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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-05-08
(45)【発行日】2023-05-16
(54)【発明の名称】アイソレーター装置、及びフィルター部を取り付ける方法
(51)【国際特許分類】
B01D 46/00 20220101AFI20230509BHJP
B01L 1/00 20060101ALI20230509BHJP
F24F 7/06 20060101ALI20230509BHJP
【ＦＩ】
B01D46/00 C
B01L1/00 D
F24F7/06 C
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2019121142
(22)【出願日】2019-06-28
(65)【公開番号】P2021006338
(43)【公開日】2021-01-21
【審査請求日】2022-03-08
(73)【特許権者】
【識別番号】000152181
【氏名又は名称】株式会社奈良機械製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100127306
【弁理士】
【氏名又は名称】野中 剛
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 昌文
(72)【発明者】
【氏名】烝原 健一
【審査官】谷本 怜美
(56)【参考文献】
【文献】実開昭６２－０１３５２０（ＪＰ，Ｕ）
【文献】実開昭５８－０１４９２９（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開平０４－１０６２８３（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１１／０２９０１２０（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ０１Ｄ ４６／００－４９／９０
Ｂ０１Ｌ １／００
Ｆ２４Ｆ ７／０６
Ｂ２５Ｊ ２１／０２
Ｃ１２Ｍ １／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ケーシングと、押し当て部材と、ボルトと、ボルト支持体とを有するフィルター収容部と、前記フィルター収容部が天井部に取り付けられるアイソレーター本体とを備え、
前記ボルト支持体は、前記ケーシングに対して直接又は間接的に固定され、
前記ボルトは、先端部と、ネジ山が形成された軸部と、頭部とを有し、
前記ボルトは、前記ボルト支持体を貫通して前記ボルト支持体にネジ止め可能であり、
前記先端部は、前記押し当て部材の穴を遊貫し、
前記ボルト支持体に対して前記ボルトを締めることで、前記ボルトに設けられた押さえ部が、前記押し当て部材を介して、フィルター本体を含むフィルター部を押し上げ、前記ケーシング又はケーシング内の仕切り部材と前記押し当て部材によって前記フィルター部が挟持され、
前記ケーシングの内側には、前記フィルター部の位置決め部材が設けられ、
前記位置決め部材は、前記フィルター部を所定の位置に誘導する斜面を有し、
前記斜面は、前記フィルター部と対向することを特徴とするアイソレーター装置。
【請求項2】
前記押し当て部材は、断面が溝形の形状を有することを特徴とする請求項１に記載のアイソレーター装置。
【請求項3】
前記押し当て部材は、断面がリップ溝形の形状を有することを特徴とする請求項１に記載のアイソレーター装置。
【請求項4】
１つの前記押し当て部材が、１つの前記フィルター部を押し上げることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のアイソレーター装置。
【請求項5】
前記位置決め部材は、前記仕切り部材に取り付けられることを特徴とする請求項１～４の何れか１項に記載のアイソレーター装置。
【請求項6】
前記位置決め部材は、樹脂プレートであることを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載のアイソレーター装置。
【請求項7】
前記位置決め部材を挟む位置関係で、複数の前記フィルター部が挟持されることを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載のアイソレーター装置。
【請求項8】
前記押し当て部材は、棒状部材であり、前記押し当て部材の穴としての第１ダルマ穴と第２ダルマ穴を有することを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載のアイソレーター装置。
【請求項9】
前記第１ダルマ穴の脱着穴と締付穴が並べられる方向と、前記第２ダルマ穴の脱着穴と締付穴が並べられる方向は、略直交することを特徴とする請求項８に記載のアイソレーター装置。
【請求項10】
前記先端部は、先端皿部と先端円筒部とを有し、前記先端皿部の直径は、前記第１ダルマ穴及び前記第２ダルマ穴の締付穴の直径よりも大きく、前記第１ダルマ穴及び前記第２ダルマ穴の脱着穴の直径よりも小さく、
前記先端円筒部の直径は、前記第１ダルマ穴及び前記第２ダルマ穴の締付穴の直径よりも小さいことを特徴とする請求項９に記載のアイソレーター装置。
【請求項11】
前記フィルター本体は、ＨＥＰＡフィルターを含むことを特徴とする請求項１～１０のいずれか１項に記載のアイソレーター装置。
【請求項12】
前記押さえ部は、前記軸部の先端部側の端部、又前記軸部の先端部側の端部に設けられた部材であって、前記先端部に貫通され軸部の端部に配置された部材、若しくは前記軸部の先端部側の端部に設けられた部材であって、前記軸部の先端部側端部に一体的に形成された部材であることを特徴とする、請求項１～１１のいずれか１項に記載のアイソレーター装置。
【請求項13】
ケーシングと、押し当て部材と、ボルトと、ボルト支持体とを備えたフィルター収容部に、フィルター本体を含むフィルター部を取り付ける方法であって、前記ボルト支持体は、前記ケーシングに対して直接又は間接的に固定され、
前記ボルトは、先端部と、ネジ山が形成された軸部と、頭部とを有し、
前記ボルトは、前記ボルト支持体を貫通して前記ボルト支持体にネジ止め可能であり、
前記先端部は、前記押し当て部材の穴を遊貫し、
前記フィルター収容部は、アイソレーター本体の天井部に取り付けられ、
前記ケーシングの内側には、前記フィルター部の位置決め部材が設けられ、
前記ケーシング若しくは前記ケーシングに取り付けられた部材と、前記押し当て部材の間に、前記フィルター部を配置させる第１ステップと、
前記ボルト支持体に対して前記ボルトを締めることで、前記ボルトに設けられた押さえ部が、前記押し当て部材を介して、前記フィルター部を押し上げ、前記ケーシング又はケーシング内の仕切り部材と前記押し当て部材によって前記フィルター部が挟持される第２ステップとを備え、
前記位置決め部材は、前記第２ステップにおいて、前記フィルター部を所定の位置に誘導する斜面を有し、
前記斜面は、前記フィルター部と対向することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、フィルター収容部などに関する。
【背景技術】
【0002】
医薬品原薬をはじめとする高活性物質や毒性物質、又は放射性物質等の危険物質を取り扱う際、作業員の安全性を確保するために、各種の処理を行う装置を外界から隔離したボックス内に封じ込めて、計量、小分け、充填、分析から、粉砕、混合、造粒、乾燥などのあらゆるプロセスの作業が行われている。
【0003】
外界から隔離された状況下でも前述の作業が可能となるように、チャンバーの正面等に筒状のグローブポートを設け、グローブポートを通して、チャンバーの内部に手が入れられるように設計されたアイソレーター装置が用いられている。
【0004】
アイソレーター装置には、フィルター部を有する吸気系ユニットなどを設ける必要がある。フィルター部には高性能のＨＥＰＡフィルターが用いられるが、フィルターの濾過面積を確保するため、フィルター部は一定以上の大きさが必要である。
フィルター部は長期間使用すると目詰まりするので定期的に交換する必要がある。
フィルター部は長期間使用すると目詰まりするので定期的に交換する必要がある。
【0005】
特許文献１は、吸気系ユニットを上方に設けたアイソレーター装置を開示している。しかしながら、特許文献１には吸気系ユニットのフィルター部の着脱に関する詳細は開示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１２－００５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明の目的は、フィルター交換に関わる操作を片手で実行可能とすることで、設置場所を問わずに簡単にフィルター部の取り付けが可能なフィルター収容部などを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明に係るフィルター収容部は、ケーシングと、押し当て部材と、ボルトと、ボルト支持体とを備える。ボルト支持体は、ケーシングに対して直接又は間接的に固定される。ボルト支持体は、ケーシングに対する配置が固定されていればよく、ケーシングの内壁やフランジに直接固定してもよいし、フランジ以外の被締結体（不図示）に固定してもよい。ボルトは、先端部と、ネジ山が形成された軸部と、頭部とを有する。ボルトは、ボルト支持体を貫通してボルト支持体にネジ止め可能である。先端部は、押し当て部材の穴を遊貫する。ボルト支持体に対してボルトを締めることで、ボルトに設けられた押さえ部が、押し当て部材を介して、フィルター本体を含むフィルター部を押し込み、ケーシング又はケーシング内に設けられた仕切り部材と押し当て部材によってフィルター部が挟持される。
【0009】
押さえ部は、（ア）軸部の先端部側の端部、又は（イ）軸部の先端部側端部に設けられた部材であって、先端部に貫通され軸部の端部に配置された部材、若しくは（ウ）軸部の先端部側端部に設けられた部材であって、軸部の先端部側端部に一体的に形成された部材のいずれかであって、押し当て部材を押し上げる。
（イ）及び（ウ）の場合、押さえ部はリング形状の押さえリングとしてもよい。
（イ）及び（ウ）の場合、押さえ部はリング形状の押さえリングとしてもよい。
【0010】
ノブなどの頭部を取り付けたボルトの締め付けにより、押し当て部材を移動させて、フィルター部を挟持させるので、片手でもフィルター部の取り付けができる。
このため、作業者から見えにくい場所など設置場所を問わずに簡単にフィルター部の取り付けが可能になる。
このため、作業者から見えにくい場所など設置場所を問わずに簡単にフィルター部の取り付けが可能になる。
【0011】
押し当て部材は、押し当て部材の穴を遊貫したボルト先端部がフィルター本体に直接接触しないように、略中空四角柱の外径を有する（一部が開口していてもよい）。
【0012】
好ましくは、押し当て部材は、断面が溝形の形状を有する。
また、好ましくは、押し当て部材は、断面がリップ溝形の形状を有する。
また、押し当て部材は、断面が四角状のパイプ形状としてもよい。
また、好ましくは、押し当て部材は、断面がリップ溝形の形状を有する。
また、押し当て部材は、断面が四角状のパイプ形状としてもよい。
【0013】
押し当て部材が、フィルター部のフィルター本体と接触せずに、フィルター部の枠体に接触するので、押し当て部材がフィルター本体を傷つけずに、押し込むことが可能になる。
【0014】
さらに好ましくは、ケーシングの内側には、フィルター部の位置決め部材を有する。
【0015】
位置決め部材により、フィルター部が見えない箇所でも、所定の位置にフィルター部を誘導することが可能になる。
【0016】
さらに好ましくは、位置決め部材のフィルター部と対向する面は、フィルター部を所定の位置に誘導する。
【0017】
さらに好ましくは、位置決め部材は、樹脂プレートである。
【0018】
位置決め部材が樹脂で構成されることにより、フィルター部が接触する際に、ダメージを与えにくい。
【0019】
さらに好ましくは、位置決め部材を挟む位置関係で、複数のフィルター部が挟持される。
【0020】
複数のフィルター部を設けることにより、濾過面積を大きく出来る。
また、複数の押し当て部材の間のスペースを使って、フィルター部をフィルター収容部の内側に収納させることが出来る。
また、複数の押し当て部材の間のスペースを使って、フィルター部をフィルター収容部の内側に収納させることが出来る。
【0021】
さらに好ましくは、押し当て部材は、棒状部材であり、押し当て部材の穴としての第１ダルマ穴と第２ダルマ穴を有する。第１ダルマ穴の脱着穴と締付穴が並べられる方向と、第２ダルマ穴の脱着穴と締付穴が並べられる方向は、略直交する。
【0022】
略直交する２つのダルマ穴を使って、押し当て部材のボルトからの不必要な外れ防止と簡易着脱とが可能になる。
【0023】
さらに好ましくは、先端部は、先端皿部と先端円筒部とを有する。先端皿部の直径は、第１ダルマ穴及び第２ダルマ穴の締付穴の直径よりも大きく、第１ダルマ穴及び第２ダルマ穴の脱着穴の直径よりも小さい。先端円筒部の直径は、第１ダルマ穴及び第２ダルマ穴の締付穴の直径よりも小さい。
【0024】
さらに好ましくは、フィルター本体は、ＨＥＰＡフィルターを含む。
【0025】
さらに好ましくは、フィルター収容部は、アイソレーター本体の天井部に設けられる。
【0026】
さらに好ましくは、押さえ部は、軸部の先端部と接する側、若しくは、先端部が貫通し軸部の先端部と接する側に取り付けられた部材、若しくは軸部の先端部と接する側に一体的に形成された部材である。
【0027】
本発明に係るアイソレーター装置は、ケーシングと、押し当て部材と、ボルトと、ボルト支持体とを有するフィルター収容部と、フィルター収容部が取り付けられるアイソレーター本体とを備える。ボルト支持体は、ケーシングに対して直接又は間接的に固定される。ボルトは、先端部と、ネジ山が形成された軸部と、頭部とを有する。ボルトは、ボルト支持体を貫通してボルト支持体にネジ止め可能である。先端部は、押し当て部材の穴を遊貫する。ボルト支持体に対してボルトを締めることで、ボルトに設けられた押さえ部が、押し当て部材を介して、フィルター本体を含むフィルター部を押し込み、ケーシング又はケーシング内に設けられた仕切り部材と押し当て部材によってフィルター部が挟持される。
【0028】
本発明に係る方法は、ケーシングと、押し当て部材と、ボルトと、ボルト支持体とを備えたフィルター収容部に、フィルター本体を含むフィルター部を取り付ける方法である。ボルト支持体は、ケーシングに対して直接又は間接的に固定される。ボルトは、先端部と、ネジ山が形成された軸部と、頭部とを有する。ボルトは、ボルト支持体を貫通してボルト支持体にネジ止め可能である。先端部は、押し当て部材の穴を遊貫する。本発明に係る方法は、ケーシング又はケーシング内に設けられた仕切り部材と、押し当て部材の間に、前フィルター部を配置させる第１ステップと、ボルト支持体に対してボルトを締めることで、ボルトに設けられた押さえ部が、押し当て部材を介して、フィルター部を押し込み、ケーシング又はケーシング内に設けられた仕切り部材と押し当て部材によってフィルター部が挟持される第２ステップとを備える。
【発明の効果】
【0029】
以上のように本発明によれば、設置場所を問わずに簡単にフィルター部の取り付けが可能なフィルター収容部などを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0030】
【図1】本実施形態のアイソレーター装置の正面図である。
【図2】アイソレーター装置の側面図である。
【図3】ダクトとフィルター収容部とフィルター部の下方からの分解斜視図である。
【図4】押し当て部材が取り付けられる前の状態を示すフィルター収容部の下方からの斜視図である。
【図5】一方の押し当て部材が取り付け途中の状態で、他方の押し当て部材の取り付け完了した状態を示すフィルター収容部の下方からの斜視図である。
【図6】押し当て部材にフィルター部が載置され、押し込みが行われる前の状態を示すフィルター収容部の下方からの斜視図である。
【図7】押し当て部材によるフィルター部の押し込みが完了した状態を示すフィルター収容部の下方からの斜視図である。
【図8】ケーシングのフランジにボルト支持体（ブラケット）が取り付けられ、ボルト支持体（ブラケット）にボルトが取り付けられた状態を示す、フィルター収容部のｙ方向後方の断面構成図である。
【図15】ボルトの各部と、ボルト支持体（第２ブラケット）のネジ穴と、押さえ部（押さえリング）と、押し当て部材の第２締付穴及び第２脱着穴の寸法を示す上方からの分解斜視図である。
【図16】２つのボルトと、ボルト支持体（第１ブラケット）と、ボルト支持体（第２ブラケット）と、２つの押さえリングと、押し当て部材の上方からの分解斜視図である。
【図17】ボルト支持体（第１ブラケット）及びボルト支持体（第２ブラケット）にボルトが取り付けられた状態を示す上方からの斜視図である。
【図23】押さえリングが押さえ部として機能する形態の、押さえリングとボルトをｙ方向から見た図である。
【図24】軸部が押さえ部として機能する形態のボルトをｙ方向から見た図である。
【図25】軸部が押さえ部として機能する形態で、先端皿部を省略したボルトをｙ方向から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【0031】
以下、本実施形態について、図を用いて説明する（図１～図２５参照）。
なお、実施形態は、以下の実施形態に限られるものではない。また、一つの実施形態に記載した内容は、原則として他の実施形態にも同様に適用される。また、各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが出来る。
なお、実施形態は、以下の実施形態に限られるものではない。また、一つの実施形態に記載した内容は、原則として他の実施形態にも同様に適用される。また、各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが出来る。
【0032】
方向を説明するために、グローブポート３３が並べられる水平方向（左右方向）をｘ方向とし、ｘ方向と垂直な方向（前後方向）をｙ方向、ｘ方向及びｙ方向に対して垂直な方向（上下方向）をｚ方向として説明する。
図３において、ｘｙｚ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ左方向、前方向、上方向と定義する。
図３において、ｘｙｚ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ左方向、前方向、上方向と定義する。
【0033】
図１と図２は、アイソレーター装置１の全体図である。
図３～図７は、フィルター収容部５５とフィルター部５７の下方から見た斜視図である。
図８～図１４は、フィルター収容部５５とフィルター部５７のｙ方向後方の断面構成図である。
図１５～図２２は、押し当て部材５５ｅ、ボルト５５ｆ、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇ、押さえリング５５ｈ１の上方から見た斜視図で、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇが取り付けられるケーシング５５ａのフランジ５５ａ３の図示は省略している。
また、図１７と図１８では、ボルト５５ｆのボルト受け面５５ｇｃで隠れる部分を点線で示している。
図２３～図２５は、ボルト５５ｆをｙ方向から見た図で、押さえ部５５ｈの構成の違いを示すものである。図１～図２２は、このうち、図２３で示された押さえリング５５ｈ１が押さえ部５５ｈとして機能する形態を説明する。ただし、後述するように、押さえリング５５ｈ１を用いずに、軸部５５ｆ３の先端部側が押さえ部５５ｈとして機能する形態であってもよい。
図３～図７は、フィルター収容部５５とフィルター部５７の下方から見た斜視図である。
図８～図１４は、フィルター収容部５５とフィルター部５７のｙ方向後方の断面構成図である。
図１５～図２２は、押し当て部材５５ｅ、ボルト５５ｆ、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇ、押さえリング５５ｈ１の上方から見た斜視図で、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇが取り付けられるケーシング５５ａのフランジ５５ａ３の図示は省略している。
また、図１７と図１８では、ボルト５５ｆのボルト受け面５５ｇｃで隠れる部分を点線で示している。
図２３～図２５は、ボルト５５ｆをｙ方向から見た図で、押さえ部５５ｈの構成の違いを示すものである。図１～図２２は、このうち、図２３で示された押さえリング５５ｈ１が押さえ部５５ｈとして機能する形態を説明する。ただし、後述するように、押さえリング５５ｈ１を用いずに、軸部５５ｆ３の先端部側が押さえ部５５ｈとして機能する形態であってもよい。
【0034】
（アイソレーター装置１）
図１と図２に示すように、本実施形態のアイソレーター装置１は、架台１０、アイソレーター本体３０、吸気系ユニット５０を備える。
本実施形態では、アイソレーター装置１にフィルター収容部５５が設けられる例を示すが、フィルター収容部５５は、フィルター部５７を用いる吸気系ユニットだけでなく排気系ユニットを含む他の装置に設けられてもよい。
図１と図２に示すように、本実施形態のアイソレーター装置１は、架台１０、アイソレーター本体３０、吸気系ユニット５０を備える。
本実施形態では、アイソレーター装置１にフィルター収容部５５が設けられる例を示すが、フィルター収容部５５は、フィルター部５７を用いる吸気系ユニットだけでなく排気系ユニットを含む他の装置に設けられてもよい。
【0035】
（架台１０）
架台１０は、アイソレーター本体３０を保持する。
架台１０の内部には、アイソレーター本体３０内に設置した機械を駆動するための電機部品などが配置されてもよい。
架台１０は、アイソレーター本体３０を保持する。
架台１０の内部には、アイソレーター本体３０内に設置した機械を駆動するための電機部品などが配置されてもよい。
【0036】
（アイソレーター本体３０）
アイソレーター本体３０は、架台１０のｚ方向上方に設けられる。
アイソレーター本体３０の内部には、小型の作業室としてのチャンバーが形成される。
アイソレーター本体３０のチャンバーの前面には、透明の操作パネル３１と、操作を行うための各種グローブポート３３が設けられる。
作業者は、アイソレーター本体３０のチャンバーの外部からグローブポート３３を介して作業を行う。
アイソレーター本体３０の上面３５には、吸気用の開口３５ａが設けられ、吸気用の開口３５ａに、フィルター収容部５５を含む吸気系ユニット５０が連通する。
アイソレーター本体３０は、架台１０のｚ方向上方に設けられる。
アイソレーター本体３０の内部には、小型の作業室としてのチャンバーが形成される。
アイソレーター本体３０のチャンバーの前面には、透明の操作パネル３１と、操作を行うための各種グローブポート３３が設けられる。
作業者は、アイソレーター本体３０のチャンバーの外部からグローブポート３３を介して作業を行う。
アイソレーター本体３０の上面３５には、吸気用の開口３５ａが設けられ、吸気用の開口３５ａに、フィルター収容部５５を含む吸気系ユニット５０が連通する。
【0037】
（吸気系ユニット５０）
図３～図７に示すように、吸気系ユニット５０は、ダクト５１、フード５３、フィルター収容部５５、フィルター部５７を有する。
吸気系ユニット５０は、アイソレーター装置１が設置された部屋の外からの空気をアイソレーター装置１の内部に取り入れる（吸気する）ために使用される。
吸気は、アイソレーター装置１の内部が負圧になったときに自然により行われる形態であってもよいし、不図示のブロアなどにより強制的に吸引する形態であってもよい。
図３～図７に示すように、吸気系ユニット５０は、ダクト５１、フード５３、フィルター収容部５５、フィルター部５７を有する。
吸気系ユニット５０は、アイソレーター装置１が設置された部屋の外からの空気をアイソレーター装置１の内部に取り入れる（吸気する）ために使用される。
吸気は、アイソレーター装置１の内部が負圧になったときに自然により行われる形態であってもよいし、不図示のブロアなどにより強制的に吸引する形態であってもよい。
【0038】
なお、フィルター収容部５５は、吸気系ユニット、排気系ユニットのいずれにも用いることができる。
【0039】
取り外したフィルター部５７は、バグイン・バグアウト・ポート（不図示）から装置外に取り出すことができる。
【0040】
（ダクト５１）
ダクト５１の一方の端部は、アイソレーター装置１が設置された部屋の外部に配置される。
図１～図７に示すように、ダクト５１の他方の端部は、フード５３の一方の端部と連通する。
ダクト５１は、フェルールエルボ５１ａやフェルール５１ｂ又は複数の管を、クランプ５１ｃと不図示のガスケットを介してつなぎ合わせて構成される。
ダクト５１には、ダクト５１の内部を流れる空気の流量を調整するためのバルブ５１ｄが設けられる（図２参照）。
ダクト５１の一方の端部は、アイソレーター装置１が設置された部屋の外部に配置される。
図１～図７に示すように、ダクト５１の他方の端部は、フード５３の一方の端部と連通する。
ダクト５１は、フェルールエルボ５１ａやフェルール５１ｂ又は複数の管を、クランプ５１ｃと不図示のガスケットを介してつなぎ合わせて構成される。
ダクト５１には、ダクト５１の内部を流れる空気の流量を調整するためのバルブ５１ｄが設けられる（図２参照）。
【0041】
（フード５３）
図２～図４に示すように、フード５３は、略中空四角錐台の外形を有する。
フード５３の略中空四角錐台の上面と下面は、ｚ方向に並べられ、斜面の一対は、ｘ方向に並べられ、斜面の他の一対はｙ方向に並べられる。
フード５３の略中空四角錐台の上面と下面は開口する。
フード５３は、一方の端部（略中空四角錐台の上面側）から他方の端部（略中空四角錐台の下面側）にかけて、ｘｙ断面の開口面積が大きくなるように形成される。
フード５３の一方の端部は、ダクト５１の他方の端部と連通する。
フード５３の他方の端部は、フィルター収容部５５のケーシング５５ａと連通する。
図２～図４に示すように、フード５３は、略中空四角錐台の外形を有する。
フード５３の略中空四角錐台の上面と下面は、ｚ方向に並べられ、斜面の一対は、ｘ方向に並べられ、斜面の他の一対はｙ方向に並べられる。
フード５３の略中空四角錐台の上面と下面は開口する。
フード５３は、一方の端部（略中空四角錐台の上面側）から他方の端部（略中空四角錐台の下面側）にかけて、ｘｙ断面の開口面積が大きくなるように形成される。
フード５３の一方の端部は、ダクト５１の他方の端部と連通する。
フード５３の他方の端部は、フィルター収容部５５のケーシング５５ａと連通する。
【0042】
（フィルター収容部５５）
図３～図７に示すように、フィルター収容部５５は、ケーシング５５ａ、ガスケット５５ｂ、仕切り部材５５ｃ、位置決め部材５５ｄ、押し当て部材５５ｅ、ボルト５５ｆ、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇ、押さえリング５５ｈ１を有する。
フィルター収容部５５は、図１と図２に示すように、アイソレーター本体３０の天井部に設けられる。
本実施形態の押し当て部材５５ｅなどで保持した状態でフィルター部５７を脱着させる構成は、アイソレーター本体３０の天井部に配置された場合に効果的であるが、側部や下部にフィルター収容部５５が設けられる形態であってもよい。
図３～図７に示すように、フィルター収容部５５は、ケーシング５５ａ、ガスケット５５ｂ、仕切り部材５５ｃ、位置決め部材５５ｄ、押し当て部材５５ｅ、ボルト５５ｆ、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇ、押さえリング５５ｈ１を有する。
フィルター収容部５５は、図１と図２に示すように、アイソレーター本体３０の天井部に設けられる。
本実施形態の押し当て部材５５ｅなどで保持した状態でフィルター部５７を脱着させる構成は、アイソレーター本体３０の天井部に配置された場合に効果的であるが、側部や下部にフィルター収容部５５が設けられる形態であってもよい。
【0043】
（ケーシング５５ａ）
図３～図７に示すように、ケーシング５５ａは、略中空四角柱の外形を有する。
ケーシング５５ａの略中空四角柱の上面と下面は、ｚ方向に並べられ、側面の一対は、ｘ方向に並べられ、側面の他の一対はｙ方向に並べられる。
ケーシング５５ａの略中空四角柱の上面と下面は開口する。
ケーシング５５ａの略中空四角柱の上面の開口には、後述する仕切り部材５５ｃにより、２つの開口（第１開口５５ａ１、第２開口５５ａ２）が形成される。
ケーシング５５ａは、一方の端部（略中空四角柱の上面側）から他方の端部（略中空四角柱の下面側）にかけて、ｘｙ断面の開口面積が略一定となるように形成される。
図３～図７に示すように、ケーシング５５ａは、略中空四角柱の外形を有する。
ケーシング５５ａの略中空四角柱の上面と下面は、ｚ方向に並べられ、側面の一対は、ｘ方向に並べられ、側面の他の一対はｙ方向に並べられる。
ケーシング５５ａの略中空四角柱の上面と下面は開口する。
ケーシング５５ａの略中空四角柱の上面の開口には、後述する仕切り部材５５ｃにより、２つの開口（第１開口５５ａ１、第２開口５５ａ２）が形成される。
ケーシング５５ａは、一方の端部（略中空四角柱の上面側）から他方の端部（略中空四角柱の下面側）にかけて、ｘｙ断面の開口面積が略一定となるように形成される。
【0044】
ケーシング５５ａの略中空四角柱の下面、すなわちアイソレーター本体３０の上面３５の開口３５ａと対向する側には、ｚ方向と直交する面を含むフランジ５５ａ３が設けられる。
ケーシング５５ａの一方の端部は、フード５３の他方の端部と連通する。
ケーシング５５ａの他方の端部は、アイソレーター本体３０の上面３５の開口３５ａと連通する。
具体的には、図８～図１４に示すように、ケーシング５５ａのフランジ５５ａ３の上面が、ネジ止めなどにより、ガスケット５５ｂを介して、アイソレーター本体３０の上面３５の下側に取り付けられる。
ケーシング５５ａの一方の端部は、フード５３の他方の端部と連通する。
ケーシング５５ａの他方の端部は、アイソレーター本体３０の上面３５の開口３５ａと連通する。
具体的には、図８～図１４に示すように、ケーシング５５ａのフランジ５５ａ３の上面が、ネジ止めなどにより、ガスケット５５ｂを介して、アイソレーター本体３０の上面３５の下側に取り付けられる。
【0045】
（フード５３とケーシング５５ａ）
フード５３とケーシング５５ａとは、別体で構成されてもよいし、一体で構成されてもよい。別体で構成された場合には、フード５３がケーシング５５ａに取り付けられる。一体で構成される場合は、ケーシング５５ａがフード５３を含む。
フード５３とケーシング５５ａとは、別体で構成されてもよいし、一体で構成されてもよい。別体で構成された場合には、フード５３がケーシング５５ａに取り付けられる。一体で構成される場合は、ケーシング５５ａがフード５３を含む。
【0046】
【0047】
（仕切り部材５５ｃ）
図３～図１４に示すように、ケーシング５５ａの略中空四角柱の上面には、仕切り部材５５ｃが設けられる。
仕切り部材５５ｃは、ケーシング５５ａに取り付けられる。
仕切り部材５５ｃは、略矩形形状の外形を有し、略矩形形状の開口部を含む。
図３～図１４に示すように、ケーシング５５ａの略中空四角柱の上面には、仕切り部材５５ｃが設けられる。
仕切り部材５５ｃは、ケーシング５５ａに取り付けられる。
仕切り部材５５ｃは、略矩形形状の外形を有し、略矩形形状の開口部を含む。
【0048】
フィルターの通気は仕切り部材５５ｃの開口部で行われる。開口部は複数設けてもよい。仕切り部材５５ｃにｘ方向に並べられた２つの開口部を設け、それぞれの開口部に対して１つずつ、計２つのフィルター部５７を収容してもよい。
仕切り部材５５ｃはケーシング５５ａと別体で構成されてもよいし、ケーシング５５ａと一体で構成されてもよい。仕切り部材５５ｃが、フード５３又はケーシング５５ａと別体で構成される場合は、ケーシング５５ａ側にスタッドボルトを設けてガスケットを介して、仕切り部材５３ｃをナットで固定することで密閉性を確保する。仕切り部材５５ｃをケーシング５５ａに溶接して、一体で構成することもできる。一体で構成される場合は、ケーシング５５ａが仕切り部材５５ｃを含む。
仕切り部材５５ｃはケーシング５５ａと別体で構成されてもよいし、ケーシング５５ａと一体で構成されてもよい。仕切り部材５５ｃが、フード５３又はケーシング５５ａと別体で構成される場合は、ケーシング５５ａ側にスタッドボルトを設けてガスケットを介して、仕切り部材５３ｃをナットで固定することで密閉性を確保する。仕切り部材５５ｃをケーシング５５ａに溶接して、一体で構成することもできる。一体で構成される場合は、ケーシング５５ａが仕切り部材５５ｃを含む。
【0049】
（位置決め部材５５ｄ）
図３～図１４に示すように、仕切り部材５５ｃに、ｘ方向に並べられた２つの開口部を設け、仕切り部材５５ｃの下面側すなわち、アイソレーター本体３０の上面３５の開口３５ａに近い側の、２つの開口部の間に位置決め部材５５ｄが設けられる。
位置決め部材５５ｄは後述するフィルター部５７を所定の位置に誘導するために使用される。
図３～図１４に示すように、仕切り部材５５ｃに、ｘ方向に並べられた２つの開口部を設け、仕切り部材５５ｃの下面側すなわち、アイソレーター本体３０の上面３５の開口３５ａに近い側の、２つの開口部の間に位置決め部材５５ｄが設けられる。
位置決め部材５５ｄは後述するフィルター部５７を所定の位置に誘導するために使用される。
【0050】
位置決め部材５５ｄは、略台形柱の外形を有する。特に、ｘｚ断面が等脚台形であるのが好ましい。
位置決め部材５５ｄの略台形柱の上面すなわち平行する二面のうち面積が広い方は、仕切り部材５５ｃに取り付けられる。
位置決め部材５５ｄの略台形柱は、上面から下面にかけてｘｙ断面積が小さくなり、ｘ方向に並べられた１対の側面が、平面状若しくは曲面状の斜面になるように形成される。
位置決め部材５５ｄの略台形柱の斜面は、フィルター部５７と対向し、フィルター部５７をケーシング５５ａ内の所定の位置に誘導するために用いられる。
位置決め部材５５ｄの略台形柱の上面すなわち平行する二面のうち面積が広い方は、仕切り部材５５ｃに取り付けられる。
位置決め部材５５ｄの略台形柱は、上面から下面にかけてｘｙ断面積が小さくなり、ｘ方向に並べられた１対の側面が、平面状若しくは曲面状の斜面になるように形成される。
位置決め部材５５ｄの略台形柱の斜面は、フィルター部５７と対向し、フィルター部５７をケーシング５５ａ内の所定の位置に誘導するために用いられる。
【0051】
位置決め部材５５ｄにより、作業者から、フィルター部５７が見えない場合でも、ケーシング５５ａ内の所定の位置にフィルター部５７を誘導することが可能になる。
位置決め部材を樹脂で構成される樹脂プレートとすることにより、フィルター部５７の枠体５７ｂが接触する際に、枠体５７ｂにダメージを与えにくい。
位置決め部材を樹脂で構成される樹脂プレートとすることにより、フィルター部５７の枠体５７ｂが接触する際に、枠体５７ｂにダメージを与えにくい。
【0052】
位置決め部材５５ｄをｘ方向で挟む位置関係で、複数のフィルター部５７がケーシング５５ａ内に収容され、押し当て部材５５ｅなどによって挟持される。
【0053】
複数のフィルター部５７を設けることにより、濾過面積を大きく出来る。
【0054】
なお、フィルター部５７を所定の位置に誘導する位置決め部材５５ｄは、樹脂プレートに限るものではなく、フィルター部の枠体５７ｂの材質よりも柔らかければ他の素材を用いてもよく、フィルター部５７を所定の位置に誘導することが可能であれば、曲面形状等の他の形状で構成された位置決め部材５５ｄであってもよい。
【0055】
（押し当て部材５５ｅ）
図３～図７、図１５～図１６、図１９～図２２に示すように、押し当て部材５５ｅは、フィルター部５７を取り付けする際に、フィルター部５７を保持するため、及びｚ方向上方に押し込むために使用される。
また、押し当て部材５５ｅは、フィルター部５７を取り外しする際に、フィルター部５７を保持するために使用される。
図３～図７、図１５～図１６、図１９～図２２に示すように、押し当て部材５５ｅは、フィルター部５７を取り付けする際に、フィルター部５７を保持するため、及びｚ方向上方に押し込むために使用される。
また、押し当て部材５５ｅは、フィルター部５７を取り外しする際に、フィルター部５７を保持するために使用される。
【0056】
押し当て部材５５ｅは、ｙ方向に延びる棒状部材で、略中空四角柱の外形を有する。
押し当て部材５５ｅの略中空四角柱の前面と後面は開口する。
押し当て部材５５ｅのｘｚ断面は、ロの字形状を有する、又はｚ方向上方が開口したコの字の溝形、若しくはリップ溝形の形状を有する。
本実施形態は、押し当て部材５５ｅのｘｚ断面は、ｚ方向上方が開口したコの字形状を有する例を示す。
押し当て部材５５ｅの内側には、後述するボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１及び先端円筒部５５ｆ２が配置される。
押し当て部材５５ｅの略中空四角柱の前面と後面は開口する。
押し当て部材５５ｅのｘｚ断面は、ロの字形状を有する、又はｚ方向上方が開口したコの字の溝形、若しくはリップ溝形の形状を有する。
本実施形態は、押し当て部材５５ｅのｘｚ断面は、ｚ方向上方が開口したコの字形状を有する例を示す。
押し当て部材５５ｅの内側には、後述するボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１及び先端円筒部５５ｆ２が配置される。
【0057】
なお、押し当て部材５５ｅは、上記の形状に限るものではなく、他の形状などを有する押し当て部材５５ｅであってもよい。
【0058】
（押し当て部材５５ｅのダルマ穴）
押し当て部材５５ｅの下面、すなわち、フィルター部５７と接する側と反対側の面には、ボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２を通すためのダルマ穴（第１ダルマ穴５５ｅ１、第２ダルマ穴５５ｅ２）が設けられる。
押し当て部材５５ｅの下面、すなわち、フィルター部５７と接する側と反対側の面には、ボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２を通すためのダルマ穴（第１ダルマ穴５５ｅ１、第２ダルマ穴５５ｅ２）が設けられる。
【0059】
第１ダルマ穴５５ｅ１は、第１脱着穴ｈ１１と第１締付穴ｈ１２を有する。
第１脱着穴ｈ１１と第１締付穴ｈ１２は、押し当て部材５５ｅの下面の長手方向、すなわちｙ方向に並べられた状態で連通する。
第１脱着穴ｈ１１は、第１締付穴ｈ１２よりも大きく、ボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１や先端円筒部５５ｆ２を着脱させるために使用される。
第１締付穴ｈ１２は、先端円筒部５５ｆ２を遊貫させるために使用される。
第１脱着穴ｈ１１と第１締付穴ｈ１２は、押し当て部材５５ｅの下面の長手方向、すなわちｙ方向に並べられた状態で連通する。
第１脱着穴ｈ１１は、第１締付穴ｈ１２よりも大きく、ボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１や先端円筒部５５ｆ２を着脱させるために使用される。
第１締付穴ｈ１２は、先端円筒部５５ｆ２を遊貫させるために使用される。
【0060】
第２ダルマ穴５５ｅ２は、第２脱着穴ｈ２１と第２締付穴ｈ２２を有する。
第２脱着穴ｈ２１と第２締付穴ｈ２２は、押し当て部材５５ｅの下面の短手方向、すなわちｘ方向に並べられた状態で連通する。
第２脱着穴ｈ２１は、第２締付穴ｈ２２よりも大きく、ボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１や先端円筒部５５ｆ２を着脱させるために使用される。
第２締付穴ｈ２２は、先端円筒部５５ｆ２を遊貫させるために使用される。
第２脱着穴ｈ２１と第２締付穴ｈ２２は、押し当て部材５５ｅの下面の短手方向、すなわちｘ方向に並べられた状態で連通する。
第２脱着穴ｈ２１は、第２締付穴ｈ２２よりも大きく、ボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１や先端円筒部５５ｆ２を着脱させるために使用される。
第２締付穴ｈ２２は、先端円筒部５５ｆ２を遊貫させるために使用される。
【0061】
第１ダルマ穴５５ｅ１と第２ダルマ穴５５ｅ２は、押し当て部材５５ｅの下面の長手方向、すなわちｙ方向に並べられる。
具体的には、第１ダルマ穴５５ｅ１の第１脱着穴ｈ１１と第１締付穴ｈ１２と、第２ダルマ穴５５ｅ２の第２締付穴ｈ２２は、押し当て部材５５ｅの下面の長手方向、すなわちｙ方向に並べられる。
第１ダルマ穴５５ｅ１の第１脱着穴ｈ１１と第１締付穴ｈ１２が並べられる方向と、第２ダルマ穴５５ｅ２の第２脱着穴ｈ２１と第２締付穴ｈ２２が並べられる方向は、略直交する。
具体的には、第１ダルマ穴５５ｅ１の第１脱着穴ｈ１１と第１締付穴ｈ１２と、第２ダルマ穴５５ｅ２の第２締付穴ｈ２２は、押し当て部材５５ｅの下面の長手方向、すなわちｙ方向に並べられる。
第１ダルマ穴５５ｅ１の第１脱着穴ｈ１１と第１締付穴ｈ１２が並べられる方向と、第２ダルマ穴５５ｅ２の第２脱着穴ｈ２１と第２締付穴ｈ２２が並べられる方向は、略直交する。
【0062】
略直交する２つのダルマ穴を使って、押し当て部材５５ｅのボルト５５ｆからの不必要な外れ防止と簡易着脱とが可能になる。
【0063】
（ボルト５５ｆ）
図１５～図２２に示すように、ボルト５５ｆは、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇのネジ穴５５ｇｄを貫通して、ネジ穴５５ｇｄの雌ネジと軸部５５ｆ３に設けられた雄ネジが螺合することで、軸部５５ｆ３の所定の位置で、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇに固定可能である。
図２３～図２５に示すように、ボルト５５ｆは、先端部５５ｆ０、軸部５５ｆ３、頭部５５ｆ４を有する。
先端部５５ｆ０は、押し当て部材５５ｅの不必要な外れ防止のために、先端皿部５５ｆ１、先端円筒部５５ｆ２を有する。ただし、先端皿部５５ｆ１を省略し、先端円筒部５５ｆ２だけが先端部５５ｆ０を構成する形態であってもよい（図２５参照）。
頭部５５ｆ４は軸部５５ｆ３の回転を容易にするもので、軸部５５ｆ３と一体としてもよく、軸部５５ｆ３と一体とした場合、頭部５５ｆ４にはネジ山を施さずにローレット加工を施すことが好ましい。
頭部５５ｆ４を軸部５５ｆ３と別体とし、雌ネジを設けた金属製のノブを頭部５５ｆ４として軸部５５ｆ３の端部に螺合してもよい。リーマで穴を空けた金属又は樹脂製のノブを頭部５５ｆ４として軸部５５ｆ３の端部に固定してもよい。
図１５～図２２に示すように、ボルト５５ｆは、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇのネジ穴５５ｇｄを貫通して、ネジ穴５５ｇｄの雌ネジと軸部５５ｆ３に設けられた雄ネジが螺合することで、軸部５５ｆ３の所定の位置で、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇに固定可能である。
図２３～図２５に示すように、ボルト５５ｆは、先端部５５ｆ０、軸部５５ｆ３、頭部５５ｆ４を有する。
先端部５５ｆ０は、押し当て部材５５ｅの不必要な外れ防止のために、先端皿部５５ｆ１、先端円筒部５５ｆ２を有する。ただし、先端皿部５５ｆ１を省略し、先端円筒部５５ｆ２だけが先端部５５ｆ０を構成する形態であってもよい（図２５参照）。
頭部５５ｆ４は軸部５５ｆ３の回転を容易にするもので、軸部５５ｆ３と一体としてもよく、軸部５５ｆ３と一体とした場合、頭部５５ｆ４にはネジ山を施さずにローレット加工を施すことが好ましい。
頭部５５ｆ４を軸部５５ｆ３と別体とし、雌ネジを設けた金属製のノブを頭部５５ｆ４として軸部５５ｆ３の端部に螺合してもよい。リーマで穴を空けた金属又は樹脂製のノブを頭部５５ｆ４として軸部５５ｆ３の端部に固定してもよい。
【0064】
先端皿部５５ｆ１の直径ｄ１は、第１締付穴ｈ１２及び第２締付穴ｈ２２の直径ｄｓよりも大きく、第１脱着穴ｈ１１及び第２脱着穴ｈ２１の直径ｄｂよりも小さい（ｄｓ＜ｄ１＜ｄｂ、図１６参照））。
先端円筒部５５ｆ２の直径ｄ２は、第１締付穴ｈ１２及び第２締付穴ｈ２２の直径ｄｓよりも小さい（ｄ２＜ｄｓ）。
先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２を含む先端部５５ｆ０は、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇのネジ穴５５ｇｄを貫通し、押し当て部材５５ｅの第１ダルマ穴５５ｅ１や第２ダルマ穴５５ｅ２に遊貫する。
先端円筒部５５ｆ２の直径ｄ２は、第１締付穴ｈ１２及び第２締付穴ｈ２２の直径ｄｓよりも小さい（ｄ２＜ｄｓ）。
先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２を含む先端部５５ｆ０は、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇのネジ穴５５ｇｄを貫通し、押し当て部材５５ｅの第１ダルマ穴５５ｅ１や第２ダルマ穴５５ｅ２に遊貫する。
【0065】
軸部５５ｆ３の表面外周にはネジ山が形成される。
軸部５５ｆ３のネジ山の谷の径ｄ３は、第１脱着穴ｈ１１及び第２脱着穴ｈ２１の直径ｄｂよりも大きく、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇのネジ穴５５ｇｄ（雌ネジ）の内径ｄｉ及び押さえリング５５ｈ１のネジ穴の内径ｄｄ１と同等である（ｄｂ＜ｄ３＝ｄｉ＝ｄｄ１）。
軸部５５ｆ３のネジ山は、ボルト受け面５５ｇｃのネジ穴５５ｄｇ及び押さえリング５５ｈ１の内穴と螺合する。
軸部５５ｆ３のネジ山の谷の径ｄ３は、第１脱着穴ｈ１１及び第２脱着穴ｈ２１の直径ｄｂよりも大きく、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇのネジ穴５５ｇｄ（雌ネジ）の内径ｄｉ及び押さえリング５５ｈ１のネジ穴の内径ｄｄ１と同等である（ｄｂ＜ｄ３＝ｄｉ＝ｄｄ１）。
軸部５５ｆ３のネジ山は、ボルト受け面５５ｇｃのネジ穴５５ｄｇ及び押さえリング５５ｈ１の内穴と螺合する。
【0066】
（ボルト支持体（ブラケット）５５ｇ）
図３～図７に示すように、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇは、ブラケット（持送り）形状として、ケーシング５５ａのフランジ５５ａ３にネジ止めなどにより取り付けられ、螺合されたボルト５５ｆを保持する。
ボルト支持体（ブラケット）５５ｇは、押し当て部材５５ｅに対して少なくとも２つ設けられる。仕切り部材５５ｃにｘ方向に並べられた２つの開口部を設け、２つのフィルター部５７を収容する場合は、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇは、それぞれ、ケーシング５５ａのフランジ５５ａ３の左前、左後ろ、右前、右後ろに取り付けられる。
図３～図７に示すように、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇは、ブラケット（持送り）形状として、ケーシング５５ａのフランジ５５ａ３にネジ止めなどにより取り付けられ、螺合されたボルト５５ｆを保持する。
ボルト支持体（ブラケット）５５ｇは、押し当て部材５５ｅに対して少なくとも２つ設けられる。仕切り部材５５ｃにｘ方向に並べられた２つの開口部を設け、２つのフィルター部５７を収容する場合は、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇは、それぞれ、ケーシング５５ａのフランジ５５ａ３の左前、左後ろ、右前、右後ろに取り付けられる。
【0067】
図１５～図２２に示すように、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇは、ブラケット（持送り）形状とする場合は、ｘ方向から見てクランク形状を有し、フランジ取付面５５ｇａ、腕部５５ｇｂ、及びボルト受け面５５ｇｃを有する。
フランジ取付面５５ｇａは、ｘｙ面に平行で、フランジ５５ａ３に取り付けられる。
腕部５５ｇｂは、フランジ取付面５５ｇａからｚ方向下方に延びる。
ボルト受け面５５ｇｃは、腕部５５ｇｂからｙ方向に延び、ｘｙ面に平行で、第１開口５５ａ１若しくは第２開口５５ａ２と対向する。フランジ取付面５５ｇａとボルト受け面５５ｇｃは平行である。
ボルト受け面５５ｇｃには、ボルト５５ｆと螺合するためのネジ穴５５ｇｄが設けられる。
また、ボルト受け面５５ｇｃには、切り欠き５５ｇｅを設けてもよい。
フランジ取付面５５ｇａは、ｘｙ面に平行で、フランジ５５ａ３に取り付けられる。
腕部５５ｇｂは、フランジ取付面５５ｇａからｚ方向下方に延びる。
ボルト受け面５５ｇｃは、腕部５５ｇｂからｙ方向に延び、ｘｙ面に平行で、第１開口５５ａ１若しくは第２開口５５ａ２と対向する。フランジ取付面５５ｇａとボルト受け面５５ｇｃは平行である。
ボルト受け面５５ｇｃには、ボルト５５ｆと螺合するためのネジ穴５５ｇｄが設けられる。
また、ボルト受け面５５ｇｃには、切り欠き５５ｇｅを設けてもよい。
【0068】
ボルト支持体５５ｇは、ケーシング５５ａに対して直接又は間接的に固定される。すなわち、ボルト支持体５５ｇは、ケーシング５５ａに対する配置が固定されていればよく、ケーシング５５ａの内壁に直接取り付けることもできる。図８～図１４に示されているようにフランジ５５ａ３が装置上面３５の内側に配置される場合は、フランジ５５ａ３に直接固定してもよい。フランジ５５ａ３が装置上面３５の外側に配置された場合は、フランジ５５ａ３と共に締結された被締結体、例えば装置上面３５の一部や装置内側に配置された被締結体（ボルト及びナットで締結する枠体）（不図示）に固定してもよい。
また、ボルト５５ｆをネジ止めで支持するボルト支持体５５ｇは、ブラケット（持送り）形状に限るものではなく、他の形状などを有するボルト支持体５５ｇであってもよい。
また、ボルト５５ｆをネジ止めで支持するボルト支持体５５ｇは、ブラケット（持送り）形状に限るものではなく、他の形状などを有するボルト支持体５５ｇであってもよい。
【0069】
（押さえ部５５ｈ、押さえリング５５ｈ１）
図１５～図２２、及び図１０１に示すように、リング形状の押さえリング５５ｈ１は、押さえ部５５ｈとして、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇと螺合して貫通したボルト５５ｆの軸部５５ｆ３に固定される。
押さえ部５５ｈを押さえリング５５ｈ１等の様なリング形状とすることで、押さえ部５５ｈと押し当て部材５５ｅとの接触面における圧力を低減することができ、押し当て部材５５ｅの変形を防止することができる。
図１５～図２２、及び図１０１に示すように、リング形状の押さえリング５５ｈ１は、押さえ部５５ｈとして、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇと螺合して貫通したボルト５５ｆの軸部５５ｆ３に固定される。
押さえ部５５ｈを押さえリング５５ｈ１等の様なリング形状とすることで、押さえ部５５ｈと押し当て部材５５ｅとの接触面における圧力を低減することができ、押し当て部材５５ｅの変形を防止することができる。
【0070】
押さえリング５５ｈ１は、軸部５５ｆ３の端部に配置され、押し当て部材５５ｅを押し上げる。押さえリング５５ｈ１の内穴を軸部５５ｆ３の端部と嵌合する形状（不図示）とすることで、押さえリング５５ｈ１は、軸部５５ｆ３の端部に配置され、押し当て部材５５ｅを押し上げることができる。
【0071】
押さえリング５５ｈ１とボルト５５ｆの頭部５５ｆ４とが、ボルト受け面５５ｇｃをｚ方向で挟む位置関係で、押さえリング５５ｈ１の内穴は、ボルト５５ｆの軸部５５ｆ３と螺合させてもよい。この場合、押さえリング５５ｈ１の内穴には、ボルト５５ｆの軸部５５ｆ３と螺合するためのネジが切られている。
押さえリング５５ｈ１の外径ｄｄ２は、軸部５５ｆ３のネジ山の谷の径ｄ３よりも大きい（ｄｄ２＞ｄ３、図１５参照）。
押さえリング５５ｈ１の外径ｄｄ２は、軸部５５ｆ３のネジ山の谷の径ｄ３よりも大きい（ｄｄ２＞ｄ３、図１５参照）。
【0072】
なお、ボルト５５ｆの先端部側端部に設けられた押さえ部５５ｈは、ボルト５５ｆに着脱可能な押さえリング５５ｈ１に限るものではなく、他の形状などを有する押さえ部５５ｈであってもよい。
【0073】
例えば、図２４、図２５に示すように、軸部５５ｆ３の先端円筒部５５ｆ２側端部が、押さえ部５５ｈとして機能する形態が考えられる。
この場合には、押さえリング５５ｈ１は用いられず、軸部５５ｆ３の先端円筒部５５ｆ２側の端部が、押さえ部５５ｈとして、押し当て部材５５ｅと接する。
この場合、押し当て部材５５ｅの穴の直径（第１脱着穴ｈ１１の直径ｄｂなど）よりも大きな直径ｄ３を有する軸部５５ｆ３のｚ方向終端部が、押し当て部材５５ｅと接する。
この場合には、押さえリング５５ｈ１は用いられず、軸部５５ｆ３の先端円筒部５５ｆ２側の端部が、押さえ部５５ｈとして、押し当て部材５５ｅと接する。
この場合、押し当て部材５５ｅの穴の直径（第１脱着穴ｈ１１の直径ｄｂなど）よりも大きな直径ｄ３を有する軸部５５ｆ３のｚ方向終端部が、押し当て部材５５ｅと接する。
【0074】
また、例えば、切削加工等を用いて押さえリング５５ｈ１が軸部５５ｆ３と一体的に形成するなど、軸部５５ｆ３よりもｘｙ断面が大きい部材を、軸部５５ｆ３の先端円筒部５５ｆ２と接する側に一体的に形成し、かかる部材が、押さえ部として機能する形態が考えられる。
この場合、ｚ方向上方から軸部５５ｆ３をボルト受け面５５ｇｃ取り付けた後に、頭部５５ｆ４を軸部５５ｆ３に螺合する。
この場合、ｚ方向上方から軸部５５ｆ３をボルト受け面５５ｇｃ取り付けた後に、頭部５５ｆ４を軸部５５ｆ３に螺合する。
【0075】
ボルト５５ｆとボルト支持体（ブラケット）５５ｇと押さえ部５５ｈ（押さえリング５５ｈ１）は、押し当て部材５５ｅを保持するために使用される。
【0076】
（フィルター部５７）
図３、図６～図７、図１１～図１４に示すように、フィルター部５７は、フィルター本体５７ａと、枠体５７ｂを有する。
フィルター本体５７ａは、外部から取り入れた空気からゴミや塵埃を取り除いて清浄化するために用いられ、ＨＥＰＡフィルター（High Efficiency Particulate Air Filter）を用いる。
枠体５７ｂは、フィルター本体５７ａの角部を覆い、フィルター本体５７ａを保持する。
フィルター本体５７ａの角部は、フィルター本体５７ａの外形を形成する直方体の頂点及び辺を含む。
フィルター本体５７ａの上面は、枠体５７ｂよりもｚ方向下方に凹んだ位置にあり、フィルター本体５７ａの下面は、枠体５７ｂよりもｚ方向上方に凹んだ位置にある。
このため、後述する押し当て部材５５ｅは、フィルター本体５７ａと接しない状態で、枠体５７ｂと接して、フィルター部５７をｚ方向上方に押し込む。
また、押し当て部材５５ｅにｚ方向上方に押し込まれた際に、仕切り部材５５ｃは、フィルター本体５７ａと接しない状態で、枠体５７ｂと接する（図１２～図１４参照）。
図３、図６～図７、図１１～図１４に示すように、フィルター部５７は、フィルター本体５７ａと、枠体５７ｂを有する。
フィルター本体５７ａは、外部から取り入れた空気からゴミや塵埃を取り除いて清浄化するために用いられ、ＨＥＰＡフィルター（High Efficiency Particulate Air Filter）を用いる。
枠体５７ｂは、フィルター本体５７ａの角部を覆い、フィルター本体５７ａを保持する。
フィルター本体５７ａの角部は、フィルター本体５７ａの外形を形成する直方体の頂点及び辺を含む。
フィルター本体５７ａの上面は、枠体５７ｂよりもｚ方向下方に凹んだ位置にあり、フィルター本体５７ａの下面は、枠体５７ｂよりもｚ方向上方に凹んだ位置にある。
このため、後述する押し当て部材５５ｅは、フィルター本体５７ａと接しない状態で、枠体５７ｂと接して、フィルター部５７をｚ方向上方に押し込む。
また、押し当て部材５５ｅにｚ方向上方に押し込まれた際に、仕切り部材５５ｃは、フィルター本体５７ａと接しない状態で、枠体５７ｂと接する（図１２～図１４参照）。
【0077】
（各部の寸法設定）
押さえリング５５ｈ１が押し当て部材５５ｅと接する状態で、先端皿部５５ｆ１や先端円筒部５５ｆ２が押し当て部材５５ｅの側面よりもｚ方向上方に突出しないように、先端皿部５５ｆ１などの各部の寸法が決定される（図１０～図１４参照）。
押さえリング５５ｈ１が押し当て部材５５ｅと接する状態で、先端皿部５５ｆ１や先端円筒部５５ｆ２が押し当て部材５５ｅの側面よりもｚ方向上方に突出しないように、先端皿部５５ｆ１などの各部の寸法が決定される（図１０～図１４参照）。
【0078】
（取り付け手順１）
次に、ケーシング５５ａに押し当て部材５５ｅを取り付ける手順を説明する。
まず、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇ（４つ）が、ケーシング５５ａのフランジ５５ａ３にネジ止めなどで取り付けられる。
次に、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇのボルト受け面５５ｇｃのネジ穴５５ｇｄに、ｚ方向下方から、ボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２が挿入され、ネジ穴５５ｇｄに軸部５５ｆ３が螺合される（図８、図１７参照）。
軸部５５ｆ３のネジ穴５５ｇｄへの螺合は、軸部５５ｆ３の端部が、ボルト受け面５５ｇｃからｚ方向上方に少なくとも押さえリング５５ｈ１の厚み分だけ突出する程度まで行われる。
次に、ケーシング５５ａに押し当て部材５５ｅを取り付ける手順を説明する。
まず、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇ（４つ）が、ケーシング５５ａのフランジ５５ａ３にネジ止めなどで取り付けられる。
次に、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇのボルト受け面５５ｇｃのネジ穴５５ｇｄに、ｚ方向下方から、ボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２が挿入され、ネジ穴５５ｇｄに軸部５５ｆ３が螺合される（図８、図１７参照）。
軸部５５ｆ３のネジ穴５５ｇｄへの螺合は、軸部５５ｆ３の端部が、ボルト受け面５５ｇｃからｚ方向上方に少なくとも押さえリング５５ｈ１の厚み分だけ突出する程度まで行われる。
【0079】
次に、押さえリング５５ｈ１の内穴が、ボルト５５ｆの軸部５５ｆ３に螺合される（図４、図９、図１８参照）。
軸部５５ｆ３の押さえリング５５ｈ１への螺合は、軸部５５ｆ３のｚ方向上方の端部が押さえリング５５ｈ１のｚ方向上方側の面（上面）よりもｚ方向上方に突出しない程度まで行われる。
軸部５５ｆ３のｚ方向上方の端部が押さえリング５５ｈ１のｚ方向上方側の面（上面）よりもｚ方向上方に突出しないように、押さえリング５５ｈ１に突出防止ストッパ（不図示）が設けられても良い。
軸部５５ｆ３の押さえリング５５ｈ１への螺合は、軸部５５ｆ３のｚ方向上方の端部が押さえリング５５ｈ１のｚ方向上方側の面（上面）よりもｚ方向上方に突出しない程度まで行われる。
軸部５５ｆ３のｚ方向上方の端部が押さえリング５５ｈ１のｚ方向上方側の面（上面）よりもｚ方向上方に突出しないように、押さえリング５５ｈ１に突出防止ストッパ（不図示）が設けられても良い。
【0080】
次に、押し当て部材５５ｅをケーシング５５ａ内に導入し、押し当て部材５５ｅの第１ダルマ穴５５ｅ１の第１脱着穴ｈ１１に対して、第１ブラケット５５ｇ１に取り付けられたボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２が、ｚ方向下方から挿入されるように、押し当て部材５５ｅを移動する（図１９参照）。
ボルト５５ｆの第１脱着穴ｈ１１への挿入は、先端円筒部５５ｆ２の一部が第１脱着穴ｈ１１に囲まれる位置関係になるように行われる。
次に、第１脱着穴ｈ１１に挿入された先端円筒部５５ｆ２の一部が、第１締付穴ｈ１２に囲まれる位置関係になるように、押し当て部材５５ｅをｘｙ平面上で移動させる（図２０参照）。
ボルト５５ｆの第１脱着穴ｈ１１への挿入は、先端円筒部５５ｆ２の一部が第１脱着穴ｈ１１に囲まれる位置関係になるように行われる。
次に、第１脱着穴ｈ１１に挿入された先端円筒部５５ｆ２の一部が、第１締付穴ｈ１２に囲まれる位置関係になるように、押し当て部材５５ｅをｘｙ平面上で移動させる（図２０参照）。
【0081】
次に、第２ダルマ穴５５ｅ２の第２脱着穴ｈ２１が、第２ブラケット５５ｇ２に取り付けられたボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１とｚ方向で対向する位置関係になるように、押し当て部材５５ｅを、ｚ軸周りに回転させる。
次に、押し当て部材５５ｅの第２ダルマ穴５５ｅ２の第２脱着穴ｈ２１に、第２ブラケット５５ｇ２に取り付けられたボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２が、ｚ方向下方から挿入される。
次に、第２脱着穴ｈ２１に挿入された先端円筒部５５ｆ２の一部が、第２締付穴ｈ２２に囲まれる位置関係になるように、押し当て部材５５ｅをｘｙ平面上で移動させる（図２１参照）。
次に、押し当て部材５５ｅの第２ダルマ穴５５ｅ２の第２脱着穴ｈ２１に、第２ブラケット５５ｇ２に取り付けられたボルト５５ｆの先端皿部５５ｆ１と先端円筒部５５ｆ２が、ｚ方向下方から挿入される。
次に、第２脱着穴ｈ２１に挿入された先端円筒部５５ｆ２の一部が、第２締付穴ｈ２２に囲まれる位置関係になるように、押し当て部材５５ｅをｘｙ平面上で移動させる（図２１参照）。
【0082】
これにより、１つの押し当て部材５５ｅが、２つのボルト５５ｆなどによって、ケーシング５５ａに保持された状態になる。
この状態で、２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させると、押さえリング５５ｈ１がｚ方向上方に持ち上げられ、これに伴って、押し当て部材５５ｅがｚ方向上方に持ち上げられる（図２２参照）。
１つの押し当て部材５５ｅのケーシング５５ａへの取り付け後に、別の押し当て部材５５ｅのケーシング５５ａへの取り付けが行われる（図１０参照）。
この状態で、２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させると、押さえリング５５ｈ１がｚ方向上方に持ち上げられ、これに伴って、押し当て部材５５ｅがｚ方向上方に持ち上げられる（図２２参照）。
１つの押し当て部材５５ｅのケーシング５５ａへの取り付け後に、別の押し当て部材５５ｅのケーシング５５ａへの取り付けが行われる（図１０参照）。
【0083】
（取り付け手順２）
次に、フィルター部５７を、フィルター収容部５５に取り付ける手順を説明する。
次に、フィルター部５７を、フィルター収容部５５に取り付ける手順を説明する。
【0084】
まず、ケーシング５５ａ内に設けられた仕切り部材５５ｃと押し当て部材５５ｅとの間から、フィルター部５７を挿入し、押し当て部材５５ｅ上に載置する（第１ステップ）。
【0085】
具体的には、図１０の状態から、フィルター部５７の一方が、２つの押し当て部材５５ｅの間を通って、ケーシング５５ａの内側に持ち上げられ、押し当て部材５５ｅの一方のｚ方向上方に載置される（図１１、図１２参照）。
また、フィルター部５７の他方が、２つの押し当て部材５５ｅの間を通って、ケーシング５５ａの内側に持ち上げられ、押し当て部材５５ｅの他方のｚ方向上方に載置される。
また、フィルター部５７の他方が、２つの押し当て部材５５ｅの間を通って、ケーシング５５ａの内側に持ち上げられ、押し当て部材５５ｅの他方のｚ方向上方に載置される。
【0086】
次に、ボルト支持体（ブラケット）５５ｇに対してボルト５５ｆを締めることで、押さえリング５５ｈ１が、押し当て部材５５ｅを介して、フィルター部５７の枠体５７ｂを押し上げる（第２ステップ）。
これにより、フィルター部５７がｚ方向上方に移動し、フィルター部５７の枠体５７ｂがケーシング５５ａ又は仕切り部材５５ｃと接触したところで、ケーシング５５ａ又は仕切り部材５５ｃと押し当て部材５５ｅによってフィルター部５７が挟持される。
これにより、フィルター部５７がｚ方向上方に移動し、フィルター部５７の枠体５７ｂがケーシング５５ａ又は仕切り部材５５ｃと接触したところで、ケーシング５５ａ又は仕切り部材５５ｃと押し当て部材５５ｅによってフィルター部５７が挟持される。
【0087】
具体的には、図１２の状態から、フィルター部５７の一方が載置された押し当て部材５５ｅを保持する２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させて、押さえリング５５ｈ１と共に押し当て部材５５ｅをｚ方向上方に移動させる。これにより、フィルター部５７の一方もｚ方向上方に移動せしめられ、フィルター部５７の一方が第１開口５５ａ１を塞ぐ（図１３参照）。
図１３の状態から、フィルター部５７の他方が載置された押し当て部材５５ｅを保持する２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させて、押さえリング５５ｈ１と共に押し当て部材５５ｅをｚ方向上方に移動させる。これにより、フィルター部５７の他方もｚ方向上方に移動せしめられ、フィルター部５７の他方が第２開口５５ａ２を塞ぐ（図１４参照）。
押し当て部材５５ｅをｚ方向上方に持ち上げる際に、位置決め部材５５ｄの斜面に誘導されて、フィルター部５７が所定の位置（すなわち、第１開口５５ａ１又は第２開口５５ａ２とｚ方向に対向する位置）に移動せしめられる。このため、フィルター部５７の押し当て部材５５ｅへ載置する際に、細かく位置決めをする必要はない。
図１３の状態から、フィルター部５７の他方が載置された押し当て部材５５ｅを保持する２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させて、押さえリング５５ｈ１と共に押し当て部材５５ｅをｚ方向上方に移動させる。これにより、フィルター部５７の他方もｚ方向上方に移動せしめられ、フィルター部５７の他方が第２開口５５ａ２を塞ぐ（図１４参照）。
押し当て部材５５ｅをｚ方向上方に持ち上げる際に、位置決め部材５５ｄの斜面に誘導されて、フィルター部５７が所定の位置（すなわち、第１開口５５ａ１又は第２開口５５ａ２とｚ方向に対向する位置）に移動せしめられる。このため、フィルター部５７の押し当て部材５５ｅへ載置する際に、細かく位置決めをする必要はない。
【0088】
（取り外し手順）
次に、フィルター部５７を、フィルター収容部５５から取り外す手順を説明する。
フィルター部５７の一方が載置された押し当て部材５５ｅを保持する２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させて、押さえリング５５ｈ１をｚ方向下方に移動させる。これにより、押し当て部材５５ｅがｚ方向下方に移動し、これに伴って、フィルター部５７の一方もｚ方向下方に移動せしめられる（図１３参照）。
フィルター部５７の一方が、２つの押し当て部材５５ｅの間を通って、ケーシング５５ａの内側から取り出される（図１２参照）。
フィルター部５７の他方が載置された押し当て部材５５ｅを保持する２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させて、押さえリング５５ｈ１をｚ方向下方に移動させる。これにより、押し当て部材５５ｅがｚ方向下方に移動し、これに伴って、フィルター部５７の他方もｚ方向下方に移動せしめられる。
フィルター部５７の他方が、２つの押し当て部材５５ｅの間を通って、ケーシング５５ａの内側から取り出される（図１１参照）。
次に、フィルター部５７を、フィルター収容部５５から取り外す手順を説明する。
フィルター部５７の一方が載置された押し当て部材５５ｅを保持する２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させて、押さえリング５５ｈ１をｚ方向下方に移動させる。これにより、押し当て部材５５ｅがｚ方向下方に移動し、これに伴って、フィルター部５７の一方もｚ方向下方に移動せしめられる（図１３参照）。
フィルター部５７の一方が、２つの押し当て部材５５ｅの間を通って、ケーシング５５ａの内側から取り出される（図１２参照）。
フィルター部５７の他方が載置された押し当て部材５５ｅを保持する２つのボルト５５ｆの頭部５５ｆ４を交互に回転させて、押さえリング５５ｈ１をｚ方向下方に移動させる。これにより、押し当て部材５５ｅがｚ方向下方に移動し、これに伴って、フィルター部５７の他方もｚ方向下方に移動せしめられる。
フィルター部５７の他方が、２つの押し当て部材５５ｅの間を通って、ケーシング５５ａの内側から取り出される（図１１参照）。
【0089】
頭部５５ｆ４を使ったボルト５５ｆの締め付けにより、押し当て部材５５ｅを移動させて、フィルター部５７を挟持させるので、フィルター部５７を他方の手で支えて保持する必要がなく、比較的重いＨＥＰＡフィルターを含むフィルター部５７であっても、片手で取り付け、取り外しできる。
このため、作業者から見えにくい場所など設置場所を問わずに簡単にフィルター部５７の取り付け、取り外しが可能になる。
このため、作業者から見えにくい場所など設置場所を問わずに簡単にフィルター部５７の取り付け、取り外しが可能になる。
【0090】
押し当て部材５５ｅが、フィルター部５７のフィルター本体５７ａと接触せずに、フィルター部５７の枠体５７ｂに接触するので、押し当て部材５５ｅがフィルター本体５７ａを傷つけずに、押し込むことが可能になる。
【0091】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【0092】
１ アイソレーター装置
１０ 架台
３０ アイソレーター本体
３１ 操作パネル
３３ グローブポート
３５ 上面
３５ａ 上面の開口
５０ 吸気系ユニット
５１ ダクト
５１ａ フェルールエルボ
５１ｂ フェルール
５１ｃ クランプ
５１ｄ バルブ
５３ フード
５５ フィルター収容部
５５ａ ケーシング
５５ａ１ 第１開口
５５ａ２ 第２開口
５５ａ３ フランジ
５５ｂ ガスケット
５５ｃ 仕切り部材
５５ｄ 位置決め部材
５５ｅ 押し当て部材
５５ｅ１ 第１ダルマ穴
５５ｅ２ 第２ダルマ穴
５５ｆ ボルト
５５ｆ０ 先端部
５５ｆ１ 先端皿部
５５ｆ２ 先端円筒部
５５ｆ３ 軸部
５５ｆ４ 頭部
５５ｇ ボルト支持体（ブラケット）
５５ｇ１ 第１ブラケット
５５ｇ２ 第２ブラケット
５５ｇａ フランジ取付面
５５ｇｂ 腕部
５５ｇｃ ボルト受け面
５５ｇｄ ネジ穴
５５ｇｅ 切り欠き
５５ｈ 押さえ部
５５ｈ１ 押さえリング
５７ フィルター部
５７ａ フィルター本体
５７ｂ 枠体
ｄ１ 先端皿部の直径
ｄ２ 先端円筒部の直径
ｄ３ ねじ部の谷の径
ｄｓ 第１締付穴及び第２締付穴の直径
ｄｂ 第１脱着穴及び第２脱着穴の直径
ｄｄ１ 押さえリングの内穴の内径
ｄｄ２ 押さえリングの外径
ｄｉ ボルト支持体（ブラケット）のネジの内径
ｈ１１ 第１脱着穴
ｈ１２ 第１締付穴
ｈ２１ 第２脱着穴
ｈ２２ 第２締付穴
１０ 架台
３０ アイソレーター本体
３１ 操作パネル
３３ グローブポート
３５ 上面
３５ａ 上面の開口
５０ 吸気系ユニット
５１ ダクト
５１ａ フェルールエルボ
５１ｂ フェルール
５１ｃ クランプ
５１ｄ バルブ
５３ フード
５５ フィルター収容部
５５ａ ケーシング
５５ａ１ 第１開口
５５ａ２ 第２開口
５５ａ３ フランジ
５５ｂ ガスケット
５５ｃ 仕切り部材
５５ｄ 位置決め部材
５５ｅ 押し当て部材
５５ｅ１ 第１ダルマ穴
５５ｅ２ 第２ダルマ穴
５５ｆ ボルト
５５ｆ０ 先端部
５５ｆ１ 先端皿部
５５ｆ２ 先端円筒部
５５ｆ３ 軸部
５５ｆ４ 頭部
５５ｇ ボルト支持体（ブラケット）
５５ｇ１ 第１ブラケット
５５ｇ２ 第２ブラケット
５５ｇａ フランジ取付面
５５ｇｂ 腕部
５５ｇｃ ボルト受け面
５５ｇｄ ネジ穴
５５ｇｅ 切り欠き
５５ｈ 押さえ部
５５ｈ１ 押さえリング
５７ フィルター部
５７ａ フィルター本体
５７ｂ 枠体
ｄ１ 先端皿部の直径
ｄ２ 先端円筒部の直径
ｄ３ ねじ部の谷の径
ｄｓ 第１締付穴及び第２締付穴の直径
ｄｂ 第１脱着穴及び第２脱着穴の直径
ｄｄ１ 押さえリングの内穴の内径
ｄｄ２ 押さえリングの外径
ｄｉ ボルト支持体（ブラケット）のネジの内径
ｈ１１ 第１脱着穴
ｈ１２ 第１締付穴
ｈ２１ 第２脱着穴
ｈ２２ 第２締付穴
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】