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特許 7291176出願番号 特願 2021-109827
ガス流制御のための方法および装置
出願人 ピヴォタル システムズ コーポレーション（識別番号 510033424）
2026年 特許公開件数ランキング 27776位 0件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 22909位 0件（※）
公報発行日 2023年6月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7291176 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
［関連出願］
本願は、２０１５年７月１０日に出願の米国仮特許出願第６２／１９１，２７２号の優先権を主張し、その内容全体が本明細書に組み込まれる。
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
以下の本開示の概要は、本発明の一部の態様および特徴の基本的な理解を得るために包含される。この概要は、本発明の広範な概説ではなく、それ自体で本発明の要所もしくは重要な要素を具体的に特定したり、または本発明の範囲を明確化したりすることを意図するものではない。その唯一の目的は、後述されるより詳細な説明の前置きとして、本発明の幾つかの概念を単純な形で提示することにある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の態様において、従来のマスフローコントローラは、自己分析を行うための十分なプロセス変数を有する新規のガスフローコントローラに置き換えれられる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は、自己検証型ガス流制御のための本発明によるガスフローコントロール装置の一実施形態の簡易的な概略模式図である。
【図2A】
図２Ａは、制御バルブに用いられる、制御可能な高精度流量制限のための本発明による装置の一実施形態の簡易的な概略模式図である。図２Ａは、閉位置の制御バルブを示す。
【図2B】
図２Ｂは、制御バルブに用いられる、制御可能な高精度流量制限のための本発明による装置の一実施形態の簡易的な概略模式図である。図２Ｂは、開位置の制御バルブを示し、開放量は「ｈ」によって示される。
【図3】
図３は、流量制限器の一実施形態の簡易的な概略模式図である。
【図4】
図４において、図４Ａおよび図４Ｂは、流量制限器の他の実施形態の簡易的な概略模式図である。
【図5】
図５は、ガスの流量を制御および検証するための方法の一実施形態のフローチャートである。
【図6】
図６は、ガスの流量を制御および検証するための方法の他の実施形態のフローチャートである。
【図7】
図７は、自己検証型ガス流制御のための本発明によるガスフローコントロール装置の一実施形態の簡易的な概略模式図である。
代表図 図1本件の代表的な図
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