特許 7290445 アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-05

(45)【発行日】2023-06-13

(54)【発明の名称】アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   H02K 33/16 20060101AFI20230606BHJP

【ＦＩ】

H02K33/16 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2019062559

(22)【出願日】2019-03-28

(65)【公開番号】P2020162393

(43)【公開日】2020-10-01

【審査請求日】2022-02-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】土橋 将生

(72)【発明者】

【氏名】北原 裕士

【審査官】三島木 英宏

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０１３０９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－０００９２５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０２Ｋ ３３／１６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持体と、
可動体と、
前記可動体と前記支持体とに接続される接続体と、
前記可動体を移動させる磁気駆動回路と、を有し、
前記磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられたコイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記コイルに対向する磁石と、を備え、
前記接続体は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、
前記コイルと前記磁石とが対向する対向方向を第１方向、前記可動体の移動方向を第２方向、第１方向および第２方向と直交する方向を第３方向としたときに、前記可動体は、前記コイルおよび前記磁石を挟んで前記第１方向で対向する第１板部および第２板部と、前記コイルおよび前記磁石を挟んで前記第３方向で対向して前記第１板部と前記第２板部とを接続する一対の接続部と、を備え、
前記支持体は、前記コイルと、前記コイルを保持するコイルホルダと、を備え、
前記可動体は、前記磁石を備え、
前記第１板部および前記第２板部は、前記第１方向の両側から前記コイルホルダを挟んでおり、
前記コイルホルダは、前記第１方向から見た場合に一対の前記接続部と重なる位置に、前記第２方向に延びる一対の長穴と、前記第１板部および前記第２板部の前記第２方向の両側が当接することによって、前記可動体が前記第２方向に移動する際の可動範囲を規定する度当たり部と、を備え、
各接続部は、前記第２方向に移動可能な状態で各長穴を貫通することを特徴とするアクチュエータ。

【請求項2】

前記第１板部および前記第２板部は、磁性材料からなることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

一対の前記接続部のそれぞれは、前記第１板部と一体に形成された第１接続部分、および、前記第２板部と一体に形成された第２接続部分を備え、
前記第１接続部分と前記第２接続部分とは、前記第１方向に対して垂直な面を基準とし
て対称な形状であることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

一対の前記接続部は、前記第１板部または前記第２板部と一体に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

一対の前記接続部は、前記第１板部および前記第２板部と別体であることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。

【請求項6】

給電基板を有し、
前記給電基板は、前記支持体の前記第３方向の一方側に配置されており、
前記コイルから引き出されたコイル線は、一対の前記長穴のうち前記第３方向の一方側に位置する長穴の前記第２方向を経由して前記給電基板に接続されることを特徴とする請求項１から５のうちいずれか一項に記載のアクチュエータ。

【請求項7】

給電基板を有し、
前記給電基板は、前記支持体の前記第２方向の一方側に配置されていることを特徴とする請求項１から５のうちいずれか一項に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

情報を振動によって報知するデバイスとして用いられるアクチュエータは特許文献１に開示されている。特許文献１のアクチュエータは、永久磁石を備えた可動体と、コイルを備えた支持体と、を有する。可動体は、振動方向と直交する方向で対向する第１ヨークおよび第２ヨークを備えており、第１ヨークと第２ヨークの間に永久磁石とコイルとが配置される。永久磁石は、第１ヨークに固定される第１磁石、および、第２ヨークに固定される第２磁石を備える。第１磁石および第２磁石は、コイルに対して振動方向と直交する方向で対向する。

【0003】

特許文献１のアクチュエータでは、第１ヨークは、第１磁石を保持する第１板部と、第１板部の振動方向の両端からそれぞれ第２ヨークの側へ折れ曲がって延びる一対の接続部を備える。第２ヨークは、振動方向の両端が、一対の接続部の先端に固定される。各接続部は、振動方向に対して垂直な壁状である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－１３０９５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

可動体が振動方向の両端に垂直な壁状の部分（一対の接続部）を備える場合には、可動体の移動距離が２枚の壁状の部分の厚み分だけ短く制限されるという問題がある。

【0006】

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体の移動距離を確保することが容易なアクチュエータを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記可動体と前記支持体とに接続される接続体と、前記可動体を移動させる磁気駆動回路と、を有し、前記磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられたコイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記コイルに対向する磁石と、を備え、前記接続体は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記コイルと前記磁石とが対向する対向方向を第１方向、前記可動体の移動方向を第２方向、第１方向および第２方向と直交する方向を第３方向としたときに、前記可動体は、前記コイルおよび前記磁石を挟んで前記第１方向で対向する第１板部および第２板部と、前記コイルおよび前記磁石を挟んで前記第３方向で対向して前記第１板部と前記第２板部とを接続する一対の接続部と、を備え、前記支持体は、前記コイルと、前記コイルを保持するコイルホルダと、を備え、前記可動体は、前記磁石を備え、前記第１板部および前記第２板部は、前記第１方向の両側から前記コイルホルダを挟んでおり、前記コイルホルダは、前記第１方向から見た場合に一対の前記接続部と重なる位置に、前記第２方向に延びる一対の長穴と、前記第１板部および前記第２板部の前記第２方向の両側が当接することによって、前記可動体が前記第２方向に移動する際の可動範囲を規定する度当たり部と、を備え、各接続部は、前記第２方向に移動可能な状態で各長穴を貫通することを特徴とする。

【0008】

本発明によれば、第１板部および第２板部は、可動体の移動方向と直交する第３方向に設けられた接続部によって接続される。これにより可動体が移動方向の両端に垂直な壁状の部分を備える必要がないので、その分だけ、可動体の移動距離を長く確保できる。また
、コイルが支持体に設けられていれば、コイルが可動体に設けられている場合と比較して、コイルへの配線が容易となる。また、可動体が移動する際にコイルへの配線が変形することによる負荷が発生しない。また、このようにすれば、接続部と長穴の内壁面との当接によって、可動体の第２方向の可動範囲を規定できる。

【0009】

本発明において、前記第１板部および前記第２板部は、磁性材料からなるものとすることができる。コイルおよび磁石を挟んで第１方向で対向する第１板部および第２板部を磁
性材料とすれば、第１板部および第２板部はヨークとして機能する。これにより、漏れ磁束の発生を抑制できるので、磁気駆動回路の駆動力を確保することが容易となる。

【0010】

本発明において、一対の前記接続部のそれぞれは、前記第１板部と一体に形成された第１接続部分、および、前記第２板部と一体に形成された第２接続部分を備え、前記第１接続部分と前記第２接続部分は、前記第１方向に対して垂直な面を基準として対称な形状であることが望ましい。また、磁石とコイルを第１方向の一方側から囲む部材（第１板部および第１接続部分によって構成される部材）と、磁石とコイルを第１方向の他方側から囲む部材（第２板部および第２接続部分によって構成される部材）とを同一形状にすることができる。従って、部品を共通化でき、部品点数を削減できる。

【0011】

本発明において、一対の前記接続部は、前記第１板部または前記第２板部と一体に形成されているものとすることができる。接続部が第１板部または第２板部と一体になっていれば、接続部が、第１板部および第２板部と別体の場合と比較して、部品点数を少なくすることができる。

【0012】

本発明において、一対の前記接続部は、前記第１板部および前記第２板部と別体であってもよい。接続部を、第１板部および第２板部と別の部材にすれば、接続部の部品形状の自由度が高まる。

【0015】

本発明において、給電基板を有し、前記給電基板は、前記可動体の前記第３方向の一方側に配置されており、前記コイルから引き出されたコイル線は、一対の前記長穴のうち前記第３方向の一方側に位置する長穴の前記第２方向を経由して前記給電基板に接続されるものとすることができる。このようにすれば、給電基板が可動体の移動方向と直交する第３方向に配置されるので、給電基板によって可動体の移動距離が制限されることはない。また、このようにすれば、コイルから引き出されて給電基板に接続されるコイル線が可動体と干渉することを回避できる。

【0016】

本発明において、給電基板を有し、前記給電基板は、前記支持体の前記第２方向の一方側に配置されているものとしてもよい。

【発明の効果】

【0017】

本発明では、可動体の第１板部および第２板部は、移動方向と直交する第３方向に設けられた接続部によって接続される。これにより、可動体が移動方向の両端に垂直な壁状の部分を備える必要がないので、その分だけ、可動体の移動距離を長く確保できる。また、可動体が移動方向の両端に垂直な壁状の部分を備える必要がないので、可動体の振動時に空気を押す部分の面積を小さくできる。従って、可動体の移動時に空気が押されることに起因する動作音を低減させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明を適用したアクチュエータの外観斜視図である。

【図2】図１のアクチュエータのＡ－Ａ断面図である。

【図3】アクチュエータの分解斜視図である。

【図4】ケースを取り外したアクチュエータの分解斜視図である。

【図5】支持体を第１方向の他方側からみた分解斜視図である。

【図6】支持体を第１方向の一方側からみた分解斜視図である。

【図7】図１のアクチュエータのＢ－Ｂ断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下に、図面を参照して、本発明のアクチュエータの実施の形態を説明する。図１は本発明を適用したアクチュエータ１の外観斜視図である。図２は、アクチュエータ１の断面図（図１のＡ－Ａ断面図）である。図３は、アクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、ケース３を取り外したアクチュエータ１の分解斜視図である。図５は、支持体２を第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみた分解斜視図である。図６は、支持体２を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみた分解斜視図である。図７は、アクチュエータの断面斜視図（図１のＢ－Ｂ断面図）である。

【0020】

（全体構成）
図１、図２に示すように、アクチュエータ１は、直方体形状である。アクチュエータ１は、アクチュエータ１の外形を規定する角形のケース３等を含む支持体２と、ケース３の内部において支持体２に対して相対移動可能に支持された可動体６と、を有する。支持体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、および給電基板１０を備える。可動体６は、磁石７およびヨーク８を備える。コイル５と磁石７とは、対向しており、可動体６を移動させる磁気駆動回路１ａを構成する。コイル５と磁石７とが対向する対向方向は、可動体６が移動する移動方向と直交する。また、アクチュエータ１は、可動体６と支持体２との間に配置された接続体９１、９２を備える。可動体６は、接続体９１、９２を介して、支持体２に支持される。接続体９１、９２は、可動体６を移動方向に変位可能に支持する。接続体９１、９２は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える。

【0021】

以下の説明では、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとする。本例において、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。第１方向Ｚは、コイル５と磁石７とが対向する対向方向である。第２方向Ｘは、可動体６の移動方向である。アクチュエータ１は、長手方向を第３方向Ｙに向けている。また、以下では、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付し、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付して説明する。

【0022】

アクチュエータ１は、可動体６が第２方向Ｘに振動することにより、アクチュエータ１や、アクチュエータ１を取り付けた機器等を利用する者の身体を通して利用者に情報を報知する。従って、アクチュエータ１は、可動体６の第２方向Ｘの振動によって利用者に触覚を与える触覚デバイスとして使用することができ、例えば、ゲーム機の操作部材、操作パネル、自動車のハンドルやイス等に組み込んで利用することができる。アクチュエータ１を触覚デバイスとして使用する際、例えば、コイル５に印加する交流波形を調整して、可動体６が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体６が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

【0023】

ここで、本発明を適用したアクチュエータ１の磁気駆動回路１ａは、コイル５が支持体
２（一方側部材）の側に設けられ、磁石が可動体６（他方側部材）の側に設けられた態様、および、磁石７が支持体２（他方側部材）の側に設けられ、コイル５が可動体６（一方側部材）の側に設けられた態様を採用することができる。以下に説明する実施例は、コイル５を保持する一方側部材が支持体２であり、磁石７を保持する他方側部材が可動体６である。

【0024】

（可動体）
図２、図４に示すように、本例は、磁石７として、第１永久磁石７１および第２永久磁石を備える。第１永久磁石７１は、コイル５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、第２永久磁石７２は、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する。第１永久磁石７１および第２永久磁石７２は各々、第２方向Ｘの一方側Ｘ１と第２方向Ｘの他方側Ｘ２とが異なる極に着磁されている。

【0025】

ヨーク８は、磁性材料からなる。ヨーク８は磁石７を保持する。図３に示すように、ヨーク８は、第１ヨーク８１および第２ヨーク８２の２部材を備える。第１ヨーク８１は、平板状の第１板部８１１を備える。第２ヨーク８２は、第１板部８１１と第１方向Ｚで対向する第２板部８２１を備える。第１板部８１１および第２板部８２１は、第３方向Ｙを長手方向とする略長方形である。第１永久磁石７１は第１板部８１１に固定されている。第２永久磁石７２は第２板部８２１に固定されている。

【0026】

図４に示すように、第１ヨーク８１は、第１板部８１１の第３方向Ｙの中間部分から第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２へ張り出した一対の張り出し部８１２を備える。第２ヨーク８２は、第２板部８２１の第３方向Ｙの中間部分から第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２へ張り出した一対の張り出し部８２２を備える。図２に示すように、第１永久磁石７１は、第１板部８１１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持される。また、第２永久磁石７２は、第２板部８２１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持される。

【0027】

また、ヨーク８は、第１板部８１１と第２板部８２１を第３方向Ｙで離間した２箇所で接続する一対の接続部８８を備える。一対の接続部８８は、コイル５および磁石７を挟んで第３方向Ｙで対向する。各接続部８８は、第１板部８１１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２の端部からそれぞれ第１方向Ｚの他方側Ｚ２へ延びる第１接続部分８８ａと、第２板部８２１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２の端部からそれぞれ第１方向Ｚの一方側Ｚ１へ延びる第２接続部分８８ｂを備える。すなわち、第１接続部分８８ａは、第１板部８１１と一体に形成されている。第２接続部分８８ｂは、第２板部８２１と一体に形成されている。第１接続部分８８ａの第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部は、溶接により、第２接続部分８８ｂの第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部に固定される。

【0028】

（支持体）
図１～図３に示すように、支持体２において、アクチュエータ１の外形を規定するケース３は、第１ケース部材３１と、第１ケース部材３１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に重ねられた第２ケース部材３２と、を備える。第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、コイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。ケース３は、第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が被さった状態に組み立てられる。ケース３の第３方向Ｙの両端は開口部になっており、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の開口部に給電基板１０が配置される。

【0029】

第１ケース部材３１の一対の側板部３１１には、第３方向Ｙの両端部に切欠き３１１ａ、３１１ｂが形成されている。第２ケース部材３２の一対の側板部３２１には、第３方向Ｙの両端部に切欠き３２１ａ、３２１ｂが形成されている。また、第２ケース部材３２の
側板部３２１において第３方向Ｙで離間する２箇所には、係合穴３２１ｄが形成されている。

【0030】

図５に示すように、コイルホルダ４は、第１方向Ｚから見て第３方向Ｙに長い長方形である。図３に示すように、コイルホルダ４の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の側面には、第３方向Ｙの両端の２箇所に凸部４１４ｅ、４１８ｅが形成されるとともに、第３方向Ｙで離間する２箇所に係合凸部４１４ｄ、４１８ｄが形成されている。

【0031】

図１に示すように、ケース３は、コイルホルダ４の凸部４１４ｅ、４１８ｅが、第１ケース部材３１の切欠き３１１ａおよび第２ケース部材３２の切欠き３２１ａに嵌まるとともに、コイルホルダ４の係合凸部４１４ｄ、４１８ｄが、第２ケース部材３２の係合穴３２１ｄに係合されるように組み立てられる。コイルホルダ４の第２方向Ｘの他方側Ｘ２の側面にも、同様に、第１ケース部材３１の切欠き３１１ａおよび第２ケース部材３２の切欠き３２１ａに嵌まる凸部が形成されるとともに、第２ケース部材３２の係合穴３２１ｄに係合される係合突部が形成されている。

【0032】

図５、図６に示すように、コイル５は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルである。コイル５はコイルホルダ４に保持される。コイル５は、第２方向Ｘで並列して第３方向Ｙに延びる２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｙの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備えている。可動体６と支持体２とを組み立てると、コイル５の長辺部５１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１で第１永久磁石７１が対向し、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第２永久磁石７２が対向する。

【0033】

コイルホルダ４は、第１方向Ｚから見て第３方向Ｙに長い長方形である。コイルホルダ４は、第２方向Ｘの中央において第３方向Ｙに延びる板部４１を備える。板部４１の第３方向Ｙの中央部分には、コイル配置穴４１０が第１方向Ｚで開口している。コイル配置穴４１０は、コイル５が内側に配置される長円状の貫通穴である。また、板部４１には、第３方向Ｙにおけるコイル配置穴４１０の両側に一対のホルダ貫通穴６１が設けられている。ホルダ貫通穴６１はコイルホルダ４を第１方向Ｚに貫通する。すなわち、ホルダ貫通穴６１は第１方向Ｚで開口している。一対のホルダ貫通穴６１のそれぞれは、第２方向Ｘに延びる長穴である。

【0034】

コイルホルダ４には、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側Ｚ２から重なるように第１プレート４７および第２プレート４８が取り付けられる。第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなる。本例では、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性のステンレンス板からなる。第１プレート４７には、コイルホルダ４に重ねたときに、一対のホルダ貫通穴６１にそれぞれ重なる一対の第１プレート側貫通穴６２が設けられている。第２プレート４８には、コイルホルダ４に重ねたときに、一対のホルダ貫通穴６１にそれぞれ重なる一対の第２プレート側貫通穴６３が設けられている。第１プレート側貫通穴６２および第２プレート側貫通穴６３は、それぞれ第２方向Ｘに延びる長穴である。

【0035】

コイルホルダ４は、板部４１の第２方向Ｘの両側の縁を内側へ切り欠いた切欠き部４２、４３を備える。切欠き部４２、４３は、板部４１の第３方向Ｙの中間部分に設けられている。

【0036】

コイルホルダ４は、切欠き部４２、４３の第３方向Ｙの一方側Ｙ１において、板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の縁から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて突出する側板部４１３を備える。また、コイルホルダ４は、切欠き部４２、４３の第３方向Ｙの一方側Ｙ１において、板部４１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁か
らは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて突出する側板部４１４、４１５を備える。さらに、コイルホルダ４は、切欠き部４２、４３の第３方向Ｙの他方側Ｙ２において、板部４１の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の縁から第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて突出する側板部４１７を備える。また、コイルホルダ４は、切欠き部４２、４３の第３方向Ｙの他方側Ｙ２において、板部４１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁から第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて突出する側板部４１８、４１９を備える。

【0037】

第１プレート４７は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に斜めに突出した爪部４７２を有する。また、第２プレート４８は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に斜めに突出した爪部４８２を有する。爪部４８２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９の内面４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓに形成された溝状の凹部内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。

【0038】

コイル５は、接着剤により、コイルホルダ４に固定される。接着剤は、コイル５の空芯部５０に充填されて、コイル５とコイルホルダ４との間に流れ込んで硬化する。また、接着剤は、コイル５と第１プレート４７との間、第１プレート４７とコイルホルダ４との間、コイル５と第２プレート４８との間、および、第２プレート４８とコイルホルダ４との間に流れ込んで硬化する。従って、コイル５、第１プレート４７、第２プレート４８、およびコイルホルダ４は、接着剤が流れ込んで硬化した接着剤層９（図２参照）によって固定される。

【0039】

（接続体）
可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられた接続体９１、９２によって第２方向Ｘに移動可能に支持される。図２、図４に示すように、接続体９１は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。また、接続体９２は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。より具体的には、接続体９１、９２は、第３方向Ｙにおいてコイル配置穴４１０の両側に配置される。すなわち、接続体９１、９２は、コイル配置穴４１０と第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置するホルダ貫通穴６１との間、および、コイル配置穴４１０と第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置するホルダ貫通穴６１との間に配置されている。本例では、接続体９１、９２は、第１方向Ｚの両面が各々、可動体６および支持体２に接着等の方法で接続されている。また、接続体９１、９２は、支持体２と可動体６との間で第１方向Ｚに圧縮された状態にある。

【0040】

接続体９１、９２は、本例では、粘弾性部材である。例えば、接続体９１、９２（粘弾性部材）は、シリコーンゲル等からなるゲル状部材である。本例において、接続体９１、９２は、針入度が１０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さいほど硬いことを意味する。また、粘弾性を備えた接続体９１、９２として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

【0041】

接続体９１、９２は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、接続体９１、９２は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（
バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、接続体９１、９２は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。

【0042】

ここで、可動体６が接続体９１、９２を介して支持体２に支持された状態では、図３に示すように、コイルホルダ４の切欠き部４２、４３には、それぞれ、ヨーク８の張り出し部８１２および張り出し部８２２が配置される。これにより、コイルホルダ４の側板部４１４と側板部４１８、および、側板部４１５と側板部４１９は、可動体６が第３方向Ｙに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部として機能する。

【0043】

また、可動体６が接続体９１、９２を介して支持体２に支持された状態では、コイルホルダ４の板部４１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１では、第１ヨーク８１と内面４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓとが第２方向Ｘで対向する。また、板部４１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２では、第２ヨーク８２と内面４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓとが第２方向Ｘで対向する。従って、側板部４１４、４１５の内面４１４ｓ、４１５ｓ、および、側板部４１８、４１９の内面４１８ｓ、４１９ｓは、可動体６が第２方向Ｘに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部として機能する。

【0044】

さらに、可動体６が接続体９１、９２を介して支持体２に支持された状態では、ヨーク８の一対の接続部８８のそれぞれは、第２方向Ｘに移動可能な状態で第１プレート側貫通穴６２、ホルダ貫通穴６１、および第２プレート側貫通穴６３を第１方向Ｚに貫通する。従って、第１プレート側貫通穴６２、ホルダ貫通穴６１、および第２プレート側貫通穴６３の内壁面は、可動体６が第３方向Ｙに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部として機能する。

【0045】

ここで、本例において、可動体６が第２方向Ｘに振動した際に、接続体９１、９２は、せん断方向に変形する。従って、接続体９１、９２では、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、せん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

【0046】

（給電基板）
アクチュエータ１は、給電基板１０を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電する。図１、図３に示すように、給電基板１０は、コイルホルダ４のうち、第３方向Ｙの一方側で側板部４１３、４１４、４１５に囲まれた開口部に保持されている。コイル５から引き出されるコイル線５６は、コイルホルダ４の第３方向Ｙの一方側Ｙ１のホルダ貫通穴６１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１を経由して、コイルホルダ４の板部４１に形成されたガイド溝４１１ｃ（図５参照）を通って給電基板１０の側に引き出され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２へ曲げられて、給電基板１０に接続される。また、コイル５から引き出されるコイル線５７は、コイルホルダ４の第３方向Ｙの一方側Ｙ１のホルダ貫通穴６１の第２方向Ｘの他方側Ｘ２を経由して、コイルホルダ４の板部４１に形成されたガイド溝４１１ｃを通って給電基板１０の側に引き出され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２へ曲げられて、給電基板１０に接続される。

【0047】

コイルホルダ４には、第２方向Ｘで対向する側板部４１４、４１５の端部に一対のスリット４１４ｔ、４１５ｔが形成されており、給電基板１０の第２方向Ｘの両側の端部が各々、スリット４１４ｔ、４１５ｔの内側に嵌っている。本例では、給電基板１０の端部をスリット４１４ｔ、４１５ｔに嵌めた後、さらに接着剤によってコイルホルダ４と給電基板１０とを固定し、給電基板１０の振動を抑制する構造になっている。

【0048】

（作用効果）
本例では、コイル５および磁石７を挟んで第１方向Ｚで対向する第１板部８１１および第２板部８２１は、コイル５および磁石７を挟んで第３方向Ｙで対向する一対の接続部８８によって接続されている。かかる構成によれば、可動体６は、その移動方向である第２方向Ｘの両端に垂直な壁状の部分を備える必要がないので、その分だけ、可動体６の移動距離を長く確保できる。また、可動体６が第２方向Ｘの両端に垂直な壁状の部分を備える必要がないので、可動体６の移動時に空気を押す部分の面積を小さくできる。従って、可動体６の移動時に空気が押されることに起因する動作音を低減させることができる。

【0049】

また、コイル５および磁石７を挟んで第１方向Ｚで対向する可動体６の第１板部８１１および第２板部８２１は磁性材料からなり、ヨーク８として機能する。また、第１板部８１１および第２板部８２１は、コイル５および磁石７を挟んで第３方向Ｙで対向する一対の接続部８８により接続されており、これら一対の接続部８８も磁性材料からなる。これにより、漏れ磁束の発生を抑制できるので、磁気駆動回路１ａの駆動力を確保することが容易である。

【0050】

さらに、本例では、一対の接続部８８のそれぞれは、第１板部８１１と一体に形成された第１接続部分８８ａ、および、第２板部８２１と一体に形成された第２接続部分８８ｂを備え、第１接続部分８８ａと第２接続部分８８ｂは、第１方向Ｚに対して垂直な仮想面Ｓを基準として対称な形状である。これにより、第１板部８１１および第１接続部分８８ａを備えた部材と、第２板部８２１および第２接続部分８８ｂを備えた部材とが同一形状になっているので、部品形状の共通化を図ることができる。よって、部品の製造コストおよび管理コストを低減させることができる。

【0051】

（変形例）
各接続部８８は、第１板部８１１と一体に設けてもよい。すなわち、第１ヨーク８１が一対の接続部８８を備えるものとすることができる。この場合には、一対の接続部８８の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端を第２ヨーク８２に溶接する。或いは、各接続部８８は、第２板部８２１と一体に設けてもよい。すなわち、第２ヨーク８２が一対の接続部８８を備えるものとすることができる。この場合には、一対の接続部８８の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端を第２ヨーク８２に溶接する。

【0052】

このようにすれば、一対の接続部８８が第１ヨーク８１、或は、第２ヨーク８２と一体に形成されるので、一対の接続部８８を、第１ヨーク８１および第２ヨーク８２と別体に設ける場合と比較して、部品点数を少なくすることができ、可動体６の強度を確保することができる。

【0053】

なお、一対の接続部８８は、第１板部８１１および第２板部８２１と別体であってもよい。このようにすれば、一対の接続部８８について、部品形状の自由度が高まる。

【0054】

また、上記の例では、接続体９１、９２としてゲル状部材（粘弾性部材）を用いたが、ゴムやバネ等を用いてもよい。

【0055】

また、上記の例では、コイル５に対する第１方向Ｚの両側に磁石７を配置しているが、コイル５に対する第１方向Ｚの一方側Ｚ１または他方側Ｚ２のみに磁石７を配置したアクチュエータに本発明を適用してもよい。また、上記形態は、第１方向Ｚで対向するコイル５と磁石７の組を２組備えているが、第１方向Ｚで対向するコイル５と磁石７の組を１組または３組以上備えたアクチュエータに本発明を適用してもよい。

【0056】

また、接続体９１、９２は可動体６とケース３との間に配置してもよい。このようにし
ても、接続体９１、９２により可動体６を第１方向（移動方向）に変位可能に支持できる。

【0057】

ここで、給電基板１０は、支持体２の第２方向Ｘの一方側の側面に配置することができる。

【0058】

また、第１板部８１１の一対の張り出し部８１２、および第２ヨーク８２の一対の張り出し部８２２は、省略してもよい。

【符号の説明】

【0059】

１…アクチュエータ、１ａ…磁気駆動回路、２…支持体、３…ケース、４…コイルホルダ、５…コイル、６…可動体、７…磁石、８…ヨーク、９…接着剤層、１０…給電基板、３１…第１ケース部材、３２…第２ケース部材、４１…板部、４２、４３…切欠き部、４７…第１プレート、４８…第２プレート、５０…空芯部、５１…長辺部、５２…短辺部、６１…ホルダ貫通穴、６２…第１プレート側貫通穴、６３…第２プレート側貫通穴、７１…第１永久磁石、７２…第２永久磁石、８１…第１ヨーク、８２…第２ヨーク、８８…接続部、８８ａ…第１接続部分、８８ｂ…第２接続部分、９１、９２…接続体、３１１、３２１、４１３、４１４、４１５、４１７、４１８、４１９…側板部、４１０…コイル配置穴、４１０…コイル配置穴、４１１ｃ…ガイド溝、８１１…第１板部、８１２…張り出し部、８２１…第２板部、８２２…張り出し部、Ｘ…第２方向（移動方向）、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向（対向方向）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】