特許 7267533 感光性組成物、光学フィルタ、画像表示装置、及び固体撮像素子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-24

(45)【発行日】2023-05-02

(54)【発明の名称】感光性組成物、光学フィルタ、画像表示装置、及び固体撮像素子

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/031 20060101AFI20230425BHJP

   G03F 7/004 20060101ALI20230425BHJP

   G03F 7/033 20060101ALI20230425BHJP

   G02B 5/20 20060101ALI20230425BHJP

【ＦＩ】

G03F7/031

G03F7/004 501

G03F7/033

G02B5/20 101

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2022069157

(22)【出願日】2022-04-20

【審査請求日】2022-11-16

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000222118

【氏名又は名称】東洋インキＳＣホールディングス株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】718000495

【氏名又は名称】東洋ビジュアルソリューションズ株式会社

(72)【発明者】

【氏名】河内 寛明

(72)【発明者】

【氏名】吉田 寛之

【審査官】中澤 俊彦

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１７－５１２８８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１７－５０１２５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０２０９９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０２２－５１５５２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０８６３１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｆ ７／０３１

Ｇ０３Ｆ ７／０３３

Ｇ０３Ｆ ７／００４

Ｇ０２Ｂ ５／２０

Ｃ０７Ｄ ２０９／８２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び光重合開始剤（Ｃ）を含む感光性組成物であって、
前記光重合開始剤（Ｃ）が、下記一般式（１）で表されるオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）、及びオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤（Ｃ２）を含み、
前記光重合開始剤（Ｃ２）が、アセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、及びイミダゾール系光重合開始剤からなる群から選択される１種以上を含む、感光性組成物。
一般式（１）

【化1】

（一般式（１）中、Ｒ_１は、水素原子、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
R_２は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
Ｒ_３は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
Ｒ_４は、置換基を有してよいベンゾイル基を表し、ｎは、１を表す。）

【請求項2】

前記オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）と前記オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤（Ｃ２）の質量比が、９０：１０～１０：９０である、請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項3】

更に、増感剤（Ｄ）を含む、請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項4】

更に、チオール系連鎖移動剤（Ｅ）を含む、請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項5】

前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、脂環式炭化水素含有単量体単位（ａ１）、及びカルボキシル基含有単量体単位（ａ２）を含有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）を含む、請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項6】

前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）が、前記脂環式炭化水素含有単量体単位（ａ１）を、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の全構成単位中、５～６０モル％含む、請求項５に記載の感光性組成物。

【請求項7】

基板、及び請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性組成物から形成されてなるフィルタセグメントを有する、光学フィルタ。

【請求項8】

請求項７に記載の光学フィルタを有する、画像表示装置。

【請求項9】

請求項７に記載の光学フィルタを有する、固体撮像素子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、感光性組成物、それを用いた光学フィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

画像表示装置や固体撮像素子等に使用する光学フィルタの１種カラーフィルタは、ガラス基板等の透明な基板上に、色相が異なる２種以上の微細な帯状のフィルタセグメントを互いに平行に（ストライプ状に）若しくは交差するように配置する。又は、色相が異なる２種以上の微細なフィルタセグメントを縦方向及び横方向の各々において順番に配列するように配置する。このフィルタセグメントは、数ミクロン～数１００ミクロンの小さな寸法を有しており、色相毎に所定の配列で整然と配置されている。

【0003】

現在、カラーフィルタの製造方法は、感光性組成物を、ガラス等の透明基板に塗布し、乾燥によってこの塗膜から溶剤を除去する工程、この塗膜を、所望するパターン形状を有するフォトマスクを介して放射線を照射・硬化（以下、露光という）する工程、次いで、この塗膜の未露光部を洗浄・除去（以下、現像という）する工程、その後、必要に応じて硬化膜を十分に硬化させるために加熱処理（以下、ポストベークという）する工程により１色目のフィルタセグメントパターンを得る。そして、これと同様の操作を行うことにより他の色のフィルタセグメントパターンを形成し、カラーフィルタを完成する。

【0004】

上記現像工程は、現像液としてアルカリ性の現像液を用いて、未露光部分を洗浄・除去する。その際に、露光した部分が欠けたり、剥がれたりしてパターン形状に欠陥が発生するという問題があった。そして、パターンの密着性を上げるために光重合開始剤の含有量などを増やすと、現像性が悪化し、現像残渣が発生する問題があった。

【0005】

また、近年、画像表示装置の小型化、及び高画素化によって１画素あたりの面積が小さくなる傾向にあり、カラーフィルタは、薄膜化が要求されている。

【0006】

さらに、カラーフィルタを薄膜化しても分光特性は、従来の水準を維持する必要がある。そうすると、カラーフィルタの画素に含まれる着色剤の濃度を高くすることが必要となり、相対的に硬化に必要な成分が少なくなりパターン形状や塗膜の溶剤耐性等が悪化するという問題があった。

【0007】

アルカリ現像性の改善の取り組みとして、特許文献１には、特定構造のフッ素系界面活性剤を含むレジスト組成物が開示されている。また、現像時のパターン欠け改善の取り組みとして、アルキレンオキサイド構造を有する重合性化合物を含む着色組成物が開示されている。また、高濃度の着色剤を含む場合のパターン形成性の改善の取り組みとして、多官能チオール化合物およびアセトフェノン化合物を含む着色感光性樹脂組成物が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】特開２０１６－１０２２１２号公報

【文献】特開２０１４－１４２５８２号公報

【文献】特開２００４－８３８５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

しかし、特許文献１～３のいずれの組成物もアルカリ現像性、パターン形状、及び塗膜の溶剤耐性を全て満足できるものではなかった。

【0010】

本発明は、アルカリ現像性、パターン形状に優れ、かつ優れた溶剤耐性を有する塗膜を得ることができる感光性組成物の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び光重合開始剤（Ｃ）を含む感光性組成物であって、
前記光重合開始剤（Ｃ）が、下記一般式（１）で表されるオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）、及びオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤（Ｃ２）（ただし、オキシム系光重合開始剤を除く）を含む感光性組成物に関する。
一般式（１）

【化1】

一般式（１）中、Ｒ_１は、水素原子、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
R^２は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原
子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
Ｒ^３は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
Ｒ^４は、任意の１価の置換基を表す。ｎは、０～３の整数を表す。

【発明の効果】

【0012】

上記の本発明によれば、アルカリ現像性、パターン形状に優れ、かつ優れた溶剤耐性を有する塗膜を得ることができる感光性組成物を提供できる。また、本発明は、光学フィルタ、画像表示装置、及び固体撮像素子を提供できる。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下に、本発明の感光性組成物を実施するための形態について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではなく、課題を解決可能な範囲内で変形して実施できる。

【0014】

本発明において、「（メタ）アクリロイル」、「（メタ）アクリル」、「（メタ）アクリル酸」、「（メタ）アクリレート」、又は「（メタ）アクリルアミド」とは、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイル及び／又はメタアクリロイル」、「アクリル及び／又はメタアクリル」、「アクリル酸及び／又はメタアクリル酸」、「アクリレート及び／又はメタクリレート」、又は「アクリルアミド及び／又はメタアクリルアミド」を意味する。また、「Ｃ．Ｉ．」は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ 発行）を意味する。重合性不飽和基は、エチレン性不飽和二重結合である。
また、本発明における化合物の分子量に関しては、分子量が特定できる低分子化合物については、計算により算出した値（式量）、若しくはＥＳＩ－ＭＳ（エレクトロスプレーイオン化質量分析法）により測定した分子量であり、分子量の分布を持つ化合物については、テトラヒドロフランを溶剤とした場合のゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。重合性化合物（Ｂ）は、硬化により被膜を形成する化合物である。単量体は重合により樹脂を形成する化合物である。単量体は、未反応状態であり、単量体単位は、単量体が重合後に樹脂を形成している状態である。

【0015】

＜感光性組成物＞
本発明の一実施形態は、感光性組成物に係わる。本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び光重合開始剤（Ｃ）を含む感光性組成物であって、
前記光重合開始剤（Ｃ）が、下記一般式（１）で表されるオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）、及びオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤（Ｃ２）（ただし、オキシム系光重合開始剤を除く）を含む感光性組成物。本発明の感光性組成物は、パターン形成可能であり、被膜を形成し光硬化して使用することが好ましい。前記被膜は、例えば、画像表示装置、固体撮像素子等の光学デバイスに組み込む用途が好ましい。
一般式（１）

【化2】

【0016】

一般式（１）中、Ｒ_１は、水素原子、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
R_２は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原
子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
Ｒ_３は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
Ｒ_４は、任意の１価の置換基を表す。ｎは、０～３の整数を表す。

【0017】

以下、一実施形態の感光性組成物に含まれるか、又は含まれ得る成分を詳細に説明する。

【0018】

［光重合開始剤（Ｃ）］
本発明の感光性組成物は、光重合開始剤（Ｃ）として、一般式（１）で表されるオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）、及びオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤（Ｃ２）（ただし、オキシム系光重合開始剤を除く）を含む。
高感度である一般式（１）で表されるオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）と、オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）と感度が異なる（低感度）光重合開始剤（Ｃ２）を併用することで、驚くことに強靭な部分と比較的柔軟な部分が共存する硬化膜が形成できるため、アルカリ現像性、パターン形状に優れ、かつ優れた溶剤耐性を有する塗膜が得ることができると推測する。

【0019】

（オキシム系光重合開始剤（Ｃ１））
オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）は、下記一般式（１）で表される化合物である。オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）含有することで、感度が向上し、パターン形状、及び溶剤耐性が向上する。
一般式（１）

【化3】

【0020】

（一般式（１）中、Ｒ_１は、水素原子、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
R_２は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原
子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
Ｒ_３は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
Ｒ_４は、任意の１価の置換基を表す。ｎは、０～３の整数を表す。）

【0021】

一般式（１）中、Ｒ_１は、水素原子、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
炭素原子数１～２０のアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔ－ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、２－エチルヘキシル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基等が挙げられる。
炭素原子数６～３０のアリール基は、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、ナフチル基、アンスリル基等が挙げられる。
炭素原子数７～３０のアリールアルキル基は、例えば、ベンジル基、α―メチルベンジル、α，α―ジメチルベンジル基、フェニルエチル基等が挙げられる。
炭素原子数２～２０の複素環基は、例えば、ピリジル基、ピリミジル基、フリル基、テトラヒドロフリル基、ジオキソラニル基、イミダゾリジル基、オキサゾリジル基、ピペリジル基、モルホリニル基等が挙げられる。
上記の中でも、塗膜耐性の観点から、メチル基、エチル基、又はフェニル基が好ましく、メチル基、又はエチル基がより好ましい。

【0022】

一般式（１）中、Ｒ_２は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
炭素原子数３～２０のアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよく、例えば、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル
基、ｔ－ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、２－エチルヘキシル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基等が挙げられる。
炭素原子数６～３０のアリール基は、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、ナフチル基、アンスリル基等が挙げられる。
炭素原子数７～３０のアリールアルキル基は、例えば、ベンジル基、α―メチルベンジル、α，α―ジメチルベンジル基、フェニルエチル基等が挙げられる。
炭素原子数２～２０の複素環基は、例えば、ピリジル基、ピリミジル基、フリル基、テトラヒドロフリル基、ジオキソラニル基、イミダゾリジル基、オキサゾリジル基、ピペリジル基、モルホリニル基等が挙げられる。
上記の中でもパターン形状、塗膜耐性の観点から、炭素原子数３～２０のアルキル基が好ましく、炭素原子数３～８のアルキル基がより好ましく、ペンチル基がさらに好ましい。

【0023】

一般式（１）中、Ｒ_３は、炭素原子数３～２０のアルキル基、炭素原子数６～３０のアリール基、炭素原子数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素原子数２～２０の複素環基を表す。
炭素原子数３～２０のアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよく、例えば、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔ－ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、２－エチルヘキシル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基等が挙げられる。
炭素原子数６～３０のアリール基は、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、ナフチル基、アンスリル基等が挙げられる。
炭素原子数７～３０のアリールアルキル基は、例えば、ベンジル基、α―メチルベンジル、α，α―ジメチルベンジル基、フェニルエチル基等が挙げられる。
炭素原子数２～２０の複素環基は、例えば、ピリジル基、ピリミジル基、フリル基、テトラヒドロフリル基、ジオキソラニル基、イミダゾリジル基、オキサゾリジル基、ピペリジル基、モルホリニル基等が挙げられる。
上記の中でも、パターン形状、塗膜耐性の観点から、炭素原子数３～１５の分岐状のアルキル基が好ましく、炭素原子数５～１２の分岐状のアルキル基がより好ましく、３－メチルブチル基、２－エチルヘキシル基がさらに好ましい。

【0024】

一般式（１）中、Ｒ_４は、任意の１価の置換基を表す。
任意の１価の置換基は、メチル基、エチル基等の炭素原子数１～２０のアルキル基；メトキシ基、エトキシ基等の炭素原子数１～２０のアルコキシ基；Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ等のハロゲン原子；炭素原子数１～２０のアシル基；炭素原子数１～２０のアルキルエステル基；炭素原子数１～２０のアルコキシカルボニル基；炭素原子数１～２０のハロゲン化アルキル基、炭素原子数４～２０の芳香族環基；アミノ基；炭素原子数１～２０のアミノアルキル基；水酸基；ニトロ基；シアノ基；置換基を有してよいベンゾイル基；置換基を有してよいテノイル基等が挙げられる。ベンゾイル基、又はテノイル基が有してよい置換基は、炭素原子数１～１０のアルキル基、炭素原子数１～１０のアルコキシ基、炭素原子数１～１０のアルコキシカルボニル基等が挙げられる。ベンゾイル基、又はテノイル基が有してよい置換基の数は、１～３個が好ましい。
上記の中でも、反応性の観点から、置換基を有してよいベンゾイル基が好ましく、置換基がアルコキシカルボニル基であるベンゾイル基がより好ましい。

【0025】

一般式（１）中、ｎは、０～３の整数を表す。これらの中でもラジカル生成効率の観点から、０、又は１が好ましく、１がより好ましい。

【0026】

オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）の製造方法は、公知の方法を用いることができる。例えば、国際公開第２００８／０７８６７８号、国際公開第２０１４／０５０７３８号、特表２０１６－５１９６７５号公報等に記載された方法が挙げられる。

【0027】

以下、一般式（１）で表される化合物の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。

【0028】

【化4】

【0029】

化学式（２）～（７）の化合物の中でも、パターン形状、塗膜の溶剤耐性の観点から、化学式（７）の化合物が好ましい。

【0030】

オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0031】

（光重合開始剤（Ｃ２））
光重合開始剤（Ｃ２）は、一般式（１）で表されるオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤である。オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤を含有することで、硬化膜内に柔軟な部分ができ、アルカリ現像性、パターン形状が向上する。

【0032】

光重合開始剤（Ｃ２）は、具体的には、４－フェノキシジクロロアセトフェノン、４－ｔ－ブチル－ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－（ジメチルアミノ）－１－［４－（４－モルホリノ）フェニル］－２－（フェニルメチル）－１－ブタノン、又は２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノン等のアセトフェノン系光重合開始剤；
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、又はベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４－フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４－ベンゾイル－４’－メチルジフェニルサルファイド、又は３，３’，４，４’－テトラ（ｔ－ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン系光重合開始剤；
２，４，６－トリクロロ－ｓ－トリアジン、２－フェニル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（ｐ－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（ｐ－トリル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－ピペロニル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－スチリル－ｓ－トリアジン、２－（ナフト－１－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシ－ナフト－１－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（ピペロニル）－６－トリアジン、又は２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシスチリル）－６－トリアジン等のトリアジン系光重合性開始剤；
２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、又はジフェニル－２，４，６－トリメチルベンゾイルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤；
２，２’－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、２，２’－ビス（ｏ－ブロモフェニル））４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、２，２’－ビス（ｏ，ｐ－ジクロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、２，２’－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラ（ｍ－メトキシフェニル）ビイジダゾール、２，２’－ビス（ｏ，ｏ’－ジクロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、２，２’－ビス（ｏ－ニトロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、２，２’－ビス（ｏ－メチルフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、２，２’－ビス（ｏ－トリフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール等のイミダゾール系光重合開始剤等が挙げられる。
これらの中でも、アルカリ現像性、パターン形状の観点から、アセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系重合開始剤、及びイミダゾール系重合性開始剤が好ましく、アセトフェノン系光重合開始剤がより好ましい。

【0033】

アセトフェノン系光重合開始剤の市販品は、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製の「Ｏｍｎｉｒａｄ ９０７」（２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノプロパン－１－オン）、「Ｏｍｎｉｒａｄ ３６９」（２－（ジメチルアミノ）－１－［
４－（４－モルホリノ）フェニル］－２－（フェニルメチル）－１－ブタノン）、「Ｏｍｎｉｒａｄ ３７９ＥＧ」（２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノン）、アシルホスフィンオキサイド系重合開始剤の市販品として、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製の「Ｏｍｎｉｒａｄ ８１９」（ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルホスフィンオキサイド）、「Ｏｍｎｉｒａｄ ＴＰＯ」（ジフェニル－２，４，６－トリメチルベンゾイルホスフィンオキサイド）等が挙げられる。

【0034】

光重合開始剤（Ｃ２）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0035】

オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）とオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤（Ｃ２）の質量比は、アルカリ現像性、パターン形状、及び塗膜耐性の観点から、９０：１０～１０：９０が好ましく、８０：２０～２０：８０がより好ましく、７０：３０～３０：７０がさらに好ましい。

【0036】

光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、重合性化合物（Ｂ）１００質量部に対して、光硬化性の観点から、１～１００質量部が好ましく、３～５０質量部がより好ましく、５～２５質量部がさらに好ましい。

【0037】

［（Ｃ１）及び（Ｃ２）以外の光重合開始剤（Ｃ３）］
本発明の感光性組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）及び光重合開始剤（Ｃ２）以外の光重合開始剤（Ｃ３）（以下、その他光重合開始剤（Ｃ３）ともいう）を含有できる。

【0038】

その他重合開始剤（Ｃ３）は、例えば、ＢＡＳジャパンＦ社製のＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ－０１，０２，０３，０４、ＡＤＥＫＡ社製のアデカアークルズＮ－１９１９，ＮＣＩ－７３０，８３１，９３０、常州強力新材料社製のＴＲＯＮＬＹ ＴＲ－ＰＢＧ－３０１，３０４，３０５，３０９，３１４，３４５，３４６，３５８，３８０，３６５，６１０，３０５４，３０５７、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製のＯＭＮＩＲＡＤ１３１２，１３１４，１３１６、サムヤンコーポレーション社製のＳＰＩ－０２，０３，０４，０５，０６，０７、ダイトーケミックス社製のＤＦＩ－０２０，３０６、ＥＯＸ－０１等が挙げられる。

【0039】

［アルカリ可溶性樹脂（Ａ）］
本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を含む。

【0040】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、アルカリ現像液に溶解する樹脂であればよく、公知の樹脂を用いることができる。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、非感光性アルカリ可溶性樹脂、感光性アルカリ可溶性樹脂に分類できる。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、ヒドロキシル基、フェノール性ヒドロキシル基などのアルカリ可溶性基を有する。これらの中でも、カルボキシル基が好ましい。
非感光性アルカリ可溶性樹脂は、例えば、酸性基を有するアクリル樹脂、α－オレフィン／（無水）マレイン酸共重合体、スチレン／スチレンスルホン酸共重合体、エチレン／（メタ）アクリル酸共重合体、又はイソブチレン／（無水）マレイン酸共重合体等が挙げられる。感光性アルカリ可溶性樹脂は、重合性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂である。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、エポキシ基やオキセタニル基等の熱硬化性基を含有できる。

【0041】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、現像性の観点から、２，０００～４０，０００が好ましく、３，０００～３００，００がより好ましく、４，０００～
２０，０００がさらに好ましい。また、Ｍｗ／Ｍｎの値は１０以下が好ましい。適度な重量平均分子量（Ｍｗ）により基板に対する密着性、及び現像溶解性が向上する。

【0042】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価は、５０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、７０～１８０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、９０～１７０ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。適度な酸価により基板に対する密着性、及び現像溶解性が向上する。

【0043】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、１～８０質量％が好ましく、５～６０質量％がより好ましく、１０～５０質量％がさらに好ましい。

【0044】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0045】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、パターン形状、塗膜の溶剤耐性の観点から、感光性アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。

【0046】

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１））
本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）として、パターン形状、及び塗膜の溶剤耐性の観点から、脂環式炭化水素含有単量体単位（ａ１）、及びカルボキシル基含有単量体単位（ａ２）を含有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）を含むことが好ましい。
すなわち、高いガラス転移温度を有し、柔軟性と剛直性を兼ね備えた脂環式炭化水素構造は、密着性に優れ、かつ強靭な被膜が形成できると推測する。そして、更に、高感度である一般式（１）で表されるオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）と、オキシム系光重合開始剤（Ｃ１）と感度が異なる（低感度）光重合開始剤（Ｃ２）とを組み合わせることで、強靭な部分と柔軟な部分が共存する硬化膜が形成できるため、アルカリ現像性、パターン形状、及び溶剤耐性に優れた被膜が形成できると推測する。

【0047】

〔脂環式炭化水素含有単量体単位（ａ１）〕
脂環式炭化水素含有単量体は、例えば、イソボロニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、パターン形成の観点から、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレートが好ましい。

【0048】

〔カルボキシル基含有単量体単位（ａ２）〕
カルボキシル基含有単量体は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等が挙げられる。また、α－（ヒドロキシメチル）アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基およびカルボキシル基を含有する単量体を併用することもできる。これらの中でも、アクリル酸、メタクリル酸が好ましい。

【0049】

〔その他単量体単位（ａ３）〕
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、脂環式炭化水素含有単量体（ａ１）、及びカルボキシル基含有単量体単位（ａ２）以外にその他単量体単位（ａ３）を含有できる。

【0050】

その他単量体は、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ラ
ウリル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート類；
２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－若しくは３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－若しくは３－若しくは４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、又はシクロヘキサンジメタノールモノ（メタ）アクリレート等の水酸基含有（メタ）アクリレート類；
ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートに、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び／又はブチレンオキシド等を付加重合させたポリエーテルモノ（メタ）アクリレートや、ポリγ－バレロラクトン、ポリε－カプロラクトン、及び／又はポリ１２－ヒドロキシステアリン酸等を付加したポリエステルモノ（メタ）アクリレート類；
グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２－グリシドキシエチル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシブチル（メタ）アクリレート、及び３，４－エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート等のエポキシ基含有（メタ）アクリレート類；
（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－イソプロピル（メタ）アクリルアミド、ダイアセトン（メタ）アクリルアミド、又はアクリロイルモルホリン等の（メタ）アクリルアミド類；
スチレン、又はα－メチルスチレン等のスチレン類；
エチルビニルエーテル、ｎ－プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ－ブチルビニルエーテル、又はイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類；
酢酸ビニル、又はプロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類；
フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、１，２－ビスマレイミドエタン１，６－ビスマレイミドヘキサン、３－マレイミドプロピオン酸、６，７－メチレンジオキシ－４－メチル－３－マレイミドクマリン、４，４’－ビスマレイミドジフェニルメタン、ビス（３－エチル－５－メチル－４－マレイミドフェニル）メタン、Ｎ，Ｎ’－１，３－フェニレンジマレイミド、Ｎ，Ｎ’－１，４－フェニレンジマレイミド、Ｎ－（１－ピレニル）マレイミド、Ｎ－（２，４，６－トリクロロフェニル）マレイミド、Ｎ－（４－アミノフェニル）マレイミド、Ｎ－（４－ニトロフェニル）マレイミド、Ｎ－ベンジルマレイミド、Ｎ－ブロモメチル－２，３－ジクロロマレイミド、Ｎ－スクシンイミジル－３－マレイミドベンゾエ－ト、Ｎ－スクシンイミジル－３－マレイミドプロピオナ－ト、Ｎ－スクシンイミジル－４－マレイミドブチラ－ト、Ｎ－スクシンイミジル－６－マレイミドヘキサノア－ト、Ｎ－［４－（２－ベンゾイミダゾリル）フェニル］マレイミド、９－マレイミドアクリジン等のＮ－置換マレイミド類；
２－（メタ）アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート、上述した水酸基含有（メタ）アクリレートの水酸基に、たとえば５酸化リンやポリリン酸等のリン酸エステル化剤を反応させた化合物等のリン酸エステル基含有（メタ）アクリレート類等が挙げられる。

【0051】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、脂環式炭化水素含有単量体単位（ａ１）、及びカルボキシル基含有単量体単位（ａ２）を含有すれば良く、その合成方法は限定されない。以下、好ましい合成法である方法（ｉ）、方法（ｉｉ）を説明する。

【0052】

＜方法（ｉ）＞
方法（ｉ）は、例えば、脂環式炭化水素含有単量体、及びカルボキシル基含有単量体の共重合体を合成することで、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）を合成できる。

【0053】

＜方法（ｉｉ）＞
方法（ｉｉ）は、例えば、脂環式炭化水素含有単量体、及びエポキシ基含有単量体の共
重合体を合成する。次いで、前記共重合体のエポキシ基に、カルボキシル基含有単量体を付加し、生成した水酸基と酸無水物とをエステル化反応させることで、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）を合成できる。

【0054】

エポキシ基含有単量体は、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２－グリシドキシエチル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシブチル（メタ）アクリレート、及び３，４－エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレートが挙げられる。これらの中でも、反応性の観点で、グリシジル（メタ）アクリレートが好ましい。

【0055】

酸無水物は、例えば、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられる。これらは、単独又は２種以上併用して使用できる。

【0056】

脂環式炭化水素含有単量体単位（ａ１）の含有量は、パターン形状、及び塗膜の溶剤耐性の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の全構成単位中、５～６０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましい。

【0057】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の含有量は、パターン形状、及び塗膜の溶剤耐性の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００質量％中、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましい。

【0058】

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ２））
本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）として、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）以外のアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）を含有することができる。

【0059】

［重合性化合物（Ｂ）］
本発明の感光性組成物は、重合性化合物（Ｂ）を含む。

【0060】

重合性化合物（Ｂ）は、モノマー、オリゴマーが挙げられる。重合性不飽和基は、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、（メタ）アクリロイルオキシ基等が挙げられる。重合性化合物（Ｂ）は、例えば、ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）、酸基を有する重合性化合物（Ｂ２）、ウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３）（ただし、（Ｂ２）を除く）、その他重合性化合物（Ｂ４）等が挙げられる。

【0061】

（ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１））
本発明の感光性組成物は、塗膜の溶剤耐性の観点から、ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）を含むことが好ましい。

【0062】

ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）は、分子内にラクトンで変性された構造を有する化合物である。ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）は、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエチスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメトロールメラミン等の多価アルコールと、（メタ）アクリル酸およびε－カプロラクトンもしくはその他のラクトン化合物をエステル化することにより得られる。ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）は、下記一般式（８）で表される化合物が好ましい。

【0063】

一般式（８）

【化5】

【0064】

（一般式（８）中、６個のＲは全て下記一般式（９）で表される基であるか、または６個のＲのうち１～５個が下記一般式（９）で表される基であり、残りが下記一般式（１０）で表される基である。）

【0065】

一般式（９）

【化6】

【0066】

（一般式（９）中、Ｒ^１は水素原子、またはメチル基を表し、ｍは１、または２の整数であり、＊は一般式（８）の酸素原子と結合する結合手である。）

【0067】

一般式（１０）

【化7】

【0068】

（一般式（１０）中、Ｒ^１は水素原子、またはメチル基を表し、＊は一般式（８）の酸素原子と結合する結合手である。）

【0069】

ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）は、例えば、日本化薬社製のＫＡＹＡＲＡＤ
ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ－２０（上記一般式（８）～（１０）において、ｍ＝１、一般式（９）に表される基の数＝２、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ－３０（上記一般式（８）～（１０）において、ｍ＝１、一般式（９）に表される基の数＝３、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ－６０（上記一般式（８）～（１０）において、ｍ＝１、一般式（９）に表される基の数＝６、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ－１２０（上記一般式（８）～（１０）において、ｍ＝２、一般式（９）に表される基の数＝６、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）等が挙げられる。

【0070】

ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）は、塗膜の溶剤耐性の観点から、上記一般式（８）～（１０）において、ｍ＝１、一般式（９）に表される基の数＝２～６、Ｒ^１が全て水素原子である化合物が好ましく、上記一般式（８）～（１０）において、ｍ＝１、一般式（９）に表される基の数＝２又は３、Ｒ^１が全て水素原子である化合物がより好まし
い。

【0071】

ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）の含有量は、塗膜の溶剤耐性の観点から、重合性化合物（Ｂ）１００質量％中、５～８０質量％が好ましく、１０～７０質量％がより好ましく、２０～６０質量％がさらに好ましい。

【0072】

（酸基を有する重合性化合物（Ｂ２））
本発明の感光性組成物は、アルカリ現像性、パターン形状の観点から、酸基を有する重合性化合物（Ｂ２）を含むことが好ましい。酸基を有する重合性化合物（Ｂ２）の酸基は、例えば、スルホン酸基、カルボキシル基、リン酸基等が挙げられる。これらのなかでも、カルボキシル基が好ましい。

【0073】

酸基を有する重合性化合物（Ｂ２）は、例えば、多価アルコールと（メタ）アクリル酸との遊離水酸基含有ポリ（メタ）アクリレート類と、ジカルボン酸類とのエステル化物；多価カルボン酸と、モノヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類とのエステル化物等が挙げられる。
多価アルコールは、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等が挙げられる。
ジカルボン酸類は、例えば、マロン酸、コハク酸、マレイン酸、グルタル酸、フタル酸イタコン酸等が挙げられる。
多価カルボン酸は、例えば、トリメリット酸、ピロメリット酸等が挙げられる。
モノヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類は、例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、２－ヒドロキシ－３－アクリロイロキシプロピルメタクリレート等が挙げられる。

【0074】

酸基を有する重合性化合物（Ｂ２）の市販品は、大阪有機社製のビスコート＃２５００Ｐ、東亞合成社製アロニックスＭ－５３００，Ｍ－５４００，Ｍ－５７００，Ｍ－５１０，Ｍ－５２０，Ｍ－５２１等が挙げられる。

【0075】

酸基を有する重合性化合物（Ｂ２）の含有量は、アルカリ現像性、パターン形状の観点から、重合性化合物（Ｂ）１００質量％中、５～８０質量％が好ましく、１０～７０質量部％であることがより好ましく、２０～６０質量％であることがさらに好ましい。

【0076】

（ウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３））
本発明の感光性組成物は、アルカリ現像性、パターン形状、及び塗膜の溶剤耐性の観点から、ウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３）を含むことが好ましい。

【0077】

ウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３）は、例えば、水酸基を有する（メタ）アクリレートに多官能イソシアネートを反応させて得られるウレタン（メタ）アクリレートや、多価アルコールに多官能イソシアネートを反応させ、さらに水酸基を有する（メタ）アクリレートを反応させて得られるウレタン（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【0078】

上記水酸基を有する（メタ）アクリレートは、例えば、２-ヒドロキシエチル（メタ）
アクリレート、４-ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリ
レート、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールプロピレンオキサイド変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ペンタ（メタ）アクリレート、グリセロールアクリレートメタクリレート、グリセロールジメタクリレート、２-ヒドロキシ-３-アクリロイ
ルプロピルメタクリレート、エポキシ基含有化合物とカルボキシ（メタ）アクリレートの反応物、水酸基含有ポリオールポリアクリレート等が挙げられる。

【0079】

上記多官能イソシアネートは、例えば、芳香族ジイソシアネートであるトリレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネートであるトリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、脂環式ジイソシアネートであるイソホロンジイソシアネートや、これらのビュレット体、イソシアネートヌレート体、トリメチロールプロパンアダクト体等が挙げられる。

【0080】

ウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３）は、現像性の観点から、更に、酸基を有することも好ましい。酸基は、例えば、スルホン酸基、カルボキシル基、リン酸基等を挙げられる。なかでも、カルボキシル基が好ましい。

【0081】

ウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３）に酸基を導入する方法は、例えば、まず、上記水酸基を有する（メタ）アクリレートと上記多官能イソシアネートとを反応させる。次いで、生成物にカルボキシル基を有するメルカプト化合物を付加させる方法で合成できる。

【0082】

上記カルボキシル基を有するメルカプト化合物は、例えば、メルカプト酢酸、２－メルカプトプロピオン酸、３－メルカプトプロピオン酸、ｏ－メルカプト安息香酸、２－メルカプトニコチン酸、メルカプトコハク酸等が挙げられる。

【0083】

ウレタン結合及び酸基を有する重合性化合物（Ｂ３）の含有量は、アルカリ現像性、パターン形状、及び塗膜の溶剤耐性の観点から、重合性化合物（Ｂ）１００質量％中、５～８０質量％が好ましく、１０～７０質量部％であることがより好ましく、２０～６０質量％であることがさらに好ましい。

【0084】

（その他重合性化合物（Ｂ４））
その他重合性化合物（Ｂ４）は、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、β－カルボキシエチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオ－ルジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロ－ルプロパントリ（メタ）アクリレート、フェノキシテトラエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコール（メタ）アクリレート、トリメチロ－ルプロパンＰＯ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロ－ルプロパンＥＯ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性ジ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性トリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロ－ルプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオ－ルジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、メチロ－ル化メラミンの（メタ）アクリル酸エステル、エポキシ（メタ）
アクリレート、ウレタンアクリレート等の各種アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。

【0085】

その他重合性化合物（Ｂ４）の市販品は、例えば、日本化薬社製のＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ－１２８Ｈ、Ｒ５２６、ＰＥＧ４００ＤＡ、ＭＡＮＤ、ＮＰＧＤＡ、Ｒ－１６７、ＨＸ－２２０、Ｒ－５５１、Ｒ７１２、Ｒ－６０４、Ｒ－６８４、ＧＰＯ－３０３、ＴＭＰＴＡ、ＤＰＨＡ、ＤＰＥＡ－１２、ＤＰＨＡ－２Ｃ、Ｄ－３１０、Ｄ－３３０、及び東亞合成社製のアロニックスＭ－３０３、Ｍ－３０５、Ｍ－３０６、Ｍ－３０９、Ｍ－３１０、Ｍ－３２１、Ｍ－３２５、Ｍ－３５０、Ｍ－３６０、Ｍ－３１３、Ｍ－３１５、Ｍ－４００、Ｍ－４０２、Ｍ－４０３、Ｍ－４０４、Ｍ－４０５、Ｍ－４０６、Ｍ－４５０、Ｍ－４５２、Ｍ－４０８、Ｍ－２１１Ｂ、Ｍ－１０１Ａ、大阪有機社製のビスコート＃３１０ＨＰ、＃３３５ＨＰ、＃７００、＃２９５、＃３３０、＃３６０、＃ＧＰＴ、＃４００、＃４０５、共栄社化学社製のＡＨ－６００、ＡＴ－６００、新中村化学社製のＮＫエステルＡ－９３００，ＡＢＥ－３００，Ａ－ＤＯＧ，Ａ－ＤＣＰ，Ａ－ＢＰＥ－４、ダイセル・オルネクス社製のＥＢＥＣＲＹＬ４０，１３０，１４０，１４５、大阪ガスケミカル社製のＯＧＳＯＬ ＥＡ－０２００，０３００等が挙げられる。

【0086】

重合性化合物（Ｂ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0087】

重合性化合物（Ｂ）は、アルカリ現像性、パターン形状、及び塗膜の溶剤耐性の観点から、ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１）、酸基を有する重合性化合物（Ｂ２）、及びウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３）からなる群から選ばれるいずれか１種以上を含むことが好ましく、２種以上を含むことがより好ましい。

【0088】

重合性化合物（Ｂ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、１～６０質量％が好ましく、２～５０質量％がより好ましい。

【0089】

［増感剤（Ｄ）］
本発明の感光性組成物は、パターン形状の観点から、増感剤（Ｄ）を含むことが好ましい。

【0090】

増感剤（Ｄ）は、例えば、カルコン系化合物、ジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される１，２－ジケトン系化合物、ベンゾイン系化合物、フルオレン系化合物、ナフトキノン系化合物、アントラキノン系化合物、キサンテン系化合物、チオキサンテン系化合物、キサントン系化合物、チオキサントン系化合物、クマリン系化合物、ケトクマリン系化合物、シアニン系化合物、メロシアニン系化合物、オキソノール系化合物等のポリメチン色素、アクリジン系化合物、アジン系化合物、チアジン系化合物、オキサジン系化合物、インドリン系化合物、アズレン系化合物、アズレニウム系化合物、スクアリリウム系化合物、ポルフィリン系化合物、テトラフェニルポルフィリン系化合物、トリアリールメタン系化合物、テトラベンゾポルフィリン系化合物、テトラピラジノポルフィラジン系化合物、フタロシアニン系化合物、テトラアザポルフィラジン系化合物、テトラキノキサリロポルフィラジン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、サブフタロシアニン系化合物、ピリリウム系化合物、チオピリリウム系化合物、テトラフィリン系化合物、アヌレン系化合物、スピロピラン系化合物、スピロオキサジン系化合物、チオスピロピラン系化合物、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体、又はベンゾフェノン系化合物等が挙げられる。これらの中でも、パターン形成性の観点から、チオキサントン系化合物（Ｄ１）、又はベンゾフェノン系化合物（Ｄ２）が好ましく
、ベンゾフェノン系化合物（Ｄ２）がより好ましい。

【0091】

（チオキサントン系化合物（Ｄ１））
チオキサントン系化合物（Ｄ１）は、例えば、２，４－ジエチルチオキサントン、２－クロロチオキサントン、２，４－ジクロロチオキサントン、２－イソプロピルチオキサントン、４－イソプロピルチオキサントン、１－クロロ－４－プロポキシチオキサントン等が挙げられる。これらの中でも、２，４－ジエチルチオキサントンが好ましい。

【0092】

（ベンゾフェノン系化合物（Ｄ２））
ベンゾフェノン系化合物（Ｄ２）は、例えば、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２－アミノベンゾフェノン等が挙げられる。これらの中でも、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。

【0093】

増感剤（Ｄ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0094】

増感剤（Ｄ）の含有量は、パターン形状の観点から、光重合開始剤（Ｃ）１００質量部に対して、５～３００質量部が好ましく、１０～２００質量部がより好ましい。

【0095】

［チオール系連鎖移動剤（Ｅ）］
本発明の感光性組成物は、塗膜耐性の観点から、チオール系連鎖移動剤（Ｅ）を含むことが好ましい。

【0096】

チオール系連鎖移動剤（Ｅ）は、チオール基（ＳＨ基）を２以上有する多官能チオールが好ましい。なお、チオール系連鎖移動剤は、ＳＨ基を４以上有することがより好ましい。官能基数が増えると被膜の表面から最深部まで光硬化し易くなる。

【0097】

多官能チオールは、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４－ブタンジオ－ルビスチオプロピオネート、１，４－ブタンジオ－ルビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロ－ルプロパントリスチオグリコレート、トリメチロ－ルプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロ－ルプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４－ジメチルメルカプトベンゼン、２、４、６－トリメルカプト－ｓ－トリアジン、２－（Ｎ，Ｎ－ジブチルアミノ）－４，６－ジメルカプト－ｓ－トリアジンなどが挙げられ、好ましくは、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロ－ルプロパントリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート等が挙げられる。

【0098】

チオール系連鎖移動剤（Ｅ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0099】

チオール系連鎖移動剤（Ｅ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、１～１０質量％が好ましく、２～８質量％がより好ましい。

【0100】

［着色剤（Ｆ）］
本発明の感光性組成物は、着色剤（Ｆ）を含有できる。着色剤（Ｆ）は、顔料及び染料のいずれでもよく、併用できる。

【0101】

（顔料）
顔料は、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物を例示する。
赤色顔料は、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１，２，３，４，５，６，７，８，９，１２，１４，１５，１６，１７，２１，２２，２３，３１，３２，３７，３８，４１，４７，４８，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５０：１，５２：１，５２：２，５３，５３：１，５３：２，５３：３，５７，５７：１，５７：２，５８：４，６０，６３，６３：１，６３：２，６４，６４：１，６８，６９，８１，８１：１，８１：２，８１：３，８１：４，８３，８８，９０：１，１０１，１０１：１，１０４，１０８，１０８：１，１０９，１１２，１１３，１１４，１２２，１２３，１４４，１４６，１４７，１４９，１５１，１６６，１６８，１６９，１７０，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８１，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，１９３，１９４，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１４，２１６，２２０，２２１，２２４，２３０，２３１，２３２，２３３，２３５，２３６，２３７，２３８，２３９，２４２，２４３，２４５，２４７，２４９，２５０，２５１，２５３，２５４，２５５，２５６，２５７，２５８，２５９，２６０，２６２，２６３，２６４，２６５，２６６，２６７，２６８，２６９，２７０，２７１，２７２，２７３，２７４，２７５，２７６，２７７，２７８，２７９，２８０，２８１，２８２，２８３，２８４，２８５，２８６，２８７，２９１，２９５，２９６、特開２０１４－１３４７１２号公報に記載された顔料、特許第６３６８８４４号公報に記載された顔料等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性、耐光性、及び透過率の観点から、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１，１２２，１７７，２２４，２４２，２６９，２５４，２９１，２９５，２９６、特開２０１４－１３４７１２号公報に記載された顔料、特許第６３６８８４４号公報に記載された顔料が好ましく、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７，２５４，２９１，２９５，２９６、特開２０１４－１３４７１２号公報に記載された顔料、特許第６３６８８４４号公報に記載された顔料がさらに好ましい。

【0102】

橙色顔料は、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６，３８，４３，６４，７１，７３等が挙げられる。

【0103】

黄色顔料は、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，２，３，４，５，６，１０，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２６，１２７，１２８，１２９，１３８，１３９，１４７，１５０，１５１，１５２、１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９２，１９３，１９４，１９６，１９８，１９９，２１３，２１４，２３１，２３３、特開２０１２－２２６１１０号公報に記載された顔料等が挙げられる。これらの中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８，１３９，１５０，１８５，２３１，２３３、特開２０１２－２２６１１０号公報に記載された顔料が好ましい。

【0104】

緑色顔料は、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１，２，４，７，８，１０，１３，１４，１５，１７，１８，１９，２６，３６，３７，４５，４８，５０，５１，５４，５５，５８，５９，６２，６３等が挙げられる。これらの中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、５８、５９、６２、６３が好ましい。

【0105】

青色顔料は、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，１：２，９，１４，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，１７，１９，２５，２７，２８，２９，３３，３５，３６，５６，５６：１，６０，６１，６１：１，６２，６３，６６，
６７，６８，７１，７２，７３，７４，７５，７６，７８，７９等が挙げられる。これらの中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６が好ましい。

【0106】

紫色顔料は、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，１：１，２，２：２，３，３：１，３：３，５，５：１，１４，１５，１６，１９，２３，２５，２７，２９，３１，３２，３７，３９，４２，４４，４７，４９，５０等が挙げられる。これらの中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９，２３が好ましい。

【0107】

黒色顔料は、具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１，６，７，１２，２０，３１等が挙げられる。また、赤色顔料、黄色顔料、青色顔料、緑色顔料、及び紫色顔料から選ばれる少なくとも２種以上の顔料を用いて黒色着色剤としてもよい。

【0108】

顔料の中で無機顔料は、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III)）、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、
コバルト緑、アンバー、合成鉄黒等が挙げられる。

【0109】

（染料）
染料は、例えば、酸性染料、直接染料、塩基性染料、造塩染料、油溶性染料、分散染料、反応染料、媒染染料、建染染料、硫化染料等が挙げられる。また、これらの誘導体や、染料をレーキ化したレーキ顔料も挙げられる。

【0110】

酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有することが好ましい。また、酸性染料と、四級アンモニウム塩化合物、三級アミン化合物、二級アミン化合物、または一級アミン化合物等の含窒素化合物との塩である造塩化合物が好ましい。また、これらの官能基を有する樹脂成分と酸性染料との塩である造塩化合物も好ましい。また、造塩化合物は、スルホンアミド化してスルホン酸アミド化合物に変性することで耐性（耐光性、耐溶剤性）に優れた感光性組成物を得やすい。
また、酸性染料とオニウム塩基を有する化合物との造塩化合物も、耐性（耐光性、溶剤耐性）に優れるため好ましい。なお、オニウム塩基を有する化合物は、カチオン性基を有する樹脂が好ましい。

【0111】

塩基性染料は、そのままでも使用できるが、有機酸や過塩素酸またはその金属塩と塩を形成する造塩化合物が好ましい。塩基性染料の造塩化合物は、耐性（耐光性、耐溶剤性）や、顔料との親和性が優れているため好ましい。また、塩基性染料の造塩化合物で、カウンタイオンとしてはたらくアニオン成分は、有機スルホン酸、有機硫酸、フッ素基含有リンアニオン化合物、フッ素基含有ホウ素アニオン化合物、シアノ基含有窒素アニオン化合物、ハロゲン化炭化水素基を有する有機酸の共役塩基を有するアニオン化合物、酸性染料とを造塩した造塩化合物が好ましい。なお、造塩化合物は、分子中に重合性不飽和基を含有すると耐性がより向上する。

【0112】

染料の化学構造は、例えば、アゾ系染料、ジスアゾ系染料、アゾメチン系染料（インドアニリン系染料、インドフェノール系染料など）、ジピロメテン系染料、キノン系染料（ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、アントラピリドン系染料など）、カルボニウム系染料（ジフェニルメタン系染料、トリフェニルメタン系染料、キサンテン系染料、アクリジン系染料など）、キノンイミン系染料（オキサジン系染料、チアジン系染料など）、アジン系染料、ポリメチン系染料（オキソノール系染料、メロシアニン系染料、アリーリデン系染料、スチリル系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料など）、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料、ペリノン系染料、インジゴ系染料、チオインジゴ系染料、キノ
リン系染料、ニトロ系染料、ニトロソ系染料、ローダミン系染料、及びそれらの金属錯体系染料等から選ばれる染料に由来する色素構造を挙げることができるが、特にこれらに限定されない。

【0113】

これらの色素構造の中でも、色相、色分離性、色むらなどの色特性の観点から、アゾ系染料、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、スクアリリウム系染料、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料から選ばれる色素に由来する色素構造が好ましく、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、フタロシアニン系染料から選ばれる色素に由来する色素構造がより好ましい。

【0114】

着色剤（Ｆ）は、単独、または２種類以上を併用して使用することができる。

【0115】

着色剤（Ｆ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、５～７０質量％が好ましく、１０～６０質量％がより好ましい。

【0116】

（顔料の微細化）
顔料は、微細化して用いることが好ましい。微細化方法は、特に限定されるものではなく、例えば、湿式磨砕、乾式磨砕、溶解析出法いずれも使用できる。これらの中でも、湿式磨砕の１種であるニーダー法によるソルトミリング処理が好ましい。微細化顔料のＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）により求められる平均一次粒子径は、５～９０ｎｍが好ましい。なお、分散性、コントラスト比の観点から、平均一次粒子径は１０～７０ｎｍがより好ましい。

【0117】

ソルトミリング処理とは、顔料と水溶性無機塩と水溶性有機溶剤との混合物を、ニーダー、２本ロールミル、３本ロールミル、ボールミル、アトライター、サンドミル等の混練機を用いて、加熱しながら機械的に混練した後、水洗により水溶性無機塩と水溶性有機溶剤を除去する処理である。水溶性無機塩は、破砕助剤として働くものであり、ソルトミリング時に無機塩の硬度の高さを利用して顔料が破砕される。顔料をソルトミリング処理する際の条件を最適化することにより、一次粒子径が非常に微細であり、また、分布の幅がせまく、シャープな粒度分布をもつ顔料を得ることができる。

【0118】

水溶性無機塩は、塩化ナトリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウム等が挙げられる。水溶性無機塩は、価格の点から塩化ナトリウム（食塩）が好ましい。水溶性無機塩の使用量は、処理効率と生産効率の両面から、顔料１００質量部に対して、５０～２，０００質量部が好ましく、３００～１，０００質量部がより好ましい。

【0119】

水溶性有機溶剤は、顔料および水溶性無機塩を湿潤する働きをするものであり、水に溶解（混和）し、かつ用いる無機塩を実質的に溶解しない溶剤である。ただし、ソルトミリング時に温度が上昇し、溶剤が蒸発し易い状態になるため、安全性の点から、沸点１２０℃以上の高沸点溶剤が好ましい。例えば、２－メトキシエタノール、２－ブトキシエタノール、２－（イソペンチルオキシ）エタノール、２－（ヘキシルオキシ）エタノール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、液状のポリエチレングリコール、１－メトキシ－２－プロパノール、１－エトキシ－２－プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、液状のポリプロピレングリコール等が用いられる。水溶性有機溶剤の使用量は、顔料１００質量部に対して、５～１，０００質量部が好ましく、５０～５００質量部がより好ましい。

【0120】

ソルトミリング処理には、必要に応じて樹脂を添加してもよい。前記樹脂の種類は特に限定されず、天然樹脂、変性天然樹脂、合成樹脂、天然樹脂で変性された合成樹脂等が挙げられる。これらの中でも、室温で固体であり、水不溶性であることが好ましく、かつ上記有機溶剤に一部可溶であることが好ましい。樹脂の添加量は、顔料１００質量部に対して、２～２００質量部が好ましい。

【0121】

［色素誘導体（Ｇ）］
本発明の感光組成物は、色素誘導体（Ｇ）を含有できる。

【0122】

色素誘導体（Ｇ）は、有機色素残基に酸性基、塩基性基、中性基などを有する化合物である。色素誘導体（Ｇ）は、例えば、スルホ基、カルボキシ基、リン酸基などの酸性置換基を有する化合物、およびこれらのアミン塩や、スルホンアミド基や末端に３級アミノ基などの塩基性置換基を有する化合物、フェニル基やフタルイミドアルキル基などの中性置換基を有する化合物が挙げられる。
有機色素は、例えばジケトピロロピロール系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チアジンインジゴ系顔料、トリアジン系顔料、ベンズイミダゾロン系顔料、ベンゾイソインドール等のインドール系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、ナフトール系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料、アゾ、ジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料等が挙げられる。

【0123】

具体的には、ジケトピロロピロール系色素誘導体は、特開２００１－２２０５２０号公報、国際公開第２００９／０８１９３０号、国際公開第２０１１／０５２６１７号、国際公開第２０１２／１０２３９９号、特開２０１７－１５６３９７号公報、フタロシアニン系色素誘導体は、特開２００７－２２６１６１号公報、国際公開第２０１６／１６３３５１号、特開２０１７－１６５８２０号公報、特許第５７５３２６６号公報、アントラキノン系色素誘導体は、特開昭６３－２６４６７４号公報、特開平０９－２７２８１２号公報、特開平１０－２４５５０１号公報、特開平１０－２６５６９７号公報、特開２００７－０７９０９４号公報、国際公開第２００９／０２５３２５号、キナクリドン系色素誘導体は、特開昭４８－５４１２８号公報、特開平０３－９９６１号公報、特開２０００－２７３３８３号公報、ジオキサジン系色素誘導体は、特開２０１１－１６２６６２号公報、チアジンインジゴ系色素誘導体は、特開２００７－３１４７８５号公報、トリアジン系色素誘導体は、特開昭６１－２４６２６１号公報、特開平１１－１９９７９６号公報、特開２００３－１６５９２２号公報、特開２００３－１６８２０８号公報、特開２００４－２１７８４２号公報、特開２００７－３１４６８１号公報、ベンゾイソインドール系色素誘導体は、特開２００９－５７４７８号公報、キノフタロン系色素誘導体は、特開２００３－１６７１１２号公報、特開２００６－２９１１９４号公報、特開２００８－３１２８１号公報、特開２０１２－２２６１１０号公報、ナフトール系色素誘導体は、特開２０１２－２０８３２９号公報、特開２０１４－５４３９号公報、アゾ系色素誘導体は、特開２００１－１７２５２０号公報、特開２０１２－１７２０９２号公報、酸性置換基は、特開２００４－３０７８５４号公報、塩基性置換基は、特開２００２－２０１３７７号公報、特開２００３－１７１５９４号公報、特開２００５－１８１３８３号公報、特開２００５－２１３４０４号公報等に記載の公知の色素誘導体が挙げられる。なお、これらの文献には、色素誘導体を誘導体、顔料誘導体、分散剤、顔料分散剤若しくは単に化合物などと記載している場合があるが、前記した有機色素残基に酸性基、塩基性基、中性基などの置換基を有する化合物は、色素誘導体と同義である。

【0124】

色素誘導体（Ｇ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0125】

色素誘導体（Ｇ）の含有量は、着色剤（Ｆ）１００質量部に対して、１～２０質量部が好ましく、２～１０質量部がより好ましい。

【0126】

［分散樹脂（Ｈ）］
本発明の感光性組成物は、分散樹脂（Ｈ）を含有できる。

【0127】

分散樹脂（Ｈ）は、着色剤（Ｆ）に親和性が高い吸着基を有している樹脂が好ましい。吸着基は、塩基性基、および酸性基のうち１種以上有していることが好ましく、現像性の観点から、酸性基を有することが好ましい。

【0128】

塩基性基は、例えば、１級アミノ基、２級アミノ基、３級アミノ基、４級アンモニア塩基、および含窒素複素環など窒素原子を含有する基等が挙げられる。

【0129】

酸性基は、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基等が挙げられる。これらの中でも、顔料への吸着性、現像性の観点からカルボキシル基、リン酸基が好ましい。

【0130】

分散樹脂（Ｈ）の樹脂種は、例えば、ウレタン樹脂、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩等、（メタ）アクリル酸－スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸－（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン－マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコ－ル、ポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート系、エチレンオキサイド／プロピレンオキサイド付加化合物、リン酸エステル系等が挙げられる。

【0131】

分散樹脂（Ｈ）の構造は、例えば、ランダム構造、ブロック構造、グラフト構造、くし型構造、および星型構造等が挙げられる。これらの中でも、分散安定性の観点から、ブロック構造、またはくし型構造が好ましい。

【0132】

分散樹脂（Ｈ）の市販品は、例えば、ビックケミー・ジャパン社製のＤｉｓｐｅｒｂｙｋ－１０１,１０３,１０７,１０８,１１０，１１１，１１６，１３０，１４０，１５４，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６，１６７，１６８，１７０，１７１，１７４，１８０，１８１，１８２，１８３，１８４，１８５，１９０，２０００，２００１，２００９，２０１０，２０２０，２０２５，２０５０，２０７０，２０９５，２１５０，２１５５，２１６３，２１６４、またはＡｎｔｉ－Ｔｅｒｒａ－Ｕ２０３，２０４、またはＢＹＫ－Ｐ１０４，Ｐ１０４Ｓ，２２０Ｓ、またはＬａｃｔｉｍｏｎ、Ｌａｃｔｉｍｏｎ－ＷＳ、またはＢｙｋｕｍｅｎ等、日本ルーブリゾール社製のＳＯＬＳＰＥＲＳＥ－３０００，９０００，１３０００，１３２４０，１３６５０，１３９４０，１６０００，１７０００，１８０００，２００００，２１０００，２４０００，２６０００，２７０００，２８０００，３１８４５，３２０００，３２５００，３２５５０，３３５００，３２６００，３４７５０，３５１００，３６６００，３８５００，４１０００，４１０９０，５３０９５，５５０００，５６０００，７６５００等、ＢＡＳＦジャパン社製のＥＦＫＡ－４６，４７，４８，４５２，４００８，４００９，４０１０，４０１５，４０２０，４０４７，４０５０，４０５５，４０６０，４０８０，４４００，４４０１，４４０２，４４０３，４４０６，４４０８，４３００，４３１０，４３２０，４３３０，４３４０，４５０，４５１，４５３，４５４０，４５５０，４５６０，４８００，５０１０，５０６５，５０６６，５０７０，７５００，７５５４，１１０１，１２０，１５０，１５０１，１５０２，１５０３等、味の素ファインテクノ社製のアジスーパーＰＡ１１１，ＰＢ７１
１，ＰＢ８２１，ＰＢ８２２，ＰＢ８２４等、特開２００８－０２９９０１号公報、特開２００９－１５５４０６号公報、特開２０１０－１８５９３４号公報、特開２０１１－１５７４１６号公報、国際公開２００８／００７７７６号、特開２００８－０２９９０１号公報、特開２００９－１５５４０６号公報、特開２０１０－１８５９３４号公報、特開２０１１－１５７４１６号公報、特開２００９－２５１４８１号公報、特開２００７－２３１９５号公報、特開１９９６－１４３６５１号公報等に記載の樹脂が挙げられる。

【0133】

分散樹脂（Ｈ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0134】

分散樹脂（Ｈ）の含有量は、分散安定性の観点から、着色剤（Ｆ）１００質量部に対して、３～２００質量部が好ましく、５～１００質量部がより好ましい。

【0135】

［熱硬化性化合物（Ｉ）］
本発明の感光性組成物は、熱硬化性化合物（Ｉ）を含有できる。これにより、加熱工程で熱硬化性化合物（Ｉ）が反応し、架橋密度が高まるため耐熱性が向上する。

【0136】

熱硬化性化合物（Ｉ）は、低分子化合物や、樹脂のような高分子量化合物でもよい。熱硬化性化合物（Ｉ）は、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ベンゾグアナミン化合物、ロジン変性マレイン酸化合物、ロジン変性フマル酸化合物、メラミン化合物、尿素化合物、及びフェノール化合物が挙げられる。これらの中でもエポキシ化合物およびオキセタン化合物が好ましい。

【0137】

（エポキシ化合物（Ｉ１））
エポキシ化合物（Ｉ１）は、例えば、ビスフェノール類（ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＳ、ビフェノール、ビスフェノールＡＤ等）、フェノール類（フェノール、アルキル置換フェノール、芳香族置換フェノール、ナフトール、アルキル置換ナフトール、ジヒドロキシベンゼン、アルキル置換ジヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシナフタレン等）と各種アルデヒド（ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、アルキルアルデヒド、ベンズアルデヒド、アルキル置換ベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、ナフトアルデヒド、グルタルアルデヒド、フタルアルデヒド、クロトンアルデヒド、シンナムアルデヒド等）との重縮合物、フェノール類と各種ジエン化合物（ジシクロペンタジエン、テルペン類、ビニルシクロヘキセン、ノールボルナジエン、ビニルノールボルネン、テトラヒドロインデン、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、ジイソプロペニルビフェニル、ブタジエン、イソプレン等）との重合物、フェノール類とケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトフェノン、ベンゾフェノン等）との重縮合物、フェノール類と芳香族ジメタノール類（ベンゼンジメタノール、α，α，α’，α’－ベンゼンジメタノール、ビフェニルジメタノール、α，α，α’，α’－ビフェニルジメタノール等）との重縮合物、フェノール類と芳香族ジクロロメチル類（α，α’－ジクロロキシレン、ビスクロロメチルビフェニル等）との重縮合物、ビスフェノール類と各種アルデヒドの重縮合物、アルコール類等をグリシジル化したグリシジルエーテル系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂等が挙げられる。

【0138】

市販品は、例えば、油化シェルエポキシ社製のエピコート８０７，８１５，８２５，８２７，８２８，１９０Ｐ，１９１Ｐ、三井化学社製のＴＥＣＨＭＯＲＥ ＶＧ３１０１Ｌ、日本化薬社製のＥＰＰＮ－２０１，５０１Ｈ，５０２Ｈ、ＥＯＣＮ－１０２Ｓ，１０３Ｓ，１０４Ｓ，１０２０ジャパンエポキシレジン社製のエピコート１００４，１２５６、ＪＥＲ１０３２Ｈ６０，１５７Ｓ６５，１５７Ｓ７０，１５２，１５４、ダイセル化学工業社製のセロキサイド２０２１、ＥＨＰＥ－３１５０、ナガセケムテックス社製のデナコ
ールＥＸ－２１１，２１２，２５２，３１３，３１４，３２１，４１１，４２１，５１２，５２１，６１１，６１２，６１４，６１４Ｂ，６２２，７１１，７２１、日産化学工業社製のＴＥＰＩＣ－Ｌ，Ｈ，Ｓ等が挙げられる。

【0139】

エポキシ化合物（Ｉ１）の含有量は、硬化膜の耐熱性の観点から、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．５～５０質量％が好ましく、１～４０質量％がより好ましい。

【0140】

（オキセタン化合物（Ｉ２））
オキセタン化合物（Ｉ２）は、オキセタン基を有する公知の化合物である。オキセタン化合物は、１官能オキセタン化合物、２官能オキセタン化合物、３官能以上のオキセタン化合物が挙げられる。

【0141】

１官能オキセタン化合物は、例えば、(３－エチルオキセタン－３－イル)メチルアクリレート、 (３－エチルオキセタン－３－イル)メチルメタクリレート、３－エチル－３－
ヒドロキシメチルオキセタン、３－エチル－３－（２－エチルヘキシロキシメチル）オキセタン、３－エチル－３－（フェノキシメチル）オキセタン、３－エチル－３－（２－メタクリロキシメチル）オキセタン、３－エチル－３－｛［３－（トリエトキシシリル）プロポキシ］メチル｝オキセタン等が挙げられる。

【0142】

市販品は、例えば、大阪有機化学工業社製のＯＸＥ－１０，３０、東亞合成社製のＯＸＴ－１０１，２１２等が挙げられる。

【0143】

２官能オキセタン化合物は、例えば、４，４’－ビス［（３－エチル－３－オキセタニル）メトキシメチル］ビフェニル）、１，４－ビス［（３－エチル－３－オキセタニル）メトキシメチル］ベンゼン、１，４－ビス｛［（３－エチル－３－オキセタニル）メトキシ］メチル｝ベンゼン、ジ［１－エチル（３－オキセタニル）］メチルエーテル、ジ［１－エチル（３－オキセタニル）］メチルエーテル３－エチル－３－ヒドロキシメチルオキセタン、３－エチル－３－（２－エチルヘキシロキシメチル）オキセタン、３－エチル－３－（２－フェノキシメチル）オキセタン、３，７－ビス（３－オキセタニル）－５－オキサ－ノナン、１，２－ビス［（３－エチル－３－オキセタニルメトキシ）メチル］エタン、１，３－ビス［（３－エチル－３－オキセタニルメトキシ）メチル］プロパン、エチレングリコ－スビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジシクロペンテニルビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、トリエチレングリコールビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、テトラエチレングリコールビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、１，４－ビス（３－エチル－３－オキセタニルメトキシ）ブタン、１，６－ビス（３－エチル－３－オキセタニルメトキシ）ヘキサン、ポリエチレングリコールビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、エチレンオキシド（ＥＯ）変性ビスフェノールＡビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、プロピレンオキシド（ＰＯ）変性ビスフェノールＡビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ＥＯ変性水添ビスフェノールＡビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ＰＯ変性水添ビスフェノールＡビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ＥＯ変性ビスフェノールＦ（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル等が挙げられる。

【0144】

市販品は、例えば、宇部興産社製のＯＸＢＰ、ＯＸＴＰ、東亞合成社製のＯＸＴ－１２１，２２１等が挙げられる。

【0145】

３官能以上のオキセタン化合物は、例えば、ペンタエリスリトールトリス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサ（３－エチル－３－
オキセタニルメチル）エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジトリメチロ－ルプロパンテトラキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、オキセタン基を含有する樹脂（例えば、特許第３７８３４６２号記載のオキセタン変性フェノールノボラック樹脂等）や前述のＯＸＥ－３０のような（メタ）アクリルモノマーをラジカル重合させて得られる重合体が挙げられる。

【0146】

オキセタン化合物（Ｉ２）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．５～５０質量％が好ましく、１～４０質量％がより好ましい。

【0147】

メラミン化合物は、メラミン環構造を有する化合物である。メラミン化合物は、メチロ－ル型やエーテル型の化合物が好ましく、メラミン環１個当たりのメチロ－ル基および／またはエーテル基数が平均５．０以上のメラミン化合物がより好ましい。適度にメチロ－ル基やエーテル基数を有すると過不足ない耐熱性が得やすい。

【0148】

市販品は、例えば、三和ケミカル社製の二カラックＭＷ－３０ＨＭ，ＭＷ－３９０，ＭＷ－１００ＬＭ，ＭＸ－７５０ＬＭ，ＭＷ－３０Ｍ，ＭＷ－３０，ＭＷ－２２，ＭＳ－２１，ＭＳ－１１，ＭＷ－２４Ｘ，ＭＳ－００１，ＭＸ－００２，ＭＸ－７３０，ＭＸ－７５０，ＭＸ－７０８，ＭＸ－７０６，ＭＸ－０４２，ＭＸ－４５，ＭＸ－５００，ＭＸ－５２０，ＭＸ－４３，ＭＸ－４１７，ＭＸ－４１０、日本サイテックインダストリーズ社製のサイメル２３２，２３５，２３６，２３８，２８５，３００，３０１，３０３，３５０，３７０等が挙げられる。

【0149】

これらの中でもメラミン環１個当たりのメチロ－ル基、及び／又は、エーテル基数が平均５．０以上である、三和ケミカル社製のニカラックＭＷ－３０ＨＭ、ＭＷ－３９０、ＭＷ－１００ＬＭ、ＭＸ－７５０ＬＭ、ＭＷ－３０Ｍ、ＭＷ－３０、ＭＷ－２２、ＭＳ－２１、ＭＳ－１１、ＭＷ－２４Ｘ、ＭＸ－４５、日本サイテックインダストリ－ズ社製のサイメル２３２，２３５，２３６，２３８，３００，３０１，３０３，３５０等は、架橋密度を高められる面で好ましい。

【0150】

熱硬化性化合物（Ｉ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0151】

［硬化剤（硬化促進剤）］
本発明の感光性組成物は、熱硬化性化合物（Ｉ）の硬化を補助するため、硬化剤（硬化促進剤）を併用できる。

【0152】

硬化剤は、例えば、アミン系化合物、酸無水物、活性エステル、カルボン酸系化合物、スルホン酸系化合物等が挙げられる。硬化剤は、例えば、アミン化合物（例えば、ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、４－（ジメチルアミノ）－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン、４－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン、４－メチル－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン等）、４級アンモニウム塩化合物（例えば、トリエチルベンジルアンモニウムクロリド等）、ブロックイソシアネート化合物（例えば、ジメチルアミン等）、イミダゾール誘導体二環式アミジン化合物及びその塩（例えば、イミダゾール、２－メチルイミダゾール、２－エチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニルイミダゾール、４－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾール、１－（２－シアノエチル）－２－エチル－４－メチルイミダゾール等）、リン化合物（例えば、トリフェニルホスフィン等）、Ｓ－トリアジン誘導体（例えば、２，
４－ジアミノ－６－メタクリロイルオキシエチル－Ｓ－トリアジン、２－ビニル－２，４－ジアミノ－Ｓ－トリアジン、２－ビニル－４，６－ジアミノ－Ｓ－トリアジン・イソシアヌル酸付加物、２，４－ジアミノ－６－メタクリロイルオキシエチル－Ｓ－トリアジン・イソシアヌル酸付加物等）等が挙げられる。

【0153】

硬化剤は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0154】

硬化剤の含有量は、熱硬化性化合物（Ｉ）１００質量部に対して、０．０１～１５質量部が好ましい。

【0155】

［重合禁止剤（Ｊ）］
本発明の感光性組成物は、重合禁止剤（Ｊ）を含有できる。

【0156】

重合禁止剤（Ｊ）は、例えば、カテコール、レゾールシノール、１，４－ヒドロキノン、２－メチルカテコール、３－メチルカテコール、４－メチルカテコール、２－エチルカテコール、３－エチルカテコール、４－エチルカテコール、２－プロピルカテコール、３－プロピルカテコール、４－プロピルカテコール、２－ｎ－ブチルカテコール、３－ｎ－ブチルカテコール、４－ｎ－ブチルカテコール、２－ｔ－ブチルカテコール、３－ｔ－ブチルカテコール、４－ｔ－ブチルカテコール、３，５－ジ－ｔ－ブチルカテコール等のアルキルカテコール系化合物、２－メチルレゾールシノール、４－メチルレゾールシノール、２－エチルレゾールシノール、４－エチルレゾールシノール、２－プロピルレゾールシノール、４－プロピルレゾールシノール、２－ｎ－ブチルレゾールシノール、４－ｎ－ブチルレゾールシノール、２－ｔ－ブチルレゾールシノール、４－ｔ－ブチルレゾールシノール等のアルキルレゾールシノール系化合物、メチルヒドロキノン、エチルヒドロキノーン、プロピルヒドロキノン、ｔ－ブチルヒドロキノン、２，５－ジ－ｔ－ブチルヒドロキノン等のアルキルヒドロキノン系化合物、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリベンジルホスフィン等のホスフィン化合物、トリオクチルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイドなどのホスフィンオキサイド化合物、トリフェニルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイト等のホスファイト化合物、ピロガロ－ル、フロログルシン等が挙げられる。

【0157】

重合禁止剤（Ｊ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．０１～０．４質量％が好ましい。

【0158】

［紫外線吸収剤（Ｋ）］
本発明の感光性組成物は、紫外線吸収剤（Ｋ）を含有できる。

【0159】

紫外線吸収剤（Ｋ）は、紫外線吸収機能を有する有機化合物であり、ベンゾトリアゾール系有機化合物、トリアジン系有機化合物、ベンゾフェノン系有機化合物、サリチル酸エステル系有機化合物、シアノアクリレート系有機化合物、及びサリシレート系有機化合物等が挙げられる。

【0160】

ベンゾトリアゾール系化合物は、例えば、２－（５メチル－２－ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２－ヒドロキシ－５－ｔ－ブチルフェニル）－２Ｈ－ベンゾトリアゾール、２－[２－ヒドロキシ－３,５－ビス(α, α－ジメチルベンジル)フェニル]－２Ｈ－ベンゾトリアゾール、２－（３－ｔブチル－５－メチル－２－ヒドロキシフェ
ニル）－５－クロロベンゾトリアゾール、２－(２'－ヒドロキシ－５'－t－オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、５％の２－メトキシ－１－メチルエチルアセテートと９５％
のベンゼンプロパン酸，３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）－（１，１－ジメチ
ルエチル）－４－ヒドロキシ，Ｃ７－９側鎖及び直鎖アルキルエステルの混合物、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）－４，６－ビス（１－メチル－１－フェニルエチル）フェノール、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）－６－（１－メチル－１－フェニルエチル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール、メチル３
－（３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）－５－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート／ポリエチレングリコール３００の反応生成物、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール、２，２’－メチレンビス［６－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール］、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）－ｐ－クレゾール、２－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）－６－ｔ－ブチル－４－メチルフェノール、２－（３，５－ジ－ｔ－アミル－２－ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２－［２－ヒドロキシ－５－［２－（メタクリロイルオキシ）エチル］フェニル］－２Ｈ－ベンゾトリアゾール、オクチル－３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）フェニル］プロピオネート、２－エチルヘキシル－３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール２－イル）フェニル］プロピオネートが挙げられる。

【0161】

市販品は、例えば、ＢＡＳＦジャパン社製のＴＩＮＵＶＩＮ Ｐ，ＰＳ，２３４，３２
６，３２９，３８４－２，９００，９２８，９９－２，１１３０、ＡＤＥＫＡ社製のアデカスタブＬＡ－２９，ＬＡ－３１ＲＧ，ＬＡ－３２，ＬＡ－３６、ケミプロ化成社製のＫＥＭＩＳＯＲＢ７１，７３，７４，７９，２７９、大塚化学社製のＲＵＶＡ－９３等が挙げられる。

【0162】

トリアジン系化合物は、例えば、２，４－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－６－（２－ヒドロキシ－４－ｎ－オクチルオキシフェニル）－１，３，５－トリアジン、２－［４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン－２－イル］－５－［３－（ドデシルオキシ）－２－ヒドロキシプロポキシ］フェノール、２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジンと（２－エチルヘキシル）－グリシド酸エステルの反応生成物、２，４－ビス「２－ヒドロキシ－４－ブトキシフェニル」－６－（２，４－ジブトキシフェニル）－１，３，５－トリアジン、２－（４，６－ジフェニル－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－（ヘキシルオキシ）フェノール、２－（４，６－ジフェニル－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－［２－（２－エチルヘキサノイルオキシ）エトキシ］フェノール、２，４，６－トリス（２－ヒドロキシ－４－ヘキシルオキシ－３－メチルフェニル）－１，３，５－トリアジン等が挙げられる。

【0163】

市販品は、例えば、ケミプロ化成社製のＫＥＭＩＳＯＲＢ １０２、ＢＡＳＦジャパン
社製のＴＩＮＵＶＩＮ ４００，４０５，４６０，４７７，４７９，１５７７ＥＤ、ＡＤ
ＥＫＡ社のアデカスタブＬＡ－４６，ＬＡ－Ｆ７０、サンケミカル社製のＣＹＡＳＯＲＢ
ＵＶ－１１６４等が挙げられる。

【0164】

ベンゾフェノン系化合物は、例えば、２，４－ジ－ヒドロキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－メトキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－メトキシベンゾフェノン５－スルホン酸－３水温、２－ヒドロキシ－４－ｎ－オクトキシベンゾフェノーン、２，２’－ジ－ヒドロキシ－４－メトキシベンゾフェノン、２，２’－ジヒドロキシ－４，４’－ジメトキシベンゾフェノン、４－ドデシロキシ－２－ヒドロキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－オクタデシロキシベンゾフェノン、２，２’ジヒドロキシ－４，４’－ジメトキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’－テトラヒドロキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－メトキシ－２’－カルボキシベンゾフェノン等が挙げられる。

【0165】

市販品は、例えば、ケミプロ化成社製のＫＥＭＩＳＯＲＢ １０，１１，１１Ｓ，１２
，１１１、シプロ化成社製のＳＥＥＳＯＲＢ １０１，１０７、ＡＤＥＫＡ社製のアデカ
スタブ１４１３、サンケミカル社製のＵＶ－１２等が挙げられる。

【0166】

サリチル酸エステル系化合物は、例えば、サリチル酸フェニル、サリチル酸ｐ－オクチルフェニル、サリチル酸ｐ－ｔｅｒｔブチルフェニル等が挙げられる。

【0167】

紫外線吸収剤（Ｋ）の含有量は、光重合開始剤（Ｃ）と紫外線吸収剤（Ｋ）との合計１００質量％中、５～７０質量％が好ましい。

【0168】

［酸化防止剤（Ｌ）］
本発明の感光性組成物は、酸化防止剤（Ｌ）を含有できる。

【0169】

酸化防止剤（Ｌ）は、感光性組成物に含まれる光重合開始剤（Ｃ）や熱硬化性化合物（Ｉ）が、熱硬化やＩＴＯアニ－ル時の熱工程によって酸化による黄変を防ぐ。特に、感光性着色組成物の着色剤（Ｆ）濃度が高い場合、相対的に重合性化合物（Ｂ）の含有量が減少するため、光重合開始剤（Ｃ）の増量や、熱硬化性化合物（Ｉ）の配合で対応すると硬化膜が黄変し易い。そのため、酸化防止剤を含むことで、加熱工程時の酸化による硬化膜の黄変を防止する。

【0170】

酸化防止剤（Ｌ）は、例えば、ヒンダードフェノール系、ヒンダードアミン系、リン系、イオウ系、およびヒドロキシルアミン系の化合物が挙げられる。なお、本明細書で酸化防止剤は、ハロゲン原子を含有しない化合物が好ましい。

【0171】

これらの中でも、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ヒンダードアミン系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤が好ましい。

【0172】

ヒンダードフェノール系酸化防止剤は、例えば、１，３，５－トリス（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシベンジル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン、１，１，３－トリス－（２’－メチル－４’－ヒドロキシ－５’－ｔ－ブチルフェニル）－ブタン、４，４’－ブチリデン－ビス－（２－ｔ－ブチル－５－メチルフェノール）、３－（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオン酸ステアリル、ペンタエリスリトールテトラキス［３－（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート、３，９－ビス［２－［３－（３－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）プロピオニルオキシ］－１，１－ジメチルエチル］－２，４，８，１０－テトラオキサスピロ［５．５］ウンデカン、１，３，５－トリス（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニルメチル）－２，４，６－トリメチルベンゼン、１，３，５－トリス（３－ヒドロキシ－４－ｔ－ブチル－２，６－ジメチルベンジル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン、２，２’－メチレンビス（６－ｔ－ブチル－４－エチルフェノール）、２，２’－チオジエチルビス－（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）－プロピオネート、Ｎ，Ｎ－ヘキサメチレンビス（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－ヒドロシンナムアミド）、ｉ－オクチル－３－（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート、４，６－ビス（ドデシルチオメチル）－ｏ－クレゾール、３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシベンジルホスホン酸モノエチルエステルのカルシウム塩、４，６－ビス（オクチルチオメチル）－ｏ－クレゾール、ビス［３－（３－メチル－４－ヒドロキシ－５－t－ブチルフェニル）プロピオン酸］エチレンビスオキシビスエチレン、
１，６－ヘキサンジオ－ルビス［３－（３，５－ジ－t－ブチル－４－ヒドロキシフェニ
ル）プロピオネート、２，４－ビス－（ｎ－オクチルチオ）－６－（４－ヒドロキシ－３
，５－ジ－ｔ－ブチルアニリノ）－１，３，５－トリアジン、２，２’－チオ－ビス－（６－ｔ－ブチル－４－メチルフェノール）、２，５－ジ－ｔ－アミル－ヒドロキノン、２，６－ジ－ｔ－ブチル－４－ノニルフェノール、２，２’－イソブチリデン－ビス－（４，６－ジメチル－フェノール）、２，２’－メチレン－ビス－（６－（１－メチル－シクロヘキシル）－ｐ－クレゾール）、２，４－ジメチル－６－（１－メチル－シクロヘキシル）－フェノール等が挙げられる。

【0173】

市販品は、例えば、ＡＤＥＫＡ社製のアデカスタブＡＯ－２０，ＡＯ－３０，ＡＯ－４０，ＡＯ－５０，ＡＯ－６０，ＡＯ－８０，ＡＯ－３３０、ケミプロ社製のＫＥＭＩＮＯＸ１０１，１７９，７６，９４２５、ＢＡＳＦジャパン社製のＩＲＧＡＮＯＸ１０１０，１０３５，１０７６，１０９８，１１３５，１３３０，１７２６，１４２５ＷＬ，１５２０Ｌ，２４５，２５９，３１１４，５０５７，５６５、サンケミカル社製のサイアノックスＣＹ－１７９０，ＣＹ－２７７７等が挙げられる。

【0174】

ヒンダードアミン系酸化防止剤は、例えば、テトラキス（１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピペリジル）－１，２，３，４－ブタンテトラカルボキシレート、テトラキス（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）１，２，３，４－ブタンテトラカルボキシレート、ビス（１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピペリジル）セバケート、ビス（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）セバケート、ビス（１－ウンデカノキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－４－イル）カルボネート、１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピペリジルメタクリレート、２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジルメタクリレート、コハク酸ジメチルと１－（２－ヒドロキシエチル）－４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジンとの重縮合物、ポリ［［６－［（１，１，３，３－テトラメチルブチル）アミノ］－ｓ－トリアジン－２，４－ジイル］－［（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）イミノ］－ヘキサメチレン－［（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）イミノ］］、４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチル－１－ピペリジンエタノールと３，５，５－トリメチルヘキサン酸のエステル、Ｎ，Ｎ’－４，７－テトラキス〔４，６－ビス｛Ｎ－ブチル－Ｎ－（１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピペリジル）アミノ｝－１，３，５－トリアジン－２－イル〕－４，７－ジアザデカン－１，１０－ジアミン、デカン二酸ビス（２，２，６，６－テトラメチル－１－（オクチルオキシ）－４－ピペリジニル）エステル，１，１－ジメチルエチルヒドロペルオキシドとオクタンの反応生成物、ビス（１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピリペリジル）［［３，５－ビス（１，１ジメチルエチル）－４－ヒドロキシフェニル］メチル］ブチルマロネートメチル１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピリペリジルセバケート、ポリ［［６－モルホリノ－ｓ－トリアジン－２，４－ジイル］－［（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）イミノ］－ヘキサメチレン－［（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）イミノ］］、２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル－Ｃ１２－２１およびＣ１８不飽和脂肪酸エステル、Ｎ，Ｎ’－ビス（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）－１，６－ヘキサメチレンジアミン、２－メチル－２－（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）アミノ－Ｎ－（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）プロピオンアミド等が挙げられる。

【0175】

市販品は、例えば、ＡＤＥＫＡ社製のアデカスタブＬＡ－５２，ＬＡ－５７，ＬＡ－６３Ｐ，ＬＡ－６８，ＬＡ－７２，ＬＡ－７７Ｙ，ＬＡ－７７Ｇ，ＬＡ－８１，ＬＡ－８２，ＬＡ－８７，ＬＡ－４０２Ｆ，ＬＡ－５０２ＸＰ、ケミプロ化成社製のＫＡＭＩＳＴＡＢ２９，６２，７７，９４、ＢＡＳＦジャパン社製のＴｉｎｕｖｉｎ１１１ＦＤＬ，１２３，１４４，２４９，２９２，５１００、サンケミカル社製のサイアソ－ブＵＶ－３３４６，ＵＶ－３５２９，ＵＶ－３８５３等が挙げられる。

【0176】

リン系酸化防止剤は、例えば、ジ（２，６－ジ－ｔ－ブチル－４－メチルフェニル）ペンタエリスリトールジホスファイト、ジステアリルペンタエリスリトールジホスファイト、２，２’－メチレンビス（４，６－ジ－ｔ－ブチルフェニル）２－エチルヘキシルホスファイト、トリス（２，４－ジ－ｔ－ブチルフェニル）ホスファイト、トリス（ノニルフェニル）ホスファイト、テトラ（Ｃ１２～Ｃ１５アルキル）－４，４’－イソプロピリデンジフェニルジホスファイト、ジフェニルモノ（２－エチルヘキシル）ホスファイト、ジフェニルイソデシルホスファイト、トリス（イソデシル）ホスファイト、トリフェニルホスファイト、テトラキス（２，４－ジ－ｔ－ブチルフェニル）－４，４－ビフェニルジフォスホニト、トリス（トリデシル）ホスファイト、フェニルイソオクチルホスファイト、フェニルイソデシルホスファイト、フェニルジ（トリデシル）ホスファイト、ジフェニルイソオクチルホスファイト、ジフェニルトリデシルホスファイト、４，４’－イソプロピリデンジフェノールアルキルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイト、トリスジノニルフェニルホスファイト、トリス（ビフェニル）ホスファイト、ジ（２，４－ジ－ｔ－ブチルフェニル）ペンタエリスリトールジホスファイト、ジ（ノニルフェニル）ペンタエリスリトールジホスファイト、フェニルビスフェノールＡペンタエリスリトールジホスファイト、テトラトリデシル４，４’－ブチリデンビス（３－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）ジホスファイト、ヘキサトリデシル１，１，３－トリス（２－メチル－４－ヒドロキシ－５－ｔ－ブチルフェニル）ブタントリホスファイト、３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシベンジルホスファイトジエチルエステル、ソジウムビス（４－ｔ－ブチルフェニル）ホスファイト、ソジウム－２，２－メチレン－ビス（４，６－ジ－ｔ－ブチルフェニル）－ホスファイト、１，３－ビス（ジフェノキシフォスフォニロキシ）－ベンゼン、亜リン酸エチルビス（２，４－ジｔ－ブチル－６－メチルフェニル）等が挙げられる。

【0177】

市販品は、例えば、ＡＤＥＫＡ社製のアデカスタブＰＥＰ－３６，ＰＥＰ－８，ＨＰ－１０，２１１２，１１７８，１５００，Ｃ，１３５Ａ，３０１０，ＴＰＰ、ＢＡＳＦジャパン社製のＩＲＧＡＦＯＳ１６８、クラリアントケミカルズ社製のＨｏｓｔａｎｏｘＰ－ＥＰＱ等が挙げられる。

【0178】

イオウ系酸化防止剤は、例えば、２，２－ビス｛〔３－（ドデシルチオ）－１－オキソプロポキシ〕メチル｝プロパン－１，３－ジイルビス〔３－（ドデシルチオ）プロピオネート〕、３，３’－チオビスプロピオン酸ジトリデシル、２，２－チオ－ジエチレンビス〔３－（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート〕、２，４－ビス〔（オクチルチオ）メチル〕－ｏ－クレゾール、２，４－ビス〔（ラウリルチオ）メチル〕－ｏ－クレゾール等が挙げられる。

【0179】

市販品は、例えば、ＡＤＥＫＡ社製のアデカスタブＡＯ－４１２Ｓ，ＡＯ－５０３、ケミプロ化成社製のＫＥＭＩＮＯＸＰＬＳ等が挙げられる。

【0180】

酸化防止剤（Ｌ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0181】

酸化防止剤（Ｌ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．５～５．０質量％が好ましい。適量含有すると透過率、分光特性、及び感度が向上する。

【0182】

［レベリング剤（Ｍ）］
本発明の感光性組成物は、レベリング剤（Ｍ）を含有できる。これにより、塗工時の基板に対する濡れ性、及び乾燥性がより向上する。

【0183】

レベリング剤（Ｍ）は、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、両性界面活性剤等が挙
げられる。

【0184】

シリコーン系界面活性剤は、例えば、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマーや、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。

【0185】

市販品は、例えば、ビックケミー社製のＢＹＫ－３００，３０６，３１０，３１３，３１５Ｎ，３２０，３２２，３２３，３３０，３３１，３３３，３４２，３４５，３４６，３４７，３４８，３４９，３７０，３７７，３７８，３４５５，ＵＶ３５１０，３５７０、東レ・ダウコ－ニング社製のＦＺ－７００２，２１１０，２１２２，２１２３，２１９１，５６０９、信越化学工業社製のＸ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、ＫＦ－３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＰ－３４１等が挙げられる。

【0186】

フッ素系界面活性剤は、例えば、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤又はレベリング剤が挙げられる。

【0187】

市販品は、例えば、ＡＧＣセイミケミカル社製のサーフロンＳ－２４２，２４３，４２０，６１１，６５１，３８６、ＤＩＣ社製のメガファックＦ－２５３，４７７，５５１，５５２，５５５，５５８，５６０，５７０，５７５，５７６、Ｒ－４０－ＬＭ、Ｒ－４１、ＲＳ－７２－Ｋ、ＤＳ－２１、住友スリーエム社製のＦＣ－４４３０，４４３２、三菱マテリアル電子化成社製のＥＦ－ＰＰ３１Ｎ０９、ＥＦ－ＰＰ３３Ｇ１、ＥＦ－ＰＰ３２Ｃ１、ネオス社製フタージェントの６０２Ａ等が挙げられる。

【0188】

ノニオン性界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンミリステルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルドデシルエーテル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、ポリオキシフェニレンジスチレン化フェニルエーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシアルキレンアルケニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテ－ト、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンジステアレート、ソルビタントリステアレート、ソルビタンモノオレート、ソルビタントリオレート、ソルビタンセスキオレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテ－ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート、ポリオキシエチレンソルビタントリイソステアレート、テトラオレイン酸ポリオキシエチレンソルビット、グリセロ－ルモノステアレート、グリセロ－ルモノオレート、ポリエチレングリコールモノラウレート、ポリエチレングリコールモノステアレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ポリエチレングリコールモノオレート、ポリオキシエチレン硬化ヒマシ油、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルキルアルカノールアミド、アルキルイミダゾリン等が挙げられる。

【0189】

市販品は、例えば、花王社製のエマルゲン１０３，１０４Ｐ，１０６，１０８，１０９Ｐ，１２０，１２３Ｐ，１３０Ｋ，１４７，１５０，２１０Ｐ，２２０，３０６Ｐ，３２０Ｐ，３５０，４０４，４０８，４０９ＰＶ，４２０，４３０，７０５，７０７，７０９，１１０８，１１１８Ｓ－７０，１１３５Ｓ－７０，１１５０Ｓ－６０，２０２０Ｇ－ＨＡ，２０２５Ｇ，ＬＳ－１０６，ＬＳ－１１０，ＬＳ－１１４，ＭＳ－１１０，Ａ－６０，Ａ－９０，Ｂ－６６，ＰＰ－２９０、ラテムルＰＤ－４２０，ＰＤ－４３０，ＰＤ－４
３０Ｓ，ＰＤ－４５０、レオドールＳＰ－Ｌ１０，ＳＰ－Ｐ１０，ＳＰ－Ｓ１０Ｖ，ＳＰ－Ｓ２０，ＳＰ－Ｓ３０Ｖ，ＳＰ－Ｏ１０Ｖ，ＳＰ－Ｏ３０Ｖ、スーパーＳＰ－Ｌ１０，ＡＳ－１０Ｖ，ＡＯ－１０Ｖ，ＡＯ－１５Ｖ，ＴＷ－Ｌ１２０，ＴＷ－Ｌ１０６，ＴＷ－Ｐ１２０，ＴＷ－Ｓ１２０Ｖ，ＴＷ－Ｓ３２０Ｖ，ＴＷ－Ｏ１２０Ｖ，ＴＷ－Ｏ１０６Ｖ，ＴＷ－ＩＳ３９９Ｃ、スーパーＴＷ－Ｌ１２０，４３０Ｖ，４４０Ｖ，４６０Ｖ，ＭＳ－５０，ＭＳ－６０，ＭＯ－６０，ＭＳ－１６５Ｖ、エマノーン１１１２，３１９９Ｖ，３２９９Ｖ，３２９９ＲＶ，４１１０，ＣＨ－２５，ＣＨ－４０，ＣＨ－６０（Ｋ），アミ－ト１０２，１０５，１０５Ａ，３０２，３２０、アミノーンＰＫ－０２Ｓ、Ｌ－０２、ホモゲノールＬ－９５、ＡＤＥＫＡ社製のアデカプルロニック（登録商標）Ｌ－２３，３１，４４，６１，６２，６４，７１，７２，１０１，１２１、ＴＲ－７０１，７０２，７０４，９１３Ｒ、共栄社化学社製の（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフロ－Ｎｏ．７５，Ｎｏ．９０，Ｎｏ．９５等が挙げられる。

【0190】

カチオン性界面活性剤は、例えばアルキルアミン塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、ステアリルトリメチルアンモニウムクロライド、セチルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。

【0191】

市販品は、例えば、花王社製のアセタミン２４、コータミン２４Ｐ、６０Ｗ、８６Ｐコンク等が挙げられる。

【0192】

アニオン性界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン－アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン－アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル等が挙げられる。

【0193】

市販品は、例えば、ネオス社製のフタージェント１００，１５０、ＡＤＥＫＡ社製のアデカホープＹＥＳ－２５、アデカコールＴＳ－２３０Ｅ，ＰＳ－４４０Ｅ，ＥＣ－８６００等が挙げられる。

【0194】

両性界面活性剤は、例えば、ラウリン酸アミドプロピルベタイン、ラウリルベタイン、コカミドプロピルベタイン、ステアリルベタイン、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン等のアルキルベタイン、ラウリルジメチルアミンオキサイド等のアルキルアミンオキサイド等が挙げられる。

【0195】

市販品は、花王社製のアンヒトール２０ＡＢ，２０ＢＳ，２４Ｂ，５５ＡＢ，８６Ｂ，２０Ｙ－Ｂ，２０Ｎ等が挙げられる。

【0196】

レベリング剤（Ｍ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0197】

レベリング剤（Ｍ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．００１～２．０質量％が好ましく、０．００５～１．０質量％がより好ましい。この範囲内であることで、感光性組成物の塗布性と密着性のバランスがより向上する。

【0198】

［貯蔵安定剤（Ｎ）］
本発明の感光性組成物は、貯蔵安定剤（Ｎ）を含有できる。これにより、感光性組成物の経時粘度が安定化する。

【0199】

貯蔵安定剤（Ｎ）は、例えば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、ｔ－ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。

【0200】

貯蔵安定剤（Ｎ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0201】

貯蔵安定剤（Ｎ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．１～１０質量％が好ましい。

【0202】

［密着向上剤（Ｏ）］
本発明の感光性組成物は、密着向上剤（Ｏ）を含有できる。これにより被膜と基材の密着性が向上する。また、フォトリソグラフィー法で幅が狭いパターンを形成し易くなる。

【0203】

密着向上剤（Ｏ）は、例えば、シランカップリング剤等が挙げられる。シランカップリング剤は、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のビニルシラン類、３－メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３－アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の（メタ）アクリルシラン類、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン類、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリエトキシシラン、３－トリエトキシシリル－Ｎ－（１，３－ジメチル－ブチリデン）プロピルアミン、Ｎ－フェニル－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－（ビニルベンジル）－２－アミノエチル－３－アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩等のアミノシラン類、３－メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３－メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト類、ｐ－スチリルトリメトキシシラン等のスチリル類、３－ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイド類、ビス（トリエトキシシリルプロピル）テトラスルフィド等のスルフィド類、３－イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネート類などのシランカップリング剤が挙げられる。

【0204】

密着向上剤（Ｏ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0205】

密着向上剤（Ｏ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．０１～１０質量％が好ましく、０．０５～５質量％がより好ましい。

【0206】

［有機溶剤（Ｐ）］
本発明の感光性組成物は、有機溶剤（Ｐ）を含有できる。

【0207】

有機溶剤（Ｐ）は、例えば、１，２，３－トリクロロプロパン、１－メトキシ－２－プロパノール、乳酸エチル、１，３－ブタンジオ－ル、１，３－ブチレングリコール、１，３－ブチレングリコールジアセテート、１，４－ジオキサン、２－ヘプタノーン、２－メチル－１，３－プロパンジオ－ル、３，５，５－トリメチル－２－シクロヘキセン－１－オン、３，３，５－トリメチルシクロヘキサノン、３－エトキシプロピオン酸エチル、３－メチル－１，３－ブタンジオ－ル、３－メトキシ－３－メチル－１－ブタノール、３－メトキシ－３－メチルブチルアセテート、３－メトキシブタノール、３－メトキシブチルア
セテート、４－ヘプタノーン、ｍ－キシレン、ｍ－ジエチルベンゼン、ｍ－ジクロロベンゼン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、ｎ－ブチルアルコール、ｎ－ブチルベンゼン、ｎ－プロピルアセテート、Ｎ－メチルピロリドン、ｏ－キシレン、ｏ－クロロトールエン、ｏ－ジエチルベンゼン、ｏ－ジクロロベンゼン、ｐ－クロロトールエン、ｐ－ジエチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、γ－ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸ｎ－アミル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル等が挙げられる。これらの中でも、顔料の分散性、アルカリ可溶樹脂の溶解性の観点から、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のグリコールアセテート類、ベンジルアルコール、ダイアセトンアルコール等のアルコール類やシクロヘキサノン等のケトン類が好ましい。

【0208】

有機溶剤（Ｐ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

【0209】

［感光性組成物の製造方法］
本発明の感光性組成物は、例えば、着色剤（Ｆ）、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、分散樹脂（Ｈ）、色素誘導体（Ｇ）、及び有機溶剤（Ｐ）等を加えて分散処理を行うことで、分散体を製造する。その後、前記分散体に、重合性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）等を配合し混合することで製造できる。なお、各材料を配合するタイミングは、任意である。また、分散工程を複数回行うこともできる。

【0210】

分散処理を行う分散機は、例えば、２本ロ－ルミル、３本ロールミル、ボ－ルミル、横型サンドミル、縦型サンドミル、アニュラー型ビ－ズミル、又はアトライター等が挙げられる。

【0211】

分散体中の着色剤（Ｆ）の平均分散粒子径（二次粒子径）は、３０～２００ｎｍが好ましく、４０～２００ｎｍがより好ましい。適度な粒子径を有すると分散安定性が高い感光
性組成物が得やすい。

【0212】

平均分散粒子径（二次粒子径）の測定方法は、例えば、動的光散乱法（ＦＦＴパワ－スペクトール法）を採用した日機装社のマイクロトラックＵＰＡ－ＥＸ１５０を用い、粒子透過性を吸収モ－ド、粒子形状を非球形とし、Ｄ５０粒子径を平均径とする。測定用の希釈溶剤は分散に使用した有機溶剤をそれぞれ用い、超音波で処理したサンプルについてサンプル調整直後に測定するとバラツキが少ない結果が得られやすく好ましい。

【0213】

感光性組成物は、遠心分離、焼結フィルタやメンブレンフィルタによる濾過等の手段にて、５μｍ以上の粗大粒子、好ましくは１μｍ以上の粗大粒子、さらに好ましくは０．５μｍ以上の粗大粒子、および混入した塵の除去を行うことが好ましい。本発明の感光性組成物は、実質的に０．５μｍ以上の粒子を含まないことが好ましく、０．３μｍ以下の粒子を含まないことがより好ましい。

【0214】

＜光学フィルタ＞
本発明の光学フィルタは、基板、及び本発明の感光性組成物から形成されるフィルタセグメントを備える。光学フィルタは、様々な用途に使用できる。本明細書で光学フィルタは、カラーフィルタが好ましい。
フィルタセグメントは、カラーフィルタの場合には、使用する着色剤（Ｆ）の種類を適宜選択することで、赤色フィルタセグメント、緑色フィルタセグメント、及び青色フィルタセグメントを有する。前記フィルタセグメントに代えてまたは加え、マゼンタ色フィルタセグメント、シアン色フィルタセグメント、イエロー色フィルタセグメント、ホワイトフィルタセグメント、ブラックフィルタセグメントを有することもできる。また、着色剤（Ｆ）を使用しないクリアのフィルタを有することができる。
前記基板は、透明基板、及び反射基板が挙げられる。前記透明基板は、例えば、ガラス基板が挙げられる。前記反射基材は、例えばアルミ電極や金属薄膜を反射面として使用する基板が挙げられる。

【0215】

［光学フィルタの製造方法］
光学フィルタの製造方法は、例えば、基板上に感光性組成物を塗布し組成物の層（被膜）を形成する工程（１）、前記層に、マスクを介してパターン状に露光する工程（２）、未露光部分をアルカリ現像しパターン状の硬化膜を形成する工程（３）、前記パターンを加熱処理（ポストベーク）する工程（４）を行い作製できる。

【0216】

以下、光学フィルタの製造方法を詳細に説明する。
（工程（１））
組成物の層を形成する工程（１）は、感光性組成物を基板上に、例えば、回転塗布、ロ－ル塗布、スリット塗布、流延塗布、またはインクジェット塗布等の方法で塗布し、必要に応じてオーブン、ホットプレート等を用いて、５０～１２０℃の温度で１０～１２０秒乾燥（プリベーク）する。
前記基板は、例えば、ガラス基板、シリコン基板等が挙げられる。シリコン基板は、例えば、表面にＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子が形成されていてもよい。また、基板上には、必要に応じて、上部との層との密着改良、物質の拡散防止、基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
層の膜厚は、０．０５～１０．０μｍが好ましく、０．３～５μｍがより好ましい。

【0217】

（工程（２））
露光工程は、工程（１）で得られた層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、マスクを介して特定のパターンを露光する。これにより硬化膜が得られる。
露光に用いる放射線は、例えば、ｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が挙げられる。

【0218】

（工程（３））
工程（２）で得られた硬化膜は、アルカリ現像処理を行うことで、未露光部分の組成物の層がアルカリ水溶液に溶出し、硬化部分のみが残りパターン状の硬化膜が得られる。
現像液は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロ－ル、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ－〔５．４．０〕－７－ウンデセン等のアルカリ性化合物が挙げられる。
現像液の濃度は、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～１質量％がより好ましい。
アルカリ現像液のｐＨは、１１～１３が好ましく、１１．５～１２．５がより好ましい。適度なｐＨで使用するとパターンの荒れや剥離を抑制し、現像後の残膜率が向上する。

【0219】

現像方法は、例えば、ディップ法、スプレー法、パドル法等が挙げられる。現像温度は１５～４０℃が好ましい。なお、アルカリ現像後は、純水で洗浄することが好ましい。

【0220】

（工程（４））
加熱処理（ポストベーク）は、工程（３）で得られたパターン状の硬化膜を加熱により十分に硬化させる。ポストベークの加熱温度は、１００～３００℃が好ましく、１５０～２５０℃がより好ましい。また、加熱時間は、２分間～１時間程度が好ましく、３分間～３０分間程度がより好ましい。

【0221】

＜画像表示装置＞
本発明の画像表示装置は、本発明の光学フィルタを備える。画像表示装置は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等が挙げられる。
画像表示装置に用いる形態は、画像表示装置として機能すればよく、特に制限されない。例えば、「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男著、（株）工業調査会、１９９４年発行）に記載されている構成等が挙げられる。
画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば、「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）、平成元年発行）」等に記載されている。

【0222】

＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、本発明の光学フィルタを備える。
固体撮像素子に用いる形態は、特に制限されないが、例えば、基材上に、固体撮像素子（ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、フィルタを有する構成である。さらに、デバイス保護膜上であってフィルタの下（基材に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、フィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、フィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は、各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。
本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、例えば、デジタルカメラ、撮像機能を有する電子機器(携帯電話、スマートフォン等)、車載カメラ、監視カメラ等様々な用途に使用できる。

【実施例】

【0223】

以下、実施例で本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されない。なお、「部」は「質量部」、「％」は「質量％」である。
また、本発明において、不揮発分もしくは不揮発分濃度は、２８０℃で３０分間オーブン静置後の、質量残分をいう。

【0224】

実施例に先立ち、各測定方法について説明する。

【0225】

樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）、数平均分子量（Ｍｎ）、酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）は、以下の通りである。

【0226】

（アルカリ可溶性樹脂、及び分散樹脂の平均分子量）
アルカリ可溶性樹脂、及び分散樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）、重量平均分子量（Ｍｗ）は、ＲＩ検出器を装備したゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定した。装置としてＨＬＣ－８２２０ＧＰＣ（東ソー社製）を用い、分離カラムを２本直列に繋ぎ、両方の充填剤には「ＴＳＫ－ＧＥＬ ＳＵＰＥＲ ＨＺＭ－Ｎ」を２連でつなげて使用し、オーブン温度４０℃、溶離液としてテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）溶液を用い、流速０．３５ｍｌ／ｍｉｎで測定した。サンプルは１質量％の上記溶離液からなる溶剤に溶解し、２０マイクロリットール注入した。平均分子量は、ポリスチレン換算値である。

【0227】

（アルカリ可溶性樹脂、及び分散樹脂の酸価）
アルカリ可溶性樹脂、及び分散樹脂溶液０．５～１ｇに、アセトン８０ｍｌ及び水１０ｍｌを加えて攪拌して均一に溶解させ、０．１ｍｏｌ／ＬのＫＯＨ水溶液を滴定液として、自動滴定装置（「ＣＯＭ－５５５」平沼産業社製）を用いて滴定し、酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）を測定した。そして、樹脂溶液の酸価と樹脂溶液の不揮発分濃度から、樹脂の不揮発分あたりの酸価を算出した。

【0228】

（分散樹脂のアミン価）
分散樹脂のアミン価は、ＡＳＴＭ Ｄ ２０７４の方法に準拠し、測定した全アミン価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）を不揮発分換算した値である。

【0229】

＜着色剤（Ｆ）の製造＞
（微細化した赤色顔料（Ｆ－１））
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４を１００部、塩化ナトリウム１，２００部、及びジエチレングリコール１２０部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所社製）中に仕込み、６０℃で６時間混練した。次に、混練した混合物を温水に投入し、約８０℃に加熱しながら１時間攪拌してスラリー状として、濾過・水洗をして塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、８０℃で一昼夜乾燥させ、粉砕することにより微細化した赤色顔料（Ｆ－１）を得た。

【0230】

（微細化した赤色顔料（Ｆ－２））
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７を１００部、塩化ナトリウム１，２００部、及びジエチレングリコール１２０部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所社製）中に仕込み、６０℃で６時間混練した。次に、混練した混合物を温水に投入し、約８０℃に加熱しながら１時間攪拌してスラリー状として、濾過・水洗をして塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、８０℃で一昼夜乾燥させ、粉砕することにより微細化した赤色顔料（Ｆ－２）を得た。

【0231】

（微細化した青色顔料（Ｆ－３））
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ１５：６を１００部、塩化ナトリウム１，０００部
、およびジエチレングリコール１００部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所社製）に仕込み、５０℃で１２時間混練した。この混合物を温水３，０００部に投入し、約７０℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約１時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして食塩および溶剤を除いた後、８０℃で２４時間乾燥し、粉砕することにより微細化した青色顔料（Ｆ－３）を得た。

【0232】

（微細化した紫色顔料（Ｆ－４））
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を１００部、塩化ナトリウム１，２００部、およびジエチレングリコール１００部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所社製）に仕込み、８０℃で６時間混練した。次に、この混練物を８，０００部の温水に投入し、８０℃に加熱しながら２時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム、およびジエチレングリコールを除いた後、８５℃で２４時間乾燥し、粉砕することにより微細化した紫色顔料（Ｆ－４）を得た。

【0233】

（微細化した緑色顔料（Ｆ－５））
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を１００部、塩化ナトリウム１，２００部、及びジエチレングリコール１２０部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所製）に仕込み、７０℃で６時間混練した。この混練物を３０００部の温水に投入し、７０℃に加熱しながら１時間撹拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、８０℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した緑色顔料（Ｆ－５）を得た。

【0234】

（微細化した緑色顔料（Ｆ－６））
特開２０１７－１１１３９８号公報の実施例に従って、下記化学式（１１）の緑色顔料（Ｅ－６）を得た。緑色顔料（Ｆ－６）を１００部、塩化ナトリウム１，２００部、及びジエチレングリコール１２０部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所製）に仕込み、７０℃で６時間混練した。この混練物を３０００部の温水に投入し、７０℃に加熱しながら１時間撹拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、８０℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した緑色顔料（Ｆ－６）を得た。
化学式（１１）

【化8】

【0235】

（微細化した黄色顔料（Ｆ－７））
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０を１００部、塩化ナトリウム７００部、及びジエチレングリコール１８０部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所製）に仕込み、８０℃で６時間混練した。この混合物を温水２，０００部に投入し、８０℃に加熱しながら１時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、８０℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した黄色顔
料（Ｆ－７）を得た。

【0236】

（微細化した黄色顔料（Ｆ－８））
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９（クラリアント社製「Ｎｏｖｏｐｅｒｍ Ｙｅｌｌｏｗ Ｐ－Ｍ３Ｒ」）１００部、粉砕した塩化ナトリウム８００部、およびジエチレングリコール１００部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所製）に仕込み、７０℃で１２時間混練した。この混合物を温水３０００部に投入し、約７０℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約１時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウムおよびジエチレングリコールを除いた後、８０℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した黄色顔料（Ｆ－８）を得た。

【0237】

（微細化した黄色顔料（Ｆ－９））
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５（ＢＡＳＦジャパン社製「Ｐａｌｉｔｏｌ Ｙｅｌｌｏｗ Ｄ１１５５」）１００部、粉砕した塩化ナトリウム７００部、及びジエチレングリコール１８０部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所社製）に仕込み、８０℃で６時間混練した。次にこの混練物を８リットルの温水に投入し、８０℃に加熱しながら２時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレ
ングリコールを除いた後、８５℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した黄色顔料（Ｆ－９）を得た。

【0238】

（微細化した黄色顔料（Ｆ－１０））
特開２０１２－２２６１１０号公報の実施例に従って、下記化学式（１２）の黄色顔料（Ｆ－１０）を得た。黄色顔料（Ｆ－１０）１００部、粉砕した塩化ナトリウム７００部、及びジエチレングリコール１８０部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所社製）に仕込み、８０℃で６時間混練した。次にこの混練物を８リットルの温水に投入し、８０℃に加熱しながら２時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナト
リウム及びジエチレングリコールを除いた後、８５℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した黄色顔料（Ｆ－１０）を得た。
化学式（１２）

【化9】

【0239】

上記微細化された顔料の平均一次粒子径は、全て５～１２０ｎｍの範囲内であった。

【0240】

（染料（Ｆ－１１））
下記の手順でＣ．Ｉ．アシッド レッド ５２と側鎖にカチオン性基を有する樹脂１とからなる造塩化合物である染料（Ｆ－１１）を製造した。
温度計、攪拌機、蒸留管、冷却器を具備した４つ口セパラブルフラスコに、メチルエチルケトン６７．３ 部を仕込み窒素気流下で７５ ℃ に昇温した。別途、メチルメタクリ
レート３４．０部、ｎ－ブチルメタクリレート２８．０部、２－エチルヘキシルメタクリレート２８．０部、ジメチルアミノエチルメタクリレート１０．０部、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を６．５部、およびメチルエチルケトン２５．１
部を均一にした後、滴下ロートに仕込み、４つ口セパラブルフラスコに取り付け、２時間かけて滴下した。滴下終了２時間後、不揮発分から重合収率が９８％以上であり、重量平均分子量（Ｍｗ）が、６，８３０であることを確認し、５０℃へ冷却した。ここへ、塩化メチル３．２部、エタノール２２．０部を追加し、５０℃で２時間反応させた後、１時
間かけて８０℃まで加温し、更に、２時間反応させた。このようにして樹脂成分が４７質量％のアンモニウム基を有する側鎖にカチオン性基を有する樹脂１を得た。得られた樹脂のアンモニウム塩価は３４ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
次に、水２，０００部に不揮発分換算で３０部の側鎖にカチオン性基を有する樹脂１を添加し、十分に攪拌混合を行った後、６０℃に加熱した。一方、９０部の水に１０部のＣ．Ｉ．アシッドレッド ５２を溶解させた水溶液を調製し、先ほどの樹脂溶液に少しずつ滴下した。滴下後、６０℃で１２０分間攪拌し、十分に反応を行った。反応の終点確認は濾紙に反応液を滴下して、にじみがなくなったところを終点として、造塩化合物が得られたものと判断した。攪拌しながら室温まで放冷した後、吸引濾過を行い、水洗後、濾紙上に残った造塩化合物を乾燥機にて水分を除去して乾燥し、３２部のＣ．Ｉ．アシッドレ
ッド ５２と側鎖にカチオン性基を有する樹脂１との造塩化合物である染料（Ｆ－１１）
を得た。このとき染料（Ｆ－１１）中のＣ．Ｉ．アシッド レッド ５２に由来する成分の含有量は２５質量％であった。

【0241】

＜アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の製造＞
（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－１）溶液）
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロ－トおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下、ＰＧＭＡｃ）３３３部を導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、１００℃に昇温後、ベンジルメタクリレート７０．５部（０．４０モル）、グリシジルメタクリレート７１.１部（０．５０モル）
、ジシクロペンタニルメタクリレート２２．０部（０．１０モル）および、ＰＧＭＡｃ１６４部からなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル３．６部を添加した溶液を滴下ロ－トから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、メタクリル酸４３．０部［０．５モル、（本反応に用いたグリシジルメタクリレートのグリシジル基に対して１００モル％）］、トリスジメチルアミノメチルフェノール０．９部およびハイドロキノン０．１４５部をフラスコ内に投入し、１１０℃で６時間反応を続け不揮発分酸価が１ｍｇＫＯＨ／ｇとなったところで反応を終了した。次に、テトラヒドロフタル無水フタル酸６０．９部（０．４０モル）、トリエチルアミン０．８部を加え、１２０℃で３．５時間反応させ酸価８０ｍｇＫＯＨ／ｇの感光性の樹脂溶液を得た。室温まで冷却した後、感光性の樹脂溶液約２部をサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した感光性の樹脂溶液に不揮発分が２０質量％になるようにＰＧＭＡｃを添加して、脂環式炭化水素含有単量体単位（ａ１）、及びカルボキシル基含有単量体単位（ａ２）を含有する感光性のアルカリ可溶性樹脂（Ａ１－１）溶液を調製した。重量平均分子量（Ｍｗ）は１２，０００であった。

【0242】

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－２）溶液）
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロ－トおよび窒素導入管を備えたフラスコに、ＰＧＭＡｃ１８２部を導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、１００℃に昇温後、ベンジルメタクリレート７０．５部（０．４０モル）、メタクリル酸４３．０部（０．５モル）、ジシクロペンタニルメタクリレート２２．０部（０．１０モル）およびＰＧＭＡｃ１３６部からなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル３．６部を添加した溶液を滴下ロ－トから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート３５．５部［０．２５モル、（本反応に用いたメタクリル酸のカルボキシル基に対して５０モル％）］、トリスジメチルアミノメチルフェノール０．９部およびハイドロキノン０．１４５部をフラ
スコ内に投入し、１１０℃で６時間反応を続け、酸価が７９ｍｇＫＯＨ／ｇの感光性の樹脂溶液を得た。室温まで冷却した後、感光性の樹脂溶液約２部をサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した感光性の透明樹脂溶液に不揮発分が２０質量％になるようにＰＧＭＡｃを添加して、脂環式炭化水素含有単量体単位（ａ１）、及びカルボキシル基含有単量体単位（ａ２）を含有する感光性のアルカリ可溶性樹脂（Ａ１－２）溶液を調製した。重量平均分子量（Ｍｗ）は１３，０００であった。

【0243】

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ２－１）溶液）
セパラブル４口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン１９６部を仕込み、８０℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、ｎ－ブチルメタクリレート３７．２部、２－ヒドロキシエチルメタクリレート１２．９部、メタクリル酸１２．０部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亞合成社製「アロニックスＭ１１０」）２０．７部、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル１．１部の混合物を２時間かけて滴下した。滴下終了後、更に３時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約２部をサンプリングして１８０℃、２０分間加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が２０質量％になるようにＰＧＭＡｃを添加して、非感光性のアルカリ可溶性樹脂（Ａ２－１）溶液を調製した。重量平均分子量（Ｍｗ）は２６，０００であった。

【0244】

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ２－２）溶液）
セパラブル４口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管及び撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン２０７部を仕込み、８０℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、メタクリル酸２０部、ベンジルメタクリレート２０部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亞合成社製アロニックスＭ１１０）２０部、メタクリル酸メチル２５部、２－ヒドロキシエチルメタクリレート８．５部、及び２，２'－アゾビスイソブチロニトリル１．３３部の混合物を２時間かけて滴下
した。滴下終了後、更に３時間反応を継続し、共重合体樹脂溶液を得た。次に得られた共重合体溶液全量に対して、窒素ガスを停止し乾燥空気を１時間注入しながら攪拌したのちに、室温まで冷却した後、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工社製カレンズＭＯＩ）６．５部、ラウリン酸ジブチル錫０．０８部、シクロヘキサノン２６部の混合物を７０℃で３時間かけて滴下した。滴下終了後、更に１時間反応を継続し、樹脂の溶液を得た不揮発分が２０質量％になるようにシクロヘキサノンを添加して、感光性のアルカリ可溶性樹脂（Ａ２－２）溶液を調製した。重量平均分子量（Ｍｗ）は１８，０００であり、不揮発分酸価が１３０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。

【0245】

＜分散樹脂（Ｈ）の製造＞
（分散樹脂（Ｈ－１）溶液）
ガス導入管、温度、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、メタクリル酸１０部、メチルメタクリレート１００部、ｉ－ブチルメタクリレート７０部、ベンジルメタクリレート２０部、ＰＧＭＡｃ５０部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を５０℃に加熱撹拌し、３－メルカプト－１，２－プロパンジオール１２部を添加した。９０℃に昇温し、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル０．１部をＰＧＭＡｃ９０部に加えた溶液を添加しながら７時間反応した。不揮発分測定により９５％が反応したことを確認した。ピロメリット酸無水物１９部、ＰＧＭＡｃ５０部、シクロヘキサノン５０部、触媒として１，８－ジアザビシクロ－［５．４．０］－７－ウンデセン０．４部を追加し、１００℃で７時間反応させた。酸価の測定で９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了し、不揮発分測定で不揮発分３０％となるようＰＧＭＡｃを加えて希釈し、酸価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量８，５００の分散樹脂（Ｈ－１）溶液を得た。

【0246】

（分散樹脂（Ｈ－２）溶液）
ガス導入管、温度計、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、１－チオグリセロール１０８部、ピロメリット酸無水物１７４部、ＰＧＭＡｃ６５０部、触媒としてモノブチルスズオキシド０．２部を仕込み、窒素ガスで置換した後、１２０℃で５時間反応させた（第一工程）。酸価の測定で９５％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認した。次に、第一工程で得られた化合物を不揮発分換算で１６０部、２－ヒドロキシプロピルメタクリレート２００部、エチルアクリレート２００部、ｔ－ブチルアクリレート１５０部、２－メトキシエチルアクリレート２００部、メチルアクリレート２００部、メタクリル酸５０部、ＰＧＭＡｃ６６３部を仕込み、反応容器内を８０℃に加熱して、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）１．２部を添加し、１２時間反応した（第二工程）。不揮発分測定により９５％が反応したことを確認した。最後に、第二工程で得られた化合物の不揮発分５０％のＰＧＭＡｃ希釈溶液を５００部、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）２７．０部、ヒドロキノン０．１部を仕込み、ＩＲにてイソシアネート基に基づく２２７０ｃｍ^－１のピークの消失を確認するまで反応を行った（第三工程）。ピーク消失の確認後、反応溶液を冷却して、ＰＧＭＡｃで不揮発分調整することにより不揮発分３０％の分散樹脂（Ｈ－２）溶液を得た。得られた分散樹脂（Ｈ－２）の酸価は６８ｍｇＫＯＨ／ｇ、不飽和二重結合当量は１，５９３、重量平均分子量は１３，０００であった。

【0247】

（分散樹脂（Ｈ－３）溶液）
ガス導入管、コンデンサー、攪拌翼、及び温度計を備え付けた反応装置に、メチルメタクリレート３０部、ｎーブチルメタクリレート３０部、ヒドロキシエチルメタクリレート２０部、テトラメチルエチレンジアミン１３．２部を仕込み、窒素を流しながら５０℃で１時間撹拌し、系内を窒素置換した。次に、ブロモイソ酪酸エチル９．３部、塩化第一銅５．６部、ＰＧＭＡｃ１３３部を仕込み、窒素気流下で、１１０℃まで昇温して第一ブロック（Ｂブロック）の重合を開始した。４時間重合後、重合溶液をサンプリングして不揮発分測定を行い、不揮発分から換算して重合転化率が９８％以上であることを確認した。
次に、この反応装置に、ＰＧＭＡｃ６１部、第二ブロック（Ａブロック）モノマーとして１，２，２，６，６－ペンタメチルピペリジルメタクリレート２０部（日立化成工業社製、ファンクリルＦＡ－７１１ＭＭ）を投入し、１１０℃・窒素雰囲気下を保持したまま撹拌し、反応を継続した。１，２，２，６，６－ペンタメチルピペリジルメタクリレート投入から２時間後、重合溶液をサンプリングして不揮発分測定を行い、不揮発分から換算して第二ブロック（Ａブロック）の重合転化率が９８％以上であることを確認し、反応溶液を室温まで冷却して重合を停止した。不揮発分測定で不揮発分３０％となるようＰＧＭＡｃを加えて希釈し、不揮発分当たりのアミン価が５７ｍｇＫＯＨ／ｇ、数平均分子量４，５００（Ｍｎ）の分散樹脂（Ｈ－３）溶液を得た。

【0248】

（分散樹脂（Ｈ－４）溶液）
冷却管、添加用ロート、窒素用インレット、機械的攪拌機、デジタル温度計を備えた５００ｍＬ丸底４口セパラブルフラスコに、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）２５０質量部及び開始剤のジメチルケテンメチルトリメチルシリルアセタール５．８１質量部を、添加用ロートを介して加え、充分に窒素置換を行った。触媒のテトラブチルアンモニウムｍ－クロロベンゾエートの１モル／Ｌアセトニトリル溶液０．５質量部を、シリンジを用いて注入し、親溶剤性を有するブロック用モノマーのメタクリル酸２－ヒドロキシエチル１９．７質量部、メタクリル酸２－エチルヘキシル７．５質量部、メタクリル酸ｎ－ブチル１２．９質量部、メタクリル酸ベンジル１０．７質量部、メタクリル酸メチル３０．９質量部を、添加用ロートを用いて６０分かけて滴下した。反応フラスコを氷浴で冷却することにより、温度を４０℃未満に保った。１時間後、色材吸着機能ブロック用モノマーであるジメチルアミノプロピルメタクリルアミド１８．３質量部を２０分かけて滴下した。１時間
反応させた後、メタノール１質量部を加えて反応を停止させた。得られたブロック共重合体ＴＨＦ溶液はヘキサン中で再沈殿させ、濾過、真空乾燥により精製を行った。
続いて、１００ｍＬ丸底フラスコ中でＰＧＭＡｃ３５質量部に、得られたブロック共重合体１５．０質量部を溶解させ、塩形成成分であるフェニルホスフィン酸１．１質量部（ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドに対し、０．５モル等量）加え、反応温度３０℃で２０時間攪拌し、ＰＧＭＡｃを添加して調整し、不揮発分３０％の分散樹脂（Ｈ－４）溶液を得た。

【0249】

＜重合性化合物（Ｂ）の製造＞
（ウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３－１）溶液）
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、温度計、滴下管を備えた５口フラスコに、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート４００部、ＰＧＭＡｃ１００部、Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン０．５部を仕込み、７０℃に昇温し、滴下管からトルエンジイソシアネート６６部とＰＧＭＡｃ６６部の混合物を２時間かけて滴下した。滴下後、５０～７０℃の温度で８時間反応させ、ＩＲにより２１８０ｃｍ^－１のイソシアネートの吸収の消失を確認した。ついで、メルカプト酢酸３５部、４－メトキシフェノール０．６部を仕込み、５０～６０℃の温度で６時間反応させた。不揮発分が５０質量％となるように調整し、ウレタン結合を有する重合性化合物（Ｂ３－１）溶液を得た。

【0250】

＜分散体の製造＞
（分散体１）
下記の原料を均一になるように攪拌混合した後、直径０．５ｍｍのジルコニアビ－ズを用いて、アイガーミル（アイガージャパン社製「ミニモデルＭ－２５０ ＭＫＩＩ」）で３時間分散した後、孔径１．０μｍのフィルタで濾過し、分散体１を作製した。有機溶剤（Ｐ－１）は、ＰＧＭＡｃである。
微細化した青色顔料（Ｆ－３） ：９．０５質量部
微細化した紫色顔料（Ｆ－４） ：０．３１質量部
染料（Ｆ－１１） ：４．１６質量部
色素誘導体（Ｇ－１） ：１．０４質量部
分散樹脂（Ｈ－１）溶液 ：３．４７質量部
アルカリ可溶樹脂（Ａ２－１）溶液 ：２．００質量部
有機溶剤（Ｐ－１） ：７９．９７質量部

【0251】

色素誘導体（Ｇ－１）：下記構造

【化11】

ｐｃは、フタロシアニン骨格を表す。

【0252】

表１に記載した原料、量を変えた以外は、分散体１と同様に分散体２～９を作成した。

【0253】

【表1】

【0254】

表１の色素誘導体（Ｇ－２）：下記構造

【化12】

【0255】

表１の色素誘導体（Ｇ－３）：下記構造

【化13】

【0256】

＜感光性組成物の製造＞
［実施例１］
（感光性組成物１）
以下の原料を混合、攪拌し、孔径１．０μmのフィルタで濾過して感光性組成物１を得た
。
分散体１ ：２８．８５質量部
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－１）溶液 ：１０．００質量部
重合性化合物（Ｂ１－１） ：３．００質量部
重合性化合物（Ｂ２－１） ：３．００質量部
重合性化合物（Ｂ３－１）溶液 ：２．００質量部
オキシム系光重合開始剤（Ｃ１－１） ：０．５０質量部
光重合開始剤（Ｃ２－１） ：０．５０質量部
増感剤（Ｄ２－１） ：０．２５質量部
チオール系連鎖移動剤（Ｅ） ：０．３５質量部
熱硬化性化合物（Ｉ） ：０．５０質量部
重合禁止剤（Ｊ） ：０．０１質量部
レベリング剤（Ｍ） ：１．００質量部
有機溶剤（Ｐ） ：５０．０４質量部

【0257】

［実施例２～３１、比較例１～３］
（感光性組成物２～３４）
実施例１の感光性組成物１を、表２－１～表２－４に記載した原料、量に変えた以外は、実施例１と同様にして感光性組成物２～３４を作製した。なお、本明細書で実施例１は、参考例である。

【0258】

【表2-1】

【0259】

【表2-2】

【0260】

【表2-3】

【0261】

【表2-4】

【0262】

表２－１～表２－４に記載したそれぞれの原料については、以下の通りである。

【0263】

［重合性化合物（Ｂ）］
（ラクトン変性された重合性化合物（Ｂ１））
Ｂ１－１：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＣＡ－３０（日本化薬社製）

【0264】

（酸基を有する重合性化合物（Ｂ２））
Ｂ２－１：アロニックスＭ－５２０（東亞合成社製）

【0265】

（その他重合性化合物（Ｂ４））
Ｂ４－１：アロニックスＭ－４０２（東亜合成社製）

【0266】

［光重合開始剤（Ｃ）］
（オキシム系光重合開始剤（Ｃ１））
Ｃ１－１：上述の化学式（２）の化合物
Ｃ１－２：上述の化学式（３）の化合物
Ｃ１－３：上述の化学式（４）の化合物
Ｃ１－４：上述の化学式（５）の化合物
Ｃ１－５：上述の化学式（６）の化合物
Ｃ１－６：上述の化学式（７）の化合物

【0267】

（光重合開始剤（Ｃ２））
Ｃ２－１：Ｏｍｎｉｒａｄ ３６９（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製、アセトフェノン系光重合開始剤）
Ｃ２－２：Ｏｍｎｉｒａｄ ９０７（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製、アセトフェノン系光重合開始剤）
Ｃ２－３：Ｏｍｎｉｒａｄ ＴＰＯ（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤）
Ｃ２－４：２，２’－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール（イミダゾール系光重合開始剤）

【0268】

［増感剤（Ｄ）］
Ｄ１－１：カヤキュアＤＥＴＸ－Ｓ（日本化薬社製、チオキサントン系化合物）
Ｄ２－２：ＣＨＥＭＡＲＫ ＤＥＡＢＰ（Ｃｈｅｍａｒｋ Ｃｈｅｍｉｃａｌ社製、ベンゾフェノン系化合物）

【0269】

［チオール系連鎖移動剤（Ｅ）］
Ｅ－１：トリメチロ－ルプロパントリス（３－メルカプトブチレート）
Ｅ－２：ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）
以上、（Ｅ－１）及び（Ｅ－２）をそれぞれ同量にて混合し、チオール系連鎖移動剤（Ｅ）とした。

【0270】

［熱硬化性化合物（Ｉ）］
（エポキシ化合物（Ｉ１））
Ｉ１－１：ＥＨＰＥ－３１５０（ダイセル社製）
Ｉ１－２： デナコールＥＸ６１１（ナガセケムテックス社製）
Ｉ１－３：イソシアヌル酸トリグリシジル
以上、（Ｉ１－１）～（Ｉ１－３）をそれぞれ同量混合し、熱硬化性化合物（Ｉ）とした。

【0271】

［重合禁止剤（Ｊ）］
Ｊ－１：４－メチルカテコール
Ｊ－２：メチルヒドロキノン
Ｊ－３：ｔ－ブチルヒドロキノン
以上、（Ｊ－１）～（Ｊ－３）をそれぞれ同量にて混合し、重合禁止剤（Ｊ）とした。

【0272】

［レベリング剤（Ｍ）］
Ｍ－１：ＢＹＫ－３３０（ビックケミー社製）
Ｍ－２：メガファックＦ－５５１（ＤＩＣ社製）
以上、（Ｍ－１）及び（Ｍ－２）をそれぞれ1部混合し、ＰＧＭＡｃ９８部に溶解させ
た混合溶液をレベリング剤（Ｍ）とした。

【0273】

［有機溶剤（Ｐ） ］
Ｐ－１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ３０部
Ｐ－２：シクロヘキサノン ３０部
Ｐ－３：３－エトキシプロピオン酸エチル １０部
Ｐ－４：プロピレングリコールモノメチルエーテル １０部
Ｐ－５：シクロヘキサノールアセテート １０部
Ｐ－６：ジプロプレングリコールメチルエーテルアセテート １０部
以上、（Ｐ－１）～（Ｐ－６）をそれぞれ上記質量部にて混合し、有機溶剤（Ｐ）とした。

【0274】

＜感光性組成物の評価＞
得られた感光性組成物１～３４（実施例１～３１、比較例１～３）について、アルカリ現像性、パターン形状、及び溶剤耐性の評価を下記の方法で行った。評価結果を表３に示す。

【0275】

［アルカリ現像性評価］
得られた感光性組成物を、縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板（コーニング社製イーグル２０００）上に、スピンコータを用いて乾燥膜厚が２．０μｍとなるように塗工し、９０℃で１２０秒間プリベークを行った。次いで、超高圧水銀ランプを用い、積算光量３０ｍＪ／ｃｍ^２で紫外線露光を行い、１００μｍ幅ストライプパターンのフォトマスクを介して紫外線を露光した。さらに、この基板を室温に冷却後、２３℃の０．０４％水酸化カリウム水溶液を用いて現像時間２水準（４０秒、７０秒）でスプレー現像し、イオン交換水で洗浄して風乾した。得られた基板をクリーンオーブン中で、２３０℃で３０分間ポストベークを行い、基板上にストライプ状のパターンを形成した。パターンを光学顕微鏡にて観察し、未露光部の現像残渣、および欠けの有無を評価した。評価基準を以下に示す。なお、２以上が実用可能である。
３：現像時間７０秒において、未露光部の現像残渣が無く、パターン欠けがなかった。
２：現像時間７０秒において、未露光部に現像残渣が発生またはパターン欠けが発生した。
１：現像時間４０秒において、未露光部に現像残渣が発生またはパターン欠けが発生した。

【0276】

［パターン形状評価］
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板（コーニング社製イーグル２０００）に、乾燥後の膜厚が２．０μｍとなるように塗工し、７０℃１分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、高圧水銀灯ランプを用い、１００μｍ幅（ピッチ２００μｍ）および１０μｍ幅（ピッチ２０μｍ）ストライプパターンのフォトマスクを介して照度３０ｍＷ／ｃｍ^２、積算光量４０ｍＪ／ｃｍ^２で露光した。その後、この基板を２３℃の非イオン系界面活性剤０．１２質量％と水酸化カリウム０．０４質量％とを含む現像液を用いてスプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾し、クリーンオーブン中２３０℃で３０分間加熱しパターン形状評価用基板を得た。スプレー現像は、それぞれの感光性組成物での被膜について、現像残りなくパターン形成可能な最短時間で行った。
得られたパターンについて、走査型電子顕微鏡（日立ハイテック社製「Ｓ－３０００Ｈ」）にてパターン形状を確認した。評価は、幅１００μｍのストライプ型パターンの断面のＳＥＭ画像を取り込み、基材とパターン断面の端部とのテーパー角度を測定することで断面形状評価を行った。評価基準を以下に示す。なお、３以上が実用可能である。
５：テーパー角度３０度以上５０度未満
４：テーパー角度５０度以上６０度未満
３：テーパー角度３０度未満もしくは６０度以上７０度未満
２：テーパー角度７０度以上９０度未満
１：テーパー角度９０度以上

【0277】

［溶剤耐性評価］
上記パターン形状評価用基板を室温で３０分間Ｎ－メチルピロリドンに浸漬後、イオン交換水で洗浄、風乾して、幅１００μｍのストライプ型パターン部分について光学顕微鏡を用いて観察した。評価基準を以下に示す。なお、２以上が実用可能である。
４：外観、色に変化がない。
３：わずかにシワが発生するが、色に変化はない。
２：一部にシワ等が発生するが、色に変化はない。
１：剥がれや退色が発生。

【0278】

【表3】

【要約】      （修正有）

【課題】アルカリ現像性、パターン形状に優れ、かつ優れた耐性を有する塗膜を得ることができる感光性組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び光重合開始剤（Ｃ）を含む感光性組成物であって、前記光重合開始剤（Ｃ）が、下記一般式（１）で表されるオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）、及びオキシム系光重合開始剤（Ｃ１）以外の光重合開始剤（Ｃ２）（ただし、オキシム系光重合開始剤を除く）を含む感光性組成物。
一般式（１）

【選択図】なし