特許 7285133 シート材貼付け方法およびシート材貼付け装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-05-24

(45)【発行日】2023-06-01

(54)【発明の名称】シート材貼付け方法およびシート材貼付け装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230525BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20230525BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

H01L21/78 M

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2019093371

(22)【出願日】2019-05-17

(65)【公開番号】P2020188216

(43)【公開日】2020-11-19

【審査請求日】2022-04-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000003964

【氏名又は名称】日東電工株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】394016601

【氏名又は名称】日東精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100093056

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 勉

(74)【代理人】

【識別番号】100142930

【弁理士】

【氏名又は名称】戸高 弘幸

(74)【代理人】

【識別番号】100175020

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 知彦

(74)【代理人】

【識別番号】100180596

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 要

(74)【代理人】

【識別番号】100195349

【弁理士】

【氏名又は名称】青野 信喜

(72)【発明者】

【氏名】山本 雅之

(72)【発明者】

【氏名】長谷 幸敏

【審査官】渡井 高広

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－０４９６２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１１８５８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０３５５２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１１５２５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０５０３８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０９１１８０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上チャンバと下チャンバとを備えたチャンバの内部空間で、曲面を有するワークの前記曲面に対してシート材を貼り付けるシート材貼付け方法であって、
前記上チャンバと前記下チャンバとによって前記シート材を挟み込んで、前記チャンバの内部空間を、前記曲面を有する側を上向きにした状態の前記ワークが配置される下空間と、前記シート材を介在して前記下空間と対向する上空間とに区画する上下空間形成過程と、
前記シート材を変形させて前記ワークに向かう突起部を形成し、前記シート材の突起部を前記ワークのうち前記曲面の一部と接触させる接触過程と、
前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材の突起部が接触された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける貼付け過程と、
を備えることを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項2】

請求項１記載のシート材貼付け方法において、
前記接触過程は、突起部材を前記シート材に接触させることにより前記シート材を変形させる
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項3】

請求項２に記載のシート材貼付け方法において、
前記貼付け過程は、前記突起部材が前記シート材を介して前記ワークのうち前記曲面の一部に接触している状態で実行される
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項4】

請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のシート材貼付け方法において、
前記貼付け過程は、前記ワークのうち前記曲面の一部に前記突起部が接触された後、前記上空間と前記下空間との間に差圧を発生させて前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項5】

請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のシート材貼付け方法において、
前記チャンバ内の２つの空間のうち、前記下空間の気圧が前記上空間の気圧より高くなるように調整する気圧調整過程を備え、
前記気圧調整過程によって、前記下空間の気圧が前記上空間の気圧より高くなるように調整されている状態で前記接触過程が実行される
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項6】

請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のシート材貼付け方法において、
前記チャンバ内には複数の前記ワークが収納されており、
前記接触過程において、複数の前記突起部が前記シート材に形成され、前記ワークの各々における前記曲面の一部に前記突起部がそれぞれ接触する
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項7】

請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のシート材貼付け方法において、
前記ワークは凹状の曲面を有しており、
前記接触過程において前記突起部を接触させる前記曲面の一部は、前記凹状の曲面における最も深い部分を含む領域である
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項8】

請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のシート材貼付け方法において、
前記ワークは凹状の曲面を複数有しており、前記曲面同士を接続する部分である曲面接続部の高さは、いずれも前記ワークの端部の高さより低くなるように前記ワークが構成され、
前記接触過程は、複数の前記突起部が前記シート材に形成され、前記曲面の各々の一部に前記突起部がそれぞれ接触される
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項9】

請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のシート材貼付け方法において、
前記接触過程および前記貼付け過程のうち少なくとも一方は、前記チャンバ内に設けられている加熱器によって、前記ワークおよび前記シート材のうち少なくとも一方を加熱しながら行われる
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項10】

請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のシート材貼付け方法において、
前記シート材は、前記ワークの形状に応じた所定の形状を有するシート片と前記シート片を保持する長尺状のキャリアテープを備えている
ことを特徴とするシート材貼付け方法。

【請求項11】

上チャンバと下チャンバとを備えたチャンバの内部空間で、曲面を有するワークの前記曲面に対してシート材を貼り付けるシート材貼付け装置であって、
前記ワークを、前記曲面を有する側を上向きにさせた状態で保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルを収納し、前記上チャンバと前記下チャンバによって前記シート材を挟み込んで形成される、前記シート材を介して上空間と下空間とに区画されるチャンバと、
前記シート材を供給する供給機構と、
前記シート材を変形させて前記ワークに向かう突起部を形成させる突起部形成機構と、
前記シート材の突起部を前記ワークのうち前記曲面の一部と接触させる接触機構と、
前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材の突起部が接触された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける貼付け機構と、
を備えることを特徴とするシート材貼付け装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）または基板を例とするワークに対して、粘着テープを例とするシート材を貼り付けるために用いるシート材貼付け方法およびシート材貼付け装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウエハの表面に回路パターンが形成された後、バックグラインド工程によってウエハの裏面を研削し、さらにダイシング工程によって当該ウエハを多数のチップ部品に分断する。この場合、ウエハの回路保護を目的とする粘着テープ（保護テープ）、または、分断されたチップ部品の飛散防止を目的とする粘着テープ（ダイシングテープ）を例とするシート材が各工程においてウエハに貼り付けられる。

【0003】

粘着テープをウエハに貼り付ける方法の一例としては、上下一対のハウジングからなるチャンバの接合部分に粘着テープを挟み込み、当該粘着テープによって仕切られた２つの空間に差圧を発生させる方法が考案されている（特許文献１を参照）。当該方法では、粘着テープと近接対向するように配置されたウエハに向けて、粘着テープが弾性変形しながらウエハに貼り付けられていく。また、チャンバを用いる貼付け方法において、略半球状の押圧部材によって粘着テープの中央部分を押圧するとともに、チャンバ内に差圧を発生させて粘着テープをウエハの全面に密着させる構成が提案されている（特許文献２を参照）。

【0004】

【文献】特開２０１４－０４９６２７号公報

【文献】特開２０１７－０５０３８８号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。

【0006】

すなわち従来の構成は、いずれも平坦なウエハに粘着テープを貼り付けることを想定した構成である。そのため、凹状を例とする曲面を有するウエハの当該曲面に粘着テープを貼り付ける場合、従来の装置ではウエハに貼り付けられた粘着テープに皺が形成される、または粘着テープとウエハとの間に気泡（ボイド）が混入する、といった事態が高い頻度で発生することがわかった。このような皺または気泡の発生により、粘着テープを精度良く密着させることが困難となる。

【0007】

また、帯状の粘着テープをウエハに貼り付けた後にウエハの形状に沿って切断する構成の代わりに、予めウエハに応じた形状に切断された粘着テープ（プリカットテープ）を帯状のキャリアテープから剥離させて当該曲面を有するウエハに貼り付ける場合、さらなる問題が懸念される。すなわち従来の構成を用いて、差圧によりプリカットテープをウエハに貼り付けると、プリカットテープが実際に貼り付けられる位置は想定される貼り付け位置から大きく外れるという事態が高い頻度で発生する。その結果、ウエハの全面にプリカットテープを精度良く貼り付けることが困難となる。

【0008】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、曲面を有するワークに対して高い精度でシート材を貼り付けることができるシート材貼付け方法およびシート状貼付け装置を提供することを主たる目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、上チャンバと下チャンバとを備えたチャンバの内部空間で、曲面を有するワークの前記曲面に対してシート材を貼り付けるシート材貼付け方法であって、
前記上チャンバと前記下チャンバとによって前記シート材を挟み込んで、前記チャンバの内部空間を、前記曲面を有する側を上向きにした状態の前記ワークが配置される下空間と、前記シート材を介在して前記下空間と対向する上空間とに区画する上下空間形成過程と、
前記シート材を変形させて前記ワークに向かう突起部を形成し、前記シート材の突起部を前記ワークのうち前記曲面の一部と接触させる接触過程と、
前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材の突起部が接触された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける貼付け過程と、
を備えることを特徴とするものである。

【0010】

（作用・効果）この構成によれば、上チャンバと下チャンバとによってシート材を挟み込んで、シート材によって上空間と下空間に区画されたチャンバを形成したあと、シート材を変形させてワークに向かう突起部を形成させる。このとき、ワークは下空間の内部において、曲面を有する側を上向きにした状態で配置される。そして当該突起部をワークのうち上空間側の面の一部と接触させた状態で、チャンバ内の上空間と下空間との間の差圧によってシート材をワークのうち上空間側の面に貼り付ける。

【0011】

シート材の突起部をワークのうち上空間側の面の一部と接触させることにより、ワークの端部を例とする予期しない部分にシート材が接触することに起因してテンションが発生することを防止できる。当該テンションは、シート材を曲面に貼りつける際に皺や気泡が発生する原因になる。従って、ワークの曲面に貼りつけられるシート材に皺や気泡が形成されることを回避できるので、ワークの曲面に精度よくシート材を密着させることができる。

【0012】

また、上述した発明において、前記接触過程は、突起部材を前記シート材に接触させることにより前記シート材を変形させることが好ましい。

【0013】

（作用・効果）この構成によれば、突起部材をシート材に接触させることによりシート材を変形させて突起部を形成させる。シート材は突起部材の接触によって突起部材の形状に応じた形状に変形する。よって、シート材を確実に変形させ、所望の形状を有する突起部を形成させることができる。

【0014】

また、上述した発明において、前記貼付け過程は、前記突起部材が前記シート材を介して前記ワークのうち前記曲面の一部に接触している状態で実行されることが好ましい。

【0015】

（作用・効果）この構成によれば、突起部材が前記シート材を介して前記ワークの上空間側の面に接触している状態で貼付け過程が実行される。この場合、曲面を有する上空間側の面に接触しているシート材の突起部が、当該ワークの上空間側の面から離れてしまう事態を突起部材によって抑止できる。従って、シート材の突起部が確実に当該ワークの上空間側の面に接触している状態で貼付け過程を実行させることができる。

【0016】

また、上述した発明において、前記貼付け過程は、前記ワークのうち前記曲面の一部に前記突起部が接触された後、前記上空間と前記下空間との間に差圧を発生させて前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付けることが好ましい。

【0017】

（作用・効果）この構成によれば、ワークのうち上空間側の面の一部に突起部が接触された後に差圧を発生させる。この場合、差圧によってチャンバ内のシート材全体が変形するタイミングを確実にワークの上空間側の面に突起部が接触された後とすることができる。よって、突起部がワークの上空間側の面の一部に接触する前に突起部以外のシート材がワークに接触するという事態をより確実に回避できる。そのため、突起部以外のシート材の接触に起因する皺や気泡などの発生を防止できる。

【0018】

また、上述した発明において、前記チャンバ内の２つの空間のうち、前記下空間の気圧が前記上空間の気圧より高くなるように調整する気圧調整過程を備え、
前記気圧調整過程によって、前記下空間の気圧が前記上空間の気圧より高くなるように調整されている状態で前記接触過程が実行されることが好ましい。

【0019】

（作用・効果）この構成によれば、下空間を上空間より気圧を高くするように調整することによって、シート材をワークから離れるように変形できる。そのため、接触過程において突起部以外の部分のシート材が予期せずワークに接触する、という事態をより確実に回避できる。そのため、突起部以外のシート材の接触に起因する皺や気泡などの発生を確実に防止できる。

【0020】

また、上述した発明において、前記チャンバ内には複数の前記ワークが収納されており、
前記接触過程において、複数の前記突起部が前記シート材に形成され、前記ワークの各々における前記曲面の一部に前記突起部がそれぞれ接触することが好ましい。

【0021】

（作用・効果）この構成によれば、チャンバ内に複数のワークを収納し、当該ワークの各々にシート材を貼り付けることができるので、貼り付け工程の効率を大きく向上できる。また、ワークの各々の曲面の一部に突起部が接触するように構成されているので、複数のワークの各々において、シート材を精度良く密着させることができる。

【0022】

また、上述した発明において、前記ワークは凹状の曲面を有しており、前記接触過程において前記突起部を接触させる前記曲面の一部は、前記凹状の曲面における最も深い部分を含む領域であることが好ましい。

【0023】

（作用・効果）この構成によれば、接触過程において、ワークが有する凹状の曲面のうち、最も深い部分を含む領域に突起部が接触する。従来の構成において、凹状曲面の最深部はシート材が最後に貼り付けられる位置であり、気泡などが発生し易くかつシート材を精度良く貼り付けることが困難な部分である。本発明に係る構成では凹状曲面の最深部に突起部が接触させるので、貼付け過程では当該最深部から放射状に広がるようにシート材がワークの曲面に貼り付けられる。よって、従来では貼り付けエラーが発生しやすい部分における気泡などの発生を確実に回避できるので、シート材をワークの曲面に精度よく密着させることができる。

【0024】

また、上述した発明において、前記ワークは凹状の曲面を複数有しており、前記曲面同士を接続する部分である曲面接続部の高さは、いずれも前記ワークの端部の高さより低くなるように前記ワークが構成され、前記接触過程は、複数の前記突起部が前記シート材に形成され、前記曲面の各々の一部に前記突起部がそれぞれ接触されることが好ましい。

【0025】

（作用・効果）この構成によれば、ワークは凹状の曲面を複数有しており、接触過程において複数の突起部がシート材に形成され、曲面の各々の一部に突起部がそれぞれ接触される。すなわち、複数の凹状曲面の各々に突起部が接触した状態で貼付け過程が実行されるので、凹状の曲面を複数有する複雑な形状のワークであっても、当該ワークの曲面全体に精度良くシート材を密着させることができる。また、曲面接続部の高さは、いずれもワークの端部の高さより低くなっている。そのため、貼り付け過程において、シート材が曲面接続部に予期せず接触してシート材にテンションが発生する事態を回避できる。

【0026】

また、上述した発明において、前記接触過程および前記貼付け過程のうち少なくとも一方は、前記チャンバ内に設けられている加熱器によって、前記ワークおよび前記シート材のうち少なくとも一方を加熱しながら行われることが好ましい。

【0027】

（作用・効果）この構成によれば、加熱によってシート材をより変形しやすくすることができる。よって、シート材を変形させる過程である接触過程または貼付け過程をより好適に完了できる。

【0028】

また、上述した発明において、前記シート材は、前記ワークの形状に応じた所定の形状を有するシート片と前記シート片を保持する長尺状のキャリアテープを備えていることが好ましい。

【0029】

（作用・効果）この構成によれば、ワークの形状に応じた所定の形状を有するシート片と当該シート片を保持する長尺状のキャリアテープをシート材は備えている。この場合、接触過程においてシート片およびキャリアテープの一部が変形して突起部が形成され、当該突起部がワークの曲面の一部に接触する。

【0030】

突起部を形成させて曲面に接触させる過程において、シート片には突起部の部分に限定して大きな力が作用するので、シート材をワークに近づける際にシート片が変位することを防止できる。よって、シート材のシート片はワークの曲面における目標となる位置へ正確に接触させることができる。

【0031】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、上チャンバと下チャンバとを備えたチャンバの内部空間で、曲面を有するワークの前記曲面に対してシート材を貼り付けるシート材貼付け装置であって、
前記ワークを、前記曲面を有する側を上向きにさせた状態で保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルを収納し、前記上チャンバと前記下チャンバによって前記シート材を挟み込んで形成される、前記シート材を介して上空間と下空間とに区画されるチャンバと、
前記シート材を供給する供給機構と、
前記シート材を変形させて前記ワークに向かう突起部を形成させる突起部形成機構と、
前記シート材の突起部を前記ワークのうち前記曲面の一部と接触させる接触機構と、
前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材の突起部が接触された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける貼付け機構と、
を備えることを特徴とするものである。

【0032】

（作用・効果）この構成によれば、上チャンバと下チャンバとによってシート材を挟み込んで、シート材によって上空間と下空間に区画されたチャンバを形成したあと、接触機構によりシート材を変形させてワークの曲面に向かう突起部を形成させる。そして当該突起部をワークの曲面の一部と接触させた状態で、チャンバ内の上空間と下空間との間の差圧によってシート材をワークの曲面に貼り付ける。

【0033】

シート材の突起部をワークの曲面の一部と接触させることにより、ワークの端部を例とする予期しない部分にシート材が接触することに起因してテンションが発生することを防止できる。当該テンションは、シート材を曲面に貼りつける際に皺や気泡が発生する原因になる。従って、ワークの曲面に貼りつけられるシート材に皺や気泡が形成されることを回避できるので、ワークの曲面の全面に密着するよう精度よくシート材を貼りつけることができる。

【発明の効果】

【0034】

本発明のシート材貼付け方法およびシート材貼付け装置によれば、シート材を変形させてワークに向かう突起部を形成させ、当該突起部をワークのうち曲面を有する上空間側の面の一部と接触させた状態で、チャンバ内の上空間と下空間との間の差圧によってシート材を当該上空間側の面に貼り付ける。そのため、シート材に皺や気泡が発生することを回避しつつ、曲面に沿ってワークを密着するように貼り付けることができる。従って、曲面を有するワークに対して高い精度でシート材を貼り付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【0035】

【図1】実施例１に係るシート材貼付け装置の基本構成を示す正面図である。

【図2】実施例１に係るワークを示す斜視図である。 （ａ）は実施例１に係る、曲面を有するワークの形状を示す斜視図であり、（ｂ）は実施例１に係る、曲面を有するワークの形状を示す縦断面図であり、（ｃ）は曲面を有するワークの別例を示す斜視図である。

【図3】実施例１に係るシート材の構成を示す断面図である。

【図4】実施例１に係るシート材貼付け装置の要部を説明する側面図である。

【図5】実施例１に係るシート材貼付け装置の要部を説明する平面図である。

【図6】実施例１に係るシート材貼付け装置の要部を説明する側面図である。

【図7】実施例１に係るチャンバの構成を説明する図である。

【図8】実施例に係るシート材貼付け装置の動作を示すフローチャートである。（ａ）は実施例１に係る動作のフローチャートであり、（ｂ）は実施例２に係る動作のフローチャートである。

【図9】実施例１に係るステップＳ１を説明する図である。

【図10】実施例１に係るステップＳ２を説明する図である。

【図11】実施例１に係るステップＳ２を説明する図である。

【図12】実施例１に係るステップＳ３を説明する図である。

【図13】実施例１に係るステップＳ３を説明する図である。

【図14】実施例１に係るステップＳ４を説明する図である。

【図15】実施例１に係るステップＳ４を説明する図である。

【図16】実施例１に係るステップＳ５を説明する図である。

【図17】実施例１に係るステップＳ５を説明する図である。

【図18】従来例の問題点を説明する図である。（ａ）は特許文献１に係るシート材貼付け装置の構成を説明する図であり、（ｂ）はワークに対してシート材が接触してテンションが発生する状態を示す図であり、（ｃ）はシート材とワークの間に気泡が発生する問題を示す図であり、（ｄ）は目的となる部位と異なる部位にシート材が接触する状態を示す図であり、（ｅ）はシート材に皺が発生する問題を示す図である。

【図19】従来例の問題点を説明する図である。（ａ）は特許文献２に係るシート材貼付け装置の構成を説明する図であり、（ｂ）はワークに対してシート材が接触してテンションが発生する状態を示す図である。

【図20】実施例２に係るシート材の構成を示す斜視図である。

【図21】実施例２に係るステップＳ２を説明する図である。

【図22】実施例２に係るステップＳ３を説明する図である。

【図23】実施例２に係るステップＳ３を説明する図である。

【図24】実施例２に係るステップＳ４を説明する図である。

【図25】実施例２に係るステップＳ５を説明する図である。

【図26】従来例に係る、差圧を用いてプリカットテープを貼りつける構成の問題点を説明する図である。（ａ）はシート材をワークに近づける際にプリカットテープが変位する状態を説明する図であり、（ｂ）はプリカットテープの変位により、プリカットテープが実際に貼付けられる位置が想定の位置から外れる状態を示す図である。

【図27】実施例２に係る構成の効果を説明する図である。（ａ）は突起部を形成する前の状態を示す図であり、（ｂ）は突起部を形成した後の状態を示す図であり、（ｃ）は突起部をワーク上の目的となる位置に接触させる状態を示す図であり、（ｄ）は突起部材がプリカットテープの変位を防止する状態を示す図である。

【図28】変形例に係る構成を説明する図である。

【図29】変形例に係る構成を説明する図である。

【図30】変形例に係る構成のステップＳ３を説明する図である。（ａ）は上向きの差圧によってシート材がワークから遠ざかるように変形する状態を示す図であり、（ｂ）はシート材を変形させた状態で突起部をワーク上の目的となる位置に接触させる状態を示す図である。

【図31】変形例に係る構成を説明する図である。

【図32】変形例に係る構成を説明する図である。

【図33】変形例に係るワークの形状を説明する図である。（ａ）はワークの中央部が曲面と平面とを有する構成を例示する図であり、（ｂ）はワークの中央部が曲面と、当該曲面より凹んでいる凹み部とを有する構成を例示する図であり、（ｃ）はワークの中央部が曲面と、当該曲面より突出している凸状部とを有する構成を例示する図である。

【図34】変形例に係るワークの形状を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【実施例1】

【0036】

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係るシート材貼付け装置１の基本構成を示す図である。なおシート材貼付け装置１を示す各図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては適宜図示を省略している。

【0037】

本実施例に係るシート材貼付け装置１では、回路保護用の粘着テープである保護テープＰＴをシート材として用いるものとする。本実施例ではシート材を貼り付ける対象であるワークとして、図２（ａ）および図２（ｂ）に示されるような皿状のウエハＷを用いるものとする。ウエハＷは、表面Ｗ１のうち周縁部Ｗａは平坦となっている一方、回路が形成されている中央部Ｃｐは凹状の曲面Ｗｂを有している。なお、曲面Ｗｂを有するウエハＷの形状としては皿状に限られることはなく、図２（ｃ）に示されるような瓦状などが他の例として挙げられる。シート材貼付け装置１は、ウエハＷのうち少なくとも中央部Ｃｐに保護テープＰＴを貼り付けて当該中央部Ｃｐを保護することを目的とする。

【0038】

本実施例に用いられる保護テープＰＴは図３に示すように、非粘着性の基材Ｔａと、粘着性を有する粘着材Ｔｂとが積層した長尺状の構造を備えている。粘着材ＴｂにはセパレータＳが添設されている。すなわち保護テープＰＴの粘着面にセパレータＳが添設されており、セパレータＳを保護テープＰＴから剥離することによって保護テープＰＴの粘着面が露出する。

【0039】

基材Ｔａを構成する材料の例として、ポリオレフィン、ポリエチレン、エチレン－ビニル酢酸共重合体、ポリエステル、ポリイミド、ポリウレタン、塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレナフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンメタアクリル酸共重合体、ポリプロピレン、メタアクリル酸テレフタレート、ポリアミドイミド、ポリウレタンエラストマーなどが挙げられる。なお、上述した材料を複数組み合わせたものを基材Ｔａとして用いてもよい。また、基材Ｔａは単層でもよいし、複数の層を積層させた構成でもよい。

【0040】

粘着材Ｔｂは、ウエハＷを保護する機能と、保護テープＰＴがウエハＷに貼り付く状態を保持できる機能とを担保できる材料で構成されることが好ましい。粘着材Ｔｂを構成する材料の例として、アクリル酸エステル共重合体、シリコーン、オレフィン、天然ゴム、ブタジエンゴム、セルロースなどが挙げられる。また粘着材Ｔｂはエネルギー線照射または熱エネルギーにより硬化する材料を適宜選択することが好ましい。この場合、エネルギー線または熱エネルギーを加えることにより、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させることが容易となる。セパレータＳの例として、長尺状の紙材やプラスチックなどが挙げられる。

【0041】

＜全体構成の説明＞
シート材貼付け装置１は、シート供給部２と、セパレータ回収部３と、シート貼付けユニット４と、シート回収部５とを備えている。シート供給部２は、供給ボビン６、引張機構７、および剥離ローラ８などを備えている。供給ボビン６には保護テープＰＴが巻回された原反ロールが装填されている。

【0042】

供給ボビン６は、電磁ブレーキ９に連動連結されて適度の回転抵抗がかけられている。そのため、供給ボビン６から過剰に保護テープＰＴが繰り出されることを防止できる。引張機構７は、揺動アーム１０を揺動させるシリンダ１１を備えている。揺動アーム１０は、固定端の支軸に遊転ローラ１２が軸支されており、自由端側にダンサローラ１３を備えている。

【0043】

従って、シリンダ１１の作動に連動して揺動する揺動アーム１０の自由端側のダンサローラ１３が下降し、保護テープＰＴを下方に押し下げてテンションを付与するように構成されている。原反ロール６から繰り出された保護テープＰＴは、ガイドローラ１４などによって繰り出し方向にテンションが付与されており、皺が発生しないよう調整されている。

【0044】

剥離ローラ８は、保護テープＰＴからセパレータＳを剥離し、セパレータ回収部３へと導くように構成される。セパレータ回収部３は、保護テープＰＴから剥離されたセパレータＳを巻き取る回収ボビン１５が備えられている。回収ボビン１５は、図示しないモータなどによって正逆に回転駆動制御される。

【0045】

シート貼付けユニット４は、チャンバ１７、シート貼付け機構１８、ニップローラ１９、シート切断機構２１を備えている。チャンバ１７は、保護テープＰＴの幅より小さい内径を有する上下一対のハウジング、すなわち上ハウジング２０と下ハウジング２２とによって構成される。本実施例に係るシート材貼付け装置１は、１つの上ハウジング２０と２つの下ハウジング２２を備えている。２つの下ハウジング２２のうち、一方を下ハウジング２２Ａ、他方を下ハウジング２２Ｂとして区別する。

【0046】

下ハウジング２２Ａ、２２Ｂは図４に示すように、旋回アーム２３の両端にそれぞれ備えられている。旋回アーム２３は、回転駆動装置２５の回転軸２７に連結固定されている。すなわち、例えば一方の下ハウジング２２Ａが貼付け領域Ｐ１へ移動して上ハウジング２０とチャンバ１７を形成する場合、他方の下ハウジング２２Ｂは退避領域Ｐ２に移動するように構成されている。図１および図４などに示すように、貼付け領域Ｐ１において、上ハウジング２０と下ハウジング２２との間に保護テープＰＴが繰り出されるように調整されている。

【0047】

また、下ハウジング２２Ａおよび２２Ｂの上面には接合部２９が形成されており、上ハウジング２０の下面には接合部３０が形成されている。接合部２９および接合部３０を介して上ハウジング２０と下ハウジング２２とが接合することによって、チャンバ１７が形成される。接合部２９および接合部３０の接合面は、フッ素加工を一例とする離型処理が施されている。

【0048】

図４ないし図６に示すように、下ハウジング２２の各々には保持テーブル３１が収納されている。保持テーブル３１は昇降可能となるように構成されており、ウエハＷを保持するワーク保持部３３を備えている。ワーク保持部３３の中央部にはワーク載置面３５が形成されている。ワーク載置面３５は、ウエハＷの下面に沿った形状となっている。本実施例において、ワーク載置面３５は平面視で円型となっており、断面視で凹型となる形状を有している。ワーク載置面３５にウエハＷを載置させることにより、ウエハＷをより安定に保持できる。

【0049】

なお、ワーク載置面３５にウエハＷを載置させた状態において、ウエハＷの周縁部Ｗａの高さが保持テーブル３１の上面の高さより高くなるようにワーク載置面３５の形状が予め定められていることが好ましい（図７を参照）。ウエハＷの周縁部Ｗａの高さを保持テーブル３１の上面より高くすることにより、保護テープＰＴを貼り付けた後のウエハＷを保持テーブル３１から離隔させることがより容易となる。

【0050】

保持テーブル３１は、下ハウジング２２Ａ、２２Ｂを貫通するロッド３７と連結されている。ロッド３７の他端はモータなどを備えるアクチュエータ３９に駆動連結されている。そのため、保持テーブル３１は下ハウジング２２の内部で昇降移動が可能となっている。

【0051】

保持テーブル３１には複数本の支持ピン４１が内蔵されている。支持ピン４１は上下移動可能となるように構成されており、その先端をワーク保持部３３の保持面より高く突き上げることができる。また保持テーブル３１にはヒータ４３が埋設されている。

【0052】

上ハウジング２０は図６に示すように、駆動機構４４に備えられている。駆動機構４４は、縦壁４５の背部に縦向きに配置されたレール４６に沿って昇降可能な可動台４７と、可動台４７に高さ調節可能となるよう支持されている可動枠４８と、可動枠４８から前方に向けて延出されたアーム４９とを備えている。アーム４９の先端部から下方に延出する支軸５０に上ハウジング２０が装着されている。

【0053】

可動台４７は、ネジ軸５１をモータ５２によって正逆転することによってねじ送り昇降されるように構成されている。さらに、上ハウジング２０は可動台４７の回転またはアーム４９の伸縮を例とする動作により、適宜のタイミングで貼付け領域Ｐ１から退避できるように構成されている。

【0054】

上ハウジング２０および下ハウジング２２は、図７に示すように、流路５３を介して真空装置５５に連通接続されている。真空装置５５側の流路５３には電磁バルブ５６が備えられている。また、上ハウジング２０および下ハウジング２２には、大気開放用の電磁バルブ５７、５８を備えた流路５９がそれぞれ連通接続されている。さらに、上ハウジング２０には、一旦減圧した内圧をリークにより調整する電磁バルブ６０を備えた流路６１が連通接続されている。

【0055】

なお、電磁バルブ５６、５７、５８、６０の開閉操作および真空装置５５の作動は、制御部６２によって行われている。制御部６２はＣＰＵ（中央演算処理装置）などを備えており、シート材貼付け装置１に設けられている構成の各々について、各種動作などを統括制御できるように構成されている。

【0056】

シート貼付け機構１８は図４などに示すように、上ハウジング２０の内部に突起部材６３を備えている。突起部材６３の上部にはシリンダ６５が連結されており、シリンダ６５の動作によって突起部材６３はチャンバ１７の内部で昇降できる。突起部材６３を構成する材料の好ましい例としては弾性体が挙げられ、弾性体の一例としてはゴム、ウレタン、エラストマーなどが挙げられる。突起部材６３が弾性体である場合、突起部材６３が保護テープＰＴを介してウエハＷに接触する際に、突起部材６３はウエハＷの曲面Ｗｂの形状に応じて弾性変形する。保護テープＰＴをウエハＷへ好適に密着できるとともに保護テープＰＴまたはウエハＷが損傷を受けることを確実に防止できる。

【0057】

ニップローラ１９は、モータによって駆動する送りローラ６７と、シリンダによって昇降するピンチローラ６８とを備えている。ニップローラ１９は、案内レール６９に沿って左右に移動可能に構成される。案内レール６９は、チャンバ１７を挟んで装置基台７０に立設された一対の支持フレーム７１に架設されている。

【0058】

シート切断機構２１は貼付け領域Ｐ１の上方に配設されており、図１に示すように、支持アーム７３の先端に設けられているカッタユニット７５を備えている。支持アーム７３は、可動台７７から片持ち支持されたアームの先端下部で径方向に伸びている。可動台７７はフレーム７９に沿って昇降可能に構成される。

【0059】

カッタユニット７５には、刃先を下向きにしたカッタ８１がカッタホルダを介して装着されている。なお、カッタユニット７５は、支持アーム７３を介して旋回半径を調整可能になっている。シート切断機構２１は、ウエハＷに貼り付けられた保護テープＰＴを、ウエハＷの周縁部Ｗａと略同じ形状および大きさとなるように切断する。

【0060】

シート回収部５は図１に示すように、切断後に剥離された不要な保護テープＰＴを巻き取り回収する回収ボビン８３を備えている。回収ボビン８３は、図示されていないモータによって正逆に回転駆動制御されるように構成されている。

【0061】

＜動作の概要＞
ここで、実施例１に係るシート材貼付け装置１の基本動作を説明する。図８（ａ）は、シート材貼付け装置１を用いて、ウエハＷに保護テープＰＴを貼り付ける工程を説明するフローチャートである。なお初期状態において、下ハウジング２２のうち、下ハウジング２２Ａは退避領域Ｐ２に配置されており、下ハウジング２２Ｂは上ハウジング２０とともに貼付け領域Ｐ１に配置されているものとする。

【0062】

ステップＳ１（ワークの供給）
貼付け指令が出されると、図示しない搬送装置によって、ウエハＷが保持テーブル３１に搬送される。このとき、退避位置Ｐ２に配置されている下ハウジング２０（本実施例では下ハウジング２２Ａ）の内部にある保持テーブル３１へとウエハＷが搬送される。搬送装置の例としては、真空吸着式のロボットアームなどが挙げられる。

【0063】

また、適宜のタイミングにおいてヒータ４３による加熱を開始する。ヒータ４３が保持テーブル３１を加熱することによって、後の工程においてウエハＷとともに保護テープＰＴが加熱される。その結果、保護テープＰＴを構成する材料が柔らかくなるので、保護テープＰＴをより変形しやすくすることができる。

【0064】

ウエハＷが搬送されると、保持テーブル３１が適宜上昇するとともに、保持テーブル３１に内蔵されている支持ピン４１がワーク保持部３３から突出して受け取り位置へと上昇する。そして図９に示すように、下ハウジング２２Ａの上面より高い位置に突き上げられた支持ピン４１の先端部にウエハＷが受け渡される。

【0065】

ウエハＷが受け渡されると支持ピン４１は下降して初期位置へと復帰し、ワーク保持部３３のワーク載置面３５にウエハＷが載置される。このとき、ワーク載置面３５を介して保持テーブル３１に保持されているウエハＷの周縁部Ｗａの高さは、下ハウジング２２Ａの上面の高さより低い位置となるように保持テーブル３１の高さが調整される。なお、ウエハＷをより安定に保持すべく、図示しない真空装置などによって保持テーブル３１がワーク載置面３５を介してウエハＷの裏面を真空吸着してもよい。ステップＳ１の工程により、裏面Ｗ２が下向きとなっており、曲面Ｗｂを有する表面Ｗ１が上向きとなっている状態で、ウエハＷは保持テーブル３１によって保持される。

【0066】

なおこのとき、ピンチローラ６８を上昇させて送りローラ６７との協働により保護テープＰＴをニップするとともに、ダンサローラ１３を所定高さまで揺動下降させ、保護テープＰＴの長手方向に予め決められたテンションを付与している。

【0067】

ステップＳ２（チャンバの形成）
保持テーブル３１によってウエハＷが保持されると、図１０に示すように、回転駆動装置２５を作動させて旋回アーム２３を旋回させる。旋回アーム２３の旋回により、下ハウジング２２Ａを退避領域Ｐ２から貼付け領域Ｐ１へと移動させる。下ハウジング２２Ａの移動に連動して、下ハウジング２２Ｂは貼付け領域Ｐ１から退避領域Ｐ２へと移動する。下ハウジング２２Ａが貼付け領域Ｐ１へ移動した状態において、保持テーブル３１に保持されているウエハＷは、保護テープＰＴから所定のクリアランスを有している。

【0068】

下ハウジング２２Ａを貼付け領域Ｐ１へ移動させた後、図１１に示すように、上ハウジング２０を下降させる。当該下降に伴って、上ハウジング２０および下ハウジング２２Ａは保護テープＰＴを挟み込んでチャンバ１７を形成する。

【0069】

形成されたチャンバ１７の内部空間は、保護テープＰＴによって２つの空間に区画されている。すなわち、保護テープＰＴおよび下ハウジング２２Ａによって囲まれる下空間Ｈ１と、保護テープＰＴおよび上ハウジング２０によって囲まれる上空間Ｈ２とに区画される。ウエハＷおよび保持テーブル３１は下空間Ｈ１に配置され、上空間Ｈ２は保護テープＰＴを介在して下空間Ｈ１に対向している。

【0070】

ステップＳ３（突起部の形成）
チャンバ１７を形成させた後、リーク用の電磁バルブ６０を閉じるとともに、電磁バルブ５６、５７、５８を開いて真空装置５５を作動させ、下空間Ｈ１および上空間Ｈ２の減圧を行う。このとき、下空間Ｈ１および上空間Ｈ２が同じ速度で減圧するように、電磁バルブ５７および５８の開度を調整する。下空間Ｈ１および上空間Ｈ２の気圧が、所定の気圧（一例として真空状態）に減圧されると、制御部６２は電磁バルブ５６－５８を閉じるとともに真空装置５５の作動を停止させる。

【0071】

下空間Ｈ１および上空間Ｈ２を所定の気圧にまで減圧させた後、制御部６２はシート貼付機構１８を作動させる。すなわち、制御部６２は突起部材６３を下降させる。突起部材６３が下降することにより、図１２に示すように、突起部材６３の先端部６４が保護テープＰＴに接触して押圧していく。当該押圧により保護テープＰＴの一部は先端部６４の形状に応じて変形され、ウエハＷに向かう形状を有する突起部Ｖが保護テープＰＴに形成される。本実施例ではウエハＷが下空間Ｈ１に収納されているので、突起部Ｖは下空間Ｈ１へ向かう形状となる。

【0072】

制御部６２はさらに突起部材６３を下降させる。突起部材６３の下降を続けることによって突起部Ｖは徐々に大きくなり、図１３に示すように、突起部ＶはウエハＷの曲面Ｗｂの一部に接触する。本実施例において、曲面Ｗｂのうち突起部Ｖが接触する領域である接触領域Ｍ１は、曲面Ｗｂの最深部Ｖｃを含む領域となるように突起部材６３の配設位置が調整されている。突起部材６３が突起部Ｖを介して曲面Ｗｂに接触することにより、制御部６２は突起部材６３の下降を停止させる。

【0073】

ステップＳ４（シート材の貼付け）
突起部ＶをウエハＷの曲面Ｗｂの一部に接触させた後、シート材をワークに貼り付ける工程を開始する。すなわち突起部Ｖが曲面Ｗｂに接触している状態で、制御部６２は電磁バルブ６０の開度を調整してリークさせながら、予め設定された目標値となるように上空間Ｈ２の気圧を徐々に高める。

【0074】

電磁バルブ６０の調整により、上空間Ｈ２の気圧は下空間Ｈ１の気圧より高くなり、両空間の間に差圧Ｆが形成される。そして上空間Ｈ２と下空間Ｈ１との差圧Ｆによって、保護テープＰＴが下ハウジング２２Ａへと徐々に引き込まれる。

【0075】

差圧Ｆが形成される時点において、保護テープＰＴの一部である突起部Ｖは既に曲面Ｗｂのうち接触領域Ｍ１に接触している。そのため図１４に示すように、保護テープＰＴはウエハＷの曲面Ｗｂに、接触領域Ｍ１から外周に向けて放射状に貼り付けられていく。そして図１５に示すように、保護テープＰＴは曲面Ｗｂの全面にわたって貼り付けられて密着する。すなわち、ウエハＷのうち表面Ｗ１の中央部Ｃｐの全面にわたって保護テープＰＴが貼り付けられる。本実施例では、中央部Ｃｐに保護テープＰＴが貼り付けられた後、さらに差圧Ｆを維持し、表面Ｗ１の周縁部Ｗａにも保護テープＰＴが貼り付けられる。

【0076】

制御部６２は、所定時間経過後に電磁バルブ５７、５８を開き、下空間Ｈ１の気圧と上空間Ｈ２の気圧とが同じとなるように調整する。下空間Ｈ１および上空間Ｈ２の気圧が等しくなると、制御部６２は電磁バルブ６０の開度を調整しながら下空間Ｈ１の気圧と上空間Ｈ２の気圧とを大気圧にまで戻す。その後、上ハウジング２０を上昇させて大気開放する。

【0077】

なお、チャンバ１７内で保護テープＰＴをウエハＷに貼り付けている間に、退避領域Ｐ２へ移動していた下ハウジング２２ＢにおいてステップＳ１の工程を行うことができる。下ハウジング２２を複数設けて交互に保護テープＰＴをウエハＷに貼り付ける工程を行うことにより、ウエハＷに対する保護テープＰＴの貼付け効率を向上できる。

【0078】

ステップＳ５（シート材の切断）
保護テープＰＴがウエハＷに貼り付けられると、保護テープＰＴの切断工程を開始する。すなわち、上ハウジング２０を貼付け領域Ｐ１から適切な位置へと退避させる。このとき、保持テーブル３１を適宜上昇させてもよい。本実施例では、ウエハＷの周縁部Ｗａの表面と下ハウジング２２Ａの上面とが面一となる高さまで保持テーブル３１を上昇させるものとする。

【0079】

さらにシート切断機構２１のカッタユニット７５を、所定の高さまで下降させる。保持テーブル３１およびシート切断機構２１の昇降移動により、図１６に示すように、ウエハＷの周縁部Ｗａから外側へわずかに離れた部分において、カッタ８１が保護テープＰＴに突き刺される。

【0080】

カッタ８１が保護テープＰＴに突き刺されると、支持アーム７３が縦軸心Ｐを旋回中心として旋回する。本実施例において、縦軸心Ｐは保持テーブル３１の中心およびウエハＷの中心を通る軸であるものとする。支持アーム７３の旋回に伴ってカッタ８１がウエハＷの周縁部Ｗａの外周に沿って旋回移動し、保護テープＰＴは周縁部Ｗａと略同じ形状および大きさに切断される。保護テープＰＴの切断が完了すると、カッタユニット７５は上昇して待機位置に戻る。

【0081】

さらに、ニップローラ１９に設けられているピンチローラ６８を下降させて保護テープＰＴのニップを解除する。そして図１７に示すように、テープ供給部２に向けてニップローラ１９を案内レール６９に沿って移動させることにより、保護テープＰＴのうち、周縁部Ｗａの外形に沿って切り抜かれた部分の保護テープＰＴｗと、保護テープＰＴｗ以外の部分の保護テープＰＴａとを分離させる。

【0082】

ステップＳ６（ワークの回収）
保護テープＰＴの切断および分離が完了すると、回転駆動装置２５を作動させて旋回アーム２３を旋回させる。旋回アーム２３の旋回により、下ハウジング２２Ａを貼付け領域Ｐ１から退避領域Ｐ２へと移動させる。下ハウジング２２Ａの移動に連動して、下ハウジング２２Ｂは貼付け領域Ｐ１へと移動する。そして保護テープＰＴｗが曲面Ｗｂに貼り付けられたウエハＷは図示しない搬送機構によって搬出され、図示しないワーク収納部へと回収される。

【0083】

保護テープＰＴｗから分離された保護テープＰＴａは、シート回収部５の回収ボビン８３によって巻き取り回収される。保護テープＰＴａが回収されるとともに、シート供給部２から所定量の保護テープＰＴが繰り出される。

【0084】

以上で一巡の動作が終了し、以後、ステップＳ１からステップＳ６までの動作を順次繰返してゆく。

【0085】

＜実施例１の構成による効果＞
上記実施例１に係る装置によれば、曲面Ｗｂを有するウエハＷに対して保護テープＰＴを例とするシート材を精度良く貼り付けることができる。ここで実施例１の構成による効果について、従来の構成と比較しつつ説明する。

【0086】

特許文献１または特許文献２に開示されるような従来の貼付け装置では、平坦な形状のワークに対して保護テープＰＴを貼り付ける工程を想定している。そのため、ワークが曲面を有する場合、従来の貼付け装置では、当該ワークに保護テープＰＴを精度良く貼り付けることが困難となるという知見が新たに得られた。

【0087】

精度良く貼り付けることが困難となる原因について、次のようなものが考えられる。すなわち、特許文献１の構成では図１８（ａ）に示すように、チャンバＴｙの内部に発生させた差圧Ｆのみを用いて保護テープＰＴをウエハＷに貼り付ける。このような特許文献１に係る従来の構成では、チャンバＴｙ内部の保護テープＰＴ全体が差圧Ｆによって変形していく。よって、ウエハＷのうち保護テープＰＴとの距離が遠い部分と比べて、保護テープＰＴとの距離が近い部分の方が先に保護テープＰＴと接触することとなる。

【0088】

そのため曲面Ｗｂを有するウエハＷをワークとして用いる場合、図１８（ｂ）に示すように、保護テープＰＴはウエハＷの曲面Ｗｂより先にウエハＷの周縁部Ｗａへ接触する。このように保護テープＰＴが周縁部Ｗａに接触することによって、保護テープＰＴにテンションＴｘが発生する。

【0089】

この場合、保護テープＰＴが周縁部Ｗａに接触した状態からさらに保護テープＰＴの中央部が曲面Ｗｂに追従しようと変形していく。しかし、保護テープＰＴにテンションＴｘが発生しており、当該テンションＴｘは追従変形するにつれて徐々に大きくなる。その結果、限界値以上に大きくなったテンションＴｘに起因して保護テープＰＴがこれ以上変形しきれず、保護テープＰＴの一部が曲面Ｗｂに追従できない事態が頻繁に発生する。

【0090】

このような事態が発生した場合、曲面Ｗｂに追従した変形ができない部分の保護テープＰＴは曲面Ｗｂに密着できないので、図１８（ｃ）に示すように、保護テープＰＴとウエハＷの曲面Ｗｂとの間に気泡Ｖｏが発生することとなる。特に曲面Ｗｂのうち最も深い部分である最深部Ｗｃは、差圧によって変形する保護テープＰＴが最後に接触する部分であるので、気泡Ｖｏが高頻度で発生する。

【0091】

保護テープＰＴが先に周縁部Ｗａへ接触することによって発生するテンションＴｘは、別の問題も引き起こすと考えられる。すなわち、テンションＴｘが発生している状態で曲面Ｗｂに追従変形すると、保護テープＰＴが不均一に変形してしまい、結果として図１８（ｄ）に示すように、曲面Ｗｂのうち予期していない領域Ｗｂｘに保護テープＰＴの一部が先に貼り付いてしまう事態が発生する。このような事態が発生すると、保護テープＰＴは密着するように曲面Ｗｂへ貼り付くことができず、図１８（ｅ）に示すように、領域Ｗｂｘに接触した保護テープＰＴの部分が皺Ｓｗとなる。

【0092】

また、テンションＴｘが発生している状態で保護テープＰＴが曲面Ｗｂに貼り付けたとしても、テンションＴｘに起因して強い引張応力が保護テープＰＴに蓄積する。そのため、時間経過とともに保護テープＰＴは引張応力によって曲面Ｗｂから剥がれてしまい、気泡Ｖｏや皺Ｓｗが発生することも考えられる。

【0093】

次に、特許文献２の構成では図１９（ａ）に示すように、チャンバＴｙの内部に略半球状の押圧部材Ｋを配設させる。そして押圧部材Ｋを下降させ、保護テープＰＴの中央部分を押圧部材Ｋで押圧してウエハＷに貼り付けた後に、差圧を発生させて保護テープＰＴをウエハＷの全面に密着させる。

【0094】

このような特許文献２に係る従来構成では、ウエハＷが曲面Ｗｂを有する場合、押圧部材Ｋの下面の形状と曲面Ｗｂの形状とが一致する場合は保護テープＰＴを曲面Ｗｂに沿って密着させることができると考えられる。しかし、保護テープＰＴを貼り付ける装置では、曲面Ｗｂの曲率およびサイズが異なる様々な種類のウエハＷをワークとして用いることが要求される。曲面Ｗｂの曲率およびサイズが異なる多種類のウエハＷの各々に対応する押圧部材Ｋを複数用意することは現実的に困難である。

【0095】

また、特許文献２に係る押圧部材Ｋは幅が広く、下面の曲率が小さい形状となっている。そのため、押圧部材Ｋを用いて保護テープＰＴをウエハＷに向けて押圧させた場合、図１９（ｂ）に示すように、保護テープＰＴはウエハＷの曲面Ｗｂより先にウエハＷの周縁部Ｗａへ接触する事態が発生する。そのため、特許文献１の構成と同様、保護テープＰＴをウエハＷの曲面Ｗｂに貼り付けようとしても、保護テープＰＴに皺Ｓｗまたは気泡Ｖｏが高い頻度で発生することとなる。

【0096】

これら従来の構成に対し、実施例１に係る構成では保護テープＰＴの一部を突出するように変形させて突起部Ｖを形成させ、先に当該突起部Ｖを曲面Ｗｂの一部に接触させる。そして突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させた後、チャンバ１７内部における下空間Ｈ１と上空間Ｈ２との差圧によって保護テープＰＴを曲面Ｗｂ全体に貼りつける。

【0097】

本実施例の構成では保護テープＰＴに突起部Ｖを形成させ、曲面Ｗｂのうち予め目標と定めた部分へ突起部Ｖを先に接触させるので、保護テープＰＴが先に周縁部Ｗａへ接触することに起因するテンションＴｘの発生を回避できる。従って、曲面Ｗｂを有するウエハＷに保護テープＰＴを貼り付ける場合であっても、保護テープＰＴに皺が発生する事態または保護テープＰＴと曲面Ｗｂとの間に気泡が発生するといった事態を回避できる。よって、当該曲面Ｗｂの全面に密着するよう精度よく保護テープＰＴを貼りつけることができる。

【0098】

特に突起部Ｖを曲面Ｗｂのうち最も深い部分である最深部Ｗｃに接触させる場合、従来の構成では最後に保護テープＰＴが接触する部分である最深部Ｗｃに対して、本発明の構成では最初に保護テープＰＴを接触させることができる。そのため差圧によって保護テープＰＴを曲面Ｗｂに貼りつける工程において、保護テープＰＴは最深部Ｗｃから外側へ向けて放射状に貼りつけられていくこととなる。よって、従来では気泡が特に発生し易い部分と考えられる最深部Ｗｃにおいて気泡が巻き込まれることを確実に回避できるので、保護テープＰＴを曲面Ｗｂより精度良く密着させることができる。

【実施例2】

【0099】

次に、本発明の実施例２を説明する。実施例１では曲面Ｗｂを有するウエハＷに対して、長尺状の保護テープＰＴを貼り付ける構成を例にとって説明した。実施例２では、ウエハＷの形状に応じた所定形状の断片となっている保護テープＰＴを、曲面Ｗｂを含む所定の領域に貼り付ける構成を例にとって説明する。すなわち、実施例２ではプリカット粘着テープをワークに貼り付ける構成を例として説明する。なお、実施例１に係るシート材貼付け装置１と同一構成については同一符号を付すに留め、異なる構成部分について詳述する。

【0100】

図２０に示すように、実施例２に係る保護テープＰＴは予め所定の形状に切り抜かれており、各々の保護テープＰＴは長尺状のキャリアテープＣＴによって保持されている。すなわち実施例２に係るシート材貼付け装置１Ａにおいて、所定形状の断片となっている保護テープＰＴがキャリアテープＣＴの上で所定の距離ごとに配置されており、当該キャリアテープＣＴが保護テープＰＴとともにシート供給部２から繰り出し供給される。シート貼付けユニット４は断片状の保護テープＰＴを、曲面Ｗｂを有するウエハＷの回路形成面に貼りつける。シート回収部５は、保護テープＰＴから剥離されたキャリアテープＣＴを巻き取り回収する。

【0101】

なお本実施例において、保護テープＰＴの形状は円形であるものとする。また、保護テープＰＴは既にウエハＷの外形に応じた形状となっているため、シート材貼付け装置１Ａではシート切断機構２１を省略できる。

【0102】

実施例２に係るシート材貼付け装置１Ａの動作について、実施例１と相違する点を図示しつつ説明する。シート材貼付け装置１Ａの動作のフローチャートは、図８（ｂ）に示される通りである。実施例２に係るシート材貼付け工程の概要は、実施例１に係る工程と同様であるので、細部については適宜説明を省略する。

【0103】

ステップＳ１（ワークの供給）
ステップＳ１において、曲面Ｗｂを有するウエハＷを退避領域Ｐ２に配置されている下ハウジング２２Ａへと搬送する。そして下ハウジング２２Ａに収納されている保持テーブル３１にウエハＷを載置させ、保持テーブル３１のワーク載置面３５を介してウエハＷを保持する。ウエハＷは、曲面Ｗｂを有する表面Ｗ１の側を上向きにした状態で保持される。

【0104】

ステップＳ２（チャンバの形成）
次にステップＳ２において、下ハウジング２２Ａを貼付け領域Ｐ１へと移動させる。なおこのとき、繰り出されている保護テープＰＴの位置はウエハＷの曲面Ｗｂの上方となるように予め調整される。下ハウジング２２Ａを移動させた後、上ハウジング２０を下降させる。図２１に示すように、上ハウジング２０および下ハウジング２２ＡがキャリアテープＣＴを挟み込んで接合することによってチャンバ１７が形成される。

【0105】

形成されたチャンバ１７の内部空間は、キャリアテープＣＴによって２つの空間に区画される。すなわち、キャリアテープＣＴおよび下ハウジング２２Ａによって囲まれる下空間Ｈ１と、キャリアテープＣＴおよび上ハウジング２０によって囲まれる上空間Ｈ２とに区画される。

【0106】

ステップＳ３（突起部の形成）
チャンバ１７を形成させた後、真空装置５５を作動させ、下空間Ｈ１および上空間Ｈ２を同じ速度で減圧させる。下空間Ｈ１および上空間Ｈ２の気圧が所定の気圧にまで減圧されると、シート貼付機構１８の作動を開始して突起部材６３を下降させる。突起部材６３を下降させることによって、図２２に示すように、突起部材６３の先端部６４がキャリアテープＣＴを介して保護テープＰＴに接触し、保護テープＰＴを押圧していく。当該押圧により保護テープＰＴの一部は先端部６４の形状に応じて変形され、突起部Ｖが形成される。

【0107】

制御部６２はさらに突起部材６３を下降させる。突起部材６３の下降を続けることによって突起部Ｖは徐々に大きくなり、図２３に示すように、突起部ＶはウエハＷの曲面Ｗｂの一部に接触する。実施例１と同様に、曲面Ｗｂのうち突起部Ｖが接触する接触領域Ｍ１は、曲面Ｗｂの最深部Ｖｃを含む領域となるように突起部材６３の配設位置が調整されることが好ましい。突起部材６３が突起部Ｖを介して曲面Ｗｂに接触することにより、制御部６２は突起部材６３の下降を停止させる。

【0108】

ステップＳ４（シート材の貼付け）
突起部ＶをウエハＷの曲面Ｗｂの一部に接触させた後、突起部Ｖが曲面Ｗｂに接触している状態で、上空間Ｈ２と下空間Ｈ１との間に差圧を形成させる。上空間Ｈ２と下空間Ｈ１との差圧によって、保護テープＰＴが下ハウジング２２Ａへと徐々に引き込まれていく。そして保護テープＰＴは、接触領域Ｍ１から外周に向けてウエハＷの曲面Ｗｂに放射状に貼り付けられていき、図２４に示すように、曲面Ｗｂの全面にわたって保護テープＰＴが貼り付けられる。

【0109】

所定時間経過後、制御部６２は突起部材６３を上昇させて初期位置へ復帰させるとともに、下空間Ｈ１の気圧と上空間Ｈ２の気圧とが同じとなるように調整する。その後、下空間Ｈ１および上空間Ｈ２の気圧を大気圧にまで戻し、上ハウジング２０を上昇させて大気開放する。

【0110】

ステップＳ５（キャリアテープの剥離）
実施例２に係る保護テープＰＴは既にウエハＷの外形に応じた形状の断片となっているので、保護テープＰＴを切断する工程を省略できる。そのため、実施例２ではウエハＷに保護テープＰＴを貼りつけた後、キャリアテープＣＴを保護テープＰＴから剥離する工程を行う。すなわち、上ハウジング２０を貼付け領域Ｐ１から適切な位置へと退避させる。実施例２ではこのとき、実施例１と同様に保持テーブル３１を上昇させるものとする。

【0111】

次に、ニップローラ１９に設けられているピンチローラ６８を下降させて保護テープＰＴのニップを解除する。そして図２５に示すように、テープ供給部２に向けてニップローラ１９を案内レール６９に沿って移動させることによりキャリアテープＣＴが巻き上げられ、ウエハＷに貼りつけられた保護テープＰＴからキャリアテープＣＴが剥離される。

【0112】

ステップＳ６（ワークの回収）
キャリアテープＣＴの剥離が完了すると、旋回アーム２３を旋回させ、下ハウジング２２Ａを貼付け領域Ｐ１から退避領域Ｐ２へと移動させる。そして保護テープＰＴが曲面Ｗｂに貼り付けられたウエハＷは、図示しない搬送機構によって搬出され、図示しないワーク収納部へと回収される。保護テープＰＴから分離されたキャリアテープＣＴは、シート回収部５の回収ボビン８３によって巻き取り回収される。

【0113】

以上で一巡の動作が終了し、以後、ステップＳ１からステップＳ６までの動作を順次繰返してゆく。

【0114】

＜実施例２の構成による効果＞
実施例２に係る装置によれば、ワークＷに対してプリカット粘着テープ状の保護テープＰＴを、曲面Ｗｂを備えるウエハＷに貼り付ける場合において、保護テープＰＴを曲面Ｗｂに精度良く貼りつけることができる。すなわち実施例１と同様に、保護テープＰＴの一部を変形させて突起部Ｖを形成させ、先に当該突起部Ｖを曲面Ｗｂの一部に接触させる。そして突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させた後、チャンバ１７内部における下空間Ｈ１と上空間Ｈ２との差圧によって保護テープＰＴを曲面Ｗｂ全体に貼りつける。

【0115】

そのため実施例２の構成においても、保護テープＰＴが先に周縁部Ｗａへ接触することに起因するテンションＴｘの発生を回避できる。従って、曲面Ｗｂを有するウエハＷに保護テープＰＴを貼り付ける場合であっても、保護テープＰＴに皺が発生する事態または保護テープＰＴと曲面Ｗｂとの間に気泡が発生するといった事態を回避できる。よって、当該曲面Ｗｂの全面に密着するよう精度よく保護テープＰＴを貼りつけることができる。

【0116】

さらに実施例２に係る構成では、実施例１によって得られる効果に加えて新たな効果が得られることが分かった。すなわち、チャンバ内の差圧によってプリカットテープ状の保護テープＰＴをウエハＷに貼りつける場合において、ウエハＷに対する保護テープＰＴの貼付け位置精度を従来と比べて大きく向上できることがわかった。当該新たな効果について、従来構成と比較しつつ説明する。

【0117】

特許文献１のような従来の構成では、チャンバ内に発生した差圧によって保護テープをウエハＷに向けて変形させ、保護テープをウエハＷに近づけていく（図１８（ａ）を参照）。このとき、図２６（ａ）に示すように、保護テープＰＴの全面にわたって略均一に差圧Ｆが作用する。つまり、保護テープＰＴの面方向において押圧力の偏りが小さいため、保護テープＰＴをウエハＷに近づけるにつれて、保護テープＰＴが水平方向（ｘ方向またはｙ方向）に変位すると考えられる（符号Ｊ１を参照）。

【0118】

保護テープＰＴが長尺状である場合、保護テープＰＴをウエハＷに貼りつけてから当該保護テープＰＴを所望の形状に切り抜くため、保護テープＰＴが水平方向に位置ズレする影響は比較的小さい。しかし、保護テープＰＴが既に所定形状に切断された、いわゆるプリカットテープ状である場合、図２６（ｂ）に示すように、本来はウエハＷの曲面Ｗｂ全体に貼りつけられるはずの保護テープＰＴが、保護テープＰＴが水平方向に位置ズレすることに起因して曲面Ｗｂの一部のみに貼りつけられることとなる。

【0119】

特許文献２のような従来の構成においても、同様の問題が発生する。すなわち幅広の押圧部材で保護テープＰＴを押圧させつつ保護テープＰＴをウエハＷに向けて変形させ、保護テープＰＴをウエハＷに近づけていく（図１９（ａ）を参照）。すなわち保護テープＰＴのほぼ全面を押圧するため、特許文献１の構成と同様、保護テープＰＴの面方向における押圧力の偏りが小さい。従って図２６（ａ）に示すように、保護テープＰＴをウエハＷに近づけるにつれて、保護テープＰＴが水平方向（ｘ方向またはｙ方向）に変位すると考えられる。その結果、図２６（ｂ）に示すように、保護テープＰＴの貼付け位置が想定位置から外れることに起因する、貼付けエラーが発生する。

【0120】

このような、保護テープＰＴの貼り付け位置が想定される位置から大きくズレるという問題は、ウエハＷの形状に依存せず、例えばウエハＷが平板状である場合であっても発生する。そのため、従来はチャンバの差圧によって粘着テープをウエハに貼りつける構成にプリカットテープ状の粘着テープを用いることが困難であった。

【0121】

一方、本発明の構成では図２７（ａ）に示すように、保護テープＰＴのうち所定の狭い部分Ｑに大きな押圧力を作用させ、当該部分Ｑに突起部Ｖを形成させる（図２７（ｂ））。言い換えれば、突起部Ｖを形成させる限られた部分に対して大きな押圧力が作用する一方、突起部Ｖを形成させる部分Ｑ以外の領域には押圧力が作用しない。その結果、保護テープＰＴの面方向における押圧力の偏りが大きくなる。

【0122】

従って、保護テープＰＴをウエハＷに近づける際に、保護テープＰＴが水平方向に変位することを確実に回避できるので、ステップＳ３において、ウエハＷの曲面Ｗｂにおける所望の位置（接触領域Ｍ１）へと突起部Ｖを精度良く接触させることができる（図２７（ｃ））。

【0123】

そして突起部Ｖを位置精度よく曲面Ｗｂに接触させた状態で差圧による貼付け工程を開始する。すなわち、ステップＳ４の開始時点において保護テープＰＴは接触領域Ｍ１において位置が固定されており、当該接触領域Ｍ１から放射状に広がるように曲面Ｗｂへと貼りつけられていく。そのため、ステップＳ４に係る貼付け工程において、保護テープＰＴが水平方向に変位する事態も回避できる。従って、保護テープＰＴの貼付け位置の精度が従来と比べて大きく向上するので、チャンバ内に発生させた差圧によってプリカットテープ状の保護テープＰＴをウエハＷに貼りつける、という従来では困難であった貼付け工程を高い精度で実現できる。

【0124】

特に実施例１および実施例２で例示するように、突起部材６３を用いて保護テープＰＴを押圧することによって突起部Ｖを形成させる場合、保護テープＰＴが沈み込むように変形して形成されている突起部Ｖに突起部材６３が当接している状態で保護テープＰＴがウエハＷへと近づけられる。そのため、保護テープＰＴがウエハＷへ近づく間に水平方向に保護テープＰＴが変位するという事態は、突起部材６３によって抑止される（図２７（ｄ）、符号Ｊ２を参照）。よって、より確実に保護テープＰＴの位置ズレを防止できる。

【0125】

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。例として、本発明は下記のように変形実施することができる。

【0126】

（１）各々の実施例において、ウエハＷに貼りつけるためのシート材の例として、保護テープＰＴを例に挙げて説明したが、シート材はこれに限ることはない。保護テープの他に、支持用粘着テープ（ダイシングテープ）など他の用途に用いられる粘着テープを用いてもよい。本発明ではシート材として、粘着力を有する粘着材または接着力を有する接着材を備える、シート、テープ、またはフィルムなどを適用できる。

【0127】

なお、シート材の構造としては図３に示される基材Ｔａの一方の面に粘着材Ｔｂが積層された構造に限ることもなく、接着材と基材との積層構造でもよい。また、基材を有さない、粘着材または接着材の単層構造の他、基材Ｔａの両面に粘着材または接着材を備える構造などが好適な例として挙げられる。さらに、シート材がウエハＷに密着できる構成であれば、基材Ｔａのみからなるシート材を用いてもよい。

【0128】

本実施例ではシート状粘着材ＴにセパレータＳを添設させた構成を例示したが、シート材貼付け装置１またはシート材などの構造に応じて、セパレータＳを省略してもよい。

【0129】

（２）各々の実施例において、シート材を貼りつける対象となるワークとして、凹状の曲面Ｗｂを備えるウエハＷを例示したが、ワークの形状および材料はこれに限られない。本実施例に係る構成は、基板、パネル、ウエハを例とする各種半導体用部材に用いられる材料の他、陶磁器を例とするセラミックス、樹脂、金属、ガラス、木材、石材、紙材、または上述の材料の混合物などをワークの材料として適用することができる。またワークの形状としては円形状の他、矩形状、多角形状、略円形状などであってもよい。

【0130】

（３）各々の実施例において、ウエハＷは凹状の曲面Ｗｂを有する場合を例示したが、曲面は凹状に限ることはなく、例えば凸状であってもよい。ウエハＷに設けられている凸状の曲面Ｗｄに保護テープＰＴを貼りつける場合、図２８に示すように、保護テープＰＴの一部を変形させて突起部Ｖを形成させ、突起部Ｖを凸状の曲面Ｗｄの一部に接触させてから差圧による貼付け工程を開始する。

【0131】

この場合、突起部Ｖを接触させる接触領域Ｍ１は、凸状の曲面Ｗｄのうち最も高い部分である頂部Ｗｅを含む領域であることが好ましい。頂部Ｗｅに突起部Ｖを接触させた状態で差圧による貼付け工程を開始することにより、保護テープＰＴとウエハＷとの間に気泡が巻き込まれる事態、および保護テープＰＴに皺が発生する事態をより確実に回避できる。

【0132】

（４）各々の実施例において、突起部材６３を保護テープＰＴの一部領域に当接させ、さらに押圧することによって突起部Ｖを形成させるが、突起部Ｖを形成させる構成は突起部材６３を用いる構成に限られない。他の例として、上方からエアーを保護テープＰＴの一部領域に集中して吹き付ける構成、下方から保護テープＰＴの一部領域を吸引する構成などが挙げられる。

【0133】

（５）各々の実施例において、突起部材６３が突起部Ｖを介して曲面Ｗｂに接触している状態で差圧による貼付け工程、すなわちステップＳ４に係る工程を開始しているがこれに限られない。すなわち、保護テープＰＴの突起部Ｖが曲面Ｗｂに対して安定に貼りついているならば、図２９に示すように、突起部材６３を上昇させてから差圧による貼付け工程を開始してもよい。当該変形例に係る構成であっても、保護テープＰＴを曲面Ｗｂの一部に接触させた状態で差圧による貼付けを開始する。そのため、保護テープＰＴにテンションＴｘを発生させること無く、保護テープＰＴを接触領域Ｍ１から放射状にウエハＷの曲面Ｗｂへ貼りつけることができる。よって、曲面Ｗｂの全面に保護テープＰＴを精度よく密着させることができる。

【0134】

（６）各々の実施例において、突起部材６３は細い棒状の部材であり先端部６４は曲面Ｗｂの曲率に応じた丸みのある形状を備えているが、これに限られない。突起部材６３の形状としては棒状の他に円柱状、円錐状、角錐状、直方体状、円錐台状、角錐台状などが例として挙げられる。すなわち先端部６４の形状としては丸みを帯びた形状の他に、平坦な形状、先鋭な形状などが挙げられる。従って、突起部Ｖの形状としてはドーム状の他、凸状、尖端を有する形状などが例として挙げられる。

【0135】

（７）各々の実施例において、突起部材６３が突起部Ｖを介して曲面Ｗｂに接触させた後、下空間Ｈ１と上空間Ｈ２との間に差圧を発生させる制御を開始しているが、突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させるタイミングはこれに限られない。すなわち、下空間Ｈ１と上空間Ｈ２との間に差圧を発生させる制御を開始してから突起部材６３が突起部Ｖを介して曲面Ｗｂに接触させてもよい。また、ステップＳ３において下空間Ｈ１および上空間Ｈ２を等速度で減圧させる制御を行う前に突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させてもよい。

【0136】

（８）各々の実施例について、ステップＳ３において突起部材６３を下降させて突起部Ｖを形成させる前に下空間Ｈ１の気圧を上空間Ｈ２の気圧より高くする制御を行ってもよい。すなわち、ステップＳ３を開始させて下空間Ｈ１および上空間Ｈ２を所定の気圧まで等速度で減圧させた後、制御部６２は上空間Ｈ２の気圧より下空間Ｈ１の気圧の方が高くなるよう、電磁バルブの各々の開度を調整する。

【0137】

上空間Ｈ２の気圧より下空間Ｈ１の気圧の方が高くなることにより、図３０（ａ）に示すように、両空間の間に差圧Ｆｂが発生する。そして差圧Ｆｂによって、保護テープＰＴはウエハＷから遠ざかるように変形する。保護テープＰＴを差圧Ｆｂで変形させた後、突起部材６３を下降させて突起部Ｖを形成させる。

【0138】

当該変形例では差圧Ｆｂを発生させた状態で突起部Ｖの形成を行うので、突起部Ｖを形成させて当該突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させる工程において、突起部Ｖ以外の部分の保護テープＰＴはウエハＷから遠ざかるように変形する（図３０（ｂ））。従って、突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させる工程において、突起部Ｖ以外の部分の保護テープＰＴが先にウエハＷへ接触してしまうという事態を回避できる。

【0139】

つまり、突起部Ｖを曲面Ｗｂの接触領域Ｍ１に接触させる際に、曲面Ｗｂのうち意図していない部分または周縁部Ｗａの部分に突起部Ｖ以外の保護テープＰＴが接触することを防止できる。その結果、保護テープＰＴを曲面Ｗｂに貼りつける際に皺または気泡が発生することを防止できる。

【0140】

突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させた後、制御部６２は下空間Ｈ１の気圧より上空間Ｈ２の気圧の方が高くなるよう、電磁バルブの各々の開度を調整させる。当該調整により差圧Ｆが発生し、差圧Ｆによって保護テープＰＴは接触領域Ｍ１から外側に向けて放射状に曲面Ｗｂに貼りつけられていく。なお、差圧Ｆｂを発生させる本変形例において、差圧Ｆｂによって突起部材６３に保護テープＰＴを押圧させることによって突起部Ｖを形成させてもよい。

【0141】

（９）各々の実施例において、チャンバ１７の内部に１つのウエハＷを収納させて保護テープＰＴを貼りつけているがこれに限られない。すなわち、チャンバ１７の内部に複数のウエハＷを収納させた状態で保護テープＰＴを貼りつけてもよい。本変形例では、ウエハＷの数に応じて複数の保持テーブル３１を下ハウジング２２の内部に配設し、さらにウエハＷの数に応じて複数の突起部材６３を上ハウジング２０の内部に配設する。本変形例では図３１に示すように、２つの保持テーブル３１Ａ、３１Ｂが下ハウジング２２に配設され、２つの突起部材６３Ａ、６３Ｂが上ハウジング２０に配設されるものとする。

【0142】

本変形例ではチャンバ１７が形成された場合において、保持テーブル３１の各々の上方に突起部材６３がそれぞれ配置されるよう、保持テーブル３１が配設される位置および突起部材６３が配設される位置が予め調整されている。具体的には保持テーブル３１Ａに保持されるウエハＷの最深部Ｗｃに対して突起部材６３Ａが接触し、保持テーブル３１Ｂに保持されるウエハＷの最深部Ｗｃに対して突起部材６３Ｂが接触するよう、各々の配設位置が調整されることが好ましい。本変形例では複数のウエハＷに対して同時に保護テープＰＴを貼りつけることができるので、貼付け効率を向上できる。

【0143】

（１０）各々の実施例において、ウエハＷは曲面Ｗｂを１つ有する構成を例示したがこれに限られない。すなわち、複数の曲面Ｗｂを備えるウエハＷについても本発明の構成を適用できる。本変形例では図３２に示すように、ウエハＷは３つの曲面Ｗｂを有するものとする。各々の曲面Ｗｂについては左側から曲面Ｗｂ１、Ｗｂ２、およびＷｂ３として区別する。

【0144】

複数の曲面Ｗｂを有するウエハＷにおいて、曲面Ｗｂ同士を接続する部分を曲面接続部Ｇとする。本変形例において、曲面Ｗｂ１と曲面Ｗｂ２とを接続する曲面接続部Ｇについては符号Ｇ１を付し、曲面Ｗｂ２と曲面Ｗｂ３とを接続する曲面接続部Ｇについては符号Ｇ２を付して両者を区別する。

【0145】

本変形例では、３つの曲面Ｗｂを有するウエハＷの形状に応じてワーク載置面３５の形状を調整されている。また、曲面Ｗｂの数に応じた複数の突起部材６３、すなわち突起部材６３Ａ、６３Ｂ、６３Ｃが上ハウジング２０に配設されている。

【0146】

本変形例では、チャンバ１７が形成された場合において、曲面Ｗｂの各々の上方に突起部材６３がそれぞれ配置されるよう、ワーク載置面３５の位置および突起部材６３が配設される位置が予め調整されている。すなわち突起部材６３Ａは曲面Ｗｂ１に接触できる位置に配設され、突起部材６３Ｂは曲面Ｗｂ２に接触できる位置に配設され、突起部材６３Ｃは曲面Ｗｂ３に接触できる位置に配設される。

【0147】

具体的には曲面Ｗｂ１において最も深い部分である最深部Ｗｃ１に対して突起部材６３Ａが接触し、曲面Ｗｂ２の最深部Ｗｃ２に対して突起部材６３Ｂが接触し、曲面Ｗｂ３の最深部Ｗｃ３に対して突起部材６３Ｃが接触するよう、各々の配設位置が調整されることが好ましい。当該構成を備えることにより、突起部材６３の各々によって形成される突起部Ｖは、それぞれ最深部Ｗｃの各々に接触する。当該接触が行われた状態で差圧Ｆによる貼付け工程を行うことにより、保護テープＰＴとウエハＷとの間に空気が巻き込まれることをより確実に防止できる。その結果、保護テープＰＴに皺や気泡が発生する事態を回避し、精度良く保護テープＰＴを曲面Ｗｂに密着できる。

【0148】

また本変形例では、保持テーブル３１でウエハＷを保持した状態において、曲面接続部Ｇの各々の高さはいずれも周縁部Ｗａの高さより低くなるように構成されることが好ましい。当該構成を有することにより、突起部Ｖの各々を曲面Ｗｂの各々に接触させる際に、突起部Ｖ以外の部分の保護テープＰＴが曲面接続部Ｇに接触してしまい、当該接触によって保護テープＰＴにテンションが発生する事態をより確実に回避できる。

【0149】

なお本変形例では、（８）に係る変形例で上述したような、上空間Ｈ２の気圧より下空間Ｈ１の気圧の方を高くして差圧Ｆｂを発生させた状態で、突起部Ｖの各々を曲面Ｗｂの各々に接触させることが好ましい。差圧Ｆｂの発生により保護テープＰＴをウエハＷから遠ざけるように変形させるので、突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させる工程において保護テープＰＴが周縁部Ｗａまたは曲面接続部Ｇに接触することをより確実に回避できる。

【0150】

（１１）各々の実施例において、突起部材６３を下降させることによって突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させる構成に限られない。すなわち、ウエハＷを保持している状態の保持テーブル３１を上昇させることによって、突起部Ｖを曲面Ｗｂに接触させてもよい。

【0151】

（１２）各々の実施例において、ヒータ４３を配設させる位置はワーク保持部３３の内部に限ることはなく、ウエハＷまたは保護テープＰＴを加熱する限りにおいて適宜変更できる。またヒータ４３による加熱を行う時期は適宜変更できる。

【0152】

なお、ステップＳ３に係る接触過程およびステップＳ４に係る貼付け過程のうち少なくとも一方において、ヒータによる加熱を行うことが好ましい。当該過程において保護テープＰＴを変形させる操作が行われる。保護テープＰＴが加熱されることによって基材Ｔａおよび粘着材Ｔｂなどが柔らかくなり変形しやすくなる。従って、接触過程または貼付け過程をより好適に実行できる。

【0153】

（１３）各々の実施例において、ウエハＷの表面Ｗ１における中央部Ｃｐの全体が曲面Ｗｂとなっている構成を例示したがこれに限ることはない。中央部Ｃｐの形状の他の例として、中央部Ｃｐの一部が曲面となっていている構成が挙げられる。すなわち図３３（ａ）に示すように、表面Ｗ１の中央部Ｃｐが、曲面Ｗｂと平面Ｓｔとを有するようなウエハＷであっても本発明に係る構成を適用できる。当該変形例の場合、表面Ｗ１の中央部Ｃｐのうち少なくとも一部に対して突起部Ｖを接触させた状態で、ステップＳ４に係る保護テープＰＴの貼付け過程を開始させる。すなわちステップＳ３において、曲面Ｗｂの一部に突起部Ｖを接触させてもよいし、平面Ｓｔの一部に突起部Ｖを接触させてもよい。また曲面Ｗｂの一部および平面Ｓｔの一部に突起部Ｖを接触させてもよい。

【0154】

さらに中央部Ｃｐの形状として、単一の曲面Ｗｂのみを有する構成に限られない。すなわち図３３（ｂ）に示すように、中央部Ｃｐは凹状の曲面Ｗｂと凹み部Ｈｔとを有してもよい。凹み部Ｈｔの形状としては、図３３（ｂ）に示すような、曲面Ｗｂと異なる曲率を有する略半球状曲面に限ることはなく任意の形状であってよい。凹み部Ｈｔの形状の例として、円錐状の凹部、角錐状の凹部、円柱状の凹部、角柱状の凹部などが挙げられる。

【0155】

中央部Ｃｐの形状としては図３３（ｃ）に示すように、凹状の曲面Ｗｂと凸状部Ｇｔとを有してもよい。凸状部Ｇｔの形状は任意の形状であってよい。凸状部Ｇｔの形状の例として、略半球状、円錐状、角錐状、円柱状、角柱状などが挙げられる。また中央部Ｃｐは曲面Ｗｂと凹み部Ｈｔと凸状部Ｇｔとを有していてもよい。

【0156】

（１４）各々の実施例において、ウエハＷの表面Ｗ１および裏面Ｗ２は共に曲面を有している構成を例示したが、これに限られない。すなわち図３４に示すように、裏面Ｗ２は平坦な形状であってもよい。裏面Ｗ２が平坦である場合、ウエハＷをより安定な状態で保持テーブル３１に保持できる。よって、曲面Ｗｂを有する表面Ｗ１の側に対して、保護テープＰＴをより好適に貼り付けることができる。

【符号の説明】

【0157】

１ … シート材貼付け装置
２ … シート供給部
３ … セパレータ回収部
４ … シート貼付けユニット
５ … シート回収部
６ … 供給ボビン
７ … 引張機構
１３ … ダンサローラ
１４ … ガイドローラ
１５ … 回収ボビン
１７ … チャンバ
１８ … シート貼付機構
１９ … ニップローラ
２０ … 上ハウジング
２１ … シート切断機構
２２ … 下ハウジング
２９ … 接合部
３０ … 接合部
３１ … 保持テーブル
３３ … ワーク保持部
３５ … ワーク載置面
４１ … 支持ピン
４３ … ヒータ
５５ … 真空装置
６２ … 制御部
６３ … 突起部材
６５ … シリンダ
６７ … 送りローラ
６８ … ピンチローラ
６９ … 案内レール
７５ … カッタユニット
８１ … カッタ
８３ … 回収ボビン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】