(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-05-11
(45)【発行日】2023-05-19
(54)【発明の名称】LED玉切れ検知機構及びこれを用いたLED光照射システム
(51)【国際特許分類】
H05B 45/54 20200101AFI20230512BHJP
【FI】
H05B45/54
(21)【出願番号】P 2019146266
(22)【出願日】2019-08-08
【審査請求日】2021-12-09
(73)【特許権者】
【識別番号】596099446
【氏名又は名称】シーシーエス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100121441
【氏名又は名称】西村 竜平
(74)【代理人】
【識別番号】100154704
【氏名又は名称】齊藤 真大
(74)【代理人】
【識別番号】100129702
【氏名又は名称】上村 喜永
(74)【代理人】
【識別番号】100206151
【氏名又は名称】中村 惇志
(74)【代理人】
【識別番号】100218187
【氏名又は名称】前田 治子
(72)【発明者】
【氏名】中川 優作
【審査官】田中 友章
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第2010/0264828(US,A1)
【文献】特開2010-123273(JP,A)
【文献】特開2019-121445(JP,A)
【文献】特開2013-101987(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2012/0161649(US,A1)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H05B 45/00
H05B 47/00
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
直列に接続した複数のLEDからなるLED列全体の順方向電圧である列電圧に基づいて、当該LED列に属するLEDの玉切れを検知するものであって、
前記列電圧から一定の降下電圧だけ降下させた電圧
、又は
、前記列電圧から一定の降下電圧だけ降下させた電圧を所定比で分圧した電圧を出力する検知回路と、
前記検知回路から出力された電圧とメモリ内に設定された正常値とを比較してLEDに玉切れが生じているか否かを判断する玉切れ判断回路とを備えていることを特徴とする玉切れ検知機構。
【請求項2】
前記検知回路は、1又は直列させた複数のツェナーダイオードを有した定電圧降下回路と、該定電圧降下回路に直列に接続された1又は複数の抵抗素子とを備えたものであり、
該検知回路が前記LED列と並列に接続されて、前記抵抗素子のいずれかに印加されている電圧を出力するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の玉切れ検知機構。
【請求項3】
前記検知回路において、降下電圧の互いに異なる複数の前記定電圧降下回路が設けてあり、いずれか一の定電圧降下回路を選択可能に構成してあることを特徴とする請求項2記載の玉切れ検知機構。
【請求項4】
前記列電圧を測定する電圧測定回路をさらに備えており、
その測定した列電圧よりも小さく、かつ列電圧に最も近い降下電圧が設定された前記定電圧降下回路を選択して動作させることを特徴とする請求項3記載の玉切れ検知機構。
【請求項5】
請求項1~4のいずれか記載の玉切れ検知機構と、前記LED列を備えたLED光照射装置とを備えていることを特徴とするLED光照射システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、表面検査や露光等に用いられるLED光照射装置におけるLEDの玉切れを検知する玉切れ検知機構に関するものである。
【背景技術】
【0002】
表面検査や露光用のLED光照射装置には、多数のLEDが用いられている。その回路は、例えば、数個~十数個のLEDを直列接続したLED列を、さらに並列に複数接続した構成となっている。
【0003】
また、このようなLED光照射装置においては、多数のLEDが用いられているため、また、UVなど可視外の光を射出するLEDが用いられているものでは特に、いくつかのLEDが玉切れによって消灯してもそれに気づきにくく、しかも消灯を放置すると検査精度や露光の均一度に悪影響を及ぼすので、LEDの玉切れを検知する玉切れ検知機構が設けられている場合がある。
【0004】
かかる玉切れ検知機構の代表的なタイプとして、特許文献1に示すような、電圧検知型のものが知られている。この電圧検知型玉切れ検知機構の原理は、LED列に含まれるいずれかのLEDに玉切れが生じると、そのLEDの順方向電圧が変動し、結果としてLED列全体の順方向電圧(以下、全体電圧ともいう。)が変動するので、この全体電圧を監視してその変動を検知することにより、LEDの玉切れを検知するというものである。
【0005】
しかしながら、このようなタイプの玉切れ検知機構では、ショートによりLEDが玉切れした場合の確実な検知が難しい。実用的には、少なくとも同一列で複数個のLEDがショートによる玉切れを起こして初めてそれを検知できる程度というのが精々であり、1つのLEDの玉切れは検知できないというのが実情である。
【0006】
その理由の大きな一つに、(LED個々の順方向電圧のばらつきなど他にもあるが、)分圧測定がある。
【0007】
分圧測定とは、LED列全体での順方向電圧(以下、列電圧ともいう。)を、電圧検出回路(例えばオペアンプやA/Dコンバータ)で直接測定するのではなく、列電圧を抵抗で形成した分圧回路によって分圧して電圧検出回路に入力するという方式である。というのも、前記列電圧が、LEDの直列接続数やLEDの種類にもよるが、一般的な電圧検出回路の入力レンジをはるかに超える場合があるためである。
【0008】
例えば、列電圧が数十ボルトとなる場合の前記分圧回路による分圧比は0.1以下である。このような場合において、1つのLEDがショートすることによって玉切れしたときの電圧検出回路の入力段での電圧変動は、1つのLEDの順方向電圧に分圧比をかけた非常に小さな値(例えば100mV~200mV)となり、ノイズによる変動との区別が付けられないレベルとなる。そのため、前述したように、少なくとも同一LED列で複数個のLEDがショートによる玉切れを起こして初めてそれを検知できるような設定にしないと、ノイズによる誤検知が生じ、実用に耐えない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0009】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
本発明は、上述した課題を解決すべくなされたものであって、たとえ1つのLEDが玉切れを起こしても、これをより確実に検知できる玉切れ検知機構を提供すべく図ったものである。
【課題を解決するための手段】
【0011】
すなわち本発明に係る玉切れ検知機構は、直列に接続した複数のLEDからなるLED列全体の順方向電圧である列電圧に基づいて、当該LED列に属するLEDの玉切れを検知するものであって、前記列電圧から一定の降下電圧だけ降下させた電圧又は該電圧を所定比で分圧した電圧を出力する検知回路と、前記検知回路から出力された電圧に基づいてLEDに玉切れが生じているか否かを判断する玉切れ判断回路とを備えていることを特徴とする。
【0012】
より簡単な構成で本発明を実現するための具体的な実施態様としては、前記検知回路は、1又は直列させた複数のツェナーダイオードを有した定電圧降下回路と、該定電圧降下回路に直列に接続された1又は複数の抵抗素子とを備えたものであり、該検知回路が前記LED列と並列に接続されて、前記抵抗素子のいずれかに印加されている電圧を出力するように構成されているものを挙げることができる。
【0013】
互いに列電圧の異なる複数種類のLED光照射装置に対応できるようにするためには、前記検知回路において、降下電圧の互いに異なる複数の前記定電圧降下回路が設けてあり、いずれか一の定電圧降下回路を選択可能に構成してあるものが好適である。
【0014】
列電圧の異なる複数種のLED光照射装置に自動的に対応できるようにするには、前記列電圧を測定する電圧測定回路をさらに備えており、その測定した列電圧よりも小さく、かつ列電圧に最も近い降下電圧が設定された定電圧降下回路を選択して動作させるものが好ましい。
【0015】
また、本発明は、前記玉切れ検知機構と、前記LED列を備えたLED光照射装置とを備えたLED光照射システムでもよい。
【発明の効果】
【0016】
このように構成した本発明によれば、従来のように、列電圧そのものを分圧して検知電圧とし、それを玉切れ判断に用いるのではなく、列電圧から所定の降下電圧分を差し引いた電圧を生成してそれを分圧し、それを検知電圧として玉切れ判断に用いるようにしている。
【0017】
したがって、おおもとの検知電圧が小さくなるので、分圧比を大きくしても、玉切れ判断回路の許容入力電圧レンジ内に収めることができる。そして分圧比を大きくできるということは、例えばLEDがショートして玉切れしたときの検知電圧の変動をより大きな電圧として検出できることとなる。
【0018】
その結果、LED玉切れ時の検知電圧の変動を、ノイズによる変動と確実に区別することができ、従来のように、同一列で複数個のLEDがショートによる玉切れをおこして初めてそれを検知できるようなものではなく、例えば、1つのLEDがショートによる玉切れをおこしてもこれをより確実に検知できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【
図1】本実施形態のLED光照射システム及び玉切れ検知機構の全体構成を模式的に示す回路図。
【発明を実施するための形態】
【0020】
以下に本発明の一実施形態につき、
図1を参照して説明する。
【0021】
本実施形態に係るLED光照射システムSは、例えばUV光をワークに照射してこれを露光するLED光照射装置200と、該LED光照射装置200に電力を供給する電源装置300と、前記LED光照射装置200に用いられているLED11の玉切れを検知する玉切れ検知機構100とを備えたものである。なお、この実施形態において、電源装置300と玉切れ検知機構100とは同一筐体に内蔵されているが、別々でもかまわない。
【0022】
さて、前記LED光照射装置200は、直列に接続した複数のLED11からなるLED列1を備えたものであり、前記電源装置300は、定電流回路Aを備えたものである。そして、この定電流回路AからLED列1に電流が供給されて各LED11が点灯する。具体的にいえば、定電流回路Aの出力端子が前記LED列1のアノード端子、すなわち、該LED列1の他方の端にあるLED11のアノード端子11aに、電源供給ケーブルを介して接続されている。他方、このLED列1のカソード端子、すなわち該LED列1の一方の端にあるLED11のカソード端子11bはグラウンドに接続してある。
【0023】
前記玉切れ検知機構100は、前記LED列1に属する各LED11の順方向電圧の総和である列電圧に基づいて、当該LED11の玉切れを検知するものである。より具体的にこの玉切れ検知機構100は、前記列電圧を一定の降下電圧だけ降下させ、その降下させた電圧を所定比で分圧した電圧(以下、検知電圧ともいう。)を出力する検知回路2と、該検知電圧に基づいてLED11に玉切れが生じているか否かを判断する玉切れ判断回路3とを備えている。
【0024】
次に、この玉切れ検知機構100の各部を詳細に説明する。
【0025】
前記検知回路2は、定電圧降下回路21と抵抗回路22とを備えている。
【0026】
前記定電圧降下回路21は、入力端子21b、出力端子21c及びこれら入出力端子21b、21c間に配置された1又は複数(ここでは2個)のツェナーダイオード21aを有したものである。より具体的に説明すると、一端にあるツェナーダイオード21aのカソード端子が前記入力端子に接続してあるとともに、他端にあるツェナーダイオード21aのアノード端子が前記出力端子に接続してあって、入力端子に印加された電圧から2つのツェナーダイオード21aの合計した降伏電圧(前記降下電圧)を差し引いた電圧が、出力端子から出力されるようにしてある。この実施形態では、この定電圧降下回路21の入力端子21bには、前記LED列1のカソード端子が接続されて列電圧が印加されるようにしてあるので、出力端子21cには、列電圧から降下電圧を差し引いた値の電圧が現れることとなる。
【0027】
前記抵抗回路22は、1又は複数(ここでは2個)の直列接続した抵抗素子22aからなるものであり、この抵抗回路22の一端が、前記定電圧降下回路21の出力端子21cに接続されているとともに、その他端がグラウンドに接続されている。さらに、前記各抵抗素子22a同士を接続する接続点が当該検知回路2の出力端子2aとなっている。また、この構成により、抵抗回路22が分圧回路として動作するようにしてある。
【0028】
前記玉切れ判断回路3は、例えばCPU(あるいはPLD等)やメモリ、ADコンバータ、DAコンバータ、オペアンプ、コンパレータなどからなる制御処理回路7に組み込まれたものである。そして、メモリに格納されたプログラムにしたがってCPUやその周辺機器が動作することにより、この制御処理回路7が、玉切れ判断回路3としての以下の機能を発揮する。
【0029】
すなわち、この玉切れ判断回路3は、前記検知回路2から出力される検知電圧をバッファ8を介して受信し、その検知電圧が、正常値よりも一定値以上低い値となった場合には、玉切れと判断しその旨を報知出力するとともに、そうでない場合は正常と判断して、その旨を報知出力する。
【0030】
ここでの正常値とは、全てのLED11が正常に点灯している場合に測定される検知電圧のことであり、通常であれば、製品出荷時やメンテナンス時あるいは校正時等に測定されてメモリ内に設定される。
【0031】
前記一定値とは、この実施形態では、1つのLED11の順方向電圧のことである。したがって、正常値よりも一定値以上低い値とは、1つのLED11がショートにより不点灯になり、その順方向電圧分だけ列電圧が下がったときの検知電圧のこととなる。この値は、前記正常値から前記順方向電圧に分圧比を乗じた値を差し引くことによって算出され、メモリ内に設定される。
【0032】
しかして、このような構成によれば、従来のように、列電圧そのものを分圧して検知電圧とし、それを玉切れ判断に用いるのではなく、列電圧から所定の降下電圧分を差し引いた電圧を生成してそれを分圧し、それを検知電圧として玉切れ判断に用いるようにしている。
【0033】
したがって、おおもとの検知電圧が小さくなるので、分圧比を大きくしても、玉切れ判断回路3の入力段における許容レンジ内に収めることができる。そして分圧比を大きくできるということは、例えばLED11がショートして玉切れしたときの検知電圧の変動が当該LED11の順方向電圧に分圧比を乗じた値になることから、従来に比べ、その変動をより大きな電圧として検出できる。具体的には、分圧比を従来の3~5倍以上にでき、LED11玉切れを、従来の3~5倍以上の電圧変動として検知することができる。
【0034】
したがって、LED11玉切れ時の検知電圧の変動を、ノイズと確実に区別することができ、従来のように、同一列で複数個のLED11がショートによる玉切れを起こして初めてそれを検知できるようなものではなく、この実施形態では、1つのLED11がショートによる玉切れを起こしてもこれをより確実に検知できるようになる。
【0035】
なお、2つ以上の任意の数のLED11の順方向電圧の総和をもって、前記一定値としてもよい。その場合は、LED列11において、当該数のLED11が不点灯になった時にこれを検出できることとなる。
【0036】
ところで、この実施形態では、降下電圧の異なる複数(ここでは3つ)の定電圧降下回路21が並列に設けてあるとともに、各定電圧降下回路21のいずれか1つを選択して動作させる選択回路4が設けられている。
【0037】
この選択回路4は、各定電圧降下回路21上にそれぞれ設けられたFETなどを用いたスイッチ素子41を有したものであり、いずれかのスイッチ素子41をONすることによって、対応する定電圧降下回路21が動作するように構成してある。ただし、最も降下電圧の大きな定電圧降下回路21上には、スイッチ素子41は設けられていない。それよりも降下電圧の低いスイッチ素子41をONすることによって、最も降下電圧の大きな定電圧降下回路21は実質的に動作しないからである。
【0038】
さらに、この実施形態では、前記列電圧を測定して、その列電圧を示す値である列電圧測定値を出力する電圧測定回路5と、列電圧測定値に基づいて、どの定電圧降下回路21を動作させるかを指示する指示回路6とが設けられている。
【0039】
前記電圧測定回路5は、前記列電圧を分圧して出力するものである。したがって列電圧測定値は、列電圧に分圧比を乗じた値となる。ここではLED列1のアノード端子とグラウンド間に設けられた2つの抵抗素子51によって構成されており、これら抵抗素子51間に現れる分圧が前記列電圧測定値として出力される。
【0040】
前記指示回路6は、前記制御処理回路7に組み込まれたものである。すなわち、該制御処理回路7が前記メモリに格納されたプログラムに従って動作することにより、前記列電圧測定値から換算される列電圧よりも小さく、かつ列電圧に最も近い降下電圧が設定された定電圧降下回路21を選択して、その定電圧降下回路21が動作するよう、前記選択回路4に指示信号を出力して、対応するスイッチ素子41をONにする指示回路6としての機能を発揮するように構成してある。
【0041】
このような構成によれば、列電圧の異なる複数種のLED光照射装置に対応できる。
【0042】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【0043】
例えば、前記実施形態においては、指示回路6によりどの定電圧降下回路21を用いるか、指示回路6が電圧測定回路5の出力電圧に基づき選択、設定していたが、指示回路6が受け付けた調光値に応じて選択、設定するようにしてもよく、その他、自動的に設定するのではなく、指示回路6を設けず、オペレータによる入力で設定できるようにしてもよい。
【0044】
また、前記実施形態においては、検知電圧とあらかじめ定めた一定の正常値とを比較することによって玉切れを判断していたが、この正常値を検知電圧によって次々更新してもよい。すなわち、例えば、検知電圧を、一定時間間隔でサンプリングし、前回乃至数回前にサンプリングした検知電圧を正常値として次々メモリの内容を書き換えてゆき、その正常値と現在検知電圧とを比較して玉切れを検知するようにしてもよい。このようにすれば、正常に点灯しているにもかかわらず、経年変化で順方向電圧が徐々に変動することによって、玉切れと誤判断される事態を回避することができる。
【0045】
その他、例えば、前記抵抗回路22の抵抗素子22aを1つとしてもよい。このようなものであれば、分圧比は1(分圧されない)となるので、耐ノイズ性が最大となる。また、検知回路2において、分圧比の異なる複数の抵抗回路22を設けて、いずれかの抵抗回路22を用いるようにしてもよい。定電圧降下回路21は、ツェナーダイオード21aを用いず、例えばトランジスタやFETによって構成してもよいし、ツェナーダイオード21aの降伏電圧を増減して降下電圧を変更すべく、トランジスタやFETなどの回路を付加してもよい。
【0046】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【0047】
S・・・LED光照射システム
100・・・玉切れ検知機構
200・・・LED光照射装置
1・・・LED列
11・・・LED
2・・・検知回路
21・・・定電圧降下回路
21a・・・ツェナーダイオード
22・・・抵抗回路
22a・・・抵抗素子
3・・・玉切れ判断回路
4・・・選択回路
5・・・電圧測定回路