(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-05-01
(45)【発行日】2023-05-12
(54)【発明の名称】移載システム、移載装置及び移載方法
(51)【国際特許分類】
B65G 1/00 20060101AFI20230502BHJP
B65G 1/04 20060101ALN20230502BHJP
【ＦＩ】
B65G1/00 543A
B65G1/04 521
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2021542030
(86)(22)【出願日】2020-06-16
(86)【国際出願番号】 JP2020023646
(87)【国際公開番号】W WO2021039040
(87)【国際公開日】2021-03-04
【審査請求日】2022-02-01
(31)【優先権主張番号】P 2019154520
(32)【優先日】2019-08-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000006297
【氏名又は名称】村田機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100176245
【弁理士】
【氏名又は名称】安田 亮輔
(74)【代理人】
【識別番号】100140442
【弁理士】
【氏名又は名称】柴山 健一
(72)【発明者】
【氏名】上野山 泰斗
【審査官】山▲崎▼ 歩美
(56)【参考文献】
【文献】実開昭５０－０１１２７８（ＪＰ，Ｕ）
【文献】国際公開第２０１２／０６０１４６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】実用新案登録第２５９２７６０（ＪＰ，Ｙ２）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｇ １／００－１／１３３
Ｂ６５Ｇ １／１４－１／２０
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
上下方向に配列され且つ水平な一方向における一方の側から物品が移載される複数の棚を有し、前記複数の棚のそれぞれが、前記上下方向及び前記一方の側に開口する開口領域が形成され且つ前記物品が載置される載置部と、前記上下方向における前記載置部の位置に応じて設けられた取付部と、を含む収納装置と、前記複数の棚のそれぞれを移載対象の棚とし、前記移載対象の棚に対して前記一方の側から前記物品を移載するために用いられる移載装置と、を備え、
前記移載装置は、
前記移載対象の棚の前記取付部に前記一方の側から取り付けられる本体部と、
作業者が把持して前記一方向に沿って力を作用させることが可能な把持部を含み、前記物品を支持可能であり、前記本体部が前記移載対象の棚の前記取付部に取り付けられた状態で前記一方向に沿って前記本体部と前記移載対象の棚との間で移動する移動部と、
前記本体部が前記移載対象の棚の前記取付部に取り付けられた状態で前記移載対象の棚の前記開口領域を通って前記移動部を昇降させる昇降部と、
１対のアタッチメントと、
を有し、
前記１対のアタッチメントのそれぞれは、
前記移載対象の棚の前記取付部に取り付けられる接続部と、
前記接続部から前記一方の側に延在し、前記本体部を支持する延在部と、を含み、
前記本体部は、前記１対のアタッチメントを介して前記取付部に取り付けられる、
移載システム。
【請求項2】
前記接続部は、前記上下方向に沿って延在し、前記１対のアタッチメントのそれぞれは、前記接続部と前記延在部との間に掛け渡された補強部を更に含む、請求項１に記載の移載システム。
【請求項3】
前記昇降部は、エアジャッキである、請求項１又は２に記載の移載システム。
【請求項4】
前記移載装置は、前記一方向に沿って前記移動部を案内するガイドを更に有し、前記ガイドは、前記本体部が前記移載対象の棚の前記取付部に取り付けられた状態で前記本体部から前記移載対象の棚の前記開口領域の直下に延在するように、構成されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の移載システム。
【請求項5】
前記ガイドは、リニアガイドである、請求項４に記載の移載システム。
【請求項6】
前記物品は、半導体ウエハを格納した容器である、請求項１～５のいずれか一項に記載の移載システム。
【請求項7】
上下方向に配列され且つ水平な一方向における一方の側から物品が移載される複数の棚を有し、前記複数の棚のそれぞれが、前記上下方向及び前記一方の側に開口する開口領域が形成され且つ前記物品が載置される載置部と、前記上下方向における前記載置部の位置に応じて設けられた取付部と、を含む収納装置において、前記複数の棚のそれぞれを移載対象の棚とし、前記移載対象の棚に対して前記一方の側から前記物品を移載するために用いられる移載装置であって、前記移載対象の棚の前記取付部に前記一方の側から取り付けられる本体部と、
作業者が把持して前記一方向に沿って力を作用させることが可能な把持部を含み、前記物品を支持可能であり、前記本体部が前記移載対象の棚の前記取付部に取り付けられた状態で前記一方向に沿って前記本体部と前記移載対象の棚との間で移動する移動部と、
前記本体部が前記移載対象の棚の前記取付部に取り付けられた状態で前記移載対象の棚の前記開口領域を通って前記移動部を昇降させる昇降部と、
１対のアタッチメントと、
を備え、
前記１対のアタッチメントのそれぞれは、
前記移載対象の棚の前記取付部に取り付けられる接続部と、
前記接続部から前記一方の側に延在し、前記本体部を支持する延在部と、を含み、
前記本体部は、前記１対のアタッチメントを介して前記取付部に取り付けられる、
移載装置。
【請求項8】
請求項１～６のいずれか一項に記載の移載システムにおいて実施される移載方法であって、作業者が前記移載装置を準備する第１ステップと、
前記第１ステップの後に、作業者が前記移載対象の棚の前記取付部に前記１対のアタッチメントを介して前記一方の側から前記本体部を取り付ける第２ステップと、
前記第２ステップの後に、前記移動部を下降させた状態で、作業者が前記把持部を把持して前記一方向に沿って力を作用させることで前記一方向に沿って前記移載対象の棚の前記開口領域の直下に前記移動部を移動させる第３ステップと、
前記第３ステップの後に、作業者が前記昇降部を用いることで、前記移載対象の棚の前記開口領域を通って前記移動部を上昇させ、前記移動部に前記物品を支持させる第４ステップと、
前記第４ステップの後に、前記移動部を上昇させた状態で、作業者が前記把持部を把持して前記一方向に沿って力を作用させることで前記一方向に沿って前記本体部に前記移動部を移動させる第５ステップと、を含む、
移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、移載システム、移載装置及び移載方法に関する。
【背景技術】
【0002】
複数の棚を有する収納装置と、複数の棚のそれぞれに対して物品を移載する移載装置と、移載装置の動作を制御する制御装置と、を備える収納システムが知られている。このような収納システムにおいては、制御装置の故障等に起因して自動で物品を移載することができなくなった場合に、作業者が手動で物品を移載する必要性が生じ得る。
【0003】
作業者が手動で物品を移載する必要性が生じた場合には、例えば、特許文献１に記載のフォークリフトトラックのような装置を利用することが考えられる。特許文献１に記載のフォークリフトトラックは、フォークが挿入されたベースパレット上の台車を用いて物品を移載するための装置である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開平１１－１０６００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１に記載のフォークリフトトラックのような装置を利用する場合には、棚に対するベースパレットの位置決めを精度良く行う必要があるため、特にリフトを昇降させる操作において作業者に高い技量が要求される。
【0006】
そこで、本開示は、棚の高さによらず作業者が物品を容易に移載することができる移載システム、移載装置及び移載方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本開示の一側面の移載システムは、上下方向に配列され且つ水平な一方向における一方の側から物品が移載される複数の棚を有し、複数の棚のそれぞれが、上下方向及び一方の側に開口する開口領域が形成され且つ物品が載置される載置部と、上下方向における載置部の位置に応じて設けられた取付部と、を含む収納装置と、複数の棚のそれぞれを移載対象の棚とし、移載対象の棚に対して一方の側から物品を移載するために用いられる移載装置と、を備え、移載装置は、移載対象の棚の取付部に一方の側から取り付けられる本体部と、物品を支持可能であり、本体部が移載対象の棚の取付部に取り付けられた状態で一方向に沿って本体部と移載対象の棚との間で移動する移動部と、本体部が移載対象の棚の取付部に取り付けられた状態で移載対象の棚の開口領域を通って移動部を昇降させる昇降部と、を有する。
【0008】
この移載システムでは、収納装置において、複数の棚のそれぞれが、上下方向における載置部の位置に応じて設けられた取付部を含んでおり、移載装置において、移動部が、本体部が移載対象の棚の取付部に取り付けられた状態で移載対象の棚に対して移動可能となるように、構成されている。これにより、作業者が移載対象の棚の取付部に移載装置の本体部を取り付けるだけで、移載対象の棚に対する物品の移載が可能な状態となる。よって、この移載システムによれば、棚の高さによらず作業者が物品を容易に移載することができる。
【0009】
本開示の一側面の移載システムでは、移載装置は、１対のアタッチメントを更に有し、１対のアタッチメントのそれぞれは、移載対象の棚の取付部に取り付けられる接続部と、接続部から一方の側に延在し、本体部を支持する延在部と、を含み、本体部は、１対のアタッチメントを介して取付部に取り付けられてもよい。これによれば、移載装置の本体部が、２個の接続部から一方の側に延在する２個の延在部によって支持されるため、安定した状態で物品を移載することができる。
【0010】
本開示の一側面の移載システムでは、接続部は、上下方向に沿って延在し、１対のアタッチメントのそれぞれは、接続部と延在部との間に掛け渡された補強部を更に含んでいてもよい。これによれば、１対のアタッチメントの耐荷重が増大するため、例えば重い物品であっても、安定した状態で物品を移載することができる。
【0011】
本開示の一側面の移載システムでは、昇降部は、エアジャッキであってもよい。これによれば、移載装置を軽量化することができるため、収納装置の取付部に移載装置をより容易に取り付けることができる。
【0012】
本開示の一側面の移載システムでは、移載装置は、一方向に沿って移動部を案内するガイドを更に有し、ガイドは、本体部が移載対象の棚の取付部に取り付けられた状態で本体部から移載対象の棚の開口領域の直下に延在するように構成されていてもよい。これによれば、一方向に沿って延在するガイドに移動部が案内されるため、より一層安定した状態で物品を移載することができる。また、作業者が移載対象の棚の取付部に移載装置の本体部を取り付けるだけで、移載対象の棚の開口領域の直下にガイドが延在した状態となるため、作業者に余計な作業負担を生じさせるのを抑制することができる。
【0013】
本開示の一側面の移載システムでは、ガイドは、リニアガイドであってもよい。これによれば、簡易な構成で、より一層安定した状態で物品を移載することができる。
【0014】
本開示の一側面の移載システムでは、物品は、半導体ウエハを格納した容器であってもよい。これによれば、精密機器である半導体ウエハを格納した容器を容易に移載することができる。
【0015】
本開示の一側面の移載装置は、上下方向に配列され且つ水平な一方向における一方の側から物品が移載される複数の棚を有し、複数の棚のそれぞれが、上下方向及び一方の側に開口する開口領域が形成され且つ物品が載置される載置部と、上下方向における載置部の位置に応じて設けられた取付部と、を含む収納装置において、複数の棚のそれぞれを移載対象の棚とし、移載対象の棚に対して一方の側から物品を移載するために用いられる移載装置であって、移載対象の棚の取付部に一方の側から取り付けられる本体部と、物品を支持可能であり、本体部が移載対象の棚の取付部に取り付けられた状態で一方向に沿って本体部と移載対象の棚との間で移動する移動部と、本体部が移載対象の棚の取付部に取り付けられた状態で移載対象の棚の開口領域を通って移動部を昇降させる昇降部と、を備える。
【0016】
この移載装置によれば、上述した理由により、棚の高さによらず作業者が物品を容易に移載することができる。
【0017】
本開示の一側面の移載方法は、上記移載システムにおいて実施される移載方法であって、移載装置を準備する第１ステップと、第１ステップの後に、移載対象の棚の取付部に一方の側から本体部を取り付ける第２ステップと、第２ステップの後に、移動部を下降させた状態で、一方向に沿って移載対象の棚の開口領域の直下に移動部を移動させる第３ステップと、第３ステップの後に、昇降部を用いることで、移載対象の棚の開口領域を通って移動部を上昇させ、移動部に物品を支持させる第４ステップと、第４ステップの後に、移動部を上昇させた状態で、一方向に沿って本体部に移動部を移動させる第５ステップと、を含む。
【0018】
この移載方法によれば、上述した理由により、棚の高さによらず作業者が物品を容易に安定して移載することができる。
【発明の効果】
【0019】
本開示によれば、棚の高さによらず作業者が物品を容易に移載することができる移載システム、移載装置及び移載方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［収納システムの構成］
［収納システムの構成］
【0022】
一実施形態の移載装置が用いられる収納装置を含む収納システムについて説明する。図１に示されるように、収納システム１００は、１対の収納装置１０と、クレーン３と、リングオープナ４と、搬送機５と、ポート６と、システム制御部７と、を備えている。以下の説明では、３次元空間の直交座標系における各軸方向をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向という。そのうち、Ｙ方向は水平な一方向であり、Ｚ方向は上下方向（鉛直方向）である。
【0023】
１対の収納装置１０は、Ｙ方向において間隔をあけて対向するように配置されている。Ｙ方向における一方の側に配置された収納装置１０は、リングオープナ４の上方に設けられている。各収納装置１０は、容器（物品）９を収納する複数の棚１１を有している。各収納装置１０において、複数の棚１１は、Ｘ方向及びＺ方向に配列されている。各棚１１には、Ｙ方向におけるクレーン３側（一方の側）から容器９が移載される。以下の説明では、各棚１１を基準とした場合に、クレーン３側を前側といい、その反対側を後側という。
【0024】
図２に示されるように、容器９は、半導体ウエハを格納する容器である。容器９は、リング９ａ、底部９ｂ及び上蓋部９ｃを有している。容器９は、ウエハを保持する保持部が設けられたリング９ａを複数有している。各リング９ａは、ウエハを載せるトレーを構成する。各リング９ａは、半導体ウエハを内部に保持し、半導体ウエハの外周を保護する。各リング９ａは、例えば、Ｚ方向から見て円形の開口が形成された矩形板枠の部材である。複数のリング９ａは、その側面を機密にするべく、Ｚ方向において交互に積み重ねられている。底部９ｂは、その上面に積み重ねられた複数のリング９ａが載置されている。上蓋部９ｃは、積み重ねられた複数のリング９ａの上方に配置されている。底部９ｂ及び上蓋部９ｃは、例えば板状の部材である。積み重ねられた複数のリング９ａは、上蓋部９ｃの重さを利用して下方の底部９ｂへ押さえ付けられている。容器９は、積層されたリング９ａをそれぞれ分離可能である。底部９ｂは、容器９の内部と容器９の外部とを連通する開口を有する。容器９の内部には、底部９ｂに形成された開口を通じてパージガスが封入される。
【0025】
図１に示されるように、クレーン３は、容器９を搬送する搬送装置である。クレーン３は、複数の棚１１とリングオープナ４との間で容器９を移載する。クレーン３は、１対の収納装置１０の間の領域に配置されている。クレーン３は、走行部３ａ、支持柱３ｂ及び荷台３ｃを有する。走行部３ａは、モータ等の走行駆動部によって軌道（図示省略）に沿って走行する。当該軌道は、Ｘ方向に沿って延在している。支持柱３ｂは、走行部３ａから上側にＺ方向に沿って延在している。荷台３ｃは、モータ等の昇降駆動部によって支持柱３ｂに沿って昇降する。荷台３ｃは、容器９を載置する荷台、容器９の向きを調整する旋回部、及び、容器９を複数の棚１１のそれぞれに移載する移載部を含んでいる。
【0026】
リングオープナ４は、クレーン３に対してＹ方向における一方の側に配置されている。リングオープナ４は、クレーン３によって各棚１１から搬送された容器９に対して半導体ウエハを移載できるように複数のリング９ａの一部の間をＺ方向において開閉する装置である。所定の１又は複数のリング９ａに対して半導体ウエハが移載される場合、リングオープナ４は、積層された複数のリング９ａのうちの所定の１箇所又は複数箇所を開く。所定の１又は複数のリング９ａに対して半導体ウエハが移載された後にクレーン３によって棚１１に対して容器９が移載される場合、リングオープナ４は、複数のリング９ａのうち、開いた箇所を閉じる。
【0027】
ポート６は、リングオープナ４に対してＹ方向における一方の側に配置されている。すなわち、ポート６は、Ｙ方向において、リングオープナ４から見て収納装置１０とは反対側に配置されている。ポート６は、搬送車（図示省略）と収納システム１００との間でＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）８を受け渡す部分である。搬送車は、例えば、半導体工場の天井に設けられた軌道に沿って走行する天井走行式無人搬送車である。
【0028】
ＦＯＵＰ８は、搬送車によってポート６上に載置される。ＦＯＵＰ８は、開口部を有する箱状の筐体、及び、開口部を覆う蓋を有している。蓋は、筐体に対し取り外し可能に設けられている。ＦＯＵＰ８には、例えば、複数の半導体ウエハ等が収容される。ＦＯＵＰ８は、搬送車に保持されるフランジを有している。
【0029】
搬送機５は、Ｙ方向においてリングオープナ４とポート６との間に配置されている。ＦＯＵＰ８は、搬送機５と隣接するようにポート６上に載置されている。搬送機５は、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）である。搬送機５は、ＦＯＵＰ８の内部又は容器９の内部に挿入可能、かつ、半導体ウエハを移載可能なアームを有している。搬送機５は、ＦＯＵＰ８に設けられた開口部の蓋を取り外す機能を有している。搬送機５は、アームにより容器９のリング９ａとＦＯＵＰ８の内部との間で半導体ウエハを移載する機能を有している。具体的には、搬送機５は、容器９のリング９ａの内部から半導体ウエハを取り出し、ＦＯＵＰ８の内部に当該半導体ウエハを格納する。このとき、搬送機５は、容器９において、開かれた複数のリング９ａの間にアームを差し込むことにより、容器９から半導体ウエハを取り出す。あるいは、搬送機５は、ポート６上のＦＯＵＰ８の内部に格納された半導体ウエハを取り出し、容器９のリング９ａの内部に当該半導体ウエハを格納する。このとき、搬送機５は、ＦＯＵＰ８の開口部を通ってＦＯＵＰ８の内部にアームを差し込むことにより、ＦＯＵＰ８から半導体ウエハを取り出す。
【0030】
システム制御部７は、収納システム１００の各動作を制御する。システム制御部７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。システム制御部７は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。システム制御部７は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。システム制御部７は、１つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に１つのシステム制御部７が構築されている。システム制御部７は、クレーン３、リングオープナ４及び搬送機５と無線又は有線で接続されており、クレーン３、リングオープナ４及び搬送機５の動作を制御する。
【0031】
ここで、収納システム１００が、収納装置１０に収納された容器９の内部から半導体ウエハをＦＯＵＰ８に移載する動作を説明する。搬送車によりＦＯＵＰ８がポート６上に載置された場合に、システム制御部７は各種制御を開始する。クレーン３は、収納装置１０の各棚１１から容器９を搬出し、リングオープナ４まで移動させる。リングオープナ４は、積層された複数のリング９ａの所定の箇所をＺ方向において開き、リング９ａから半導体ウエハを取り出し可能にする。搬送機５は、ＦＯＵＰ８の蓋を取り外す。搬送機５は、容器９のリング９ａから半導体ウエハを取り出し、ＦＯＵＰ８の内部に格納する。ＦＯＵＰ８が所定の枚数の半導体ウエハを格納した場合、搬送機５は、連通するＦＯＵＰ８の開口部を蓋により閉塞する。ここでの所定の枚数は、１枚又はＦＯＵＰ８に収納可能な上限の枚数であり、例えば２５枚である。以上により収納システム１００による容器９からＦＯＵＰ８に移載する処理が完了する。
【0032】
収納システム１００によりＦＯＵＰ８から容器９の内部に半導体ウエハを移載する処理は、上記の処理において搬送機５による搬出及び搬入の対象を変更することで実施される。すなわち、上記の処理のうち、搬送機５は、ＦＯＵＰ８の内部から半導体ウエハを取り出し、容器９のリング９ａに当該半導体ウエハを格納させる。容器９が所定の枚数の半導体ウエハを格納した場合、リングオープナ４は、容器９における複数のリング９ａの一部の間をＺ方向において閉じ、クレーン３は、各棚１１に対して容器９を移載する。ここでの所定の枚数は、１枚又は容器９に収納可能な上限の枚数であり、例えば２５枚である。以上により収納システム１００によるＦＯＵＰ８から容器９に移載する処理が完了する。これらにより、収納システム１００は、容器９及びＦＯＵＰ８からの半導体ウエハの移載を自動で実行することが可能となる。
［移載システム及び移載装置の構成］
［移載システム及び移載装置の構成］
【0033】
図３及び図４に示されるように、本実施形態では、収納装置１０及び移載装置２０によって移載システム１が構成されている。移載システム１及び移載装置２０は、例えば収納システム１００のシステム制御部７の故障等に起因して自動で容器９を移載することができなくなり、作業者が収納装置１０に対して容器９を移載する場合に利用することができる。収納装置１０において、容器９が移載される複数の棚１１のそれぞれは、移載対象の棚１１である。移載システム１において、作業者は、クレーン３が設けられている１対の収納装置１０の間に入り、移載対象の棚１１に移載装置２０を取り付ける。移載装置２０は、移載対象の棚１１に対して前側（水平な一方向における一方の側）から容器９を移載するために用いられる。
【0034】
収納装置１０は、更に複数の側壁部１２及び奥壁部１３を有している。側壁部１２は、Ｙ方向及びＺ方向に延在する板状の部材である。複数の側壁部１２は、Ｘ方向において間隔をあけてそれぞれ対向するように配置されている。複数の側壁部１２は、複数の棚１１と接続している。移載対象の棚１１は、１対の側壁部１２によりＸ方向において仕切られている。奥壁部１３は、複数の側壁部１２の後側の端部と接続している。奥壁部１３は、Ｘ方向及びＺ方向に延在する板状の部材である。収納装置１０には、Ｚ方向において連続して並んだ２つの棚１１の間、且つ、Ｘ方向において連続して並んだ２つの側壁部１２の間、且つ、前側において、Ｘ方向及びＺ方向に広がる移載用開口が形成されている。移載用開口は、容器９が移載可能な幅（Ｘ方向における長さ）及び高さ（Ｚ方向における長さ）を有している。容器９は、移載対象の棚１１に移載される場合、前側から移載用開口を通って２つの側壁部１２及び奥壁部１３に囲まれた空間に移載される。なお、以下、移載対象の棚１１に着目した場合に、Ｘ方向において、１対の側壁部１２の内側を単に内側といい、１対の側壁部１２の外側を単に外側という場合がある。
【0035】
移載対象の棚１１は、載置部１４及び取付部１５を含んでいる。載置部１４には、容器９が載置される。また、載置部１４には、前側（一方の側の一例）及びＺ方向に開口する開口領域１４ａが形成されている。載置部１４は、１対の載置台１６、ガス封入台１７、ガス管１８及び空間１９を有している。１対の載置台１６は、側壁部１２の内側にそれぞれ設けられている。１対の載置台１６のそれぞれは、Ｘ方向及びＹ方向に延在する板状の部材であり、Ｘ方向における容器９の両端を支持する部材である。１対の載置台１６は、移載対象の棚１１を挟んだ２つの側壁部１２の内側の面にそれぞれ接続され、支持されている。Ｘ方向において、１対の載置台１６の間は開口している。容器９が移載対象の棚１１に搬入された場合に、１対の載置台１６は、容器９の底部９ｂと接することで容器９を支持する。
【0036】
開口領域１４ａは、移載対象の棚１１においてＺ方向及び前側に開口している。開口領域１４ａは、１対の載置台１６の間の空間である。開口領域１４ａは、奥壁部１３の前側において、上方及び下方の空間を連通している。開口領域１４ａにより、少なくとも１対の載置台１６の前側は、連結されていない。開口領域１４ａは、後述の移載装置２０の移動部４０が昇降可能な幅（Ｘ方向における長さ）及び奥行き（Ｙ方向における長さ）を有している。開口領域１４ａは、例えば、１対の載置台１６の厚さ（Ｚ方向における長さ）と同一の厚さを有している。
【0037】
ガス封入台１７及びガス管１８は、ガスボンベ（図示省略）に連通し、パージガスを通気する。ガス封入台１７は、１対の載置台１６のうち、いずれか一方の載置台１６上に設けられている。ガス管１８は、ガス封入台１７とガスボンベとを連通する管路である。移載対象の棚１１の載置部１４上に容器９が載置されるとき、容器９は、底部９ｂに形成された開口とガス封入台１７とが係合するように載置される。パージガスが、底部９ｂに形成された開口、ガス封入台１７及びガス管１８を介して容器９の内部に封入されることにより、容器９は、パージ処理される。
【0038】
移載対象の棚１１の開口領域１４ａの直下には、空間１９が形成されている。移載対象の棚１１の開口領域１４ａの直下とは、当該移載対象の棚１１の開口領域１４ａと、当該移載対象の棚１１の１段下の棚１１に収納される容器９の上蓋部９ｃとの間の領域（移載対象の棚１１が最下段である場合には、当該領域に対応する領域）である。空間１９は、少なくとも後述の移載装置２０のガイド６０が挿入可能な高さ（Ｚ方向における長さ）を有している。
【0039】
取付部１５は、移載対象の棚１１において、Ｚ方向における載置部１４の位置に応じて設けられている。移載装置２０は、取付部１５に接続することで移載対象の棚１１に取り付けられる。取付部１５は、側壁部１２の前側の端部に設けられている。取付部１５は、後述の移載装置２０におけるアタッチメント７０のアタッチメント固定具８３が内側に向かって嵌入可能な複数の小穴を有している。
【0040】
移載装置２０は、本体部３０と、移動部４０と、昇降部５０と、ガイド６０と、１対のアタッチメント７０とを有している。
【0041】
本体部３０は、取付部１５に前側（一方の側）から取り付けられる。図５に示すように、本体部３０は、１対の支持部３１、枠体３２、１対の係合凹部３３及び１対の係合ストッパ３４を含んでいる。１対の支持部３１は、容器９を支持可能である。１対の支持部３１は、Ｘ方向において容器９の両端を支持する。１対の支持部３１のそれぞれは、Ｙ方向に延在する長尺状の部材である。１対の支持部３１は、それぞれの上面３１ａにおいて容器９を水平に支持可能である。
【0042】
枠体３２は、１対の支持部３１を支持している。枠体３２は、１対の支持部３１を支持しＹ方向に延在する１対の支持部材３２ａ、及び、１対の支持部材３２ａを支持しＸ方向に延在する１対の支持部材３２ｂから構成されている。１対の支持部材３２ａ及び１対の支持部材３２ｂにより構成される枠体３２は、Ｚ方向から見て矩形枠状を呈する。枠体３２における１対の支持部材３２ａ及び１対の支持部材３２ｂは、それぞれの延在方向に対する横断面が矩形状の長尺状の部材である。１対の支持部材３２ａのそれぞれの上面は、１対の支持部３１のそれぞれの底面と接続されている。１対の支持部材３２ｂのそれぞれの上面のＸ方向における端部は、１対の支持部材３２ａのそれぞれの底面のＹ方向における端部と接続されている。
【0043】
１対の係合凹部３３のそれぞれは、１対の支持部材３２ａのそれぞれの外側の面に設けられている。１対の係合凹部３３のそれぞれは、Ｙ方向に延在する凹部を有している。１対の係合凹部３３のそれぞれは、後述する１対のアタッチメント７０の本体固定具９３が内側に向かって嵌入可能な小穴を有している。
【0044】
１対の係合ストッパ３４のそれぞれは、Ｙ方向において、１対の係合凹部３３のそれぞれの前側の端部に接触又は近接するように１対の支持部材３２ａのそれぞれの外側の面に設けられている。１対の係合ストッパ３４のそれぞれは、１対の係合凹部３３のそれぞれの延在方向（Ｙ方向）に対する横断面の一部又は全部を覆うように突出して設けられている。
【0045】
移動部４０は、容器９を支持可能であり、本体部３０が移載対象の棚１１の取付部１５に取り付けられた状態でＹ方向（一方向）に沿って本体部３０と移載対象の棚１１との間で移動する。移動部４０は、取付部１５に対して前側又は後側に移動可能となるように構成されている。移動部４０は、移動板４１、把持部４２、滑り止め部４３及び突起部４４を含んでいる。
【0046】
移動板４１は、容器９を支持可能である。移動板４１は、板状を呈する。移動板４１のＹ方向における長さは、容器９のＹ方向における長さより長い長さ又は同一の長さである。移動板４１は、Ｙ方向（一方向）に沿って本体部３０と移載対象の棚１１との間で移動する。把持部４２は、移動板４１に設けられている。把持部４２は、作業者が移動板４１を移動する場合に把持される。作業者は、把持部４２を把持し、前側又は後側に力を作用させることで移動板４１を前側又は後側に移動させる。把持部４２は、移動板４１上の前側の端部に設けられている。把持部４２は、例えば樹脂で構成されている。
【0047】
滑り止め部４３は、移動板４１上に設けられ、容器９が移動板４１から滑落することを抑制する。滑り止め部４３は、移動板４１上の後側の端部に設けられている。滑り止め部４３は、例えば樹脂で構成されている。容器９が移動板４１上に載置される場合、容器９は、把持部４２と滑り止め部４３との間に載置される。突起部４４は、移動板４１上に設けられ、容器９を移動板４１上で位置決めする。突起部４４は、移動板４１の水平面から突出している。容器９の底部９ｂに設けられている凹みと突起部４４とが係合することにより、容器９の水平方向への移動を抑制する。突起部４４は、移動板４１の下方に設けられたねじと接続し、そのねじによりＺ方向における突起部４４の上端の位置を調整可能である。
【0048】
昇降部５０は、移動部４０を昇降させる。昇降部５０は、エアジャッキである。図５及び図６に示すように、昇降部５０は、複数のバルーン部５１、１対の外殻５２、複数のエアチューブ５３、複数の連結具５４、逆止弁５５及び手動ポンプ５６を含んでいる。各バルーン部５１は、その内部に気体が供給されることにより少なくともＺ方向に膨張し、その内部から気体が排出されることにより少なくともＺ方向に収縮する。各バルーン部５１は、例えば筒状のシリコンゴムで構成されている。各バルーン部５１の一端は、各エアチューブ５３と接続されている。エアチューブ５３を除く各バルーン部５１の内部の両端部は、例えば、液状シリコンで閉塞されている。各バルーン部５１は、移動板４１の下方においてＹ方向に延在するように配置されている。各バルーン部５１は、移動板４１を水平に支持するため、Ｙ方向において移動板４１の中心と各バルーン部５１の中心とが一致するように配置されている。複数のバルーン部５１は、移動板４１の外側の両端辺において、それぞれＹ方向に沿って移動板４１の下方に設けられている。移動板４１のＹ方向に沿った１つの端辺につき、複数のバルーン部５１がＺ方向において積層されている。
【0049】
１対の外殻５２は、各バルーン部５１における物理的な接触から保護する。１対の外殻５２のそれぞれは、移動板４１のＹ方向に沿った１つの端辺に設けられた複数のバルーン部５１の外周において、Ｙ方向に沿って設けられている。各外殻５２は、上下に分離する上下１組の部材である。各外殻５２は、枠体３２の各支持部材３２ｂの上面及び移動板４１の下面に接続している。各バルーン部５１が収縮している場合、上下１組の外殻５２のそれぞれが接触し、Ｙ方向に沿って延在した筒状を呈する。各バルーン部５１が膨張する場合、上下１組の外殻５２のうち、上方の部材が上昇することで下方の部材と分離する。各外殻５２は、例えば金属で構成されている。
【0050】
各エアチューブ５３は、各連結具５４を介して各バルーン部５１と手動ポンプ５６とを連通する管路である。各エアチューブ５３は、各バルーン部５１の前側の端部から前側に延在している。各エアチューブ５３は、各バルーン部５１と手動ポンプ５６との間において気体を流通させることができる。各エアチューブ５３は、例えば、シリコンゴムで構成されている。各連結具５４は、各バルーン部５１から延在する各エアチューブ５３を、各バルーン部５１と逆止弁５５との間で連結している。各連結具５４は、各バルーン部５１から逆止弁５５に至るまでに１本のエアチューブ５３で構成されるように、各エアチューブ５３を連結している。各連結具５４は、例えば金属で構成されている。
【0051】
逆止弁５５は、各バルーン部５１と手動ポンプ５６との間に設けられている。逆止弁５５の開放又は閉塞に関わらず、手動ポンプ５６から各バルーン部５１への気体の流通は抑制されない。逆止弁５５が弁を開放する場合、各バルーン部５１から手動ポンプ５６へ気体が流通する。逆止弁５５が弁を閉塞する場合、各バルーン部５１から手動ポンプ５６へ気体は流通しない。手動ポンプ５６は、作業者が力を作用させることで、各エアチューブ５３を通じて各バルーン部５１に気体を流通させることができる。手動ポンプ５６は、例えばエアポンプである。
【0052】
図７に示すように、昇降部５０は移動部４０を昇降させる。図７の（ａ）は、移動部４０が下降した状態を示す。このとき、手動ポンプ５６から各エアチューブ５３を通じて各バルーン部５１の内部に気体が供給されておらず、各バルーン部５１は、収縮した状態である。移動部４０の移動板４１は、各支持部３１の上面３１ａより下方又は各支持部３１の上面３１ａと同一の高さに位置する。移動板４１が各支持部３１の上面３１ａより下方に位置する状態で移載装置２０上に容器９が載置される場合、容器９は、各支持部３１の上面３１ａのみに支持される。移動板４１が各支持部３１の上面３１ａと同一の高さに位置する状態で移載装置２０上に容器９が載置される場合、容器９は、各支持部３１の上面３１ａ及び移動板４１により支持される。
【0053】
図７の（ｂ）は、移動部４０が上昇した状態を示す。このとき、手動ポンプ５６から各エアチューブ５３を通じて各バルーン部５１の内部に気体が供給されることで、各バルーン部５１は、膨張した状態となる。各バルーン部５１は、膨張することにより少なくともＺ方向に向かって高さを増大させる。これにより、移動部４０の移動板４１は、各支持部３１の上面３１ａより上方に位置する。移動板４１が各支持部３１の上面３１ａより上方に位置する状態で移載装置２０上に容器９が載置される場合、容器９は、移動板４１のみに支持される。
【0054】
図３及び図８に示すように、ガイド６０は、Ｙ方向（一方向）に沿って移動部４０を案内する。図８の（ａ）は、移動部４０が前側に配置されている状態を示す。図８の（ｂ）は、移動部４０が後側に移動した状態を示す。ガイド６０は、リニアガイドである。ガイド６０は、リニアガイド６１、搬入ストッパ６２及び搬出ストッパ６３を含んでいる。
【0055】
リニアガイド６１は、本体部３０が移載対象の棚１１の取付部１５に取り付けられた状態で本体部３０から移載対象の棚１１の開口領域１４ａの直下に延在している。本体部３０が取付部１５に取り付けられた場合、リニアガイド６１は、移載対象の棚１１の開口領域１４ａの直下の空間１９に挿入される。リニアガイド６１は、上面視において矩形枠状を呈する。リニアガイド６１は、Ｙ方向に延在する部分により移動板４１を前側又は後側に移動させる。リニアガイド６１の後側の端部６１ａは、本体部３０が移載対象の棚１１に取り付けられる場合、収納装置１０の奥壁部１３に近接する位置に配置される。リニアガイド６１の前側の端部６１ｂは、枠体３２の中心から見て前側に位置する支持部材３２ｂまで延在している。
【0056】
搬入ストッパ６２及び搬出ストッパ６３は、リニアガイド６１に設けられ、Ｘ方向に突出している。搬入ストッパ６２及び搬出ストッパ６３は、リニアガイド６１の内側に設けられ、内側に突出している。搬入ストッパ６２は、リニアガイド６１の中心から見て後側に設けられ、移動板４１の後側への移動を規制している。搬出ストッパ６３は、リニアガイド６１の中心から見て前側に設けられ、移動板４１の前側への移動を規制している。
【0057】
ここで、図８に示すように、移動部４０は、スライダ４５及び当接部４６を含んでいる。スライダ４５は、移動板４１の下面に設けられている。移動板４１は、スライダ４５に対してＺ方向に移動可能に接続している。スライダ４５は、例えばリニアスライダである。スライダ４５は、Ｘ方向においてガイド６０のリニアガイド６１を外側から内側へ挟み込むようにリニアガイド６１のＹ方向に延在する部材の外側に配置されている。スライダ４５は、リニアガイド６１に沿って移動板４１と共に本体部３０と移載対象の棚１１の開口領域１４ａとの間を移動する。
【0058】
当接部４６は、移動板４１の下面に設けられている。当接部４６は、例えば略直方体状の部材である。当接部４６は、搬入ストッパ６２及び搬出ストッパ６３に当接することで移動部４０の移動を規制している。移動板４１が後側に移動する場合、移動板４１が移載対象の棚１１の開口領域１４ａに到達した後、且つ、移動板４１の後側の端部が奥壁部１３に到達する前に、当接部４６が搬入ストッパ６２と当接するように当接部４６及び搬入ストッパ６２はそれぞれ設けられている。当接部４６及び搬入ストッパ６２は、容器９を移載対象の棚１１から搬出する場合において、突起部４４が１対の載置台１６上の容器９の底部９ｂに設けられた凹みの直下に位置するときの移動板４１の位置から移動板４１の移動を規制するように設けられている。移動板４１が前側に移動する場合、移動板４１が移載対象の棚１１の開口領域１４ａより前側に移動した後に、当接部４６が搬出ストッパ６３と当接するように当接部４６及び搬出ストッパ６３はそれぞれ設けられている。
【0059】
図９及び図１０に示すように、１対のアタッチメント７０のそれぞれは、接続部８０及び延在部９０を含んでいる。１対のアタッチメント７０のそれぞれは、補強部９９を含んでいる。１対のアタッチメント７０は、移載対象の棚１１の取付部１５に着脱自在に設けられる。１対のアタッチメント７０は、Ｘ方向において本体部３０を外側から挟み込むようにして本体部３０と着脱自在に接続する。
【0060】
接続部８０は、収納装置１０の取付部１５に取り付けられる。接続部８０は、接続板８１、壁当て部８２、複数のアタッチメント固定具８３、及び複数の取付フック８４を含んでいる。接続板８１は、Ｚ方向に沿って延在している板状の部材である。接続板８１は、Ｘ方向において、取付部１５に対して内側に設けられている。接続板８１は、Ｘ方向において内側に向かって複数のアタッチメント固定具８３がそれぞれ嵌入可能な複数の小穴を有している。壁当て部８２は、接続板８１の外側の面に設けられている。本体部３０が移載対象の棚１１の取付部１５に取り付けられる場合、壁当て部８２の後側の面は、側壁部１２の前側の面と接触する。壁当て部８２は、略直方体状の部材である。
【0061】
各アタッチメント固定具８３は、取付部１５と接続板８１とを連結している。各アタッチメント固定具８３は、例えばねじ、ピン等である。各アタッチメント固定具８３は、取付部１５及び接続板８１のそれぞれの小穴に嵌入し、外側から内側に延在することにより、各アタッチメント７０のＹ方向及びＺ方向への移動を規制する。
【0062】
各取付フック８４は、接続板８１に回動可能に設けられる鉤状の部材である。各取付フック８４がその回動軸を中心に回動することにより、各取付フック８４の鉤の部分と各アタッチメント固定具８３とが係合する。これにより、各アタッチメント固定具８３が取付部１５及び接続板８１のそれぞれの小穴から脱離しにくくなる。各取付フック８４は、その鉤部を各アタッチメント固定具８３から離間させる方向に回動させることで、各取付フック８４の鉤の部分と各アタッチメント固定具８３との係合を解除することができる。取付フック８４は、アタッチメント固定具８３の個数と同一の個数又はそれ以上の個数だけ設けられている。
【0063】
延在部９０は、接続部８０から前側（一方の側）に延在し、本体部３０を支持する。延在部９０は、延在板９１、係合凸部９２、本体固定具９３、固定具支持台９４、及び高さ調整ユニット９５を含む。延在板９１は、Ｙ方向に沿って延在している板状の部材である。延在板９１は、その後側の端部において接続板８１と接続している。延在板９１は、Ｘ方向において内側に向かって本体固定具９３が嵌入可能な小穴を有している。
【0064】
係合凸部９２は、本体部３０の係合凹部３３と係合することで、本体部３０を移載対象の棚１１に対してＸ方向について固定する。係合凸部９２は、Ｚ方向に移動可能に設けられる。係合凸部９２は、Ｙ方向に延在し、Ｘ方向において延在板９１の内側に設けられ、内側に向かって突出している凸部である。係合凸部９２は、係合凸部９２の前側の端部に対して本体部３０の係合凹部３３における後側の端部より係合し、係合凹部３３が係合凸部９２に対して後側に移動するように挿入されることで、本体部３０と各アタッチメント７０とが係合する。これにより、係合凸部９２は、本体部３０を水平に支持する。係合凸部９２は、係合ストッパ３４により、係合凹部３３から前側への突出が規制される。係合凸部９２のＹ方向における長さは、係合凹部３３の長さより短い長さ、又は同一の長さである。係合凸部９２は、Ｘ方向において内側に向かって本体固定具９３が嵌入可能な小穴を有している。
【0065】
本体固定具９３は、係合凹部３３、延在板９１及び係合凸部９２の小穴に嵌入することで、本体部３０と各アタッチメント７０とをＹ方向及びＺ方向において固定する。本体固定具９３は、例えばねじ又はピン等である。延在板９１の小穴は、係合凹部３３及び係合凸部９２の小穴に比べてＺ方向に延在している。本体固定具９３は、本体部３０が係合凹部３３と係合凸部９２とが係合した後に小穴に嵌入して本体部３０と各アタッチメント７０とを位置決めする。
【0066】
固定具支持台９４は、Ｘ方向において延在板９１の外側の面に設けられている。固定具支持台９４は、本体固定具９３と回動可能に接続する。固定具支持台９４は、Ｘ方向において内側に向かって本体固定具９３が嵌入可能な小穴を有している。本体固定具９３は、Ｘ方向において外側から、固定具支持台９４、延在板９１、係合凸部９２及び係合凹部３３の順に小穴に嵌入する。係合凹部３３、係合凸部９２及び固定具支持台９４のそれぞれの小穴は、延在板９１の小穴に比べて、Ｚ方向において延在する長さが小さい。係合凹部３３、係合凸部９２及び固定具支持台９４のそれぞれの小穴は、本体固定具９３の嵌入する部位の径より一回り大きい径を有している。
【0067】
高さ調整ユニット９５は、固定具支持台９４のＺ方向における高さを調整する。高さ調整ユニット９５は、高さ調整台９６及び複数の高さ調整ねじ９７を含んでいる。高さ調整台９６は、Ｘ方向において延在板９１の外側の面に、且つ、固定具支持台９４の下方に固定されて設けられている。高さ調整台９６は、Ｚ方向に複数のねじ穴を有している。複数の高さ調整ねじ９７は、Ｚ方向に沿って高さ調整台９６に設けられたねじ穴に嵌入し、高さ調整台９６の上方に突出している。各高さ調整ねじ９７の上端部が固定具支持台９４に接触することにより、各高さ調整ねじ９７は、固定具支持台９４を支持する。各高さ調整ねじ９７は、回動することにより、高さ調整台９６から上方に突出した部分の長さを変える。これにより、各高さ調整ねじ９７の上端により支持された固定具支持台９４のＺ方向における位置を調整する。すなわち、高さ調整台９６から上方に突出した部分の長さを長くすることで、固定具支持台９４のＺ方向における位置は上方に移動する。高さ調整台９６から上方に突出した部分の長さを短くすることで、固定具支持台９４のＺ方向における位置は下方に移動する。本体固定具９３は、移動する固定具支持台９４の小穴の縁に接触することによりＺ方向に移動する。移動する本体固定具９３は、係合凹部３３及び係合凸部９２のそれぞれの小穴の縁に接触することで本体部３０及び係合凸部９２をＺ方向に移動させる。
【0068】
補強部９９は、接続部８０と延在部９０との間に掛け渡されている。補強部９９は、接続部８０の接続板８１の下端と延在部９０の延在板９１の前側の端部とを結び、延在板９１を支持している。補強部９９は、板状を呈する。各アタッチメント７０の軽量化のため、接続板８１、延在板９１及び補強部９９に囲まれた領域は開口している。なお、各アタッチメント７０において、接続板８１、延在板９１及び補強部９９は、１枚の板状の部材で構成されている。
［移載方法］
［移載方法］
【0069】
次に、移載対象の棚１１に対して前側から容器９を移載するために移載装置２０を用いて実施される移載方法を説明する。まず、図１１に示すように、移載装置２０を用いて移載対象の棚１１に対して前側から容器９を搬出する移載方法を説明する。このとき、容器９は、収納装置１０における載置部１４の１対の載置台１６上に載置されている。
【0070】
最初に、作業者は、移載装置２０を準備する（Ｓ２００：第１ステップ）。作業者は、移載装置２０を携行し、クレーン３が設けられている１対の収納装置１０の間に入る。
【0071】
続いて、作業者は、１対のアタッチメント７０のそれぞれを収納装置１０における移載対象の棚１１に対する取付部１５に取り付ける（Ｓ２１０）。作業者は、接続部８０を取付部１５に取り付ける。各アタッチメント固定具８３が取付部１５及び接続板８１のそれぞれの小穴に嵌入することにより、取付部１５と接続板８１とが連結される。各取付フック８４が回動することにより、アタッチメント固定具８３と取付フック８４とのそれぞれが係合することで各アタッチメント固定具８３が取付部１５及び接続板８１のそれぞれから脱離しにくくなる。
【0072】
続いて、作業者は、移載対象の棚１１の取付部１５に１対のアタッチメント７０を介して前側から本体部３０を取り付ける（Ｓ２２０：第２ステップ）。図１２に示すように、作業者は、１対のアタッチメント７０を移載対象の棚１１の取付部１５に取り付け、本体部３０を１対のアタッチメント７０に取り付ける。作業者は、本体部３０の１対の係合凹部３３を１対の係合凸部９２に係合させ、後側に移動させる。１対の係合凸部９２が本体部３０の１対の係合ストッパ３４に当接することにより、１対の係合凸部９２の前側への突出が規制される。本体固定具９３は、固定具支持台９４、延在板９１、係合凸部９２及び係合凹部３３のそれぞれの小穴に外側から順に嵌入する。これにより、本体部３０と１対のアタッチメント７０とが固定され、本体部３０が１対のアタッチメント７０を介して取付部１５に取り付けられる。１対の係合凹部３３を１対の係合凸部９２に係合させるときに本体部３０が後側へと移動することで、ガイド６０のリニアガイド６１が移載対象の棚１１の空間１９に挿入される。移動部４０が空間１９に向かって移動しにくい場合又はリニアガイド６１の挿入が滞る場合には、高さ調整ユニット９５により本体固定具９３のＺ方向における位置を調整する。これにより、本体部３０に接続されている移動部４０及びリニアガイド６１のＺ方向における位置が調整され、移動部４０の移動及びリニアガイド６１の挿入を円滑にすることができる。
【0073】
続いて、作業者は、移動部４０を下降させた状態で、移載対象の棚１１の開口領域１４ａの直下の空間である空間１９に移動部４０を移動させる（Ｓ２３０：第３ステップ）。昇降部５０において逆止弁５５が開放されることにより、各バルーン部５１内の気体は外部に放出される。これにより、移動部４０の移動板４１は下降した状態となる。作業者は、移動部４０の把持部４２を把持し、移動板４１をリニアガイド６１に沿って後側に移動させることで、移動板４１を移載対象の棚１１の空間１９に挿入する。移動板４１は、当接部４６が搬入ストッパ６２と当接するまで後側に移動することができる。移動板４１は、突起部４４が１対の載置台１６上の容器９の底部９ｂに設けられた凹みの直下に位置するように空間１９内に挿入される。
【0074】
続いて、作業者は、昇降部５０を用いることで移載対象の棚１１の開口領域１４ａを通って移動部４０を上昇させ、移動部４０に容器９を支持させる（Ｓ２４０：第４ステップ）。図１３に示すように、作業者は、移動部４０の移動板４１を後側に移動させ、移動板４１を上昇させる。作業者は、手動ポンプ５６を用いて、各エアチューブ５３及び各連結具５４を通じて各バルーン部５１の内部に気体を供給する。各バルーン部５１は、気体が供給されることで膨張し、移動板４１を上昇させる。移動板４１は、上昇することで移載対象の棚１１の開口領域１４ａを通って上方に通過する。移動板４１が１対の載置台１６と同一の高さに位置する場合、移動板４１が容器９と接触し、突起部４４は、容器９の底部９ｂの中央に設けられた凹みと係合する。移動板４１が更に上昇することで、容器９は移動板４１に支持される。
【0075】
続いて、作業者は、容器９を支持している移動部４０を本体部３０まで移動させる（Ｓ２５０：第５ステップ）。作業者は、移動部４０の把持部４２を把持し、各バルーン部５１を膨張させたまま前側に移動板４１をリニアガイド６１に沿って移動させることで、容器９を支持している移動板４１を移載対象の棚１１から搬出する。移動板４１は、当接部４６が搬出ストッパ６３と当接するまで前側に移動させることができる。作業者は、昇降部５０の各バルーン部５１を収縮させてもよい。すなわち、図３に示すように、作業者は、移動板４１を前側に移動させた状態で昇降部５０により移動板４１を下降させ、容器９を本体部３０の各支持部３１の上面３１ａ上に載置させてもよい。第５ステップ（Ｓ２５０）が終了すると、図１１に示された移載方法が終了する。これにより、容器９が移載対象の棚１１から搬出される。
【0076】
次に、移載装置２０を用いて移載対象の棚１１に対して前側から容器９を搬入する移載方法を説明する。最初に、作業者は、移載装置２０を準備する。作業者は、搬出する移載方法における移載装置２０の準備作業（Ｓ２００）と同一の作業を実施する。
【0077】
続いて、アタッチメントを取り付ける作業として、作業者は、１対のアタッチメント７０のそれぞれを収納装置１０における移載対象の棚１１に対する取付部１５に取り付ける。作業者は、搬出する移載方法における１対のアタッチメント７０の取付作業（Ｓ２１０）と同一の作業を実施する。
【0078】
続いて、本体部３０の取付作業として、作業者は、移載対象の棚１１の取付部１５に前側から本体部３０を取り付ける。作業者は、搬出する移載方法における本体部３０の取付作業（Ｓ２２０）と同一の作業を実施する。このとき、作業者により、容器９は、本体部３０の１対の支持部３１又は移動部４０の移動板４１上に載置される。
【0079】
続いて、昇降部５０による移動部４０の上昇作業として、作業者は、昇降部５０を用いることで移動部４０を上昇させ、移動部４０のみに容器９を支持させる。作業者は、手動ポンプ５６を用いて、各エアチューブ５３及び各連結具５４を通じて各バルーン部５１の内部に気体を供給する。各バルーン部５１は、気体が供給されることで膨張し、移動板４１を上昇させる。移動板４１が１対の支持部３１と同一の高さに位置する場合、移動板４１が容器９と接触し、突起部４４は、容器９の底部９ｂの中央に設けられた凹みと係合する。移動板４１が更に上昇することで、容器９は移動板４１のみに支持される。なお、本体部３０の取付作業のときに昇降部５０が上昇した状態であれば、この昇降部５０による移動部４０の上昇作業は実行しなくてもよい。このとき、作業者は、容器９の底部９ｂの中央に設けられた凹みが突起部４４と係合するように容器９を載置する。
【0080】
続いて、移動部４０の移動作業として、作業者は、移動部４０を上昇させた状態で、移載対象の棚１１の開口領域１４ａに移動部４０を移動させる。作業者は、移動部４０の把持部４２を把持し、移動板４１をリニアガイド６１に沿って後側に移動させることで、移動板４１を移載対象の棚１１の移載用開口を通って開口領域１４ａの直上に挿入する。移載対象の棚１１の開口領域１４ａの直上とは、当該移載対象の棚１１の開口領域１４ａと当該移載対象の棚１１の１段上の棚１１の開口領域１４ａとの間の領域である。移動板４１は、当接部４６が搬入ストッパ６２と当接するまで後側に移動させることができる。移動板４１は、容器９が移載対象の棚１１の前側の端部から突出していない状態まで移動させる。
【0081】
続いて、昇降部５０による移動部４０の下降作業として、昇降部５０を用いることで移動部４０を下降させ、移載対象の棚１１における載置部１４の１対の載置台１６のみに容器９を支持させる。作業者は、逆止弁５５を開放することにより、各エアチューブ５３及び各連結具５４を通じて各バルーン部５１の内部から気体を排出する。各バルーン部５１は、気体が排出されることで収縮し、移動板４１を下降させる。移動板４１が開口領域１４ａを通って１対の載置台１６より下方に移動した場合、容器９と移動板４１との接触が解除され、容器９の底部９ｂの中央に設けられた凹みと突起部４４との係合が解除される。容器９は、載置部１４の１対の載置台１６上に載置される。移動板４１が更に下降することで、移動板４１は空間１９に位置する。これにより、移動部４０の移動板４１は下降した状態となる。
【0082】
続いて、移動部４０の引き出し作業として、作業者は、移動部４０を本体部３０まで移動させる。作業者は、移動部４０の把持部４２を把持し、各バルーン部５１を収縮させたまま前側に移動板４１をリニアガイド６１に沿って移動させることで、移動板４１を移載対象の棚１１から引き出す。移動板４１は、当接部４６が搬出ストッパ６３と当接するまで前側に移動させることができる。移動部４０の引き出し作業が終了すると、容器９を搬入する移載方法が終了する。
［作用及び効果］
［作用及び効果］
【0083】
本開示の移載システム１、移載装置２０、及び移載方法によれば、移載対象の棚１１の高さによらず作業者が容器９を容易に安定して移載することができる。収納システム１００のシステム制御部７の故障等に起因して自動で容器９を移載することができなくなり、作業者が収納装置１０に対して容器９を移載する場合に、作業者は、移載システム１、移載装置２０、及び移載方法を利用することができる。また、Ｚ方向において複数の棚１１に載置された容器９同士の間隔が狭く、且つ、容器９が重いことにより作業者が手作業で容器を持ち上げることが困難である場合に、作業者は、移載システム１、移載装置２０、及び移載方法を利用することができる。これらの場合、作業者が移載対象の棚１１の取付部１５に移載装置２０の本体部３０を取り付けるだけで、移載対象の棚１１に対する容器９の移載を容易に行うことができる。
【0084】
また、移載対象の棚１１に対して１対のアタッチメント７０が設けられていることにより、本体部３０が接続部８０から前側に延在する延在部９０によって支持されるため、安定した状態で容器９を移載することができる。また、１対のアタッチメント７０が補強部９９を含んでいることによって、１対のアタッチメント７０の耐荷重が増大するため、例えば容器９が重い場合であっても、安定した状態で容器９を移載することができる。
【0085】
また、昇降部５０がエアジャッキであることにより、移載装置２０を軽量化することができるため、収納装置１０の取付部１５に移載装置２０をより容易に取り付けることができる。また、移載装置２０がガイド６０を有していることによって、Ｙ方向に沿って延在するガイド６０に移動部４０が案内されるため、より一層安定した状態で容器９を移載対象の棚１１に移載することができる。また、作業者が移載対象の棚１１の取付部１５に移載装置２０の本体部３０を取り付けるだけで、移載対象の棚１１の開口領域１４ａの直下の空間１９にガイド６０が延在した状態となるため、作業者に余計な作業負担を生じさせるのを防止することができる。ガイド６０は、リニアガイド６１であってもよく、簡易な構成で、より一層安定した状態で容器９を移載することができる。
【0086】
また、容器９は、半導体ウエハを格納した容器であってもよく、精密機器である半導体ウエハを格納した容器を容易に移載することができる。また、移動部４０は、滑り止め部４３又は突起部４４を含むことにより、容器９の移動板４１からの滑落を抑制することができる。また、アタッチメント固定具８３は、取付部１５及び接続板８１に設けられた小穴に対して外側から内側に嵌入することにより、容器９の移載終了後に取り外し容易であるため、作業者に余計な作業負担を生じさせるのを抑制することができる。
［変形例］
［変形例］
【0087】
本開示は、上述した本実施形態に限定されない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。例えば、容器９は、複数のガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、及び一般部品等の物品であってもよい。１対の載置台１６は、奥側において連結部材を介して連結していてもよい。この場合、１対の載置台１６は、開口領域１４ａを通って昇降する移動部４０と干渉しないように連結される。
【0088】
本体部３０は、１対の支持部３１を含まなくてもよい。この場合、容器９の移載前後において、移動板４１のみが容器９を支持する。本体部３０は、１対の係合凹部３３を含まなくてもよい。この場合、各アタッチメント７０は、係合凸部９２を含まなくてもよい。本体部３０と各アタッチメント７０との接続において、１つのアタッチメント７０につき複数のアタッチメント固定具８３が用いられることにより、本体部３０が固定されてもよい。これにより、本体部３０は、水平に支持される。すなわち、本体部３０に接続される移動部４０の移動板４１が水平になるように各アタッチメント７０に固定される。本体部３０は、１対の係合ストッパ３４を含まなくてもよい。この場合、本体部３０が移載対象の棚１１又は取付部１５に当接することで本体部３０の後側への移動が抑制される。本体部３０は、１対の係合凹部３３の代わりに１対の係合凸部９２を含み、１対のアタッチメント７０は１対の係合凸部９２の代わりに１対の係合凹部３３を含んでもよい。
【0089】
移動部４０は、モータ等の駆動源による動力によってＹ方向に沿って移動する機構であってもよい。移動部４０は、油圧ジャッキ、電動ジャッキ、エアジャッキ又はボールねじなどによってＹ方向に沿って移動する機構であってもよい。移動部４０は、把持部４２を含まなくてもよい。この場合、作業者は、移動板４１を直接把持することで移動板４１を移動させる。移動部４０は、滑り止め部４３又は突起部４４を含まなくてもよい。スライダ４５は、Ｘ方向においてガイド６０のリニアガイド６１のＹ方向に延在する部材を内側から外側へ押圧するように配置されていてもよい。
【0090】
昇降部５０は、エアジャッキでなくてもよい。昇降部５０は、モータ等の駆動源による動力によってＺ方向に昇降する機構であってもよい。昇降部５０は、油圧ジャッキ、電動ジャッキ、又はボールねじであってもよい。複数のバルーン部５１は、Ｙ方向において、移動板４１の内側でもよい。この場合、リニアガイド６１は、移動板４１の下方、且つ、Ｙ方向において外側に設けられる。バルーン部５１は、移動板４１のＹ方向に沿った１つの端辺につき、Ｚ方向において１つ設けられてもよい。この場合、連結具５４は１つ設けられている。バルーン部５１は、移動板４１に対して１つのバルーン部５１が設けられてもよい。この場合、連結具５４は、設けられなくてもよい。連結具５４は、エアチューブ５３が１本のチューブで構成される場合、設けられなくてもよい。
【0091】
移載装置２０は、ガイド６０を有さなくてもよい。この場合、移動部４０は、例えば移動板４１の前側にＹ方向に延在する把手部材を有していてもよい。把手部材は、移動板４１が開口領域１４ａの直下に移動可能な長さを有する。移載対象の棚１１に対して容器９を移載する場合、作業者は、把手部材を把持して移動部４０及び昇降部５０をＹ方向に沿って移動させる。ガイド６０のリニアガイド６１は、Ｙ方向に延在する１又は複数の長尺上の部材から構成されていてもよい。ガイド６０は、開口領域１４ａの直下の空間１９まで延在していなくてもよい。この場合、移動部４０の移動板４１が開口領域１４ａの直下の空間１９に移動可能で、且つ、移動板４１が容器９を支持可能なように、移動部４０におけるスライダ４５の位置を調整し、スライダ４５から後側に延在する移動板４１のＹ方向における長さを調整してもよい。
【0092】
移載装置２０は、１対のアタッチメント７０を有さなくてもよい。この場合、本体部３０は、１対のアタッチメント７０を介さず取付部１５に前側から直接取り付けられる。例えば、本体部３０の各支持部３１は、Ｙ方向における後側、且つ、Ｘ方向における外側の側面に小穴を有してもよい。作業者は、アタッチメント固定具８３を各取付部１５及び各支持部３１の小穴に嵌入させることにより本体部３０を取付部１５に前側から直接取り付けてもよい。アタッチメント７０は、１対でなくてもよい。この場合、移載装置２０は、例えば、１つのアタッチメント７０を有し、本体部３０は、係合凹部３３を１つ有している。各アタッチメント７０は、Ｚ方向において、本体部３０より上方に位置する取付部１５と接続してもよい。この場合、接続部８０の接続板８１の下端と延在部９０の延在板９１の後側の端部とが接続し、補強部９９は、接続部８０の接続板８１の上端と延在部９０の延在板９１の前側の端部とを結ぶように配置されている。接続板８１は、Ｘ方向において、取付部１５及び壁当て部８２に対して外側に設けられてもよい。アタッチメント固定具８３は、１対のアタッチメント７０のそれぞれに１つだけ設けられていてもよい。接続部８０の接続板８１の上端と延在部９０の延在板９１の後側の端部とが接続している場合、１つのアタッチメント固定具８３が接続板８１の上部に嵌入している。接続部８０の接続板８１の下端と延在部９０の延在板９１の後側の端部とが接続している場合、１つのアタッチメント固定具８３が接続板８１の下部に嵌入している。
【0093】
１対のアタッチメント７０のそれぞれには、複数の係合凸部９２をＹ方向に設けてもよい。この場合、係合凸部９２は、Ｙ方向に延在する部材であり、複数の係合凸部９２は、Ｙ方向において間隔をあけて設けられている。本体部３０の各係合凹部３３は、Ｙ方向において複数の係合凸部９２とそれぞれ係合することで、本体部３０を水平に支持する。１対の係合凸部９２は、Ｘ方向において延在板９１の外側に設けられ、Ｙ方向に延在する凸部であってもよい。この場合、本体部３０の１対の係合凹部３３は、１対の係合凸部９２の外側において接続される。各支持部材３２ａは、各係合凸部９２の外側に設けられ、各支持部材３２ａは、各アタッチメント７０の延在板９１の上方又は下方において延在する。高さ調整台９６のねじ穴の数及び高さ調整ねじ９７の数は、それぞれ１つずつであってもよい。各アタッチメント７０は、補強部９９を含まなくてもよい。接続板８１、延在板９１及び補強部９９に囲まれた領域は開口していなくてもよい。各アタッチメント７０において、接続板８１、延在板９１及び補強部９９は、１枚の板状の部材で構成されていなくてもよく、複数の板状の部材で構成されていてもよい。
【0094】
移載方法は、１対のアタッチメント７０の取付作業（Ｓ２１０）を含まなくてもよい。この場合、第２ステップとして、作業者は、本体部３０を１対のアタッチメント７０を介さず取付部１５に前側から直接取り付ける。移載方法は、本体部３０を１対のアタッチメント７０から取り外す作業、又は、取付部１５から１対のアタッチメント７０を取り外す作業を含んでもよい。移載方法において、移載対象の棚１１に移動板４１を移動させる場合に、移動板４１の全部が空間１９の内部に挿入されなくてもよい。移載対象の棚１１に対して容器９を搬出する場合の移動部４０の移動作業（Ｓ２３０）において、移動板４１は、少なくとも容器９の重心より後側に挿入される。移載対象の棚１１に対して容器９を搬入する場合の移動部４０の移動作業において、移動板４１は、移動板４１上に載置された容器９の前側の端部が取付部１５より後側に位置するように挿入される。
【符号の説明】
【0095】
１…移載システム、９…容器、９ｂ…底部、１０…収納装置、１１…棚、１４…載置部、１４ａ…開口領域、１５…取付部、２０…移載装置、３０…本体部、４０…移動部、５０…昇降部、６０…ガイド、６１…リニアガイド、７０…アタッチメント、８０…接続部、９０…延在部、９９…補強部、１００…収納システム。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】