特許 7291211 異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-06

(45)【発行日】2023-06-14

(54)【発明の名称】異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備

(51)【国際特許分類】

   B01D 47/02 20060101AFI20230607BHJP

   B23K 26/364 20140101ALI20230607BHJP

   B01D 47/00 20060101ALI20230607BHJP

   B01D 47/12 20060101ALI20230607BHJP

【ＦＩ】

B01D47/02 A

B23K26/364

B01D47/00 D

B01D47/12

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021516761

(86)(22)【出願日】2019-09-18

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-01-06

(86)【国際出願番号】 KR2019012027

(87)【国際公開番号】W WO2020067671

(87)【国際公開日】2020-04-02

【審査請求日】2021-05-24

(31)【優先権主張番号】10-2018-0115771

(32)【優先日】2018-09-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】522492576

【氏名又は名称】ポスコ カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110000051

【氏名又は名称】弁理士法人共生国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ホン，ソン‐チョル

(72)【発明者】

【氏名】ミン，キ‐ヨン

(72)【発明者】

【氏名】パク，セ‐ミン

(72)【発明者】

【氏名】キム，ドン‐グン

(72)【発明者】

【氏名】キム，チャン‐ホ

(72)【発明者】

【氏名】カン，ジョン‐ムン

(72)【発明者】

【氏名】クォン，オ‐チャル

【審査官】壷内 信吾

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－０７７７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国登録特許第１０－１８７８７１１（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１１－００３２９８５（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２００４－２６１７７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１２６８８８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許第０４６０８０６４（ＵＳ，Ａ）

【文献】特表平０７－５０６８５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】登録実用新案第３１７１０９６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００９－１３６８１３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０１Ｄ ４７／００－４７／１８

Ｂ０１Ｄ ４９／００－５１／１０

Ｂ０１Ｄ ５３／３４－５３／７３，５３／７４－５３／８５，５３／９２，５３／９６

Ｂ２３Ｋ ２６／００－２６／７０

Ｂ０４Ｃ １／００－１１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

異物が含まれた空気が流入する吸入口及び異物が除去された空気が排出される排出口が形成された捕集本体ユニット、及び
前記捕集本体ユニットの内部に備えられ、前記空気の流動経路上に配置され、前記空気の回転流動を誘導し、内部に収容された洗浄水に渦を形成するミキシングユニット、を含み、
前記ミキシングユニットは、
前記捕集本体ユニットの内部に備えられ、前記空気が流入するチャンバー入口及び前記空気が排出されるチャンバー出口が形成され、内部に洗浄水が収容されるミキシングチャンバー部、及び
前記ミキシングチャンバー部の内部に結合され、前記空気を前記洗浄水の方向に誘導し、前記空気の流動経路の少なくとも一部を曲線状に形成する一部に曲面が形成されたガイド部、を含み、
前記ガイド部は、
前記チャンバー入口が形成された前記ミキシングチャンバー部の上壁部に結合され、下方に延長するように形成される平板部材、
前記平板部材の下端部に結合され、前記洗浄水に少なくとも一部が浸漬され、曲面状を有する曲面板部材、及び
前記曲面板部材に突出するように結合され、前記洗浄水の水中にあり、少なくとも一つの渦形成孔を有する渦形成部材、を含み、
前記渦形成部材は、前記チャンバー出口の方向である前記曲面板部材の後面に備えられることを特徴とする異物捕集装置。

【請求項2】

前記ミキシングチャンバー部は、前記捕集本体ユニットに収容される洗浄水が流入する連通孔が下端部に形成され、前記チャンバー入口及び前記チャンバー出口は、互いに離隔して上壁部に形成されることを特徴とする請求項１に記載の異物捕集装置。

【請求項3】

前記捕集本体ユニットの内部に備えられ、前記空気の流動経路上に洗浄水を噴射して水膜を形成する水膜形成ユニット、を含むことを特徴とする請求項１に記載の異物捕集装置。

【請求項4】

前記水膜形成ユニットは、
前記捕集本体ユニットの内部に収容され、前記空気の流動経路上に配置されるメッシュ網部材、及び
前記捕集本体ユニットの内部に収容され、前記メッシュ網部材よりも前記空気の流動方向の上流に配置され、洗浄水を噴射して前記メッシュ網部材に水膜を形成する水膜形成噴射部、を含むことを特徴とする請求項３に記載の異物捕集装置。

【請求項5】

前記水膜形成ユニットは、
前記捕集本体ユニットの内部に収容され、前記メッシュ網部材よりも前記空気の流動方向の下流に配置され、前記メッシュ網部材に向かって洗浄水を噴射し、前記メッシュ網部材に滞積された異物を払い落とす詰まり防止噴射部、を含むことを特徴とする請求項４に記載の異物捕集装置。

【請求項6】

前記捕集本体ユニットは、
内部に前記ミキシングユニットが備えられ、前記排出口が形成されたミキシングハウジング部、及び
内部に前記水膜形成ユニットが備えられ、前記吸入口が形成され、前記ミキシングハウジング部と連通される水膜ハウジング部、を含むことを特徴とする請求項３に記載の異物捕集装置。

【請求項7】

前記捕集本体ユニットは、
前記ミキシングハウジング部の内部に備えられ、洗浄水を噴射する水供給噴射部、及び
前記ミキシングハウジングの下端部に備えられ、収容された洗浄水を外部に排出するドレイン部、を含むことを特徴とする請求項６に記載の異物捕集装置。

【請求項8】

前記捕集本体ユニットは、
前記ミキシングハウジング部に連携され、前記ミキシングハウジング部の内部の陰圧形成を調整して、前記排出口の方向に前記空気を流動させるサクション部、を含むことを特徴とする請求項６に記載の異物捕集装置。

【請求項9】

電気鋼板が提供されるレーザルーム、
前記レーザルームの内部に備えられ、レーザを照射して前記電気鋼板の表面に溝を形成するレーザ装置、及び
前記電気鋼板の表面から飛散する異物を吸入するフード部材に連携されて異物を含む空気が送達される請求項１～８のいずれか一項に記載の異物捕集装置、を含むことを特徴とする電気鋼板の製造設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備に係り、より詳しくは、方向性電気鋼板の永久磁区微細化のための溝の形成時に発生するスパッタ、ヒュームなどの異物の除去効率を高めることができる異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備関する。

【背景技術】

【0002】

変圧器のような電気機器の電力損失を減らし、効率を向上させるために、鉄損が低く磁束密度が高い磁気的特性を有する方向性電気鋼板が要求され、このために方向性電気鋼板の磁区微細化の製品を生産するための工程、すなわち、方向性電気鋼板の表面に溝を形成させることができる高出力連続波レーザビームを照射して溝を形成することにより、鉄損を改善させる磁区微細化の工程が必要である。
かかる方向性電気鋼板の磁区微細化の方法の一例として、パルスレーザ照射による物質の蒸着（Ｖａｐｏｒｉｚａｔｉｏｎ）により溝を形成することで方向性電気鋼板の熱処理後の鉄損改善率を確保する技術が提示されている。

【0003】

このような永久磁区微細化のための方法は、鋼板表面に溝を形成する必要があるが、この時、鋼板表面部には粒子、チップ（Ｃｈｉｐ）、スパッタ（Ｓｐａｔｔｅｒ）、ヒューム（Ｆｕｍｅ）などの多様な形態の異物が発生する。
かかる異物は、発生と同時に削除する必要があり、異物の発生と同時に削除されない場合には、周辺設備を汚染し、作業環境を悪化させる問題がある。
特に、レーザを鋼板に転送する光学系が汚染されると、性能が急激に低下し、溝加工品質及び生産性を確保することが難しくなる。

【0004】

したがって、このような異物の完全な除去のための捕集が必要であり、スパッタ及びヒュームなどの異物を捕集して除去するためには、スパッタ及びヒュームなどの異物特性を考慮して、捕集装置及び方法を設計する必要がある。
ここで、スパッタ（Ｓｐａｔｔｅｒ）は形が略球状であり、直径が数百ｎｍから数十μｍの範囲の大きさを有しており、成分はＦｅ、Ｓｉ、Ｃ、Ｏで構成される。ヒューム（Ｆｕｍｅ）は溝照射時に鋼板と水溶性圧延油が燃えて発生するため、慣性力、重力、電気力を利用した捕集には限界（空気の流れに依存して流動するためである）があり、濾材を通過させて分離する過程を考慮しても、濾材による流動圧の過度の増加及び濾材の目詰まりの問題を有する。
したがって、上記の問題及び限界を改善することができる異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備に関する研究が必要であった。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の目的とするところは、異物を除去することができる異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備を提供することにある。
本発明の他の目的とするところは、方向性電気鋼板の永久磁区微細化のための溝の形成時に発生するスパッタ、ヒュームなどの異物の除去時に洗浄水への混入率を向上させて異物除去効率を高める異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の異物捕集装置は、異物が含まれた空気が流入する吸入口及び異物が除去された空気が排出される排出口が形成された捕集本体ユニット、及び上記捕集本体ユニットの内部に備えられ、上記空気の流動経路上に配置されて上記空気の回転流動を誘導し、内部に収容された洗浄水に渦を形成するミキシングユニットを含むことを特徴とする。

【0007】

上記ミキシングユニットは、上記捕集本体ユニットの内部に備えられ、上記空気が流入するチャンバー入口及び上記空気が排出されるチャンバー出口が形成され、内部に洗浄水が収容されるミキシングチャンバー部及び上記ミキシングチャンバー部の内部に結合され、上記空気を上記洗浄水の方向に誘導し、上記空気の流動経路の少なくとも一部を曲線状に形成し、一部に曲面が形成されたガイド部を含むことが好ましい。
そして、上記ガイド部は、上記チャンバー入口が形成された上記ミキシングチャンバー部の上壁部に結合され、下方に延長するように形成される平板部材及び上記平板部材の下端部に結合され、上記洗浄水に少なくとも一部が浸漬され、曲面状を有する曲面板部材を含むことがよい。

【0008】

上記ガイド部は、上記平板部材及び上記曲面板部材の少なくとも一つに突出するように結合される渦形成部材を含むことができる。
上記ミキシングチャンバー部は、上記捕集本体ユニットに収容される洗浄水が流入する連通孔が下端部に形成され、上記チャンバー入口及び上記チャンバー出口は、互いに離隔して上壁部に形成されることが好ましい。

【0009】

上記捕集本体ユニットの内部に備えられ、上記空気の流動経路上に洗浄水を噴射して水膜を形成する水膜形成ユニットを含むことがよい。
上記水膜形成ユニットは、上記捕集本体ユニットの内部に収容され、上記空気の流動経路上に配置されるメッシュ網部材及び上記捕集本体ユニットの内部に収容され、上記メッシュ網部材よりも上記空気の流動方向の上流に配置され、洗浄水を噴射して上記メッシュ網部材に水膜を形成する水膜形成噴射部を含むことができる。

【0010】

上記水膜形成ユニットは、上記捕集本体ユニットの内部に収容され、上記メッシュ網部材よりも上記空気の流動方向の下流に配置され、上記メッシュ網部材に向かって洗浄水を噴射し、上記メッシュ網部材に滞積された異物を払い落とす目詰まり防止噴射部を含むことが好ましい。
上記捕集本体ユニットは、内部に上記ミキシングユニットが備えられ、上記排出口が形成されたミキシングハウジング部及び内部に上記水膜形成ユニットが備えられ、上記吸入口が形成され、上記ミキシングハウジング部と連通される水膜ハウジング部を含むことができる。

【0011】

上記捕集本体ユニットは、上記ミキシングハウジング部の内部に備えられ、洗浄水を噴射する水供給噴射部及び上記ミキシングハウジングの下端部に備えられ、収容された洗浄水を外部に排出するドレイン部を含むことができる。
上記捕集本体ユニットは、上記ミキシングハウジング部に連携され、上記ミキシングハウジング部の内部の陰圧形成を調整して、上記排出口の方向に上記空気を流動させるサクション部を含むことがよい。

【0012】

本発明の電気鋼板の製造設備は、電気鋼板が提供されるレーザルーム、上記レーザルームの内部に備えられレーザを照射して上記電気鋼板の表面に溝を形成するレーザ装置、及び上記電気鋼板の表面で飛散する異物を吸入するフード部材に連携されて異物を含む空気が送達される異物捕集装置、を含むことを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

本発明によると、本発明の異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備は、効果的に異物を除去することができる。
他の側面で、本発明の異物捕集装置及びこれを含む電気鋼板の製造設備は、方向性電気鋼板の永久磁区微細化のための溝を形成する時に発生するスパッタ、ヒュームなどの異物を除去する際に洗浄水への混入率を向上させて異物除去効率を高めることができる利点がある。
これによって、慣性力、重力、電気力を利用した捕集時の限界（空気の流れに依存して流動するため）を打破し、濾材を用いた捕集時の問題となる空気の流動圧の増加及び濾材の目詰まりの問題を回避できる利点がある。
但し、本発明の多様で有益な利点と効果は、上記の内容に限定されず、本発明の具体的な実施形態を説明する過程でより容易に理解することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の異物捕集装置を示す構成図である。

【図2】本発明の異物捕集装置におけるミキシングユニットを示す断面図である。

【図3】本発明の異物捕集装置におけるミキシングユニットが渦形成部材を含む実施例を示す断面図である。

【図4】本発明の異物捕集装置における水膜形成ユニットを示す断面図である。

【図5】本発明の電気鋼板の製造設備を示す構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形することができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大又は縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）されることがある。
また、本明細書において単数の表現は、文脈上明らかに異なる意味ではない限り、複数の表現を含み、明細書全体にわたって同一参照符号または類似する方式で付与された参照符号は、同一構成要素または対応する構成要素を示すものとする。

【0016】

本発明は、異物捕集装置１及びこれを含む電気鋼板Ｓの製造設備に関するものであって、異物を除去することができ、方向性電気鋼板Ｓの永久磁区微細化のための溝の形成時に発生する粒子、チップ（Ｃｈｉｐ）、スパッタ（Ｓｐａｔｔｅｒ）、ヒューム（Ｆｕｍｅ）などの異物の除去時に洗浄水Ｗへの混入率を向上させて異物除去効率を高めることができる。
これによって、慣性力、重力、電気力を利用した捕集時の限界（空気Ａの流れに依存して流動するため）、濾材を用いた捕集時の空気Ａの流動圧の増加及び濾材の目詰まりの問題が発生せず、従来の異物捕集装置１を改善することができる。

【0017】

具体的に図面を参照して説明すると、図１は本発明の異物捕集装置１を示す構成図であり、上記図面を参照すると、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１は、異物が含まれた空気Ａが流入する吸入口１１０及び異物が除去された空気Ａが排出される排出口１２０が形成された捕集本体ユニット１００、及び捕集本体ユニット１００の内部に備えられ、空気Ａの流動経路上に配置されて上記空気Ａの回転流動を誘導して内部に収容された洗浄水Ｗに渦を形成するミキシングユニット２００を含む。
このように本願の異物捕集装置１は、ミキシングユニット２００によって上記異物を洗浄水Ｗに混入させることで、異物捕集効率を高めることができる。

【0018】

捕集本体ユニット１００は、ミキシングユニット２００などが備えられ、装置本体の役割を果たす。上記装置には、異物が含まれた空気Ａが流入し、ミキシングユニット２００を通過して異物が除去された空気Ａを外部に排出する吸入口１１０及び排出口１２０が形成される。
そして、捕集本体ユニット１００には、後述する水膜形成ユニット３００も配置することができ、これにより異物が含まれた空気Ａから複数回にわたり異物を除去するため、異物の除去効率をさらに高めることができる。

【0019】

このように捕集本体ユニット１００は、ミキシングユニット２００が配置されるミキシングハウジング部１３０、及び水膜形成ユニット３００が配置される水膜ハウジング部１４０を含むことができる。
すなわち、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１の捕集本体ユニット１００は、内部にミキシングユニット２００が備えられ排出口１２０が形成されたミキシングハウジング部１３０、及び内部に水膜形成ユニット３００が備えられ、吸入口１１０が形成され、ミキシングハウジング部１３０と連通する水膜ハウジング部１４０を含む。

【0020】

このように吸入口１１０から異物が含まれた空気Ａが水膜ハウジング部１４０に流入され、水膜形成ユニット３００において１次的に異物が捕集された後に、上記水膜ハウジングと連通した上記ミキシングハウジングで１次フィルタリングされた空気Ａが送達され、ミキシングユニット２００において２次的に異物が捕集された後に排出口１２０から外部に排出される。
そして、水膜ハウジング部１４０は、水膜形成ユニット３００から噴射する洗浄水Ｗが下端部に集約され、このように異物を含んで集約された洗浄水Ｗは、外部に排出されて異物と分離される浄化過程を行うことができる。但し、かかる浄化過程は、空気Ａに対するものではなく、洗浄水Ｗに対するものであり、このような異物を含む洗浄水Ｗの浄化はいかなる方法を使用しても、本発明の異物捕集装置１による異物が含まれた空気Ａのフィルタリング後の過程として本発明の範囲に含まれる。

【0021】

ミキシングハウジング部１３０には、ミキシングユニット２００を通過して異物が除去された空気Ａが排出される排出口１２０が形成されるが、このような排出口１２０に空気Ａを排出する前にデミスターフィルター（Ｄｅｍｉｓｔｅｒ ｆｉｌｔｅｒ）１８０を通過させて残留する異物をさらに除去するように構成することもできる。
そして、捕集本体ユニット１００は、その内部で空気Ａの流動経路上に洗浄水Ｗを噴射して、異物が含まれた空気Ａから異物を除去する水供給噴射部１５０を含む。

【0022】

また、水供給噴射部１５０から噴射した洗浄水Ｗまたは水膜形成ユニット３００から噴射した洗浄水Ｗが下端部に集約されると、このような異物が含まれた洗浄水Ｗを外部に排出するドレイン部１６０を含む。
すなわち、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１の捕集本体ユニット１００は、ミキシングハウジング部１３０の内部に備えられ、洗浄水Ｗを噴射する水供給噴射部１５０及び上記ミキシングハウジングの下端部に備えられ、集約された洗浄水Ｗを外部に排出するドレイン部１６０を含むことができる。
ここで、ドレイン部１６０は、ミキシングハウジング部１３０の下端部に備えられ、また、水膜ハウジング部１４０の下端部に備えられる。

【0023】

水供給噴射部１５０は、ミキシングハウジング部１３０に備えられ、ミキシングハウジング部１３０に洗浄水Ｗを供給することによって、ミキシングユニット２００の内部に洗浄水Ｗが収容される。
そして、捕集本体ユニット１００は、吸入口１１０で異物が含まれた空気Ａを吸入して水膜形成ユニット３００、ミキシングユニット２００を通過させて異物を除去した後に空気Ａを排出口１２０から外部に排出する流動を形成するようにサクション部１７０を含む。

【0024】

すなわち、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１の捕集本体ユニット１００は、ミキシングハウジング部１３０に連携され、ミキシングハウジング部１３０の内部の陰圧形成を調整して排出口１２０の方向に空気Ａを流動させるサクション部１７０を含む。
このように上記異物が含まれた空気Ａの流動は、サクション部１７０が陰圧を形成する程度によって空気Ａの流動を調整する。

【0025】

一例として、サクション部１７０は、モータによってファン（Ｆａｎ）を回転させて排出口１２０と連通されたダクト（Ｄｕｃｔ）の内部に陰圧を形成させ、スパッタ（Ｓｐａｔｔｅｒ）とヒューム（Ｆｕｍｅ）などの異物を含む空気Ａが水膜形成ユニット３００、及びミキシングユニット２００を通過してフィルタリングされる流動を形成する。
ミキシングユニット２００は、上記異物が含まれた空気Ａを渦巻く洗浄水Ｗに混入させることにより異物を捕集する役割を果たす。これによって、異物が含まれた空気Ａは、フィルタリングされて異物が除去される。

【0026】

そして、ミキシングユニット２００は、異物が含まれた空気Ａの回転流動を誘導するため、空気Ａによって洗浄水Ｗに渦を形成させ、洗浄水Ｗと異物が含まれた空気Ａの接触割合をさらに高める。
このために、ミキシングユニット２００は、ミキシングチャンバー部２１０、ガイド部２２０を含むが、これに関する詳細な説明は、図２及び図３を参照して後述する。

【0027】

そして、本発明の異物捕集装置１は、水膜形成ユニット３００をさらに含み、上記異物が含まれた空気Ａの流動経路上に水膜を形成して異物を捕集させる構成とすることができる。
すなわち、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１は、捕集本体ユニット１００の内部に備えられ、空気Ａの流動経路上に洗浄水Ｗを噴射して水膜を形成する水膜形成ユニット３００を含む。

【0028】

言い換えると、異物が含まれた空気Ａが上記水膜を通過する必要があるため、上記水膜と異物の接触が発生し、これにより空気Ａ中の異物が上記水膜に混入して空気Ａから削除される。
このため、水膜形成ユニット３００は、メッシュ網部材３１０、水膜形成噴射部３２０などを含むが、これに関する詳細な説明は、図４を参照して後述する。

【0029】

図２は本発明の異物捕集装置１におけるミキシングユニット２００を示す断面図であって、上記図面を参照すると、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１のミキシングユニット２００は、捕集本体ユニット１００の内部に備えられ、空気Ａが流入するチャンバー入口２１１及び空気Ａが排出されるチャンバー出口２１２が形成され、内部に洗浄水Ｗが収容されるミキシングチャンバー部２１０及びミキシングチャンバー部２１０の内部に結合され、空気Ａを洗浄水Ｗの方向に誘導するが、空気Ａの流動経路の少なくとも一部を曲線状に誘導するように、少なくとも一部に曲面が形成されたガイド部２２０を含む。

【0030】

このようにミキシングユニット２００は、ミキシングチャンバー部２１０、ガイド部２２０を含むことで、異物が含まれた空気Ａによって洗浄水Ｗに渦を形成し、異物が洗浄水Ｗに混入して除去される。
ミキシングチャンバー部２１０はガイド部２２０が備えられ、また、内部に洗浄水Ｗが収容されて、上記異物を含む空気Ａとの混入のための空間を提供する。

【0031】

そして、ミキシングチャンバー部２１０は内部に洗浄水Ｗが収容されて、捕集本体ユニット１００に備えられるが、水供給噴射部１５０によって、捕集本体ユニット１００の内部に洗浄水Ｗが収容され、捕集本体ユニット１００の内部の洗浄水Ｗが流入する連通孔２１４が下端部に形成される。
ここで、ミキシングチャンバー部２１０には異物が含まれた空気Ａが流入し、異物が含まれた空気Ａから異物を除去して外部に排出するようにチャンバー入口２１１及びチャンバー出口２１２が形成される。このようなチャンバー入口２１１及びチャンバー出口２１２は、ミキシングチャンバー部２１０の上端部に形成される。

【0032】

すなわち、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１のミキシングチャンバー部２１０は、捕集本体ユニット１００に収容される洗浄水Ｗが流入する連通孔２１４が下端部に形成され、チャンバー入口２１１及びチャンバー出口２１２は、互いに離隔して上壁部２１３に形成されることを特徴とする。
但し、チャンバー入口２１１及びチャンバー出口２１２は、ミキシングチャンバー部２１０の側壁に形成することもでき、この時には、上記側壁部に流入した空気Ａが、ガイド部２２０の平板部材２２１によって下方に誘導される。

【0033】

ガイド部２２０は、チャンバー入口２１１を介して流入された空気Ａが回転流動を形成するように、少なくとも一部が曲面を含むように構成される。特にガイド部２２０は、チャンバー入口２１１を介して流入された空気Ａを、洗浄水Ｗの方向に誘導するが、少なくとも一部は、洗浄水Ｗに浸漬されることで空気Ａの回転流動の誘導が洗浄水Ｗ内で行われるように構成されるため、洗浄水Ｗに渦を形成する。
これにより洗浄水Ｗは、空気Ａ内の異物との接触率を高めるようになり、これによって上記異物は洗浄水Ｗに混入するようになる。

【0034】

より具体的に、ガイド部２２０は、平板部材、曲面板部材を含むようになる。すなわち、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１のガイド部２２０は、チャンバー入口２１１が形成されたミキシングチャンバー部２１０の上壁部２１３に結合されて下方に延長するように形成される平板部材２２１及び平板部材２２１の下端部に結合し、洗浄水Ｗに少なくとも一部が浸漬され、曲面状を形成する曲面板部材２２２を含むことができる。
ここで、平板部材２２１はミキシングチャンバー部２１０の上壁部２１３に結合され、チャンバー入口２１１はミキシングチャンバー部２１０の上壁部２１３に形成されるため、チャンバー入口２１１を介して流入された空気Ａは、平板部材２２１に沿って洗浄水Ｗの方向に誘導される。

【0035】

そして、曲面板部材２２２は、空気Ａに回転流動を形成するように曲面部分が含まれ、洗浄水Ｗに一部が浸漬されるため、空気Ａが洗浄水Ｗ内で回転流動することで、洗浄水Ｗは渦を形成して空気Ａに含まれた異物との接触率を高めるようになる。
ここで、曲面板部材２２２の曲面状は、図２のような形であることができるが、これに限定されるものではなく、空気Ａの流動が洗浄水Ｗ内で回転流動を形成することができる形であれば、本発明の曲面板部材２２２である。

【0036】

一例として、曲面板部材２２２の形を図２に示したが、曲面板部材２２２は、完全に同一の曲率半径で形成されることもできるが、これに限定されず、下端部に行くほど曲率半径が徐々に大きくなるように形成することができる。
つまり、最初に下端部に接触した空気Ａが徐々に曲率半径が小さくなる曲面板部材２２２に沿って流動するため、空気Ａの急激な流路変動によって空気Ａの流動効率が低下する問題を防止することができる。

【0037】

図３は、本発明の異物捕集装置１でミキシングユニット２００が渦形成部材２３０を含む実施例を示す断面図であって、上記図面を参照すると、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１のガイド部２２０は、平板部材２２１及び曲面板部材２２２の少なくとも一つに突出するように結合される渦形成部材２３０を含むことができる。
すなわち、チャンバー入口２１１を介して流入された空気Ａが、曲面板部材２２２によって回転流動を形成し、洗浄水Ｗに渦を起こして異物及び洗浄水Ｗの接触率を高めることに加え、チャンバー出口２１２に空気Ａを排出する前に、洗浄水Ｗに渦を形成して上記異物及び洗浄水Ｗの接触率をさらに高めるよう、渦形成部材２３０を構成したものである。

【0038】

かかる渦形成部材２３０は、曲面板部材２２２に突出するように形成されるが、図２に示したとおり２つのガイド部２２０が形成された場合には、チャンバー出口２１２に隣接するガイド部２２０の曲面板部材２２２に渦形成部材２３０が備えられることができ、チャンバー出口２１２の方向である曲面板部材２２２の後面に渦形成部材２３０が備えられる。
そして、渦形成部材２３０が洗浄水Ｗに渦を形成する形は、図３に示したとおり板材の形に複数の渦形成孔２３１が形成された形であることができ、これによると流動する空気Ａが渦形成孔２３１を通過することもでき、迂回することもできるため、ブランク板の形より渦を多く形成するようになる。
すなわち、渦形成部材２３０は、平板部材２２１及び曲面板部材２２２の少なくとも一つに結合される板材形状に備えられるが、一つ以上の渦形成孔２３１が形成されたことを特徴とする。

【0039】

図４は、本発明の異物捕集装置１で水膜形成ユニット３００を示す断面図であって、上記図面を参照すると、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１の水膜形成ユニット３００は、捕集本体ユニット１００の内部に結合され、空気Ａの流動経路上に配置されるメッシュ網部材３１０及び捕集本体ユニット１００の内部に結合され、メッシュ網部材３１０より空気Ａの流動方向の上流に配置されるが、洗浄水Ｗを噴射してメッシュ網部材３１０に水膜を形成する水膜形成噴射部３２０を含むことができる。

【0040】

このように水膜形成ユニット３００が、メッシュ網部材３１０、水膜形成噴射部３２０を含むことによって、異物が含まれた空気Ａが通過する水膜を形成することができる。空気Ａは上記水膜を通過する必要があるため、上記水膜と異物の接触が発生し、これにより空気Ａ中の異物が上記水膜に混入して空気Ａから削除される。
特に、水膜形成噴射部３２０は、複数の孔が形成されたメッシュ網部材３１０に洗浄水Ｗを噴射し、洗浄水Ｗの粘性による水膜の形成をより容易にすることができる。

【0041】

さらに、本発明の一実施例に係る異物捕集装置１の水膜形成ユニット３００は、捕集本体ユニット１００の内部において、メッシュ網部材３１０より空気Ａの流動方向の下流に配置され、メッシュ網部材３１０に向かって洗浄水Ｗを噴射してメッシュ網部材３１０に滞積された異物を払い落とす目詰まり防止噴射部３３０を含むことができる。
このような目詰まり防止噴射部３３０は、メッシュ網部材３１０の複数の孔に異物が挟まることによって水膜の形成が妨害される問題を回避するために、空気Ａの流動方向の反対方向である空気Ａ流動の下流に配置され、メッシュ網部材３１０に洗浄水Ｗを噴射する。
一例として、図４に示したとおり、目詰まり防止噴射部３３０は、メッシュ網部材３１０の下部に備えられ、上部から下部に向かって空気Ａが通過する上記メッシュ網部材３１０に洗浄水Ｗを上向きに噴射する。

【0042】

図５は、本発明の電気鋼板Ｓの製造設備を示す構成図であり、上記図面を参照すると、本発明の他の実施例に係る電気鋼板Ｓの製造設備は、電気鋼板Ｓを収容するレーザルーム２、レーザルーム２の内部に備えられ、レーザを照射して電気鋼板Ｓの表面に溝を形成するレーザ装置３、及び電気鋼板Ｓの表面から飛散される異物を吸入するフード部材２ａからなり、フード部材２ａに連携されて異物を含む空気Ａが送られる異物捕集装置１を含む。

【0043】

このように本発明の電気鋼板Ｓの製造設備には、方向性電気鋼板Ｓに溝を形成して磁区微細化の製品を生産するために、レーザ装置３が備えられ、レーザ装置３による溝の形成時に発生するスパッタ、ヒュームなどの異物を除去する上記の異物捕集装置１が備えられる。
ここで、レーザルーム２には、レーザ装置３が備えられ、異物捕集装置１に異物が含まれた空気Ａを送達するためのフード部材２ａが備えられる。そして、レーザルーム２に電気鋼板Ｓが供給される。

【0044】

そして、レーザルーム２は、外部と隔離するために、電気鋼板Ｓの入口及び出口にエアカーテン２ｃが形成され、電気鋼板Ｓの移動を支持するためのローラー２ｂが備えられる。
上記レーザ装置は、電気鋼板Ｓに溝を形成するためにレーザを照射するように構成される。一例として、レーザ装置３はオンオフ制御系、レーザ発振器、光学系で構成され、オンオフ制御系は正常な作業条件下では、発振器をオン（Ｏｎ）することができ、鋼板蛇行量によって発振器を自動的にオフ（Ｏｆｆ）することができる。

【0045】

以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。

【符号の説明】

【0046】

１ 異物捕集装置
２ レーザルーム
２ａ フード部材
２ｂ ローラー
２ｃ エアカーテン
３ レーザ装置
１００ 捕集本体ユニット
１１０ 吸入口
１２０ 排出口
１３０ ミキシングハウジング部
１４０ 水膜ハウジング部
１５０ 水供給噴射部
１６０ ドレイン部
１７０ サクション部
１８０ デミスターフィルター（Ｄｅｍｉｓｔｅｒ ｆｉｌｔｅｒ）
２００ ミキシングユニット
２１０ ミキシングチャンバー部
２１１ チャンバー入口
２１２ チャンバー出口
２１３ 上壁部
２１４ 連通孔
２２０ ガイド部
２２１ 平板部材
２２２ 曲面板部材
２３０ 渦形成部材
２３１ 渦形成孔
３００ 水膜形成ユニット
３１０ メッシュ網部材
３２０ 水膜形成噴射部
３３０ 目詰まり防止噴射部
Ａ 空気
Ｓ 方向性電気鋼板
Ｗ 洗浄水

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】