第２ワークは、その中心位置から外側に向かって順に第１ワークに貼り合わされることが理想であり、これにより、第１ワークと第２ワークの間に空気が入り込むことが抑制される。しかしながら、特許文献１の構成においては、空圧凹部の内部空間は真空状態から大気圧となるように加圧されるため、ダイヤフラム膜は急激に膨張する。このため、ダイヤフラム膜により第２ワークが押される位置及び範囲を規定することが困難であった。例えば、図６に模式的に示すように、膨張する過程でダイヤフラム膜１２２が波打つと、ダイヤフラム膜１２２は第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２にて第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押す。この場合、第２ワークＷ２が第１ワークＷ１に対して撓んだ状態となり、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むおそれがあった。

目的を達成するため、本発明の第１の観点に係るワーク貼合装置は、第１内部空間を有する第１チャンバと、第１ワークが設置される第２内部空間を有し、前記第１チャンバと対向する位置に設けられる第２チャンバと、前記第１内部空間を閉じるように前記第１チャンバに装着され、前記第１内部空間の加圧に伴い膨張することにより第２ワークを前記第１ワークに向けて押すダイヤフラム膜と、前記ダイヤフラム膜と前記第２ワー・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る