特許 7273162出願番号特願 2021-538724
リソグラフィ投影対物レンズ

出願人シャンハイ　マイクロ　エレクトロニクス　イクイプメント　カンパニー　リミティド（識別番号 309012351）

2026年特許公開件数ランキング 28416位 0件（※）

2026年特許取得件数ランキング 23267位 0件（※）

公報発行日　2023年5月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7273162　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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出願日が２０１８年１２月３０日、出願番号が２０１８１１６４８６５２．０号中国専利出願の優先権を主張し、該発明の全部内容を参照によって本発明に援用される。

【図1】本発明の実施例に係るリソグラフィ投影対物レンズの構造模式図である。

【図2】本発明の実施例に係る平行平板の光路模式図である。

【図3】図１に示すリソグラフィ投影対物レンズの視野内の波面収差分布図である。

【図4】図１に示すリソグラフィ投影対物レンズの視野の重心歪み分布図である。

【図5】本発明の実施例に係る他のリソグラフィ投影対物レンズの構造模式図である。

【図6】図５に示すリソグラフィ投影対物レンズの視野内の波面収差分布図である。

【図7】図５に示すリソグラフィ投影対物レンズの視野の重心歪み分布図である。

【図8】本発明の実施例に係る他のリソグラフィ投影対物レンズの構造模式図である。

【図9】図８に示すリソグラフィ投影対物レンズの視野内の波面収差分布図である。

【図10】図８に示すリソグラフィ投影対物レンズの視野の重心歪み分布図である。

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