特許 7292073 漏洩検査システムおよび漏洩検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-08

(45)【発行日】2023-06-16

(54)【発明の名称】漏洩検査システムおよび漏洩検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 3/38 20060101AFI20230609BHJP

【ＦＩ】

G01M3/38 K

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2019052152

(22)【出願日】2019-03-20

(65)【公開番号】P2020153802

(43)【公開日】2020-09-24

【審査請求日】2022-03-14

(73)【特許権者】

【識別番号】503063168

【氏名又は名称】東京ガスエンジニアリングソリューションズ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000129231

【氏名又は名称】株式会社ガスター

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100163496

【弁理士】

【氏名又は名称】荒 則彦

(72)【発明者】

【氏名】安部 健

(72)【発明者】

【氏名】原 毅

(72)【発明者】

【氏名】福吉 憲三

【審査官】岡村 典子

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－３３７４３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／０１６４４７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特表２００５－５２１８７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６２－２７３４３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３４６７９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０２８４８９１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－０７２７５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１９６０７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１２６３８４（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｍ ３／００－３／４０

Ｇ０１Ｎ ２１／００－２１／０１

Ｇ０１Ｎ ２１／１７－２１／６１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

検査対象物に検出光を放射し、前記検査対象物からの反射光を受光し、受光した光の強度に応じた信号を出力し、前記信号に基づき被検出ガスの濃度を計算するガス検知器と、
前記検出光の方向を制御する方向制御機構と、
前記方向制御機構と連動して前記ガス検知器から前記被検出ガスの濃度を取得し、前記濃度が所定値以上であるかを判断する漏洩判断部と、
を有し、
前記検査対象物の近傍に配置される識別コードを読み取り、読み取った識別コードから前記検査対象物の種別を判定する種別判定手段、または、前記検査対象物の画像を取得し、取得した画像から前記検査対象物の種別を判定する種別判定手段、をさらに有し、
前記方向制御機構が、前記種別判定手段で判定した種別に特有の照射領域に前記検出光が照射されるよう前記方向を制御する、
漏洩検査システム。

【請求項2】

前記漏洩判断部の判断結果を報知する報知部、をさらに有する
請求項１に記載の漏洩検査システム。

【請求項3】

前記方向制御機構が、前記検査対象物の全領域に渡って前記検出光が走査されるよう前記方向を制御する
請求項１または請求項２に記載の漏洩検査システム。

【請求項4】

前記方向制御機構が、前記検査対象物の所定のルートに沿って前記検出光が走査されるよう前記方向を制御する
請求項１または請求項２に記載の漏洩検査システム。

【請求項5】

前記方向制御機構が、前記検査対象物の単一の所定領域に前記検出光が照射されるよう前記方向を制御する
請求項１または請求項２に記載の漏洩検査システム。

【請求項6】

前記方向制御機構が、前記検査対象物の複数の所定領域に前記検出光が順次照射されるよう前記方向を制御する
請求項１または請求項２に記載の漏洩検査システム。

【請求項7】

前記ガス検知器が背景濃度を超える漏洩推定濃度を検出したとき、前記方向制御機構が、前記漏洩推定濃度を検知した時点における前記検出光の照射位置近傍での前記検出光の方向変位速度を、通常の方向変位速度より遅く制御する
請求項１から請求項６の何れか一項に記載の漏洩検査システム。

【請求項8】

前記ガス検知器が背景濃度を超える漏洩推定濃度を検出したとき、前記ガス検知器が、通常の測定積分時間より長い測定積分時間で前記被検出ガスを検出する
請求項１から請求項７の何れか一項に記載の漏洩検査システム。

【請求項9】

漏洩検査システムを用いた漏洩検査方法であって、
前記漏洩検査システムは、
検査対象物に検出光を放射し、前記検査対象物からの反射光を受光し、受光した光の強度に応じた信号を出力し、前記信号に基づき被検出ガスの濃度を計算するガス検知器と、
前記検出光の方向を制御する方向制御機構と、
前記方向制御機構と連動して前記ガス検知器から前記被検出ガスの濃度を取得し、前記濃度が所定値以上であるかを判断する漏洩判断部と、
を有し、
前記漏洩検査方法は、
前記被検出ガスを含む検査用ガスを前記検査対象物の内部に導入するステップと、
前記検査用ガスを導入した検査対象物に対し、前記検出光の方向を制御しつつ前記検出光を照射し、前記被検出ガスの濃度を測定するステップと、
測定した前記濃度が所定値以上であるかを判断するステップと、
を有し、
前記検査用ガスを導入するステップの前に、前記被検出ガスを実質的に含まない背景測定用ガスを前記検査対象物の内部に導入するステップと、
前記背景測定用ガスを導入した前記検査対象物に前記検出光を照射し、前記被検出ガスの背景濃度を測定するステップと、を有し、
前記濃度を測定するステップにおいて、前記被検出ガスの濃度測定値と前記背景濃度との差分を計算し、当該差分を前記被検出ガスの濃度として補正する
漏洩検査方法。

【請求項10】

前記濃度を測定するステップにおいて、前記被検出ガスの濃度測定値が前記背景濃度を超える所定の値以上である場合、前記検出光の方向変位速度を小さくする、または、前記ガス検知器の測定積分時間を長くする
請求項９に記載の漏洩検査方法。

【請求項11】

前記被検出ガスが可燃性ガスであり、前記検査用ガスに含まれる前記可燃性ガスの濃度が爆発下限界未満である
請求項９又は請求項１０に記載の漏洩検査方法。

【請求項12】

前記被検出ガスがメタンであり、前記検査用ガスに含まれるメタンの濃度が５ｖｏｌ％未満である
請求項１１に記載の漏洩検査方法。

【請求項13】

前記判断するステップにおいて前記濃度が所定値以上であると判断された場合、ガス漏洩がある旨の報知を行う
請求項９から請求項１２の何れか一項に記載の漏洩検査方法。

【請求項14】

被検出ガスを含む検査用ガスを検査対象物の内部に導入する第１ステップと、
前記検査対象物の近傍に配置される識別コードを読み取り、読み取った識別コードから前記検査対象物の種別を判定する、または、前記検査対象物の画像を取得し、取得した画像から前記検査対象物の種別を判定する、第２ステップと、
前記検査用ガスを導入した前記検査対象物に対し、方向制御機構によって検出光の方向を制御しつつ前記検出光を照射し、前記検査対象物からの反射光を受光し、受光した光の強度に応じた信号を出力し、ガス検知器によって前記信号に基づき被検出ガスの濃度を計算する、第３ステップと、
前記方向制御機構と連動して前記ガス検知器から前記被検出ガスの濃度を取得し、前記濃度が所定値以上であるかを判断する、第４ステップと、
を有し、
前記第３ステップにおいて、前記方向制御機構が、前記第２ステップで判定した種別に特有の照射領域に前記検出光が照射されるよう前記方向を制御する、
漏洩検査方法。

【請求項15】

検査対象物に検出光を放射し、前記検査対象物からの反射光を受光し、受光した光の強度に応じた信号を出力し、前記信号に基づき被検出ガスの濃度を計算するガス検知器と、
前記検出光の方向を制御する方向制御機構と、
前記方向制御機構と連動して前記ガス検知器から前記被検出ガスの濃度を取得し、前記濃度が所定値以上であるかを判断する漏洩判断部と、
を有し、
前記被検出ガスを実質的に含まない背景測定用ガスを導入した前記検査対象物に前記検出光を照射し、前記被検出ガスの背景濃度を測定する第１モードと、
前記被検出ガスを含む検査用ガスを導入した前記検査対象物に対し、前記検出光の方向を制御しつつ前記検出光を照射し、前記被検出ガスの濃度を測定する第２モードと、
測定した前記濃度が所定値以上であるかを判断する第３モードであり、前記被検出ガスの濃度測定値と前記背景濃度との差分を計算し、当該差分を前記被検出ガスの濃度として補正する、前記第３モードと、
を有する、
漏洩検査システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、漏洩検査システムおよび漏洩検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ガス湯沸かし器等のガス器具は、保安上の観点から、出荷時点においてガス漏れ等の不良がないことを厳重に管理する必要がある。ガス器具においてガス漏れが無いことを確認する方法として、たとえば、ガス器具内のガス配管に空気等の気体を封入し、液槽内に沈め、気泡の発生が無いことを確かめる方法や、漏れが発生しそうな箇所に漏れ検査用の液体（発泡性液体）を降りかけて、発泡が無いことを確かめる方法等が知られている。

【0003】

また、特許文献１は、既存の配管形態を変更することなく、配管接続作業の容易化とともに、製造、出荷時の気密漏れ検査の容易化を実現したガス燃焼機器及びその気密漏れ検査方法の発明を開示する。当該発明は、１又は２以上のバーナが設けられた機器本体、外部のガス供給管が連結可能な第１及び第２の連結部、バーナ側への燃料ガスの供給、その遮断又は供給量を調節する調節弁、第１の連結部と調節弁との間に第２の連結部を介在させて設けられた管路を備え、第１及び２の連結部の選択的な閉止を可能にし、第１又は第２の連結部への気密漏れ検査手段（リークテスタ及び圧搾ポンプ）を連結して管路を加圧し、気密漏れを検査可能にしたものであり、既設の配管設備を利用でき、製造出荷時での気密漏れ検査の容易化が実現できるとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０００－２９１９４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記した漏れ検査方法によって、確実に漏れが無いことを確認することはできる。しかし、ガス器具全体を液槽に沈める方法は、検査用の設備が大きくなる問題があり、液槽への沈降、引揚げ、乾燥等の操作が必要であり、検査のスループットを大きくできない問題がある。また、漏れの可能性がある箇所に検査用液体を降りかける方法は、降りかけなかった部分に漏れがあった場合には検出できない問題があり、検査後に検査用液体を拭き取る等の後処理が必要になる場合がある。

【0006】

本発明の目的は、ガス器具の漏れ検査を、確実かつ高いスループットで実現できる漏れ検査システムおよび漏れ検査方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、検査対象物に検出光を放射し、前記検査対象物からの反射光を受光し、受光した光の強度に応じた信号を出力し、前記信号に基づき被検出ガスの濃度を計算するガス検知器と、前記検出光の方向を制御する方向制御機構と、前記方向制御機構と連動して前記ガス検知器から前記被検出ガスの濃度を取得し、前記濃度が所定値以上であるかを判断する漏洩判断部と、を有する漏洩検査システムを提供する。前記漏洩判断部の判断結果を報知する報知部、をさらに有してもよい。

【0008】

なお、被検出ガスの濃度はコラム密度であってもよい。コラム密度は、検出光の光路上に当該検出光を吸収するガスが存在した場合に当該ガスによる光吸収の度合いから算出される当該ガスの密度であり、光路の長さに依存する。コラム密度を光路の長さで割れば当該ガスの光路上における平均濃度が算出される。よって、光路長が一定である限り、ガス濃度に代えてコラム密度を用いることができる。以下、本明細書において、光路長が一定の条件を満たす限り「濃度」の概念には「コラム密度」の概念を含むものとする。

【0009】

前記した漏洩検査システムにおいて、前記方向制御機構が、前記検査対象物の全領域に渡って前記検出光が走査されるよう前記方向を制御するものであってもよい。あるいは、前記方向制御機構が、前記検査対象物の所定のルートに沿って前記検出光が走査されるよう前記方向を制御するものであってもよい。あるいは、前記方向制御機構が、前記検査対象物の単一の所定領域に前記検出光が照射されるよう前記方向を制御するものであってもよい。あるいは、前記方向制御機構が、前記検査対象物の複数の所定領域に前記検出光が順次照射されるよう前記方向を制御するものであってもよい。さらに、前記検査対象物の近傍に配置される識別コードを読み取り、読み取った識別コードから前記検査対象物の種別を判定する種別判定手段、または、前記検査対象物の画像を取得し、取得した画像から前記検査対象物の種別を判定する種別判定手段、をさらに有し、前記方向制御機構が、前記種別判定手段で判定した種別に特有の照射領域に前記検出光が照射されるよう前記方向を制御するものであってもよい。

【0010】

前記した漏洩検査システムにおいて、前記ガス検知器が背景濃度を超える漏洩推定濃度を検出したとき、前記方向制御機構が、前記漏洩推定濃度を検知した時点における前記検出光の照射位置近傍での前記検出光の方向変位速度を、通常の方向変位速度より遅く制御するものであってもよい。前記ガス検知器が背景濃度を超える漏洩推定濃度を検出したとき、前記ガス検知器が、通常の測定積分時間より長い測定積分時間で前記被検出ガスを検出するものであってもよい。

【0011】

本発明の第２の態様においては、前記した漏洩検査システムを用いた漏洩検査方法であって、前記被検出ガスを含む検査用ガスを前記検査対象物の内部に導入するステップと、前記検査用ガスを導入した検査対象物に対し、前記検出光の方向を制御しつつ前記検出光を照射し、前記被検出ガスの濃度を測定するステップと、測定した前記濃度が所定値以上であるかを判断するステップと、を有する漏洩検査方法を提供する。

【0012】

前記した漏洩検査方法において、前記検査用ガスを導入するステップの前に、前記被検出ガスを実質的に含まない背景測定用ガスを前記検査対象物の内部に導入するステップと、前記背景測定用ガスを導入した前記検査対象物に前記検出光を照射し、前記被検出ガスの背景濃度を測定するステップと、をさらに有し、前記濃度を測定するステップにおいて、前記被検出ガスの濃度測定値と前記背景濃度との差分を計算し、当該差分を前記検出ガスの濃度として補正するものであってもよい。この場合、前記濃度を測定するステップにおいて、前記被検出ガスの濃度測定値が前記背景濃度を超える所定の値以上である場合、前記検出光の方向変位速度を小さくする、または、前記ガス検知器の測定積分時間を長くするものであってもよい。

【0013】

前記した漏洩検査方法において、前記被検出ガスが可燃性ガスであり、前記検査用ガスに含まれる前記可燃性ガスの濃度が爆発下限界未満であってもよい。たとえば前記被検出ガスがメタンであり、前記検査用ガスに含まれるメタンの濃度が５ｖｏｌ％未満であってもよい。前記判断するステップにおいて前記濃度が所定値以上であると判断された場合、ガス漏洩がある旨の報知を行ってもよい。なお、上記した「導入」の概念には、「封入」および「流しながら」の何れの概念も含むものとする。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】漏洩検査システム１０の概要を示した構成図である。

【図2】ガス検知器１００、方向制御機構２００および制御部３００の概要を示したブロック図である。

【図3】方向制御機構２００における検出光１２０の方向制御の一例を示した概念図である。

【図4】方向制御機構２００における検出光１２０の方向制御の一例を示した概念図である。

【図5】方向制御機構２００における検出光１２０の方向制御の一例を示した概念図である。

【図6】漏洩検査方法の一例を示したフロー図である。

【図7】漏洩検査方法の一例を示したフロー図である。

【図8】漏洩検査方法の一例を示したフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

（実施の形態）
図１は、漏洩検査システム１０の概要を示した構成図である。本実施の形態の漏洩検査システム１０は、検査対象物５００の漏洩検査を行うものであり、ガス検知器１００、方向制御機構２００、制御部３００およびガス供給系４００を有する。図２は、ガス検知器１００、方向制御機構２００および制御部３００の概要を示したブロック図である。

【0016】

検査対象物５００は、漏洩検査システム１０における検査対象物であり、たとえばガス湯沸かし器等のガス器具である。漏洩検査システム１０は、ガス器具等を出荷する前に、当該製品にガス漏洩等がないことを確かめるための出荷前検査に用いることができる。以下の説明において、主にガス漏れ検査について説明するが、漏洩検査システム１０は、水導管における液漏れ検査やラジエータ、排気マフラーまたは貯湯タンクなどの気密性検査などにも適用することが可能である。

【0017】

検査対象物５００は、筐体５０２の内部に、熱交換部５０４、燃焼部５０６、コントローラ部５０８を有し、ガス接続ポート５１０を有する。なお、検査対象物５００の一例であるガス器具には通常全面がパネルで覆われているが、ここでは、内部の漏れ検査を実施する関係で、前面パネルを外した状態を示している。

【0018】

燃焼部５０６は、ガス導管（図示せず）から供給される都市ガスやプロパンガス等の可燃性ガスを安全に燃焼させる構造体であり、熱交換部５０４は、燃焼部５０６で得られた熱を水導管（図示せず）に導かれた水に熱交換する機能を有する。コントローラ部５０８は、燃焼部５０６を制御するとともに、水導管およびガス導管に導かれた水および可燃性ガスを制御する。ガス導管はガス接続ポート５１０に接続され、ガス接続ポート５１０を介して外部から燃焼ガスの供給を受ける。なお、水導管に接続される水接続ポートは図示を省略している。

【0019】

ガス検知器１００は、光源部１０２、受光部１０４、信号検出部１０６、濃度計算部１０８および表示部１１０を有する。ガス検知器１００は、検査対象物５００に光源部１０２が放射した検出光１２０を照射し、検査対象物５００からの反射光１２２を受光部１０４が受光し、受光した光の強度に応じた信号を信号検出部１０６が出力し、信号に基づき被検出ガスの濃度を濃度計算部１０８が計算する。

【0020】

光源部１０２は、検出光１２０を放射する。光源部１０２は、たとえば周波数変調されたレーザ光を検出光１２０として放射する。レーザ光を周波数変調することでガス濃度に応じた２倍波信号が生じる。検出光１２０の波長（周波数）は、被検出ガスに吸収されるが背景ガスには吸収されない波長が好ましい。被検出ガスがメタンである場合、検出光１２０として発振波長が１．６５μｍ帯の赤外レーザ光を用いることができる。被検出ガスが硫化水素である場合、検出光１２０として発振波長が１．５７μｍ帯の赤外レーザ光を用いることができる。なお、光源部１０２に半導体レーザ発振器を用いる場合、被検出ガスが封入された標準セルを準備し、当該標準セルでの光吸収を参照して、検出光１２０の発振波長が被検出ガスの吸収線の中心に一致するよう半導体レーザ発振器の動作温度等を調整することが好ましい。

【0021】

受光部１０４は、検査対象物５００からの反射光１２２を受光し、受光した光の強度に応じた信号を出力する。受光部１０４として、たとえばフォトダイオード、フォトマルチプライヤー等の光電変換素子とその駆動検出回路を例示することができる。受光部１０４には、たとえばバンドパスフィルタ等の光学フィルタ、スリット、分光機構等を備えてもよい。

【0022】

信号検出部１０６は、受光部１０４が出力した受光信号を受け、当該受光信号から、検出光１２０の変調周波数に等しい周波数の基本波信号、および変調周波数の２倍に等しい周波数の２倍波信号を検出する。基本波信号および２倍波信号の検出には同期検波を用いることができる。

【0023】

濃度計算部１０８は、受光部１０４が出力する信号に基づき被検出ガスの濃度を計算し、表示部１１０は、濃度計算部１０８が計算した被検出ガスの濃度を表示する。また、濃度計算部１０８は、計算した濃度値を有線または無線により出力する出力手段を有する。測定された濃度値は出力手段を介して制御部３００に送信される。

【0024】

方向制御機構２００、検出光１２０の方向を制御する。方向制御機構２００は、ベースステージ２０２、垂直方向制御ステージ２０４、水平方向制御ステージ２０６および方向制御部２０８を有する。ガス検知器１００は水平方向制御ステージ２０６に固定される。垂直方向制御ステージ２０４は、ベースステージ２０２に対して矢印ａ１の方向に円弧状にスライドされ、ガス検知器１００を矢印ａ２の方向に揺動し、検査対象物５００における検出光１２０の照射点を矢印ａ３に示すように垂直方向に変位させる。水平方向制御ステージ２０６は、垂直方向制御ステージ２０４に対して矢印ｂ１の方向に回転してスライドされ、ガス検知器１００を矢印ｂ２の方向に揺動し、検査対象物５００における検出光１２０の照射点を矢印ｂ３に示すように水平方向に変位させる。方向制御部２０８は、垂直方向制御ステージ２０４および水平方向制御ステージ２０６の動きを制御する。

【0025】

制御部３００は、漏洩判断部３０２および報知部３０４を有する。漏洩判断部３０２は、方向制御機構２００と連動してガス検知器１００から被検出ガスの濃度を取得し、濃度が所定値以上であるかを判断する。方向制御機構２００との連動は、方向制御部２０８に方向制御信号を送信し、あるいは方向制御部２０８から測定のタイミング信号を受信し、これら方向制御信号あるいはタイミング信号と連動してガス検知器１００から濃度値を取得することで前記連動を実現できる。報知部３０４は、漏洩判断部３０２の判断結果を報知する。

【0026】

ガス供給系４００は、ガス接続ポート５１０を経由して検査対象物５００に検査用ガスおよび背景測定用ガスを供給する。ガス供給系４００は、検査用ガスが充填された検査用ガスボンベ４０２、検査用ガスボンベ４０２用のストップバルブ４０４、背景測定用ガスが充填された背景測定用ガスボンベ４０６、背景測定用ガスボンベ４０６用のストップバルブ４０８を有する。ストップバルブ４０４，４０８の下流側はガス接続ポート５１０に接続される。なお、各ガスボンベの出口には、圧力調整用のレギュレータやミスト除去用のフィルタ等が設置されても良く、各ボンベやバルブ間は、高いガス圧力に耐え得る程度のシール性能を有したコネクタにより接続されるが、ここでは詳細な説明を省略する。

【0027】

検査用ガスには被検出ガスを含み、背景測定用ガスには被検出ガスを実質的に含まない。ここで実質的に含まないとは、被検出ガスを全く含まない場合の他、ごく微量の被検出ガスを含むこともあり得るが、その場合、検出限度以下の被検出ガスを含む場合に限られる主旨である。被検出ガスは可燃性ガスであってよく、この場合、検査用ガスに含まれる可燃性ガスの濃度は爆発下限界未満であってよい。被検出ガスとしてメタンが例示でき、この場合、検査用ガスに含まれるメタンの濃度は５ｖｏｌ％未満とすることができる。

【0028】

上記したガス検知器１００は、検査対象物５００に検出光１２０を照射し、漏洩があった場合に検出される被検出ガスの濃度を測定する。漏洩があった場合には、当該漏洩箇所で被検出ガスの濃度が最も高くなるはずなので、最も高い濃度値を示す検出光１２０の照射位置を漏洩箇所と推定することができる。すなわち、本実施の形態の漏洩検査システム１０によれば、漏洩箇所を容易に特定することができる。

【0029】

図３から図５は、方向制御機構２００における検出光１２０の方向制御の一例を示した概念図である。なお、図３から図５において、検査対象物５００の筐体５０２内にある熱交換部５０４等の部材については破線で示している。

【0030】

方向制御機構２００は、図３に示すように、検査対象物５００の全領域に渡って検出光１２０が走査されるよう方向を制御することができる。すなわち、前記した方向制御機構２００を操作して検出光１２０の方向を制御し、図３に示すライン５１２に沿って検出光１２０を走査することで検査対象物５００の全領域に渡り漏れ検査を実施することができる。これにより、検査対象物５００の全領域に渡り遺漏なく漏れ検査を実施できる。

【0031】

また、方向制御機構２００は、図４に示すように、検査対象物５００の所定のルート５１４に沿って検出光１２０が走査されるよう方向を制御することができる。上記同様、方向制御機構２００を操作して検出光１２０の方向を制御し、図４に示すルート５１４に沿って検出光１２０を走査する。漏れが発生し得ない、あるいは実質的に漏れの可能性がない領域をパスし、漏れ検査が必要な領域（ルート５１４）に絞って検査を実施することができ、検査の効率を高めることができる。

【0032】

また、方向制御機構２００は、図５に示すように、検査対象物５００の複数の所定領域５１６ａ～５１６ｄに検出光１２０が順次照射されるよう方向を制御することができる。上記同様、方向制御機構２００を操作して検出光１２０の方向を制御できる。図４の場合と同様、漏れ検査が必要な領域（所定領域５１６ａ～５１６ｄ）に絞って検査を実施することができ、検査の効率を高めることができる。

【0033】

なお、方向制御機構２００は、検査対象物５００の単一の所定領域に検出光１２０が照射されるよう方向を制御することも可能である。また、図５に示すように、検査対象物５００の近傍に識別コード５２０が配置されてもよく、この場合、識別コード５２０を読み取り、読み取った識別コード５２０から検査対象物５００の種別を判定し、方向制御機構２００が、判定した種別に特有の照射領域に検出光１２０が照射されるよう方向を制御してもよい。種別の判定は、検査対象物５００の画像を取得し、取得した画像から検査対象物５００の種別を判定してもよい。

【0034】

ガス検知器１００が背景濃度を超える漏洩推定濃度を検出したとき、方向制御機構２００は、漏洩推定濃度を検知した時点における検出光１２０の照射位置近傍での検出光１２０の方向変位速度を、通常の方向変位速度より遅く制御してもよい。あるいは、ガス検知器１００が背景濃度を超える漏洩推定濃度を検出したとき、ガス検知器１００は、通常の測定積分時間より長い測定積分時間で被検出ガスを検出してもよい。通常の方向変位速度より遅く、あるいは、通常の測定積分時間より長く測定すること、すなわち詳細測定を行うことで、微量な漏洩を精度よく検知することが可能になる。

【0035】

図６は、漏洩検査方法の一例を示したフロー図である。まず、ガス供給系４００のストップバルブ４０８を開操作し、被検出ガスを実質的に含まない背景測定用ガスを検査対象物５００の内部のガス導管に導入し、ストップバルブ４０８を閉操作して背景測定用ガスを封止する（ステップ６０２）。なお、背景測定用ガスの導入前にガス導管内のガスを排気しておくことが好ましく、封止された背景測定用ガスは大気圧以上の加圧状態であることが好ましい。

【0036】

次に、背景測定用ガスを導入した検査対象物５００に検出光１２０を照射し、被検出ガスの背景濃度を測定し（ステップ６０４）、背景測定用ガスを排気する（ステップ６０６）。

【0037】

次に、ガス供給系４００のストップバルブ４０４を開操作し、被検出ガスを含む検査用ガスを検査対象物５００の内部のガス導管に導入し、ストップバルブ４０４を閉操作して検査用ガスを封止する（ステップ６０８）。なお、封止された検査用ガスは大気圧以上の加圧状態であることが好ましい。

【0038】

次に、検査用ガスを導入した検査対象物５００に対し、検出光１２０の方向を制御しつつ検出光１２０を照射し、被検出ガスの濃度を測定する（ステップ６１０）。被検出ガスの濃度測定値とステップ６０４で測定した背景濃度との差分を計算し、当該差分を検出ガスの濃度として補正する（ステップ６１２）。その後、測定（補正）した濃度が所定値以上であるかを判断し（ステップ６１４）、濃度が所定値以上であると判断された場合、ガス漏洩がある旨の報知を行う（ステップ６１６）。

【0039】

以上のように漏洩検査を行うことができる。図６に示す方法によれば、被検出ガスの背景濃度を用いて濃度測定値を補正するので、被検出ガス濃度の測定精度を高めることができ、正確な漏洩検査を実施することができる。なお、図６に示す方法において、背景濃度の測定は必須ではなく、背景濃度を測定するためのステップおよび背景濃度により補正するステップはなくてもよい。

【0040】

図７は、漏洩検査方法の一例を示したフロー図である。図７に示す漏洩検査方法は、図５に示すような識別コード５２０が配置されている場合の検査方法であり、図６に示す方法と同様の構成については説明を省略する。

【0041】

まず、識別コード５２０を読み取り、検査対象物５００の種別を判定する（ステップ７０２）。その後、種別に特有の照射領域を選択し（ステップ７０４）、上記したステップ６０２からステップ６１６に従って漏洩検査を実施する。ただし、前記したステップ６１０の被検出ガスの濃度測定においては、検出光１２０の制御を、ステップ７０４で選択した照射領域に制御して測定を行う（ステップ７０６）。

【0042】

図７に示す漏洩検査方法においては、被検査対象となるガス製品が複数種類あったとしても、識別コード５２０で種別が特定されるので、種別に応じた検査領域を検査することができ、多数種類が混在した検査を適切に制御して検査を実施できる。

【0043】

図８は、漏洩検査方法の一例を示したフロー図である。図８に示す漏洩検査方法は、微細な漏洩を感度よく検出できる方法であり、図７に示す方法と同様の構成については説明を省略する。

【0044】

図８に示す漏洩検査方法では、ステップ６１２の差分計算の後、ステップ６１４の漏洩判定の前に、漏洩推定判定を行う（ステップ８０２）。漏洩推定判定は、漏洩判定には至らないものの、微細な漏洩を検知した場合の高精度な測定を可能とするためのステップであり、被検出ガスの濃度測定値が背景濃度を超える所定の値（漏洩判定には至らないものの微細な漏洩があるとみなせる値）以上である場合に、ステップ８０４およびステップ８０６を実施する。なお、ステップ８０２で漏洩と判定できる程度の被検出ガス濃度が検出された場合には、ステップ６１６に進んで漏洩有の報知を行ってもよい。

【0045】

ステップ８０４では、漏洩が推定される同照射領域の被検出ガス濃度を詳細に再測定する。ここで詳細な再測定として、検出光１２０の方向変位速度を小さくする、または、ガス検知器１００の測定積分時間を長くする、ことが挙げられる。検出光１２０の方向変位速度を小さくすること、または、ガス検知器１００の測定積分時間を長くすることで、測定精度を高くすることができる。

【0046】

その後、背景濃度測定値と再測定した被検出ガス濃度測定値の差分を計算し（ステップ８０６）、当該差分を被検出ガスの濃度測定値として、ステップ６１４の漏洩判定を行う。

【0047】

上記した図８の漏洩検査方法によれば、漏洩のありそうな領域についてのみ高い精度で漏洩判定を行い、その他の領域では通常の精度で測定を行う。一般に高い精度での濃度測定は時間がかかるものであることから、本検査方法は、検査の精度を高めつつも検査時間の増加を極小化するものと言える。すなわち本検査方法によれば、検査時間を短縮しつつ検査精度を高めることができる。

【0048】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。たとえば、上記した実施の形態では、検出光１２０の方向制御を、ベースステージ２０２、垂直方向制御ステージ２０４、水平方向制御ステージ２０６および方向制御部２０８を有する方向制御機構２００により行ったが、光源部１０２を出射した検出光１２０を単一または複数のミラーで反射し、当該ミラーの反射角を制御することで方向制御を行ってもよい。また、上記した実施の形態では、検査対象物５００の種別の判定・選択を識別コード５２０により行ったが、検査対象物５００を撮像した画像を画像認識させ、当該画像認識の結果から種別を判定・選択してもよい。

【0049】

上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【0050】

たとえば、上記した実施の形態では、背景測定用ガスあるいは検査用ガスを封止して漏洩判定する例を説明したが、背景測定用ガスあるいは検査用ガスを流した状態で漏洩判定を行ってもよい。

【符号の説明】

【0051】

１０…漏洩検査システム、１００…ガス検知器、１０２…光源部、１０４…受光部、１０６…信号検出部、１０８…濃度計算部、１１０…表示部、１２０…検出光、１２２…反射光、２００…方向制御機構、２０２…ベースステージ、２０４…垂直方向制御ステージ、２０６…水平方向制御ステージ、２０８…方向制御部、３００…制御部、３０２…漏洩判断部、３０４…報知部、４００…ガス供給系、４０２…検査用ガスボンベ、４０４…ストップバルブ、４０６…背景測定用ガスボンベ、４０８…ストップバルブ、５００…検査対象物、５０２…筐体、５０４…熱交換部、５０６…燃焼部、５０８…コントローラ部、５１０…ガス接続ポート、５１２…ライン、５１４…ルート、５１６ａ～５１６ｄ…所定領域、５２０…識別コード。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】