特許7283242基板ホルダおよびプラズマ処理装置

発明の名称　基板ホルダおよびプラズマ処理装置

出願人　日新電機株式会社　（識別番号 3942）

　　　　特許公開件数ランキング 291 位（109件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 386 位（69件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7283242

公報発行日　2023年5月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7283242

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