特許 7267886 放射線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-24

(45)【発行日】2023-05-02

(54)【発明の名称】放射線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/18 20180101AFI20230425BHJP

   G01N 23/04 20180101ALI20230425BHJP

【ＦＩ】

G01N23/18

G01N23/04

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2019172796

(22)【出願日】2019-09-24

(65)【公開番号】P2021050960

(43)【公開日】2021-04-01

【審査請求日】2022-07-04

(73)【特許権者】

【識別番号】391017540

【氏名又は名称】東芝ＩＴコントロールシステム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(74)【代理人】

【識別番号】100112564

【弁理士】

【氏名又は名称】大熊 考一

(74)【代理人】

【識別番号】100163500

【弁理士】

【氏名又は名称】片桐 貞典

(74)【代理人】

【識別番号】230115598

【弁護士】

【氏名又は名称】木内 加奈子

(72)【発明者】

【氏名】井上 亮太

(72)【発明者】

【氏名】半杭 秀一

(72)【発明者】

【氏名】内田 敏徳

(72)【発明者】

【氏名】染谷 幸夫

【審査官】清水 靖記

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－２９２４５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－１５７０５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０８０２８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２１２０６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０１４０１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】登録実用新案第３２０７８７３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１３－６３４２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１８４３５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－７９１８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１６８５９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３２９７０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第５０２３８９５（ＵＳ，Ａ）

【文献】米国特許第４９８９２２５（ＵＳ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１１／０３７７８３（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２３／００ － Ｇ０１Ｎ ２３／２２７６

Ｇ０１Ｎ ２１／８４ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １５／００ － Ｇ０１Ｂ １５／０８

Ａ６１Ｂ ６／００ － Ａ６１Ｂ ６／１４

Ｇ０１Ｇ １１／００ － Ｇ０１Ｇ １１／２０

Ｇ０１Ｇ ２１／００ － Ｇ０１Ｇ ２３／４８

Ｂ６５Ｇ １１／００ － Ｂ６５Ｇ ４９／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ホルダーによって保持された被検査物を搬送する検査コンベア、前記検査コンベアの搬入側に設けられた搬入コンベア、前記検査コンベアの搬出側に設けられた搬出コンベア、及び前記搬出コンベア側に設けられ検査結果に応じて前記被検査物を選別する仕分け装置と、
前記検査コンベアの両側に、前記検査コンベア上の前記被検査物を挟んで配置された放射線発生器と放射線検出器と、
前記検査コンベアと前記搬入コンベアの間、及び前記検査コンベアと前記搬出コンベアの間にそれぞれ設けられたタイミングスクリューとを備え、
前記タイミングスクリューは、軸方向が前記被検査物の搬送方向に沿って設けられ、スクリューのピッチは、前記検査コンベア側が放射線撮影時における隣接する前記被検査物の間隔に応じて広く、前記搬入コンベア側又は前記搬出コンベア側がこれらコンベアによる前記被検査物の搬送間隔に応じて狭くなっている放射線検査装置。

【請求項2】

前記検査コンベア、前記タイミングスクリュー、及び前記仕分け装置を駆動するモーターと、
前記モーターを制御して、前記検査コンベア、前記タイミングスクリュー、及び前記仕分け装置の動作タイミングを同期させる制御部を備える請求項１に記載の放射線検査装置。

【請求項3】

前記検査コンベアの搬送面に設けられた前記ホルダーの位置決め部材を備える請求項１又は請求項２に記載の放射線検査装置。

【請求項4】

前記検査コンベアに設けられ、前記検査コンベアの移動に従って、前記検査コンベア上に載置された前記被検査物及び前記ホルダーの少なくとも一方に接触して、前記ホルダーを前記位置決め部材に対して押し付ける押圧部材を備える請求項３に記載の放射線検査装置。

【請求項5】

前記ホルダーに設けられた溝又は突起と、前記検査コンベアに設けられ前記ホルダーの溝又は突起を案内するレールを備える請求項４に記載の放射線検査装置。

【請求項6】

前記検査コンベア下部のリターン部分を支持する面状のベルト受け台と、
前記リターン部分に設けられたテンションローラと、
前記検査コンベア上部に設けられたベルト支持部材の端部から前記検査コンベアのスプロケットに向けて突出して、前記検査コンベア両端の前記スプロケットと前記ベルト支持部材との隙間を塞ぐ受け部を備える請求項１又は請求項２のいずれかに記載の放射線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、例えば、円柱あるいは角柱形の電池やコンデンサ等のように内部に捲回構造体を持った被検査物を対象として、捲回の巻ズレや異物の有無を検査する放射線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

電池などの被検査物の内部構造を検査する放射線検査装置として、例えば、特許文献１や特許文献２に示すものが知られている。この種の放射線検査装置は、一定の間隔でコンベアにより搬送された被検査物に対して、Ｘ線などの放射線を照射することで、その内部構造を検査する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－８０２８４号公報

【文献】特開２０１７－５３７７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

この種の放射線検査装置では、被検査物をコンベアに乗せたままの状態で、放射線発生器により被検査物に放射線を照射する。その場合、被検査物の全体像を観察するには、被検査物を支持するコンベアが透視画像に映り込まないように、放射線が透過しやすい樹脂製のホルダーによって被検査物をコンベア表面から一定の高さに支持しておくことが望ましい。ところが、被検査物が円柱状の電池のように比較的背の高い物品であると、搬送時においてコンベア上で傾いたり倒れたりするおそれがある。特に、放射線検査装置においては多量の被検査物を高速に検査する必要があることから、被検査物の高速移動と停止が繰り返されるために、ホルダーによって支持された被検査物をコンベア上で安定して支持することが要求されている。

【0005】

被検査物を安定して搬送するには、コンベア自体も滑らかに走行する必要があり、コンベアに弛みがなく、被検査物を常に平らな面で支持しながら搬送することが重要である。さらに、大量の被検査物を検査するには、検査前後の被検査物をストックヤードに貯留したり搬送用のコンベア上では極力被検査物を密集して配置する一方、放射線を照射する部分では隣接する被検査物が映り込まないように被検査物同士の間隔を広く取る必要がある。

【0006】

従来技術では、検査コンベア下部に位置するリターン部分を、所定の間隔で設けた複数の受けローラによって支持している。しかし、このような構成では、リターン部分が波打ち、その影響で被検査物を搬送するコンベア上部に振動が発生し、被検査物を安定して搬送することができない。特に、比較的軽量で安価な樹脂製のコンベアを使用すると、この傾向は増大する。また、コンベア上部では、支持部材によってコンベアと搬送する被検査物を下から支えているが、駆動用のスプロケットの外周が円弧状となっているため、スプロケットと支持部材との間に略Ｖ字状の隙間が生じ、これによってコンベア上部にたわみが生じることもある。

【0007】

従来技術では、各種コンベアの運転タイミング及び検査後における被検査物の仕分け機構の動作タイミングなどを、１台の駆動用モータから減速機と複数のギヤを経由して各部に伝えることで、機械的に同期させていた。しかし、このような機械的な同期は、正確なタイミングを取ることが難しい上に、構成の複雑化及び部品点数の増大を招く問題があった。

【0008】

以上のように、放射線検査装置では、搬送時における被検査物の安定した支持と、搬送間隔の適切かつ円滑な変更が要求される。しかし、前記のような従来技術においては、コンベアと検査台間の移送間隔の変更が不可能であり、また、被検査物を樹脂製のホルダーによって支持しながら搬送するという構成が採用されていないため、このような技術的要求を満足することは不可能であった。

【0009】

本実施形態は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものである。本実施形態の目的は、被検査物をホルダーによって支持しながら、搬送時における被検査物の安定した支持と、搬送間隔の適切かつ円滑な変更を可能とした放射線検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の実施形態の放射線検査装置は、次のような構成を有する。
（１）ホルダーによって保持された被検査物を搬送する検査コンベア、前記検査コンベアの搬入側に設けられた搬入コンベア、前記検査コンベアの搬出側に設けられた搬出コンベア、及び前記搬出コンベア側に設けられ検査結果に応じて前記被検査物を選別する仕分け装置。
（２）前記検査コンベアの両側に、前記検査コンベア上の前記被検査物を挟んで配置された放射線発生器と放射線検出器。
（３）前記検査コンベアと前記搬入コンベアの間、及び前記検査コンベアと前記搬出コンベアの間にそれぞれ設けられたタイミングスクリュー。
（４）前記タイミングスクリューは、軸方向が前記被検査物の搬送方向に沿って設けられ、スクリューのピッチは、前記検査コンベア側が放射線撮影時における隣接する前記被検査物の間隔に応じて広く、前記搬入コンベア側又は前記搬出コンベア側がこれらコンベアによる被検査物の搬送間隔に応じて狭くなっている。

【0011】

実施形態において、次のような構成を有することができる。
（１）前記検査コンベア、前記タイミングスクリュー、及び前記仕分け装置を駆動するモーターと、前記モーターを制御して、前記検査コンベア、前記タイミングスクリュー、及び前記仕分け装置の動作タイミングを同期させる制御部。
（２）前記検査コンベアの搬送面に設けられた前記ホルダーの位置決め部材。
（３）前記検査コンベアに設けられ、前記コンベアの移動に従って、前記コンベア上に載置された前記被検査物及び前記ホルダーの少なくとも一方に接触して、前記ホルダーを前記位置決め部材に対して押し付ける押圧部材。
（４）前記ホルダーに設けられた溝又は突起と、前記検査コンベアに設けられ前記ホルダーの溝又は突起を案内するレール。
（５）前記検査コンベア下部のリターン部分を支持する面状のベルト受け台と、前記リターン部分に設けられたテンションローラと、前記検査コンベア上部に設けられたベルト支持部材の端部から前記検査コンベアのスプロケットに向けて突出して、前記検査コンベア両端の前記スプロケットと前記ベルト支持部材との隙間を塞ぐ受け部。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】第１実施形態の放射線検査装置の全体構成を模式的に示す平面図。

【図2】第１実施形態の放射線検査装置の要部を示す斜視図。

【図3】第１実施形態におけるホルダーの一例を示す斜視図。

【図4】第１実施形態における位置決め部材と押圧部材を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は斜視図。

【図5】第１実施形態における検査コンベアを側方から見た模式図で、（ａ）はテンションローラをベルトの外側に配置した例、（ｂ）は内側に配置した例を示す。

【図6】第１実施形態における受け部の斜視図。

【図7】第１実施形態における制御部と各部の関係を示すブロック図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

［１．第１実施形態］
［１－１．実施形態の構成］
図１及び図２に示すように、第１実施形態に係る放射線検査装置１は、放射線発生器２、放射線検出器３、遮蔽箱４、搬送機構５、仕分け装置６及びこれら各部の動作を制御する制御部２０を備える。

【0014】

放射線検査装置１は、被検査物Ｗに放射線を照射し、被検査物Ｗを透過した放射線を検出し、検出結果によって被検査物Ｗ内の透視画像を形成する。被検査物Ｗは、放射線により非破壊検査されるものであれば特に限定されないが、例えば、円筒型電池、角型電池、ラミネート型電池、アルミ電解コンデンサ、電気二重層キャパシタ等の電気化学キャパシタ、等の捲回構造体である。被検査物Ｗは、中央に凹部Ｈａを有する円形の樹脂製ホルダーＨに嵌合された状態で移送される。ホルダーＨの側面には、コンベアの搬送面と平行に伸びる円周状の溝Ｈｂが設けられる。

【0015】

放射線発生器２は、被検査物Ｗに向けて放射線ビームを照射する。この放射線発生器２は例えばＸ線管である。放射線検出器３は、放射線発生器２と対向して配置される。この放射線検出器３は、例えばイメージインテンシファイア（Ｉ．Ｉ．）とカメラ、又はフラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）により構成される。放射線発生器２と放射線検出器３は、ここでは１組設けられている。放射線検出器３は、放射線検出器３によって得られた透視画像と予め記録されている基準画像に基づいて被検査物Ｗの良否を判定する判定部３１や、撮影された透視画像表示する表示部に接続されている。

【0016】

遮蔽箱４は、放射線発生器２と放射線検出器３を囲い、放射線を遮蔽する。遮蔽箱４は、鉛などの放射線を遮蔽する材料を含み構成されている。遮蔽箱４には、被検査物Ｗを内部に搬入する搬入口４１、内部の被検査物Ｗを外部に搬出する搬出口４２が設けられている。なお、図１では、放射線検査装置１の内部構造を示すため遮蔽箱４の一部のみを示している。

【0017】

搬送機構５は、被検査物Ｗを搬送する機構である。搬送機構５は、被検査物Ｗを搬送する検査コンベア８、検査コンベア８の搬入側に設けられた搬入コンベア９、検査コンベア８の搬出側に設けられた搬出コンベア１０を有する。各コンベアとしては、例えばベルトコンベヤ、チェーンコンベヤなどが使用できる。搬送機構５は、被検査物Ｗが電池などの捲回構造体である場合に、被検査物Ｗを水平面に対して垂直にした状態で搬送する。

【0018】

搬送機構５は、検査コンベア８と搬入コンベア９の間、及び検査コンベア８と搬出コンベア１０の間にそれぞれ設けられたタイミングスクリュー１１を有する。タイミングスクリュー１１は、軸方向が被検査物Ｗの搬送方向に沿って設けられ、スクリューのピッチは、検査コンベア８側が放射線撮影時における隣接する被検査物Ｗの間隔に応じて広く、搬入コンベア９側又は搬出コンベア１０側がこれらコンベアによる被検査物Ｗの搬送間隔に応じて狭くなっている。タイミングスクリュー１１は、駆動用モーター１１１と、モーターの回転力をタイミングスクリュー１１に伝達するギヤ機構１１２を備える。

【0019】

検査コンベア８は、両端のスプロケット８１の間に掛け渡されており、一方のスプロケット８１に連結された駆動用モーター８２によって、上部の搬送面が図１の左から右方向に向かって移動し、被検査物Ｗを搬送する。検査コンベア８の搬送面は、その下に配置されたベルト支持部材８３によって支持されている。

【0020】

ベルト支持部材８３の端部と外周が曲面であるスプロケット８１との間には、図５及び図６に示すように、隙間Ｓが設けられている。本実施形態では、ベルト支持部材８３の端部からスプロケット８１に向けて突出した一対の受け部８４が設けられ、コンベア両端のスプロケット８１とベルト支持部材８３との隙間Ｓにおいても、この受け部８４によってコンベアの搬送面が下から支持されている。受け部８４は、図５に示すように、両端のスプロケット８１の近傍にそれぞれ設けても良いし、いずれか一方のスプロケット８１の近傍に設けても良い。どの部分にいくつ設けるかは、検査コンベア８の弛みや波打ち状況に合わせて適宜選択できる。

【0021】

本実施形態では、図６に示すように、スプロケット８１として、ベルトの幅方向の２個所を駆動するように一定の間隔を保って支軸８１ａに固定された一対の歯車８１ｂ，８１ｃを使用している。また、支軸８１ａを支持する左右の側板８１ｄ，８１ｅと、歯車８１ｂ，８１ｃとの間にも一定の間隔が設けられている。そのため、各受け部８４は、一対の歯車８１ｂ，８１ｃと左右の側板８１ｄ，８１ｅとの間隙部分にまで挿入されるような細い幅の部材から構成される。なお、受け部８４を櫛歯状に３本設けて、中央の受け部８４を歯車８１ｂ，８１ｃの間に挿入しても良い。

【0022】

検査コンベア８下部のリターン部分は、面状のベルト受け台８５によって広い面積で支持されている。ベルト受け台８５は、両端のスプロケット８１の部分を除き、リターン部分のほぼ全域にわたって設けられている。リターン部分におけるスプロケット８１とベルト受け台８５の端部との間には、ベルトのたわみを防止するテンションローラ８６が設けられる。テンションローラ８６の位置は、図５（ａ）のようにリターン部分を外側から押圧する箇所でも、図５（ｂ）のように内側から押圧するものでも良い。また、図５では、一方のスプロケット８１とベルト受け台８５と間にテンションローラ８６を設けたが、両端のスプロケット８１の近傍にそれぞれ設けても良い。

【0023】

検査コンベア８の搬送面には、図３及び図４に示すように、被検査物Ｗを一定の間隔で搬送するための位置決め部材８７が設けられる。この位置決め部材８７は、円形のホルダーＨの外周に当接して、ホルダーＨを検査コンベア８の幅方向中心部に位置決めすると共に、検査コンベア８上におけるホルダーＨの搬送方向の間隔を規制する。位置決め部材８７は、検査コンベア８に限らず、搬入コンベア９や搬出コンベア１０の搬送面にも、被検査物Ｗの搬送間隔に合わせて設けられるが、コンベア上で隣接するホルダーＨを密着させて搬送する場合には、ホルダーＨ自体が位置決めの役割を果たすので設けなくても良い。

【0024】

検査コンベア８の入口部分及び出口部分には、検査コンベア８の両側に、検査コンベア８上のホルダーＨと接触して、ホルダーＨを位置決め部材８７に押し付ける一対の押圧部材８８が設けられる。押圧部材８８は、先端がホルダーＨ外周面に接触するブラシあるいはスポンジ状の柔軟な部材から構成され、検査コンベア８の両側に配置された支持部８９に取り付けられている。押圧部材８８は、図４に示すように、検査コンベア８の両側に、被検査物Ｗの進入側がホルダーＨの外形よりも広く、送出側が狭くなるように、被検査物Ｗの搬送方向に対して斜めに配置される。押圧部材８８は、検査コンベア８の入口部分及び出口部分に限らず、搬入コンベア９や搬出コンベア１０上における被検査物Ｗ位置決めが必要な箇所に適宜配置することができる。

【0025】

仕分け装置６は、判定部３１による検査結果に応じて被検査物Ｗを例えば、良品と不良品に選別するもので、アームやロッド、フラップなどによって搬出コンベア１０上から被検査物Ｗを排出するものや、ターンテーブルと吸着ノズルを利用したものなど各種の装置を適宜採用できる。本実施形態では、図示しない駆動用モータによって回転するターンテーブル６１と、被検査物Ｗを係合する凹部６２と、被検査物Ｗを吸着保持する吸着ノズル６３を備える。搬出コンベア１０のタイミングスクリュー１１と反対側に、搬出コンベヤ１０上の被検査物Ｗを吸着保持して移送するターンテーブル６１が設けられる。

【0026】

検査コンベア８の駆動用モーター８２、搬入側と搬出側のタイミングスクリュー１１の駆動用モーター１１１、及び仕分け装置６のターンテーブル６１は、制御部２０によって同期制御されている。図示しないが、放射線発生器２及び放射線検出器３による透視画像の撮影タイミングも、前記各駆動用モーター８２，１１１による被検査物Ｗの搬送タイミングに同期されている。

【0027】

［１－２．実施形態の作用］
本実施形態の放射線検査装置１では、搬送コンベア上では被検査物Ｗは円形のホルダーＨ上に支持された状態で、狭い間隔、例えば隣接するホルダーＨ同士が密着した状態で搬送される。被検査物Ｗが搬入コンベア９の出口近くに達すると、搬入コンベア９と検査コンベア８の間に設けられたタイミングスクリュー１１の溝内に、搬入コンベア９上の被検査物Ｗが入り込み、タイミングスクリュー１１の回転に伴ってその軸方向に移送される。この際、タイミングスクリュー１１の溝のピッチは搬入コンベア９側が狭く、検査コンベア８側が広くなっているため、搬入コンベア９上で近接して搬送されていた被検査物Ｗは、タイミングスクリュー１１の溝幅の拡大に伴い、隣接する被検査物Ｗとの間隔が徐々に広がり、検査コンベア８に移送された状態では、検査時に隣接する被検査物Ｗが画像に写り込まないような間隔に設定される。

【0028】

この場合、タイミングスクリュー１１の駆動用モーター１１１と検査コンベア８の駆動用モーター８２とは制御部２０によって同期されているので、タイミングスクリュー１１から送り出される被検査物Ｗは、検査コンベア８上に設けられた各位置決め部材８７の間に１つずつ送り出される。

【0029】

検査コンベア８上に移送された被検査物Ｗは、押圧部材８８によって位置決め部材８７に押し付けられ、その搬送間隔が正しいものとなる。すなわち、両側の押圧部材８８の間に進入した被検査物Ｗは、検査コンベア８の入口側に設けられた押圧部材８８に接触し、押圧部材８８の間隔が狭まるにつれてその進行が遮られるのに対し、検査コンベア８は移動を続けるため、結果として被検査物Ｗが位置決め部材８７に押し付けられる。この際、押圧部材８８はブラシやスポンジなどのような弾性材料によって構成されているため、被検査物Ｗが位置決め部材８７に当接した後は、位置決め部材８７を介して伝わる検査コンベア８の搬送力が勝るため、押圧部材８８の先端が変形してその狭くなった隙間の部分を被検査物Ｗは通過する。

【0030】

この状態で、被検査物Ｗが撮影箇所に達すると、検査コンベア８の両側に配置された放射線発生器２と放射線検出器３により、被検査物Ｗの透視画像が撮影される。この放射線透視画像の撮影は、被検査物Ｗの撮影位置で検査コンベア８を停止させて行っても良いし、高速度カメラを利用した静止画像の撮影や、動画による撮影によって被検査物Ｗの良否を判定することが可能な場合には、検査コンベア８を移動させながら撮影を行っても良い。本実施形態においては、タイミングスクリュー１１の駆動用モーター１１１、検査コンベア８の駆動用モーター８２及び放射線発生器２及び放射線検出器３による透視画像の撮影タイミングを制御部２０によって同期させることにより、検査コンベア８を間欠的に搬送及び停止させて、個々の被検査物Ｗの静止画像を撮影する。

【0031】

撮影された被検査物Ｗの静止画像は判定部３１に送られ、判定部３１において予め保存されている基準画像と比較されることにより、その良否が判定される。このようにして得られた個々の被検査物Ｗに関する判定結果は制御部２０に送られ、制御部２０は判定結果に基づいて仕分け対象の被検査物Ｗが仕分け装置６に達した場合に、仕分け装置６を駆動させる。

【0032】

撮影が終了した被検査物Ｗは、検査コンベア８によってその出口側に送られ、出口側のタイミングスクリュー１１に達する。出口側のタイミングスクリュー１１は、検査コンベア８側のピッチが広く、搬出コンベア１０側のピッチが狭くなっている。そのため、検査コンベア８によって広い間隔で送られてきた被検査物Ｗは、タイミングスクリュー１１によってその間隔を徐々に狭められながら、搬出コンベア１０に送られる。

【0033】

仕分け対象となる被検査物Ｗが、搬出コンベア１０の経路上に設けられた仕分け装置６に達すると、制御部２０からの指令に基づいて仕分け装置６のターンテーブル６１が作動し、ターンテーブル６１の外周に設けられた凹部６２に係合し、吸着ノズル６３に吸着保持され、仕分け対象の被検査物Ｗを搬出コンベア１０上から排出する。仕分け対象以外の被検査物Ｗについては、仕分け装置６が駆動されることなくそのまま搬出コンベア１０によって検査装置外部に送り出される。

【0034】

［１－３．実施形態の効果］
本実施形態は、次のような効果を有する。
（１）本実施形態では、ピッチが徐々に増減していくタイミングスクリュー１１を利用して、搬入コンベア９によって搬送された被検査物Ｗの搬送間隔を変更する。その結果、検査前後の被検査物Ｗを貯留しておくストックヤードや搬入コンベア９、搬出コンベア１０上では被検査物Ｗを密集して配置する一方、放射線を照射する検査コンベア８では隣接する被検査物Ｗが映り込まないように被検査物Ｗ同士の間隔を広く取ることができる。そのため、装置全体を小型化しながらも、大量の被検査物Ｗを迅速かつ正確に検査することが可能となる。

【0035】

（２）本実施形態では、放射線が透過しやすい樹脂製のホルダーＨによって被検査物Ｗをコンベア表面から一定の高さに支持しておくため、被検査物Ｗを支持するコンベアが透視画像に映り込むことがなく、被検査物Ｗ全体、特に従来技術では透視が難しい被検査物Ｗ下部の鮮明な透視画像を得ることができる。特に、コンベア上にホルダーＨと係合する位置決め部材８７を設けることにより、コンベア上でホルダーＨがずれることなく、被検査物Ｗを正確な位置でしかも高速に移動させることができる。コンベアの側方に、ホルダーＨと接触してホルダーＨを位置決め部材８７に押し付けるための押圧部材８８を設けたため、ホルダーＨと位置決め部材８７との位置決めの正確に行われる。

【0036】

（３）図３に示すように、ホルダーＨの側面に設けた溝Ｈｂに対してコンベア側方に配置したレールＲを嵌め込みながら被検査物Ｗを移動させるため、コンベアの高速移動及び停止を繰り返しても、被検査物Ｗがコンベア上で倒れることなく安定して移動させることが可能となる。

【0037】

（４）検査コンベア８下部においては、リターン部分を面状のベルト受け台８５によって広い面積で支持しているので、ベルトのたわみや波打ちが解消される。また、リターン部分にテンションローラ８６を設けることで、ベルトの緩みがなくなる。検査コンベア８上部においては、ベルト支持部材８３の端部からスプロケット８１に向けて突出した受け部８４を設け、この受け部８４によってコンベア両端のスプロケット８１とベルト支持部材８３との隙間Ｓを塞ぐようにしたため、ベルトのたるみが解消される。これらの構成の組み合わせにより、コンベア上部の搬送面を平らにして、被検査物Ｗを安定して搬送することができる。

【0038】

（５）タイミングスクリュー１１、検査コンベア８、仕分け装置６のターンテーブル６１にそれぞれ専用の駆動用モーターを設けて、これらの駆動用モーターの同期制御を制御部２０により行うようにしたので、従来の機械的同期制御に比較して、装置の製作時間・コスト・重量の削減や省スペース化が可能となる。特に、被検査物Ｗの形状や寸法に合わせて、その搬送速度や撮影タイミングを変更することは、従来のような機械的同期では不可能であったが、本実施形態によれば、制御部２０によるプログラミングを適宜に変更することにより、様々な対応が可能となる。

【0039】

［２．他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。具体的には、次のような他の実施形態も包含する。

【0040】

（１）放射線発生器２と放射線検出器３を複数組設けて、１つの被検査物Ｗに対して異なる方向から同時に放射線を照射して複数の透視画像を撮影する。特に、角形の積層電池の左右のコーナー部を同時に検査したり、被検査物Ｗの上部と下部を異なる方向から検査する場合に有効である。

【0041】

（２）搬入コンベア９と検査コンベア８と間にのみタイミングスクリュー１１を配置し、検査コンベア８と搬出コンベア１０との間は、プッシュロッドやカムなどの他の手段によって被検査物Ｗを移送させる。すなわち、タイミングスクリュー１１による被検査物Ｗの正確な位置決めは検査コンベア８上において不可欠なものであり、搬出コンベア１０上では、搬送コンベアの速度を検査コンベア８に比較して低速とすると共に、図４に示した押圧部材８８と位置決め部材８７とによって被検査物Ｗの間隔を調整することもできる。

【0042】

（３）一対の押圧部材８８を設ける代わりに、コンベアの搬送面に設ける位置決め部材８７の配置によっては、１つの押圧部材８８をコンベアの片側にのみ配置し、被検査物Ｗのコンベア幅方向及び搬送方向を規制することもできる。押圧部材としては、ブラシやスポンジ以外に、弾性を有する構造体であれば、板ばねや、ばねによって支持されたガイド板なども使用できる。

【0043】

（４）ホルダーＨの側面に突起を設けて、この突起をコンベア側方に配置した溝状のガイドに嵌め込みながら被検査物Ｗを移動させる。

【0044】

（５）仕分け装置６としては、ターンテーブル６１を使用したもの以外に、アームやフラップによって被検査物Ｗを分別するもの、あるいは吸着ノズル６３のみ、ターンテーブル６１と吸着ノズル６３との組み合わせによって被検査物Ｗの寸法・形状、或いは仕分け方向などに応じて各種のものを使用できる。ターンテーブル６１の代わりに、例えば、長円形に走行するコンベアに、被検査物Ｗを保持する複数個の突起や吸着ノズル６３を一定の間隔で設けてもよい。

【符号の説明】

【0045】

Ｗ…被検査物
Ｈ…ホルダー
Ｈａ…凹部
Ｈｂ…溝
１…放射線検査装置
２…放射線発生器
３…放射線検出器
３１…判定部
４…遮蔽箱
４１…搬入口
４２…搬出口
５…搬送機構
６…仕分け装置
６１…ターンテーブル
６２…凹部
６３…吸着ノズル
８…検査コンベア
８１…スプロケット
８２…駆動用モーター
８３…ベルト支持部材
８４…受け部
８５…ベルト受け台
８６…テンションローラ
８７…位置決め部材
８８…押圧部材
８９…支持部
９…搬入コンベア
１０…搬出コンベア
１１…タイミングスクリュー
１１１…駆動用モーター
１１２…ギヤ機構
２０…制御部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】