(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-06-12
(45)【発行日】2023-06-20
(54)【発明の名称】ワーク搬送用ハンド
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20230613BHJP
B25J 15/06 20060101ALI20230613BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 B
B25J15/06 A
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2019057942
(22)【出願日】2019-03-26
(65)【公開番号】P2020161585
(43)【公開日】2020-10-01
【審査請求日】2021-10-22
(73)【特許権者】
【識別番号】000000262
【氏名又は名称】株式会社ダイヘン
(74)【代理人】
【識別番号】100086380
【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 稔
(74)【代理人】
【識別番号】100168099
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 伸太郎
(72)【発明者】
【氏名】井浦 惇
【審査官】杢 哲次
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１７－２００７１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－３１０３３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－３１３６０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－１５８１６９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－３１６２４２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｂ２５Ｊ １５／０６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
薄板状のワークを支持する支持プレートと、上記支持プレートに互いに離間して配置され、上記ワークを真空吸着するための４つ以上の複数の吸着パッドと、
一方端が上記複数の上記吸着パッドそれぞれに各別に連通し、他方端が真空発生源に連通させられる、複数の通気流路と、
上記複数の通気流路それぞれに対応して設けられ、上記真空発生源の負圧によって上記吸着パッドが上記ワークを吸着する吸着状態において開き、かつ上記吸着パッドが上記ワークを吸着しない非吸着状態において閉じる、複数の負圧作動弁と、を備え、
上記支持プレートは、厚さ方向である第１方向の一方側を向く第１面と、上記第１方向の他方側を向く第２面と、を有し、
上記支持プレートには、上記第１面から凹み、上記吸着パッドを装着するための吸着用凹部が形成されており、
上記吸着パッドは、吸着用凹部に配置され、弾性を有するとともに上記第１方向の一方側を向く吸着面を有するパッド部と、上記パッド部の外周部につながり、かつ上記第１方向の一方側に向かうにつれて拡がるように傾斜し、可撓性を有する環状のスカート部と、を有し、
上記吸着面は上記第１面よりも上記第１方向の一方側に位置し、上記スカート部の先端は、上記吸着面よりも上記第１方向の一方側に位置しており、
上記支持プレートには、各々が上記第１面よりも上記第１方向の一方側に突出し、弾性を有する４以上の複数の弾性パッドが配置されており、
上記弾性パッドの先端は、上記第１方向において上記吸着面と同じ位置、または上記吸着面よりも上記第１方向の一方側にある、ワーク搬送用ハンド。
【請求項2】
上記各弾性パッドは、上記第１方向に見て上記複数の吸着パッドにより囲まれた領域の外側に配置される、請求項１に記載のワーク搬送用ハンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板等の薄板状のワークを搬送するのに用いられる、ワーク搬送用ハンドに関する。
【背景技術】
【0002】
基板等の薄板状のワークを搬送ロボットにより高速搬送する際、ワークが支持するハンドからずれないように当該ワークを把持することが求められる。ワークを把持する一般的な手法として、負圧を利用した真空吸着の機能を備えたワーク搬送用ハンドが知られている（たとえば特許文献１を参照）。
【0003】
同文献にも示されるように、真空吸着の機能を備えたワーク搬送用ハンドには複数の吸着パッドが設けられており、これら吸着パッドそれぞれに分岐状の通気流路の一方端が連通している。分岐状の流路の他方端は共通の真空ポンプ（真空発生源）に連通しており、真空ポンプの吸引力によって複数の吸着パッドにおいてワークが吸着把持される。基板等のワークは平面サイズが大型化し、かつ薄型化が進んでおり、重力や所定の処理の影響により、一方向に反ることがある。上記特許文献１に開示されたワーク搬送用ハンドにおいては、吸着パッドがワークの反りに追従することが可能に構成されている。
【0004】
近年、たとえばＦＯＰＬＰ（Ｆａｎ－Ｏｕｔ Ｐａｎｅｌ Ｌｅｖｅｌ Ｐａｃｋａｇｉｎｇ）などの新しい半導体パッケージ技術が注目されている。このＦＯＰＬＰの処理では、従来のＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）で使用されていたようなガラス基板の他に樹脂で成形された基板が使用される場合がある。樹脂で成形された基板はサイズが大きくなると、ガラス基板のような一方向の反りだけではなく、水面のように不規則な凹凸を有する形状となる。上記従来の吸着パッドを具備するハンドでは、基板に十分に密着しない吸着パッドがあると、エア漏れにより分岐流路の真空圧が低下して十分な把持力が発生しないことがある。把持力の低下は基板（ワーク）のズレ、滑落、または吸着エラーによる装置の停止を引き起こし、品質や生産性を損なう要因となる。
【0005】
その一方、たとえば特許文献２に開示されるように、複数の電磁弁により分岐させた各経路を独立して開閉操作できるワーク搬送用ハンドも知られている。しかしながら、このような電磁弁を用いた手法では、吸着可否の判断をするための流量センサや電磁弁、およびその配線や制御が必要であり、複雑なシステムとなってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１５－１０３６９６号公報
【文献】特開２００３－１５８１６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、構造が複雑になるのを回避しつつ、薄板状のワークを適切に吸着把持するのに適したワーク搬送用ハンドを提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【0009】
本発明によって提供されるワーク搬送用ハンドは、薄板状のワークを支持する支持プレートと、上記支持プレートに互いに離間して配置され、上記ワークを真空吸着するための４つ以上の複数の吸着パッドと、一方端が上記複数の上記吸着パッドそれぞれに各別に連通し、他方端が真空発生源に連通させられる、複数の通気流路と、上記複数の通気流路それぞれに対応して設けられ、上記真空発生源の負圧によって上記吸着パッドが上記ワークを吸着する吸着状態において開き、かつ上記吸着パッドが上記ワークを吸着しない非吸着状態において閉じる、複数の負圧作動弁と、を備える。
【0010】
好ましい実施の形態においては、上記支持プレートは、厚さ方向である第１方向の一方側を第１面と、上記第１方向の他方側を向く第２面と、を有し、上記支持プレートには、上記第１面から凹み、上記吸着パッドを装着するための吸着用凹部が形成されており、上記吸着パッドは、吸着用凹部に配置され、弾性を有するとともに上記第１方向の一方側を向く吸着面を有するパッド部と、上記パッド部の外周部につながり、かつ上記第１方向の一方側に向かうにつれて拡がるように傾斜し、可撓性を有する環状のスカート部と、を有し、上記吸着面は上記第１面よりも上記第１方向の一方側に位置し、上記スカート部の先端は、上記吸着面よりも上記第１方向の一方側に位置する。
【0011】
好ましい実施の形態においては、上記支持プレートには、各々が上記第１面よりも上記第１方向の一方側に突出し、弾性を有する４以上の複数の弾性パッドが配置されており、上記弾性パッドの先端は、上記第１方向において上記吸着面と同じ位置、または上記吸着面よりも上記第１方向の一方側にある。
【0012】
好ましい実施の形態においては、上記各弾性パッドは、上記第１方向に見て上記複数の吸着パッドにより囲まれた領域の外側に配置される。
【発明の効果】
【0013】
本発明に係るワーク搬送用ハンドは、４つ以上の複数の吸着パッドそれぞれに各別に連通する複数の通気流路と、複数の通気流路それぞれに対応して設けられた複数の負圧作動弁とを備える。負圧作動弁は、真空発生源による負圧の作用時において、吸着パッドがワークＷを吸着する吸着状態において開き、吸着パッドがワークＷを吸着しない非吸着状態において閉じる。このような構成によれば、不規則な凹凸を有するワークを搬送する場合において、ワークに十分に密着しない吸着パッドが存在する場合においても、負圧作動弁の作動によって真空圧の低下が抑制される。したがって、従来のようなワークに密着しない吸着パッドからのエア漏れによる把持力低下を防止し、薄板状のワークを適切に搬送することができる。
【0014】
また、負圧作動弁は、真空発生源による負圧の作用時において、吸着状態または非吸着状態のいずれの状態であるかに応じて、自動的に開閉動作がなされる。このような負圧作動弁を用いることで、たとえば電磁弁を用いて当該電磁弁の開閉を制御する場合等と比べて、簡易な構造によって的確にワークを把持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本発明に係るワーク搬送用ハンドの一例を示す平面図である。
【図7】負圧作動弁の概略構造の一例を示す断面図であり、負圧作動弁が閉じた状態を示す。
【図9】弾性パッドの配置を説明するための概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、本発明の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【0017】
図１および図２は、本発明に係るワーク搬送用ハンドの一例を示している。本実施形態のワーク搬送用ハンドＡ１は、支持プレート１、中継部２、ベース部３、吸着パッド４、通気流路５、負圧作動弁６、弾性パッド７、およびセンサ８を備えている。
【0018】
詳細な図示説明は省略するが、ワーク搬送用ハンドＡ１は、搬送ロボットに組み付けられ、基板等の薄板状のワークＷを搬送するのに使用される。搬送ロボットは、ベース部３（ワーク搬送用ハンドＡ１）を上下移動および垂直軸線周りに旋回移動させるとともに、所定の搬送方向Ｘに沿って往復移動させる。中継部２および支持プレート１は、ベース部３に支持されている。
【0019】
支持プレート１は、ワークＷが載置されるプレートであり、厚さ方向である方向Ｚの上方側（一方側）を向く上面１Ａ、および方向Ｚの下方側（他方側）を向く下面１Ｂを有する。支持プレート１は、基部１１および一対のフォーク部１２を有する。基部１１は、平面視矩形状であり、ボルト締結等の適宜手段によりベース部３の端部に固定される。基部１１の幅方向である方向Ｙの寸法は、ワークＷのサイズに対応している。一対のフォーク部１２は、基部１１の方向Ｙにおける両端部から搬送方向Ｘに沿って長状に延びる。本実施形態において、支持プレート１（基部１１およびフォーク部１２）は、その厚さが薄くされている。支持プレート１は、たとえばセラミックス材料からなり、その厚さはたとえば３ｍｍ程度である。支持プレート１の詳細については後述する。
【0020】
ベース部３は、平面視略矩形の板状であり、このベース部３上に中継部２が配置される。中継部２は、たとえば断面矩形の中空状とされており、後述する樹脂チューブ５１や配線８１が中継部２の内部空間に通される。
【0021】
吸着パッド４は、ワークＷを真空吸着するものであり、支持プレート１上に複数配置される。具体的には、４つ以上の複数の吸着パッド４が互いに離間して配置されている。本実施形態において、４つの吸着パッド４を具備しており、２つの吸着パッド４が基部１１に配置され、他の２つの吸着パッド４が一対のフォーク部１２の先端付近に各別に配置されている。
【0022】
図３、図４に示すように、吸着パッド４は、弾性を有するパッド部４１と、スカート部４２とを有する。支持プレート１の１上面１Ａには、吸着パッド４を装着するための吸着用凹部１３が形成されており、吸着用凹部１３にパッド部４１が配置される。パッド部４１は、概略円柱状とされており、中央には方向Ｚに貫通する貫通孔４１２が形成されている。
【0023】
パッド部４１の先端部（上端部）は、支持プレート１の上面１Ａよりも上方に突出する。パッド部４１の先端面はフラットであり、ワークＷを吸着把持する吸着面４１１とされている。吸着面４１１は、支持プレート１の上面１Ａよりも上方（方向Ｚにおける一方側）に位置する。パッド部４１の先端部は、部分的に切り欠かれた形状とされている。図３においては、理解のために吸着面４１１の形成範囲にハッチングを付している。
【0024】
図３、図４に示すように、スカート部４２は、パッド部４１の外周部につながっており、環状とされている。スカート部４２は、その厚さが比較的小さくされており、可撓性を有する。スカート部４２は、上方（方向Ｚの一方側）に向かうにつれて拡がるように傾斜している。スカート部４２の先端は、吸着面４１１よりも上方（方向Ｚの一方側）に位置する。
【0025】
上記パッド部４１およびスカート部４２を具備する吸着パッド４は、たとえばゴム材料により一体成形されている。吸着パッド４は、接着等の適宜手段により支持プレート１（フォーク部１２もしくは基部１１）に固定される。
【0026】
支持プレート１の厚さが薄い場合、支持プレート１の厚さに対する吸着用凹部１３の深さの比率は比較的大きくされており、当該比率は１／２以上である。支持プレート１の厚さが３ｍｍの場合、吸着用凹部１３の深さはたとえば２ｍｍである。この場合、支持プレート１において吸着用凹部１３が形成された部位の厚さは、１ｍｍである。
【0027】
図６は、吸着パッド４によりワークＷを吸着把持する状態の一例を示す。同図から理解されるように、ワークＷが吸着把持されるとき、パッド部４１の吸着面４１１にワークＷが密着する。その一方、パッド部４１に形成された切欠き部を通じて、パッド部４１の外部周囲と貫通孔４１２とが連通する。スカート部４２については周縁部がワークＷに密着し、スカート部４２の内側空間の気密性が保持される。したがって、ワークＷにおいては、スカート部４２によって囲まれた領域に真空圧（負圧）による吸引力が作用する。
【0028】
図１に示した通気流路５は、真空発生源と吸着パッド４の間をつなぐ流路であり、複数の吸着パッド４それぞれに対応して複数設けられている。ベース部３にはチャンバ３１が配置されており、複数の通気流路５は、それぞれが後述の負圧作動弁６を介して共通のチャンバ３１に接続される。チャンバ３１には、真空発生源としての真空ポンプＰが連通接続される。
【0029】
通気流路５は、樹脂チューブ５１、凹溝１５、連絡用凹部１６、および貫通孔１７を含んで構成される。樹脂チューブ５１は、ベース部３および中継部２にまたがって配置されている。図３、図４に示すように、凹溝１５は、支持プレート１の下面１Ｂから所定の深さ凹んでおり、断面略矩形状とされている。凹溝１５は、基部１１における寄りのベース部３寄りの端部から各吸着パッド４の近傍まで延びている。凹溝１５の幅は、たとえば２ｍｍ程度である。なお、図１、図２に示すように、凹溝１５のベース部３寄りの端部と樹脂チューブ５１の端部とは、ベンド継手５２を介して連通している。
【0030】
図３～図５に示すように、連絡用凹部１６は、支持プレート１の下面１Ｂから所定の深さ凹んでおり、平面視（方向Ｚ視）において吸着用凹部１３と重なる部位から凹溝１５と重なる部位まで形成される。連絡用凹部１６の深さは、吸着用凹部１３が形成された部位の支持プレート１の厚さ（１ｍｍ）よりも小さくされている。連絡用凹部１６の深さは、たとえば０．５ｍｍ程度である。貫通孔１７は、平面視（方向Ｚ視）において吸着パッド４の貫通孔４１２と重なっている。
【0031】
図４に示すように、支持プレート１の下面１Ｂには、アルミシート１８が貼り付けられている。アルミシート１８は、凹溝１５および連絡用凹部１６を覆っている。このような構成により、凹溝１５と吸着パッド４（貫通孔４１２）とは、連絡用凹部１６および貫通孔１７を介して連通している。
【0032】
連絡用凹部１６の深さは、上記のように０．５ｍｍと小さくされている。一方、連絡用凹部１６の幅は、凹溝１５の幅よりも大きくされている。これにより、深さが小さい連絡用凹部１６においても所定以上の流路断面積が確保される。凹溝１５の幅が２ｍｍの場合、連絡用凹部１６の幅はたとえば８ｍｍ程度である。
【0033】
図５に示すように、本実施形態において、平面視において連絡用凹部１６と重なるように凸部１９が設けられている。凸部１９は、下面１Ｂと連絡用凹部１６の外周縁の内側において凹まずに島状に残存する部分である。図５においては、理解のためにアルミシート１８を仮想線で表し、また、凸部１９の形成範囲にハッチングを付している。
【0034】
上述のように連絡用凹部１６は、凹溝１５と比べて幅が大きく、かつ深さが小さい。連絡用凹部１６においては、吸着パッド４によってワークＷを吸着把持する際、負圧によってアルミシート１８が連絡用凹部１６に進入して流路が塞がるおそれがある。本実施形態では、上記凸部１９が設けられることによってアルミシート１８が連絡用凹部１６に進入するのを防止し、上述の流路が塞がるという不都合を回避することができる。
【0035】
負圧作動弁６は、真空ポンプＰによる負圧の作用時に、吸着パッド４がワークＷを吸着して閉塞された状態（吸着状態）と、吸着パッド４がワークＷを吸着せずに開放する状態（非吸着状態）とで作動状態が切り換わる作動弁である。本実施形態において、負圧作動弁６は、各通気流路５とチャンバ３１との間に設けられている。
【0036】
図７および図８は、負圧作動弁６の概略構造の一例を示している。負圧作動弁６は、たとえばハウジング６１、可動体６２、シール材６３、および付勢部材６４を備えて構成される。ハウジング６１は、可動体６２を収容しており、真空側通路６１１およびワーク側通路６１２を有する。真空側通路６１１は、チャンバ３１に接続されており、チャンバ３１を介して真空ポンプＰに連通させられる。ワーク側通路６１２は、樹脂チューブ５１（通気流路５）に接続されており、通気流路５を介して吸着パッド４に連通する。
【0037】
可動体６２は、ハウジング６１の内部空間に収容されており、図中左右方向にスライド移動可能とされている。付勢部材６４は、ハウジング６１と可動体６２間に介在している。付勢部材６４は、可動体６２に図中右側への付勢力を与えるものであり、たとえば圧縮コイルばねである。シール材６３は、可動体６２の左端部近傍に装着されており、たとえばＯリングである。
【0038】
可動体６２は、概略円筒状とされており、通気孔６２１および開口６２２を有する。通気孔６２１は、可動体６２左端部に形成された小径の絞り孔である。開口６２２は、可動体６２の周壁に形成されたエア流路である。
【0039】
真空ポンプＰによる負圧の作用時において、吸着パッド４が開放する非吸着状態にあると、真空圧（負圧）の吸引力によって小径の通気孔６２１をエアが流れ、可動体６２が図７に示すように図中左側に移動する。ここで、シール材６３がハウジング６１に密着し、開口６２２側の流路は閉じている。可動体６２は、通気孔６２１を流れるエア圧によって図中左側への押圧力が作用し、シール材６３がハウジング６１に密着する状態が維持される。このとき、負圧作動弁６は閉じた状態である。通気孔６２１は小径の絞り孔であるので、負圧作動弁６が閉じた状態にあるときにチャンバ３１側の真空圧の低下が抑制される。
【0040】
真空ポンプＰによる負圧の作用時において、ワークＷが吸着パッド４に吸着されると、通気流路５からの吸込流量が減少ないし無くなる。そうすると、図８に示すように、付勢部材６４による付勢力によって可動体６２が図中右側に押し付けられ、シール材６３がハウジング６１から離れる。このとき、開口６２２を介して真空側通路６１１とワーク側通路６１２とが連通しており、負圧作動弁６は開いた状態になる。
【0041】
なお、吸着把持したワークＷを吸着パッド４から離す際には、開放用のエアをチャンバ３１側から負圧作動弁６に供給することで、開いた状態の負圧作動弁６を介してワークＷ側（通気流路５および吸着パッド４）にエアが流れ、ワークＷの吸着が開放される。
【0042】
図１に示すように、弾性パッド７は、支持プレート１上に複数配置されている。弾性パッド７の個数は、吸着パッド４と同数または吸着パッド４の個数よりも多くされる。本実施形態において、４つの弾性パッド７が互いに離間して配置されており、これら弾性パッド７は、それぞれが各吸着パッド４に対応して当該吸着パッド４の近傍に配置される。具体的には、２つの弾性パッド７が基部１１に配置され、他の２つの弾性パッド７が一対のフォーク部１２の先端付近に各別に配置されている。また、図９に示すように、各弾性パッド７は、平面視（方向Ｚ視）において複数の吸着パッド４により囲まれた領域Ｓ（同図においてハッチングを付す）の外側に配置される。
【0043】
図３、図４に示すように、支持プレート１の上面１Ａには、弾性パッド７を装着するための弾性パッド用凹部１４が形成されており、弾性パッド用凹部１４に弾性パッド７が配置される。弾性パッド７は、たとえば概略円状とされており、支持プレート１の上面１Ａよりも上方に突出する。
【0044】
支持プレート１の上面１Ａから弾性パッド７の先端面７１（先端）までの寸法Ｌ２は、上面１Ａから吸着パッド４の吸着面４１１までの寸法Ｌ１と同一、または当該寸法Ｌ１よりも僅かに大きくされる。即ち、弾性パッド７の先端面７１は、方向Ｚにおいて吸着パッド４の吸着面４１１と同じ位置、または吸着面４１１よりも上方（方向Ｚの一方側）に僅かに偏倚した位置にある。弾性パッド７は、たとえばゴム材料からなり、接着等の適宜手段により支持プレート１（フォーク部１２もしくは基部１１）に固定される。
【0045】
センサ８は、ワークＷの有無やワークＷの位置などを検出するものであり、支持プレート１の基部１１に配置されている。センサ８による検出データは、支持プレート１、中継部２ないしベース部３に配置された配線８１を介して、図示しない搬送ロボットに送信可能とされる。
【0046】
次に、本実施形態の作用について説明する。
【0047】
本実施形態のワーク搬送用ハンドＡ１は、４つ以上の複数の吸着パッド４それぞれに各別に連通する複数の通気流路５と、複数の通気流路５それぞれに対応して設けられた複数の負圧作動弁６とを備える。図７および図８を参照して説明したように、負圧作動弁６は、真空ポンプＰ（真空発生源）による負圧の作用時に、吸着パッド４がワークＷを吸着する状態（吸着状態）において開き、吸着パッド４がワークＷを吸着しない状態（非吸着状態）において閉じる。このような構成によれば、ＦＯＰＬＰなどに適用される不規則な凹凸を有する基板等のワークＷを搬送する場合において、ワークＷに十分に密着しない吸着パッド４が存在する場合においても、負圧作動弁６の作動によって真空圧の低下が抑制される。したがって、従来のようなワークに密着しない吸着パッドからのエア漏れによる把持力低下を防止し、薄板状のワークＷを適切に搬送することができる。なお、ワーク搬送用ハンドＡ１は４つ以上の吸着パッド４を具備するため、少なくとも３つの吸着パッド４によってワークＷが安定的に吸着把持される。
【0048】
また、上記の負圧作動弁６は、真空ポンプＰ（真空発生源）による負圧の作用時において、吸着状態または非吸着状態のいずれの状態であるかに応じて、自動的に開閉動作がなされる。このような負圧作動弁６を用いることで、たとえば電磁弁を用いて当該電磁弁の開閉を制御する場合等と比べて、簡易な構造によって的確にワークＷを把持することが可能となる。
【0049】
吸着パッド４は、弾性を有するパッド部４１と、可撓性を有するスカート部４２とを有する。パッド部４１は、支持プレート１の上面１Ａに形成された吸着用凹部１３に配置されており、スカート部４２は外周部から上方に向かうにつれて傾斜する。パッド部４１の吸着面４１１は支持プレート１の上面１Ａよりも上方に位置し、スカート部４２の先端は吸着面４１１よりも上方に位置する。このような構成の吸着パッド４は、たとえば単一部材によって構成することが可能であり、構造を簡易化し、高さ方向（方向Ｚ）における寸法を小さくするのに適する。吸着パッド４の高さ方向における寸法を小さくすることで、厚さが薄くされた支持プレート１に配置するのにも適する。なお、吸着パッド４の高さ方向の寸法を比較的大きくする場合、吸着パッド４について硬質な支持部を有する構成としてもよく、当該支持部にパッド部４１を固定すればよい。
【0050】
本実施形態において、支持プレート１には上面１Ａよりも上方に突出する複数（４つ以上）の弾性パッド７が配置されている。弾性パッド７の先端面７１は、第１方向において吸着パッド４の吸着面４１１と同じ位置、または吸着面４１１よりも上方に位置する。このような構成によれば、ワークＷを搬送する際に弾性パッド７がワークＷに当接可能であり、ワークＷを支持する部位を増やすことが可能である。これにより、ワークＷの搬送時に生じる振動等の影響を低減し、ワークＷを安定して搬送することができる。
【0051】
図９を参照して説明したように、各弾性パッド７は、平面視（方向Ｚ視）において複数の吸着パッド４により囲まれた領域Ｓの外側に配置される。このような構成によれば、弾性パッド７によってワークＷの外周縁に近い部位を支持することが可能である。したがって、ワークＷの平面サイズが比較的大きい場合において、搬送時の振動等によるバタつきを抑制することができる。
【0052】
また、ワークＷの平面サイズが比較的大きい場合、ワークＷを支持プレート１上に載置するとき、ワークＷの自重により当該ワークＷの中央部が周縁部よりも下がるように変形する場合がある。このような場合においても、吸着パッド４により囲まれた領域Ｓの外側に配置される各弾性パッド７の先端面７１を吸着面４１１よりも適宜高くしておくことで、弾性パッド７によってワークＷの外周縁に近い部位を支持することが可能になる。
【0053】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の範囲は上記した実施形態に限定されるものではなく、各請求項に記載した事項の範囲内でのあらゆる変更は、すべて本発明の範囲に包摂される。
【0054】
上記実施形態において、支持プレート１の厚さが薄い場合について説明し、ワーク搬送用ハンドＡ１が中継部２と、支持プレート１を支持するベース部３とを具備する構成とされていたが、これに限定されない。たとえば支持プレート１の厚さが比較的大きい場合、中継部２やベース部３を具備しない構成としてもよい。また、支持プレート１を構成する材料についても、たとえば金属材料やＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）などの複合材料を選択することができ、支持プレート１を中空状に構成してもよい。
【0055】
上記実施形態では、負圧作動弁６が各通気流路５の端部に設けられる場合を例に挙げて説明したが、負圧作動弁６は通気流路５の途中に設けてもよい。
【符号の説明】
【0056】
Ａ１：ワーク搬送用ハンド、１：支持プレート、１Ａ：上面（第１面）、１Ｂ：下面（第２面）、１３：吸着用凹部、４：吸着パッド、４１：パッド部、４１１：吸着面、４２：スカート部、５：通気流路、６：負圧作動弁、７：弾性パッド、７１：先端面７１（弾性パッドの先端）、Ｗ：ワーク、Ｐ：真空ポンプ（真空発生源）、Ｚ：方向（第１方向）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】