特許 7280383 電磁遮蔽室

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-05-15

(45)【発行日】2023-05-23

(54)【発明の名称】電磁遮蔽室

(51)【国際特許分類】

   H05K 9/00 20060101AFI20230516BHJP

   E04B 1/92 20060101ALI20230516BHJP

   G01R 29/10 20060101ALI20230516BHJP

【ＦＩ】

H05K9/00 N

E04B1/92

G01R29/10 E

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2021565197

(86)(22)【出願日】2019-12-17

(86)【国際出願番号】 JP2019049341

(87)【国際公開番号】W WO2021124437

(87)【国際公開日】2021-06-24

【審査請求日】2022-06-01

(73)【特許権者】

【識別番号】507369914

【氏名又は名称】株式会社リケン環境システム

(74)【代理人】

【識別番号】100098497

【弁理士】

【氏名又は名称】片寄 恭三

(72)【発明者】

【氏名】吉原 勝

(72)【発明者】

【氏名】河本 博

【審査官】佐久 聖子

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１０／０５５５７８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平１０－２０９６６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３４４８２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１４５６７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２５３２８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３０３２６０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ ９／００

Ｅ０４Ｂ １／９２

Ｇ０１Ｒ ２９／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象を内部に配置可能であり、かつ外部から金属製の回転軸を挿入する貫通孔が形成されたハウジングと、
前記回転軸の軸方向に延在し、かつ前記貫通孔を覆うように前記ハウジングの外壁に取り付けられた電磁シールド手段とを含み、
前記電磁シールド手段は、金属製の枠体と、前記枠体内に配置されたラビリンス構造とを含み、前記ラビリンス構造は、前記回転軸に固定された金属製の複数の円盤状の回転部材と、前記回転部材と近接するように対向して配置され、かつ前記枠体に固定された金属製の複数の静止部材とを含み、
前記複数の回転部材は、外径の異なる複数組の回転部材を含み、
前記複数の静止部材の隣接する一対の静止部材は、電磁遮蔽された内部空間を形成し、１つの内部空間には１つの回転部材が配置され、複数の内部空間に外径が徐々に大きくなるようにまたは徐々に小さくなるように複数の回転部材が各々配置される、電磁遮蔽室。

【請求項2】

前記内部空間を形成する一方の静止部材は、前記回転軸の軸方向に対して第１の角度で傾斜するように取り付けられ、前記回転部材の第１の面と前記一方の静止部材との対向する距離は、半径方向に向かうに従い小さくなる、請求項１に記載の電磁遮蔽室。

【請求項3】

前記内部空間を形成する他方の静止部材は、前記回転軸の軸方向に対して前記第１の角度と同じ角度で傾斜するように取り付けられ、前記回転部材の第１の面と対向する第２の面と前記他方の静止部材との対向する距離は、半径方向に向かうに従い小さくなる、請求項２に記載の電磁遮蔽室。

【請求項4】

前記内部空間を形成する他方の静止部材は、前記回転軸の軸方向に対して前記第１の角度と異なる第２の角度で傾斜するように取り付けられ、前記回転部材の第１の面と対向する第２の面と前記他方の静止部材との対向する距離は、半径方向に向かうに従い小さくなる、請求項２に記載の電磁遮蔽室。

【請求項5】

前記複数の回転部材の配置は、前記回転軸の軸方向に、外径が徐々に大きくなる第１の配置と、外径が徐々に小さくなる第２の配置とを含む、請求項１に記載の電磁遮蔽室。

【請求項6】

前記複数の回転部材は、前記回転軸を挿入するための第１の開口を含み、前記複数の静止部材は、前記回転軸を挿入するための第２の開口を含み、
前記複数の回転部材は、第１の開口と前記回転軸との間に隙間が生じないように前記回転軸に固定され、第２の開口と前記回転軸との間に間隙が形成される、請求項１に記載の電磁遮蔽室。

【請求項7】

前記回転軸は、前記ハウジングに電気的に接続され、前記ハウジングがＧＮＤレベルに接続される、請求項１に記載の電磁遮蔽室。

【請求項8】

前記枠体は、円筒状の外形を有し、前記回転部材および前記静止部材は円板状である、請求項１に記載の電磁遮蔽室。

【請求項9】

前記枠体は、矩形状の外形を有し、前記回転部材は円板状であり、前記静止部材は矩形状の薄板である、請求項１に記載の電磁遮蔽室。

【請求項10】

前記回転軸は、モータ軸であり、前記ハウジング内には、前記モータ軸に接続された電子機器が配置される、請求項１に記載の電磁遮蔽室。

【請求項11】

前記電子機器は、交流発電機器である、請求項１０に記載の電磁遮蔽室。

【請求項12】

前記回転軸には、アースリングが取り付けられる、請求項１に記載の電磁遮蔽室。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子機器等から放射される電磁ノイズ等の測定に利用される電磁遮蔽室に関し、特に、電磁遮蔽室を金属製の回転部材が貫通するときの電磁シールド構造に関する。

【背景技術】

【0002】

電子機器から放射される電磁ノイズを測定する場合、測定される電子機器以外の電磁波の影響を極力なくす必要がある。それ故、このような測定は、電磁遮蔽室内で実施される。電磁遮蔽室は、内部空間を金属で包囲することで内外からの電磁波を遮蔽した内部空間を提供する。また、電磁遮蔽室の内壁に電波吸収体を設けることで電子機器から放射された電磁ノイズの反射の影響を低減し、測定精度を改善している（例えば、特許文献１）。

【0003】

電磁遮蔽室の側壁等に外部に通じる開口部を形成した場合、開口部を介して外部から電磁ノイズが入り込まないようにするため、開口部に電磁シールド部材を取り付けることが行われている（例えば、特許文献２、３、４）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００２－５７４８７号公報

【文献】特許第２６６２１１０号公報

【文献】特許第２６９５２９８号公報

【文献】特開平８－１２５３７８号公報

【文献】特開２００８－８２９４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

近年、電磁遮蔽室において測定する電子機器が多種に広がり、その１つに、モータに接続された電子機器から放射される電磁ノイズを測定することが要求されている。図１に、このような測定を行う電波吸収体を備えた電磁遮蔽室の一例を示す。

【0006】

図１（Ａ）は、頂部を切り取ったときの電磁遮蔽室を上から見た上面図、図１（Ｂ）は、支持台と電子機器の正面図、図１（Ｃ）は、支持台の側面図である。電磁遮蔽室は、概ね矩形状の金属製のハウジング１０を有し、その内壁には、複数の電波吸収体２０が設けられる。ハウジングの側面１２Ａには、複数の貫通孔１４Ａ～１４Ｄが形成され、その内の１つの貫通孔１４Ａには、モータ軸１６が挿入され、モータ軸１６の一方の端部が電子機器３０に接続される。モータ軸１６は、貫通孔１４Ａと整合する位置に取り付けられた機械式軸受け（ベアリング）１８によって回転可能に支持され、その他方の端部が外部のモータ等の動力源３２に接続される。電子機器３０は、例えば、発電用モータであり、動力源３２によってモータ軸１６が回転されたとき交流電流を発生させる。

【0007】

ハウジング１０のもう１つの側面１２Ｂには、出入口用の開閉扉１６が設けられる。ハウジング１０の底面１２Ｃには、アース面５０が形成され、アース面５０は、ハウジング１０を接地（ＧＮＤ）に電気的に接続する。アース面５０上には、支持台６０が配置される。支持台６０上には、モータ軸１６によって回転される電子機器３０と、これに隣接して配置されたもう１つの電子機器４０とが載置される。電子機器４０は、例えば、電力用モータ（電子機器３０）からの交流電流を受け取り、これを直流電流に変換するインバータを含むコントロールユニットである。

【0008】

電子機器４０には、電磁遮蔽室の外部に設置された電源７０から電源ケーブル７０Ａを介して電力が供給される。電源ケーブル７０Ａは、貫通孔１４Ｂ内に取り付けられた電源フィルター７２を介して電源７０に接続される。さらに電子機器４０には、外部のモニタリングシステム７４から光ファイバ７４Ａを介して信号が供給される。光ファイバ７４Ａは、貫通孔１４Ｃ内に取り付けられたコネクタ７６を介してシステム７４に接続される。

【0009】

また、ハウジング１０内には、電子機器３０、４０から一定の距離を離間された位置に受信アンテナ８０が配置される。受信アンテナ８０は、電子機器４０から放射される電磁ノイズを測定し、その測定結果は電磁シールドされた同軸ケーブル８２および貫通孔１４Ｄを介して外部の測定装置８４に出力される。貫通孔１４Ｄには、同軸ケーブル８２を測定装置８４に接続するためのコネクタ８６が取り付けられる。

【0010】

上記したように、外部の動力源３２と電子機器３０とは、モータ軸１６を介して機械的に接続されている。しかし、モータ軸１６を機械的強度の高い金属材料で構成した場合には、外部の動力源３２で発生した電磁ノイズがモータ軸１６を伝わりそれが電磁遮蔽室内に入り込んでしまう。そうすると、電子機器４０で放射される電磁ノイズを正確に測定することができなくなってしまう。

【0011】

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、外部からの電磁ノイズの進入を効果的に抑制することができる電磁遮蔽室を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明に係る電磁遮蔽室は、測定対象を内部に配置可能であり、かつ外部から金属製の回転軸を挿入する貫通孔が形成されたハウジングと、前記回転軸の軸方向に延在し、かつ前記貫通孔を覆うように前記ハウジングの外壁に取り付けられた電磁シールド手段とを含み、前記電磁シールド手段は、枠体と、前記枠体内に配置されたラビリンス構造とを含み、前記ラビリンス構造は、前記回転軸に固定された少なくとも１つの金属製の回転部材と、前記回転部材に対向し、かつ前記枠体に固定された金属製の静止部材とを含む。

【0013】

ある実施態様では、前記回転軸は、前記ハウジングに電気的に接続され、前記ハウジングがＧＮＤレベルに接続される。ある実施態様では、前記枠体は、金属製であり、前記回転軸は、前記枠体に電気的に接続される。ある実施態様では、前記ラビリンス構造は、前記回転軸の軸方向に複数組の回転部材と静止部材とを含む。ある実施態様では、複数の静止板が前記枠体に取り付けられたとき、静止板は、前記枠体内の軸方向に事実上電磁遮蔽された複数の内部空間を規定し、複数の内部空間の各々に１つの回転部材が配置される。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、外部から金属製の回転軸を挿入するための貫通孔を覆うようにラビリンス構造の電磁シールド手段を設けたことにより、回転軸を介して電磁ノイズがハウジング内に進入するのを効果的に抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】従来の電磁遮蔽室を説明する図であり、図１（Ａ）は、電磁遮蔽室を上面から見た模式図、図１（Ｂ）は、測定対象を搭載した支持台の正面図、図１（Ｃ）は、支持台とアンテナとの関係を示す側面図である。

【図2】本発明の実施例に係るラビリンスシールド構造を備えた電磁遮蔽室を示す図であり、図２（Ａ）は、電磁遮蔽室の斜視図、図２（Ｂ）は、概略断面図である。

【図3】本発明の実施例に係る電磁シールド部の拡大した概略縦断面図である。

【図4】図４（Ａ）は、図３のＹ１－Ｙ１線概略断面図、図４（Ｂ）は、図３のＹ２－Ｙ２線概略断面図である。

【図5】本発明の実施例に係るラビリンス構造に使用される回転板と静止板との平面図である。

【図6】本発明の第２の実施例に係る電磁遮蔽室の斜視図である。

【図7】本発明の第２の実施例に係る電磁シールド部の縦断面図である。

【図8】本発明の第３の実施例に係る回転板および静止板を示す図である。

【図9】図９（Ａ）は、基準（リファレンス）測定条件を示し、図９（Ｂ）は、本実施例の電磁シールド部を備えた電磁遮蔽室でのシールド測定条件を示す図である。

【図9A】本実験による３０ＭＨｚ～１ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。

【図9B】本実験による３０ＭＨｚ～１ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。

【図9C】本実験による３０ＭＨｚ～１ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。

【図9D】本実験による３０ＭＨｚ～１ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。

【図10A】本実験による１ＧＨｚ～６ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。

【図10B】本実験による１ＧＨｚ～６ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。

【図10C】本実験による１ＧＨｚ～６ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。

【図10D】本実験による１ＧＨｚ～６ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0016】

次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。但し、図面に示される形状やスケールは、発明の説明を容易にするために記載されたものであり、実際の製品とは異なることに留意すべきである。

【実施例】

【0017】

次に、本発明の実施例について説明する。図２（Ａ）は、本実施例のラビリンスシール構造を備えた電磁遮蔽室の模式的な斜視図、図２（Ｂ）は、その概略縦断面図である。本実施例に係る電磁遮蔽室１００は、外部から電磁遮蔽された内部空間を提供するハウジング１１０と、ハウジング１１０の側面１１２に取り付けられたラビリンス構造の電磁シールド部１２０とを含んで構成される。

【0018】

ハウジング１１０は、概ね図１に示すハウジング１０と同様に構成され、すなわち、金属製の矩形状の筐体を含んで構成される。金属は、例えば鉄等の導電率が高い材料であることが望ましい。ハウジング１１０の内側の側面や上面には、複数の電波吸収体が取り付けられ、底面にはＧＮＤに接地されたアース面が取り付けられ、ハウジング１１０はＧＮＤに電気的に接続される。

【0019】

ハウジング１１０の任意の側面１１２には、外部の動力源に接続されたモータ軸１３０を挿入するための貫通孔１１４が形成される。貫通孔１１４には、モータ軸１３０を回転可能に支持するための軸受け（ベアリング）１３２が取り付けられる。

【0020】

電磁シールド部１２０は、貫通孔１１４を覆い、かつモータ軸１３０の軸方向に一定の長さで延在するように側面１１２に固定される。電磁シールド部１２０は、金属製の枠体２００と、枠体２００によって形成された内部空間内に配置されるラビリンス構造３００とを含む。金属は、例えば鉄等の導電率が高い材料であることが望ましい。枠体２００は、その形状を限定されるものではないが、例えば、複数の金属板を溶接等によって接合することにより矩形状に形成される。

【0021】

図３に電磁シールド部１２０の拡大した概略縦断面図、図４（Ａ）に図３のＹ１－Ｙ１線概略断面図、図４（Ｂ）に図３のＹ２－Ｙ２線概略断面図、図５に回転板と静止板との平面図をそれぞれ示す。枠体２００は、モータ軸１３０の軸方向に一定の長さで延在し、その一方の端部２０２は開放され、この開放端２０２が貫通孔１１４を覆うようにハウジング１１０の側面１１２に取り付けられる。取り付け方法は任意であるが、例えば、端部２０２にフランジを設け、当該フランジを側面１１２に溶接したり、あるいはネジ止めされる。側面１１２の外側には、貫通孔１１４と整合する位置に軸受け１３２が取り付けられ、貫通孔１１４とモータ軸１３０との間隙には、電磁シールド用の導電性物質（図示省略）を充填するようにしてもよい。軸受け１３２と対向する側壁１１２の内側には、モータ軸１３０の外周にアースリング１３４が取り付けられる。これにより、モータ軸１３０は、アースリング１３４を介してハウジング１００のＧＮＤに電気的に接続される。

【0022】

枠体２００の一方の端部２０２と対向する他方の端部２０４には、側板２０６が取り付けられ、側板２０６には、モータ軸１３０を挿入するための貫通孔２０８が形成される。側板２０６の内側の貫通孔２０８と整合する位置には、回転軸１３０を回転可能に支持するための軸受け（ベアリング）２１０が取り付けられる。貫通孔２０８とモータ軸１３０との間隙には、電磁シールド用の導電性物質（図示省略）を充填するようにしてもよい。また、側板２０６の外側のモータ軸１３０にはアースリング２１２が取り付けられ、モータ軸１３０は、枠体２００およびハウジング１００のＧＮＤに電気的に接続される。

【0023】

ラビリンス構造３００は、モータ軸１３０の軸方向に、複数組の円盤状の回転板２３０と、回転板２３０と近接するように対向して配置された静止板２４０とを含んで構成される。回転板２３０は、図５（Ａ）に示すように、薄板の金属から構成され、その外径はＤａであり、中央には、開口径Ｄｂの円形状の開口２３２が形成されている。金属は、例えば鉄等の導電率が高い材料であることが望ましい。本例では、ラビリンス構造３００は、外径Ｄａの異なる３種類の回転板２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃを用いている。それぞれの外径Ｄａは、例えば、２００ｍｍ、２５０ｍｍ、２８０ｍｍである。開口径Ｄｂは、各回転板２３０Ａ～Ｃに共通であり、例えば、５０ｍｍである。開口径Ｄｂは、モータ軸１３０の外径とほぼ等しく、開口２３２とモータ軸１３０との間に隙間が生じないように回転板２３０Ａ～２３０Ｃがモータ軸１３０に取り付けられる。例えば、回転板２３０Ａ～Ｃの開口２３２内にモータ軸１３０が嵌合される。

【0024】

静止板２４０は、図５（Ｂ）に示すように、薄板の金属から構成され、縦Ｌｙ、横Ｌｘの矩形状を有し、中央には、円形状の開口２４２が形成される。金属は、例えば鉄等の導電率が高い材料であることが望ましい。静止板２４０の開口径Ｄｃは、回転板２３０の開口径Ｄｂよりも大きく、モータ軸１３０が回転したとき、静止板２４０はモータ軸１３０に干渉しない。但し、開口２４２とモータ軸１３０との間隙を出来るだけ小さくし、電磁波が間隙を通り難くすることが望ましい。縦Ｌｙ、横Ｌｘは、枠体２００の外径寸法に応じて選択される。

【0025】

回転板２３０と静止板２４０とは、図３に示すように交互に配置される。回転板２３０の中央部には、回転板２３０をモータ軸１３０に固定するための固定具２３４が取り付けられる。これにより、モータ軸１３０が回転するととき、回転板２３０も同時に回転する。

【0026】

枠体２００の内周には、一対の静止板２４０を固定するためのＵ字型の固定具２４４が取り付けられる。静止板２４０の外縁が固定具２４４に溶接またはネジ等により接合される。静止板２４０が固定具２４４に接合されたとき、枠体２００の内部は、静止板２４０によって分割された複数の内部空間が形成され、内部空間は、中央の開口２４２によってのみ隣接する内部空間に繋がる。言い換えれば、内部空間は、静止板２４０によって概ね電磁遮蔽された空間である。一対の静止板２４０によって形成された内部空間内に１つの回転板２３０Ａ～Ｃがそれぞれ位置決めされる。回転板２３０Ａ～Ｃとそれぞれの静止板２４０との間隔Ｓは、概ね１０ｍｍである。３種類の回転板２３０Ａ～Ｃは、その外径Ｄａが徐々に大きくなり、その後、徐々に小さくなるように、あるいはその反対に、外径Ｄａが徐々に小さくなり、その後、徐々に大きくなるように配置される。これにより、電磁シールド部１２０内には、モータ軸１３０の軸方向に迷路状の空間が形成される。つまり、軸受け２１０から見ると、軸受け２１０の空間は、静止板２４０の開口２４２を介して隣の空間に繋がり、そこで外径Ｄａの大きな回転板２３０Ａと静止板２４０とにおって折れ曲がった空間が形成され、その空間はさらに静止板２４０の開口２４２を介して隣の空間に繋がる。このようなラビリンス状の空間は、モータ軸１３０または回転板２３０Ａ～Ｃから空間に放射される波長の異なる電磁ノイズを遮蔽するのに効果的である。

【0027】

モータ軸１３０の一方の端部は、図１に示したように、例えば発電用モータ（電子機器３０）に接続され、他方の端部は、外部の動力源３２に接続される。また、発電用モータに隣接して、インバータ等を含むコントロールユニット（電子機器４０）が配置され、コントロールユニットは、発電用モータで発電された交流電流を入力し、これを直流電流に変換する。受信アンテナ８０は、コントロールユニットの動作時に発生される電磁ノイズを測定する。測定結果を表す信号は、電磁シールドされた同軸ケーブル８２を介して外部の測定装置８４へ出力される。

【0028】

本実施例では、モータ軸１３０を金属材料で構成するため、外部の動力源３２からの任意の駆動力または回転数で駆動されたモータ軸１３０を電子機器３０に接続させることができる。また、モータ軸１３０およびラビリンス構造の枠体２００をハウジング１１０と同じＧＮＤレベルにすることで、モータ軸１３０を流れる電磁ノイズをＧＮＤに落とすことができる。さらに、モータ軸１３０から回転板２３０に到達した電磁ノイズは、回転板２３０から空間に放射されるが、放射された電磁ノイズは、静止板２４０によって遮蔽され、静止板２４０で捕獲された電磁ノイズがＧＮＤに落とされる。さらに回転板２４０の外径Ｄａを変化させ、枠体内に迷路状の空間を形成することで、広範囲の周波数（例えば、３０ＭＨｚ～６ＧＨｚ）の電磁ノイズを遮蔽することができる。

【0029】

このように、金属製のモータ軸１３０により誘導される電磁ノイズが電磁シールド部１２０によって効果的に抑制または低減され、電磁遮蔽室内においてコントロールユニット（電子機器４０）から放射される電磁ノイズをより正確に測定することが可能になる。

【0030】

次に、本発明の第２の実施例について説明する。図６に示すように、電磁シールド部１２０Ａは、円筒状の枠体から構成され、その円柱状の内部空間内にラビリンス構造が配置される。図７（Ａ）、（Ｂ）は、図６に示す電磁シールド部１２０Ａを取り付けた場合の断面図であり、Ｙ１－Ｙ１線断面およびＹ２－Ｙ２線断面は、図４（Ａ）、（Ｂ）のＹ１－Ｙ１線断面およびＹ２－Ｙ２線断面にそれぞれ対応する。本実施例においても、モータ軸１３０は、枠体２００の略中心を通り、モータ軸１３０には、複数の回転板が取り付けられる。１つの回転板の回りを包囲する静止板の形状は、枠体２００の内部空間に整合するように概ね円形状であり、その外周部が固定具２４４によって固定される。

【0031】

本実施例によれば、円柱状の内部空間内に、モータ軸１３０の回りに回転対称となるように静止板および回転板を取り付けることで、モータ軸１３０の半径方向に均一な電磁シールド空間を形成することができる。これにより、モータ軸１３０から誘導または放射される電磁ノイズが電磁遮蔽室内に進入するのを効果的に抑制することができる。

【0032】

次に、本発明の第３の実施例を図８に示す。第１の実施例では、静止板２４０は、モータ軸１３０の軸方向に対してほぼ垂直に取り付けられたが、本実施例では、図８（Ａ）に示すように、回転板２３０の一方の面と対向する静止板２４０Ｂをモータ軸１３０に対して傾斜させる。この場合、静止板２４０Ｂと回転板２３０との対向する距離ｄ１、ｄ２は、半径方向に向かうに従い小さくなる。これにより、波長の異なる電磁ノイズを効果的にシールドすることができる。また、図８（Ｂ）に示すように、回転板２３０の他方の面と対向する静止板２４０Ｃをモータ軸１３０の軸方向に対して傾斜させるようにしてもよい。静止板２４０Ｃの傾斜角は限定されないが、例えば、静止板２４０Ｂと同じ角度で傾斜させるようにしてもよいよいし、あるいは異なる角度で傾斜させることで静止板２４０Ｃと回転板２３０との対向する距離を、静止板２４０Ｂと回転板２３０間の距離ｄ１、ｄ２と異ならせるようにしてもよい。

【0033】

上記実施例の変形例として、図２に示す電磁シールド部１２０や図６に示す電磁シールド部１２０Ａの内部空間内に、電磁ノイズを吸収するための電波吸収体を設けるようにしてもよい。電波吸収体は、例えば、フェライトタイルである。例えば、枠体２００の内壁の全部またはその一部にフェライトタイルを貼り付けたり、あるいは静止板の表面の全部またはその一部にフェライトタイルを貼り付けることが可能である。また、回転体の表面の全部またはその一部にフェライトタイルを貼り付けることも可能である。これにより、モータ軸１３０から誘導または放射された電磁ノイズが枠体２００の内壁や静止板の表面で吸収され、ラビリンス構造による電磁シールド効果をさらに高めることが可能である。

【0034】

なお、上記実施例では、複数対の回転板と静止板とによりラビリンス構造を構成したが、これは一例であり、少なくとも一対の回転板と静止板とを含む構造であってもよい。さらに電磁シールド部１２０の枠体２００を矩形状にしたが、これは一例であり、例えば、円筒状であってもよい。この場合、静止板は、枠体の形状に合わせて円形状にすることが望ましい。また、上記実施例では、モータ軸を貫通孔に挿入する例を示したが、モータ軸以外にも何らかの動力源に接続された回転軸を貫通孔に通す場合にも同様に適用される。

【0035】

次に、本実施例の電磁シールド部を備えた電磁遮蔽室の性能を測定した実験結果について説明する。図９（Ａ）は、基準（リファレンス）を測定するときの実験条件を示している。図に示すように、送信アンテナ３００、受信アンテナ３１０、測定機器（周波数アナライザ）３２０、アンプ３３０を準備し、送信アンテナ３００および受信アンテナ３１０を同軸ケーブル３４０を介して測定機器３２０およびアンプ３３０に接続する。送信アンテナ３００には、３０ＭＨｚ～１ＧＨｚ帯では小型バイコニカルアンテナを使用し、１～６ＧＨｚ帯ではダブルリッジドガイドホーンアンテナを使用し、受信アンテナ３１０には、３０ＭＨｚ～１ＧＨｚ帯ではバイログアンテナを使用し、１～６ＧＨｚ帯ではダブルリッジドガイドホーンアンテナを使用した。送受信アンテナ間の距離Ｌは、２．５ｍである。測定機器３２０により送信アンテナ３００から出力される電磁波の周波数を３０ＭＨｚ～６ＧＨｚまで変化させ、そのときに受信アンテナ３１０で受信した電磁波の強度を測定し、これを基準強度とした。

【0036】

図９（Ｂ）は、シールド測定時の実験条件を示している。送信アンテナ３００は、床面３５０から電磁シールド部１２０の開口中心（またはモータ軸１３０の中心）までの高さＨ（１．６４ｍ）に配置される。受信アンテナ３１０は、電磁遮蔽室のハウジング１１０内に、距離Ｌ、高さＨで配置される。電磁ケーブル３４０は、ハウジング１１０のコネクタ３６０を介して電磁遮蔽室外に配置されたアンプ３３０に接続され、アンプ３３０で増幅された受信信号が測定機器３２０に出力される。測定機器３２０は、３０ＭＨｚ～６ＧＨｚで送信アンテナ３００から出力される電磁波の周波数を変化させ、そのときに受信アンテナ３１０で受信した電磁波の強度を測定した。また、実験では、電磁シールド部１２０の構成を変化させ、例えば、電磁シールド部１２０の枠体のみを用いた場合や電磁シールド部１２０内にラビリンス構造を配置した場合の電磁波を測定した。

【0037】

図９Ａ～図９Ｄは、３０ＭＨｚ～１ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフ、図１０Ａ～図１０Ｄは、１ＧＨｚ～６ＧＨｚの電磁波のシールド特性を示すグラフである。これらのシールド特性は、電磁波の基準強度とシールド測定時の強度とを比較し、その減衰率を表したものである。

【0038】

図９Ａにおいて、実線は、電磁シールド部１２０が構成Ａのときのシールド特性を示している。構成Ａとは、電磁シールド部１２０が筐体のみの構成（つまり、枠体２００と側板２０６と軸受け２１０と軸受け１３２）である。破線は、実線Ａの構成にさらにモータ軸１３０を追加した構成Ｂのシールド特性を示している。この場合、モータ軸１３０により電磁遮蔽室内に電磁波が誘導されるため、そのシールド効果が大きく低下していることが分かる。細線は、構成Ｂにさらにアースリング１３４を追加した構成Ｃのシールド特性を示している。この場合、モータ軸１３０から放射された電磁ノイズが電磁シールド部１２０の筐体を介してアース（ＧＮＤ）に落とされるため、シールド効果が構成Ｂのときよりもかなり改善していることが分かる。点線は、構成Ｃにされにアースリング２１２を追加した構成Ｄのシールド特性を示している。この場合も同様に電磁ノイズがアースに落とされ、構成Ｃと同等のシールド効果が得られていることが分かる。

【0039】

図９Ｂにおいて、構成Ａおよび構成Ｂは、図９Ａのときと同じである。細線は、電磁シールド部１２０がラビリンス構造１を備えた構成Ｅのシールド特性を示している。ラビリンス構造１とは、静止板２４０と回転板２３０と固定部２３４と静止板２４０の１セットを含む構造である。この場合、モータ軸１３０から放射される電磁ノイズがラビリンス構造１で捕獲されることで、構成Ｂのときよりもシールド効果が改善していることが分かる。点線は、構成Ｅにアースリング２１２を追加した構成Ｆのシールド特性を示している。この場合、ラビリンス構造１により捕獲された電磁ノイズがアースに落とされるため、さらにシールド効果が改善していることが分かる。

【0040】

図９Ｃにおいて、構成Ａおよび構成Ｂは、図９Ａのときと同じである。細線は、電磁シールド部１２０がラビリンス構造２を備えた構成Ｇのシールド特性を示している。ラビリンス構造２とは、ラビリンス構造１のセットを２セット含む構造である。この場合、モータ軸１３０から放射される電磁ノイズがラビリンス構造２で捕獲されることで、構成Ｂや構成Ｅ（ラビリンス構造１）のときよりもシールド効果が改善していることが分かる。点線は、構成Ｇにアースリング２１２を追加した構成Ｈのシールド特性を示している。この場合、ラビリンス構造２により捕獲された電磁ノイズがアースに落とされるため、さらにシールド効果が改善していることが分かる。

【0041】

図９Ｄにおいて、構成Ａおよび構成Ｂは、図９Ａのときと同じである。細線は、ラビリンス構造３を備えた構成Ｉのシールド特性を示している。ラビリンス構造３とは、ラビリンス構造１のセットを３セット含む構造である。この場合、モータ軸１３０から放射される電磁ノイズがラビリンス構造３で捕獲されることで、構成Ｂや構成Ｅ、Ｇ（ラビリンス構造１、２）のときよりもシールド効果が改善していることが分かる。点線は、構成Ｉにアースリング２１２を追加した構成Ｊのシールド特性を示している。この場合、ラビリンス構造３により捕獲された電磁ノイズがアースに落とされるため、さらにシールド効果が改善していることが分かる。

【0042】

図１０Ａ～図１０Ｄは、図９Ａ～図９Ｄの実験結果にそれぞれ対応する。図１０Ａにおいて、電磁波の周波数がＧＨｚ帯の場合、構成Ａによるシールド効果は、ＭＨｚ帯のときよりも良好ではないことが分かる。他方、アースリングを備えた構成Ｃ、Ｄでは、シールド効果が改善されている。図１０Ｂないし図Ｄにおいて、電磁シールド部１２０がラビリンス構造１～３を備えた場合（構成Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｊ）、かなり顕著なシールド効果が得られることが分かる。

【0043】

本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0044】

１００：電磁遮蔽室
１１０：ハウジング
１１２：側面
１１４：貫通孔
１２０：電磁シールド部
１３０：モータ軸
１３２：軸受け
１３４：アースリング
２００：枠体
２０２、２０４：端部
２０６：側板
２０８：貫通孔
２１０：軸受け
２１２：アースリング
２３０：回転板
２３２：開口
２３４：固定具
２４０：静止板
２４２：開口
２４４：固定具
３００：ラビリンス構造

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図9A】

【図9B】

【図9C】

【図9D】

【図10A】

【図10B】

【図10C】

【図10D】