発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の感圧センサシートは、第１電極部の各電極と第２電極部の各電極とがそれぞれ交差しており、各交差部分の静電容量が検出される。このような構成において、第１電極および第２電極はそれぞれ、誘電層および導電層が積層した帯状の構造を有し、第１電極の導電層と第２電極の導電層の間に、少なくともいずれか一方の誘電層が配置されるので、誘電層がシート全体を覆う構成に比べて、各検出部の独立性が確保され、対象物の圧力分布を精度良く測定できる。また、シート全体の伸長性の低下を抑制できる。

第１電極の誘電層は第１電極の導電層よりも層厚さが小さく、かつ、第２電極の誘電層は第２電極の導電層よりも層厚さが小さいので、導電層間に介在する誘電層の厚さが小さくなり、変形に伴う静電容量の変化が大きくなり、ひいてはセンサ精度を向上できる。

第１電極の導電層と第２電極の導電層の間に、第１電極の誘電層および第２電極の誘電層が配置されるので、変形に伴って第１電極の導電層と第２電極の導電層とが導通することを好適に防止できる。

第１電極部および第２電極部は、対向配置された一対のゴム製のシート部材間に収容されることで、各検出部における電極間の密着性が維持され、さらに、第１電極部と第２電極部が互いに接着されていないので、各電極の伸張性を良好に維持できる。また、この構成によれば、検出部において電極が剥がれることによる検出不良を回避できる。

本発明の感圧センサは、ハウジングの開口部に本発明の感圧センサシートが張られたセンサ本体部と、該感圧センサシートに配線を介して接続される制御部とを備えるので、対象物の圧力分布を精度良く測定できる。