特許 7271211 基板搬送装置および基板搬送装置の制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-04-28

(45)【発行日】2023-05-11

(54)【発明の名称】基板搬送装置および基板搬送装置の制御方法

(51)【国際特許分類】

   B65G 49/06 20060101AFI20230501BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20230501BHJP

   G02F 1/13 20060101ALI20230501BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20230501BHJP

【ＦＩ】

B65G49/06 Z

H01L21/68 A

G02F1/13 101

B65G1/00 539

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2019022313

(22)【出願日】2019-02-12

(65)【公開番号】P2020128290

(43)【公開日】2020-08-27

【審査請求日】2022-01-18

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】唐木 征二

(72)【発明者】

【氏名】近藤 仁

(72)【発明者】

【氏名】竹村 大希

【審査官】山▲崎▼ 歩美

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１４８５５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００７／０３７００５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１５－０７４５２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２６００２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０８７７６９８３（ＵＳ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ ４９／００－４９／０８

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｇ０２Ｆ １／１３

Ｂ６５Ｇ １／００－１／１３３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数枚のガラス基板を上下方向に間隔をあけた状態で収容可能なカセットからの前記ガラス基板の搬出または前記カセットへの前記ガラス基板の搬入を行うための基板搬送装置であって、
上下方向に直交する所定の方向を第１方向とすると、
前記カセットの第１方向の一端部が載置される第１載置部と、前記カセットの第１方向の他端部が載置される第２載置部と、前記第１載置部を昇降させる第１昇降機構と、前記第２載置部を昇降させる第２昇降機構と、前記第１載置部が上下方向の所定の位置にあることを検知するための第１センサと、前記第１センサによって前記第１載置部が検知されているときの前記第１載置部の上下方向の位置と上下方向において同じ位置に前記第２載置部があることを検知するための第２センサと、前記基板搬送装置の制御部とを備え、
前記制御部は、前記第１載置部および前記第２載置部に前記カセットが載置される前に、前記第１センサで検知されている前記第１載置部および前記第２センサで検知されている前記第２載置部を、前記第１センサで前記第１載置部が検知されずかつ前記第２センサで前記第２載置部が検知されなくなるまで、前記第１昇降機構および前記第２昇降機構によって同じ方向に同じ量だけ一緒に下降または上昇させる第１動作と、前記第１動作で前記第１載置部および前記第２載置部を下降させる場合には、その後、前記第１昇降機構および前記第２昇降機構によって前記第１載置部および前記第２載置部を上昇させて、前記第１センサで前記第１載置部が検知されるタイミングと前記第２センサで前記第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認し、前記第１動作で前記第１載置部および前記第２載置部を上昇させる場合には、その後、前記第１昇降機構および前記第２昇降機構によって前記第１載置部および前記第２載置部を下降させて、前記第１センサで前記第１載置部が検知されるタイミングと前記第２センサで前記第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認する第２動作とを実行することを特徴とする基板搬送装置。

【請求項2】

複数枚のガラス基板を上下方向に間隔をあけた状態で収容可能なカセットからの前記ガラス基板の搬出または前記カセットへの前記ガラス基板の搬入を行うための基板搬送装置であって、上下方向に直交する所定の方向を第１方向とすると、前記カセットの第１方向の一端部が載置される第１載置部と、前記カセットの第１方向の他端部が載置される第２載置部と、前記第１載置部を昇降させる第１昇降機構と、前記第２載置部を昇降させる第２昇降機構と、前記第１載置部が上下方向の所定の位置にあることを検知するための第１センサと、前記第１センサによって前記第１載置部が検知されているときの前記第１載置部の上下方向の位置と上下方向において同じ位置に前記第２載置部があることを検知するための第２センサとを備える基板搬送装置の制御方法であって、
前記第１載置部および前記第２載置部に前記カセットが載置される前に、前記第１センサで検知されている前記第１載置部および前記第２センサで検知されている前記第２載置部を、前記第１センサで前記第１載置部が検知されずかつ前記第２センサで前記第２載置部が検知されなくなるまで、前記第１昇降機構および前記第２昇降機構によって同じ方向に同じ量だけ一緒に下降または上昇させる第１動作と、前記第１動作で前記第１載置部および前記第２載置部を下降させる場合には、その後、前記第１昇降機構および前記第２昇降機構によって前記第１載置部および前記第２載置部を上昇させて、前記第１センサで前記第１載置部が検知されるタイミングと前記第２センサで前記第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認し、前記第１動作で前記第１載置部および前記第２載置部を上昇させる場合には、その後、前記第１昇降機構および前記第２昇降機構によって前記第１載置部および前記第２載置部を下降させて、前記第１センサで前記第１載置部が検知されるタイミングと前記第２センサで前記第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認する第２動作とを実行することを特徴とする基板搬送装置の制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数枚のガラス基板を収容可能なカセットからのガラス基板の搬出や、カセットへのガラス基板の搬入を行うための基板搬送装置に関する。また、本発明は、かかる基板搬送装置の制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液晶表示装置用のガラス基板に対して所定の処理を行う処理装置にガラス基板を供給するための基板供給装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の基板供給装置は、第１ユニットと第２ユニットと搬送ユニットとから構成されている。第１ユニットおよび第２ユニットは、ワイヤーカセットの右端部が載置される第１載置部と、ワイヤーカセットの左端部が載置される第２載置部と、第１載置部を昇降させる第１昇降機構と、第２載置部を昇降させる第２昇降機構と、ワイヤーカセットに収容されるガラス基板を１枚ずつ搬送するローラコンベヤとを備えている。

【0003】

特許文献１に記載の基板供給装置では、第１ユニットおよび第２ユニットの調整時に、第１載置部の高さと第２載置部の高さとが一致するように、第１載置部および第２載置部の高さが調整される。また、特許文献１に記載の基板供給装置の使用時には、第１載置部および第２載置部が同じ方向へ同じ速度で同じ量だけ昇降するように第１昇降機構および第２昇降機構が制御される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１８－８３７００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載の基板搬送装置では、何からの原因によって第１載置部の高さと第２載置部の高さとがずれることがある。第１載置部の高さと第２載置部の高さとがずれた状態で第１ユニットや第２ユニットを使用すると、第１載置部および第２載置部に載置されるワイヤーカセットが傾いて、ワイヤーカセットが落下したり、ワイヤーカセットに収容されるガラス基板が落下したりして、ガラス基板が破損するおそれがある。なお、第１載置部と第２載置部とを機械的に連結することで、第１載置部の高さと第２載置部の高さとのずれの発生を防止することも可能であるが、この場合には、第１ユニットや第２ユニットの構成が複雑になる。

【0006】

そこで、本発明の課題は、構成を簡素化しつつ、複数枚のガラス基板を収容可能なカセットが載置される第１載置部の高さと第２載置部の高さとにずれが生じても、カセットに収容されるガラス基板やカセットの落下を防止することが可能な基板搬送装置を提供することにある。また、本発明の課題は、基板搬送装置の構成を簡素化しつつ、第１載置部の高さと第２載置部の高さとにずれが生じても、カセットに収容されるガラス基板やカセットの落下を防止することが可能となる基板搬送装置の制御方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の基板搬送装置は、複数枚のガラス基板を上下方向に間隔をあけた状態で収容可能なカセットからのガラス基板の搬出またはカセットへのガラス基板の搬入を行うための基板搬送装置であって、上下方向に直交する所定の方向を第１方向とすると、カセットの第１方向の一端部が載置される第１載置部と、カセットの第１方向の他端部が載置される第２載置部と、第１載置部を昇降させる第１昇降機構と、第２載置部を昇降させる第２昇降機構と、第１載置部が上下方向の所定の位置にあることを検知するための第１センサと、第１センサによって第１載置部が検知されているときの第１載置部の上下方向の位置と上下方向において同じ位置に第２載置部があることを検知するための第２センサと、基板搬送装置の制御部とを備え、制御部は、第１載置部および第２載置部にカセットが載置される前に、第１センサで検知されている第１載置部および第２センサで検知されている第２載置部を、第１センサで第１載置部が検知されずかつ第２センサで第２載置部が検知されなくなるまで、第１昇降機構および第２昇降機構によって同じ方向に同じ量だけ一緒に下降または上昇させる第１動作と、第１動作で第１載置部および第２載置部を下降させる場合には、その後、第１昇降機構および第２昇降機構によって第１載置部および第２載置部を上昇させて、第１センサで第１載置部が検知されるタイミングと第２センサで第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認し、第１動作で第１載置部および第２載置部を上昇させる場合には、その後、第１昇降機構および第２昇降機構によって第１載置部および第２載置部を下降させて、第１センサで第１載置部が検知されるタイミングと第２センサで第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認する第２動作とを実行することを特徴とする。

【0008】

また、上記の課題を解決するため、本発明の基板搬送装置の制御方法は、複数枚のガラス基板を上下方向に間隔をあけた状態で収容可能なカセットからのガラス基板の搬出またはカセットへのガラス基板の搬入を行うための基板搬送装置であって、上下方向に直交する所定の方向を第１方向とすると、カセットの第１方向の一端部が載置される第１載置部と、カセットの第１方向の他端部が載置される第２載置部と、第１載置部を昇降させる第１昇降機構と、第２載置部を昇降させる第２昇降機構と、第１載置部が上下方向の所定の位置にあることを検知するための第１センサと、第１センサによって第１載置部が検知されているときの第１載置部の上下方向の位置と上下方向において同じ位置に第２載置部があることを検知するための第２センサとを備える基板搬送装置の制御方法であって、第１載置部および第２載置部にカセットが載置される前に、第１センサで検知されている第１載置部および第２センサで検知されている第２載置部を、第１センサで第１載置部が検知されずかつ第２センサで第２載置部が検知されなくなるまで、第１昇降機構および第２昇降機構によって同じ方向に同じ量だけ一緒に下降または上昇させる第１動作と、第１動作で第１載置部および第２載置部を下降させる場合には、その後、第１昇降機構および第２昇降機構によって第１載置部および第２載置部を上昇させて、第１センサで第１載置部が検知されるタイミングと第２センサで第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認し、第１動作で第１載置部および第２載置部を上昇させる場合には、その後、第１昇降機構および第２昇降機構によって第１載置部および第２載置部を下降させて、第１センサで第１載置部が検知されるタイミングと第２センサで第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認する第２動作とを実行することを特徴とする。

【0009】

本発明では、第１載置部および第２載置部にカセットが載置される前に、第１センサで検知されている第１載置部および第２センサで検知されている第２載置部を、第１センサで第１載置部が検知されずかつ第２センサで第２載置部が検知されなくなるまで、第１昇降機構および第２昇降機構によって同じ方向に同じ量だけ一緒に下降または上昇させる第１動作と、第１動作で第１載置部および第２載置部を下降させる場合には、その後、第１昇降機構および第２昇降機構によって第１載置部および第２載置部を上昇させて、第１センサで第１載置部が検知されるタイミングと第２センサで第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認し、第１動作で第１載置部および第２載置部を上昇させる場合には、その後、第１昇降機構および第２昇降機構によって第１載置部および第２載置部を下降させて、第１センサで第１載置部が検知されるタイミングと第２センサで第２載置部が検知されるタイミングとのずれを確認する第２動作とを実行している。

【0010】

そのため、本発明では、第１センサで第１載置部が検知されるタイミングと第２センサで第２載置部が検知されるタイミングとのずれを第２動作において確認することで、第１載置部および第２載置部にカセットが載置される前に、第１載置部の高さと第２載置部の高さとのずれを確認することが可能になる。したがって、本発明では、第１載置部の高さと第２載置部の高さとのずれ量が所定の基準値以上となっている場合に、第１載置部および第２載置部にカセットを載置しないようにすることで、第１載置部と第２載置部とが機械的に連結されていなくても、カセットに収容されるガラス基板やカセットの落下を防止することが可能になる。したがって、本発明では、基板搬送装置の構成を簡素化しつつ、第１載置部の高さと第２載置部の高さとにずれが生じても、カセットに収容されるガラス基板やカセットの落下を防止することが可能になる。

【0011】

また、本発明では、第１載置部の高さと第２載置部の高さとのずれ量が所定の基準値以上となっている場合に、第１載置部および第２載置部の高さを再調整した後に第１載置部および第２載置部にカセットを載置することで、第１載置部と第２載置部とが機械的に連結されていなくても、カセットに収容されるガラス基板やカセットの落下を防止することが可能になる。したがって、本発明では、基板搬送装置の構成を簡素化しつつ、第１載置部の高さと第２載置部の高さとにずれが生じても、カセットに収容されるガラス基板やカセットの落下を防止することが可能になる。

【発明の効果】

【0019】

以上のように、本発明では、基板搬送装置の構成を簡素化しつつ、複数枚のガラス基板を収容可能なカセットが載置される第１載置部の高さと第２載置部の高さとにずれが生じても、カセットに収容されるガラス基板やカセットの落下を防止することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施の形態にかかる基板搬送装置の正面図である。

【図2】図１に示す基板搬送装置の概略平面図である。

【図3】図１に示す基板搬送装置の概略側面図である。

【図4】図１のＥ部の拡大図である。

【図5】図１に示す基板搬送装置の構成を説明するためのブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0022】

（基板搬送装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる基板搬送装置１の正面図である。図２は、図１に示す基板搬送装置１の概略平面図である。図３は、図１に示す基板搬送装置１の概略側面図である。図４は、図１のＥ部の拡大図である。図５は、図１に示す基板搬送装置１の構成を説明するためのブロック図である。

【0023】

本形態の基板搬送装置１は、複数枚のガラス基板２を収容可能なカセット３からガラス基板２を搬出するための装置である。ガラス基板２は、たとえば、液晶表示装置用のガラス基板である。ガラス基板２は、長方形の平板状に形成されている。基板搬送装置１には、たとえば、複数枚のガラス基板２が収容されたカセット３を基板搬送装置１に引き渡すストッカー（図示省略）が隣接配置されている。

【0024】

基板搬送装置１は、カセット３が載置される載置部５、６と、載置部５を昇降させる昇降機構７と、載置部６を昇降させる昇降機構８と、ガラス基板２を水平方向へ直線的に搬送する搬送コンベヤ９とを備えている。以下の説明では、搬送コンベヤ９によるガラス基板２の搬送方向（図２等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図２等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図２等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図２等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。本形態では、カセット３から前側に向かってガラス基板２が搬出される。本形態の左右方向は、上下方向に直交する所定の第１方向である。

【0025】

カセット３は、ワイヤーカセットである。カセット３は、カセットフレーム１１と、カセットフレーム１１の内部に配置される複数本のワイヤー１２とから構成されている。カセットフレーム１１の外形は、直方体状となっている。ワイヤー１２は、左右方向に張った状態でカセットフレーム１１に固定されている。また、複数本のワイヤー１２は、上下方向および前後方向において一定の間隔をあけた状態でカセットフレーム１１に固定されている。カセット３に収容されるガラス基板２は、ワイヤー１２に載置されており、カセット３は、複数枚のガラス基板２を上下方向に一定の間隔をあけた状態で収容可能となっている。

【0026】

載置部５には、カセット３の左右方向の一端部が載置され、載置部６には、カセット３の左右方向の他端部が載置されている。すなわち、載置部５は、カセット３の下面の、左右方向の一端側を支持し、載置部６は、カセット３の下面の、左右方向の他端側を支持している。また、載置部５、６は、たとえば、カセット３の下面の前後方向の両端側、および、カセット３の下面の前後方向の中心位置の３箇所を支持している。本形態の載置部５は、第１載置部であり、載置部６は、第２載置部である。

【0027】

また、基板搬送装置１は、載置部５が上下方向の所定の位置にあることを検知するためのセンサ１４～１６と、載置部６が上下方向の所定の位置にあることを検知するためのセンサ１７～１９と、載置部５の高さを検知するための第１検知機構としてのエンコーダ２０と、載置部６の高さを検知するための第２検知機構としてのエンコーダ２１と、基板搬送装置１を制御する基板搬送装置１の制御部２２とを備えている。

【0028】

載置部５と載置部６とは、同形状に形成されている。また、載置部５と載置部６とは、左右対称に配置されている。載置部５は、センサ１４～１６によって検知される検知板２４（図４参照）を備えている。載置部６は、センサ１７～１９によって検知される検知板（図示省略）を備えている。載置部６が備える検知板は、検知板２４と同形状に形成されている。載置部５は、柱状に形成される柱状部材２５に昇降可能に保持されている。載置部６は、柱状部材２５と同形状に形成される柱状部材２６に昇降可能に保持されている。載置部５、６は、左右方向において柱状部材２５と柱状部材２６との間に配置されている。また、カセット３は、左右方向において柱状部材２５と柱状部材２６との間に配置されている。

【0029】

昇降機構７は、モータ２８と、モータ２８の動力を載置部５に伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、モータ２８の動力で回転するネジ軸と、ネジ軸に係合するナット部材とを有するボールねじを備えている。ネジ軸は、ネジ軸の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。ナット部材は、載置部５に取り付けられている。本形態の昇降機構７は、第１載置部である載置部５を昇降させる第１昇降機構となっている。

【0030】

昇降機構８は、昇降機構７と同様に構成されており、モータ２９と、モータ２９の動力を載置部６に伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、モータ２９の動力で回転するネジ軸と、ネジ軸に係合するナット部材とを有するボールねじを備えている。ネジ軸は、ネジ軸の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。ナット部材は、載置部６に取り付けられている。本形態の昇降機構８は、第２載置部である載置部６を昇降させる第２昇降機構となっている。

【0031】

昇降機構７、８は、制御部２２に電気的に接続されている。具体的には、モータ２８、２９が制御部２２に電気的に接続されている。制御部２２は、昇降機構７と昇降機構８とを同期制御する。すなわち、制御部２２は、載置部５と載置部６とが同じ方向へ同じ速度で同じ量だけ一緒に昇降するようにモータ２８とモータ２９とを同期制御する。本形態では、昇降機構７が主軸となっており、昇降機構８が従軸となっている。すなわち、モータ２８が主軸となっており、モータ２９が従軸となっている

【0032】

搬送コンベヤ９は、ローラコンベヤである。搬送コンベヤ９は、ガラス基板２の下面に接触してガラス基板２を前後方向に搬送する複数の搬送ローラ３０と、複数の搬送ローラ３０を駆動するローラ駆動機構とを備えている。複数の搬送ローラ３０は、フレーム３１に回転可能に支持されている。また、複数の搬送ローラ３０は、カセット３に収容されるガラス基板２を搬送可能な位置に配置されている。

【0033】

載置部５、６は、カセット３の下端が搬送ローラ３０の上端よりも上側に配置される位置と、カセット３の最も上側に配置されるワイヤー１２が搬送ローラ３０の上端よりも下側に配置される位置との間で昇降可能となっている。カセット３に収容されるガラス基板２が搬出されるときには、カセット３の中で最も下側に配置されるガラス基板２の下面に搬送ローラ３０が接触する位置まで載置部５、６が下降して、カセット３の中で最も下側に配置されるガラス基板２が搬送コンベヤ９によって搬出される。すなわち、カセット３の最下段に収容されているガラス基板２からカセット３の最上段に収容されているガラス基板２に向かって順番にガラス基板２がカセット３から１枚ずつ搬出される。

【0034】

また、カセット３に収容されるガラス基板２が搬出されるときには、一部の搬送ローラ３０を除いた複数の搬送ローラ３０がカセット３の内部に入り込んでいる。複数の搬送ローラ３０は、カセット３に収容されるガラス基板２を前側に向かって搬送する。フレーム３１は、カセット３の内部に入り込んだ搬送ローラ３０とワイヤー１２とが干渉しないように、櫛歯状に配置されており、複数の搬送ローラ３０は、前後方向においてワイヤー１２を避けた位置に配置されている。

【0035】

センサ１４～１９は、たとえば、発光素子と受光素子とを有する透過型の光学式センサである。センサ１４～１９は、制御部２２に電気的に接続されている。センサ１４～１６は、柱状部材２５に固定されている。柱状部材２５に対するセンサ１４～１６の固定位置は、少なくとも上下方向において調整可能となっている。センサ１７～１９は、柱状部材２６に固定されている。柱状部材２６に対するセンサ１７～１９の固定位置は、少なくとも上下方向において調整可能となっている。

【0036】

センサ１４は、載置部５が上下方向における原点位置にあることを検知し、センサ１７は、載置部６が上下方向における原点位置にあることを検知する。センサ１５は、載置部５が上限位置にあることを検知し、センサ１８は、載置部６が上限位置にあることを検知する。センサ１６は、載置部５が下限位置にあることを検知し、センサ１９は、載置部６が下限位置にあることを検知する。本形態では、上下方向における載置部５、６の可動範囲の上限側に載置部５、６の原点位置が設定されており、センサ１４は、センサ１５の下側に配置され、センサ１７は、センサ１８の下側に配置されている。

【0037】

センサ１４によって載置部５が検知されているときの載置部５の上下方向の位置と、センサ１７によって載置部６が検知されているときの載置部６の上下方向の位置とは同じになっている。すなわち、センサ１４によって載置部５が検知されているときの載置部５の高さと、センサ１７によって載置部６が検知されているときの載置部６の高さとが同じになるように、センサ１４、１７が取り付けられている。本形態のセンサ１４は、第１センサである。また、センサ１７は、センサ１４によって載置部５が検知されているときの載置部５の上下方向の位置と上下方向において同じ位置に載置部６があることを検知するための第２センサである。

【0038】

また、センサ１５によって載置部５が検知されているときの載置部５の上下方向の位置と、センサ１８によって載置部６が検知されているときの載置部６の上下方向の位置とは同じになっており、センサ１６によって載置部５が検知されているときの載置部５の上下方向の位置と、センサ１９によって載置部６が検知されているときの載置部６の上下方向の位置とは同じになっている。

【0039】

上述のように、載置部５は、検知板２４を備えている。検知板２４がセンサ１４の受光素子と発光素子との間を遮っているときに、載置部５が原点位置にあることが検知される。また、検知板２４がセンサ１５の受光素子と発光素子との間を遮っているときに、載置部５が上限位置にあることが検知され、検知板２４がセンサ１６の受光素子と発光素子との間を遮っているときに、載置部５が下限位置にあることが検知される。なお、検知板２４は、上下方向の幅を有するため、上下方向の一定の範囲において、載置部５が原点位置にあること、載置部５が上限位置にあること、および、載置部５が下限位置にあることが検知される。

【0040】

同様に、載置部６が備える検知板がセンサ１７の受光素子と発光素子との間を遮っているときに、載置部６が原点位置にあることが検知される。また、この検知板がセンサ１８の受光素子と発光素子との間を遮っているときに、載置部６が上限位置にあることが検知され、この検知板がセンサ１９の受光素子と発光素子との間を遮っているときに、載置部６が下限位置にあることが検知される。載置部６が備える検知板は、上下方向の幅を有するため、上下方向の一定の範囲において、載置部６が原点位置にあること、載置部６が上限位置にあること、および、載置部６が下限位置にあることが検知される。

【0041】

エンコーダ２０は、たとえば、昇降機構７の動力伝達機構の一部を構成するネジ軸またはモータ２８の回転軸に固定されるスリット板と、スリット板を検知する光学式のセンサとを備えている。センサは、たとえば、スリット板を挟んで配置される発光素子と受光素子とを備える透過型の光学式センサである。エンコーダ２０は、制御部２２に電気的に接続されている。具体的には、エンコーダ２０のセンサが制御部２２に電気的に接続されている。

【0042】

エンコーダ２１は、エンコーダ２０と同様に、たとえば、昇降機構８の動力伝達機構の一部を構成するネジ軸またはモータ２９の回転軸に固定されるスリット板と、スリット板を検知する光学式のセンサとを備えている。センサは、たとえば、スリット板を挟んで配置される発光素子と受光素子とを備える透過型の光学式センサである。エンコーダ２１は、制御部２２に電気的に接続されている。具体的には、エンコーダ２１のセンサが制御部２２に電気的に接続されている。

【0043】

エンコーダ２０は、スリット板の回転量に基づいて上下方向における所定の基準位置に対する載置部５の移動量を検知する。また、エンコーダ２０は、上下方向における所定の基準位置に対する載置部５の移動量を検知することで、間接的に載置部５の高さを検知する。同様に、エンコーダ２１は、スリット板の回転量に基づいて上下方向における所定の基準位置に対する載置部６の移動量を検知する。また、エンコーダ２１は、上下方向における所定の基準位置に対する載置部６の移動量を検知することで、間接的に載置部６の高さを検知する。

【0044】

基板搬送装置１の初期の立上げ時には、センサ１４によって載置部５が検知されているときの載置部５の高さと、センサ１７によって載置部６が検知されているときの載置部６の高さとが同じになるように、センサ１４およびセンサ１７の取付位置が調整される。具体的には、トランシット（セオドライト）またはレーザ水準器等の器具を使用して、載置部５の高さと載置部６の高さを合わせた後、載置部５を検知する位置でセンサ１４を固定するとともに、載置部６を検知する位置でセンサ１７を固定する。

【0045】

また、制御部２２は、調整後に固定されたセンサ１４によって載置部５が検知されているときのエンコーダ２０の座標値（上下方向の基準位置に対する載置部５の移動量）をリセットするとともに、調整後に固定されたセンサ１７によって載置部６が検知されているときのエンコーダ２１の座標値（上下方向の基準位置に対する載置部６の移動量）をリセットして、エンコーダ２０の座標値とエンコーダ２１の座標値とを合わせる。

【0046】

（基板搬送装置の制御方法）
基板搬送装置１では、制御部２２は、複数枚のガラス基板２が収容されたカセット３が載置部５、６に載置される前に、センサ１４で検知されている載置部５およびセンサ１７で検知されている載置部６を、センサ１４で載置部５が検知されずかつセンサ１７で載置部６が検知されなくなるまで（すなわち、センサ１４の発光素子と受光素子との間から検知板２４が外れるとともに、載置部６が有する検知板がセンサ１７の発光素子と受光素子との間から外れるまで）、昇降機構７、８によって同じ量だけ一緒に下降させる第１動作を実行する（図４の二点鎖線参照）。

【0047】

また、制御部２２は、その後、昇降機構７、８によって載置部５、６を上昇させて、センサ１４で載置部５が検知されるタイミングとセンサ１７で載置部６が検知されるタイミングとのずれを確認する第２動作を実行する。すなわち、制御部２２は、第２動作において、載置部５の高さと載置部６の高さとのずれを確認する。たとえば、制御部２２は、第１動作において、センサ１４で検知されている載置部５およびセンサ１７で検知されている載置部６を３（ｍｍ）下降させ、第２動作において、載置部５、６を３（ｍｍ）上昇させる。

【0048】

なお、第２動作で確認された載置部５の高さと載置部６の高さとのずれ量が所定の基準値以上となっている場合には、制御部２２は、所定のモニターにエラー表示を行ったり、警告音を発生させたりする等の所定の異常処理を実行する。また、この場合には、基板搬送装置１のオペレータが載置部５、６の高さを再調整する。

【0049】

また、載置部５、６にカセット３が載置されるときの載置部５、６の位置をカセット載置位置とすると、基板搬送装置１では、制御部２２は、原点位置からカセット載置位置に昇降機構７、８によって載置部５、６を移動させたときに、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとが所定の基準値以上にずれていれば、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとのずれ量が所定の範囲内に収まるまで、昇降機構８によって載置部６を昇降させる。

【0050】

たとえば、カセット載置位置に載置部５、６を移動させたときに、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとが所定の基準値以上にずれていれば、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとが同じ高さになるまで、昇降機構８によって載置部６を昇降させて、載置部５の高さと載置部６の高さとを合わせる。

【0051】

さらに、基板搬送装置１では、制御部２２は、昇降機構７、８によって載置部５、６を昇降させているときに、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとの差が所定の基準値以上になると、所定の異常処理を実行する。たとえば、制御部２２は、昇降機構７、８によって載置部５、６を昇降させているときに、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとの差が３（ｍｍ）以上になると、所定のモニターにエラー表示を行ったり、警告音を発生させたりするとともに、昇降機構７、８（具体的には、モータ２８、２９）を非常停止させる。

【0052】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、制御部２２は、複数枚のガラス基板２が収容されたカセット３が載置部５、６に載置される前に、第１動作と第２動作とを実行して、載置部５の高さと載置部６の高さとのずれを確認している。また、本形態では、第２動作で確認された載置部５の高さと載置部６の高さとのずれ量が所定の基準値以上となっている場合に、制御部２２は、所定のモニターにエラー表示を行ったり、警告音を発生させたりする等の所定の異常処理を実行している。

【0053】

そのため、本形態では、第２動作で確認された載置部５の高さと載置部６の高さとのずれ量が所定の基準値以上となっている場合に、基板搬送装置１のオペレータに、載置部５、６にカセット３を載置しないように注意を喚起して、載置部５、６にカセット３が載置されないようにすることが可能になる。また、本形態では、基板搬送装置１のオペレータに、載置部５、６の高さを再調整するように注意を喚起することが可能になるため、高さを再調整した後の載置部５、６にカセット３を載置することが可能になる。

【0054】

したがって、本形態では、載置部５の高さと載置部６の高さとにずれが生じても、また、載置部５と載置部６とが機械的に連結されていなくても、カセット３に収容されるガラス基板２やカセット３の落下を防止することが可能になる。その結果、本形態では、基板搬送装置１の構成を簡素化しつつ、載置部５の高さと載置部６の高さとにずれが生じても、カセット３に収容されるガラス基板２やカセット３の落下を防止することが可能になる。

【0055】

また、本形態では、制御部２２は、カセット載置位置に載置部５、６を移動させたときに、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとが所定の基準値以上にずれていれば、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとのずれ量が所定の範囲内に収まるまで、昇降機構８によって載置部６を昇降させている。

【0056】

そのため、本形態では、載置部５の高さと載置部６の高さとにずれが生じても、載置部５、６にカセット３が載置される前に、載置部５の高さと載置部６の高さとのずれ量を所定の範囲内に収めることが可能になる。したがって、本形態では、載置部５の高さと載置部６の高さとにずれが生じても、また、載置部５と載置部６とが機械的に連結されていなくても、カセット３に収容されるガラス基板２やカセット３の落下を防止することが可能になる。その結果、本形態では、基板搬送装置１の構成を簡素化しつつ、載置部５の高さと載置部６の高さとにずれが生じても、カセット３に収容されるガラス基板２やカセット３の落下を防止することが可能になる。

【0057】

さらに、本形態では、制御部２２は、昇降機構７、８によって載置部５、６を昇降させているときに、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとの差が所定の基準値以上になると、たとえば、昇降機構７、８を非常停止させている。そのため、本形態では、載置部５の高さと載置部６の高さとにずれが生じても、また、載置部５と載置部６とが機械的に連結されていなくても、カセット３に収容されるガラス基板２やカセット３の落下を防止することが可能になる。したがって、本形態では、基板搬送装置１の構成を簡素化しつつ、載置部５の高さと載置部６の高さとにずれが生じても、カセット３に収容されるガラス基板２やカセット３の落下を防止することが可能になる。

【0058】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0059】

上述した形態では、制御部２２は、第１動作において、載置部５、６を下降させているが、制御部２２は、第１動作において、センサ１４で検知されている載置部５およびセンサ１７で検知されている載置部６を、センサ１４で載置部５が検知されずかつセンサ１７で載置部６が検知されなくなるまで同じ量だけ一緒に上昇させても良い。この場合には、制御部２２は、第２動作において、昇降機構７、８によって載置部５、６を下降させて、センサ１４で載置部５が検知されるタイミングとセンサ１７で載置部６が検知されるタイミングとのずれを確認する。

【0060】

上述した形態において、制御部２２は、第１動作と第２動作とを実行するのであれば、カセット載置位置に載置部５、６を移動させたときに、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとが所定の基準値以上にずれている場合に、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとのずれ量が所定の範囲内に収まるまで、昇降機構８によって載置部６を昇降させる処理（以下、この処理を「第１処理」とする。）を実行しなくても良い。

【0061】

また、制御部２２は、第１動作と第２動作とを実行するのであれば、載置部５、６を昇降させているときに、エンコーダ２０で検知される載置部５の高さとエンコーダ２１で検知される載置部６の高さとの差が所定の基準値以上になった場合に、所定の異常処理を実行させる処理（以下、この処理を「第２処理」とする。）を実行しなくても良い。また、制御部２２は、第１処理を実行するのであれば、第１動作および第２動作を実行しなくても良いし、第２処理を実行しなくても良い。さらに、制御部２２は、第２処理を実行するのであれば、第１動作および第２動作を実行しなくても良いし、第１処理を実行しなくても良い。

【0062】

上述した形態において、基板搬送装置１は、カセット３にガラス基板２を搬入するための装置であっても良い。この場合には、ガラス基板２が収容されていない空のカセット３が載置部５、６に載置される。また、この場合には、カセット３に向かって後ろ側にガラス基板２が搬入される。また、上述した形態において、載置部５に、カセット３の前後方向の一端部が載置され、載置部６に、カセット３の前後方向の他端部が載置されても良い。

【0063】

上述した形態において、カセット３は、ワイヤーカセット以外のカセットであっても良い。また、上述した形態において、ガラス基板２は、液晶表示装置以外の用途で使用されるガラス基板であっても良い。なお、リフトコンベヤ等の大型のガラス基板を搬送する基板搬送装置であって昇降機構を備える基板搬送装置に本発明の構成を適用することも可能である。

【符号の説明】

【0064】

１ 基板搬送装置
２ ガラス基板
３ カセット
５ 載置部（第１載置部）
６ 載置部（第２載置部）
７ 昇降機構（第１昇降機構）
８ 昇降機構（第２昇降機構）
１４ センサ（第１センサ）
１７ センサ（第２センサ）
２０ エンコーダ（第１検知機構）
２１ エンコーダ（第２検知機構）
２２ 制御部
Ｙ 第１方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】