ホーム > 特許ランキング > 株式会社エス・テイ・ジャパン
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-05-11
(45)【発行日】2023-05-19
(54)【発明の名称】試料ホルダ
(51)【国際特許分類】
G01N 21/01 20060101AFI20230512BHJP
G01N 21/3563 20140101ALI20230512BHJP
【ＦＩ】
G01N21/01 B
G01N21/3563
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2019177669
(22)【出願日】2019-09-27
(65)【公開番号】P2021056043
(43)【公開日】2021-04-08
【審査請求日】2022-06-06
(73)【特許権者】
【識別番号】593230855
【氏名又は名称】株式会社エス・テイ・ジャパン
(74)【代理人】
【識別番号】100137752
【弁理士】
【氏名又は名称】亀井 岳行
(72)【発明者】
【氏名】中川 孝郎
(72)【発明者】
【氏名】増谷 浩二
【審査官】小野寺 麻美子
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－２５５９０２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０４－２８５８２８（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開平０１－１３２９５５（ＪＰ，Ｕ）
【文献】実開昭５１－０２９８８６（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１５－１７５６６６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０６３２６９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０７－１２８２０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】中国特許出願公開第１０４５１５７４８（ＣＮ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ ２１／００ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８
Ｇ０１Ｎ １／００ － Ｇ０１Ｎ １／４４
Ｇ０１Ｎ ３／００ － Ｇ０１Ｎ ３／６２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
試料の一方の側を支持する第１のホルダ部であって、前記試料に接触する第１の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第１の赤外透明部材、を有する前記第１のホルダ部と、前記試料の他方の側を支持する第２のホルダ部であって、前記試料に接触する第２の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第２の赤外透明部材、を有する前記第２のホルダ部と、
前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を調整して、前記試料に作用する圧力を調整する圧力調整具と、
前記第１の接触面と同一の断面積を有する柱状に形成された前記第１の赤外透明部材と、
前記第２の接触面側に行くにつれて断面積が狭くなる錐台状に形成された前記第２の赤外透明部材と、
を備え、
前記試料は、加圧されながら挟まれた状態で前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部との間に配置され、
前記第２の接触面の表面積は、前記第１の接触面よりも狭い面積を有する、
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項2】
試料の一方の側を支持する第１のホルダ部であって、前記試料に接触する第１の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第１の赤外透明部材、を有する前記第１のホルダ部と、前記試料の他方の側を支持する第２のホルダ部であって、前記試料に接触する第２の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第２の赤外透明部材、を有する前記第２のホルダ部と、
前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を調整して、前記試料に作用する圧力を調整する圧力調整具と、
前記第１のホルダ部および前記第２のホルダ部を支持する基体であって、突起状の位置決め部を有する前記基体と、
前記第１のホルダ部に形成され且つ前記位置決め部が通過して位置決めされる第１の被位置決め部と、
前記第２のホルダ部に形成され且つ前記位置決め部が通過する第２の被位置決め部であって、前記位置決め部に対する隙間が前記第１の被位置決め部よりも大きな形状の前記第２の被位置決め部と、
前記位置決め部と前記第１の被位置決め部および前記第２の被位置決め部とで前記試料に対する前記第２の接触面の位置を調整した状態で、前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を近づけて前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部とを固定する前記圧力調整具と、
を備え、
前記試料は、加圧されながら挟まれた状態で前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部との間に配置され、
前記第２の接触面の表面積は、前記第１の接触面よりも狭い面積を有する、
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項3】
前記分析する赤外光に対して透明であるととともに、可視光に対しても透明な前記第１の赤外透明部材および前記第２の赤外透明部材、を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の試料ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、試料を保持する試料ホルダに関し、特に、試料を挟んで圧縮延伸する試料ホルダに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から試料を観測、分析するための装置として、赤外光（ＩＲ：Infrared）を利用したＦＴ－ＩＲ法（フーリエ変換赤外分光法、例えば、特許文献１参照）が知られている。
ＦＴ－ＩＲにおいて、試料に赤外光を透過させて観測、分析を行う場合には、試料を薄く切り出す必要があるとともに、薄く切り出された試料をホルダで保持する必要がある。そして、試料を薄く切り出しても、薄さが充分でない場合は図６の構成をもった試料ホルダにより圧縮延伸することが行われる。
ＦＴ－ＩＲにおいて、試料に赤外光を透過させて観測、分析を行う場合には、試料を薄く切り出す必要があるとともに、薄く切り出された試料をホルダで保持する必要がある。そして、試料を薄く切り出しても、薄さが充分でない場合は図６の構成をもった試料ホルダにより圧縮延伸することが行われる。
【0003】
図６は従来の試料ホルダの説明図である。
図６において、従来の試料ホルダ０１は、試料０２を挟むように、第１のホルダ部０１ａと、第２のホルダ部０１ｂとを有する。従来の試料ホルダは、第１のホルダ部０１ａと第２のホルダ部０１ｂは、同一の構成となっており、試料０２を挟んで向かい合わせに配置されて、挟み込むように試料０２を保持した状態でネジ（図示せず）で固定する。
各ホルダ部０１ａ，０１ｂの中央部には、赤外光０３の光軸に対応して、貫通孔０４が形成されている。各貫通孔０４には、赤外光０３に対して透明な赤外透明部材として、それぞれダイヤモンド０６が設置されている。ダイヤモンド０６は、試料０２との接触面０６ａ側の角が面取りされてはいるが基本的には円柱状の形状に形成されている。そして、試料０２を各ホルダ部０１ａ，０１ｂで両側から挟んだ状態でネジを締めて試料０２を圧縮して試料０２の厚みを薄くし、ＦＴ－ＩＲ装置に試料ホルダ０１をセットして、貫通孔０４やダイヤモンド０６、試料０２を通過した赤外光０３を観測して、分析をおこなう。
図６において、従来の試料ホルダ０１は、試料０２を挟むように、第１のホルダ部０１ａと、第２のホルダ部０１ｂとを有する。従来の試料ホルダは、第１のホルダ部０１ａと第２のホルダ部０１ｂは、同一の構成となっており、試料０２を挟んで向かい合わせに配置されて、挟み込むように試料０２を保持した状態でネジ（図示せず）で固定する。
各ホルダ部０１ａ，０１ｂの中央部には、赤外光０３の光軸に対応して、貫通孔０４が形成されている。各貫通孔０４には、赤外光０３に対して透明な赤外透明部材として、それぞれダイヤモンド０６が設置されている。ダイヤモンド０６は、試料０２との接触面０６ａ側の角が面取りされてはいるが基本的には円柱状の形状に形成されている。そして、試料０２を各ホルダ部０１ａ，０１ｂで両側から挟んだ状態でネジを締めて試料０２を圧縮して試料０２の厚みを薄くし、ＦＴ－ＩＲ装置に試料ホルダ０１をセットして、貫通孔０４やダイヤモンド０６、試料０２を通過した赤外光０３を観測して、分析をおこなう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００５－１５６３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
（従来技術の問題点）
前述の従来の試料ホルダ０１では、切り出された試料０２の厚さが、想定よりも厚い場合や表面の凹凸が大きい場合に使用する。取り扱う試料０２は慎重な取り扱いが必要であり、静電気で取り扱いが難かったり、弱い空気の流れでも散逸、紛失したりしやすい問題がある。試料ホルダ０１に使用するダイヤモンド０６の径が大きいときには、試料０２の取り扱いは比較的容易であるが、試料０２を圧縮する圧力はダイヤモンド０６の径の二乗に反比例するため大きくすることが困難である。一方、ダイヤモンド０６の径が小さいときには、試料０２を圧縮する圧力を大きくできるが、試料０２の測定部位をダイヤモンド０６の測定位置にセットするのに手間がかかることや、対のダイヤモンド０６のお互いの位置合わせが困難になり、両者の位置ずれはダイヤモンド０６の破損の原因や赤外光０３の透過率であるスループットを低下させ測定データの劣化を招く。
前述の従来の試料ホルダ０１では、切り出された試料０２の厚さが、想定よりも厚い場合や表面の凹凸が大きい場合に使用する。取り扱う試料０２は慎重な取り扱いが必要であり、静電気で取り扱いが難かったり、弱い空気の流れでも散逸、紛失したりしやすい問題がある。試料ホルダ０１に使用するダイヤモンド０６の径が大きいときには、試料０２の取り扱いは比較的容易であるが、試料０２を圧縮する圧力はダイヤモンド０６の径の二乗に反比例するため大きくすることが困難である。一方、ダイヤモンド０６の径が小さいときには、試料０２を圧縮する圧力を大きくできるが、試料０２の測定部位をダイヤモンド０６の測定位置にセットするのに手間がかかることや、対のダイヤモンド０６のお互いの位置合わせが困難になり、両者の位置ずれはダイヤモンド０６の破損の原因や赤外光０３の透過率であるスループットを低下させ測定データの劣化を招く。
【0006】
本発明は、試料を両側から挟む接触面の面積が同一の構成に比べて、試料に高い圧力を加えられることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記技術的課題を解決するために、請求項１に記載の発明の試料ホルダは、
試料の一方の側を支持する第１のホルダ部であって、前記試料に接触する第１の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第１の赤外透明部材、を有する前記第１のホルダ部と、
前記試料の他方の側を支持する第２のホルダ部であって、前記試料に接触する第２の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第２の赤外透明部材、を有する前記第２のホルダ部と、
前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を調整して、前記試料に作用する圧力を調整する圧力調整具と、
前記第１の接触面と同一の断面積を有する柱状に形成された前記第１の赤外透明部材と、
前記第２の接触面側に行くにつれて断面積が狭くなる錐台状に形成された前記第２の赤外透明部材と、
を備え、
前記試料は、加圧されながら挟まれた状態で前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部との間に配置され、
前記第２の接触面の表面積は、前記第１の接触面よりも狭い面積を有する、
ことを特徴とする。
試料の一方の側を支持する第１のホルダ部であって、前記試料に接触する第１の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第１の赤外透明部材、を有する前記第１のホルダ部と、
前記試料の他方の側を支持する第２のホルダ部であって、前記試料に接触する第２の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第２の赤外透明部材、を有する前記第２のホルダ部と、
前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を調整して、前記試料に作用する圧力を調整する圧力調整具と、
前記第１の接触面と同一の断面積を有する柱状に形成された前記第１の赤外透明部材と、
前記第２の接触面側に行くにつれて断面積が狭くなる錐台状に形成された前記第２の赤外透明部材と、
を備え、
前記試料は、加圧されながら挟まれた状態で前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部との間に配置され、
前記第２の接触面の表面積は、前記第１の接触面よりも狭い面積を有する、
ことを特徴とする。
【0009】
前記技術的課題を解決するために、請求項２に記載の発明の試料ホルダは、
試料の一方の側を支持する第１のホルダ部であって、前記試料に接触する第１の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第１の赤外透明部材、を有する前記第１のホルダ部と、
前記試料の他方の側を支持する第２のホルダ部であって、前記試料に接触する第２の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第２の赤外透明部材、を有する前記第２のホルダ部と、
前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を調整して、前記試料に作用する圧力を調整する圧力調整具と、
前記第１のホルダ部および前記第２のホルダ部を支持する基体であって、突起状の位置決め部を有する前記基体と、
前記第１のホルダ部に形成され且つ前記位置決め部が通過して位置決めされる第１の被位置決め部と、
前記第２のホルダ部に形成され且つ前記位置決め部が通過する第２の被位置決め部であって、前記位置決め部に対する隙間が前記第１の被位置決め部よりも大きな形状の前記第２の被位置決め部と、
前記位置決め部と前記第１の被位置決め部および前記第２の被位置決め部とで前記試料に対する前記第２の接触面の位置を調整した状態で、前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を近づけて前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部とを固定する前記圧力調整具と、
を備え、
前記試料は、加圧されながら挟まれた状態で前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部との間に配置され、
前記第２の接触面の表面積は、前記第１の接触面よりも狭い面積を有する、
ことを特徴とする。
試料の一方の側を支持する第１のホルダ部であって、前記試料に接触する第１の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第１の赤外透明部材、を有する前記第１のホルダ部と、
前記試料の他方の側を支持する第２のホルダ部であって、前記試料に接触する第２の接触面を有し且つ前記試料を分析する赤外光に対して透明な第２の赤外透明部材、を有する前記第２のホルダ部と、
前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を調整して、前記試料に作用する圧力を調整する圧力調整具と、
前記第１のホルダ部および前記第２のホルダ部を支持する基体であって、突起状の位置決め部を有する前記基体と、
前記第１のホルダ部に形成され且つ前記位置決め部が通過して位置決めされる第１の被位置決め部と、
前記第２のホルダ部に形成され且つ前記位置決め部が通過する第２の被位置決め部であって、前記位置決め部に対する隙間が前記第１の被位置決め部よりも大きな形状の前記第２の被位置決め部と、
前記位置決め部と前記第１の被位置決め部および前記第２の被位置決め部とで前記試料に対する前記第２の接触面の位置を調整した状態で、前記第１の接触面と前記第２の接触面との距離を近づけて前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部とを固定する前記圧力調整具と、
を備え、
前記試料は、加圧されながら挟まれた状態で前記第１のホルダ部と前記第２のホルダ部との間に配置され、
前記第２の接触面の表面積は、前記第１の接触面よりも狭い面積を有する、
ことを特徴とする。
【0010】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の試料ホルダにおいて、
前記分析する赤外光に対して透明であるととともに、可視光に対しても透明な前記第１の赤外透明部材および前記第２の赤外透明部材、
を備えたことを特徴とする。
前記分析する赤外光に対して透明であるととともに、可視光に対しても透明な前記第１の赤外透明部材および前記第２の赤外透明部材、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0011】
請求項１，２に記載の発明によれば、試料を両側から挟む接触面の表面積が同一の構成に比べて、試料に高い圧力を加えられる。よって、試料の厚みを薄くしつつ接触面との密着性を向上でき、分光分析の精度を向上させることができる。
また、請求項１に記載の発明によれば、錐台状の第２の赤外透明部材で試料に高い圧力を加えることができる。さらに、錐台状の第２の赤外透明部材の試料側面で集光した赤外光は広がって進行するので、円筒状の場合には赤外光のケラレが起こるが、錐台状の場合はケラレが押さえられるためＳＮ比のよいデータを得ることが可能になる。
また、請求項２に記載の発明によれば、第２の被位置決め部と位置決め部との隙間を利用して、試料に対して第２の接触面の位置を調整し、試料の測定部位を第２の被位置決め部の中央に配置するなどの操作性の向上を図ることができる。
請求項３に記載の発明によれば、可視光に対して透明な各赤外透明部材を通して、試料を目視やカメラ等で確認することで試料測定部位を分析する光の光路に適切に配置することができる。
また、請求項１に記載の発明によれば、錐台状の第２の赤外透明部材で試料に高い圧力を加えることができる。さらに、錐台状の第２の赤外透明部材の試料側面で集光した赤外光は広がって進行するので、円筒状の場合には赤外光のケラレが起こるが、錐台状の場合はケラレが押さえられるためＳＮ比のよいデータを得ることが可能になる。
また、請求項２に記載の発明によれば、第２の被位置決め部と位置決め部との隙間を利用して、試料に対して第２の接触面の位置を調整し、試料の測定部位を第２の被位置決め部の中央に配置するなどの操作性の向上を図ることができる。
請求項３に記載の発明によれば、可視光に対して透明な各赤外透明部材を通して、試料を目視やカメラ等で確認することで試料測定部位を分析する光の光路に適切に配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例である実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以下の図面を使用した説明において、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。
なお、以下の図面を使用した説明において、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。
【実施例1】
【0014】
図１は本発明の実施例１の試料ホルダの全体説明図であり、図１Ａは平面図、図１Ｂは図１ＡのＩＢ－ＩＢ線断面図、図１Ｃは図１Ｂの矢印ＩＣ部分の拡大図、図１Ｄは図１Ａの矢印ＩＤ部分の断面図である。
図２は実施例１の試料ホルダの基体の説明図であり、図２Ａは平面図、図２Ｂは側面図である。
図３は実施例１の第１のホルダ部の説明図であり、図３Ａは平面図、図３Ｂは図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ線断面図、図３Ｃは図３Ｂの矢印ＩＩＩＣ部分の拡大図である。
図４は実施例１の第２のホルダ部の説明図であり、図４Ａは平面図、図４Ｂは図４ＡのＩＶＢ－ＩＶＢ線断面図、図４Ｃは図４Ｂの矢印ＩＶＣ部分の拡大図である。
図２は実施例１の試料ホルダの基体の説明図であり、図２Ａは平面図、図２Ｂは側面図である。
図３は実施例１の第１のホルダ部の説明図であり、図３Ａは平面図、図３Ｂは図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ線断面図、図３Ｃは図３Ｂの矢印ＩＩＩＣ部分の拡大図である。
図４は実施例１の第２のホルダ部の説明図であり、図４Ａは平面図、図４Ｂは図４ＡのＩＶＢ－ＩＶＢ線断面図、図４Ｃは図４Ｂの矢印ＩＶＣ部分の拡大図である。
【0015】
図１において、ＦＴ－ＩＲ装置等の光学分析装置で使用可能な本発明の実施例１の試料ホルダ１は、基体の一例としてのベース部材２を有する。図１、図２において、ベース部材２は、板状の部材により構成されている。ベース部材２の中央部には、測定光（の光軸）Ｌの通過方向である板厚方向に貫通する開口３が形成されている。
開口３の周囲には、位置決め部の一例としてのピン４が配置されている。実施例１のピン４は、開口３と同心円上の位置に配置されており、１２０°間隔で３つ設置されている。
開口３の周囲には、締結部の一例としてのネジ孔６が配置されている。実施例１のネジ孔６は、ピン４と同一の同心円上の位置に配置されており、ピン４どうしの中間の位置に１２０°間隔で３つ設置されている。
開口３の周囲には、位置決め部の一例としてのピン４が配置されている。実施例１のピン４は、開口３と同心円上の位置に配置されており、１２０°間隔で３つ設置されている。
開口３の周囲には、締結部の一例としてのネジ孔６が配置されている。実施例１のネジ孔６は、ピン４と同一の同心円上の位置に配置されており、ピン４どうしの中間の位置に１２０°間隔で３つ設置されている。
【0016】
図１、図３において、ベース部材２の上面には、第１のホルダ部の一例としての第１のホルダプレート１１が配置されている。実施例１の第１のホルダプレート１１は、円板状に形成されている。
第１のホルダプレート１１には、前記ピン４に対応する位置に、第１の被位置決め部の一例としての第１のピン貫通孔１２が形成されている。なお、第１のピン貫通孔１２の内径は、ピン４の外径に対応する大きさに形成されている。すなわち、第１のピン貫通孔１２は、ピン４が通過可能且つ位置決めがされるように、ピン４貫通のための余裕分だけピン４の外径よりも大きな内径に形成されている。
また、第１のホルダプレート１１には、ネジ孔６に対応する位置に、第１のネジ貫通孔１３が形成されている。
第１のホルダプレート１１には、前記ピン４に対応する位置に、第１の被位置決め部の一例としての第１のピン貫通孔１２が形成されている。なお、第１のピン貫通孔１２の内径は、ピン４の外径に対応する大きさに形成されている。すなわち、第１のピン貫通孔１２は、ピン４が通過可能且つ位置決めがされるように、ピン４貫通のための余裕分だけピン４の外径よりも大きな内径に形成されている。
また、第１のホルダプレート１１には、ネジ孔６に対応する位置に、第１のネジ貫通孔１３が形成されている。
【0017】
第１のホルダプレート１１の中央部には、第１の光通過部の一例としての第１の透過口１４が形成されている。図１Ｃ、図３Ｂ、図３Ｃにおいて、第１の透過口１４は、ベース部材２側から離れるにつれて内径が小さくなる第１のテーパ部１４ａと、第１のテーパ部１４ａの内端から円柱状に延びる第１の小径部１４ｂと、第１の小径部１４ｂに対して段差状に形成され且つ内径が第１の小径部１４ｂよりも大きな第１の大径部１４ｃとを有する。
【0018】
第１の大径部１４ｃには、第１の赤外透明部材の一例としての第１のダイヤモンド１６が配置されている。実施例１の第１のタイヤモンド１６は、測定光Ｌである赤外光に対して透明であるダイヤモンドで構成されており、赤外光が透過可能である。実施例１の第１のダイヤモンド１６は、内径や断面積が同一の柱状の一例としての円柱状に構成されている。図３Ｃに示すように、実施例１の第１のダイヤモンド１６は、試料側の角部が、破損防止のため面取りされている。すなわち、従来技術でも同様であるが、第１のホルダ部０１ａと第２のホルダ部０１ｂとが接近、離間する方向に対して相対的に傾斜した場合に、対向して配置されたダイヤモンド０６の一方の角が、他方の接触面に接触して、傷が形成されたり、欠けたりといった破損する場合があるが、面取りを行うことで、これが抑制される。なお、本願明細書および特許請求の範囲において、試料を挟むための面積を変更するための構成ではない面取りや製造工程上の必要なダイヤモンド１６，２６の形状の相違等は、面取り等のない形状に技術的に含まれるものとして説明を行う。
【0019】
また、実施例１の第１のダイヤモンド１６は、第１の小径部１４ｂと第１の大径部１４ｃとの第１の段差面１４ｄに接着剤等を介して、第１のホルダプレート１１に固定されている。
さらに、実施例１の第１のダイヤモンド１６の外表面である第１の接触面１６ａは、第１のホルダプレート１１の外表面１１ａと接着剤等によりわずかに突出するように構成されている。
さらに、実施例１の第１のダイヤモンド１６の外表面である第１の接触面１６ａは、第１のホルダプレート１１の外表面１１ａと接着剤等によりわずかに突出するように構成されている。
【0020】
図１、図４において、第１のホルダプレート１１の上方には、第２のホルダ部の一例としての第２のホルダプレート２１が配置されている。実施例１の第２のホルダプレート２１は、第１のホルダプレート１１と同様に、円板状に形成されている。
第２のホルダプレート２１には、前記ピン４に対応する位置に、第２の被位置決め部の一例としての第２のピン貫通孔２２が形成されている。図１Ｄにおいて、実施例１の第２のピン貫通孔２２にはピン４が挿入可能に構成されているが、第２のピン貫通孔２２の内径は、ピン４の外径および第１のピン貫通孔１２の内径よりも、大きな内径に形成されている。したがって、第２のピン貫通孔２２とピン４との隙間２２ａは、第１のピン貫通孔１２とピン４との隙間（＝ほとんどない）に比べて、大きな隙間となるように、第２のピン貫通孔２２の形状が形成されている。
第２のホルダプレート２１には、前記ピン４に対応する位置に、第２の被位置決め部の一例としての第２のピン貫通孔２２が形成されている。図１Ｄにおいて、実施例１の第２のピン貫通孔２２にはピン４が挿入可能に構成されているが、第２のピン貫通孔２２の内径は、ピン４の外径および第１のピン貫通孔１２の内径よりも、大きな内径に形成されている。したがって、第２のピン貫通孔２２とピン４との隙間２２ａは、第１のピン貫通孔１２とピン４との隙間（＝ほとんどない）に比べて、大きな隙間となるように、第２のピン貫通孔２２の形状が形成されている。
【0021】
また、第２のホルダプレート２１には、ネジ孔６に対応する位置に、第２のネジ貫通孔２３が形成されている。実施例２のネジ貫通孔２３も、第２のピン貫通孔２２における隙間２２ａに対応する隙間を有するように内径が形成されている。
第２のホルダプレート２１の中央部には、第２の光通過部の一例としての第２の透過口２４が形成されている。なお、第２の透過口２４は、第１の透過口１４と同様に形成されている。したがって、第２の透過口２４は、第２のテーパ部２４ａと、第２の小径部２４ｂと、第２の大径部２４ｃと、第２の段差面２４ｄと、を有する。
第２のホルダプレート２１の中央部には、第２の光通過部の一例としての第２の透過口２４が形成されている。なお、第２の透過口２４は、第１の透過口１４と同様に形成されている。したがって、第２の透過口２４は、第２のテーパ部２４ａと、第２の小径部２４ｂと、第２の大径部２４ｃと、第２の段差面２４ｄと、を有する。
【0022】
前記第２の大径部２４ｃには、第２の赤外透明部材の一例としての第２のダイヤモンド２６が配置されている。実施例１の第２のダイヤモンド２６は、測定光Ｌである赤外光に対して透明であるダイヤモンドで構成されており、赤外光が透過可能である。実施例１の第２のダイヤモンド２６は、試料Ｓ側に行くにつれて内径や断面積が小さくなる錐台の一例としての円錐台状に形成されている。なお、第２のダイヤモンド２６において、第１のダイヤモンド１６のところで説明した面取り等についての扱いについては同様である。
したがって、実施例１では、第２のダイヤモンド２６の外表面である第２の接触面２６ａは、第１の接触面１６ａよりも直径や面積が小さく形成されている。一例として、実施例１では、第１の接触面１６ａは、直径２．１ｍｍ（φ２．１）に形成され、第２の接触面２６ａは直径０．５ｍｍ（φ０．５）に形成されている。
また、実施例１の第２のダイヤモンド２６は、第２の接触面２６ａが、第２のホルダプレート２１の外表面２１ａよりも外側に突出するように構成されている。
よって、実施例１では、図１Ｃに示すように、第１の接触面１６ａと第２の接触面２６ａとで試料Ｓを挟んだ状態で保持可能である。
したがって、実施例１では、第２のダイヤモンド２６の外表面である第２の接触面２６ａは、第１の接触面１６ａよりも直径や面積が小さく形成されている。一例として、実施例１では、第１の接触面１６ａは、直径２．１ｍｍ（φ２．１）に形成され、第２の接触面２６ａは直径０．５ｍｍ（φ０．５）に形成されている。
また、実施例１の第２のダイヤモンド２６は、第２の接触面２６ａが、第２のホルダプレート２１の外表面２１ａよりも外側に突出するように構成されている。
よって、実施例１では、図１Ｃに示すように、第１の接触面１６ａと第２の接触面２６ａとで試料Ｓを挟んだ状態で保持可能である。
【0023】
図１において、ベース部材２の各ネジ孔６には、圧力調整具の一例としてのネジ３１が支持されている。ネジ３１は、ネジ頭部３１ａをユーザが指で回転させることで、ネジ３１を締めるまたは緩めることが可能である。そして、ネジ３１を締める方向に回転すると、ネジ頭部３１ａが第２のホルダプレート２１をベース部材２側に押さえることとなる。したがって、挟まれた試料Ｓに、圧縮される（潰される）方向の力が作用すると共に、ベース部材２と第１のホルダプレート１１と第２のホルダプレート２１とが締結、固定されることとなる。逆に、ネジ３１を緩める方向に回転されると、試料Ｓへの圧力が低下すると共に、ベース部材２と第１のホルダプレート１１と第２のホルダプレート２１との締結を緩めることが可能である。
【0024】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１の試料ホルダ１では、ネジ３１を締めると、試料Ｓに対して圧力を増大させることが可能である。この時、実施例１では、第２の接触面２６ａの面積が第１の接触面１６ａに比べて小さい。よって、従来のように対向する接触面０６ａ，０６ａが同一の場合に比べて、同じ締結力でも、面積の狭い第２の接触面２６ａでは圧力（＝単位面積当たりの力）が強くなる。よって、従来の構成に比べて、試料Ｓを圧縮する力を強くすることができる。よって、試料Ｓが想定よりも厚かったり、想定よりも凹凸が大きかったりしても、ネジ３１を締めることで、従来よりも強い力で試料Ｓを圧縮することが可能であり、試料Ｓを薄く、平坦にすることが可能である。よって、ＦＴ－ＩＲ装置での分析の精度を向上させることが可能である。
前記構成を備えた実施例１の試料ホルダ１では、ネジ３１を締めると、試料Ｓに対して圧力を増大させることが可能である。この時、実施例１では、第２の接触面２６ａの面積が第１の接触面１６ａに比べて小さい。よって、従来のように対向する接触面０６ａ，０６ａが同一の場合に比べて、同じ締結力でも、面積の狭い第２の接触面２６ａでは圧力（＝単位面積当たりの力）が強くなる。よって、従来の構成に比べて、試料Ｓを圧縮する力を強くすることができる。よって、試料Ｓが想定よりも厚かったり、想定よりも凹凸が大きかったりしても、ネジ３１を締めることで、従来よりも強い力で試料Ｓを圧縮することが可能であり、試料Ｓを薄く、平坦にすることが可能である。よって、ＦＴ－ＩＲ装置での分析の精度を向上させることが可能である。
【0025】
（実験例）
次に、実施例１の効果を確かめるために実験を行った。
実験は、試料Ｓとして、８０μｍの厚さのポリエチレンフィルムの試料片を使用した。また、ＦＴ－ＩＲ装置として、Thermo Fisher Scientific社製Nicolet 6700を使用して、吸光度スペクトルを測定した。実験例１では、実施例１の試料ホルダ１を使用して、試料Ｓを加圧した。比較例１では、実施例１の試料ホルダ１を使用したが、試料Ｓの加圧を行っていない。比較例２では、図６に示す従来の試料ホルダ１を使用し、試料Ｓを加圧した。比較例３では、図６に示す従来の試料ホルダ０１を使用したが、試料Ｓの加圧を行っていない。
実験結果を図５に示す。
次に、実施例１の効果を確かめるために実験を行った。
実験は、試料Ｓとして、８０μｍの厚さのポリエチレンフィルムの試料片を使用した。また、ＦＴ－ＩＲ装置として、Thermo Fisher Scientific社製Nicolet 6700を使用して、吸光度スペクトルを測定した。実験例１では、実施例１の試料ホルダ１を使用して、試料Ｓを加圧した。比較例１では、実施例１の試料ホルダ１を使用したが、試料Ｓの加圧を行っていない。比較例２では、図６に示す従来の試料ホルダ１を使用し、試料Ｓを加圧した。比較例３では、図６に示す従来の試料ホルダ０１を使用したが、試料Ｓの加圧を行っていない。
実験結果を図５に示す。
【0026】
図５は実施例１の実験結果の説明図であり、図５Ａは実施例１の試料ホルダを使用し且つ試料を加圧した状態の実験例の説明図、図５Ｂは実施例１の試料ホルダを使用し且つ試料を加圧していない状態の比較例１の説明図、図５Ｃは従来の試料ホルダを使用し且つ試料を加圧した状態の比較例２の説明図、図５Ｄは従来の試料ホルダを使用し且つ試料を加圧していない状態の比較例３の説明図である。
図５に示すように、加圧していない比較例１（図５Ｂ）および比較例３（図５Ｄ）では、試料が厚過ぎるためバンドピーク部の透過率が０％と吸収が大きいので、吸光度バンドのピーク部は大きなノイズに覆われている。また、加圧した比較例２（図５Ｃ）でも、比較例３よりはノイズは減少したが、依然として多くのノイズが観測される。一方で、実験例１（図５Ａ）では比較例２に比べて顕著にノイズが減少していることが確認された。これは、試料Ｓを押す圧力が強くなったことで、試料Ｓの膜厚が透過測定に適した薄さに達したためにノイズが減少した。よって、実施例１の試料ホルダ１では、従来の構成に比べて、ＦＴ－ＩＲ装置での測定の精度が向上することが確認された。
図５に示すように、加圧していない比較例１（図５Ｂ）および比較例３（図５Ｄ）では、試料が厚過ぎるためバンドピーク部の透過率が０％と吸収が大きいので、吸光度バンドのピーク部は大きなノイズに覆われている。また、加圧した比較例２（図５Ｃ）でも、比較例３よりはノイズは減少したが、依然として多くのノイズが観測される。一方で、実験例１（図５Ａ）では比較例２に比べて顕著にノイズが減少していることが確認された。これは、試料Ｓを押す圧力が強くなったことで、試料Ｓの膜厚が透過測定に適した薄さに達したためにノイズが減少した。よって、実施例１の試料ホルダ１では、従来の構成に比べて、ＦＴ－ＩＲ装置での測定の精度が向上することが確認された。
【0027】
また、実施例１では、ピン４に対する第２のピン貫通孔２２での隙間２２ａが、第１のピン貫通孔１２に比べて大きく形成されている。したがって、ネジ３１を緩めた状態で第２のホルダプレート２１の位置、すなわち、試料Ｓに対する第２の接触面２６ａの位置を微調整することが可能である。赤外光Ｌは、第２の接触面２６ａの領域を通過した光が観測されるが、一般的に、第２の接触面２６ａの中心に近いほど光の強度が強く、観測されるスペクトルの強度も強くなる。したがって、試料Ｓの位置が、第２の接触面２６ａから外れていたり、第２の接触面２６ａの内側でも中心から離れた外縁部であれば、観測される強度が低下して、精度が低下する恐れがある。特に、試料Ｓが微小なものであると、第２の接触面２６ａの中心の位置に合わせてユーザが設置したつもりでもずれていることがあり、微小な試料Ｓの位置をずらして第２の接触面２６ａに合わせることは作業に時間と手間がかかる問題がある。これに対して、実施例１では、ネジ３１を一旦緩めることで、第２のホルダプレート２１の位置を微調整することが可能である。したがって、試料Ｓよりも大きく操作しやすい第２のホルダプレート２１を操作して、第２の接触面２６ａの中心に近い位置に試料Ｓを接触させることが可能である。
【0028】
また、実施例１では、第２のダイヤモンド２６が円錐台状に形成されている。したがって、円錐台状の第２の赤外透明部材の試料側面で集光した赤外光は広がって進行するので、円筒状の場合には赤外光のケラレが起こるが、円錐台状の場合はケラレが押さえられるためＳＮ比のよいデータを得ることが可能になる。
さらに、実施例１では、赤外光Ｌに対して透明であると共に、可視光に対しても透明なダイヤモンド１６，２６が使用されている。したがって、試料Ｓがダイヤモンド１６，２６で挟まれた後でも、開口３や各透過口１４，２４を通じて目視またはカメラ等で観察可能である。したがって、試料Ｓがどの辺りにあるのか、きちんとセットされているのかを、ユーザが確認可能で、より信頼性の高いデータの取得が可能になる。
さらに、実施例１では、赤外光Ｌに対して透明であると共に、可視光に対しても透明なダイヤモンド１６，２６が使用されている。したがって、試料Ｓがダイヤモンド１６，２６で挟まれた後でも、開口３や各透過口１４，２４を通じて目視またはカメラ等で観察可能である。したがって、試料Ｓがどの辺りにあるのか、きちんとセットされているのかを、ユーザが確認可能で、より信頼性の高いデータの取得が可能になる。
【0029】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ01）～（Ｈ08）を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例において、試料Ｓとして、第２の接触面２６ａよりも小さな試料を例示したがこれに限定されない。第２の接触面２６ａよりも大きい試料を保持することも可能である。
（Ｈ02）前記実施例において、各接触面１６ａ，２６ａと外表面１１ａ，２１ａとが突出している場合に限定されない。第１の接触面１６ａが面一であっても、内側に入っていても問題はない。また、第２の接触面２６ａは突出していることが望ましいが、面一とすることも可能である。
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ01）～（Ｈ08）を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例において、試料Ｓとして、第２の接触面２６ａよりも小さな試料を例示したがこれに限定されない。第２の接触面２６ａよりも大きい試料を保持することも可能である。
（Ｈ02）前記実施例において、各接触面１６ａ，２６ａと外表面１１ａ，２１ａとが突出している場合に限定されない。第１の接触面１６ａが面一であっても、内側に入っていても問題はない。また、第２の接触面２６ａは突出していることが望ましいが、面一とすることも可能である。
【0030】
（Ｈ03）前記実施例において、赤外透明部材の一例としてダイヤモンド１６，２６を例示したが、これに限定されない。分析に使用する分析光の波長に応じて、分析光が透過可能な材料を使用可能である。例えば、赤外光であれば、ＺｎＳｅやＧｅ、Ｓｉ、サファイヤ、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）等、を使用可能である。なお、赤外光に対して透明かつ可視光にも透明な材料の一例としてのダイヤモンドを例示したが、これに限定されない。赤外光に対して透明かつ可視光にも透明な材料のサファイヤやフッ化カルシウムを使用することも可能であるが、強度、耐久性の面からダイヤモンドを使用することが好ましい。
（Ｈ04）前記実施例において、第１の赤外透明部材１６と第２の赤外透明部材２６とで同一の材料であるダイヤモンドを使用したが、これに限定されない。例えば、第１の赤外透明部材１６と第２の赤外透明部材２６とで異なる材料を使用することも可能である。例えば、白色の試料の場合、第１の赤外透明部材を可視光に不透明な材料（例えば、暗い色の材料であるＳｉ等）とし、第２の赤外透明部材を可視光に透明な材料（例えば、ダイヤモンド）とすることで、不透明な第１の赤外透明部材の上に乗る白色の試料を確認しやすくすることも可能である。
（Ｈ04）前記実施例において、第１の赤外透明部材１６と第２の赤外透明部材２６とで同一の材料であるダイヤモンドを使用したが、これに限定されない。例えば、第１の赤外透明部材１６と第２の赤外透明部材２６とで異なる材料を使用することも可能である。例えば、白色の試料の場合、第１の赤外透明部材を可視光に不透明な材料（例えば、暗い色の材料であるＳｉ等）とし、第２の赤外透明部材を可視光に透明な材料（例えば、ダイヤモンド）とすることで、不透明な第１の赤外透明部材の上に乗る白色の試料を確認しやすくすることも可能である。
【0031】
（Ｈ05）前記実施例において、第１のダイヤモンド１６として円柱状のものを例示し、第２のダイヤモンド２６として円錐台状のものを例示したが、これに限定されない。多角柱状のものや多角錐台状（切頂多角錐状）のものとすることが可能である。また、第２のダイヤモンド２６として、試料Ｓに近づくにつれて連続的に径が小さくなる錐状のものを例示したが、これに限定されない。例えば、階段状に径が小さくなる構成とすることも可能である。
（Ｈ06）前記実施例において、ピン４の形状も円柱状に限定されず、多角柱状とすることも可能である。また、ピン４やネジ３１の個数や形状も、設計や仕様等に応じて適宜変更可能である。
（Ｈ06）前記実施例において、ピン４の形状も円柱状に限定されず、多角柱状とすることも可能である。また、ピン４やネジ３１の個数や形状も、設計や仕様等に応じて適宜変更可能である。
【0032】
（Ｈ07）前記実施例において、試料Ｓを加圧するための構成として、ネジ３１で構成された圧力調整具を例示したが、これに限定されない。例えば、空気圧で加圧したり、モータでネジ３１を回転させる伝動機構を設ける等、任意の変更が可能である。
（Ｈ08）前記実施例において、隙間２２ａを形成して第２のホルダプレート２１を微調整する機構を有することが望ましいが、微調整の機構を設けないようにすることも可能である。逆に、第１のホルダプレート１１に微調整の機構を設けることも可能である。
（Ｈ08）前記実施例において、隙間２２ａを形成して第２のホルダプレート２１を微調整する機構を有することが望ましいが、微調整の機構を設けないようにすることも可能である。逆に、第１のホルダプレート１１に微調整の機構を設けることも可能である。
【符号の説明】
【0033】
１…試料ホルダ、
２…基体、
４…位置決め部、
１１…第１のホルダ部、
１２…第１の被位置決め部、
１６…第１の透明部材、
１６ａ…第１の接触面、
２１…第２のホルダ部、
２２…第２の被位置決め部、
２２ａ…隙間、
２６…第２の透明部材、
２６ａ…第２の接触面、
３１…圧力調整具、
Ｌ…光、
Ｓ…試料。
２…基体、
４…位置決め部、
１１…第１のホルダ部、
１２…第１の被位置決め部、
１６…第１の透明部材、
１６ａ…第１の接触面、
２１…第２のホルダ部、
２２…第２の被位置決め部、
２２ａ…隙間、
２６…第２の透明部材、
２６ａ…第２の接触面、
３１…圧力調整具、
Ｌ…光、
Ｓ…試料。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】