｌに垂直となる他方向に沿って前記スロット４ｃに連通となる。
［第３の実施形態］

【0037】

図１１及び図１２に示すように、図１１及び図１２は本発明に係る第３の実施形態を示す。本実施形態は上記第１の実施形態とほぼ同様であるため、２つの実施形態の一致点については繰り返さない。なお、本実施形態が前記第１の実施形態に対する相違点は次のように説明する。

【0038】

本実施形態に係る図１１において、前記デュアルアームプローブ４では、２つの前記分岐アーム４ｄにおける互いに対向する２つの内面４ｄ１における一方の前記内面４ｄ１に、少なくとも１つのリブ４ｄ２が突出して形成されたが、前記デュアルアームプローブ４にいずれかの位置制限切れ目４ｄ３も形成されていない。

【0039】

また、本実施形態に係る図１２において、前記デュアルアームプローブ４では、２つの前記分岐アーム４ｄにおける互いに対向する２つの内面４ｄ１のそれぞれに、少なくとも１つのリブ４ｄ２が突出して配置されたが、前記リブ４ｄ２に対応する前記デュアルアームプローブ４にいずれかの位置制限切れ目４ｄ３も形成されていない。
［本発明による有益な効果］

【0040】

上記を纏めて、本発明に係る実施形態が開示したプローブカード装置では、複数の前記デュアルアームプローブは同じ構造原理の基に、異なる構成（例えば、複数の前記デュアルアームプローブにおいて、１つの前記デュアルアームプローブの前記距離と、別の１つの前記デュアルアームプローブの前記距離とは違う）を有することによって、前記信号転送板での回路レイアウトに合わせることが可能である。

【0041】

また、本発明に係る実施形態が開示した前記デュアルアームプローブでは、２つの前記分岐アームの構造設計（例えば、何れか一方の前記分岐アームの断面積は、他方の前記分岐アームの断面積の９０％～１１０％である）によって、複数の前記デュアルアームプローブに、略相似的な導電性特性（例えば、抵抗値）及び略相似的な機械的物性（例えば、圧接力）を持たせることができる。

【0042】

また、本発明に係る実施形態が開示したプローブカード装置において、前記デュアルアームプローブは、少なくとも１つの前記リブ（またはそれに対応した少なくとも１つの前記位置制限切れ目と合わせて）を形成させることによって、前記第１の誘導板ユニットと前記第２の誘導板ユニットとが互いに斜めに位置がずれている場合、前記デュアルアームプローブ同士の間の距離は維持し得るため、２つの前記分岐アームによる機械的物性が変化してしまうのを避けることができる。

【0043】

以上に開示された内容は本発明の好ましい実施形態に過ぎず、これにより本発明の特許請求の範囲を制限するものではない。そのため、本発明の明細書及び添付図面の内容に基づき為された等価の技術変形は、全て本発明の特許請求の範囲に含まれるものとする。

【符号の説明】

【0044】

１０００：プローブカード装置
１００：プローブヘッド
１：第１の誘導板ユニット
２：第２の誘導板ユニット
３：スペーサー
４：デュアルアームプローブ
４ａ：幅広側面
４ｂ：幅狭側面
４ｃ：スロット
４ｄ：分岐アーム
４ｄ１：内面
４ｄ２：リブ
４ｄ３：位置制限切れ目
４１：分岐端部
４１１：分岐端部開口
４２：試験端部
４３：第１の接続部
４４：第２の接続部
４５：行程部
４５１：末端部分
４５２：主体部分
２００：信号転送板
Ｌ：長さ方向
Ｌ４：プローブ長
Ｌ４ｃ：スロット長
Ｄ４ｄ：距離
Ｈ４ｄ２：高さ
Ｄ４ｄ３：深さ
Ｔ４ｄ：厚さ
Ｗ４ｂ：幅
Ｗ４５１：幅
Ｗ４５２：幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】