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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-04-17
(45)【発行日】2023-04-25
(54)【発明の名称】ロボット、集塵装置及び集塵方法
(51)【国際特許分類】
B23Q 11/00 20060101AFI20230418BHJP
H05K 3/00 20060101ALI20230418BHJP
B25J 9/02 20060101ALI20230418BHJP
B23C 3/28 20060101ALN20230418BHJP
【ＦＩ】
B23Q11/00 M
H05K3/00 L
B25J9/02 A
B23C3/28
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2019050135
(22)【出願日】2019-03-18
(65)【公開番号】P2020151783
(43)【公開日】2020-09-24
【審査請求日】2022-03-07
(73)【特許権者】
【識別番号】000002244
【氏名又は名称】株式会社ジャノメ
(74)【代理人】
【識別番号】100122426
【弁理士】
【氏名又は名称】加藤 清志
(72)【発明者】
【氏名】小林 明也
【審査官】山本 忠博
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－１６１７０１（ＪＰ，Ａ）
【文献】韓国登録特許第１０－１４４６２１４（ＫＲ，Ｂ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２３Ｑ １１／００；
Ｈ０５Ｋ ３／００；
Ｂ２５Ｊ ９／０２；
Ｂ２３Ｃ ３／２８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ベース本体に配設され、第１軸方向へ被切削体を移動させる第１移動機構と、前記ベース本体に支持部を介して支持され、第１軸方向に対して直交する第２軸方向へ切削体を移動させる第２移動機構と、
前記切削体に対向して配置され、前記切削体を用いた前記被切削体の切削により生じる切削屑を集塵する集塵部と、
前記被切削体に近接する第１位置と前記被切削体から遠隔する第２位置との間において前記集塵部を移動させる集塵部移動機構と、
前記被切削体に対する前記切削体の移動に従動させて、前記切削体と対向する位置に前記集塵部を配置させる従動体と、
を備え、
前記従動体の一端部は、前記集塵部移動機構を支持すると共に前記集塵部移動機構を介して前記集塵部を支持し、
前記従動体の一端部に形成された空洞の内部には、
前記集塵部により集塵された切削屑を外部に排出する集塵ホースと、
前記集塵部を移動させるため、前記集塵部移動機構に接続し、流体を供給する流体供給ホースとが、
配策されているロボット。
【請求項2】
前記集塵部移動機構は、前記切削体による前記被切削体の切削の際に、前記集塵部を前記第１位置へ移動させる
請求項１に記載のロボット。
【請求項3】
前記集塵部移動機構は、前記切削体による前記被切削体の切削の前又は後に、前記集塵部を前記第２位置へ移動させる
請求項１又は請求項２に記載のロボット。
【請求項4】
前記集塵部は、第１軸方向、第２軸方向のそれぞれに対して直交する方向を管軸方向とする管状に形成され、前記切削体には、この切削体を駆動させる駆動源が連結され、
管軸方向から見て、前記集塵部の開口の面積が、前記駆動源の面積に比し小さく、かつ、前記切削体の面積に比し大きい設定とされている
請求項１～請求項３のいずれか１項に記載のロボット。
【請求項5】
前記集塵部移動機構は、前記集塵部に接続され、第１軸方向、第２軸方向のそれぞれに対して直交する第３軸方向に沿って前記集塵部を往復移動させるアクチュエータにより構成されている
請求項１～請求項４のいずれか１項に記載のロボット。
【請求項6】
前記集塵部は、第３軸方向において前記切削体よりも下側に配設されている請求項５に記載のロボット。
【請求項7】
前記従動体の中間部は、前記被切削体を迂回する形状に形成されている請求項１に記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ロボット、集塵装置及び集塵方法に関する。
【背景技術】
【0002】
下記特許文献１には、プリント基板分割装置が開示されている。このプリント基板分割装置では、プリント基板を保持する受け治具部にプリント基板と並行な平板が配置されている。プリント基板と平板とにより形成される隙間の片面にはエア吹出口が設けられ、エア吹出口と対向する他の片面の近辺には平板にエア吸引口が穿設されている。
このように構成されるプリント基板分割装置では、エアの吹出しとエアの吸引とが同時に行われ、プリント基板を切断する際に発生する切粉を効果的に除去することができる。さらに、プリント基板の受け治具部への保持力を十分に確保することができる。
このように構成されるプリント基板分割装置では、エアの吹出しとエアの吸引とが同時に行われ、プリント基板を切断する際に発生する切粉を効果的に除去することができる。さらに、プリント基板の受け治具部への保持力を十分に確保することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００２－３６１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記プリント基板分割装置では、プリント基板の平面サイズに匹敵するサイズを有する平板が少なくとも含まれるので、切粉の集塵のための装置構成が大型になる。産業用ロボットとして、例えば卓上ロボットにプリント基板分割装置が装着される場合には、卓上ロボットを含む、全体のシステムが大型化されてしまう。このため、改善の余地があった。
【0005】
本発明は、上記事実を考慮し、集塵効率を向上させることができ、かつ、小型化を実現することができるロボット、集塵装置及び集塵方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するため、本発明の第１実施態様に係るロボットは、ベース本体に配設され、第１軸方向へ被切削体を移動させる第１移動機構と、ベース本体に支持部を介して支持され、第１軸方向に対して直交する第２軸方向へ切削体を移動させる第２移動機構と、切削体に対向して配置され、切削体を用いた被切削体の切削により生じる切削屑を集塵する集塵部と、被切削体に近接する第１位置と被切削体から遠隔する第２位置との間において集塵部を移動させる集塵部移動機構と、前記被切削体に対する前記切削体の移動に従動させて、前記切削体と対向する位置に前記集塵部を配置させる従動体と、を備え、前記従動体の一端部は、前記集塵部移動機構を支持すると共に前記集塵部移動機構を介して前記集塵部を支持し、前記従動体の一端部に形成された空洞の内部には、前記集塵部により集塵された切削屑を外部に排出する集塵ホースと、前記集塵部を移動させるため、前記集塵部移動機構に接続し、流体を供給する流体供給ホースとが、配策されている。
【0007】
本発明の第２実施態様に係るロボットでは、第１実施態様に係るロボットにおいて、集塵部移動機構は、切削体による被切削体の切削の際に、集塵部を第１位置へ移動させる。
【0008】
本発明の第３実施態様に係るロボットでは、第１実施態様又は第２実施態様に係るロボットにおいて、集塵部移動機構は、切削体による被切削体の切削の前又は後に、集塵部を第２位置へ移動させる。
【0009】
本発明の第４実施態様に係るロボットでは、第１実施態様～第３実施の形態のいずれか１つに係るロボットにおいて、集塵部は、第１軸方向、第２軸方向のそれぞれに対して直交する方向を管軸方向とする管状に形成され、切削体には、この切削体を駆動させる駆動源が連結され、管軸方向から見て、集塵部の開口の面積が、駆動源の面積に比し小さく、かつ、切削体の面積に比し大きい設定とされている。
【0010】
本発明の第５実施態様に係るロボットでは、第１実施態様～第４実施態様のいずれか１つに係るロボットにおいて、集塵部移動機構は、集塵部に接続され、第１軸方向、第２軸方向のそれぞれに対して直交する第３軸方向に沿って集塵部を往復移動させるアクチュエータにより構成されている。
【0011】
本発明の第６実施態様に係るロボットでは、第５実施態様に係るロボットにおいて、集塵部は、第３軸方向において切削体よりも下側に配設されている。
【0014】
本発明の第７実施態様に係るロボットでは、第１実施態様に係るロボットにおいて、従動体の中間部は、被切削体を迂回させる形状に形成されている。
【発明の効果】
【0020】
本発明によれば、集塵効率を向上させることができ、かつ、小型化を実現することができるロボット、集塵装置及び集塵方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明の一実施の形態に係るロボットの全体構成並びに集塵装置の主要部の構成を正面側の右斜め上方から見た正面斜視図である。
【図9】（Ａ）は本実施の形態に係る集塵装置の集塵部と被切削体とのクリアランスと集塵効率との関係を示す表図であり、（Ｂ）は（Ａ）の表図に示される関係から作成したグラフである。
【図10】（Ａ）は本実施の形態に係る集塵装置の集塵部の吸込み口径と集塵効率との関係を示す表図であり、（Ｂ）は（Ａ）の表図に示される関係から作成したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、図１～図１０を用いて、本発明の一実施の形態に係るロボット、集塵装置及び集塵方法について説明する。
ここで、図中、適宜示されている矢印Ｘは三次元座標のＸ軸方向を示し、矢印ＹはＹ軸方向を示し、矢印ＺはＺ軸方向を示している。Ｙ軸方向は水平面においてＸ軸方向に対して直交し、Ｚ軸方向はＸ軸方向及びＹ軸方向に対して直交している。なお、これらの各方向は、実施の形態を説明するために便宜的に使用される方向であって、本発明における方向を限定するものではない。
ここで、図中、適宜示されている矢印Ｘは三次元座標のＸ軸方向を示し、矢印ＹはＹ軸方向を示し、矢印ＺはＺ軸方向を示している。Ｙ軸方向は水平面においてＸ軸方向に対して直交し、Ｚ軸方向はＸ軸方向及びＹ軸方向に対して直交している。なお、これらの各方向は、実施の形態を説明するために便宜的に使用される方向であって、本発明における方向を限定するものではない。
【0023】
（ロボット１及び集塵装置７の全体構成）
図１に示されるように、本実施の形態に係るロボット１は、３軸仕様であって、基板分割仕様の卓上ロボットとして構成されている。つまり、ロボット１は、第１軸方向としてのＸ軸方向へ移動する第１移動機構３と、第２軸方向としてのＹ軸方向へ移動する第２移動機構４と、第３軸方向としてのＺ軸方向へ移動する第３移動機構５とを備えている。第１移動機構３、第２移動機構４及び第３移動機構５はベース本体２に配設されている。
そして、ロボット１には集塵装置７が配設されている。この集塵装置７は、ロボット１に組付けられ、固定されている。
以下、各構成要素について詳述する。
図１に示されるように、本実施の形態に係るロボット１は、３軸仕様であって、基板分割仕様の卓上ロボットとして構成されている。つまり、ロボット１は、第１軸方向としてのＸ軸方向へ移動する第１移動機構３と、第２軸方向としてのＹ軸方向へ移動する第２移動機構４と、第３軸方向としてのＺ軸方向へ移動する第３移動機構５とを備えている。第１移動機構３、第２移動機構４及び第３移動機構５はベース本体２に配設されている。
そして、ロボット１には集塵装置７が配設されている。この集塵装置７は、ロボット１に組付けられ、固定されている。
以下、各構成要素について詳述する。
【0024】
（ロボット１の構成）
（１）ベース本体２の構成
図１及び図２に示されるように、ロボット１のベース本体２は、平面視において、Ｘ軸方向の長さに対してＹ軸方向の長さを同一か、或いは略同一に設定し、Ｚ軸方向を厚さ方向（ここでは高さ方向）とする矩形直方体状の筐体２１により構成されている。筐体２１の上面は平坦な水平面を有するベース面２１Ａとして形成されている。
ここで、図２において、ベース本体２の左側は、操作者がワーク作業を実施するために操作等を行う、ロボット１の正面側とされる。一方、ベース本体２の右側は、ロボット１の背面側とされる。
（１）ベース本体２の構成
図１及び図２に示されるように、ロボット１のベース本体２は、平面視において、Ｘ軸方向の長さに対してＹ軸方向の長さを同一か、或いは略同一に設定し、Ｚ軸方向を厚さ方向（ここでは高さ方向）とする矩形直方体状の筐体２１により構成されている。筐体２１の上面は平坦な水平面を有するベース面２１Ａとして形成されている。
ここで、図２において、ベース本体２の左側は、操作者がワーク作業を実施するために操作等を行う、ロボット１の正面側とされる。一方、ベース本体２の右側は、ロボット１の背面側とされる。
【0025】
図１及び図２に戻って、筐体２１の正面側端部は、ベース面２１Ａから下方向へ斜めに傾斜した操作面２１Ｂと、この操作面２１Ｂの正面側端から下方向へ延設された信号ポート面２１Ｃとを備えている。
操作面２１Ｂには、正面側から見て、右側に操作部２２が配設されている。操作部２２はベース本体２内に配設された図示省略の制御部に接続されている。
信号ポート面２１Ｃには制御部に接続される各種の接続ポートが配設されている。接続ポートとして、ここでは、メモリポート、LAN（Local Area Network）ポート、ティーチングペンダント接続ポート、COM（Communication）ポート等が含まれている。接続ポートは、制御部とロボット１の外部装置とを接続する。
なお、筐体２１の図示省略の背面側にも信号ポート面が配設され、この信号ポート面にはCOMポート、I/Oポート等の各種の接続ポートが配設されている。
操作面２１Ｂには、正面側から見て、右側に操作部２２が配設されている。操作部２２はベース本体２内に配設された図示省略の制御部に接続されている。
信号ポート面２１Ｃには制御部に接続される各種の接続ポートが配設されている。接続ポートとして、ここでは、メモリポート、LAN（Local Area Network）ポート、ティーチングペンダント接続ポート、COM（Communication）ポート等が含まれている。接続ポートは、制御部とロボット１の外部装置とを接続する。
なお、筐体２１の図示省略の背面側にも信号ポート面が配設され、この信号ポート面にはCOMポート、I/Oポート等の各種の接続ポートが配設されている。
【0026】
（２）第１移動機構３の構成
第１移動機構３はベース本体２のベース面２１Ａ上に配設されている。第１移動機構３は、スライドレール３１と、スライダ（Ｘ軸移動体）３２とを含んで構成されている。
スライドレール３１は、ベース面２１ＡのＹ軸方向中間部において、ベース面２１Ａ上にベース面２１Ａから突出して配設され、Ｘ軸方向を長手方向として延設されている。このスライドレール３１はベース面２１Ａに固定された構造体として形成されている。
第１移動機構３はベース本体２のベース面２１Ａ上に配設されている。第１移動機構３は、スライドレール３１と、スライダ（Ｘ軸移動体）３２とを含んで構成されている。
スライドレール３１は、ベース面２１ＡのＹ軸方向中間部において、ベース面２１Ａ上にベース面２１Ａから突出して配設され、Ｘ軸方向を長手方向として延設されている。このスライドレール３１はベース面２１Ａに固定された構造体として形成されている。
【0027】
スライダ３２は、スライドレール３１の上面及びスライドレール３１の両側面に沿って形成され、スライドレール３１に摺動自在に配設されている。つまり、スライダ３２は、スライドレール３１の長手方向に沿って、Ｘ軸方向を正方向及び逆方向へ往復移動する構成とされている。スライダ３２は、スライドレール３１下又は筐体２１内に設けられた図示省略の電動モータと、電動モータの回転によりスライダ３２を移動させる図示省略のベルト機構とを組み合わせた移動機構により高速移動を可能とする構成とされている。
【0028】
図２に示されるように、ロボット１においてワーク作業が実施される被切削体８は、図示省略の保持用治具を介在させてスライダ３２に保持される。つまり、第１移動機構３はＸ軸方向へ被切削体８を移動させる構成とされている。
ここで、詳細な構成の説明は省略するが、被切削体８として、例えばプリント回路基板（PCB：Print Circuit Board）が使用されている。プリント回路基板は、ガラスエポキシ系樹脂基板を絶縁基板として用い、この絶縁基板に回路間を接続する銅配線を形成している。そして、このプリント回路基板には、集積回路、抵抗、容量等の電子部品が実装されている。
被切削体８としてのプリント回路基板には同一機能を有する複数のプリント回路基板が繰り返しパターンとして形成され、ロボット１では、被切削体８を切削により分割し、細分化するワーク作業が実施される。これにより、被切削体８から複数の細分化されたプリント回路基板を製作することができる。
また、ロボット１では、被切削体８の細分化、つまり基板分割だけに限らず、直線カット、曲線カット、直角カット、コーナの面取り等の切削作業を被切削体８に実施することができる。
ここで、詳細な構成の説明は省略するが、被切削体８として、例えばプリント回路基板（PCB：Print Circuit Board）が使用されている。プリント回路基板は、ガラスエポキシ系樹脂基板を絶縁基板として用い、この絶縁基板に回路間を接続する銅配線を形成している。そして、このプリント回路基板には、集積回路、抵抗、容量等の電子部品が実装されている。
被切削体８としてのプリント回路基板には同一機能を有する複数のプリント回路基板が繰り返しパターンとして形成され、ロボット１では、被切削体８を切削により分割し、細分化するワーク作業が実施される。これにより、被切削体８から複数の細分化されたプリント回路基板を製作することができる。
また、ロボット１では、被切削体８の細分化、つまり基板分割だけに限らず、直線カット、曲線カット、直角カット、コーナの面取り等の切削作業を被切削体８に実施することができる。
【0029】
（３）第２移動機構４の構成
図１及び図２に示されるように、第２移動機構４は、ベース本体２のベース面２１Ａの上方であって、第１移動機構３の上方に配設されている。詳しく説明すると、第２移動機構４は、一対の支持部４１及び支持部４２と、スライドレール（水平アーム）４３と、スライダ（Ｙ軸移動体）４４とを含んで構成されている。
図１及び図２に示されるように、第２移動機構４は、ベース本体２のベース面２１Ａの上方であって、第１移動機構３の上方に配設されている。詳しく説明すると、第２移動機構４は、一対の支持部４１及び支持部４２と、スライドレール（水平アーム）４３と、スライダ（Ｙ軸移動体）４４とを含んで構成されている。
【0030】
一対のうちの一方の支持部４１は、正面側から見て、ベース本体２の筐体２１の左側面において背面側端部に配設され、ベース本体２からＺ軸方向上方側へ向かって立設された矩形柱形状に形成されている。他方の支持部４２は、筐体２１の右側面において背面側端部に配設され、支持部４１と同様に、ベース本体２からＺ軸方向上方側へ向かって立設された矩形柱形状に形成されている。
スライドレール４３は、Ｙ軸方向を長手方向として延設された矩形柱形状に形成され、一対の一方の支持部４１から他方の支持部４２へ架設されている。つまり、スライドレール４３の一端部は支持部４１の上端部に接続され、スライドレール４３の他端部は支持部４２の上端部に接続されている。
スライドレール４３は、Ｙ軸方向を長手方向として延設された矩形柱形状に形成され、一対の一方の支持部４１から他方の支持部４２へ架設されている。つまり、スライドレール４３の一端部は支持部４１の上端部に接続され、スライドレール４３の他端部は支持部４２の上端部に接続されている。
【0031】
左右一対の支持部４１及び支持部４２と、支持部４１の上端部から支持部４２の上端部へ架設されたスライドレール４３とにより組み立てられた構造は、正面側から見て、ベース本体２側となる下側が解放され、上側が連結されて形成されている。スライドレール４３の下端面が第３移動機構５の下方向への移動開始位置とすれば、第３移動機構５のＺ軸方向の移動量（ストローク）に相当する分、少なくともスライドレール４３の下端面はスライダ３２からＺ軸方向へ離間された位置に配置されている。
【0032】
スライダ４４は、スライドレール４３の正面側の側面及び上面に沿って形成され、スライドレール４３に沿って摺動自在に配設されている。つまり、スライダ４４は、スライドレール４３の長手方向に沿って、Ｙ軸方向を正方向及び逆方向へ往復移動する構成とされている。スライダ４４は、スライドレール４３内に設けられた図示省略の電動モータと、電動モータの回転によりスライダ４４を移動させるベルト機構とを組み合わせた移動機構により高速移動を可能とする構成とされている。スライダ４４は、第３移動機構５を内部に備えるので、Ｚ軸方向を長手方向とする矩形柱形状に形成されている。
このように構成される第２移動機構４では、スライドレール４３が、ベース本体２に一対の支持部４１及び支持部４２を介して両端支持梁構造により支持されている。さらに、第２移動機構４は、第１移動機構３とは独立に、かつ、分離してベース本体２に配設されている。
このように構成される第２移動機構４では、スライドレール４３が、ベース本体２に一対の支持部４１及び支持部４２を介して両端支持梁構造により支持されている。さらに、第２移動機構４は、第１移動機構３とは独立に、かつ、分離してベース本体２に配設されている。
【0033】
図１に示されるように、スライダ４４の上端部にはケーブルベア（登録商標）４５の一端部が連結されている。ケーブルベア４５の他端部はスライドレール４３上においてＹ軸方向へ向かって延設されている。詳細な構造は省略するが、ケーブルベア４５には、制御部と第２移動機構４、第３移動機構５のそれぞれとを接続する信号配線、図示省略の電源回路と第２移動機構４、第３移動機構５のそれぞれとを接続する電源配線が配策されている。
【0034】
（４）第３移動機構５の構成
第３移動機構５は、第２移動機構４のスライダ４４の内部に配設されている。第３移動機構５は、スライダ４４の内部に配設された図示省略のスライドレールと、スライダ（Ｚ軸移動体）５１とを含んで構成されている。スライダ５１は、スライドレールに沿って摺動自在に配設され、Ｚ軸方向を正方向及び逆方向へ往復移動する構成とされている。つまり、スライダ５１は、上下方向へ昇降する構成とされている。
第３移動機構５は、第２移動機構４のスライダ４４の内部に配設されている。第３移動機構５は、スライダ４４の内部に配設された図示省略のスライドレールと、スライダ（Ｚ軸移動体）５１とを含んで構成されている。スライダ５１は、スライドレールに沿って摺動自在に配設され、Ｚ軸方向を正方向及び逆方向へ往復移動する構成とされている。つまり、スライダ５１は、上下方向へ昇降する構成とされている。
【0035】
（５）切削体６の構成
第３移動機構５には、ワーク作業を実施するツールとして、被切削体８を細分化する切削体６が装着されている。切削体６はスライダ５１の下部に装着されている。
本実施の形態において、切削体６には切削工具としてのルータビット（Router bits）が使用されている。さらに詳しく説明すると、ここでは、Ｚ軸方向に延設された円柱形状の円周面にＺ軸方向へ刃先が形成されたストレートタイプのルータビットが使用されている。切削体６には、図示省略のコレットチャックを介在させて、切削体６を回転駆動させる駆動源６２が連結されている。駆動源６２としてはルータ（Router）が使用され、ルータは、Ｚ軸方向と平行な方向を軸方向とする電動モータの回転軸を回転させることによって切削体６を回転させる。
切削体６は駆動源６２を介在させて保持部６１に保持され、切削体６及び駆動源６２は保持部６１を介在させてスライダ５１に装着されている。
第３移動機構５には、ワーク作業を実施するツールとして、被切削体８を細分化する切削体６が装着されている。切削体６はスライダ５１の下部に装着されている。
本実施の形態において、切削体６には切削工具としてのルータビット（Router bits）が使用されている。さらに詳しく説明すると、ここでは、Ｚ軸方向に延設された円柱形状の円周面にＺ軸方向へ刃先が形成されたストレートタイプのルータビットが使用されている。切削体６には、図示省略のコレットチャックを介在させて、切削体６を回転駆動させる駆動源６２が連結されている。駆動源６２としてはルータ（Router）が使用され、ルータは、Ｚ軸方向と平行な方向を軸方向とする電動モータの回転軸を回転させることによって切削体６を回転させる。
切削体６は駆動源６２を介在させて保持部６１に保持され、切削体６及び駆動源６２は保持部６１を介在させてスライダ５１に装着されている。
【0036】
なお、切削体６は、ルータビットに限定されるものではなく、被切削体８のワーク作業の内容に対応してドリル、バイト等の切削工具であってもよい。例えば、切削体６としてドリルが使用される場合、ワーク作業の内容として穿孔作業を被切削体８に実施することができる。また、切削体６としてバイトが使用される場合、ワーク作業の内容として溝堀り作業を被切削体８に実施することができる。
さらに、切削体６だけではなく、被切削体８はプリント回路基板に限定されるものではない。例えば、被切削体８は、絶縁体としての紙にフェノール樹脂を浸透させた紙フェノール基板であってもよい。また、被切削体８は、樹脂製や金属製のブロック形状を有するワーク作業材料であってもよい。
さらに、切削体６だけではなく、被切削体８はプリント回路基板に限定されるものではない。例えば、被切削体８は、絶縁体としての紙にフェノール樹脂を浸透させた紙フェノール基板であってもよい。また、被切削体８は、樹脂製や金属製のブロック形状を有するワーク作業材料であってもよい。
【0037】
本実施の形態では、切削体６（及び駆動源６２）は第３移動機構５に装着されているのでＺ軸方向へ移動するが、第３移動機構５が第２移動機構４のスライダ４４に配設されているので、結果的に、第２移動機構４は切削体６をＹ軸方向へ移動させる。
【0038】
（集塵装置７の構成）
図１～図３に示されるように、ロボット１は集塵装置７を備えている。集塵装置７は切削体６を用いた被切削体８の切削屑を集塵する機能を有する。例えば、前述の通り、被切削体８がプリント回路基板の場合、細分化によってガラスエポキシ系樹脂基板の切削屑及び銅配線の切削屑が生じるので、この切削屑が集塵装置７を用いて集塵される。
集塵装置７は、例えば締結部材を用いてロボット１に一体的に組付けて装着されるが、製品出荷時にロボット１に予め装着される形式、製品出荷後にオプションキットとしてロボット１に後付けされる形式のいずれの形式において構成されてもよい。
図１～図３に示されるように、ロボット１は集塵装置７を備えている。集塵装置７は切削体６を用いた被切削体８の切削屑を集塵する機能を有する。例えば、前述の通り、被切削体８がプリント回路基板の場合、細分化によってガラスエポキシ系樹脂基板の切削屑及び銅配線の切削屑が生じるので、この切削屑が集塵装置７を用いて集塵される。
集塵装置７は、例えば締結部材を用いてロボット１に一体的に組付けて装着されるが、製品出荷時にロボット１に予め装着される形式、製品出荷後にオプションキットとしてロボット１に後付けされる形式のいずれの形式において構成されてもよい。
【0039】
集塵装置７は、集塵部７１と、集塵部移動機構７２と、従動体７３とを主要な構成要素として備えている。なお、集塵装置７は、集塵ホースを介在させて、吸引機、フィルタ、集塵回収器等を有する、ロボット１とは別体の図示省略の外部集塵装置に接続される構成とされている。この外部集塵装置の説明は省略する。
以下、集塵装置７の構成要素について詳述する。
以下、集塵装置７の構成要素について詳述する。
【0040】
（１）集塵部７１の構成
図１及び図２に示されるように、集塵部７１は、Ｚ軸方向において、切削体６に対向して切削体６よりも下側に配置され、図２及び図７に示されるように、切削体６に対して被切削体８を介在させて配置されている。すなわち、本実施の形態では、集塵部７１は切削体６の直下に配置されている。
図１～図４、図５及び図７に示されるように、集塵部７１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のそれぞれに対して直交するＺ軸方向を管軸方向とする金属製又は樹脂製の管状に形成されている。集塵部７１は上端の開口から内部７１Ａ（図８参照）へ切削屑を吸引する。
本実施の形態において、集塵部７１は円管状に形成されている。このように構成される集塵部７１では、被切削体８の切削箇所と集塵部７１の上端の開口縁部との距離が、Ｘ軸－Ｙ軸水平面において、どの方向でも一定になるので、集塵効率のばらつきを効果的に抑制することができる。
図１及び図２に示されるように、集塵部７１は、Ｚ軸方向において、切削体６に対向して切削体６よりも下側に配置され、図２及び図７に示されるように、切削体６に対して被切削体８を介在させて配置されている。すなわち、本実施の形態では、集塵部７１は切削体６の直下に配置されている。
図１～図４、図５及び図７に示されるように、集塵部７１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のそれぞれに対して直交するＺ軸方向を管軸方向とする金属製又は樹脂製の管状に形成されている。集塵部７１は上端の開口から内部７１Ａ（図８参照）へ切削屑を吸引する。
本実施の形態において、集塵部７１は円管状に形成されている。このように構成される集塵部７１では、被切削体８の切削箇所と集塵部７１の上端の開口縁部との距離が、Ｘ軸－Ｙ軸水平面において、どの方向でも一定になるので、集塵効率のばらつきを効果的に抑制することができる。
【0041】
図７に示されるように、集塵部７１では、管状の上端開口の開口面積Ａ３が、上端開口と同一平面（便宜的に符号Ｓを付けて一点鎖線により示されるＸ軸－Ｙ軸平面と平行な平面）において投影される駆動源６２の面積Ａ１に比し小さく設定されている。加えて、集塵部７１の開口面積Ａ３が、平面Ｓにおいて投影される切削体６の面積Ａ２に比し大きく設定されている。つまり、集塵部７１の管軸方向から見て、開口面積Ａ３が面積Ａ１に比し小さく、かつ、面積Ａ２に比し大きい設定とされている。言い換えると、側面視において、集塵部７１の開口寸法（直径寸法）は、切削体６の外径寸法（直径寸法）から駆動源６２の外径寸法（直径寸法）までの範囲内に設定される。
本実施の形態では、集塵部７１の開口寸法は、４ｍｍ～８ｍｍ、好ましくは６ｍｍに設定されている。切削体６として、ここでは直径寸法０．６ｍｍ～１．０ｍｍのルータビットが使用されている。従って、被切削体８の全体の平面サイズよりも極めて小さい領域であって、被切削体８の切削箇所よりも若干一回り広い領域において、集塵装置７では、集塵部７１を用いてピンポイントにより切削屑を集塵することができる。
本実施の形態では、集塵部７１の開口寸法は、４ｍｍ～８ｍｍ、好ましくは６ｍｍに設定されている。切削体６として、ここでは直径寸法０．６ｍｍ～１．０ｍｍのルータビットが使用されている。従って、被切削体８の全体の平面サイズよりも極めて小さい領域であって、被切削体８の切削箇所よりも若干一回り広い領域において、集塵装置７では、集塵部７１を用いてピンポイントにより切削屑を集塵することができる。
【0042】
集塵部７１は、図４及び図５に示されるように、金属製又は樹脂製の直方体形状に形成された集塵部ベース７１１に配設されている。集塵部７１は、集塵部ベース７１１の上端から下端へ集塵部ベース７１１の内部を貫通して組付けられている。集塵部７１の上部は集塵部ベース７１１の上面から突出され、集塵部７１の下部は集塵部ベース７１１の下面から突出されている。集塵部７１の下部には継手７１２が装着されている。継手７１２には例えばカプラソケットが使用されている。
また、集塵部ベース７１１には、Ｘ軸方向において、ロボット１の正面側へ突出された連結部７１０が一体に形成されている。この連結部７１０は集塵部移動機構７２との連結に使用されている。
また、集塵部ベース７１１には、Ｘ軸方向において、ロボット１の正面側へ突出された連結部７１０が一体に形成されている。この連結部７１０は集塵部移動機構７２との連結に使用されている。
【0043】
（２）集塵部移動機構７２の構成
集塵部移動機構７２は、図４～図６に示されるように、集塵部７１の連結部７１０の下方に、連結部７１０に連結されて配設されている。この集塵部移動機構７２は、Ｚ軸方向に沿って矢印Ｚ１方向（図６参照）へ、連結部７１０を介在させて集塵部７１を上下方向へ移動させるアクチュエータとして構成されている。
集塵部移動機構７２は、図４～図６に示されるように、集塵部７１の連結部７１０の下方に、連結部７１０に連結されて配設されている。この集塵部移動機構７２は、Ｚ軸方向に沿って矢印Ｚ１方向（図６参照）へ、連結部７１０を介在させて集塵部７１を上下方向へ移動させるアクチュエータとして構成されている。
【0044】
図５及び図６に示されるように、本実施の形態において、集塵部移動機構７２は、ピストンロッド７２Ｐと、シリンダ７２Ｃとを含んで構成されている。ピストンロッド７２ＰはＺ軸方向を軸方向とする円柱形状（丸棒形状）に形成されている。ピストンロッド７２Ｐの上部は連結部７１０に連結されている。ピストンロッド７２Ｐの下部は図示省略のピストンに連結され、このピストンがシリンダ７２Ｃの内部においてＺ軸方向へ摺動可能とされている。ここでは、Ｘ軸方向において、複数本、具体的には３本のピストンロッド７２Ｐが配設されている。
【0045】
一方、シリンダ７２Ｃは直方体形状のブロックとして構成されている。このシリンダ７２Ｃの内部には、ピストンを上下方向へ摺動可能とする円筒形状の内部空間が形成されている（図示省略）。シリンダ７２Ｃの一側面の上部にはピストンの上部において内部空間に繋がる第１流体口７２２Ａが配設され、第１流体口７２２Ａには継手７２３が装着されている。シリンダ７２Ｃの一側面の下部にはピストンの下部において内部空間に繋がる第２流体口７２２Ｂが配設されている。第２流体口７２２Ｂには継手７２４が装着されている。継手７２３、継手７２４のそれぞれには、例えばカプラソケットが使用されている。
第１流体口７２２Ａから流体がシリンダ７２Ｃの内部空間へ流入されると、ピストンが下方へ押下げられ、ピストンロッド７２Ｐが下降する。また、第２流体口７２２Ｂから流体がシリンダ７２Ｃの内部空間へ流入されると、ピストンが上方へ押上げられ、ピストンロッド７２Ｐが上昇する。
ここで、流体としては圧縮空気が使用されている。すなわち、本実施の形態では、集塵部移動機構７２は空気シリンダ機構により構成されている。圧縮空気はロボット１の外部に設置された図示省略のコンプレッサから供給される。
第１流体口７２２Ａへの流体の供給と、第２流体口７２２Ｂへの流体の供給との切替えには例えば電磁弁が使用されている。図１には、電磁弁を被覆するカバー７２９しか示していないが、電磁弁は、支持部４２に装着され、カバー７２９により覆われている。
第１流体口７２２Ａから流体がシリンダ７２Ｃの内部空間へ流入されると、ピストンが下方へ押下げられ、ピストンロッド７２Ｐが下降する。また、第２流体口７２２Ｂから流体がシリンダ７２Ｃの内部空間へ流入されると、ピストンが上方へ押上げられ、ピストンロッド７２Ｐが上昇する。
ここで、流体としては圧縮空気が使用されている。すなわち、本実施の形態では、集塵部移動機構７２は空気シリンダ機構により構成されている。圧縮空気はロボット１の外部に設置された図示省略のコンプレッサから供給される。
第１流体口７２２Ａへの流体の供給と、第２流体口７２２Ｂへの流体の供給との切替えには例えば電磁弁が使用されている。図１には、電磁弁を被覆するカバー７２９しか示していないが、電磁弁は、支持部４２に装着され、カバー７２９により覆われている。
【0046】
このように構成される集塵部移動機構７２では、図５及び図７に示される被切削体８の下面から遠隔する第２位置と、図６及び図８に示される被切削体８の下面へ近接する第１位置との間において集塵部７１の上端面を移動させることができる。
図８に示されるように、第１位置において、被切削体８の下面から集塵部７１の上端面までの距離（クリアランス）Ｌ１は、本実施の形態において、１ｍｍ～２ｍｍ、好ましくは１ｍｍに設定されている。また、第１位置から第２位置までの移動距離（集塵部７１の上下方向のストローク）Ｌ２はここでは１０ｍｍに設定されている。
図８に示されるように、第１位置において、被切削体８の下面から集塵部７１の上端面までの距離（クリアランス）Ｌ１は、本実施の形態において、１ｍｍ～２ｍｍ、好ましくは１ｍｍに設定されている。また、第１位置から第２位置までの移動距離（集塵部７１の上下方向のストローク）Ｌ２はここでは１０ｍｍに設定されている。
【0047】
【0048】
図４に示されるように、一端部７３１は、上面が解放された矩形箱状の筐体７３１Ａと、筐体７３１Ａに比し、若干サイズが大きい、下面が解放された矩形箱状の蓋７３１Ｂとを重ね合わせて構成されている。筐体７３１Ａ、蓋７３１Ｂのそれぞれは、Ｘ軸方向を長手方向とし、Ｙ軸方向を短手方向とし、Ｚ軸方向を厚さ方向として形成されている。筐体７３１Ａ、蓋７３１Ｂは、いずれも機械的強度が高い例えば金属製とされている。
一端部７３１の正面側の一端部において、蓋７３１Ｂには背面側へＸ軸方向に切り欠いた形状の開口部７３１Ｃが形成されている。この開口部７３１Ｃ内（又は開口部７３１Ｃと一致する領域）において、一端部７３１の筐体７３１Ａには集塵部移動機構７２が組付けられている。さらに、筐体７３１Ａには、集塵部移動機構７２を介在させ、開口部７３１Ｃから上方へ突出する集塵部７１が支持されている。この集塵部７１は、前述の通り、切削体６の直下に配置されている。
一端部７３１の正面側の一端部において、蓋７３１Ｂには背面側へＸ軸方向に切り欠いた形状の開口部７３１Ｃが形成されている。この開口部７３１Ｃ内（又は開口部７３１Ｃと一致する領域）において、一端部７３１の筐体７３１Ａには集塵部移動機構７２が組付けられている。さらに、筐体７３１Ａには、集塵部移動機構７２を介在させ、開口部７３１Ｃから上方へ突出する集塵部７１が支持されている。この集塵部７１は、前述の通り、切削体６の直下に配置されている。
【0049】
一端部７３１は筐体７３１Ａと蓋７３１Ｂとを重ね合わせて空洞の内部７３１Ｄを形成しているので、内部７３１Ｄには集塵ホース７１３、流体供給ホース７２５及び流体供給ホース７２７が配策されている。
集塵ホース７１３の一端部は集塵部７１の下端部に装着された継手７１２に接続され、集塵ホース７１３の他端部は一端部７３１の背面側に配設された継手７１４に接続されている。継手７１４は図示省略の集塵ホースを介在させて外部集塵装置に接続可能とされている。
流体供給ホース７２５の一端部は集塵部移動機構７２のシリンダ７２Ｃに装着された継手７２３に接続され、流体供給ホース７２５の他端部は一端部７３１の背面側に配設された継手７２６に接続されている。流体供給ホース７２７の一端部はシリンダ７２Ｃに装着された継手７２４に接続され、流体供給ホース７２７の他端部は一端部７３１の背面側に配設された継手７２８に接続されている。継手７２６、継手７２８のそれぞれは、前述の電磁弁を介在させてコンプレッサに接続可能とされている。
集塵ホース７１３の一端部は集塵部７１の下端部に装着された継手７１２に接続され、集塵ホース７１３の他端部は一端部７３１の背面側に配設された継手７１４に接続されている。継手７１４は図示省略の集塵ホースを介在させて外部集塵装置に接続可能とされている。
流体供給ホース７２５の一端部は集塵部移動機構７２のシリンダ７２Ｃに装着された継手７２３に接続され、流体供給ホース７２５の他端部は一端部７３１の背面側に配設された継手７２６に接続されている。流体供給ホース７２７の一端部はシリンダ７２Ｃに装着された継手７２４に接続され、流体供給ホース７２７の他端部は一端部７３１の背面側に配設された継手７２８に接続されている。継手７２６、継手７２８のそれぞれは、前述の電磁弁を介在させてコンプレッサに接続可能とされている。
【0050】
図１～図３に示されるように、他端部７３２は第２移動機構４のスライダ４４に装着されている。他端部７３２は、スライダ４４のＹ軸方向両端部のそれぞれに一対に配設され、Ｚ軸方向を長手方向とし、Ｙ軸方向を板厚方向とする金属製の板状部材により形成されている。また、更に機械的強度を高めるため、他端部７３２は、アングル材により形成してもよい。この他端部７３２は締結部材を用いてスライダ４４に組付けられている。
【0051】
中間部７３３は、上側の一端部を他端部７３２の下部に一体又は一体的に接続し、下側の他端部を一端部７３１の背面側に接続して構成されている。中間部７３３は、一対の他端部７３２のそれぞれに対応させてＹ軸方向に離間して一対において配設されている。
ここで、「一体」とは、他端部７３２と中間部７３３とが同一材料から連結された状態において形成されているという意味において使用されている。また、「一体的」とは、他端部７３２と中間部７３３とが、同一材料又は異なる材料からそれぞれ形成され、溶接等の接合手段やボルトナット等の締結手段を用いて連結されているという意味において使用されている。
ここで、「一体」とは、他端部７３２と中間部７３３とが同一材料から連結された状態において形成されているという意味において使用されている。また、「一体的」とは、他端部７３２と中間部７３３とが、同一材料又は異なる材料からそれぞれ形成され、溶接等の接合手段やボルトナット等の締結手段を用いて連結されているという意味において使用されている。
【0052】
図２に示されるように、中間部７３３は、他端部７３２との接続箇所からロボット１の背面側へ向かってＸ軸方向へ延設され、この延設された端部から下方へ向かってＺ軸方向へ延設された形状に形成されている。この中間部７３３は、Ｙ軸方向を板厚方向とする金属製の板材により形成されている。すなわち、中間部７３３は、Ｙ軸方向を回転軸方向として、Ｌ字形状の板材を１８０度回転させた逆Ｌ字形状に形成されている。
このように構成される中間部７３３は、被切削体８の切削体６側の表面（上面）に沿ってロボット１の背面側へ、被切削体８を迂回させる形状に形成されている。
このように構成される中間部７３３は、被切削体８の切削体６側の表面（上面）に沿ってロボット１の背面側へ、被切削体８を迂回させる形状に形成されている。
【0053】
図１及び図３に示されるように、一対の中間部７３３の背面側へ向かって延設された箇所の上部には、双方に跨がって連結部７３４が配設されている。連結部７３４は、平面視において矩形状に形成され、Ｚ軸方向を板厚方向とする金属製又は樹脂製の板材により形成されている。連結部７３４は、一対の中間部７３３を連結し、機械的強度を向上させている。
【0054】
上記の通り構成される従動体７３は、一端部７３１において集塵部移動機構７２及び集塵部７１を支持し、他端部７３２を第２移動機構４に接続している。このため、従動体７３では、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができる。
【0055】
【0056】
まず、第１移動機構３のスライダ３２に、図示省略の保持用治具を介在させて、被切削体８が保持される（図１及び図２参照）。第１移動機構３によりスライダ３２がＸ軸方向へ移動されると、スライダ３２の移動に従動して被切削体８がＸ軸方向へ移動する。
一方、第３移動機構５のスライダ５１には、保持部６１を介在させて、ツールとしての駆動源６２が装着されている。駆動源６２には切削体６が連結されている。第３移動機構５は第２移動機構４のスライダ４４に配設されているので、スライダ４４がＹ軸方向へ移動されると、スライダ４４の移動に従動して切削体６がＹ軸方向へ移動する。
被切削体８のＸ軸方向への移動前或いは移動後、又は同時に切削体６がＹ軸方向へ移動されることにより、Ｘ軸－Ｙ軸平面上における被切削体８の切削箇所へ切削体６を移動させることができる。
一方、第３移動機構５のスライダ５１には、保持部６１を介在させて、ツールとしての駆動源６２が装着されている。駆動源６２には切削体６が連結されている。第３移動機構５は第２移動機構４のスライダ４４に配設されているので、スライダ４４がＹ軸方向へ移動されると、スライダ４４の移動に従動して切削体６がＹ軸方向へ移動する。
被切削体８のＸ軸方向への移動前或いは移動後、又は同時に切削体６がＹ軸方向へ移動されることにより、Ｘ軸－Ｙ軸平面上における被切削体８の切削箇所へ切削体６を移動させることができる。
【0057】
被切削体８又は切削体６が移動されているとき、集塵装置７の集塵部移動機構７２は、図５及び図７に示されるように、集塵部７１の上端面を第２位置に移動させている。つまり、集塵部７１は被切削体８の表面から遠隔されている。
図７では図示が省略されているが、ここでは被切削体８にプリント回路基板が使用されている。プリント回路基板には、実際には、集積回路、抵抗、容量等の電子部品が実装されている。集塵部７１の上端面が被切削体８から遠隔する第２位置に配置されることによって、被切削体８に対して相対的に集塵部７１が移動しているとき、上記の電子部品と集塵部７１との接触や干渉が効果的に排除される。
図７では図示が省略されているが、ここでは被切削体８にプリント回路基板が使用されている。プリント回路基板には、実際には、集積回路、抵抗、容量等の電子部品が実装されている。集塵部７１の上端面が被切削体８から遠隔する第２位置に配置されることによって、被切削体８に対して相対的に集塵部７１が移動しているとき、上記の電子部品と集塵部７１との接触や干渉が効果的に排除される。
【0058】
第３移動機構５のスライダ５１を下方へＺ軸方向に移動させ、切削体６が被切削体８に向かって移動される。この切削体６の移動開始前或いは移動開始後、又は移動開始と同時に、図６及び図８に示されるように、集塵部７１の上端面（開口）を第１位置に移動させ、集塵装置７を用いて集塵が開始される。つまり、集塵部７１は、切削体６を用いた被切削体８の切削開始に合わせて、被切削体８に近接させる。
【0059】
切削体６を用いた被切削体８の切削が開始されると、切削により生じた切削屑は、図８に矢印を用いて示されるように、集塵部７１の内部７１Ａへ集塵される。被切削体８の切削箇所が移動しても、集塵装置７では、従動体７３によって切削体６の直下にピンポイントにおいて集塵部７１が、常時、配置されるので、集塵が継続して行われる。
【0060】
被切削体８の切削作業が終了し、ここでは複数のプリント回路基板に細分化されると、第３移動機構５のスライダ５１を上方へＺ軸方向に移動させ、被切削体８の切削終了箇所から切削体６が移動する。この切削体６の移動開始前、移動開始後又は移動開始と同時に、集塵装置７の集塵部移動機構７２は、図５及び図７に示されるように、集塵部７１の上端面を第２位置に移動させる。つまり、集塵部７１は被切削体８の表面から遠隔される。この状態において、被切削体８に対して、切削体６及び集塵部７１が移動する。これにより、ロボット１の集塵方法は終了する。
【0061】
（作用効果）
以上説明したように、本実施の形態に係るロボット１は、図１及び図２に示されるように、第１移動機構３と、第２移動機構４とを備える。第１移動機構３は、ベース本体２に配設され、第１軸方向としてＸ軸方向へ被切削体８（図２参照）を移動させる。第２移動機構４は、ベース本体２に支持部４１及び支持部４２を介して支持され、Ｘ軸方向に対して直交する第２軸方向としてのＹ軸方向へ切削体６を移動させる。
以上説明したように、本実施の形態に係るロボット１は、図１及び図２に示されるように、第１移動機構３と、第２移動機構４とを備える。第１移動機構３は、ベース本体２に配設され、第１軸方向としてＸ軸方向へ被切削体８（図２参照）を移動させる。第２移動機構４は、ベース本体２に支持部４１及び支持部４２を介して支持され、Ｘ軸方向に対して直交する第２軸方向としてのＹ軸方向へ切削体６を移動させる。
【0062】
ここで、ロボット１は更に集塵装置７を備える。集塵装置７は、図１～図８に示されるように、集塵部７１と、集塵部移動機構７２とを含んで構成される。集塵部７１は、図２、図７及び図８に示されるように、切削体６に対向し被切削体８を介在させて配置され、切削体６を用いた被切削体８の切削により生じる切削屑を集塵する。集塵部移動機構７２は、図５～図８に示されるように、被切削体８に近接する第１位置と被切削体８から遠隔する第２位置との間において集塵部７１を移動させる。
【0063】
このように構成されるロボット１では、集塵部移動機構７２を用いて、被切削体８に近接した状態において、集塵部７１により切削屑が集塵されるので、集塵部７１における切削屑の吸引力を向上させ、集塵効率を向上させることができる。
図９（Ａ）には被切削体８の下面から集塵部７１の上端面までの距離（クリアランス）Ｌ１［ｍｍ］（図８参照）と切削屑の集塵効率［％］との実測値が示されている。この実測値に基づいて作成したグラフが図９（Ｂ）に示されている。図９（Ｂ）において、横軸は距離Ｌ１［ｍｍ］を示し、縦軸は集塵効率［％］を示している。
図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示されるように、距離Ｌ１が４［ｍｍ］のとき集塵効率は８２．５［％］であり、距離Ｌ１が３［ｍｍ］のとき集塵効率は９０．１［％］であり、距離Ｌ１が２［ｍｍ］のとき集塵効率は９６．７［％］である。つまり、切削の際に、距離Ｌ１が小さくなれば、距離Ｌ１に反比例して集塵効率が高くなる。そして、距離Ｌ１が１［ｍｍ］になると、実測した範囲において、集塵効率は最も高い９９．５［％］に達する。
図９（Ａ）には被切削体８の下面から集塵部７１の上端面までの距離（クリアランス）Ｌ１［ｍｍ］（図８参照）と切削屑の集塵効率［％］との実測値が示されている。この実測値に基づいて作成したグラフが図９（Ｂ）に示されている。図９（Ｂ）において、横軸は距離Ｌ１［ｍｍ］を示し、縦軸は集塵効率［％］を示している。
図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示されるように、距離Ｌ１が４［ｍｍ］のとき集塵効率は８２．５［％］であり、距離Ｌ１が３［ｍｍ］のとき集塵効率は９０．１［％］であり、距離Ｌ１が２［ｍｍ］のとき集塵効率は９６．７［％］である。つまり、切削の際に、距離Ｌ１が小さくなれば、距離Ｌ１に反比例して集塵効率が高くなる。そして、距離Ｌ１が１［ｍｍ］になると、実測した範囲において、集塵効率は最も高い９９．５［％］に達する。
【0064】
上記の通り、ロボット１では、集塵部７１を被切削体８に近接させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができるので、ロボット１の小型化を実現することができる。
【0065】
また、ロボット１では、集塵部移動機構７２を用いて、切削の前或いは後に、被切削体８から遠隔する第２位置へ集塵部７１を移動させることができる。仮に、被切削体８の下面に突出部位が存在したとしても、例えばプリント回路基板に電子部品が実装されたとしても、電子部品と集塵部７１との接触や干渉を効果的に抑制又は防止することができる。
このため、実装部品を迂回することなく、集塵部７１を移動させることができるので、集塵部７１の移動時間を含む切削加工に要する時間を短縮することができる。
このため、実装部品を迂回することなく、集塵部７１を移動させることができるので、集塵部７１の移動時間を含む切削加工に要する時間を短縮することができる。
【0066】
さらに、ロボット１では、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されるので、被切削体８の全面を吸引する場合に比し、第１移動機構３の駆動に対する負荷を軽減することができる。これにより、第１移動機構３の駆動力を小さくすることができるので、この点でも、ロボット１の小型化を実現することができる。
【0067】
また、ロボット１では、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されるので、被切削体８の全面を吸引する場合に比し、周囲の余分な空気を吸込む吸引損失を効果的に減少させることができる。このため、外部集塵装置の吸引能力を小さくすることができるので、ロボット１及び外部集塵装置を含む全体システムの小型化を実現することができる。
【0068】
さらに、ロボット１では、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されるので、被切削体８の全体を囲み密閉度を高める集塵ボックスが必要とされない。このため、ロボット１の小型化をより一層実現することができる。
【0069】
また、本実施の形態に係るロボット１では、図４～図８に示されるように、集塵部７１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のそれぞれに対して直交するＺ軸方向を管軸方向とする管状に形成される。切削体６には、図１、図２及び図７に示されるように、この切削体６を駆動させる駆動源６２が連結される。そして、図７に示されるように、管軸方向から見て、集塵部７１の開口面積Ａ３が、この開口と便宜的に設定した同一平面Ｓにおいて投影される、駆動源６２の面積Ａ１に比し小さく、かつ、切削体６の面積Ａ２に比し大きい設定とされる。つまり、これらの面積は下記不等式の関係になる。
駆動源６２の面積Ａ１＞集塵部７１の開口面積Ａ３＞切削体６の面積Ａ２
駆動源６２の面積Ａ１＞集塵部７１の開口面積Ａ３＞切削体６の面積Ａ２
【0070】
図１０（Ａ）には集塵部７１の開口径、つまり吸込み口径［ｍｍ］（図７において開口面積Ａ３と表記した幅寸法に相当）と切削屑の集塵効率［％］との実測値が示されている。この実測値に基づいて作成したグラフが図１０（Ｂ）に示されている。図１０（Ｂ）において、横軸は吸込み口径［ｍｍ］を示し、縦軸は集塵効率［％］を示している。
図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示されるように、吸込み口径が２［ｍｍ］のとき集塵効率は９７．３［％］であり、吸込み口径が４［ｍｍ］のとき集塵効率は９６．７［％］である。吸込み口径が２［ｍｍ］から４［ｍｍ］に拡大されると、集塵効率が若干低くなる。しかしながら、吸込み口径が６［ｍｍ］のときには、集塵効率は９９．５［％］と実測した範囲において最も高くなる。吸込み口径が８［ｍｍ］になると、集塵効率は９８．８［％］となり、吸込み口径が６［ｍｍ］のときに比し、若干、低くなる。
このため、被切削体８の全面を吸引する場合に比し、ツールとしての駆動源６２、ここではルータよりも小さいサイズにおいて集塵部７１を構成することができるので、ロボット１の小型化をより一層実現することができる。
図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示されるように、吸込み口径が２［ｍｍ］のとき集塵効率は９７．３［％］であり、吸込み口径が４［ｍｍ］のとき集塵効率は９６．７［％］である。吸込み口径が２［ｍｍ］から４［ｍｍ］に拡大されると、集塵効率が若干低くなる。しかしながら、吸込み口径が６［ｍｍ］のときには、集塵効率は９９．５［％］と実測した範囲において最も高くなる。吸込み口径が８［ｍｍ］になると、集塵効率は９８．８［％］となり、吸込み口径が６［ｍｍ］のときに比し、若干、低くなる。
このため、被切削体８の全面を吸引する場合に比し、ツールとしての駆動源６２、ここではルータよりも小さいサイズにおいて集塵部７１を構成することができるので、ロボット１の小型化をより一層実現することができる。
【0071】
さらに、本実施の形態に係るロボット１では、集塵装置７の集塵部移動機構７２は、図５及び図６に示されるように、集塵部７１に接続され、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のそれぞれに対して直交するＺ軸方向に沿って集塵部７１を往復移動させるアクチュエータにより構成される。
このため、集塵部７１をＺ軸方向へのみ往復移動させる単純な構造、かつ、小型のアクチュエータにより集塵部移動機構７２を構成することができるので、集塵装置７、更にはロボット１の小型化をより一層実現することができる。
詳しく説明すると、本実施の形態では、図６に示されるように、集塵部移動機構７２は、図示省略のピストンに連結されたピストンロッド７２Ｐと、流体によりピストンを介してピストンロッド７２ＰをＺ軸方向へ摺動させるシリンダ７２Ｃとを備える。つまり、単純な構造、かつ、小型の空圧シリンダ機構により集塵部移動機構７２が構成されている。従って、集塵装置７、更にはロボット１の小型化をより一層実現することができる。
このため、集塵部７１をＺ軸方向へのみ往復移動させる単純な構造、かつ、小型のアクチュエータにより集塵部移動機構７２を構成することができるので、集塵装置７、更にはロボット１の小型化をより一層実現することができる。
詳しく説明すると、本実施の形態では、図６に示されるように、集塵部移動機構７２は、図示省略のピストンに連結されたピストンロッド７２Ｐと、流体によりピストンを介してピストンロッド７２ＰをＺ軸方向へ摺動させるシリンダ７２Ｃとを備える。つまり、単純な構造、かつ、小型の空圧シリンダ機構により集塵部移動機構７２が構成されている。従って、集塵装置７、更にはロボット１の小型化をより一層実現することができる。
【0072】
また、本実施の形態に係るロボット１では、図２、図７及び図８に示されるように、第３軸方向は上下方向となるＺ軸方向とされ、切削体６はＺ軸方向において上側に配設され、集塵装置７の集塵部７１はＺ軸方向において切削体６よりも下側に配設される。つまり、ロボット１では、切削屑を被切削体８の下側から集塵する下吸い集塵方式が採用される。
このため、被切削体８の切削により生じる切削屑は、重力に逆らわず、重力に従って下方へ落下するので、集塵部７１を用いて切削屑を効率良く集塵することができる。
さらに、ロボット１では、前述の通り下吸い集塵方式が採用され、被切削体８の切削箇所の上方側から吸引して切削屑を集塵する上吸い集塵方式を採用しないので、吸引による被切削体８の浮上がりを効果的に抑制又は防止することができる。被切削体８の浮上がりを防止するには、被切削体８を下方へ押付け保持する治具が必要になるが、本実施の形態に係るロボット１では、このような治具は必要としないので、より一層小型化を実現することができる。加えて、ロボット１では、切削屑を上方へ導く、特殊な切削工具は必要とされない。
また、ロボット１では、被切削体８の浮上がりを防止することができるので、被切削体８の曲がりやストレスの発生を効果的に抑制又は防止することができる。
このため、被切削体８の切削により生じる切削屑は、重力に逆らわず、重力に従って下方へ落下するので、集塵部７１を用いて切削屑を効率良く集塵することができる。
さらに、ロボット１では、前述の通り下吸い集塵方式が採用され、被切削体８の切削箇所の上方側から吸引して切削屑を集塵する上吸い集塵方式を採用しないので、吸引による被切削体８の浮上がりを効果的に抑制又は防止することができる。被切削体８の浮上がりを防止するには、被切削体８を下方へ押付け保持する治具が必要になるが、本実施の形態に係るロボット１では、このような治具は必要としないので、より一層小型化を実現することができる。加えて、ロボット１では、切削屑を上方へ導く、特殊な切削工具は必要とされない。
また、ロボット１では、被切削体８の浮上がりを防止することができるので、被切削体８の曲がりやストレスの発生を効果的に抑制又は防止することができる。
【0073】
さらに、本実施の形態に係るロボット１は、図１～図３に示されるように、集塵装置７に従動体７３を備える。従動体７３は、集塵部移動機構７２を支持し、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に集塵部７１を配置させる。
このため、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができるので、切削屑の吸引力を安定して高めることができ、集塵効率を向上させることができる。
上記の通り、ロボット１では、被切削体８の切削箇所に、常時、集塵部７１を配置させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができるので、ロボット１の小型化を実現することができる。
このため、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができるので、切削屑の吸引力を安定して高めることができ、集塵効率を向上させることができる。
上記の通り、ロボット１では、被切削体８の切削箇所に、常時、集塵部７１を配置させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができるので、ロボット１の小型化を実現することができる。
【0074】
また、本実施の形態に係るロボット１では、特に図２に示されるように、従動体７３の一端部７３１は集塵部移動機構７２を介して集塵部７１を支持し、従動体７３の他端部７３２は第２移動機構４に装着されている。詳しく説明すると、他端部７３２は、第２移動機構４のスライダ４４に装着されている。
このため、従動体７３の他端部７３２が第２移動機構４に装着されているので、第２移動機構４の移動に従動させて集塵部７１を移動させることができ、切削体６に対向した位置に、常時、集塵部７１を配置することができる。この結果、ロボット１では、集塵効率を向上させることができ、かつ、小型化を実現することができる。
このため、従動体７３の他端部７３２が第２移動機構４に装着されているので、第２移動機構４の移動に従動させて集塵部７１を移動させることができ、切削体６に対向した位置に、常時、集塵部７１を配置することができる。この結果、ロボット１では、集塵効率を向上させることができ、かつ、小型化を実現することができる。
【0075】
さらに、本実施の形態に係るロボット１では、図１～図３に示されるように、従動体７３の中間部７３３は、被切削体８の切削体６側の表面に沿って、被切削体８を迂回する形状に形成されている。
このため、被切削体８に対して切削体６が移動しても、被切削体８と従動体７３との接触や干渉を避けることができ、切削体６に対向する位置に、常時、集塵部７１を配置することができる。
このため、被切削体８に対して切削体６が移動しても、被切削体８と従動体７３との接触や干渉を避けることができ、切削体６に対向する位置に、常時、集塵部７１を配置することができる。
【0076】
また、本実施の形態に係るロボット１は、図１及び図２に示されるように、第１移動機構３と、第２移動機構４とを備える。第１移動機構３は、ベース本体２に配設され、Ｘ軸方向へ被切削体８（図２参照）を移動させる。第２移動機構４は、ベース本体２に支持部４１及び支持部４２を介して支持され、Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向へ切削体６を移動させる。
ここで、ロボット１は更に集塵装置７を備える。集塵装置７は、図１～図８に示されるように、集塵部７１と、従動体７３とを含んで構成される。集塵部７１は、図２、図７及び図８に示されるように、切削体６に対して被切削体８を介在させて配置され、切削体６を用いた被切削体８の切削により生じる切削屑を集塵する。従動体７３は、図１～図３に示されるように、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６に対向する位置に集塵部７１を配置させる。
このため、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができるので、切削屑の吸引力を安定して高めることができ、集塵効率を向上させることができる。
上記の通り、ロボット１では、被切削体８の切削箇所に、常時、集塵部７１を配置させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができるので、ロボット１の小型化を実現することができる。
ここで、ロボット１は更に集塵装置７を備える。集塵装置７は、図１～図８に示されるように、集塵部７１と、従動体７３とを含んで構成される。集塵部７１は、図２、図７及び図８に示されるように、切削体６に対して被切削体８を介在させて配置され、切削体６を用いた被切削体８の切削により生じる切削屑を集塵する。従動体７３は、図１～図３に示されるように、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６に対向する位置に集塵部７１を配置させる。
このため、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができるので、切削屑の吸引力を安定して高めることができ、集塵効率を向上させることができる。
上記の通り、ロボット１では、被切削体８の切削箇所に、常時、集塵部７１を配置させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができるので、ロボット１の小型化を実現することができる。
【0077】
さらに、本実施の形態に係る集塵装置７は、図１及び図２に示される第１移動機構３及び第２移動機構４を備えたロボット１の集塵装置として使用される。表現を代えれば、集塵装置７はロボット１に装着可能とされる集塵装置として構成される。ロボット１において、第１移動機構３は、ベース本体２に配設され、Ｘ軸方向へ被切削体８（図２参照）を移動させる。第２移動機構４は、ベース本体２に支持部４１及び支持部４２を介して支持され、Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向へ切削体６を移動させる。
【0078】
集塵装置７は、図１～図８に示されるように、集塵部７１と、集塵部移動機構７２とを含んで構成される。集塵部７１は、図２、図７及び図８に示されるように、切削体６に対向し被切削体８を介在させて配置され、切削体６を用いた被切削体８の切削により生じる切削屑を集塵する。集塵部移動機構７２は、図５～図８に示されるように、被切削体８に近接する第１位置と被切削体８から遠隔する第２位置との間において集塵部７１を移動させる。
このように構成される集塵装置７では、集塵部移動機構７２を用いて、被切削体８に近接した状態において、集塵部７１により切削屑が集塵されるので、集塵部７１における切削屑の吸引力を向上させ、集塵効率を向上させることができる。
上記の通り、集塵装置７では、集塵部７１を被切削体８に近接させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができる。この集塵装置７がロボット１に使用されることにより、ロボット１の小型化を実現することができる。
このように構成される集塵装置７では、集塵部移動機構７２を用いて、被切削体８に近接した状態において、集塵部７１により切削屑が集塵されるので、集塵部７１における切削屑の吸引力を向上させ、集塵効率を向上させることができる。
上記の通り、集塵装置７では、集塵部７１を被切削体８に近接させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができる。この集塵装置７がロボット１に使用されることにより、ロボット１の小型化を実現することができる。
【0079】
また、集塵装置７では、集塵部移動機構７２を用いて、被切削体８から遠隔する第２位置へ集塵部７１を移動させることができるので、集塵部７１と被切削体８の突出部位との接触や干渉を効果的に抑制又は防止することができる。
【0080】
さらに、本実施の形態に係る集塵装置７では、図１～図３に示されるように、集塵装置７に従動体７３を備える。従動体７３は、集塵部移動機構７２を支持し、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に集塵部７１を配置させる。
このため、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができるので、切削屑の吸引力を安定して高めることができ、集塵効率を向上させることができる。
上記の通り、集塵装置７では、被切削体８の切削箇所に、常時、集塵部７１を配置させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができる。この集塵装置７がロボット１に使用されることにより、ロボット１の小型化を実現することができる。
このため、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができるので、切削屑の吸引力を安定して高めることができ、集塵効率を向上させることができる。
上記の通り、集塵装置７では、被切削体８の切削箇所に、常時、集塵部７１を配置させて集塵効率を向上させることができるので、被切削体８の切削箇所にピンポイントに集塵部７１が配置されれば、集塵部７１を用いて確実に切削屑を集塵することができる。このため、集塵部７１のサイズ、つまり集塵装置７のサイズを小さくすることができる。この集塵装置７がロボット１に使用されることにより、ロボット１の小型化を実現することができる。
【0081】
また、本実施の形態に係る集塵方法は、図１及び図２に示される第１移動機構３によりＸ軸方向へ被切削体８を移動させ、第２移動機構４によりＸ軸方向に対して直交するＹ軸方向へ切削体６を移動させる。そして、切削体６を用いて被切削体８が切削される。
ここで、集塵方法では、図２に示されるように、切削体６に対して被切削体８を介在させて集塵部７１が配置され、図７及び図８に示されるように、被切削体８に近接する第１位置に集塵部７１を移動させ、集塵部７１を用いて切削により生じる切削屑が集塵される。そして、被切削体８から遠隔する第２位置へ集塵部７１が移動される。
このような集塵方法によれば、集塵装置７の集塵部移動機構７２を用いて、被切削体８に近接した状態において、集塵部７１により切削屑が集塵されるので、集塵部７１における切削屑の吸引力を向上させ、集塵効率を向上させることができる。
ここで、集塵方法では、図２に示されるように、切削体６に対して被切削体８を介在させて集塵部７１が配置され、図７及び図８に示されるように、被切削体８に近接する第１位置に集塵部７１を移動させ、集塵部７１を用いて切削により生じる切削屑が集塵される。そして、被切削体８から遠隔する第２位置へ集塵部７１が移動される。
このような集塵方法によれば、集塵装置７の集塵部移動機構７２を用いて、被切削体８に近接した状態において、集塵部７１により切削屑が集塵されるので、集塵部７１における切削屑の吸引力を向上させ、集塵効率を向上させることができる。
【0082】
さらに、本実施の形態に係る集塵方法では、図１、図２、図７及び図８に示されるように、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に集塵部７１を配置させて、この集塵部７１を用いて切削屑が集塵される。
このような集塵方法によれば、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができるので、切削屑の吸引力を安定して高めることができ、集塵効率を向上させることができる。
このような集塵方法によれば、被切削体８に対する切削体６の移動に従動させて、切削体６と対向する位置に、常時、集塵部７１を配置させることができるので、切削屑の吸引力を安定して高めることができ、集塵効率を向上させることができる。
【0083】
［その他の実施の形態］
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
例えば、本発明は、４軸以上の仕様のロボットに適用してもよい。４軸仕様のロボットは、第３移動機構のスライダに、Ｚ軸方向と同一方向を回転軸方向とする回転軸によりツール（切削体）を回転させる回転機構を備えている。また、５軸仕様のロボットは、上記回転機構に、Ｘ軸方向と同一方向を傾斜軸方向とする傾斜軸によりツールを傾斜させる傾斜機構を備えている。
また、本発明は、第２移動機構のスライドレールが１本の支持部により支持される片持ち支持梁構造のロボットに適用してもよい。
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
例えば、本発明は、４軸以上の仕様のロボットに適用してもよい。４軸仕様のロボットは、第３移動機構のスライダに、Ｚ軸方向と同一方向を回転軸方向とする回転軸によりツール（切削体）を回転させる回転機構を備えている。また、５軸仕様のロボットは、上記回転機構に、Ｘ軸方向と同一方向を傾斜軸方向とする傾斜軸によりツールを傾斜させる傾斜機構を備えている。
また、本発明は、第２移動機構のスライドレールが１本の支持部により支持される片持ち支持梁構造のロボットに適用してもよい。
【0084】
さらに、本発明は、開口形状が矩形状の角管状、開口形状が五角形形状以上の多角管状、開口形状が楕円形状の楕円管状に集塵装置の集塵部を形成してもよい。
また、本発明は、油圧シリンダ機構、電動シリンダ機構、電磁ソレノイド等のアクチュエータを用いて、集塵装置の集塵部移動機構を構成してもよい。
さらに、本発明は、集塵装置の従動体を、Ｙ軸方向に沿って迂回する形状に形成してもよい。
また、本発明は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の水平面方向（第１軸方向）へ被切削体を移動させる水平面移動機構（第１移動機構）と、Ｚ軸方向（第２軸方向）へ切削体を移動させる垂直移動機構（第２移動機構）とを備えたロボットの集塵装置に適用可能である。加えて、本発明は、上記水平面移動機構と垂直移動機構とを備えたロボットと同様の機構を有する工作機械の集塵装置に適用可能である。
さらに、本発明は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の垂直面方向（第１軸方向）へ被切削体を移動させる垂直面移動機構（第１移動機構）と、Ｙ軸方向（第２軸方向）へ切削体を移動させる水平移動機構（第２移動機構）とを備えたロボットの集塵装置に適用可能である。同様に、本発明は、上記垂直面移動機構と水平移動機構とを備えたロボットと同様の機構を有する工作機械の集塵装置に適用可能である。
また、本発明は、油圧シリンダ機構、電動シリンダ機構、電磁ソレノイド等のアクチュエータを用いて、集塵装置の集塵部移動機構を構成してもよい。
さらに、本発明は、集塵装置の従動体を、Ｙ軸方向に沿って迂回する形状に形成してもよい。
また、本発明は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の水平面方向（第１軸方向）へ被切削体を移動させる水平面移動機構（第１移動機構）と、Ｚ軸方向（第２軸方向）へ切削体を移動させる垂直移動機構（第２移動機構）とを備えたロボットの集塵装置に適用可能である。加えて、本発明は、上記水平面移動機構と垂直移動機構とを備えたロボットと同様の機構を有する工作機械の集塵装置に適用可能である。
さらに、本発明は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の垂直面方向（第１軸方向）へ被切削体を移動させる垂直面移動機構（第１移動機構）と、Ｙ軸方向（第２軸方向）へ切削体を移動させる水平移動機構（第２移動機構）とを備えたロボットの集塵装置に適用可能である。同様に、本発明は、上記垂直面移動機構と水平移動機構とを備えたロボットと同様の機構を有する工作機械の集塵装置に適用可能である。
【符号の説明】
【0085】
１ ロボット
２ ベース本体
２１ 筐体
２１Ａ ベース面
３ 第１移動機構
３１、４３ スライドレール
３２、４４、５１ スライダ
４ 第２移動機構
４１、４２ 支持部
５ 第３移動機構
６ 切削体
６２ 駆動源
７ 集塵装置
７１ 集塵部
７２ 集塵部移動機構
７２Ｐ ピストンロッド
７２Ｃ シリンダ
７３ 従動体
７３１ 一端部
７３２ 他端部
７３３ 中間部
８ 被切削体
２ ベース本体
２１ 筐体
２１Ａ ベース面
３ 第１移動機構
３１、４３ スライドレール
３２、４４、５１ スライダ
４ 第２移動機構
４１、４２ 支持部
５ 第３移動機構
６ 切削体
６２ 駆動源
７ 集塵装置
７１ 集塵部
７２ 集塵部移動機構
７２Ｐ ピストンロッド
７２Ｃ シリンダ
７３ 従動体
７３１ 一端部
７３２ 他端部
７３３ 中間部
８ 被切削体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】