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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-05-10
(45)【発行日】2023-05-18
(54)【発明の名称】走行車システム
(51)【国際特許分類】
B65G 1/04 20060101AFI20230511BHJP
B60L 15/40 20060101ALI20230511BHJP
B60M 7/00 20060101ALI20230511BHJP
【ＦＩ】
B65G1/04 551Z
B65G1/04 531D
B60L15/40 J
B60M7/00 X
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2021542586
(86)(22)【出願日】2020-07-01
(86)【国際出願番号】 JP2020025892
(87)【国際公開番号】W WO2021039105
(87)【国際公開日】2021-03-04
【審査請求日】2022-01-24
(31)【優先権主張番号】P 2019157169
(32)【優先日】2019-08-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000006297
【氏名又は名称】村田機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100176245
【弁理士】
【氏名又は名称】安田 亮輔
(74)【代理人】
【識別番号】100180851
【弁理士】
【氏名又は名称】▲高▼口 誠
(72)【発明者】
【氏名】藤原 英俊
【審査官】大塚 多佳子
(56)【参考文献】
【文献】特許第５７２０９５４（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】特開２０１８－１０７９０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平７－１２３５２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－１０７８８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平９－２５２５０１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－１９７６０３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特許第４８６０４２０（ＪＰ，Ｂ２）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｇ １／０４
Ｂ６０Ｌ １５／４０
Ｂ６０Ｍ ７／００
Ｂ６１Ｂ １３／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
走行車の走行駆動部へ電力を供給する給電部が設けられている給電軌道と、前記給電軌道に接続されると共に、前記給電部が設けられていない無給電軌道と、前記給電軌道における第一位置と前記無給電軌道との間で前記走行車を移動させる移動装置と、少なくとも前記走行車と前記移動装置とを制御するコントローラと、を備える走行車システムであって、前記コントローラは、前記第一位置まで走行させる第一指令を前記走行車に送信し、前記移動装置による移動を可能な状態とする第二指令を前記第一位置に停止した前記走行車に送信した後又は送信したと同時に、前記第一位置に停止した前記走行車を前記無給電軌道まで移動させる第三指令を前記移動装置に送信する、走行車システム。
【請求項2】
前記コントローラは、少なくとも前記走行駆動部における外部からの制御を不能にさせる前記第二指令を前記走行車に送信する、請求項１記載の走行車システム。【請求項3】
前記走行駆動部は、無給電時に、ブレーキがかかる走行輪と、自由に回転する走行補助輪と、を有しており、前記給電軌道における前記第一位置と前記無給電軌道との間、及び前記無給電軌道は、前記走行輪及び前記走行補助輪を下方から支持する下方支持部を有しており、
前記下方支持部は、鉛直方向において、前記走行補助輪に対向する第一部分が、前記走行輪に対向する第二部分よりも上方に位置するように形成されており、
前記コントローラは、少なくとも前記走行駆動部への電力供給を切断する第四指令を前記第一位置に停止した前記走行車に送信する、請求項１記載の走行車システム。
【請求項4】
前記コントローラは、前記無給電軌道から前記第一位置まで、又は、前記第一位置を有する前記給電軌道に対し前記無給電軌道を挟んで接続される前記給電軌道における第二位置まで、前記走行車を移動させる第五指令を前記移動装置に送信する、請求項１～３の何れか一項記載の走行車システム。【請求項5】
前記走行駆動部は、電力が供給されていない状態から電力が供給される状態になると、外部からの制御が可能となるように構成されている、請求項１～４の何れか一項記載の走行車システム。【請求項6】
前記無給電軌道に移動した前記走行車を清掃する清掃装置を更に備え、前記コントローラは、前記移動装置に前記第三指令を送信した後に、前記清掃装置に前記走行車を清掃させる第六指令を送信する、請求項１～５の何れか一項記載の走行車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の一側面は、走行車システムに関する。
【背景技術】
【0002】
軌道を走行して物品を搬送する天井走行車が知られている。特許文献１には、天井に敷設された軌道を走行車が走行する際に発生する塵等を効率的に清掃する走行車システム（搬送車システム）が開示されている。特許文献１の走行車システムにおいて走行車を清掃する場合には、走行車を軌道に沿って所定の抜取箇所にまで移動させた後、当該抜取箇所に配備された昇降装置によって走行車を床側に降下させ、床側に配備された清掃装置にて走行車の清掃を実施している。この走行車システムにおいて走行車を清掃する場合、軌道に沿って走行車を抜取箇所まで移動させ、その後の昇降装置への走行車の移動は、作業者による手動運転用指令手段（いわゆるリモコン）の操作によって行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１５－１０７８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記の走行車システムでは、昇降装置を構成する軌道には電力が供給されているが、電力が供給されない無給電軌道の昇降装置に走行車を進入させたい場合がある。このようなシステムでは、作業者が人力で昇降装置に走行車を進入させる。しかしながら、このような方法は、作業者が現場に立ち会う必要があり負担が大きい。また、省人化が求められている昨今、給電軌道から無給電軌道への走行車の移動を、作業者の手を介さずに自動化したいという要望がある。
【0005】
そこで、本発明の一側面の目的は、給電軌道から無給電軌道への走行車の移動を自動化できる走行車システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一側面に係る走行車システムは、走行車の走行駆動部へ電力を供給する給電部が設けられている給電軌道と、給電軌道に接続されると共に、給電部が設けられていない無給電軌道と、給電軌道における第一位置と無給電軌道との間で走行車を移動させる移動装置と、少なくとも走行車と移動装置とを制御するコントローラと、を備える走行車システムであって、コントローラは、第一位置まで走行させる第一指令を走行車に送信し、移動装置による移動を可能な状態とする第二指令を第一位置に停止した走行車に送信した後又は送信したと同時に、第一位置に停止した走行車を無給電軌道まで移動させる第三指令を移動装置に送信する。
【0007】
この構成の走行車システムでは、走行車を無給電軌道に進入する手前の位置において、移動装置によって自由に移動できる状態として、移動装置による走行車の移動を開始させる。これにより、給電軌道から無給電軌道への走行車の移動を自動化できる。
【0008】
本発明の一側面に係る走行車システムでは、コントローラは、少なくとも走行駆動部における外部からの制御を不能にさせる第二指令を走行車に送信してもよい。この構成では、簡易な制御にて、走行車を移動装置によって自由に移動できる状態とすることができる。
【0009】
本発明の一側面に係る走行車システムは、走行駆動部は、無給電時に、ブレーキがかかる走行輪と、自由に回転する走行補助輪と、を有しており、給電軌道における第一位置と無給電軌道との間、及び無給電軌道は、走行輪及び走行補助輪を下方から支持する下方支持部を有しており、下方支持部は、鉛直方向において、走行補助輪に対向する第一部分が、走行輪に対向する第二部分よりも上方に位置するように形成されており、コントローラは、少なくとも走行駆動部への電力供給を遮断する第四指令を第一位置に停止した走行車に送信してもよい。この構成の走行車における走行輪は、走行駆動部に電力が供給されていない状態において容易に回転しないように構成されている。このため、走行駆動部への電力の供給が遮断された状態、及び作業用軌道に位置することで電力が供給されない状態において、走行輪を接触させた状態で走行車を移動させることが難しい。この点、この構成の走行車システムでは、電力の供給が遮断又は電力が供給されない状態となっても、自由に回転する走行補助輪のみが作業用軌道に接触するので、走行車を容易に移動させることが可能となる。すなわち、走行車を移動装置によって自由に移動できる状態とすることができる。
【0010】
本発明の一側面に係る走行車システムでは、コントローラは、無給電軌道から第一位置まで、又は、第一位置を有する給電軌道に対し無給電軌道を挟んで接続される給電軌道における第二位置まで、走行車を移動させる第五指令を移動装置に送信してもよい。この構成では、無給電軌道から給電軌道への走行車の移動を自動化できる。すなわち、無給電軌道と給電軌道との間の走行車の移動を自動化できる。
【0011】
本発明の一側面に係る走行車システムでは、走行駆動部は、電力が供給されていない状態から電力が供給される状態になると、外部からの制御が可能となるように構成されていてもよい。この構成では、移動装置による走行車の移動によって無給電軌道から給電軌道に移動させられると、自動的に外部からの走行車の制御が可能となる。
【0012】
本発明の一側面に係る走行車システムでは、無給電軌道に移動した走行車を清掃する清掃装置を更に備え、コントローラは、移動装置に前記第三指令を送信した後に、清掃装置に走行車を清掃させる第六指令を送信してもよい。この構成の走行車システムでは、給電軌道から無給電軌道への走行車の移動に加え、清掃装置の清掃処理も自動化できる。
【発明の効果】
【0013】
本発明の一側面によれば、給電軌道から無給電軌道への走行車の移動を自動化できる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図２、図４及び図７では、説明の便宜のため「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」方向を定義する。
【0016】
図１及び図２に示されるように、走行車システム１は、走行用軌道４に沿って移動可能な天井走行車６（以下、「走行車６」と称する。）を用いて、物品１０を載置部９間で搬送するためのシステムである。物品１０には、例えば、複数の半導体ウェハを格納するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）及びガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。走行車システム１は、走行用軌道（給電軌道）４、複数の走行車６、複数の載置部９、作業用軌道（無給電軌道）４１、及び清掃ユニット１００（図７参照）を備える。
【0017】
走行用軌道４は、例えば、作業者の頭上スペースである天井付近に敷設されている。走行用軌道４は、例えば天井から吊り下げられている。走行用軌道４は、走行車６を走行させるための予め定められた走行路である。走行用軌道４は、支柱４０Ａ，４０Ａにより支持される。走行車システム１の走行用軌道４は、所定のエリアを一方向に巡回する本線部４Ａと、走行車６をメンテンナンスするための作業エリア１６０が設けられた作業用軌道４１に走行車６を導入させる退避部４Ｂと、を有している。なお、退避部４Ｂにおいても、走行車６は、予め定められた一方向に移動する。
【0018】
走行用軌道４は、一対の下面部４０Ｂ，４０Ｂと一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃと天面部４０Ｄとからなる筒状のレール本体部４０と、給電部４０Ｅと、磁気プレート４０Ｆと、を有している。レール本体部４０は、走行車６の走行部（走行駆動部）５０を収容する。下面部４０Ｂは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の下面を構成する。下面部４０Ｂは、走行車６の走行ローラ５１を転動させて走行させる板状部材である。側面部４０Ｃは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の側面を構成する。天面部４０Ｄは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の上面を構成する。
【0019】
給電部（給電線）４０Ｅは、走行車６の給電コア５７に電力を供給すると共に、給電コア５７と信号の送受信を行う部位である。給電部４０Ｅは、一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃのそれぞれに固定され、走行方向に沿って延在している。給電部４０Ｅは、給電コア５７（図４参照）に対して非接触の状態で電力を供給する。磁気プレート４０Ｆは、走行車６のＬＤＭ（Linear DC Motor）５９に走行又は停止のための磁力を発生させる。磁気プレート４０Ｆは、天面部４０Ｄに固定され、走行方向に沿って延在している。
【0020】
走行車６は、走行用軌道４に沿って走行し、物品１０を搬送する。走行車６は、物品１０を移載可能に構成されている。走行車６は、天井走行式無人走行車である。走行車システム１が備える走行車６の台数は、特に限定されず、複数である。走行車６は、本体部７と、走行部５０と、本体コントローラ３５と、を有する。本体部７は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、カバー３３と、を有する。
【0021】
本体フレーム２２は、走行部５０と接続されており、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、カバー３３とを支持する。横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、走行用軌道４の走行方向と直角な方向に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、ワイヤ、ロープ及びベルト等の吊持材を巻取る又は繰出すことによって昇降台３０を昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品１０の把持又は解放が自在とされている。カバー３３は、例えば走行車６の走行方向の前後に一対設けられている。カバー３３は、図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。
【0022】
走行部５０は、走行車６を走行用軌道４に沿って走行させる。図４に示されるように、走行部５０は、走行ローラ５１、サイドローラ５２、分岐ローラ５３、補助ローラ５４、傾斜ローラ５５、給電コア５７及びＬＤＭ５９を有している。図２では、分岐ローラ５３、補助ローラ５４、及び傾斜ローラ５５の図示は省略する。
【0023】
走行ローラ５１は、走行輪としての外輪５１Ａ及び走行補助輪としての内輪５１Ｂからなるローラ対である。走行ローラ５１は、走行部５０の前後の左右両端に配置されている。走行ローラ５１は、走行用軌道４の一対の下面部４０Ｂ，４０Ｂ（図２参照）又は後述する図４の下方支持部４３を転動する。本実施形態の外輪５１Ａは、走行部５０に電力が供給されていない状態において容易に回転しないように構成されている。すなわち、外輪５１Ａは、給電コア５７に電力が供給されない状態において回転しないようにブレーキがかかる。
【0024】
サイドローラ５２は、走行ローラ５１の外輪５１Ａのそれぞれを前後方向に挟むように配置されている。サイドローラ５２は、走行用軌道４の側面部４０Ｃ（図２参照）又は後述する図４の側方支持部４５に接触可能に設けられている。分岐ローラ５３は、サイドローラ５２のそれぞれを上下方向に挟むように配置されている。サイドローラ５２は、走行用軌道４の接続部又は分岐部等に配置されているガイド（図示せず）に接触可能に設けられている。
【0025】
補助ローラ５４は、走行部５０の前後に設けられている、三つ一組のローラ群である。補助ローラ５４は、走行部５０が加減速等により走行中に前後に傾いたときに、ＬＤＭ５９及び給電コア５７等が走行用軌道４の上面に配置された磁気プレート４０Ｆ（図２参照）に接触することを防止するために設けられている。傾斜ローラ５５は、ＬＤＭ５９の四隅に設けられている。傾斜ローラ５５は、前後方向から傾いた状態で配置されている。傾斜ローラ５５は、走行部５０がカーブ区間を走行する際の遠心力による傾きを防止するために設けられている。
【0026】
給電コア５７は、走行部５０の前後に、左右方向にＬＤＭ５９を挟むように配置されている。走行用軌道４に配置された給電部４０Ｅ（図２参照）との間で非接触による給電と、非接触による各種信号の送受信を行う。給電コア５７は本体コントローラ３５との間で信号をやりとりする。ＬＤＭ５９は、走行部５０の前後に設けられている。ＬＤＭ５９は、電磁石によって走行用軌道４の上面に配置された磁気プレート４０Ｆ（図２参照）との間で、走行又は停止のための磁力を発生させる。
【0027】
走行部５０は、後段にて詳述する搬送コントローラ（コントローラ）９０によって本体コントローラ３５を介した状態で制御される。具体的には、搬送コントローラ９０からの指令が本体コントローラ３５に送信され、当該指令を受信した本体コントローラ３５が走行部５０を制御する。走行部５０は、電力が供給されている状態において、走行車６の外部の搬送コントローラ９０からの制御が可能となっている。また、走行部５０は、電力が供給されていない状態から電力が供給される状態になると、搬送コントローラ９０からの指令が本体コントローラ３５に送信され、当該指令を受信した本体コントローラ３５が走行部５０を制御する状態となる。
【0028】
図１に示されるように、載置部９は、走行用軌道４に沿って配置され、走行車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられている。載置部９には、バッファ及び受渡ポートが含まれる。バッファは、物品１０が一時的に載置される載置部である。バッファは、例えば、目的とする受渡ポートに他の物品１０が載置されている等の理由により、走行車６が搬送している物品１０をその受渡ポートに移載できない場合に、物品１０が仮置きされる載置部である。受渡ポートは、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置（図示せず）に対して物品１０の受渡を行うための載置部である。なお、処理装置は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。
【0029】
例えば、載置部９は、走行用軌道４の側方に配置されている。この場合、走行車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０を僅かに昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。なお、図示はしないが載置部９は、走行用軌道４の直下に配置されてもよい。この場合、走行車６は、昇降台３０を昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。
【0030】
本体コントローラ３５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。本体コントローラ３５は、走行車６における各種動作を制御する。具体的には、本体コントローラ３５は、走行部５０と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、を制御する。本体コントローラ３５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。本体コントローラ３５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。本体コントローラ３５は、走行用軌道４の給電部４０Ｅ（フィーダー線）等を利用して、搬送コントローラ９０（図１参照）と通信を行う。
【0031】
図１に示されるように、作業エリア１６０は、退避部４Ｂの一部に設けられ、走行車６に含まれる走行部５０の走行ローラ５１及び給電コア５７等のメンテナンスを実施するエリアである。作業エリア１６０には、作業用軌道４１（図３参照）と、移動装置６０（図５及び図６参照）と、吸引装置８０（図７参照）と、が設けられている。
【0032】
作業用軌道４１は、その両端が走行用軌道４，４に連続するように一方向（以下、「延在方向Ｘ」と称する。）に延在し、図３及び図４に示されるように、走行部５０の少なくとも一部（例えば、給電コア５７）を露出させる開放部４７を形成している。言い換えれば、作業用軌道４１には、図２に示される走行用軌道４に設けられているような給電部４０Ｅ及び天面部４０Ｄが設けられておらず、走行用軌道４の給電部４０Ｅ及び天面部４０Ｄに対応する部分が開放部４７となっている。
【0033】
作業用軌道４１は、作業用軌道４１の両端に配置されるフレーム４２，４２と、一対の下方支持部４３，４３と、一対の側方支持部４５，４５と、を有している。
【0034】
フレーム４２は、一対の側面部４２Ａ，４２Ａと、天面部４２Ｂと、を有している。一対の側面部４２Ａ，４２Ａは、左右方向に対向して配置され、鉛直方向に延在する板状部材である。側面部４２Ａは、ブラケット（図示せず）及び支柱（図示せず）を介して天井に固定される。天面部４２Ｂは、一対の側面部４２Ａ，４２Ａを、一対の側面部４２Ａ，４２Ａの上端にて接続する板状部材である。
【0035】
下方支持部４３は、走行部５０を下方から支持する。より詳細には、下方支持部４３は、走行車６の走行ローラ５１の内輪５１Ｂを転動させて走行させる部材である。下方支持部４３は、フレーム４２の側面部４２Ａの下端に固定され、一対のフレーム４２，４２に延在方向Ｘに沿って掛け渡されている。下方支持部４３は、鉛直方向において、内輪５１Ｂに対向する第一部分４３Ｂが、外輪５１Ａに対向する第二部分４３Ａよりも上方に位置するように形成されている。下方支持部４３の第一部分４３Ｂ（すなわち、内輪５１Ｂの転動面）は、走行用軌道４に接続される部位において、走行用軌道４の下面部４０Ｂ（図２参照）の上面と面一に接続される。
【0036】
側方支持部４５は、走行車６のサイドローラ５２が接触する部材である。側方支持部４５は、フレーム４２の側面部４２Ａに固定され、一対のフレーム４２，４２に掛け渡されている。
【0037】
図５～図８に示されるように、清掃ユニット１００は、移動装置６０と吸引装置（清掃装置）８０とユニットコントローラ９５とを有している。清掃ユニット１００は、作業用軌道４１に位置する走行車６を清掃する。移動装置６０は、作業用軌道４１に沿って走行車６を移動させる。作業用軌道４１の両端には、走行用軌道４，４が接続されているので、移動装置６０は、一方の走行用軌道４から作業用軌道４１を経由して他方の走行用軌道４との間で走行車６を移動させる。移動装置６０は、ベースプレート７０と、移動プレート７１と、第一アーム部６１及び第二アーム部６５からなる一対のアーム部と、第一回動駆動部６２と、第二回動駆動部６６と、第一移動駆動部６４と、第二移動駆動部６８と、を備える。
【0038】
ベースプレート７０は、移動プレート７１、第一アーム部６１、第二アーム部６５、第一回動駆動部６２、第二回動駆動部６６、第一移動駆動部６４、及び第二移動駆動部６８を支持する、板状の部材である。ベースプレート７０は、吊下部材７５によって天井から吊り下げられている。
【0039】
移動プレート７１は、第一アーム部６１、第二アーム部６５、第一回動駆動部６２、第二回動駆動部６６、第一移動駆動部６４、及び第二移動駆動部６８を支持する、板状の部材である。移動プレート７１は、ベースプレート７０に対して延在方向Ｘに移動可能に設けられている。より詳細には、移動プレート７１は、ＬＭガイド（Linear Motion Guide）６８Ａ及び駆動モータ６８Ｂ等からなる第二移動駆動部６８によって、ベースプレート７０に対して延在方向Ｘに移動可能に設けられている。
【0040】
第一アーム部６１は、走行車６の走行方向における上流側に配置されている。すなわち、第一アーム部６１は、走行車６を移動させるとき、走行車６の後端（カバー３３）に接触する。第一アーム部６１は、第一回動駆動部６２によって、走行車６を挟み込む位置（接触位置）と走行車６から退避する位置（退避位置）との間で移動する。第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２は、第一移動駆動部６４によって、移動プレート７１に対して延在方向Ｘに移動可能に設けられている。より詳細には、第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２はＬＭガイド６４Ａ及び駆動モータ６４Ｂ等からなる第一移動駆動部６４によって、移動プレート７１に対して延在方向Ｘに移動可能に設けられている。
【0041】
第二アーム部６５は、走行車６の走行方向における下流側に配置されている。すなわち、第二アーム部６５は、走行車６を移動させるとき、走行車６の前端に接触する。第二アーム部６５は、第二回動駆動部６６によって、走行車６を挟み込む位置と走行車６から退避する位置との間で移動する。第二アーム部６５及び第二回動駆動部６６は、第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２とは異なり、移動プレート７１に対して延在方向Ｘに移動不能に設けられている。
【0042】
吸引装置８０は、作業エリア１６０（作業用軌道４１）に位置する走行車６に、開放部４７を介して、走行部５０の少なくとも一部に清掃作業を実行する。より詳細には、吸引装置８０は、走行部５０の少なくとも一部（例えば、給電コア５７）に付着した付着物を吸引する。吸引装置８０は、天井から吊り下げられた支持プレート８５に設けられている。吸引装置８０は、六つ（六軸）の関節によって構成される垂直多関節型ロボット８１であり、その先端には、付着物を吸引する吸引部８２が設けられている。
【0043】
ユニットコントローラ９５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。ユニットコントローラ９５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。ユニットコントローラ９５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。ユニットコントローラ９５は、移動装置６０及び吸引装置８０の動作を制御する。ユニットコントローラ９５は、搬送コントローラ９０と通信可能に接続されている。
【0044】
搬送コントローラ９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。搬送コントローラ９０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。搬送コントローラ９０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。搬送コントローラ９０は、走行車６に物品１０を搬送させる搬送指令を送信する。搬送コントローラ９０は、複数の走行車６のそれぞれ及び清掃ユニット１００のユニットコントローラ９５と通信可能に接続されている。
【0045】
ここで、図１に示されるように、走行車６の走行方向において作業用軌道４１の上流側端部に隣接する走行用軌道４の所定位置を第一位置Ｐ１とし、作業用軌道４１の下流側端部に隣接する走行用軌道４の所定位置を第二位置Ｐ２とする。
【0046】
搬送コントローラ９０は、第一指令、第二指令、第三指令、第五指令、及び第六指令を送信する。第一指令は、走行車６に送信する指令であり、走行用軌道４を走行する走行車６を第一位置Ｐ１まで走行させる指令である。第一指令を受信した走行車６は、第一位置Ｐ１まで走行し、停止する。第二指令は、走行車６に送信する指令であり、移動装置６０による移動を可能な状態とする指令である。より詳細には、第二指令は、少なくとも走行車６の走行部５０における外部からの制御を不能（シャットダウン）にさせる指令である。第二指令を受信した走行車６は、外部との通信が切断され、外部から走行部５０が制御されることがなくなる。なお、搬送コントローラ９０の移動装置６０及び吸引装置８０への指令の送信は、ユニットコントローラ９５を介して行われる。
【0047】
第三指令は、第二指令を第一位置Ｐ１に停止した走行車６に送信した後又は送信したと同時に、移動装置６０に送信する指令である。第三指令は、第一位置Ｐ１に停止した走行車６を作業用軌道４１まで移動させる指令である。第三指令を受信した移動装置６０は、第一位置Ｐ１に停止している走行車６を作業用軌道４１まで搬送する。第五指令は、移動装置６０に送信する指令であり、作業用軌道４１から第二位置Ｐ２まで走行車６を移動させる指令である。第五指令を受信した移動装置６０は、作業用軌道４１に停止している走行車６を第二位置Ｐ２まで搬送する。
【0048】
第六指令は、走行車６に第三指令を送信した後に、吸引装置８０に送信する指令である。第六指令は、作業用軌道４１に停止する走行車６を吸引装置８０に清掃させる指令である。第六指令を受信した移動装置６０は、作業用軌道４１に停止する走行車６の清掃を開始する。
【0049】
次に、走行用軌道４を走行する走行車６を作業用軌道４１に入場させ、清掃ユニット１００において走行車６を清掃した後、再び走行用軌道４に走行車６を復帰させるまでの動作について、図９及び図１０に従って説明する。
【0050】
ユニットコントローラ９５は、清掃ユニット１００において走行車６の清掃が可能か否かを判定する（ステップＳ１）。ユニットコントローラ９５は、移動装置６０が所定位置（例えば、第一位置Ｐ１に位置する走行車６を移動させることが可能な位置）に位置しているか否かを判定する。ここでは、移動装置６０が上記所定位置に位置していることを検知すると、走行車６の清掃が可能であると判定する。なお、ユニットコントローラ９５は、作業用軌道４１に走行車６が位置しているか否かを判定することによって、走行車６の清掃が可能であると判定してもよい。
【0051】
ユニットコントローラ９５は、清掃ユニット１００において走行車６の清掃が可能であることを判定すると、搬送コントローラ９０にその旨の通知である可能通知を送信する（ステップＳ２）。可能通知を受信した搬送コントローラ９０は、走行車６に第一指令を送信する（ステップＳ３）。第一指令を受信した走行車６は、第一位置Ｐ１まで走行し、第一位置Ｐ１に到着する（ステップＳ４）。第一位置Ｐ１に到着した走行車６は、搬送コントローラ９０に到着通知を送信する（ステップＳ５）。なお、搬送コントローラ９０は、走行車６からの到着通知を受信すると、到着した走行車６の形式等をユニットコントローラ９５に送信する（ステップＳ６）。これにより、走行車６の形式（サイズ）等に合わせて移動装置６０を動作させることが可能となる。
【0052】
到着通知を受信した搬送コントローラ９０は、第二指令を走行車６に送信する（ステップＳ７）。第二指令を受信した走行車６は、移動装置６０によって移動が可能な状態となる。より詳細には、第二指令を受信した走行車６は、走行車６の走行部５０における外部からの制御が不能（シャットダウン）になる（ステップＳ８）。これにより、走行車６は、移動装置６０によって自由に移動させられる状態となる。搬送コントローラ９０は、走行車６がシャットダウンしたタイミングで、移動装置６０に第三指令を送信する（ステップＳ１０）。例えば、搬送コントローラ９０は、第二指令を送信した後、所定時間経過後に第三指令を移動装置６０に送信するようにしてもよい。なお、上述したとおり、搬送コントローラ９０から移動装置６０への第三指令の送信は、ユニットコントローラ９５を介して行われる。
【0053】
第三指令を受信した移動装置６０は、第一位置Ｐ１に停止している走行車６を作業用軌道４１まで移動させる（ステップＳ１１）。ここで、移動装置６０が走行車６を第一位置Ｐ１から作業用軌道４１まで移動させる動作について詳細に説明する。
【0054】
作業用軌道４１に走行車６が存在しないとき、図１１（ａ）に示されるように、第一アーム部６１が退避位置に位置し、第二アーム部６５が接触位置に位置している。このような状態において、第一指令を受信した走行車６が作業用軌道４１に入場してくると、図１１（ｂ）に示されるように、走行車６は、第二アーム部６５に接触する位置で一旦停止する。この位置が第一位置Ｐ１となる。
【0055】
走行車６が第二アーム部６５に接触する位置で一旦停止すると、第三指令を受信した移動装置６０の第一回動駆動部６２は、第一アーム部６１を接触位置に回動させ、第一移動駆動部６４は、第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２を前進（走行車６の走行方向における下流側に移動）させる。これにより、図１１（ｃ）に示されるように、走行車６は、第一アーム部６１と第二アーム部６５とによって挟み込まれた状態となる。
【0056】
次に、第二移動駆動部６８は、移動プレート７１を前進させる。すなわち、第二移動駆動部６８は、第一アーム部６１と第二アーム部６５との間の距離を維持したまま、第一アーム部６１、第一回動駆動部６２、第二アーム部６５、及び第二回動駆動部６６とを前進させる。移動装置６０による走行車６の前進の途中で、走行車６は、走行用軌道４から作業用軌道４１に乗り移る。すなわち、走行車６は、給電区間から無給電区間に乗り移る。このタイミング（ステップＳ１２）で、走行車６への給電が断たれ、走行車６への給電がＯＦＦとなる（ステップＳ１３）。走行車６は、第一アーム部６１と第二アーム部６５とによって挟み込まれた状態で前進させられ、図１１（ｄ）に示されるように、作業用軌道４１の所定位置で停止させられる。この位置は、走行車６が吸引装置８０によって清掃が実施される位置である。
【0057】
次に、搬送コントローラ９０は、吸引装置８０に第六指令を送信する（ステップＳ１５）。なお、上述したとおり、搬送コントローラ９０から吸引装置８０への第六指令の送信は、ユニットコントローラ９５を介して行われる。第六指令を受信した吸引装置８０は、作業用軌道４１の所定位置に停止する走行車６の清掃を開始する（ステップＳ１６）。搬送コントローラ９０は、吸引装置８０による走行車６の清掃が終了したタイミングで、第五指令を移動装置６０に送信する（ステップＳ１７）。なお、搬送コントローラ９０は、第六指令を吸引装置８０に送信してから所定時間経過後に移動装置６０に第五指令を送信してもよい。第五指令を受信した移動装置６０は、作業用軌道４１の所定位置から第二位置Ｐ２まで走行車６を移動させる（ステップＳ１８）。ここで、移動装置６０が走行車６を作業用軌道４１の所定位置から第二位置Ｐ２まで移動させる動作について詳細に説明する。
【0058】
走行車６は、第一アーム部６１と第二アーム部６５とによって挟み込まれた状態で前進させられ、図１２（ａ）に示されるように、作業用軌道４１の所定位置から走行用軌道４の第二位置Ｐ２まで移動させられる。この移動装置６０による走行車６の前進の途中で、走行車６は、作業用軌道４１から走行用軌道４に乗り移る。すなわち、走行車６は、無給電区間から給電区間に乗り移る。このタイミング（ステップＳ２１）で、走行車６への給電が開始され、走行車６への給電がＯＮとなる（ステップＳ２２）。走行車６の走行部５０は、電力が供給されていない状態から電力が供給される状態になると、外部からの制御が可能（起動する）（ステップＳ２３）となる。
【0059】
走行車６は、走行部５０における外部からの制御が可能になるように起動すると、搬送コントローラ９０に起動通知を送信する（ステップＳ２４）。起動通知を受信した搬送コントローラ９０は、起動通知を送信した走行車６に、本線部４Ａの所定位置に移動するような移動指令を送信する（ステップＳ２５）。これにより、走行車６は、本線部４Ａに復帰する。
【0060】
移動装置６０は、走行車６を第二位置Ｐ２まで移動させると、図１２（ｂ）に示されるように、第二回動駆動部６６は、第二アーム部６５を退避位置に回動させる。その後、走行車６は、走行部５０の給電コア５７に供給される電力によって、自身の走行部５０が有する駆動部によって前進を開始する。同時に、搬送コントローラ９０は、ユニットコントローラ９５に移動装置６０を所定位置（例えば、第一位置Ｐ１に位置する走行車６を移動させることが可能な位置）に戻させるような指示を通知する（ステップＳ２６）。
【0061】
次に、図１２（ｃ）に示されるように、第二回動駆動部６６は、第二アーム部６５を接触位置に回動させる。そして、第二移動駆動部６８は、移動プレート７１を後退させる。すなわち、第二移動駆動部６８は、第一アーム部６１と第二アーム部６５との間の距離を維持したまま、第一アーム部６１、第一回動駆動部６２、第二アーム部６５、及び第二回動駆動部６６を後退させる。その後、第一移動駆動部６４は、第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２を後退させる。これにより、図１２（ｄ）に示されるように、第一アーム部６１及び第二アーム部６５は、次に入場してくる走行車６を待つ位置にまで戻る。そして、図１１（ａ）に示されるように、第一アーム部６１が退避位置に位置し、第二アーム部６５が接触位置に位置している状態で、次の走行車６の到着を待つ（ステップＳ２７）。
【0062】
次に、上記実施形態の走行車システム１の作用効果について説明する。上記実施形態の走行車システム１では、走行車６を作業用軌道４１に進入する手前の位置（第一位置Ｐ１）において、移動装置６０によって自由に移動できる状態として、移動装置６０による走行車６の移動を開始させる。これにより、走行用軌道４から作業用軌道４１への走行車６の移動を自動化できる。
【0063】
上記実施形態の走行車システム１では、搬送コントローラ９０は、少なくとも走行部５０における外部（搬送コントローラ９０）からの制御を不能にさせる第二指令を走行車６に送信している。この構成では、走行車６は、外部（搬送コントローラ９０）からの制御を不能にさせるものの、走行用軌道４を走行している間は電力が供給されるので、外輪５１Ａにはブレーキがかからない。すなわち、本実施形態では、簡易な制御にて、走行車６を移動装置６０によって自由に移動できる状態とすることができる。
【0064】
上記実施形態の走行車システム１では、搬送コントローラ９０は、無給電軌道の所定位置から第二位置Ｐ２まで走行車６を移動させる第五指令を移動装置６０に送信している。この構成では、走行用軌道４から作業用軌道４１への走行車６の移動に加え、作業用軌道４１から走行用軌道４への走行車６の移動を自動化できる。すなわち、走行用軌道４と作業用軌道４１との間の走行車６の移動を自動化できる。
【0065】
上記実施形態の走行車システム１では、走行部５０は、電力が供給されていない状態から電力が供給される状態になると、外部（搬送コントローラ９０）からの制御が可能となるように構成されている。これにより、移動装置６０による走行車６の移動によって作業用軌道４１から走行用軌道４に移動させられると、自動的に外部からの走行車６の制御が可能となる。
【0066】
上記実施形態の走行車システム１では、搬送コントローラ９０は、第三指令を送信した後に、ユニットコントローラ９５を介して吸引装置８０に走行車を清掃させる第六指令を送信している。これにより、走行用軌道４から作業用軌道４１への走行車６の移動に加え、吸引装置８０の清掃処理も自動化できる。
【0067】
以上、本発明の一側面の一実施形態について説明したが、本発明の一側面は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【0068】
上記実施形態では、第一位置Ｐ１に移動してきた走行車６に対し、搬送コントローラ９０は、少なくとも走行部５０における外部（搬送コントローラ９０）からの制御を不能にさせる第二指令を送信する例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、搬送コントローラ９０は、第二指令を送信する例に代えて、少なくとも走行部５０への電力供給を遮断する第四指令を第一位置Ｐ１に停止した走行車６に送信してもよい。この場合も、仮に、走行車６が外部からの制御が可能であったとしても、走行部５０には電力が供給されないので走行車６は走行できない。そこで、走行用軌道４においても、第一位置Ｐ１と作業用軌道４１との間、及び作業用軌道と第二位置Ｐ２との間にも、作業用軌道４１に形成される第一部分４３Ｂ及び第二部分４３Ａを形成する（図４参照）。すなわち、走行用軌道４の走行面には、鉛直方向において、内輪５１Ｂに対向する第一部分が、外輪５１Ａに対向する第二部分よりも上方に位置するように形成されている。このような変形例においても、走行車６を移動装置６０によって自由に移動できる状態とすることができる。
【0069】
上記実施形態では作業エリア１６０（すなわち、作業用軌道４１）が走行用軌道４と走行用軌道４との間に配置されている例を挙げて説明したが、作業エリア１６０は、走行用軌道４の終端部に配置されてもよい。この場合、第三指令による移動装置６０の移動方向と第五指令による移動装置６０の移動方向とは、互いに反対の方向となる。すなわち、第三指令によって、走行用軌道４から作業用軌道４１に走行車６を進入させ、第五指令によって、作業用軌道４１から走行用軌道４に走行車６を退出させる。
【0070】
上記実施形態の移動装置６０は、第一アーム部６１と第二アーム部６５とが移動プレート７１に設けられ、一体的に延在方向Ｘに移動する例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、第一アーム部６１及び第二アーム部６５は、ベースプレート７０に設けられ、ベースプレート７０に対してそれぞれ独立して延在方向Ｘに移動可能に設けられてもよい。
【0071】
上記実施形態の作業用軌道４１では、下方支持部４３は、鉛直方向において第一部分４３Ｂが第二部分４３Ａよりも上方に位置するように形成されている例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、走行部５０の走行輪が内輪５１Ｂとして形成され、走行補助輪が外輪５１Ａとして構成されている場合には、第二部分４３Ａが第一部分４３Ｂよりも上方に位置するように形成されてもよい。
【符号の説明】
【0072】
１…走行車システム、４…走行用軌道（給電軌道）、４１…作業用軌道（無給電軌道）、４０Ｅ…給電部、６…天井走行車（走行車）、３５…本体コントローラ、５０…走行部、６０…移動装置、８０…吸引装置、９０…搬送コントローラ、９５…ユニットコントローラ、１００…清掃ユニット、Ｐ１…第一位置、Ｐ２…第二位置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】