(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-05-24
(45)【発行日】2023-06-01
(54)【発明の名称】ケース支持装置およびケース支持方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20230525BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2019013499
(22)【出願日】2019-01-29
(65)【公開番号】P2020123625
(43)【公開日】2020-08-13
【審査請求日】2021-11-22
(73)【特許権者】
【識別番号】000102980
【氏名又は名称】リンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100120592
【弁理士】
【氏名又は名称】山崎 崇裕
(74)【代理人】
【識別番号】100184712
【弁理士】
【氏名又は名称】扇原 梢伸
(74)【代理人】
【識別番号】100192223
【弁理士】
【氏名又は名称】加久田 典子
(72)【発明者】
【氏名】黒澤 祐太
【審査官】鈴木 孝章
(56)【参考文献】
【文献】特開２００３－１７４０６７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－２４１３３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－２８０４４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－３１３７８９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－３４７５７６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１施錠手段によって開口部に第１蓋が係止された第１ケースと、第２施錠手段によって開口部に第２蓋が係止された第２ケースとを選択的に支持可能なケース支持手段と、前記第１施錠手段または前記第２施錠手段の施錠と開錠とを行う鍵の宛がい位置を直接的または間接的に検知する検知手段と、
前記ケース支持手段に支持された前記第１ケースまたは第２ケースから、前記第１蓋または第２蓋を取り外す蓋取外し手段とを備え、
前記蓋取外し手段は、複数の鍵を備え、前記検知手段の検知結果を基にして、前記第１蓋、第２蓋または、前記第１ケース、第２ケースに設けられた前記宛がい位置に対応する鍵を選定し、選定した鍵で前記第１施錠手段または前記第２施錠手段の施錠と開錠を行うことを特徴とするケース支持装置。
【請求項2】
前記ケース支持手段に支持された前記第１ケースの開口部または前記第２ケースの開口部に対応する給排出開口部を有するゲート手段を備え、当該ゲート手段は、第１ケースおよび第２ケースの開口部の大きさの違いによって、前記給排出開口部との間に形成される隙間を塞ぐ隙間塞ぎ手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のケース支持装置。
【請求項3】
第１施錠手段によって開口部に第１蓋が係止された第１ケースと、第２施錠手段によって開口部に第２蓋が係止された第２ケースとを選択的に支持するケース支持工程と、前記第１施錠手段または前記第２施錠手段の施錠と開錠とを行う鍵の宛がい位置を直接的または間接的に検知する検知工程と、
前記ケース支持工程で支持された前記第１ケースまたは第２ケースから、前記第１蓋または第２蓋を取り外す蓋取外し工程とを実施し、
前記蓋取外し工程では、複数の鍵を用意しておき、前記検知工程での検知結果を基にして、前記第１蓋、第２蓋または、前記第１ケース、第２ケースに設けられた前記宛がい位置に対応する鍵を選定し、選定した鍵で前記第１施錠手段または前記第２施錠手段の施錠と開錠を行う工程を実施することを特徴とするケース支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ケース支持装置およびケース支持方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、種類の異なるケースに対応可能なケース支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１４－２４１３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のロードポート１（ケース支持装置）は、遮蔽部材ＲＷ３（第１蓋）のロック機構（第１施錠手段）と、遮蔽部材ＲＲ３（第２蓋）のロック機構（第２施錠手段）とでロック開閉手段（鍵）の宛がい位置が異なっていると、第１収納手段ＲＷ（第１ケース）と第２収納手段ＲＲ（第２ケース）との両方に対応するという機能が損なわれてしまうという不都合がある。
【0005】
本発明の目的は、鍵の宛がい位置がケースの種類によって異なっていても対応することができるケース支持装置およびケース支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、鍵の宛がい位置を検知し、その位置に対応する鍵を選定するので、鍵の宛がい位置がケースの種類によって異なっていても対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図２は、図１（Ａ）と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図２は、図１（Ａ）と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略。
【0010】
図１において、本発明のケース支持装置ＥＡは、第１施錠手段ＬＳ１（図２（Ａ）参照）によって開口部ＣＡ１Ａに第１蓋ＣＡ１Ｂが係止された第１ケースＣＡ１と、第２施錠手段ＬＳ２（図２（Ｃ）参照）によって開口部ＣＡ２Ａに第２蓋ＣＡ２Ｂが係止された第２ケースＣＡ２とを選択的に支持可能なケース支持手段１０と、第１施錠手段ＬＳ１または第２施錠手段ＬＳ２の施錠と開錠とを行う鍵３４の宛がい位置としての鍵穴ＬＨの位置を間接的に検知する検知手段２０と、ケース支持手段１０に支持された第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２から、第１蓋ＣＡ１Ｂまたは第２蓋ＣＡ２Ｂを取り外す蓋取外し手段３０と、ケース支持手段１０に支持された第１ケースＣＡ１の開口部ＣＡ１Ａまたは第２ケースＣＡ２の開口部ＣＡ２Ａに対応する給排出開口部４１Ａを有するゲート手段４０とを備え、第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に収納された処理対象物ＷＫ１またはＷＫ２（図２参照）を他の装置ＥＡ１の搬入位置ＥＡ１１に搬送する処理対象物搬送手段５０の近傍に配置されている。
【0011】
ケース支持手段１０は、本体フレーム１１と、本体フレーム１１の支持台１１Ａ上に支持された駆動機器としてのリニアモータ１２と、リニアモータ１２のスライダ１２Ａに支持され、第１ケースＣＡ１と第２ケースＣＡ２とを選択的に支持面１３Ａで支持するケース支持テーブル１３とを備えている。
ケース支持テーブル１３は、支持面１３Ａに形成された穴１３Ｂの側壁に支持された駆動機器であってケース保持手段としての直動モータ１３Ｃを備え、第１ケースＣＡ１および第２ケースＣＡ２の下面に設けられた保持プレートＣＡ１Ｄ、ＣＡ２Ｄを、その出力軸１３Ｄで穴１３Ｂの側壁に押し付けることで、支持した第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２を当該ケース支持テーブル１３で保持する構成となっている。
ケース支持テーブル１３は、支持面１３Ａに形成された穴１３Ｂの側壁に支持された駆動機器であってケース保持手段としての直動モータ１３Ｃを備え、第１ケースＣＡ１および第２ケースＣＡ２の下面に設けられた保持プレートＣＡ１Ｄ、ＣＡ２Ｄを、その出力軸１３Ｄで穴１３Ｂの側壁に押し付けることで、支持した第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２を当該ケース支持テーブル１３で保持する構成となっている。
【0012】
検知手段２０は、ケース支持テーブル１３の支持面１３Ａに形成された穴１３Ｅの側壁に支持され、第１ケースＣＡ１の下面に設けられたピンＣＡ１Ｃを検知する光学センサ２１と、ケース支持テーブル１３の支持面１３Ａに形成された穴１３Ｆの側壁に支持され、第２ケースＣＡ２の下面に設けられたピンＣＡ２Ｃを検知する光学センサ２２とを備えている。
【0013】
蓋取外し手段３０は、ゲート手段４０の給排出開口部４１Ａを塞ぐことが可能な開閉蓋３１と、開閉蓋３１に形成された複数の凹部３１Ａ内にそれぞれ支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で吸着保持が可能な蓋保持手段としての吸着パッド３２と、開閉蓋３１を移動させる開閉蓋移動手段３３と、複数（本実施形態では４個）の鍵３４を備え、検知手段２０の検知結果を基にして、第１蓋ＣＡ１Ｂ、第２蓋ＣＡ２Ｂに設けられた鍵穴ＬＨの位置に対応する鍵３４を選定可能に設けられている。
開閉蓋移動手段３３は、本体フレーム１１に支持された駆動機器としてのリニアモータ３３Ａと、リニアモータ３３Ａのスライダ３３Ｂに支持され、そのスライダ３３Ｄで開閉蓋３１を支持する駆動機器としてのリニアモータ３３Ｃとを備えている。
鍵３４は、開閉蓋３１に形成された複数の凹部３１Ｂ内にそれぞれ支持された駆動機器としての直動モータ３４Ａと、直動モータ３４Ａの出力軸３４Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ３４Ｃとを備え、回動モータ３４Ｃの出力軸３４Ｄに支持されている。
なお、第１施錠手段ＬＳ１および第２施錠手段ＬＳ２は、鍵穴ＬＨに挿入された鍵３４を所定の方向に回転させることで、第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対する施錠と開錠が可能になっている。また、図１（Ａ）中矢印ＭＡで示す開閉蓋３１の中央部に位置する２つの鍵３４を、以降まとめて「中央鍵３４」といい、同図中矢印ＭＢで示す開閉蓋３１の上部に位置する２つの鍵３４を、以降まとめて「上方鍵３４」という。そして、ケース支持装置ＥＡは、ケース支持手段１０に支持された状態で、第１ケースＣＡ１に係止された第１蓋ＣＡ１Ｂの２つの鍵穴ＬＨが中央鍵３４に対応し、同状態で、第２ケースＣＡ２に係止された第２蓋ＣＡ２Ｂの２つの鍵穴ＬＨが上方鍵３４に対応していることを図示しない記憶手段で記憶している。
開閉蓋移動手段３３は、本体フレーム１１に支持された駆動機器としてのリニアモータ３３Ａと、リニアモータ３３Ａのスライダ３３Ｂに支持され、そのスライダ３３Ｄで開閉蓋３１を支持する駆動機器としてのリニアモータ３３Ｃとを備えている。
鍵３４は、開閉蓋３１に形成された複数の凹部３１Ｂ内にそれぞれ支持された駆動機器としての直動モータ３４Ａと、直動モータ３４Ａの出力軸３４Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ３４Ｃとを備え、回動モータ３４Ｃの出力軸３４Ｄに支持されている。
なお、第１施錠手段ＬＳ１および第２施錠手段ＬＳ２は、鍵穴ＬＨに挿入された鍵３４を所定の方向に回転させることで、第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対する施錠と開錠が可能になっている。また、図１（Ａ）中矢印ＭＡで示す開閉蓋３１の中央部に位置する２つの鍵３４を、以降まとめて「中央鍵３４」といい、同図中矢印ＭＢで示す開閉蓋３１の上部に位置する２つの鍵３４を、以降まとめて「上方鍵３４」という。そして、ケース支持装置ＥＡは、ケース支持手段１０に支持された状態で、第１ケースＣＡ１に係止された第１蓋ＣＡ１Ｂの２つの鍵穴ＬＨが中央鍵３４に対応し、同状態で、第２ケースＣＡ２に係止された第２蓋ＣＡ２Ｂの２つの鍵穴ＬＨが上方鍵３４に対応していることを図示しない記憶手段で記憶している。
【0014】
ゲート手段４０は、給排出開口部４１Ａを有するゲートフレーム４１と、第１ケースおよび第２ケースの開口部の大きさの違いによって、給排出開口部４１Ａとの間に形成される隙間を塞ぐ隙間塞ぎ手段４２とを備えている。
隙間塞ぎ手段４２は、ゲートフレーム４１に支持された駆動機器としての回動モータ４２Ａと、その出力軸４２Ｂにブラケット４２Ｃを介して支持された開閉ボード４２Ｄとを備え、給排出開口部４１Ａの上側と手前側と奥側との３箇所に設けられている。
隙間塞ぎ手段４２は、ゲートフレーム４１に支持された駆動機器としての回動モータ４２Ａと、その出力軸４２Ｂにブラケット４２Ｃを介して支持された開閉ボード４２Ｄとを備え、給排出開口部４１Ａの上側と手前側と奥側との３箇所に設けられている。
【0015】
処理対象物搬送手段５０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム５１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット５１と、先端アーム５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）で吸着保持が可能な吸着保持面５２Ａを備えた搬送アーム５２とを備えている。
【0016】
以上のケース支持装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたケース支持装置ＥＡに対し、当該ケース支持装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、処理対象物ＷＫ１が収納された第１ケースＣＡ１をケース支持テーブル１３上に載置する。すると、ケース支持手段１０が直動モータ１３Ｃを駆動し、第１ケースＣＡ１の保持プレートＣＡ１Ｄを出力軸１３Ｄで穴１３Ｂの側壁に押し付け、ケース支持テーブル１３で第１ケースＣＡ１を保持する。次いで、検知手段２０が光学センサ２１、２２を駆動し、第１ケースＣＡ１のピンＣＡ１Ｃを光学センサ２１が検知することで、ケース支持テーブル１３上に載置されたケースが第１ケースＣＡ１であることを当該検知手段２０が検知し、第１蓋ＣＡ１Ｂに設けられた鍵穴ＬＨの位置を間接的に検知する。その後、ケース支持手段１０がリニアモータ１２を駆動し、ケース支持テーブル１３を右方へ移動させ、第１ケースＣＡ１の開口部ＣＡ１Ａの周辺部を開閉ボード４２Ｄに所定の押圧力で押圧する。すると、図２（Ａ）に示すように、第１蓋ＣＡ１Ｂが吸着パッド３２に当接するとともに、第１蓋ＣＡ１Ｂの２つの鍵穴ＬＨが中央鍵３４に対向配置する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたケース支持装置ＥＡに対し、当該ケース支持装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、処理対象物ＷＫ１が収納された第１ケースＣＡ１をケース支持テーブル１３上に載置する。すると、ケース支持手段１０が直動モータ１３Ｃを駆動し、第１ケースＣＡ１の保持プレートＣＡ１Ｄを出力軸１３Ｄで穴１３Ｂの側壁に押し付け、ケース支持テーブル１３で第１ケースＣＡ１を保持する。次いで、検知手段２０が光学センサ２１、２２を駆動し、第１ケースＣＡ１のピンＣＡ１Ｃを光学センサ２１が検知することで、ケース支持テーブル１３上に載置されたケースが第１ケースＣＡ１であることを当該検知手段２０が検知し、第１蓋ＣＡ１Ｂに設けられた鍵穴ＬＨの位置を間接的に検知する。その後、ケース支持手段１０がリニアモータ１２を駆動し、ケース支持テーブル１３を右方へ移動させ、第１ケースＣＡ１の開口部ＣＡ１Ａの周辺部を開閉ボード４２Ｄに所定の押圧力で押圧する。すると、図２（Ａ）に示すように、第１蓋ＣＡ１Ｂが吸着パッド３２に当接するとともに、第１蓋ＣＡ１Ｂの２つの鍵穴ＬＨが中央鍵３４に対向配置する。
【0017】
次に、以下の第１ケースＣＡ１を対象とした「蓋取外し手段３０による蓋外し動作」が行われる。
すなわち、蓋取外し手段３０が検知手段２０の検知結果を基にして、中央鍵３４を支持する各直動モータ３４Ａおよび各回動モータ３４Ｃを駆動し、中央鍵３４を第１蓋ＣＡ１Ｂの各鍵穴ＬＨに挿入して当該中央鍵３４を所定の方向に回転させ、第１ケースＣＡ１に対する第１施錠手段ＬＳ１の開錠を行う。そして、蓋取外し手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド３２での第１蓋ＣＡ１Ｂの吸着保持を開始した後、リニアモータ３３Ａ、３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を右方に移動させた後、下方へ移動させ、図２（Ｂ）に示すように、第１ケースＣＡ１の開口部ＣＡ１Ａから第１蓋ＣＡ１Ｂを取り外す（以上が第１ケースＣＡ１を対象とした「蓋取外し手段３０による蓋外し動作」）。
すなわち、蓋取外し手段３０が検知手段２０の検知結果を基にして、中央鍵３４を支持する各直動モータ３４Ａおよび各回動モータ３４Ｃを駆動し、中央鍵３４を第１蓋ＣＡ１Ｂの各鍵穴ＬＨに挿入して当該中央鍵３４を所定の方向に回転させ、第１ケースＣＡ１に対する第１施錠手段ＬＳ１の開錠を行う。そして、蓋取外し手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド３２での第１蓋ＣＡ１Ｂの吸着保持を開始した後、リニアモータ３３Ａ、３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を右方に移動させた後、下方へ移動させ、図２（Ｂ）に示すように、第１ケースＣＡ１の開口部ＣＡ１Ａから第１蓋ＣＡ１Ｂを取り外す（以上が第１ケースＣＡ１を対象とした「蓋取外し手段３０による蓋外し動作」）。
【0018】
次いで、以下の処理対象物ＷＫ１を対象とした「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」が所定回行われる。
すなわち、処理対象物搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２の吸着保持面５２Ａを処理対象物ＷＫ１に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該吸着保持面５２Ａでの処理対象物ＷＫ１の吸着保持を開始する。その後、処理対象物搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２で吸着保持した処理対象物ＷＫ１を第１ケースＣＡ１から取り出し、当該処理対象物ＷＫ１を他の装置ＥＡ１の搬入位置ＥＡ１１に載置する。次に、処理対象物搬送手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着保持面５２Ａでの処理対象物ＷＫ１の吸着保持を解除した後、多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２を初期位置に復帰させる（以上が処理対象物ＷＫ１を対象とした「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」）。
すなわち、処理対象物搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２の吸着保持面５２Ａを処理対象物ＷＫ１に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該吸着保持面５２Ａでの処理対象物ＷＫ１の吸着保持を開始する。その後、処理対象物搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２で吸着保持した処理対象物ＷＫ１を第１ケースＣＡ１から取り出し、当該処理対象物ＷＫ１を他の装置ＥＡ１の搬入位置ＥＡ１１に載置する。次に、処理対象物搬送手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着保持面５２Ａでの処理対象物ＷＫ１の吸着保持を解除した後、多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２を初期位置に復帰させる（以上が処理対象物ＷＫ１を対象とした「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」）。
【0019】
そして、処理対象物ＷＫ１を対象とした「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」が所定回行われると、蓋取外し手段３０がリニアモータ３３Ａ、３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を初期位置に復帰させ、第１蓋ＣＡ１Ｂを第１ケースＣＡ１の開口部ＣＡ１Ａに嵌め込んだ後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド３２での第１蓋ＣＡ１Ｂの吸着保持を解除する。次いで、蓋取外し手段３０が中央鍵３４を支持する各回動モータ３４Ｃを駆動し、当該中央鍵３４を所定の方向に回転させ、第１ケースＣＡ１に対する第１施錠手段ＬＳ１の施錠を行った後、各直動モータ３４Ａを駆動し、鍵３４を初期位置に復帰させる。その後、ケース支持手段１０がリニアモータ１２および直動モータ１３Ｃを駆動し、ケース支持テーブル１３および出力軸１３Ｄを初期位置に復帰させ、ケース支持テーブル１３での第１ケースＣＡ１の保持を解除すると、使用者または、図示しない搬送手段が、第１ケースＣＡ１をケース支持テーブル１３上から取り去り、以降上記と同様の動作が繰り返される。
【0020】
一方、使用者または図示しない搬送手段が、図２（Ｃ）中二点鎖線で示すように、処理対象物ＷＫ２が収納された第２ケースＣＡ２をケース支持テーブル１３上に載置すると、ケース支持手段１０が直動モータ１３Ｃを駆動し、第２ケースＣＡ２の保持プレートＣＡ２Ｄを出力軸１３Ｄで穴１３Ｂの側壁に押し付け、ケース支持テーブル１３で第２ケースＣＡ２を保持する。次に、検知手段２０が光学センサ２１、２２を駆動し、第２ケースＣＡ２のピンＣＡ２Ｃを光学センサ２２が検知することで、ケース支持テーブル１３上に載置されたケースが第２ケースＣＡ２であることを当該検知手段２０が検知し、第２蓋ＣＡ２Ｂに設けられた鍵穴ＬＨの位置を間接的に検知する。そして、ケース支持手段１０がリニアモータ１２を駆動し、ケース支持テーブル１３を右方へ移動させ、第２ケースＣＡ２の開口部ＣＡ２Ａの周辺部をゲートフレーム４１に所定の押圧力で押圧すると、蓋取外し手段３０がリニアモータ３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を右方に移動させる。次いで、ゲート手段４０が回動モータ４２Ａを駆動し、図２（Ｃ）に示すように、給排出開口部４１Ａの上側と手前側と奥側に位置する３つの開閉ボード４２Ｄを当該給排出開口部４１Ａから退避させた後、蓋取外し手段３０がリニアモータ３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を初期位置に復帰させる。すると、図２（Ｃ）に示すように、第２蓋ＣＡ２Ｂが吸着パッド３２に当接するとともに、第２蓋ＣＡ２Ｂの２つの鍵穴ＬＨが上方鍵３４に対向配置する。
【0021】
その後、第２ケースＣＡ２を対象とした「蓋取外し手段３０による蓋外し動作」が行われた後（図２（Ｄ）参照）、処理対象物ＷＫ２を対象とした「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」が行われる。なお、第２ケースＣＡ２を対象とした「蓋取外し手段３０による蓋外し動作」および、処理対象物ＷＫ２を対象とした「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」は、第１ケースＣＡ１または処理対象物ＷＫ１を対象とした上記の各動作に対し、対象とするものが第２ケースＣＡ２または処理対象物ＷＫ２に変わるだけで、基本的な動作はそれらと同じなので、詳細な動作説明は省略する。
次に、処理対象物ＷＫ２を対象とした「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」が所定回行われると、蓋取外し手段３０がリニアモータ３３Ａ、３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を初期位置に復帰させ、第２蓋ＣＡ２Ｂを第２ケースＣＡ２の開口部ＣＡ２Ａに嵌め込んだ後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド３２での第２蓋ＣＡ２Ｂの吸着保持を解除する。そして、蓋取外し手段３０が上方鍵３４を支持する各回動モータ３４Ｃを駆動し、当該上方鍵３４を所定の方向に回転させ、第２ケースＣＡ２に対する第２施錠手段ＬＳ２の施錠を行った後、各直動モータ３４Ａを駆動し、鍵３４を初期位置に復帰させる。
次に、処理対象物ＷＫ２を対象とした「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」が所定回行われると、蓋取外し手段３０がリニアモータ３３Ａ、３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を初期位置に復帰させ、第２蓋ＣＡ２Ｂを第２ケースＣＡ２の開口部ＣＡ２Ａに嵌め込んだ後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド３２での第２蓋ＣＡ２Ｂの吸着保持を解除する。そして、蓋取外し手段３０が上方鍵３４を支持する各回動モータ３４Ｃを駆動し、当該上方鍵３４を所定の方向に回転させ、第２ケースＣＡ２に対する第２施錠手段ＬＳ２の施錠を行った後、各直動モータ３４Ａを駆動し、鍵３４を初期位置に復帰させる。
【0022】
次いで、蓋取外し手段３０がリニアモータ３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を右方に移動させた後、ゲート手段４０が回動モータ４２Ａを駆動し、３つの開閉ボード４２Ｄを初期位置に復帰させると、蓋取外し手段３０がリニアモータ３３Ｃを駆動し、開閉蓋３１を初期位置に復帰させる。その後、ケース支持手段１０がリニアモータ１２および直動モータ１３Ｃを駆動し、ケース支持テーブル１３および出力軸１３Ｄを初期位置に復帰させてケース支持テーブル１３での第２ケースＣＡ２の保持を解除すると、使用者または、図示しない搬送手段が、第２ケースＣＡ２をケース支持テーブル１３上から取り去り、以降上記と同様の動作が繰り返される。
【0023】
以上のような実施形態によれば、鍵穴ＬＨの位置を検知し、その位置に対応する鍵３４を選定するので、鍵穴ＬＨの位置がケースの種類によって異なっていても対応することができる。
【0024】
本発明における手段及び工程は、それら手段及び工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる１実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、ケース支持手段は、第１施錠手段によって開口部に第１蓋が係止された第１ケースと、第２施錠手段によって開口部に第２蓋が係止された第２ケースとを選択的に支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【0025】
ケース支持手段１０は、リニアモータ１２が備わっていなくてもよいし、ケース保持手段の備わっていないケース支持テーブル１３が採用されてもよい。
ケース保持手段は、例えば、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等により、ケース支持テーブル１３で第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２を保持する構成でもよい。
ケース保持手段は、例えば、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等により、ケース支持テーブル１３で第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２を保持する構成でもよい。
【0026】
検知手段２０は、第１施錠手段ＬＳ１または第２施錠手段ＬＳ２の施錠と開錠とを行う鍵３４の宛がい位置としての鍵穴ＬＨを直接的に検知する構成でもよい。この場合、カメラや投影機等の撮像手段や、圧力センサや超音波センサ等の各種センサ等を検知手段として採用し、第１蓋ＣＡ１Ｂまたは第２蓋ＣＡ２Ｂを直接撮像したりセンシングしたりして、鍵穴ＬＨの位置を直接的に検知すればよい。
検知手段２０は、光学センサ２１、２２に代えてまたは併用して、カメラや投影機等の撮像手段や、圧力センサや超音波センサ等の各種センサ等が採用されてもよいし、第１ケースＣＡ１のピンＣＡ１Ｃや、第２ケースＣＡ２のピンＣＡ２Ｃ以外の別のものを検知してもよいし、ケース支持テーブル１３に支持されていなくてもよく、鍵穴ＬＨを直接的または間接的に検知できれば、どのようなものでもよいし、どこに設けられていてもよく、例えば、ケース支持手段１０に支持される前段で鍵穴ＬＨの位置を直接的または間接的に検知してもよい。
検知手段２０は、光学センサ２１、２２に代えてまたは併用して、カメラや投影機等の撮像手段や、圧力センサや超音波センサ等の各種センサ等が採用されてもよいし、第１ケースＣＡ１のピンＣＡ１Ｃや、第２ケースＣＡ２のピンＣＡ２Ｃ以外の別のものを検知してもよいし、ケース支持テーブル１３に支持されていなくてもよく、鍵穴ＬＨを直接的または間接的に検知できれば、どのようなものでもよいし、どこに設けられていてもよく、例えば、ケース支持手段１０に支持される前段で鍵穴ＬＨの位置を直接的または間接的に検知してもよい。
【0027】
蓋取外し手段３０は、検知手段２０の検知結果を基にして、第１ケースＣＡ１、第２ケースＣＡ２に設けられた鍵穴ＬＨの位置に対応する鍵３４を選定可能に設けられていてもよい。
蓋取外し手段３０は、２個または３個以上の鍵３４を備えていてもよいし、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２を対象とした「蓋取外し手段３０による蓋外し動作」において、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２に対する第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２の開錠を行った後、鍵３４を一旦初期位置に復帰させてもよいし、蓋保持手段が１個でもよいし、２個以上でもよいし、蓋保持手段として、例えば、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等により、第１蓋ＣＡ１Ｂまたは第２蓋ＣＡ２Ｂを保持するものが採用されてもよい。
鍵３４は、直動モータ３４Ａや回動モータ３４Ｃに支持されていなくてもよいし、開閉蓋３１以外のもの（例えば多関節ロボット等）に支持されていてもよい。
蓋取外し手段３０は、２個または３個以上の鍵３４を備えていてもよいし、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２を対象とした「蓋取外し手段３０による蓋外し動作」において、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２に対する第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２の開錠を行った後、鍵３４を一旦初期位置に復帰させてもよいし、蓋保持手段が１個でもよいし、２個以上でもよいし、蓋保持手段として、例えば、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等により、第１蓋ＣＡ１Ｂまたは第２蓋ＣＡ２Ｂを保持するものが採用されてもよい。
鍵３４は、直動モータ３４Ａや回動モータ３４Ｃに支持されていなくてもよいし、開閉蓋３１以外のもの（例えば多関節ロボット等）に支持されていてもよい。
【0028】
ゲート手段４０は、開閉ボード４２Ｄが前後方向や上下方向に平行移動する隙間塞ぎ手段４２が採用されてもよいし、隙間塞ぎ手段４２が給排出開口部４１Ａの上側と下側と手前側と奥側との少なくとも１箇所に設けられていてもよいし、本発明のケース支持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【0029】
処理対象物搬送手段５０は、「処理対象物搬送手段５０による搬送動作」を１回だけ行ってもよいし、２回以上行ってもよいし、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２内に収納された処理対象物ＷＫ１、ＷＫ２全てを搬送してもよいし、それらうち一部を搬送してもよいし、他の装置ＥＡ１で所定の処理が施された処理対象物ＷＫ１、ＷＫ２を第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２に戻してもよいし、本発明のケース支持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【0030】
第１、第２蓋ＣＡ１Ｂ、ＣＡ２Ｂは、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２に対して蝶番を介して開閉可能に設けられていてもよいし、どの位置に鍵３４の鍵穴ＬＨが設けられていてもよいし、１個または２個以上の第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２に対応して、１個または２個以上の鍵穴ＬＨが設けられていてもよい。
第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２は、ラッチ機構、掛けがね、かんぬき機構等、どのような機構でもよい。
第１施錠手段ＬＳ１と第２施錠手段ＬＳ２とは、同じものでもよいし、異なるものでもよいし、一部が同じでその他の部分が異なるものでもよいし、電気、電波やまたは磁誘導等によって第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対する施錠と開錠が可能な電子ロック機構、電磁ロック機構、電磁誘導ロック機構等、どのような施錠機構でもよい。
第１施錠手段ＬＳ１に対応する鍵３４と、第２施錠手段ＬＳ２に対応する鍵３４とは、同じものでもよいし、異なるものでもよいし、一部が同じでその他の部分が異なるものでもよい。
鍵３４は、第１ケースＣＡ１に対応するものが１体で、第２ケースＣＡ２に対応するものも１体でもよいし、第１ケースＣＡ１に対応するものが２体以上で、第２ケースＣＡ２に対応するものも２体以上でもよいし、第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対して施錠を行う回転方向と、開錠を行う回転方向とが同じ回転方向でもよいし、異なる回転方向でもよいし、所定の方向に回転させることなく、例えば、所定の直線方向に移動させたり、第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２に近付けたりすることで、第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対する施錠と開錠が可能な電子ロック機構、電磁ロック機構、電磁誘導ロック機構等、どのような施錠機構に対応したものでもよいし、例えば、第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２が電気によって第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対する施錠と開錠が可能なものの場合、それら第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２に電気を供給するものでもよく、そのような第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２の場合、鍵の宛がい位置は、当該鍵を近付けたり、電気を供給したりする位置となる。
前記実施形態では、第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２および鍵穴ＬＨが、第１、第２蓋ＣＡ１Ｂ、ＣＡ２Ｂのみに設けられた例を挙げたが、第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２および鍵穴ＬＨは、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２のみに設けられていてもよいし、それらのうちの一方が第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２に設けられ、且つ、それらのうちの他方が第１、第２蓋ＣＡ１Ｂ、ＣＡ２Ｂに設けられていてもよく、鍵穴ＬＨが、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２に設けられている場合、鍵３４は、ゲートフレーム４１や開閉ボード４２Ｄ等、開閉蓋３１以外のものに支持されていてもよいし、他のものに支持されていてもよい。
他の装置ＥＡ１は、例えば、処理対象物ＷＫ１、ＷＫ２に接着シートを貼付するシート貼付装置や、処理対象物ＷＫ１、ＷＫ２に印字または塗装等を施す印刷装置等、どのようなものでもよいし、処理対象物ＷＫ１、ＷＫ２を載置する単なる台でもよい。
本発明のケース支持装置ＥＡは、所謂ロードポート、所謂オープナ、所謂フープ等であってもよいし、第１ケースＣＡ１に係止されている第１蓋ＣＡ１Ｂにおける鍵穴ＬＨの位置と、第２ケースＣＡ２に係止されている第２蓋ＣＡ２Ｂにおける鍵穴ＬＨの位置とが、使用者によって図示しない記憶手段に記憶される構成でもよいし、鍵穴ＬＨの位置が異なる３種類以上のケースを支持するものでもよく、この場合、蓋取外し手段３０は、３種類以上のケースに応じた鍵穴ＬＨの位置に対応する鍵３４を備えていればよい。
第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２は、ラッチ機構、掛けがね、かんぬき機構等、どのような機構でもよい。
第１施錠手段ＬＳ１と第２施錠手段ＬＳ２とは、同じものでもよいし、異なるものでもよいし、一部が同じでその他の部分が異なるものでもよいし、電気、電波やまたは磁誘導等によって第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対する施錠と開錠が可能な電子ロック機構、電磁ロック機構、電磁誘導ロック機構等、どのような施錠機構でもよい。
第１施錠手段ＬＳ１に対応する鍵３４と、第２施錠手段ＬＳ２に対応する鍵３４とは、同じものでもよいし、異なるものでもよいし、一部が同じでその他の部分が異なるものでもよい。
鍵３４は、第１ケースＣＡ１に対応するものが１体で、第２ケースＣＡ２に対応するものも１体でもよいし、第１ケースＣＡ１に対応するものが２体以上で、第２ケースＣＡ２に対応するものも２体以上でもよいし、第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対して施錠を行う回転方向と、開錠を行う回転方向とが同じ回転方向でもよいし、異なる回転方向でもよいし、所定の方向に回転させることなく、例えば、所定の直線方向に移動させたり、第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２に近付けたりすることで、第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対する施錠と開錠が可能な電子ロック機構、電磁ロック機構、電磁誘導ロック機構等、どのような施錠機構に対応したものでもよいし、例えば、第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２が電気によって第１ケースＣＡ１または第２ケースＣＡ２に対する施錠と開錠が可能なものの場合、それら第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２に電気を供給するものでもよく、そのような第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２の場合、鍵の宛がい位置は、当該鍵を近付けたり、電気を供給したりする位置となる。
前記実施形態では、第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２および鍵穴ＬＨが、第１、第２蓋ＣＡ１Ｂ、ＣＡ２Ｂのみに設けられた例を挙げたが、第１、第２施錠手段ＬＳ１、ＬＳ２および鍵穴ＬＨは、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２のみに設けられていてもよいし、それらのうちの一方が第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２に設けられ、且つ、それらのうちの他方が第１、第２蓋ＣＡ１Ｂ、ＣＡ２Ｂに設けられていてもよく、鍵穴ＬＨが、第１、第２ケースＣＡ１、ＣＡ２に設けられている場合、鍵３４は、ゲートフレーム４１や開閉ボード４２Ｄ等、開閉蓋３１以外のものに支持されていてもよいし、他のものに支持されていてもよい。
他の装置ＥＡ１は、例えば、処理対象物ＷＫ１、ＷＫ２に接着シートを貼付するシート貼付装置や、処理対象物ＷＫ１、ＷＫ２に印字または塗装等を施す印刷装置等、どのようなものでもよいし、処理対象物ＷＫ１、ＷＫ２を載置する単なる台でもよい。
本発明のケース支持装置ＥＡは、所謂ロードポート、所謂オープナ、所謂フープ等であってもよいし、第１ケースＣＡ１に係止されている第１蓋ＣＡ１Ｂにおける鍵穴ＬＨの位置と、第２ケースＣＡ２に係止されている第２蓋ＣＡ２Ｂにおける鍵穴ＬＨの位置とが、使用者によって図示しない記憶手段に記憶される構成でもよいし、鍵穴ＬＨの位置が異なる３種類以上のケースを支持するものでもよく、この場合、蓋取外し手段３０は、３種類以上のケースに応じた鍵穴ＬＨの位置に対応する鍵３４を備えていればよい。
【0031】
本発明における処理対象物ＷＫ１およびＷＫ２の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、処理対象物ＷＫ１およびＷＫ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。また、処理対象物ＷＫ１およびＷＫ２としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の印記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【0032】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
前記実施形態において、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【0033】
ＥＡ ケース支持装置
１０ ケース支持手段
２０ 検知手段
３０ 蓋取外し手段
３４ 鍵
４０ ゲート手段
４２ 隙間塞ぎ手段
ＣＡ１ 第１ケース
ＣＡ１Ａ 開口部
ＣＡ１Ｂ 第１蓋
ＣＡ２ 第２ケース
ＣＡ２Ａ 開口部
ＣＡ２Ｂ 第２蓋
ＬＨ 鍵穴（宛がい位置）
ＬＳ１ 第１施錠手段
ＬＳ２ 第２施錠手段
１０ ケース支持手段
２０ 検知手段
３０ 蓋取外し手段
３４ 鍵
４０ ゲート手段
４２ 隙間塞ぎ手段
ＣＡ１ 第１ケース
ＣＡ１Ａ 開口部
ＣＡ１Ｂ 第１蓋
ＣＡ２ 第２ケース
ＣＡ２Ａ 開口部
ＣＡ２Ｂ 第２蓋
ＬＨ 鍵穴（宛がい位置）
ＬＳ１ 第１施錠手段
ＬＳ２ 第２施錠手段
【図1】
【図2】
