特許 7296222 シート剥離装置およびシート剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-14

(45)【発行日】2023-06-22

(54)【発明の名称】シート剥離装置およびシート剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230615BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2019043916

(22)【出願日】2019-03-11

(65)【公開番号】P2020150024

(43)【公開日】2020-09-17

【審査請求日】2022-01-17

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】丸山 政徳

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－０５６６１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２７２７５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－０７４１０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－００９１４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２１６３４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－９１４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－３３５３１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

シート支持手段に貼付された帯状の接着シート基材から所定形状の接着シートを切り抜き、前記シート支持手段に残った抜き跡付き接着シート基材を前記シート支持手段から剥離するシート剥離装置において、
前記抜き跡付き接着シート基材に張力を付与し、前記シート支持手段から前記抜き跡付き接着シート基材を剥離する張力付与手段と、
前記抜き跡付き接着シート基材を案内する案内手段とを備え、
前記抜き跡付き接着シート基材における帯状延出方向に直交する幅方向中央部の弛み部を弛み方向の反対方向へ付勢し、当該弛み部を解消して前記抜き跡付き接着シート基材を前記案内手段へ送る弛み解消手段をさらに備え、
前記弛み解消手段は、前記張力付与手段により張力が付与された状態の前記抜き跡付き接着シート基材における前記弛み部を解消することを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

前記弛み解消手段は、前記弛み部に気体を吹き付ける気体吹付手段と、前記接着シート基材が当該気体吹付手段の気体吹付方向に弛むことを防止するシート受け手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

【請求項3】

前記弛み解消手段は、前記弛み部を検知する弛み検知手段を備え、当該弛み検知手段によって前記弛み部が検知された際、当該弛み部を弛み方向の反対方向へ付勢することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。

【請求項4】

シート支持手段に貼付された帯状の接着シート基材から所定形状の接着シートを切り抜き、前記シート支持手段に残った抜き跡付き接着シート基材を前記シート支持手段から剥離するシート剥離方法において、
前記抜き跡付き接着シート基材に張力を付与し、前記シート支持手段から前記抜き跡付き接着シート基材を剥離する張力付与工程と、
前記抜き跡付き接着シート基材を案内手段で案内する案内工程とを実施し、
前記抜き跡付き接着シート基材における帯状延出方向に直交する幅方向中央部の弛み部を弛み方向の反対方向へ付勢し、当該弛み部を解消して前記抜き跡付き接着シート基材を前記案内手段へ送る弛み解消工程をさらに実施し、
前記弛み解消工程では、前記張力付与工程で張力が付与された状態の前記抜き跡付き接着シート基材における前記弛み部を解消することを特徴とするシート剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、シート支持手段に貼付された帯状の接着シート基材から所定形状の接着シートを切り抜き、シート支持手段に残った抜き跡付き接着シート基材をシート支持手段から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】実用新案登録第３１８６０６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された従来のシート剥離装置８（シート剥離装置）では、不要シートＵＳ（抜き跡付き接着シート基材）の帯状延出方向に直交する幅方向両側に残された残存両端部に張力を付与し、支持手段４（シート支持手段）から抜き跡付き接着シート基材を剥離するので、その張力によって残存両端部が相互に接近し、図１（Ｈ）に示すように、抜き跡付き接着シート基材の幅方向中央部に弛み部ＡＢＳが形成される。このような弛み部ＡＢＳが形成された状態で、抜き跡付き接着シート基材のシート支持手段からの剥離が繰り返されると、図１（Ｉ）に示すように、弛み部ＡＢＳがピンチローラ８３（案内手段）に当接する度に、残存両端部にさらなる張力が付与され、当該残存両端部の相互接近が顕著化して弛み部ＡＢＳが拡大する。その結果、図１（Ｊ）に示すように、拡大した弛み部ＡＢＳによって、ウエハＷＦに貼付される接着シート基材部分（接着シートとして切り抜かれる部分）に皺が入り、所望の形状の接着シートを形成できなくなるという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、抜き跡付き接着シート基材に弛み部が形成されたとしても、当該弛み部が拡大しないように抜き跡付き接着シート基材をシート支持手段から剥離することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、弛み部を解消して抜き跡付き接着シート基材を案内手段へ送るので、抜き跡付き接着シート基材に弛み部が形成されたとしても、当該弛み部が拡大しないように抜き跡付き接着シート基材をシート支持手段から剥離することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｃ）は、本発明のシート剥離装置の説明図。（Ｄ）～（Ｇ）は、本発明のシート剥離装置の変形例の説明図。（Ｈ）～（Ｊ）は、従来のシート剥離装置の不具合の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図１（Ｂ）～（Ｇ）は、図１（Ａ）と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略する。

【0010】

本発明のシート剥離装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１は、被着体ＷＫを支持するとともに、当該被着体ＷＫからはみ出した接着シート基材ＡＢを支持するシート支持手段１０と、接着シート基材ＡＢを被着体ＷＫおよびシート支持手段１０に貼付するシート貼付手段２０と、被着体ＷＫに貼付された接着シート基材ＡＢを切断して接着シートＡＳを形成するシート切断手段３０と、シート支持手段１０に貼付された帯状の接着シート基材ＡＢから所定形状の接着シートＡＳを切り抜き、シート支持手段１０に残った抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨをシート支持手段１０から剥離するシート剥離装置ＥＡとを備えている。

【0011】

シート支持手段１０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能とされた被着体支持面１１Ａと、当該被着体支持面１１Ａの外周に環状の凹溝１１Ｂを隔てて形成されたシート貼付面１１Ｃとが形成された支持テーブル１１を備えている。

【0012】

シート貼付手段２０は、駆動機器としての回動モータ２１Ａの図示しない出力軸に支持され、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に帯状の接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する原反ガイドローラ２２と、原反ＲＳが掛け回され、接着シート基材ＡＢに付与される張力を検知可能な張力検知手段としてのロードセル２３Ａの検知軸２３Ｂに回転自在に支持された張力検知ローラ２３と、剥離縁２４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板２４と、被着体ＷＫおよびシート貼付面１１Ｃに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付する押圧手段２５と、駆動機器としての回動モータ２６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２６Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート剥離装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ２６Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ２７と、上記の各部材２１～２７を直接的または間接的に支持する貼付フレーム２８Ｂをそのスライダ２８Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ２８とを備えている。
押圧手段２５は、駆動機器としてのリニアモータ２５Ａと、その第１スライダ２５Ｂに支持された駆動機器としてのリニアモータ２５Ｃと、そのスライダ２５Ｄに回転自在に支持された押圧ローラ２５Ｅとを備えている。

【0013】

シート切断手段３０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム３１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット３１と、ブラケット３２Ａを介して先端アーム３１Ａに支持された切断部材としての切断刃３２とを備えている。

【0014】

シート剥離装置ＥＡは、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨに張力を付与し、シート支持手段１０から抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを剥離する張力付与手段４０と、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを案内する案内手段としてのガイドローラ５０と、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨにおける帯状延出方向に直交する幅方向（Ｙ軸方向）中央部の弛み部ＡＢＳ（図１（Ｃ）参照）を弛み方向の反対方向へ付勢し、当該弛み部ＡＢＳを解消して抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨをガイドローラ５０へ送る弛み解消手段６０とを備えている。

【0015】

張力付与手段４０は、シート貼付手段２０と共用されるリニアモータ２５Ａと、その第２スライダ２５Ｆに支持され、ガイドローラ５０を回転自在に支持する剥離フレーム４１と、剥離フレーム４１に支持された駆動機器としてのリニアモータ４２と、そのスライダ４２Ａに回転自在に支持された剥離位置規制ローラ４３と、剥離フレーム４１に支持された駆動機器としての回動モータ４４と、その図示しない出力軸に支持された張力付与ローラ４５と、図示しない付勢手段によって張力付与ローラ４５方向に付勢され、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを回収する回収手段としての回収ローラ４６とを備えている。

【0016】

弛み解消手段６０は、弛み部ＡＢＳに気体ＡＲを吹き付ける気体吹付手段６１と、接着シート基材ＡＢが当該気体吹付手段６１の気体吹付方向に弛むことを防止するシート受け手段６２と、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等によって構成され、弛み部ＡＢＳを検知する弛み検知手段６３とを備えている。
気体吹付手段６１は、加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段と、当該加圧手段から送られてきた気体ＡＲを弛み部ＡＢＳに吹き付ける吹付ノズル６１Ａとを備えている。
シート受け手段６２は、気体ＡＲの吹き付けによって押し付けられた弛み部ＡＢＳを平坦とし、平坦となった抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨが摺動可能な摺動面６２Ｂを備えた板状部材６２Ａを備えている。

【0017】

以上のシート剥離装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、支持ローラ２１に支持された接着シート基材ＡＢが繰り出されないように、シート貼付手段２０が回動モータ２１Ａをロック状態とした後、シート剥離装置ＥＡが回動モータ４４を駆動し、支持ローラ２１と張力付与ローラ４５との間に位置する接着シート基材ＡＢ部分が弛まない程度に張力を付与する。次いで、回収ローラ４６から接着シート基材ＡＢ（抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨ）が繰り出されないように、シート剥離装置ＥＡが回動モータ４４をロック状態とする。

【0018】

その後、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない運搬手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫを被着体支持面１１Ａ上に載置すると、シート支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、当該被着体支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。次に、シート貼付手段２０およびシート剥離装置ＥＡがリニアモータ２５Ｃ、４２を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２５Ｅおよび剥離位置規制ローラ４３を下降させ、当該押圧ローラ２５Ｅおよび剥離位置規制ローラ４３でシート貼付面１１Ｃに接着シート基材ＡＢを所定の押圧力で押圧する。そして、シート貼付手段２０がリニアモータ２５Ａを駆動し、押圧ローラ２５Ｅを右方へ移動させ、被着体ＷＫの上面およびシート貼付面１１Ｃに接着シート基材ＡＢを所定の押圧力で押圧して貼付する。この際、シート貼付手段２０がリニアモータ２８を駆動し、ロードセル２３Ａの検知結果を基にして貼付フレーム２８Ｂを左右方向に移動させ、押圧ローラ２５Ｅと支持ローラ２１との間に位置する貼付前の接着シート基材ＡＢ部分に所定の張力を付与する。

【0019】

次いで、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２５Ｅが支持テーブル１１の右方所定位置に到達すると、シート貼付手段２０がリニアモータ２５Ａの駆動を停止する。その後、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、切断刃３２を接着シート基材ＡＢに突き刺した後、当該切断刃３２を被着体ＷＫの外縁に沿って１周させ、切断刃３２を初期位置に復帰させる。これにより、接着シート基材ＡＢから被着体ＷＫに貼付された所定形状の接着シートＡＳが形成され、被着体ＷＫに接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰが形成される。次に、シート支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、被着体支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除すると、使用者または、図示しない運搬手段が一体物ＵＰを支持テーブル１１から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送する。

【0020】

そして、シート剥離装置ＥＡがリニアモータ２５Ａおよび回動モータ４４を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、剥離フレーム４１を右方へ移動させ、シート貼付面１１Ｃから抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを剥離する。次いで、図１（Ｃ）に示すように、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨがシート貼付面１１Ｃから剥離されると、シート剥離装置ＥＡがリニアモータ２５Ａおよび回動モータ４４の駆動を停止した後、シート貼付手段２０およびシート剥離装置ＥＡがリニアモータ２５Ｃ、４２を駆動し、同図中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２５Ｅおよび剥離位置規制ローラ４３を上昇させる。その後、回収ローラ４６から抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨが繰り出されないように、シート剥離装置ＥＡが回動モータ４４をロック状態とした後、シート貼付手段２０およびシート剥離装置ＥＡがリニアモータ２５Ａを駆動し、押圧ローラ２５Ｅおよび剥離フレーム４１を初期位置に復帰させる。また、リニアモータ２５Ａの駆動開始と同時に、シート貼付手段２０が回動モータ２１Ａ、２６Ａを駆動し、支持ローラ２１から原反ＲＳを繰り出して新たな接着シート基材ＡＢを被着体支持面１１Ａおよびシート貼付面１１Ｃに対向配置させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

ここで、上記同様の動作によって、図１（Ｃ）に示すように、弛み部ＡＢＳが形成されると、弛み検知手段６３が当該弛み部ＡＢＳを検知する。すると、シート貼付面１１Ｃから抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを剥離するためにシート剥離装置ＥＡが剥離フレーム４１を右方へ移動させる前に、図示しない加圧手段を駆動し、吹付ノズル６１Ａから気体ＡＲを吹き付ける。これにより、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨ部分が摺動面６２Ｂに押し付けられ、弛み部ＡＢＳが解消した状態となる。次に、弛み部ＡＢＳが解消した状態のまま、シート剥離装置ＥＡがリニアモータ２５Ａおよび回動モータ４４を駆動し、剥離フレーム４１を右方へ移動させ、弛み部ＡＢＳを解消させた状態の抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨをガイドローラ５０へ送り、シート貼付面１１Ｃから当該抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを剥離する。そして、弛み部ＡＢＳがあった部分がガイドローラ５０よりも回動モータ４４寄りに送られると、シート剥離装置ＥＡが図示しない加圧手段の駆動を停止し、吹付ノズル６１Ａからの気体ＡＲの吹き付けを停止する。

【0022】

以上のような実施形態によれば、弛み部ＡＢＳを解消して抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨをガイドローラ５０へ送るので、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨに弛み部ＡＢＳが形成されたとしても、当該弛み部ＡＢＳが拡大しないように抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨをシート支持手段１０から剥離することができる。

【0023】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、案内手段は、抜き跡付き接着シート基材を案内するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0024】

シート支持手段１０は、被着体ＷＫを支持しなくてもよいし、被着体支持面１１Ａが備わっていなくてもよいし、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨのみを支持するものでもよいし、凹溝１１Ｂがなくてもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし備わっていなくてもよい。

【0025】

シート貼付手段２０は、支持ローラ２１や原反ガイドローラ２２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、剥離フレーム４１を移動させずにまたは移動させつつ、リニアモータ２８や貼付フレーム２８Ｂ等を移動させ、新たな接着シート基材ＡＢを被着体支持面１１Ａおよびシート貼付面１１Ｃに対向配置させてもよいし、張力付与手段４０と共有することのない駆動機器で押圧ローラ２５Ｅを左右方向に移動させてもよいし、押圧ローラ２５Ｅを移動させずにまたは移動させつつ、シート支持手段１０を移動させ、被着体ＷＫおよびシート貼付面１１Ｃに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付してもよいし、押圧ローラ２５Ｅを昇降させない構成としてもよいし、張力検知手段として圧力センサや光学センサ等を採用してもよいし、張力検知手段やリニアモータ２８がなくてもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし備わっていなくてもよい。

【0026】

シート切断手段３０は、切断部材として接着シート基材ＡＢを切断可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃３２の延出方向（図１（Ａ）の状態におけるＺ軸方向）に対し、峰が平行で刃先が傾斜した切断刃３２が採用されてもよいし、切断刃３２の延出方向に対し、刃先が平行で峰が傾斜した切断刃３２が採用されてもよいし、切断刃３２の延出方向に対し、刃先および峰の両方が傾斜した切断刃３２が採用されてもよいし、本来峰となる側にも刃が存在する所謂両刃を備えた切断刃３２が採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃３２が採用されてもよいし、ニクロム線や金属線等の電熱線や、ワイヤやベルト等の線状刃物等が採用されてもよいし、ブラケット３２Ａに支持されていなくてもよい。
シート切断手段３０は、切断刃３２を移動させずにまたは移動させつつ、シート支持手段１０を移動させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｂ）に示すように、切断刃３２における切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向に当該切断刃３２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切先側が被着体ＷＫに接近する方向に当該切断刃３２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向にも接近する方向にも傾斜させることなく接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁と同形状となるように接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも被着体ＷＫから離れた位置で接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁の形状とは関係なく接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢのみを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢおよび被着体ＷＫの両方を切断してもよいし、切断刃３２を着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、切断刃３２の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし備わっていなくてもよい。

【0027】

張力付与手段４０は、剥離フレーム４１を移動させずにまたは移動させつつ、シート支持手段１０を移動させ、当該シート支持手段１０から抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを剥離してもよいし、剥離位置規制ローラ４３を昇降させなくてもよいし、剥離位置規制ローラ４３がなくてもよいし、張力付与ローラ４５方向に付勢されることなく、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを回収可能な回収手段が採用されてもよいし、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収する回収手段が採用されてもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを回収する回収手段が採用されてもよいし、回収手段が備わっていなくてもよいし、例えば、チャックシリンダ等の駆動機器で抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを把持し、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを把持した当該駆動機器とシート支持手段１０とを相対移動させ、当該シート支持手段１０から抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨを剥離してもよい。

【0028】

案内手段は、接着シート基材ＡＢＨが巻き掛けられるガイドローラ５０のようなものに限らず、例えば、張力付与ローラ４５のように、接着シート基材ＡＢＨが巻き掛けられることなく当該接着シート基材ＡＢＨを案内するものでもよいし、例えば、板状部材やシャフト部材等で構成されていてもよいし、抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨにおけるシート貼付面１１Ｃに接着している面側が当接するものでもよいし、シート貼付面１１Ｃに接着していない面側が当接するものでもよいし、それら両方の面側が当接するものでもよいし、１つでもよいし複数でもよい。

【0029】

弛み解消手段６０は、弛み検知手段６３によって弛み部ＡＢＳが検知された際のみに、弛み部ＡＢＳを弛み方向の反対方向へ付勢してもよいし、弛み検知手段６３によって弛み部ＡＢＳが検知されなくても、弛み部ＡＢＳを弛み方向の反対方向へ付勢してもよいし、気体吹付手段６１と併用してまたは併用せずに、図１（Ｄ）に示すように、従動ローラ６４と、当該従動ローラ６４およびガイドローラ５０に掛け回された丸ベルトや平ベルト等の帯状部材６４Ａとで構成されてもよいし、図１（Ｅ）に示すように、駆動ローラ６５Ａと、従動ローラ６５Ｂと、それら駆動ローラ６５Ａおよび従動ローラ６５Ｂに掛け回された丸ベルトや平ベルト等の帯状部材６５Ｃと、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引が可能な吸引部材６５Ｄとで構成されてもよいし、吸引部材６５Ｄのみで構成されてもよいし、図示しないサクションローラで構成されてもよい。
弛み解消手段６０は、図１（Ｆ）に示すように、ローラ部材６２Ｃでシート受け手段６２を構成し、気体ＡＲの吹き付けによって円周面に押し付けられた弛み部ＡＢＳを平坦とし、平坦となった抜き跡付き接着シート基材ＡＢＨをガイドローラ５０方向へ案内してもよいし、図１（Ｇ）に示すように、駆動ローラ６２Ｄと、従動ローラ６２Ｅと、それら駆動ローラ６２Ｄおよび従動ローラ６２Ｅに掛け回された丸ベルトや平ベルト等の帯状部材６２Ｆとでシート受け手段６２を構成してもよいし、シート受け手段６２が備わっていなくてもよいし、弛み検知手段６３が備わっていなくてもよい。

【0030】

シート剥離装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、接着シートＡＳを積層するシート積層装置や接着シートＡＳに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート貼付装置ＥＡ１や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
接着シート基材ＡＢは、剥離シートＲＬが仮着されていなくてもよい。

【0031】

本発明における接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0032】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。

【符号の説明】

【0033】

ＥＡ…シート剥離装置
１０…シート支持手段
４０…張力付与手段
５０…ガイドローラ（案内手段）
６０…弛み解消手段
６１…気体吹付手段
６２…シート受け手段
６３…弛み検知手段
ＡＢ…接着シート基材
ＡＢＨ…抜き跡付き接着シート基材
ＡＢＳ…弛み部
ＡＳ…接着シート

【図1】