特許 7263633 配線装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-14

(45)【発行日】2023-04-24

(54)【発明の名称】配線装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20230417BHJP

【ＦＩ】

H01L21/60 301J

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2022570553

(86)(22)【出願日】2022-06-10

(86)【国際出願番号】 JP2022023469

【審査請求日】2023-02-06

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000124959

【氏名又は名称】株式会社カイジョー

(74)【代理人】

【識別番号】100110858

【弁理士】

【氏名又は名称】柳瀬 睦肇

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 晃一

(72)【発明者】

【氏名】松岡 墾基

【審査官】河合 俊英

(56)【参考文献】

【文献】特開平１０－３０８４０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２５６２９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－２１４６４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５９－１１２６３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１３／０２９９９８３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１８－１０７１９５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に設けられた穴と、前記穴から所定距離離れた前記基板上の接続点とをワイヤ又は被覆線により布線する配線装置であって、
前記ワイヤ又は前記被覆線を繰り出すキャピラリと、
前記ワイヤ又は前記被覆線を吸着する吸着口を備えたワイヤガイドと、
前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを保持するホーンと、
前記キャピラリから繰り出された前記ワイヤ又は前記被覆線に前記吸着口を近づける方向及び遠ざける方向に前記ワイヤガイドを移動させるワイヤガイド移動機構と、
を有することを特徴とする配線装置。

【請求項2】

前記ワイヤガイドは溝を有しており、前記吸着口は前記溝の内面に設けられており、
前記溝の内面の断面は、Ｖ字形状又はＵ字形状を有することを特徴とする請求項１に記載の配線装置。

【請求項3】

前記ホーンに保持された前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを昇降させる昇降機構と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、前記キャピラリから繰り出された前記ワイヤ又は前記被覆線を前記ワイヤガイドの前記吸着口に吸着させ、前記昇降機構により前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを下降させることにより前記穴に前記ワイヤ又は前記被覆線を挿入するように制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の配線装置。

【請求項4】

前記制御部は、前記穴に前記ワイヤ又は前記被覆線が挿入された後、前記吸着口から前記ワイヤ又は前記被覆線の吸着を外し、前記昇降機構により前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを上昇させ、前記ワイヤガイド移動機構により前記ワイヤ又は前記被覆線を前記吸着口から遠ざける方向に前記ワイヤガイドを移動させるように制御することを特徴とする請求項３に記載の配線装置。

【請求項5】

前記基板を載置するＸＹステージを有し、
前記ＸＹステージをＸ方向に移動させるＸ軸移動機構を有し、
前記ＸＹステージをＹ方向に移動させるＹ軸移動機構を有し、
前記接続点が電極であり、前記キャピラリから繰り出された前記ワイヤ又は前記被覆線が前記電極にボンディングされることを特徴とする請求項１又は２に記載の配線装置。

【請求項6】

前記昇降機構は、昇降可能なスライド部材を有し、
前記ホーンは、接続部材を介して前記スライド部材に取り付けられており、
前記ワイヤガイド移動機構は、前記スライド部材に取り付けられていることを特徴とする請求項３に記載の配線装置。

【請求項7】

前記ワイヤガイド移動機構は、前記吸着口に吸着された前記ワイヤ又は前記被覆線の軸心と、前記ホーンの軸心とが含まれる面内で前記ワイヤガイドを移動させる機構であることを特徴とする請求項１又は２に記載の配線装置。

【請求項8】

前記ワイヤガイド移動機構は、前記ワイヤガイドに取り付けられた回転軸と、前記回転軸を回転させる回転機構と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の配線装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、配線装置に関する。

【背景技術】

【0002】

基板に設けられた複数の穴が並んだ列が２列以上あり、それら複数の穴の一つに超音波ホーンに保持されたキャピラリの先端から繰り出されたワイヤ又は被覆線を通し、そのワイヤ又は被覆線を基板下に引き込み、被覆線を繰り出しながらキャピラリを上昇させ、基板が水平移動し、キャピラリを下降させることで、ワイヤ又は被覆線の他端を基板に接合する。その後、そのワイヤ又は被覆線を切断し、キャピラリを上昇させ、基板を水平移動させてキャピラリを上記の複数の穴の一つの上方に位置させ、キャピラリを下降させつつキャピラリの先端から繰り出されたワイヤ又は被覆線を穴に通し、そのワイヤ又は被覆線を基板下に引き込み、上記と同様の操作をすることで、ワイヤ又は被覆線の他端を基板に接合する。これらを繰り返すことで、複数の穴が並んだ２列以上の各々の穴にワイヤ又は被覆線を通し、その各々のワイヤ又は被覆線の他端を基板に接合する。このようにして配線が組み立てられる。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

ところで、上述したようにワイヤ又は被覆線の他端を基板に接合しているが、図９に示すように基板１６に設けられた２列以上の穴１７から所定距離離れた基板１７上に基板ベース（ある程度厚みのある土台）１８が配置され、その基板ベース１８上に設けられた電極（図示せず）が上記のワイヤ又は被覆線の他端に相当するような基板がある。

【0004】

このような基板１６の場合、図９に示すように超音波ホーン２２と基板ベース１８が干渉するため、キャピラリ２１の先端と基板１６を十分に近づけることができない状態で、キャピラリ２１の先端から繰り出されたワイヤ１１又は被覆線を複数の穴１７の一つに挿入することになる。そのため、ワイヤ１１又は被覆線の挿入時に基板１６の穴１７とワイヤ１１又は被覆線との間に抵抗がある場合、ワイヤ１１又は被覆線が曲がって穴１７へ挿入されることがある（図９参照）。

【0005】

また、図１０に示すように、ワイヤ１１又は被覆線の挿入時にワイヤ１１又は被覆線の先端が装置の振動や周囲の気流の流れ等で揺れることがあるため、ワイヤ１１又は被覆線が穴１７に入らないこともある。

【0006】

上述したようなワイヤ１１又は被覆線の穴１７への挿入の失敗を防止することが必要である。

【0007】

本発明の一態様は、ワイヤ又は被覆線を基板に設けられた穴に精度よく挿入できる配線装置を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

以下に本発明の種々の態様について説明する。
［１］基板に設けられた穴と、前記穴から所定距離離れた前記基板上の接続点とをワイヤ又は被覆線により布線する配線装置であって、
前記ワイヤ又は前記被覆線を繰り出すキャピラリと、
前記ワイヤ又は前記被覆線を吸着する吸着口を備えたワイヤガイドと、
前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを保持するホーンと、
前記キャピラリから繰り出された前記ワイヤ又は前記被覆線に前記吸着口を近づける方向及び遠ざける方向に前記ワイヤガイドを移動させるワイヤガイド移動機と、
を有することを特徴とする配線装置。

【0009】

［２］前記ワイヤガイドは溝を有しており、前記吸着口は前記溝の内面に設けられており、
前記溝の内面の断面は、Ｖ字形状又はＵ字形状を有することを特徴とする上記［１］に記載の配線装置。

【0010】

［３］前記ホーンに保持された前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを昇降させる昇降機構と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、前記キャピラリから繰り出された前記ワイヤ又は前記被覆線を前記ワイヤガイドの前記吸着口に吸着させ、前記昇降機構により前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを下降させることにより前記穴に前記ワイヤ又は前記被覆線を挿入するように制御することを特徴とする上記［１］又は［２］に記載の配線装置。

【0011】

［４］前記制御部は、前記穴に前記ワイヤ又は前記被覆線が挿入された後、前記吸着口から前記ワイヤ又は前記被覆線の吸着を外し、前記昇降機構により前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを上昇させ、前記ワイヤガイド移動機構により前記ワイヤ又は前記被覆線を前記吸着口から遠ざける方向に前記ワイヤガイドを移動させるように制御することを特徴とする上記［３］に記載の配線装置。

【0012】

［５］前記基板を載置するＸＹステージを有し、
前記ＸＹステージをＸ方向に移動させるＸ軸移動機構を有し、
前記ＸＹステージをＹ方向に移動させるＹ軸移動機構を有し、
前記接続点が電極であり、前記キャピラリから繰り出された前記ワイヤ又は前記被覆線が前記電極にボンディングされることを特徴とする上記［１］又は［２］に記載の配線装置。

【0013】

［６］前記昇降機構は、昇降可能なスライド部材を有し、
前記ホーンは、接続部材を介して前記スライド部材に取り付けられており、
前記ワイヤガイド移動機構は、前記スライド部材に取り付けられていることを特徴とする上記［３］に記載の配線装置。

【0014】

［７］前記ワイヤガイド移動機構は、前記吸着口に吸着された前記ワイヤ又は前記被覆線の軸心と、前記ホーンの軸心とが含まれる面内で前記ワイヤガイドを移動させる機構であることを特徴とする上記［１］又は［２］に記載の配線装置。

【0015】

［８］前記ワイヤガイド移動機構は、前記ワイヤガイドに取り付けられた回転軸と、前記回転軸を回転させる回転機構と、を有することを特徴とする上記［１］又は［２］に記載の配線装置。

【発明の効果】

【0016】

本発明の種々の態様によれば、ワイヤ又は被覆線を基板に設けられた穴に精度よく挿入できる配線装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一態様に係る真空吸着ワイヤガイドを備えた配線装置を説明するための断面図である。

【図2】図１に示す配線装置の全体を模式的に示す斜視図である。

【図3】図１に示す配線装置の全体を図２とは異なる方向から視た斜視図及び真空吸着ワイヤガイドの一部を拡大した斜視図である。

【図4】（Ａ）～（Ｄ）は、ワイヤ１１又は被覆線の布線方法を説明するための断面図である。

【図5】（Ａ）～（Ｄ）は、ワイヤ１１又は被覆線の布線方法を説明するための断面図である。

【図6】基板の複数の穴のそれぞれと、基板上に配置された基板ベース上に設けられた複数の接続点のそれぞれとをワイヤ又は被覆線により布線する様子を示す斜視図である。

【図7】基板の複数の穴のそれぞれと、基板上に配置された基板ベース上に設けられた複数の接続点のそれぞれとをワイヤ又は被覆線により布線する様子を示す斜視図である。

【図8】（Ａ）は、図６及び図７に示す配線装置を除いた基板１６、基板ベース１８及び基板３９を示す上面図、（Ｂ）は、（Ａ）の断面図である。

【図9】基板に設けられた穴にワイヤ又は被覆線を挿入するのに失敗した例を示す断面図である。

【図10】基板に設けられた穴にワイヤ又は被覆線を挿入するのに失敗する例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。

【0019】

図１は、本発明の一態様に係る真空吸着ワイヤガイドを備えた配線装置を説明するための断面図である。図２は、図１に示す配線装置の全体を模式的に示す斜視図である。図３は、図１に示す配線装置の全体を図２とは異なる方向から視た斜視図及び真空吸着ワイヤガイドの一部を拡大した斜視図である。

【0020】

＜真空吸着ワイヤガイド１０＞
まず真空吸着ワイヤガイド１０について説明する。
図１に示すように、真空吸着ワイヤガイド１０は、ワイヤ１１（被覆線であってもよい）をガイドするものである。図３に示すように、真空吸着ワイヤガイド１０はワイヤガイド１２を有し、このワイヤガイド１２は溝１２ａを有し、溝１２ａの内面１２ｂには第１の吸着口１３ａ、第２の吸着口１３ｂ及び第３の吸着口１３ｃが設けられている。第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃはワイヤ１１又は被覆線を真空吸着する吸着口である。
溝の断面は、Ｖ字形状又はＵ字形状を有することが好ましい。この場合は、溝１２ａの底部に第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃを設けることが好ましい。

【0021】

図１に示すように、第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃは排気経路１４と接続されており、この排気経路１４はワイヤガイド１２の内部に設けられている。排気経路１４は真空排気機構１５に接続されている。つまり、第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃは、排気経路１４を介して真空排気機構１５に接続されており、真空排気機構１５によって排気経路１４を排気することで第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃにワイヤ１１又は被覆線が吸着される。なお、真空排気機構１５は、例えば真空ポンプ等によって構成されている。

【0022】

本実施形態による真空吸着ワイヤガイド１０によれば、溝１２ａの内面１２ｂに第１の吸着口１３ａ、第２の吸着口１３ｂ及び第３の吸着口１３ｃを設け、第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃにワイヤ１１又は被覆線を吸着する。そのため、ワイヤ１１又は被覆線を位置精度よく確実に固定することができる。
また、溝１２ａの断面形状をＶ字形状又はＵ字形状とし、溝１２ａの底部に第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃを設けることで、溝１２ａの底部にワイヤ１１をより位置精度よく固定することが可能となる。

【0023】

＜配線装置＞
図１に示すように、配線装置１００は、基板１６に設けられた穴１７と、この穴１７から所定距離離れた基板１６上の接続点１９（図５（Ｃ），（Ｄ）参照）とをワイヤ１１又は被覆線により布線する装置である。詳細には、接続点１９は、基板１６上に配置された基板ベース１８上に設けられている。

【0024】

詳細には、図１～図３に示すように、配線装置１００は前述した真空吸着ワイヤガイド１０を備えている。また配線装置１００は、ワイヤ１１又は被覆線を繰り出すキャピラリ２１を有し、このキャピラリ２１は超音波ホーン２２に保持されている。また、配線装置１００は、キャピラリ２１から繰り出されたワイヤ１１又は被覆線に第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃを近づける方向６１及び遠ざける方向６２にワイヤガイド１２を移動させる図２及び図３に示すワイヤガイド移動機構３０を有している（図４（Ａ）及び図５（Ｂ）参照）。また配線装置１００は、超音波ホーン２２に保持されたキャピラリ２１及びワイヤガイド１２を昇降させる昇降機構（Ｚ軸移動機構）４０を有している。

【0025】

図１に示すように、配線装置１００は、基板１６を載置するＸＹステージ２６を有している。ＸＹステージ２６をＸ方向２７に移動させるＸ軸移動機構２９を有する。また、配線装置１００は、ＸＹステージ２６をＹ方向２８に移動させるＹ軸移動機構３３を有する。

【0026】

図２に示すように、配線装置１００は制御部５０を有している。この制御部５０は、図１に示す真空排気機構１５のオン・オフ、キャピラリ２１、超音波ホーン２２、図２に示すワイヤガイド移動機構３０、Ｚ軸移動機構４０、図１に示すＸ軸移動機構２９及びＹ軸移動機構３３を制御するものである。

【0027】

図１及び図３に示すように、ワイヤガイド移動機構３０は、第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃに真空吸着されたワイヤ１１又は被覆線の長手方向に対する平行面と、超音波ホーン２２の長手方向に対する平行面とが重なる面７０内でワイヤガイド１２を移動させる機構である（図５（Ａ）、（Ｂ）参照）。別言すれば、ワイヤガイド移動機構３０は、第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃに真空吸着されたワイヤ１１又は被覆線の軸心と、超音波ホーン２２の軸心とが含まれる面７０内でワイヤガイド１２を移動させる機構である。

【0028】

また、図２及び図３に示すように、Ｚ軸移動機構４０は、昇降可能なスライド部材４１を有している。このスライド部材４１にはワイヤガイド移動機構３０が取り付けられている。

【0029】

詳細に説明すると、ワイヤガイド移動機構３０は回転機構３２を有しており、この回転機構３２は例えばモーターやロータリーアクチュエータ等を用いることができる。回転機構３２は回転軸３１を回転させるものであり、回転軸３１はワイヤガイド１２に取り付けられている。スライド部材４１には、接続部材４２を介して超音波ホーン２２が取り付けられているとともに回転機構３２が取り付けられている。これにより、スライド部材４１が矢印４３のように昇降することで、キャピラリ２１が取り付けられた超音波ホーン２２及びワイヤガイド１２を昇降させることが可能となる。なお、スライド部材４１と接続部材４２は一体的に形成されていてもよい。

【0030】

上記の図２に示す制御部５０は、キャピラリ２１から繰り出されたワイヤ１１又は被覆線をワイヤガイド１２の第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃに真空吸着させ、Ｚ軸移動機構４０によりキャピラリ２１及びワイヤガイド１２を下降させることにより穴１７にワイヤ１１又は被覆線を挿入するように制御してもよい。

【0031】

また、制御部５０は、穴１７にワイヤ１１又は被覆線が挿入された後、第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃからワイヤ１１又は被覆線の真空吸着を外し、Ｚ軸移動機構４０によりキャピラリ２１及びワイヤガイド１２を上昇させ、ワイヤガイド移動機構３０によりワイヤ１１又は被覆線を第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃから遠ざける方向６２にワイヤガイド１２を移動させるように制御してもよい。

【0032】

＜ワイヤ１１又は被覆線の布線方法＞
図４（Ａ）～（Ｄ）及び図５（Ａ）～（Ｄ）は、ワイヤ１１又は被覆線の布線方法を説明するための断面図である。

【0033】

まず、図４（Ａ）に示すように、ワイヤガイド１２を矢印６１のように移動させることで、ワイヤガイド１２の第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃをワイヤ１１又は被覆線を固定する位置に移動させる。

【0034】

次に、図４（Ｂ）に示すように、キャピラリ２１からワイヤ１１又は被覆線を繰り出し、その後にワイヤガイド１２の排気経路１４に接続された図１に示す真空排気機構１５をオンすることで、第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃにワイヤ１１又は被覆線を真空吸着して固定する。

【0035】

次いで、図４（Ｃ）に示すように、ワイヤ１１又は被覆線をワイヤガイド１２に固定した状態で、図２及び図３に示すＺ軸移動機構４０によりワイヤガイド１２、キャピラリ２１及び超音波ホーン２２を下降させ、ワイヤ１１又は被覆線の先端を基板１６の穴１７に挿入し、そのワイヤ又は被覆線を基板１６下に引き込む。

【0036】

次に、図４（Ｄ）に示すように、排気経路１４に接続された図１に示す真空排気機構１５をオフすることで、ワイヤガイド１２の第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃからワイヤ１１又は被覆線の真空吸着を外し、ワイヤガイド１２を仮退避させる。

【0037】

次いで、図５（Ａ）に示すように、キャピラリ２１からワイヤ１１又は被覆線を繰り出しながら図２及び図３に示すＺ軸移動機構４０によりワイヤガイド１２、キャピラリ２１及び超音波ホーン２２を矢印２５の方向に上昇させる。

【0038】

次に、図５（Ｂ）に示すように、ワイヤ１１又は被覆線から第１～第３の吸着口１３ａ～１３ｃを遠ざける方向６２にワイヤガイド１２を移動させることで、ワイヤガイド１２を退避させる。詳細には、図２及び図３に示すワイヤガイド移動機構３０の回転機構３２によって回転軸３１を回転させ、ワイヤガイド１２を退避させる。

【0039】

次いで、図５（Ｃ）に示すように、基板１６をＸ方向２７に移動させる。詳細には、図１に示すＸ軸移動機構２９により基板１６が載置されたＸＹステージ２６をＸ方向２７に移動させることで、基板１６がＸ方向２７に移動される。この際、図５（Ｂ）に示す工程でワイヤガイド１２を退避させているため、ワイヤガイド１２が基板ベース１８に干渉することがない。この後に、ワイヤガイド１２、キャピラリ２１及び超音波ホーン２２を矢印３６のように下降させ、キャピラリ２１先端で基板ベース１８上に設けられた接続点１９にワイヤ１１又は被覆線を布線する。なお、接続点１９が例えば図６に示す電極３７である場合は、その電極３７にワイヤ１１又は被覆線がボンディング接合されてもよい。

【0040】

次に、図５（Ｄ）に示すように、ワイヤ１１又は被覆線がカットされてワイヤガイド１２、キャピラリ２１及び超音波ホーン２２が図２及び図３に示すＺ軸移動機構４０により矢印３８の方向に上昇させる。

【0041】

上記の図４（Ａ）から図５（Ｄ）までの配線装置の動作は図２に示す制御部５０により制御される。

【0042】

また、上記の図４（Ａ）から図５（Ｄ）までの工程を繰り返すことで、図６、図７及び図８に示すような基板１６に複数の列状に設けられた複数の穴１７のそれぞれと、複数の穴１７から所定距離離れた基板１６上に配置された基板ベース１８上に設けられた複数の接続点１９のそれぞれとをワイヤ１１又は被覆線により布線することができる。なお、図５（Ｄ）に示す実施形態では、接続点１９は基板ベース１８上に直接設けられているが、これに限定されるものではなく、図６～図８に示すような接続点１９であってもよい。つまり、接続点１９は、基板ベース１８上に配置された基板３９上の接続点であってもよい。この接続点が電極であってもよい。なお、図８（Ａ）は、図６及び図７に示す配線装置を除いた基板１６、基板ベース１８及び基板３９を示す上面図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）の断面図である。

【0043】

本実施形態によれば、キャピラリ２１から繰り出されたワイヤ１１又は被覆線をワイヤガイド１２により真空吸着して固定した状態で、キャピラリ２１を下降させてワイヤガイド１２によってワイヤ１１又は被覆線をガイドしつつ基板１６の穴１７に挿入する。このため、ワイヤ１１又は被覆線が曲がって穴１７へ挿入されることを防止でき、ワイヤ１１又は被覆線の挿入時にワイヤ１１又は被覆線の先端が揺れることで、ワイヤ１１又は被覆線が穴１７に入らないことを防止できる。従って、ワイヤ１１又は被覆線を基板１６の穴１７に精度よく安定して挿入することが可能となる。

【符号の説明】

【0044】

１０…真空吸着ワイヤガイド
１１…ワイヤ
１２…ワイヤガイド
１２ａ…溝
１２ｂ…内面
１３ａ…第１の吸着口
１３ｂ…第２の吸着口
１３ｃ…第３の吸着口
１４…排気経路
１５…真空排気機構
１６…基板
１７…穴
１８…基板ベース
１９…接続点
２１…キャピラリ
２２…超音波ホーン
２６…ＸＹステージ
２７…Ｘ方向
２８…Ｙ方向
２９…Ｘ軸移動機構
３０…ワイヤガイド移動機構
３１…回転軸
３２…回転機構（モーター）
３３…Ｙ軸移動機構
４０…昇降機構（Ｚ軸移動機構）
４１…スライド部材
４２…接続部材
５０…制御部
１００…配線装置

【要約】

【課題】ワイヤ又は被覆線を基板に設けられた穴に精度よく挿入するために用いる真空吸着ワイヤガイドを提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、基板１６に設けられた穴１７と、前記穴から所定距離離れた前記基板上の接続点とをワイヤ１１又は被覆線により布線する配線装置１００であって、前記ワイヤ又は前記被覆線を繰り出すキャピラリ２１と、前記ワイヤ又は前記被覆線を吸着する吸着口１３ａ～１３ｃを備えたワイヤガイド１２と、前記キャピラリ及び前記ワイヤガイドを保持するホーン２２と、前記キャピラリから繰り出された前記ワイヤ又は前記被覆線に前記吸着口を近づける方向及び遠ざける方向に前記ワイヤガイドを移動させるワイヤガイド移動機を有する配線装置１００である。
【選択図】 図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】