特許 7292713 光学検査機の検査機能確認方法および検査機能確認装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-09

(45)【発行日】2023-06-19

(54)【発明の名称】光学検査機の検査機能確認方法および検査機能確認装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/892 20060101AFI20230612BHJP

【ＦＩ】

G01N21/892 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019089576

(22)【出願日】2019-05-10

(65)【公開番号】P2020186927

(43)【公開日】2020-11-19

【審査請求日】2022-02-04

(73)【特許権者】

【識別番号】591114641

【氏名又は名称】株式会社ヒューテック

(74)【代理人】

【識別番号】110001704

【氏名又は名称】弁理士法人山内特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】久森 康正

(72)【発明者】

【氏名】斉藤 謙次

(72)【発明者】

【氏名】平田 健一郎

【審査官】田中 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０６８８８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２０５３７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－００２８６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－１７４７１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０６９６５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１７７８５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１７３０４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－２２６０９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－２６４８０３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／８４－２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／００－１１／３０

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一のローラから他のローラへ搬送される帯状被検査対象を、前記一のローラから前記他のローラに到るまでの間に照射光の反射、透過または散乱により検査する光学検査機に、該光学検査機に着脱自在である検査機能確認装置を取り付ける工程と、
前記検査機能確認装置に設けられたサンプルテーブルに前記帯状被検査対象の一部であり、かつ前記光学検査機以外の検査機で欠陥が存在すると判断された部分を取り付ける工程と、
前記検査機能確認装置に設けられた動力装置により、前記サンプルテーブルを、前記帯状被検査対象の、前記一のローラから前記他のローラに到るまでの動作方向と平行な方向へ動作させる工程と、
前記サンプルテーブルを動作させながら、前記光学検査機により検査光を照射させ、前記帯状被検査対象の一部に存在する欠陥が検知できるかを確認する工程、
を含む、
光学検査機の検査機能確認方法。

【請求項2】

前記サンプルテーブルが、
前記照射光が通過するための光通過部を有している、
ことを特徴とする請求項１記載の光学検査機の検査機能確認方法。

【請求項3】

前記帯状被検査対象の一部を覆うサンプルカバーが設けられている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の光学検査機の検査機能確認方法。

【請求項4】

前記動力装置が、
可搬式電力供給装置により動作される、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光学検査機の検査機能確認方法。

【請求項5】

請求項１から４のいずれかに記載の光学検査機の検査機能確認方法で用いられる検査機能確認装置であって、
前記帯状被検査対象の一部であり、かつ前記光学検査機以外の検査機で欠陥が存在すると判断された部分が保持可能なサンプルテーブルと、
該サンプルテーブルを前記帯状被検査対象の、前記一のローラから前記他のローラに至るまでの動作方向と平行な方向へ動作させる動力装置と、を有し、
前記光学検査機に対し着脱自在である、
ことを特徴とする検査機能確認装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査機能確認装置に関する。さらに詳しくは、光学検査機の検査機能を確認する検査機能確認装置に関する。

【背景技術】

【0002】

フィルムなど帯状製品の製造ラインでは、ロール・ツー・ロール方式が多く採用されており、これらの帯状製品は、製造ラインにおいて、帯状製品が一方のロールから送り出され他方のロールに引き取られる間の、水平方向に搬送されている際に、例えば光学的手法によりその表面の欠陥、例えばスジ状の傷が検査される。かかる検査では、蛍光灯、ＬＥＤ等の光源から発せられる照射光を被検査対象の表面に照射する。すると、被検査対象の表面が平坦面であれば、正常な表面では正反射のみが生じる一方、欠陥が存在する表面では、乱反射により散乱光が発生する。したがって、撮影手段によって被検査対象を撮影すれば、撮影された散乱光の強度に基づいて、傷等の欠陥の有無を判断することができる。なお、被検査対象が透明である場合には、光学検査機は、反射光だけでなく、透過光を用いて欠陥の検査を行うことも可能である。また光学検査機は、いわゆる暗視野による検査を行う場合も含む。

【0003】

帯状製品は、帯状製品のメーカ（本明細書では第１メーカと称することがある）の製造ラインで製造されたあと、帯状製品から次の製品を作るメーカ（本明細書では第２メーカと称することがある）に納入される。第２メーカで製品を製造する際に、帯状製品の欠陥が発見されると、このような欠陥がある製品が再度誤って納入されないように、第１メーカは、第１メーカの製造ラインに設置された検査機で、この欠陥が測定されるかどうかを確認する必要がある。しかし、帯状製品がすでに裁断されていることが多いという点、および再度製造ラインに帯状製品を張り直す必要があるという点を考慮すると、一般的には欠陥が発見された帯状製品を第１メーカの製造ラインに設置された検査機で、欠陥を直接確認することは実質的に不可能である。そこで、従来、このような欠陥が発見されると、第１メーカは、検査機のメーカに、製造ラインでの検査機によりこの欠陥が発見できるかどうかを確認する必要があった。この確認には、検査機のメーカのデモ機などを使用する必要があったため、数週間から１か月程度の時間を要するという問題があった。

【0004】

特許文献１には、帯状被検査材の表面欠陥を検出することができる表面検査装置のオフライン調整装置が開示されている。このオフライン調整装置はサンプル板が取り付けられるサンプル板取付部と、このサンプル板をスライドさせるスライド手段と、が備えられている。例えば、このサンプル板取付部に、欠陥をもった帯状製品の一部を保持させることで、検査機のメーカのデモ機を使用することなく、第１メーカに納入されている検査機で、欠陥が検出できるかどうかを確認することが可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１３－２０５３７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１のオフライン調整装置の目的は、サンプルを用いて表面検査装置における検査しきい値の調整を行うことである。この調整は頻繁に行う必要があり、そのためこのオフライン調整装置は、表面検査装置に付属している。

【0007】

しかるに、表面検査装置に付属しており、なおかつ表面検査装置自体を移動させる必要があるため、装置全体が大きくなるという問題がある。また、帯状製品の欠陥が発見されずに第２メーカに帯状製品が納入される事態が発生する頻度は高くなく、この低頻度の事態に対して高価なオフライン調整装置を付属させることは、費用対効果が著しく低下するという問題がある。加えて、表面検査装置に付属していることから、他の表面検査装置に流用することができないという問題がある。

【0008】

本発明は上記事情に鑑み、光学的手法を用いた検査装置全体の大きさを大きくすることなく、シンプルな構造で検査装置の機能を確認できる検査機能確認装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

第１発明の光学検査機の検査機能確認方法は、一のローラから他のローラへ搬送される帯状被検査対象を、前記一のローラから前記他のローラに到るまでの間に照射光の反射、透過または散乱により検査する光学検査機に、該光学検査機に着脱自在である検査機能確認装置を取り付ける工程と、前記検査機能確認装置に設けられたサンプルテーブルに前記帯状被検査対象の一部であり、かつ前記光学検査機以外の検査機で欠陥が存在すると判断された部分を取り付ける工程と、前記検査機能確認装置に設けられた動力装置により、前記サンプルテーブルを、前記帯状被検査対象の、前記一のローラから前記他のローラに到るまでの動作方向と平行な方向へ動作させる工程と、前記サンプルテーブルを動作させながら、前記光学検査機により検査光を照射させ、前記帯状被検査対象の一部に存在する欠陥が検知できるかを確認する工程、を含むことを特徴とする。
第２発明の光学検査機の検査機能確認方法は、第１発明において、前記サンプルテーブルが、前記照射光が通過するための光通過部を有していることを特徴とする。
第３発明の光学検査機の検査機能確認方法は、第１発明または第２発明において、前記帯状被検査対象の一部を覆うサンプルカバーが設けられていることを特徴とする。
第４発明の光学検査機の検査機能確認方法は、第１発明から第３発明のいずれかにおいて、前記動力装置が、可搬式電力供給装置により動作されることを特徴とする。
第５発明の検査機能確認装置は、第１発明から第４発明のいずれかの光学検査機の検査機能確認方法で用いられる検査機能確認装置であって、前記帯状被検査対象の一部であり、かつ前記光学検査機以外の検査機で欠陥が存在すると判断された部分が保持可能なサンプルテーブルと、該サンプルテーブルを前記帯状被検査対象の、前記一のローラから前記他のローラに至るまでの動作方向と平行な方向へ動作させる動力装置と、を有し、前記光学検査機に対し着脱自在であることを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

第１発明によれば、検査機能確認装置が、サンプルテーブルを帯状被検査対象の動作方向と平行な方向へ動作させる動力装置を有し、この動力装置によりサンプルテーブルを所定の方向へ動作させることにより、傷などの瑕疵を実際に検査する姿勢で、瑕疵を検出する機能を確認できるので、検出機能を確実に確認できる。また、検査機能確認装置が光学検査機に対して着脱自在であることにより、光学検査機が、常時検査機能確認装置を含む必要がなくなり、光学検査機の大きさを大きくする必要がない。加えて、他のメーカ製の検査装置などにも取り付け、その検査装置の検査機能を確認することも可能となる。
第２発明によれば、サンプルテーブルが、照射光が通過するための光通過部を有していることにより、透過光を利用する光学検査機の検査機能を確認することができる。
第３発明によれば、被検査対象を覆うサンプルカバーが設けられていることにより、光投下部からの検査光以外の光を抑制でき、検査機能の確認の精度を上げることができる。
第４発明によれば、動力装置が、可搬式電力供給装置により動作することにより、ケーブルにより電力を供給する必要がなくなり、検査機能確認装置の使用がよりフレキシブルになる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の第１実施形態に係る検査機能確認装置の側面方向からの断面図である。

【図2】図１の検査機能確認装置が使用される光学検査機の概略の平面図である。

【図3】図２の光学検査機の概略の側面図である。

【図4】図２の光学検査機の撮影方法の概略の説明図である。

【図5】図２の光学検査機の投光部の概略の側面断面図である。

【図6】図１の検査機能確認装置の平面図である。

【図7】図１の検査機能確認装置の側面図である。

【図8】図１の検査機能確認装置の使用方法の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための検査機能確認装置を例示するものであって、本発明は検査機能確認装置を以下のものに特定しない。なお、各図面が示す部材の大きさまたは位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。また、本明細書で記載の「水平」、「鉛直」の記載は、実質的水平または実質的鉛直であることを意味し、厳密に水平または鉛直である必要はない。

【0013】

本発明の第１実施形態に係る検査機能確認装置１０は、一のローラから他のローラへ搬送される帯状被検査対象Ｓを、一のローラから他のローラへ至るまでの間に照射光の反射、透過または散乱により検査する光学検査機４０のための検査機能確認装置１０であって、帯状被検査対象Ｓの一部が保持可能なサンプルテーブル１１と、このサンプルテーブル１１を帯状被検査対象Ｓの、一のローラから他のローラに至るまでの動作方向と平行な方向へ動作させる動力装置と、を有している。そして検査機能確認装置１０は光学検査機４０に対して着脱自在である。

【0014】

本明細書では、最初に本実施形態に係る検査機能確認装置１０が使用される光学検査機４０について説明した後、検査機能確認装置１０について説明する。

【0015】

（光学検査機４０）
図２は、本実施形態に係る検査機能確認装置１０が使用される光学検査機４０の概略の平面図、図３は、この光学検査機４０の概略の側面図、図４は、この光学検査機４０の撮影方法の概略の説明図、図５はこの光学検査機４０の投光部３３の概略の側面方向の断面図である。ここで説明する光学検査機４０は、照射光の反射を利用したものである。照射光は直線状の投光部３３から照射され、その反射光が撮影部３０によって撮影されて、帯状被検査対象Ｓ上の瑕疵が検出される。

【0016】

図３に示すように、光学検査機４０で検査される対象である帯状被検査対象Ｓは、いわゆるロール・ツー・ロールにより搬送され、その搬送途中で欠陥などが検査される。帯状被検査対象Ｓは、例えばフィルム、紙、印刷物、布、金属等からなるシート状の部材などが該当する。図３の紙面において右側に位置する巻き出しローラ３６に巻き付いていた帯状被検査対象Ｓが、巻き出しローラ３６内に記載されている矢印の方向に、巻き出しローラ３６が回転することによって引き出される。そして、図３の紙面において左側に位置する巻き取りローラ３７に、順次帯状被検査対象Ｓは巻き取られる。光学検査機４０は、巻き出しローラ３６と巻き取りローラ３７との間において、帯状被検査対象Ｓが水平に搬送される部分において、欠陥等の検査を行う。

【0017】

図３に示すように、本実施形態に係る光学検査機４０は、帯状被検査対象Ｓにおいて検査を行う表面側に、被検査対象Ｓの表面に対して光を照射する投光部３３と、帯状被検査対象Ｓの表面の検査位置ＤＬを撮影する撮影部３０と、撮影部３０によって撮影された信号に基づいて傷等の有無を判断する解析部３５とを備えている。なお、解析部３５は、投光部３３および撮影部３０と電気的に接続されており、両者の作動を制御する機能も有している。

【0018】

図４に示すように、撮影部３０は、撮像部３１と、レンズ３２とを備えている。 撮像部３１は、投光部３０から帯状被検査対象Ｓの表面に照射された光のうち被検査対象Ｓの表面で反射した光を受光するものであり、例えば、ラインセンサ等のように複数の受光素子３１ａを有している。レンズ３２は、反射光を集光して、撮像部３１の受光素子３１ａに集光した光を入射するものである。

【0019】

この撮影部３０においては、帯状被検査対象Ｓの表面が滑らかな面であれば、帯状被検査対象Ｓの表面において照射光と等しい角度で反射される反射光（正反射光）が、レンズ３２によって集光されて各受光素子３１ａに入射されるように配設されている。

【0020】

なお、撮像部３１がラインセンサ等のように複数の受光素子３１ａが並んで配設されているものの場合には、撮影部３０は、複数の受光素子３１ａが並ぶ方向と帯状被検査対象Ｓの幅方向とが平行となるように配設される。また、撮影部３０の撮像部３１は、受光素子３１ａを複数有するものであれば問題ないが、単体であっても同様の機能を有し、帯状被検査対象Ｓの表面で反射した光を検出できる受光素子３１ａを有する機器であれば、とくに限定されない。

【0021】

図２および図５に示すように、投光部３３は帯状被検査対象Ｓの幅方向（図２では紙面の左右方向、図３および図５では紙面の奥行方向）に沿って延びたものであり、帯状被検査対象Ｓの幅方向と平行な略直線状の光を放出することができるものである。

【0022】

図５に示すように、投光部３３は光を放出する発光体３３ａを備えている。この発光体３３ａは、例えば、帯状被検査対象Ｓの幅方向と平行に配設された棒状の蛍光灯、または帯状被検査対象Ｓの幅方向に沿って複数のＬＥＤ素子が一列に並んで配設された回路などをあげることができるが、とくにこれに限定されない。

【0023】

以下では、投光部３３において、帯状被検査対象Ｓの幅方向と平行な方向を投光部３３の軸方向という。例えば、発光体３３ａが棒状の蛍光灯の場合であればその軸方向、また、ＬＥＤ素子が一列に並んで配設された発光体３３ａの場合であればＬＥＤ素子が並んでいる方向を、投光部３３の軸方向という。

【0024】

なお、検査精度を高める上では、帯状被検査対象Ｓの走行方向（図２では紙面の上下方向、図３では左から右への方向および図５では紙面の左右方向）において、帯状被検査対象Ｓに照射される光の幅があまり広くないほうが好ましい。帯状被検査対象Ｓに照射される光における走行方向の幅を制限する方法はとくに限定されないが、例えば、図５に示すような構造を有する投光部３３を採用することができる。すなわち、図５に示すように、投光部３３に、ケース３３ｂが設けられ、このケース３３ｂ内に蛍光灯またはＬＥＤ素子等の発光体３３ａが収容されている。そして、このケース３３ｂに光を透過する光放出窓３３ｃが形成され、この光放出窓３３ｃを通して帯状被検査対象Ｓに向けて照射光が照射させる。すると、帯状被検査対象Ｓに照射される光における走行方向の幅、つまり、帯状被検査対象Ｓの走行方向において、被検査対象Ｓに光が照射される範囲を制限することができる。

【0025】

また、帯状被検査対象Ｓの幅方向において、帯状被検査対象Ｓに照射される光の強度のバラツキを小さくして、帯状被検査対象Ｓに均一な強度の光を照射する上では、投光部３３は、所定の形状の遮光部材、または光を拡散して透過する散乱板などを備えている場合がある。例えば、図５に示すように、発光体３３ａをケース３３ｂに収容して、このケース３３ｂに光を透過する光放出窓３３ｃを形成した場合には、この光放出窓３３ｃの部分に、散乱板を設置することができる。

【0026】

なお、本実施形態に係る検査機能確認装置１０が用いられる光学検査機４０の構成について説明したが、光学検査機４０の構成はこれに限定されない。例えば、投光部３３が点光源となり、撮影部３０が、帯状被検査対象Ｓの幅方向よりも長い撮影部３０となる構成も考えられる。また、投光部３３については、帯状被検査対象Ｓの欠陥において投光された光を乱反射させて検査を暗視野型の検査を行うための投光を行うものも考えられる。加えて、投光部３３と撮影部３０の少なくとも一方が複数存在する場合も含まれる。さらに投光部３３を撮影部３０と連動させてパルス点灯させる場合も含まれる。

【0027】

（検査機能確認装置１０）
図１には、本発明の第１実施形態に係る検査機能確認装置１０の側面方向からの断面図を、図６にはその平面図を、図７にはその側面図を示す。本実施形態に係る検査機能確認装置１０は、帯状被検査対象Ｓの一部が保持可能なサンプルテーブル１１と、このサンプルテーブル１１を帯状被検査対象Ｓの、巻き出しローラ３６から巻き取りローラ３７に至るまでの動作方向と平行な方向へ動作させる動力装置と、を有している。そして、検査機能確認装置１０は、光学検査機４０に対して着脱自在である。

【0028】

検査機能確認装置１０は、鉄製板状のベース２２を含んで構成されている。このベース２２は、検査光が反射しないように黒色に着色されている。この着色は特に黒に制限されるものではなく、反射を抑制できるものであれば良く、メッキ、塗装、粗面処理、などが挙げられる。このベース２２は、図６に示すように、四角孔形状のベース孔２２ａを有している。なお本実施形態ではベース２２は鉄製であるがこれに限定されず、アルミニウム、ステンレス、またはそれらの合金、さらには樹脂材とすることも可能である。また、ベース２２に設けられているベース孔２２ａの形状は特に限定されるものではないが、斜め下からの照射光等も遮られずにサンプルに照射されることが好ましい。すなわち、サンプルを基準点として、鉛直方向に対し３０度の角度を有する照射光等が照射可能であることが好ましく、４５度がさらに好ましく、６０度が最も好ましい。

【0029】

検査機能確認装置１０は、サンプルテーブル１１を有している。図１おより図６に示すように、サンプルテーブル１１は、板状の部材であり、その厚さ方向が上下となるように配置されている。このサンプルテーブル１１上に、帯状被検査対象Ｓの一部が保持される。サンプルテーブル１１に対する帯状被検査対象Ｓの保持方法は特に限定されないが、図示していない押さえ部材により保持したり、接着剤を用いて保持されたり、粘着テープを用いて保持されたりする。帯状被検査対象Ｓの一部とは、例えば欠陥がある部分の周りを切り取った３０ｍｍ×５０ｍｍ程度の大きさのサンプルである。サンプルテーブル１１の材質は特に限定されない。例えば鉄、アルミニウム、ステンレス、それらの合金または樹脂材を使用することができる。アルミニウムおよびそれらの合金または樹脂材の場合にはその重量を軽くすることができる。一方、鉄やステンレスであれば、硬度が上がるため、耐久性を上げることが可能になる。なお、サンプルテーブル１１の表面処理については特に限定されず、反射が抑制できれば良く、メッキ、塗装、粗面処理、などが適用可能である。メッキ、塗装であれば安価に反射を抑制することが可能になり、粗面処理であれば、塗装がはがれるなどの不具合を防止することができる。図６に示すように、サンプルテーブル１１には、投光部３３からの照射光が通過するための光通過部１１ａが設けられている。この光通過部１１ａは本実施形態では孔形状であるが、形状は特に限定されるものではない。加えて光通過部１１ａにはバリがないことが好ましく、さらにはＲもしくはテーパー加工が施されていることが好ましい。サンプルテーブル１１は、ベース２２上に固定されたリニアガイド１６により案内されている。

【0030】

サンプルテーブル１１が、照射光が通過するための光通過部１１ａを有していることにより、透過光を利用する光学検査機４０の検査機能を確認することができる。

【0031】

検査機能確認装置１０は、サンプルテーブル１１を帯状被検査対象Ｓの動作方向と平行な方向へ動作させる動力装置を有している。図１、図６および図７においては、帯状被検査対象Ｓの動作方向は、紙面の左右と一致している。本実施形態に係る検査機能確認装置１０の動力装置は、モータ１２の回転運転を、リンク機構の一種であるクランクにより直線運動に変換し、これによりサンプルテーブル１１を帯状被検査対象Ｓの動作方向と平行な方向へ動作させる。

【0032】

本実施形態において動力装置は、モータ１２と、このモータ１２の回転軸の先端に取り付けられたクランク円板１３と、このクランク円板１３と結合しているロッドエンドベアリング１４と、このロッドエンドベアリング１４とその一方の端部で結合している接続ロッド１５と、この接続ロッド１５の他方の端部で結合している、もう一つのロッドエンドベアリング１４と、を含んで構成されている。接続ロッド１５の他方の端部で結合しているロッドエンドベアリング１４は、サンプルテーブル１１と結合している。

【0033】

本実施形態におけるモータ１２は、ＤＣモータである。また、モータ１２の回転軸の先端には、クランク円板１３がはめ込まれており、回転軸と固定されている。クランク円板１３の一端には、ロッドエンドベアリング１４の球面滑り軸受１４ａが設けられている端部が固定されている。またこのロッドエンドベアリング１４の他端には、接続ロッド１５の一方の端部がねじ込まれている。

【0034】

接続ロッド１５の他方の端部には、もう一つのロッドエンドベアリング１４の端部がねじ込まれている。そして、このもう一つのロッドエンドベアリング１４の他方の端部には、球面滑り軸受１４ａが設けられており、この球面滑り軸受１４ａが設けられている端部が、サンプルテーブル１１に結合されている。

【0035】

上記のような構成により、二つのロッドエンドベアリング１４の球面滑り軸受１４ａの間の距離が変化せず、モータ１２が回転することで、サンプルテーブル１１が、リニアガイド１６に案内されて直線運動を行うことができる。また、クランク機構はシンプルなので、軽量、低電力、小型、耐久の点で優れている。

【0036】

本実施形態に係る検査機能確認装置１０は、動力装置に電力を供給するための可搬式電力供給装置２０を備えている。この可搬式電力供給装置２０により、動力装置が動作される。具体的に可搬式電力供給装置２０は複数の一次電池である。この可搬式電力供給装置２０からの電力は、スイッチ２１により、入り切りされる。サンプルテーブル１１の動作速度は３ｍ／ｍｉｎ以上が好ましく、５ｍ／ｍｉｎ以上がさらに好ましく、８ｍ／ｍｉｎ以上が特に好ましい。

【0037】

動力装置が、可搬式電力供給装置２０により動作することにより、ケーブルにより電力を供給する必要がなくなり、検査機能確認装置１０の使用がよりフレキシブルになる。

【0038】

本実施形態に係る検査機能確認装置１０は、サンプルとしての帯状被検査対象Ｓの一部を覆うサンプルカバー１７が設けられている。このサンプルカバー１７は、鉄製であり、検査光などが反射しないように、黒色に着色されている。ただし、サンプルテーブル１１の場合と同様、黒色に限定されるものではない。また、サンプルカバー１７に設けられているカバー孔１７ａの形状は特に限定されるものではないが、斜めからの照射光等も遮られずにサンプルに照射されることが好ましい。すなわち、サンプルを基準点として、鉛直方向に対し３０度の角度を有する照射光等が照射可能であることが好ましく、４５度がさらに好ましく、６０度が最も好ましい。検査機能確認装置１０には、クランク部分を覆うクランクカバー２５、モータ１２を覆うモーターカバー２３、可搬式電力供給装置２０を覆う電力供給装置カバー１９が設けられている。これらのカバーもサンプルカバー１７と同様鉄製であり、黒色に着色されている。なお本実施形態ではサンプルカバー１７をはじめ他のカバーは鉄製であるがこれに限定されず、アルミニウム、ステンレス、またはそれらの合金、さらには樹脂材とすることも可能である。アルミニウムおよびそれらの合金または樹脂材の場合にはその重量を軽くすることができる。

【0039】

帯状被検査対象Ｓの一部を覆うサンプルカバー１７が設けられていることにより、投光部３３からの検査光以外の光を抑制でき、検査機能の確認の精度を上げることができる。また、サンプルカバー１７があることにより、駆動部が人や他の装置に接触することを防ぐことが可能になる。

【0040】

本実施形態に係る検査機能確認装置１０は、ベース２２におねじ付きノブ２４が二つ設けられている。このおねじ付きノブ２４により、検査機能確認装置１０は、光学検査機４０に対し着脱自在となる。ここで「着脱自在」とは、少なくとも光学検査機４０が、ロール・ツー・ロールで検査を行っている際には、光学検査機４０に付属されていないことを表している。検査機能確認装置１０を光学検査機に４０に固定する方法としては、前記したように、おねじ付きノブ２４のようにねじ機構を用いたり、ピンにより固定したり、磁力により固定したりするなど様々なクランプを用いることができる。これらのクランプの中でも、おねじ付きノブ２４は、工具を用いずに検査機能確認装置１０を光学検査機４０に固定することができ、好適である。

【0041】

本実施形態に係る検査機能確認装置１０は、構成がシンプルであることにより、大きさを小さくでき、軽量とすることができる。また、一のローラから他のローラに至るまでの間、すなわちローラと接触していない部分でのサンプルの計測が可能であるので以下の効果を得ることができる。
（１）ローラと接触している部分で検査が行われる場合、ローラにより帯状被検査対象Ｓが引き延ばされ、ゆるい凹凸が消えてしまう場合が考えられるが、このような不具合が生じない。
（２）ローラと接触している部分で検査が行われる場合、ローラ面の反射により検査ができない場合が考えられるが、このような不具合を生じない。
（３）ローラと接触している部分で検査が行われる場合、透過光を用いた検査ができないが、このような不具合が生じない。
（４）ローラと接触している部分で検査が行われる場合、そのローラと接触している部分の形状を、小さなサンプルで再現する必要があり、作業に手間がかかるが、このような不具合が生じない。
なお、検査機能確認装置１０の重量に関しては、１０ｋｇ以下が好ましく、２ｋｇ以下がさらに好ましく、５００ｇ以下が特に好ましい。光学検査機４０に固定して設置する際に、光源または製造ラインにかかる負荷を低減できるからである。また、サイズに関して、図１の左右の方向へ５０ｃｍ以下であることが好ましく、さらに２０ｃｍ以下が好ましい。

【0042】

なお本実施形態に係る検査機能確認装置１０について、図面に基づいて説明したが、検査機能確認装置１０の構成については、この構成に限定されることはない。例えば、動力装置として、ラックアンドピニオン方式、ボールねじ方式、またはリニアモータ方式を採用することも可能である。この場合、モータ１２は、ステッピングモータまたはサーボモータが採用されることが好ましい。また、これらのトルクは１Ｎｍ以上が好ましく、１０Ｎｍ以上が特に好ましい。これにより、サンプルテーブルを速く、スムーズに移動させることが可能になる。また、サンプルの移動距離は１０ｍｍ以上が好ましく、２０ｍｍがさらに好ましく、３０ｍｍ以上が特に好ましい。これにより、大きな瑕疵に対しても本発明を適用することが可能になる。一方で、移動距離が多いことによりカメラが見ている範囲からサンプルが外れないようにサンプルホルタ―の固定形状や光通過部の大きさ、サンプルの移動範囲が設計されていることが好ましい。これにより、検査中にサンプルホルダーなどのサンプル以外の部分がカメラの視野に入り、欠点と誤検出されることを防ぐことが可能になる。

【0043】

また、サンプルテーブル１１については、鉛直方向に動作可能である構造を採用することも可能である。具体的には、ロッドエンドベアリング１４とサンプルテーブル１１との間に、鉛直方向に動作するリフタを設けたり、ベース２２の下面にリフタを設けたりすることも可能である。鉛直方向に動作可能な構造である場合、サンプルとなった被検査対象Ｓへの焦点を合わすことが容易となる。加えて、帯状被検査対象Ｓの搬送方向や幅方向、傾き方向への調整可能な機構を導入することも可能である。この場合、光学検査機４０が検査を行っている位置ＤＬにサンプルを容易に移動させることが可能になる。これらの機構には、図６のおねじ付きノブ２４が挿入されている穴のように、固定位置に自由度を持たせたものや、マイクロステージ、スペーサーやねじ、治具を使用する方法などが挙げられる。

【0044】

また、本実施形態では、一のローラから他のローラへ搬送される帯状被検査対象Ｓは、図３に示すように水平に搬送され、この水平に搬送されている帯状被検査対象Ｓに対して、検査機能確認装置１０のサンプルテーブル１１が水平に動作する構成について説明したが、この構成に限定されない。例えば、帯状被検査対象Ｓが水平からあらかじめ定められた角度で搬送される場合は、サンプルテーブル１１はその定められた角度に従って動作するようになる。

【0045】

（検査機能確認装置１０の使用方法）
図８には、本実施形態に係る検査機能確認装置１０の使用方法の説明図を示す。図８は、図３の光学検査機４０に、図１の検査機能確認装置１０の概略を合わせて記載したものである。

【0046】

まず、検査機能確認装置１０の使用者（主に第１メーカの社員）は、帯状被検査対象Ｓの、巻き出しローラ３６から巻き取りローラ３７への動作を停止し、帯状被検査対象Ｓを光学検査機４０から取り除く。そして、その使用者は、光学検査機４０の本体などに、台座２７を取付け、この台座２７に検査機能確認装置１０を取り付ける。この際、検査機能確認装置１０のサンプルテーブル１１の高さを、サンプルテーブル１１上に取り付けた帯状被検査対象Ｓのサンプルの高さが、巻き出しローラ３６から巻き取りローラ３７へ動作する際の帯状被検査対象Ｓの高さと同じになるようにする。

【0047】

次に帯状被検査対象Ｓの使用者は、スイッチ２１により動力装置を駆動し、サンプルテーブル１１を図８の紙面において左右方向に動作させる。このように動作させながら、使用者は、光学検査機４０を動作させ、投光部３３からの検査光を照射させ、撮影部３０によりその反射光を撮影し、解析部３５により欠陥が検知できるかを確認する。

【0048】

検査機能確認装置１０が、サンプルテーブル１１を帯状被検査対象Ｓの動作方向と平行な方向へ動作させる動力装置を有していることにより、傷などの瑕疵を実際に検査する姿勢で、瑕疵を検出する機能を確認できるので、検出機能を確実に確認できる。すなわち、帯状被検査対象Ｓのメーカである第１メーカが、光学検査機４０のメーカに依頼することなく、現場で傷などの瑕疵を確認できる。これにより光学検査機４０のメーカなどへの品質情報の外部流出を防ぐことができる。

【0049】

また、検査機能確認装置１０が光学検査機４０に対して着脱自在であることにより、光学検査機４０が、常時検査機能確認装置１０を含む必要がなくなり、光学検査機４０の大きさを大きくする必要がない。加えて、検査機能確認装置１０の使用者が、他のメーカ製の検査装置などにも取り付け、その検査装置の検査機能を確認することも可能となる。すなわち、検査機能確認装置１０を複数の光学検査機４０に使用することで、カメラなどの個体差を確認でき、検出性能を均一化できる。また、光学検査機４０の定期的な検査に用いることもできる。

【産業上の利用可能性】

【0050】

本明細書では、検査機能確認装置１０は、例えば第１メーカの社員である使用者が使用し、その使用者が検査機能を確認する使用方法を説明したが、これに限定されない。例えば、第１メーカの社員が検査機能を確認した際に、光学検査機４０のメーカの人間が確認できるように、検査機能確認装置１０に通信機能を備えさせることで、光学検査機４０のメーカがリモートでメンテナンスを行うための情報を得るために使用することも可能である。

【符号の説明】

【0051】

１０ 検査機能確認装置
１１ サンプルテーブル
１１ａ 光通過部
１７ サンプルカバー
２０ 可搬式電力供給装置
４０ 光学検査機
Ｓ 帯状被検査対象

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】