特許 7263618 乾燥装置、およびノズル乾燥方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-14

(45)【発行日】2023-04-24

(54)【発明の名称】乾燥装置、およびノズル乾燥方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20230417BHJP

   B08B 13/00 20060101ALI20230417BHJP

   B08B 5/02 20060101ALI20230417BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 Z

B08B13/00

B08B5/02 Z

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2022511432

(86)(22)【出願日】2020-04-01

(86)【国際出願番号】 JP2020014976

(87)【国際公開番号】W WO2021199369

(87)【国際公開日】2021-10-07

【審査請求日】2022-03-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】弁理士法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】三浦 和馬

(72)【発明者】

【氏名】下坂 賢司

【審査官】三宅 達

(56)【参考文献】

【文献】韓国登録特許第１０－０９１３９５３（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】特開２０１７－１４７４５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／２４４１９７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／０４

Ｂ０８Ｂ １３／００

Ｂ０８Ｂ ５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

吸着ノズルを挿入するための複数の凹部と、
前記複数の凹部の底面に形成されたエアの噴出口と、
前記吸着ノズルの種類に応じて前記複数の凹部の内のいずれかに前記吸着ノズルを挿入し、挿入された前記吸着ノズルに向って前記噴出口からエアを噴出する制御装置と、
を備える乾燥装置。

【請求項2】

前記乾燥装置が、内径の異なる複数の前記凹部を備え、
前記複数の凹部の深さが、前記内径に応じて異なる請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項3】

前記吸着ノズルが、フランジ部を有しており、
前記凹部の内径が、当該凹部に挿入される吸着ノズルのフランジ部の外形より小さい請求項１または請求項２に記載の乾燥装置。

【請求項4】

前記吸着ノズルが、伸縮可能なノズルを有し、
前記制御装置が、
前記凹部に挿入された吸着ノズルのノズルに向って前記噴出口からエアを噴出する請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の乾燥装置。

【請求項5】

吸着ノズルの種類に応じて複数の凹部の内のいずれかに挿入された前記吸着ノズルに、当該吸着ノズルが挿入された凹部の底面からエアを噴出することで、吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法。

【請求項6】

前記凹部に挿入された吸着ノズルの先端と前記凹部の底面との間の距離が５ｍｍ以下となる位置で、前記凹部に挿入された吸着ノズルに、当該凹部の底面からエアを噴出する請求項５に記載のノズル乾燥方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、吸着ノズルを乾燥させる乾燥装置、およびノズル乾燥方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献には、エアの噴出により吸着ノズルを乾燥させる技術が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１９／２４４１９７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本明細書は、エアの噴出により吸着ノズルを適切に乾燥させることを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するために、本明細書は、吸着ノズルを挿入するための複数の凹部と、前記複数の凹部の底面に形成されたエアの噴出口と、前記吸着ノズルの種類に応じて前記複数の凹部の内のいずれかに前記吸着ノズルを挿入し、挿入された前記吸着ノズルに向って前記噴出口からエアを噴出する制御装置と、を備える乾燥装置を開示する。

【0006】

また、本明細書は、吸着ノズルの種類に応じて複数の凹部の内のいずれかに挿入された前記吸着ノズルに、当該吸着ノズルが挿入された凹部の底面からエアを噴出することで、吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法を開示する。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、凹部に挿入された吸着ノズルに、当該凹部の底面からエアが噴出されることで、吸着ノズルを適切に乾燥させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】電子部品装着装置を示す斜視図である。

【図2】吸着ノズルを示す斜視図である。

【図3】ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。

【図4】ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。

【図5】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図6】ノズル乾燥装置を示す斜視図である。

【図7】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図8】ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。

【図9】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図10】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図11】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図12】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図13】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図14】変形例のノズル乾燥装置を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本開示の好適な実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。

【0010】

図１に、電子部品装着装置１０を示す。先ず、電子部品装着装置１０の構成について説明する。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、装着機と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

【0011】

各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、移動装置と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム３２と、そのフレーム３２に上架されたビーム３４とによって構成されている。

【0012】

搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。

【0013】

移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム３２上の任意の位置に移動させられる。

【0014】

装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン７０を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。なお、掛止ピン７０の図示は、後述する図５、図７、図９乃至図１４では省略される。また、装着ヘッド２６には、バネ（図示省略）が内蔵されており、そのバネは、装着ヘッド２６に取り付けられる吸着ノズル６０の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。また、フランジ部６６の上面には、２Ｄコード７４が付されている。２Ｄコード７４には、個別情報として、吸着ノズル６０のＩＤ（identification）等が示されている。なお、２Ｄコード７４に代えて、バーコード又はＲＦタグがフランジ部６６の上面に付されてもよい。但し、ＲＦタグがフランジ部６６の上面に付される場合には、ＲＦタグから個別情報を取得するためのリーダが、後述するノズル管理装置（図３参照）８０の移載ヘッド（図４参照）１２０に取り付けられる。

【0015】

また、吸着ノズル６０は、負圧エア、正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。

【0016】

供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、複数のテープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。

【0017】

ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収や、ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。

【0018】

次に、装着機１４による装着作業について説明する。装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が、作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７２は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。

【0019】

装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。

【0020】

次に、ノズル管理装置の構成について説明する。ノズル管理装置８０は、図３に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７６をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７６を取り出すための扉８２が設けられている。その扉８２の上方には、各種情報を表示し、各操作が行われるタッチパネル８６等が配設されている。

【0021】

ノズル管理装置８０は、図４に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、ノズル乾燥装置１００を有している。なお、図４は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。また、ノズル管理装置８０には、制御装置２００が接続されている。なお、制御装置２００の詳細な説明は、後述する。

【0022】

管理装置本体９０は、フレーム１０２と、そのフレーム１０２に上架されたビーム１０４とによって構成されている。フレーム１０２は、中空構造とされており、フレーム１０２内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム１０２の上面に露出している。

【0023】

パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム１０２の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム１０２の上面側に移動する。

【0024】

ノズル移載装置９４は、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との間で吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム１０４に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８と、エア供給装置１３０とが取り付けられている。

【0025】

保持チャック１２８は、図５に示すように、２本の保持爪１３２を有しており、それら２本の保持爪１３２を接近させることで、吸着ノズル６０を胴体筒６４において保持し、２本の保持爪１３２を離間させることで、保持した吸着ノズル６０を離脱する。また、保持チャック１２８の本体部１３４には、エア流路１３６が形成されている。そのエア流路１３６の下端部は、２本の保持爪１３２の間に開口しており、上端部は、エア供給装置１３０に接続されている。このため、保持チャック１２８が吸着ノズル６０を保持した状態において、エア供給装置１３０によってエア流路１３６にエアが供給されることで、吸着ノズル６０の内部に向かってエアが、エア流路１３６の下端部から噴き出される。これにより、吸着ノズル６０の内部にエアが噴きこまれ、吸着管６８の先端部からエアが噴き出される。さらに、保持チャック１２８は、自身を自転させる自転装置（図８参照）１３８を有している。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が自転する。

【0026】

また、ヘッド移動装置１２２は、図４に示すように、移載ヘッド１２０をフレーム１０２の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。なお、フレーム１０２の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３１が設けられており、固定ステージ１３１にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。

【0027】

ノズル検査装置９６は、カメラ１４０とロードセル１４２とジョイント１４６とを有している。カメラ１４０は、上方を向いた状態でフレーム１０２の上面に配設されており、カメラ１４０を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、下方からカメラ１４０によって撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の先端部の状態が検査される。

【0028】

また、ロードセル１４２は、カメラ１４０の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、上述したように、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。

【0029】

また、ジョイント１４６は、エア供給装置１３０の下面に配設され、そのエア供給装置１３０からエアが供給される。そして、エア供給装置１３０からジョイント１４６に供給されるエアを用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、ジョイント１４６が、ヘッド移動装置１２２の作動により、後述する洗浄パレット１５８に載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、ジョイント１４６が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１３０からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。

【0030】

なお、フレーム１０２の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。

【0031】

ノズル洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８は、洗浄・乾燥機構１５０と洗浄パレット移動機構１５２とを備えている。洗浄・乾燥機構１５０は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。また、洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８が露出する露出位置（図４で洗浄パレット１５８が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１５０の内部との間で、洗浄パレット１５８を移動させる機構である。

【0032】

ノズル乾燥装置１００は、吸着ノズル６０の乾燥を行う装置であり、露出位置に位置する洗浄パレット１５８の隣に配設されている。ノズル乾燥装置１００は、図６に示すように、ハウジング１６０とエアブロー装置１６２とを有している。ハウジング１６０は、概してブロック状をなし、ハウジング１６０には、３つの有底穴１６４，１６６，１６８が形成されている。各有底穴１６４，１６６，１６８は、ハウジング１６０の上面に開口するとともに、下方に向って凹んだ円筒形状とされている。そして、それら３つの有底穴１６４，１６６，１６８の内部が、吸着ノズル６０を乾燥させるための３つの乾燥室１７０，１７２，１７４として機能する。それら３つの乾燥室１７０，１７２，１７４の内径は異なっており、乾燥室１７０の内径が最も大きく、乾燥室１７４の内径が最も小さく、乾燥室１７２の内径は、乾燥室１７０の内径と乾燥室１７４の内径との中間程度とされている。また、それら３つの乾燥室１７０，１７２，１７４の深さ寸法は、内径の寸法に応じて異なっている。具体的には、乾燥室１７０の深さ寸法が最も深く、乾燥室１７２の深さ寸法が最も浅く、乾燥室１７４の深さ寸法は、乾燥室１７２の深さ寸法より僅かに、例えば、１～３ｍｍ程度、深くされている。なお、３つの乾燥室１７０，１７２，１７４を区別する際に、乾燥室１７０を第１乾燥室１７０と記載し、乾燥室１７２を第２乾燥室１７２と記載し、乾燥室１７４を第３乾燥室１７４と記載する。

【0033】

また、ハウジング１６０には、図６のＡＡ線における断面図である図５に示すように、有底穴１６４の径方向に延びるように、２つの貫通穴１７６，１７８が形成されており、それら２つの貫通穴１７６，１７８は、ハウジング１６０の外壁面と第１乾燥室１７０の内壁面とに開口している。貫通穴１７６は、ハウジング１６０の外壁面から第１乾燥室１７０の内壁面に向かって斜め上方にハウジング１６０の側壁を貫通している。一方、貫通穴１７８は、貫通穴１７６の上方において、概して水平方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。また、貫通穴１７６のハウジング１６０の外壁面への開口に、バルブ１８０が連結されており、貫通穴１７８のハウジング１６０の外壁面への開口にも、バルブ１８２が連結されている。そして、バルブ１８０は、配管１８４を介して、エアブロー装置１６２に接続されており、バルブ１８２は、配管１８６を介して、エアブロー装置１６２に接続されている。これにより、エアブロー装置１６２が作動するとともに、バルブ１８０，１８２が開放されることで、第１乾燥室１７０の内部に向って、貫通穴１７６，１７８からエアが噴き出される。なお、バルブ１８０，１８２は、常閉弁である。

【0034】

また、ハウジング１６０には、図６に示すように、有底穴１６６の底面、つまり、第２乾燥室１７２の底面から下方に向って延び出し、ハウジング１６０の外壁面に向って直角に折れ曲がり、ハウジング１６０の外壁面に開口する貫通穴１８８が形成されている。その貫通穴１８８のハウジング１６０の外壁面への開口には、バルブ１９０が連結されており、バルブ１９０は、配管１９２を介して、エアブロー装置１６２に接続されている。これにより、エアブロー装置１６２が作動するとともに、バルブ１９０が開放されることで、第２乾燥室１７２の内部に向って、貫通穴１８８からエアが噴き出される。つまり、第２乾燥室１７２では、第２乾燥室１７２の底面から上方に向ってエアが噴出される。なお、バルブ１９０は、常閉弁である。

【0035】

さらに、ハウジング１６０には、有底穴１６８の底面、つまり、第３乾燥室１７４の底面から下方に向って延び出し、ハウジング１６０の外壁面に向って直角に折れ曲がり、ハウジング１６０の外壁面に開口する貫通穴１９４が形成されている。その貫通穴１９４のハウジング１６０の外壁面への開口には、バルブ１９６が連結されており、バルブ１９６は、配管１９８を介して、エアブロー装置１６２に接続されている。これにより、エアブロー装置１６２が作動するとともに、バルブ１９６が開放されることで、第３乾燥室１７４の内部に向って、貫通穴１９４からエアが噴き出される。つまり、第３乾燥室１７４では、第３乾燥室１７４の底面から上方に向ってエアが噴出される。なお、バルブ１９６は、常閉弁である。

【0036】

また、制御装置２００は、図８に示すように、コントローラ２０２と、複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、エア供給装置１３０、自転装置１３８、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、エアブロー装置１６２、バルブ１８０，１８２，１９０，１９６に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。

【0037】

ノズル管理装置８０では、上述した構成によって、吸着ノズル６０を適切に管理するべく、吸着ノズル６０の洗浄などが行われる。詳しくは、作業者は、洗浄対象の吸着ノズル６０が収容されているノズルトレイ７６を、ノズル管理装置８０の固定ステージ１３１に載置する。ノズル管理装置８０では、固定ステージ１３１にノズルトレイ７６が載置されると、載置されたノズルトレイ７６の上方に、カメラ１２６が、ヘッド移動装置１２２の作動により移動し、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０を撮像する。この際、コントローラ２０２は、その撮像により得られた撮像データに基づいて、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０のＩＤを取得する。そして、コントローラ２０２は、取得した吸着ノズル６０のＩＤを利用して、ノズル管理装置８０において吸着ノズル６０を管理する。なお、制御装置２００には、吸着ノズル６０のＩＤ毎に吸着ノズル６０のサイズ等が記憶されており、吸着ノズル６０のＩＤに基づいて、吸着ノズル６０のサイズ等も取得することが可能である。

【0038】

そして、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０の撮像により、吸着ノズル６０のＩＤが取得されると、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズル洗浄装置９８の洗浄パレット１５８に移載される。この際、洗浄パレット１５８は、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動している。そして、洗浄パレット１５８への吸着ノズル６０の移載が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動し、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部から露出位置に移動する。この際、露出位置に移動した洗浄パレット１５８の上方に、保持チャック１２８が、ヘッド移動装置１２２の作動により移動する。そして、洗浄パレット１５８に搭載されている吸着ノズル６０に向って、保持チャック１２８からエア供給装置１３０の作動により、エアが噴き出される。これにより、洗浄パレット１５８に搭載されている吸着ノズル６０の上面、特に、フランジ部６６の上面等から水分が吹き飛ばされる。

【0039】

なお、吸着ノズル６０は、洗浄・乾燥機構１５０での乾燥および、保持チャック１２８からのエアの噴き出しにより、ある程度乾燥している。ただし、洗浄・乾燥機構１５０での乾燥および、保持チャック１２８からのエアの噴き出しは、洗浄パレット１５８に吸着ノズル６０が搭載された状態で行われるため、吸着ノズル６０に水分が残存している虞がある。特に、吸着ノズル６０では、上述したように、胴体筒６４と吸着管６８とが相対移動可能となっており、胴体筒６４と吸着管６８との間に水が浸入するため、胴体筒６４と吸着管６８との間に浸入した水が残存している場合がある。このように胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０は、上記ロードセル１４２を用いた検査において、不良ノズルと判定される虞がある。詳しくは、ロードセル１４２を用いた検査は、上述したように、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態の検査であり、胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０では、水分によって胴体筒６４と吸着管６８との摺動抵抗が大きくなり、ロードセル１４２により測定される荷重が高くなる。このため、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が適切でないと判定され、その吸着ノズル６０は、不良ノズルと判定される虞がある。

【0040】

このようなことに鑑みて、ノズル管理装置８０では、洗浄・乾燥機構１５０での乾燥および、保持チャック１２８からのエアの噴き出しが完了すると、ノズル乾燥装置１００を用いて、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。詳しくは、洗浄・乾燥機構１５０での乾燥および、保持チャック１２８からのエアの噴き出しが完了すると、洗浄パレット１５８に搭載されている吸着ノズル６０が、保持チャック１２８によって保持される。次に、保持チャック１２８が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズル乾燥装置１００のハウジング１６０の第１乾燥室１７０の上方に移動し、下降する。ちなみに、第１乾燥室１７０の内径は、３つの乾燥室１７０，１７２，１７４のうちで最も大きく、第１乾燥室１７０の深さ寸法は、３つの乾燥室１７０，１７２，１７４のうちで最も深くされている。このため、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の全体が、図５に示すように、ハウジング１６０の第１乾燥室１７０の内部に挿入される。なお、吸着ノズル６０のフランジ部６６の下面側及び吸着管６８の側面が、貫通穴１７８の横方向に位置する箇所まで、保持チャック１２８は下降する。

【0041】

その後、第１乾燥室１７０の内部において、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、自転装置１３８の作動により自転する。この際、保持チャック１２８から、エア供給装置１３０の作動により、エアが噴き出され、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の上方から噴き出されたエアが、吸着ノズル６０の内部に吹き付けられる。このように、吸着ノズル６０の内部にエアが吹き付けられることで、吸着管６８が胴体筒６４に対して下方に向かって相対移動し、下方に延び出す。これにより、フランジ部６６の下側において、吸着管６８の胴体筒６４に対する摺動面が露出する。また、保持チャック１２８が自転している際に、エアブロー装置１６２が作動するとともに、バルブ１８０，１８２が開放されることで、自転している吸着ノズル６０に向って、貫通穴１７６，１７８からエアが噴き出される。この際、貫通穴１７８から噴き出されたエアは、吸着ノズル６０の胴体筒６４から露出している吸着管６８の摺動面に、吹き付けられるとともに、貫通穴１７６から噴き出されたエアは、吸着ノズル６０の吸着管６８の先端に、吹き付けられる。つまり、貫通穴１７６，１７８から噴き出されたエアが、吸着ノズル６０の全周に渡って、フランジ部６６の下方全体に吹き付けられる。これにより、胴体筒６４と吸着管６８との間に残存している水分を好適に除去することが可能となる。なお、ノズル乾燥装置１００は、水分以外の付着物、具体的には、例えば、油分、埃、電子部品又はその一部、半田、接着剤等を除去することも可能である。

【0042】

このように、ノズル乾燥装置１００において、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０にエアが噴出されることで、吸着ノズル６０を好適に乾燥させることができる。ただし、ノズル乾燥装置１００では、サイズの異なる多くの種類の吸着ノズルが管理されるため、大きいサイズの吸着ノズルを、上記方法により好適に乾燥させることができない虞がある。具体的には、ノズル乾燥装置１００では、吸着ノズル６０のノズル径より大きなノズル径の吸着ノズル２１０（図９参照）も管理される。その吸着ノズル２１０が、ノズル洗浄装置９８で洗浄された後に、保持チャック１２８により保持され、図９に示すように、第１乾燥室１７０に挿入される。なお、第１乾燥室１７０の内径は、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２の外径より大きいため、吸着ノズル２１０の全体を、第１乾燥室１７０に挿入することができる。この際、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２の下面側及び吸着管２１４の側面が、貫通穴１７８の横方向に位置する箇所まで、保持チャック１２８は下降して、吸着ノズル２１０が第１乾燥室１７０に挿入される。

【0043】

そして、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２１０も、吸着ノズル６０と同様に、自転するとともに、貫通穴１７６，１７８からエアが噴出され、保持チャック１２８からもエアが噴出される。これにより、フランジ部２１２の下側において、吸着管２１４の胴体筒２１６に対する摺動面が露出し、貫通穴１７８から噴き出されたエアは、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２の下面側および、胴体筒２１６から露出している吸着管２１４の摺動面に、吹き付けられる。ただし、吸着ノズル２１０は、吸着ノズル６０より大きいため、貫通穴１７６から噴き出されたエアも、吸着ノズル２１０の吸着管２１４の摺動面に吹き付けられる。つまり、第１乾燥室１７０において、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２１０にエアが吹き付けられる際に、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２の下面側および、吸着管２１４の側面に、エアが吹き付けられるが、吸着管２１４の先端に、エアは吹き付けられない。このため、第１乾燥室１７０でのエアの吹き付けにより、吸着ノズル２１０の全体を好適に乾燥させることができない虞がある。

【0044】

そこで、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２１０は、第１乾燥室１７０での乾燥が終了すると、図７に示すように、ノズル乾燥装置１００の第２乾燥室１７２に挿入される。ただし、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２の外径は、第２乾燥室１７２の内径より大きいため、吸着ノズル２１０の吸着管２１４のみが第２乾燥室１７２に挿入される。この際、第２乾燥室１７２のハウジング１６０の上面への開口が、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２により覆われるように、吸着ノズル２１０の吸着管２１４が第２乾燥室１７２に挿入される。ただし、ハウジング１６０の上面と、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２の下面との間に、僅かな隙間、例えば、０．５ｍｍ程度の隙間ができるように、第２乾燥室１７２のハウジング１６０の上面への開口が、フランジ部２１２により覆われる。

【0045】

また、第２乾燥室１７２の深さ寸法は、吸着ノズル２１０の寸法に応じた寸法とされている。具体的には、第２乾燥室１７２の深さ寸法は、吸着ノズル２１０が伸長した状態、つまり、吸着管２１４が胴体筒２１６から延び出した状態でのフランジ部２１２の下面と吸着管２１４の先端面との間の距離（以下、「ノズル先端距離」と記載する）より僅かに長くされている。このため、例えば、第２乾燥室１７２の深さ寸法がノズル先端距離より２ｍｍ程度、長くされており、吸着ノズル２１０が第２乾燥室１７２に挿入された際にハウジング１６０の上面とフランジ部２１２の下面との間に０．５ｍｍ程度の隙間がある場合に、吸着管２１４の先端と第２乾燥室１７２の底面との間の距離は、１．５ｍｍ程度となる。つまり、吸着ノズル２１０の吸着管２１４が第２乾燥室１７２に挿入された際に、吸着管２１４の先端が第２乾燥室１７２の底面の非常に近くまで接近する。この際、第２乾燥室１７２の底面には、貫通穴１８８が形成されているため、第２乾燥室１７２に挿入された吸着ノズル２１０の吸着管２１４の先端は、非常に近い位置において貫通穴１８８の開口と向かい合う。

【0046】

このように、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２１０の吸着管２１４が第２乾燥室１７２に挿入されると、まず、保持チャック１２８から、エア供給装置１３０の作動により、エアが噴き出され、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２１０の上方から噴き出されたエアが、吸着ノズル２１０の内部に吹き付けられる。このように、吸着ノズル２１０の内部にエアが吹き付けられることで、吸着管２１４が胴体筒２１６に対して下方に向かって相対移動し、下方に延び出す。これにより、フランジ部２１２の下側において、吸着管２１４の胴体筒２１６に対する摺動面が露出する。また、吸着管２１４の先端が、第２乾燥室１７２の底面に開口する貫通穴１８８の開口の非常に近くまで下降する。

【0047】

次に、エア供給装置１３０の作動が停止し、保持チャック１２８からのエアの噴き出しが停止した後に、エアブロー装置１６２が作動するとともに、バルブ１９０が開放される。これにより、貫通穴１８８の開口の非常に近くまで下降している吸着管２１４の先端に向って、その貫通穴１８８の開口からエアが噴き出される。この際、吸着管２１４の先端の非常に近い貫通穴１８８の開口から噴き出されたエアにより、吸着管２１４の先端に付着していた水分が吹き飛ばされる。なお、吸着管２１４はデフォルメして図示されており、実際の吸着管２１４の外径は、貫通穴１８８の内径より小さい。このため、貫通穴１８８から噴き出されたエアは、吸着管２１４の先端面だけでなく、吸着管２１４の側面にも吹き付けられることで、胴体筒２１６から露出している吸着管２１４の全体の水分が吹き飛ばされる。また、貫通穴１８８から噴き出されたエアによって、図１０に示すように、吸着管２１４が胴体筒２１６に対して上方に向かって相対移動することで、上方に延び出して、胴体筒２１６の上側において、吸着管２１４の胴体筒２１６に対する摺動面が露出する。

【0048】

そして、胴体筒２１６の上側において、吸着管２１４の胴体筒２１６に対する摺動面が露出すると、エアブロー装置１６２の作動が停止するとともに、バルブ１９０が閉じられて、貫通穴１８８からのエアの噴き出しが停止した後に、再度、保持チャック１２８から、エア供給装置１３０の作動により、エアが噴き出される。この際、胴体筒２１６の上側において露出する吸着管２１４の摺動面に、保持チャック１２８からエアが吹き付けられる。これにより、胴体筒２１６の上側において露出する吸着管２１４の摺動面に付着した水分が吹き飛ばされる。そして、保持チャック１２８からのエアの噴き出しにより、図７に示すように、吸着管２１４が、再度、下方に延び出す。

【0049】

このように、保持チャック１２８からのエアの噴き出しにより、吸着管２１４が下方に延び出すと、エア供給装置１３０の作動が停止し、保持チャック１２８からのエアの噴き出しが停止した後に、再度、エアブロー装置１６２が作動するとともに、バルブ１９０が開放される。これにより、貫通穴１８８からエアが噴き出され、図１０に示すように、吸着管２１４が、再度、上方に延び出す。つまり、第２乾燥室１７２では、保持チャック１２８からのエアの噴き出しと、貫通穴１８８からのエアの噴き出しとが交互に行われ、吸着管２１４を胴体筒２１６に対して上下に繰り返し摺動させた状態で、吸着管２１４にエアが噴き出される。これにより、吸着ノズル２１０の胴体筒２１６と吸着管２１４との間に残存している水分を好適に除去することができる。

【0050】

つまり、吸着ノズル６０のノズル径より大きなノズル径の吸着ノズル２１０は、第１乾燥室１７０において、フランジ部２１２の下方の吸着管２１４の先端以外の箇所に、エアが吹き付けられる。そして、第１乾燥室１７０での吸着ノズル２１０へのエアの吹き付けが完了した後に、第２乾燥室１７２において、吸着管２１４の先端にエアが吹き付けられるともに、吸着管２１４を胴体筒２１６に対して摺動させた状態で、吸着管２１４にエアが吹き付けられる。これにより、吸着ノズル２１０の全体を好適に乾燥させることができる。特に、第２乾燥室１７２では、第２乾燥室１７２の底面からエアが噴き出され、その噴き出されたエアが直接的に吸着管２１４の先端に吹き付けられる。これにより、好適に吸着ノズル２１０を乾燥させることができる。さらに言えば、第２乾燥室１７２の深さ寸法は、吸着ノズル２１０の寸法に応じた寸法とされているため、第２乾燥室１７２に挿入された吸着管２１４の先端と第２乾燥室１７２の底面との間の距離が非常に短くなり、吸着管２１４の先端に非常に近い位置からエアが吹き付けられる。これにより、更に好適に吸着ノズル２１０を乾燥させることができる。なお、第２乾燥室１７２において、保持チャック１２８及び貫通穴１８８から噴き出されるエアは、ハウジング１６０の上面と、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２の下面との隙間からリークする。これにより、第２乾燥室１７２内のエア圧の上昇が抑制される。

【0051】

また、ノズル乾燥装置１００では、吸着ノズル６０のノズル径より大きいが、吸着ノズル２１０のノズル径より小さいノズル径の吸着ノズル２３０（図１１参照）も管理される。その吸着ノズル２３０も、ノズル洗浄装置９８で洗浄された後に、保持チャック１２８により保持され、図１１に示すように、第１乾燥室１７０に挿入される。なお、第１乾燥室１７０の内径は、吸着ノズル２３０のフランジ部２３２の外径より大きいため、吸着ノズル２３０の全体を、第１乾燥室１７０に挿入することができる。この際、吸着ノズル２３０のフランジ部２３２の下面側及び吸着管２３４の側面が、貫通穴１７８の横方向に位置する箇所まで、保持チャック１２８は下降して、吸着ノズル２３０が第１乾燥室１７０に挿入される。

【0052】

そして、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２３０も、吸着ノズル６０と同様に、自転するとともに、貫通穴１７６，１７８からエアが噴出され、保持チャック１２８からもエアが噴出される。これにより、フランジ部２３２の下側において、吸着管２３４の胴体筒２３６に対する摺動面が露出し、貫通穴１７８から噴き出されたエアは、吸着ノズル６０のフランジ部２３２の下面側および、胴体筒２３６から露出している吸着管２３４の摺動面に、吹き付けられる。ただし、吸着ノズル２３０も、吸着ノズル６０より大きいため、貫通穴１７６から噴き出されたエアは、吸着管２３４の摺動面に吹き付けられ、吸着管２３４の先端に吹き付けられない。このため、第１乾燥室１７０でのエアの吹き付けにより、吸着ノズル２３０の全体を好適に乾燥させることができない。

【0053】

そこで、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２３０は、第１乾燥室１７０での乾燥が終了すると、図１２に示すように、ノズル乾燥装置１００の第３乾燥室１７４に挿入される。ただし、吸着ノズル２３０のフランジ部２３２の外径は、第３乾燥室１７４の内径より大きいため、吸着ノズル２３０の吸着管２３４のみが第３乾燥室１７４に挿入される。この際、第３乾燥室１７４のハウジング１６０の上面への開口が、吸着ノズル２３０のフランジ部２３２により覆われるように、吸着ノズル２３０の吸着管２３４が第３乾燥室１７４に挿入される。ただし、ハウジング１６０の上面と、吸着ノズル２３０のフランジ部２３２の下面との間に、僅かな隙間、例えば、０．５ｍｍ程度の隙間ができるように、第３乾燥室１７４のハウジング１６０の上面への開口が、フランジ部２３２により覆われる。

【0054】

また、第３乾燥室１７４の深さ寸法は、吸着ノズル２３０の寸法に応じた寸法とされている。具体的には、第３乾燥室１７４の深さ寸法は、吸着ノズル２３０が伸長した状態でのフランジ部２３２の下面と吸着管２３４の先端面との間の距離つまり、ノズル先端距離より僅かに長くされている。このため、例えば、第３乾燥室１７４の深さ寸法がノズル先端距離より２ｍｍ程度、長くされており、吸着ノズル２３０が第３乾燥室１７４に挿入された際にハウジング１６０の上面とフランジ部２３２の下面との間に０．５ｍｍ程度の隙間がある場合に、吸着管２３４の先端と第３乾燥室１７４の底面との間の距離は、１．５ｍｍ程度となる。つまり、吸着ノズル２３０の吸着管２３４が第３乾燥室１７４に挿入された際に、吸着管２３４の先端が第３乾燥室１７４の底面の非常に近くまで接近する。この際、第３乾燥室１７４の底面には、貫通穴１９４が形成されているため、第３乾燥室１７４に挿入された吸着ノズル２３０の吸着管２３４の先端は、非常に近い位置において貫通穴１９４の開口と向かい合う。

【0055】

このように、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２３０の吸着管２３４が第３乾燥室１７４に挿入されると、第２乾燥室１７２と同様に、保持チャック１２８からのエアの噴き出しと、貫通穴１９４からのエアの噴き出しとが交互に行われる。つまり、まず、保持チャック１２８から、エア供給装置１３０の作動により、エアが噴き出され、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル２３０の上方から噴き出されたエアが、吸着ノズル２３０の内部に吹き付けられる。これにより、図１２に示すように、吸着管２３４が胴体筒２３６に対して下方に向かって相対移動し、下方に延び出すことで、フランジ部２３２の下側において、吸着管２３４の胴体筒２３６に対する摺動面が露出する。また、吸着管２３４の先端が、第３乾燥室１７４の底面に開口する貫通穴１９４の開口の非常に近くまで下降する。

【0056】

次に、エア供給装置１３０の作動が停止し、保持チャック１２８からのエアの噴き出しが停止した後に、エアブロー装置１６２が作動するとともに、バルブ１９６が開放される。これにより、貫通穴１９４の開口の非常に近くまで下降している吸着管２３４の先端に向って、その貫通穴１９４の開口からエアが噴き出される。この際、吸着管２３４の先端の非常に近い貫通穴１９４の開口から噴き出されたエアにより、吸着管２３４の先端に付着していた水分が吹き飛ばされる。なお、吸着管２３４はデフォルメして図示されており、実際の吸着管２３４の外径は、貫通穴１９４の内径より小さい。このため、貫通穴１９４から噴き出されたエアは、吸着管２３４の先端面だけでなく、吸着管２３４の側面にも吹き付けられることで、胴体筒２３６から露出している吸着管２３４の全体の水分が吹き飛ばされる。また、貫通穴１９４から噴き出されたエアによって、図１３に示すように、吸着管２３４が胴体筒２３６に対して上方に向かって相対移動することで、上方に延び出して、胴体筒２３６の上側において、吸着管２３４の胴体筒２３６に対する摺動面が露出する。

【0057】

そして、保持チャック１２８からのエアの噴き出しと、貫通穴１９４からのエアの噴き出しとが交互に行われることで、吸着管２３４を胴体筒２３６に対して上下に繰り返し摺動させた状態で、吸着管２３４にエアが噴き出される。これにより、吸着ノズル２３０の胴体筒２３６と吸着管２３４との間に残存している水分を好適に除去することができる。

【0058】

つまり、吸着ノズル６０のノズル径より大きく、吸着ノズル２１０のノズル径より小さいノズル径の吸着ノズル２３０は、第１乾燥室１７０において、フランジ部２３２の下方の吸着管２３４の先端以外の箇所に、エアが吹き付けられる。そして、第１乾燥室１７０での吸着ノズル２３０へのエアの吹き付けが完了した後に、第３乾燥室１７４において、吸着管２３４の先端にエアが吹き付けられるともに、吸着管２３４を胴体筒２３６に対して摺動させた状態で、吸着管２３４にエアが吹き付けられる。これにより、吸着ノズル２３０の全体を好適に乾燥させることができる。特に、第３乾燥室１７４においても、第３乾燥室１７４の底面からエアが噴き出され、その噴き出されたエアが直接的に吸着管２３４の先端に吹き付けられる。これにより、好適に吸着ノズル２３０を乾燥させることができる。さらに言えば、第３乾燥室１７４の深さ寸法は、吸着ノズル２３０の寸法に応じた寸法とされているため、第３乾燥室１７４に挿入された吸着管２３４の先端と第３乾燥室１７４の底面との間の距離が非常に短くなり、吸着管２３４の先端に非常に近い位置からエアが吹き付けられる。これにより、更に好適に吸着ノズル２３０を乾燥させることができる。なお、第３乾燥室１７４において、保持チャック１２８及び貫通穴１９４から噴き出されるエアは、ハウジング１６０の上面と、吸着ノズル２３０のフランジ部２３２の下面との隙間からリークする。これにより、第３乾燥室１７４内のエア圧の上昇が抑制される。

【0059】

このように、ノズル管理装置８０では、比較的小さなサイズの吸着ノズル６０は、第１乾燥室１７０でのエアの吹き付けにより乾燥される。また、比較的大きなサイズの吸着ノズル２１０は、第１乾燥室１７０でのエアの吹き付けにより乾燥された後に、第２乾燥室１７２でのエアの吹き付けにより乾燥される。また、吸着ノズル６０と吸着ノズル２１０との中間ぐらいのサイズの吸着ノズル２３０は、第１乾燥室１７０でのエアの吹き付けにより乾燥された後に、第３乾燥室１７４でのエアの吹き付けにより乾燥される。つまり、ノズル管理装置８０では、吸着ノズルは、サイズに応じて、３つの乾燥室１７０，１７２，１７４のうちの１以上の乾燥室において乾燥される。これにより、様々なサイズの吸着ノズルを適切に乾燥させることができる。

【0060】

なお、乾燥対象の吸着ノズルのサイズは、先に取得されている吸着ノズルのＩＤに基づいて判定される。つまり、吸着ノズルはノズル管理装置８０に収納されると、上述したように、カメラ１２６による撮像データに基づいて、コントローラ２０２が吸着ノズルのＩＤを取得している。また、制御装置２００には、吸着ノズルのＩＤと、その吸着ノズルのサイズとが対応付けられたデータが記憶されている。このため、コントローラ２０２は、そのデータを参照することで、乾燥対象の吸着ノズルのＩＤに基づいて、乾燥対象の吸着ノズルのサイズを特定する。そして、コントローラ２０２は、特定した吸着ノズルのサイズに応じて、上述した方法で吸着ノズルを乾燥させる。

【0061】

ちなみに、吸着ノズルのサイズに応じた方法で乾燥された吸着ノズルは、ノズル検査装置９６において検査が行われ、検査結果の良好な吸着ノズルが、固定ステージ１３１に載置されたノズルトレイ７６、若しくは、パレット収容装置９２のノズルパレット１１０に収納される。また、検査結果の良好でない吸着ノズルは、固定ステージ１３１の隣に配設された廃棄ボックス１４８に廃棄される。

【0062】

なお、吸着ノズル６０は、吸着ノズルの一例である。フランジ部６６は、フランジ部の一例である。吸着管６８は、ノズルの一例である。ノズル乾燥装置１００は、乾燥装置の一例である。第２乾燥室１７２は、凹部の一例である。第３乾燥室１７４は、凹部の一例である。貫通穴１８８の開口は噴出口の一例である。貫通穴１９４の開口は、噴出口の一例である。制御装置２００は、制御装置の一例である。吸着ノズル２１０は、吸着ノズルの一例である。フランジ部２１２は、フランジ部の一例である。吸着管２１４は、ノズルの一例である。吸着ノズル２３０は、吸着ノズルの一例である。フランジ部２３２は、フランジ部の一例である。吸着管２３４は、ノズルの一例である。

【0063】

以上、上記した本実施形態では、以下の効果を奏する。

【0064】

ノズル乾燥装置１００では、第２乾燥室１７２と第３乾燥室１７４との各々において、第２乾燥室１７２と第３乾燥室１７４との各々の底面に形成された貫通穴１８８と貫通穴１９４との各々から吸着ノズル２１０，２３０に向ってエアが噴出される。これにより、吸着ノズル２１０，２３０に直接的にエアを噴出することが可能となり、適切に吸着ノズル２１０，２３０を乾燥させることができる。

【0065】

また、ノズル乾燥装置１００では、第２乾燥室１７２の内径と第３乾燥室１７４の内径とが異なっており、第２乾燥室１７２の深さと第３乾燥室１７４の深さとが、内径に応じて異なっている。つまり、第２乾燥室１７２と第３乾燥室１７４との深さ寸法が、第２乾燥室１７２と第３乾燥室１７４との各々に挿入される吸着ノズルのノズル先端距離に応じた寸法とされている。これにより、第２乾燥室１７２と第３乾燥室１７４との各々の底面と、吸着管の先端との間の距離を短くすることが可能となり、吸着管の非常に近くから吸着管にエアを噴出することで、適切に吸着ノズルを乾燥させることができる。

【0066】

また、ノズル乾燥装置１００では、第２乾燥室１７２の内径が、吸着ノズル２１０のフランジ部２１２の外径より小さくされており、第３乾燥室１７４の内径が、吸着ノズル２３０のフランジ部２３２の外径より小さくされている。これにより、第２乾燥室１７２若しくは第３乾燥室１７４の開口をフランジ部２１２，２３２により覆った状態で、第２乾燥室１７２若しくは第３乾燥室１７４に挿入された吸着管２１４，２３４にエアを噴出することで、適切に吸着ノズルを乾燥させることができる。

【0067】

また、ノズル乾燥装置１００では、吸着ノズル２１０，２３０の伸縮するノズル、つまり、吸着管２１４，２３４に向って、第２乾燥室１７２若しくは第３乾燥室１７４において、底面からエアが噴出される。これにより、吸着管２１４，２３４の摺動面に入り込んでいる水滴などを好適に除去し、適切に吸着ノズルを乾燥させることができる。

【0068】

また、ノズル乾燥装置１００では、第２乾燥室１７２若しくは第３乾燥室１７４に挿入された吸着管２１４，２３４の先端と、第２乾燥室１７２若しくは第３乾燥室１７４の底面との間の距離が５ｍｍ以下、具体的には、１．５ｍｍ程度となる位置で、吸着管２１４，２３４にエアが噴出される。これにより、吸着管２１４，２３４の先端に非常に近い位置から、吸着管２１４，２３４にエアが噴出されることで、適切に吸着ノズルを乾燥させることができる。

【0069】

尚、本開示は、上記実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施形態では、第２乾燥室１７２若しくは第３乾燥室１７４の底面に開口する貫通穴１８８，１９４が形成されているが、側面に開口する貫通穴が形成されてもよい。具体的には、例えば、図１４に示すように、第２乾燥室２５０として機能する有底穴２５２の側面に開口する貫通穴２５４が形成され、第３乾燥室２６０として機能する有底穴２６２の側面に開口する貫通穴２６４が形成されてもよい。このような場合には、貫通穴２５４，２６４から噴出されたエアが、有底穴２５２，２６２の底面で反射することで、有底穴２５２，２６２の底面から、吸着ノズル２１０，２３０に向って吹き付けられる。なお、有底穴２５２，２６２の底面に傾斜部，凸部などを形成することで、有底穴２５２，２６２の底面から好適に吸着ノズルに向ってエアを吹き付けることが可能となる。

【0070】

また、上記実施形態では、吸着ノズル２１０，２３０が第１乾燥室１７０で乾燥された後に、第２乾燥室１７２若しくは、第３乾燥室１７４で乾燥されているが、第２乾燥室１７２若しくは、第３乾燥室１７４で乾燥された後に、第１乾燥室１７０で乾燥されてもよい。

【0071】

また、上記実施形態では、吸着ノズル２１０，２３０が、３つの乾燥室１７０，１７２，１７４のうちの２つの乾燥室で乾燥されているが、１つの乾燥室で乾燥されてもよい。このような場合には、吸着ノズル２１０，２３０の全体にエアを吹き付けることが可能な乾燥室を設ける必要がある。具体的には、例えば、第１乾燥室１７０に、第２乾燥室１７２の貫通穴１８８と同様の貫通穴が形成された乾燥室を設けることで、その１つの乾燥室において、吸着ノズル２１０，２３０の全体にエアを吹き付けることができる。

【0072】

また、上記実施形態では、例えば、ハウジング１６０の上面と、吸着ノズルのフランジ部の下面との間に、僅かな隙間ができるように、第２乾燥室１７２のハウジング１６０の上面への開口が、フランジ部により覆われることで、第２乾燥室１７２のエア圧の上昇が抑制されている。一方、第２乾燥室１７２若しくは、貫通穴１８８にリーク穴を形成することで、第２乾燥室１７２のエア圧の上昇が抑制されてもよい。このような場合には、ハウジング１６０の上面と、吸着ノズルのフランジ部の下面とを密着させるように、第２乾燥室１７２のハウジング１６０の上面への開口が、フランジ部２１２により覆われてもよい。また、そのリーク穴にサイレンサーを配設することで、風切り音を抑制することができる。なお、第３乾燥室１７４においても、当然、同様の手法を採用することができる。

【符号の説明】

【0073】

６０：吸着ノズル ６６：フランジ部 ６８：吸着管（ノズル） １００：ノズル乾燥装置（乾燥装置） １７２：第２乾燥室（凹部） １７４：第３乾燥室（凹部） １８８：貫通穴（噴出口） １９４：貫通穴（噴出口） ２００：制御装置 ２１０：吸着ノズル ２１２：フランジ部 ２１４：吸着管（ノズル） ２３０：吸着ノズル ２３２：フランジ部 ２３４：吸着管（ノズル）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】