特許 7297034 テストヘッド接続方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-15

(45)【発行日】2023-06-23

(54)【発明の名称】テストヘッド接続方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20230616BHJP

   G01R 31/28 20060101ALI20230616BHJP

【ＦＩ】

H01L21/66 B

G01R31/28 K

【請求項の数】 9

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2021186106

(22)【出願日】2021-11-16

(65)【公開番号】P2022080881

(43)【公開日】2022-05-30

【審査請求日】2021-12-20

(31)【優先権主張番号】109140284

(32)【優先日】2020-11-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】505441638

【氏名又は名称】致茂電子股▲分▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】Ｃｈｒｏｍａ Ａｔｅ Ｉｎｃ．

(74)【代理人】

【識別番号】100169904

【弁理士】

【氏名又は名称】村井 康司

(74)【代理人】

【識別番号】100159905

【弁理士】

【氏名又は名称】宮垣 丈晴

(72)【発明者】

【氏名】楊高山

(72)【発明者】

【氏名】林景立

【審査官】小池 英敏

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－１３７２４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１６１６３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０９９０３８８５（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】特開２００２－０７６０７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００７－５３８２６３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｇ０１Ｒ １／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

テストヘッド及びプロービング機械を接続するためのテストヘッド接続方法であって、
ロードボード及びテスト固定具を前記テストヘッドと前記プロービング機械との間に配置することと、
前記テストヘッドの真空機能を作動させることと、
前記テスト固定具を整列させるように前記テストヘッドを移動させることと、
前記テストヘッドを前記テスト固定具において前記ロードボードに接触するまで移動させることと、
前記テストヘッド及び前記テスト固定具を少なくとも１つの係合部材により固定することと
を含み、
前記テスト固定具が前記プロービング機械において配置され、前記テスト固定具が前記ロードボードを収容するために使用され、
前記ロードボードが直接プロービングによりウエハを接続するように構成され、
前記テストヘッドが前記ロードボードの上面に接触し、前記テスト固定具が前記ロードボードの下面に接触する、テストヘッド接続方法。

【請求項2】

前記テスト固定具が第１上面を画定し、前記第１上面が第１収容空間を画定し、前記第１収容空間が前記ロードボードを収容するために使用される、請求項１に記載のテストヘッド接続方法。

【請求項3】

前記ロードボードが前記第１収容空間に収容されるとき、前記ロードボード及び前記第１上面が同一平面を形成する、請求項２に記載のテストヘッド接続方法。

【請求項4】

前記テストヘッド接続方法が、
前記プロービング機械に取り外し可能に係止された固定プレートを提供すること
をさらに含み、
前記固定プレートの第２上面が第２収容空間を画定し、前記第２収容空間が前記テスト固定具を収容するために使用される、請求項２に記載のテストヘッド接続方法。

【請求項5】

前記第１上面及び前記第２上面が同一平面上にない、請求項４に記載のテストヘッド接続方法。

【請求項6】

前記テスト固定具が前記固定プレートの前記第２収容空間において取り外し可能に係止される、請求項４に記載のテストヘッド接続方法。

【請求項7】

前記ロードボードが前記第１収容空間において取り外し可能に係止される、請求項２に記載のテストヘッド接続方法。

【請求項8】

前記テスト固定具を整列させるように前記テストヘッドを移動させる前記ステップにおいて、
前記テストヘッドを前記テスト固定具と整列するように案内するために、前記テスト固定具に配置された整列部材を提供すること
をさらに含む、請求項１に記載のテストヘッド接続方法。

【請求項9】

前記ロードボードの前記上面が少なくとも真空領域を画定し、前記真空領域が金属帯により囲まれる、請求項１に記載のテストヘッド接続方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
本出願は、その内容全体が参照によりこの出願に組み込まれる２０２０年１１月１８日に出願された台湾特許出願第１０９１４０２８４号明細書に対する優先権を主張する。

【0002】

本発明は、テストヘッドを接続するための方法、より具体的には、直接プロービングによりテストヘッドとプロービング機械とを接続するための方法に関連する。

【背景技術】

【0003】

ウエハを適切に移動及びロードするために、ウエハは通常、テスト手順中にプロービング機械に配置され、テストヘッドによりテストされる。概して、テストヘッドはロードボードに電気的に接続された多くのプローブカードを有してもよく、ロードボードはウエハに電気的に接続される。慣例上、ロードボードはウエハに直接接触しない。例えば、ロードボードはポゴタワーに接続されるべきであり、ポゴタワーはウエハに接触する。ポゴタワー及びロードボードはテストヘッドとプロービング機械との間に配置される必要があるため、テストヘッドがプロービング機械から離れていることは明らかである。加えて、ロードボードとウエハとの間に配置されているポゴタワーがあるため、信号伝送路がはるかにより長くなり、より多くの干渉及びより大きい信号減衰がある。

【0004】

長い信号伝送路の上記の問題を解決するために、ロードボードがウエハに接触することを可能にするいくつかの新たなプロービング機械がある。ロードボードとウエハとの間のこの接続手段は「直接ドッキング」と呼ばれている。ロードボード及びウエハは直接ドッキングであるため、ポゴタワーは必要が無く、このことにより信号伝送路をより短くなり得、そのため産業により徐々に採用されつつある。しかしながら、従来のプロービング機械では、ポゴタワーを取り外し直接ドッキングモードへ切り替えるための方法はない。１つの理由は、従来のロードボードは第１にテストヘッドへ係止され、ポゴタワーもまたプロービング機械に係止めされるからである。ウエハを従来通り試験している間、テストヘッド及びプロービング機械は、ロードボード及びポゴタワーの相対的位置を固定するために機械的手段により一緒に固定され、次いで、ロードボードはポゴタワーを通じてウエハに電気的に接続され得る。しかしながら、従来のプロービング機械はポゴタワーを有するように設計され、ロードボード及びウエハは互いに対して接近していない。換言すると、ポゴタワーが除去されたとしても、ロードボードは依然としてウエハからかなりの距離離れている。そして、ロードボードがテストヘッドに依然として係止されている場合、ロードボードがウエハに確実に接触し得ないという問題がある。したがって、テストヘッド及びプロービング機械が直接ドッキングモードにおいて作動するように調整され得るように、産業はテストヘッドを接続するための新たな方法を必要としている。

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明は、テストヘッドをプロービング機械に接続するために使用され得るテストヘッド接続方法を提供する。本方法において、ロードボードがテストヘッドの代わりにプロービング機械にセットされ、テストヘッドがロードボードに接触すると、テストヘッドとプロービング機械との間に安定性を増すためにロードボードはテストヘッドの真空機能によりきつく吸い込まれ得る。

【0006】

本発明は、テストヘッド接続方法であって、以下のステップ、すなわち、ロードボード及びテスト固定具をテストヘッドとプロービング機械との間に配置すること、テストヘッドの真空機能を作動させること、テスト固定具を整列させるようにテストヘッドを移動させること、テストヘッドをテスト固定具においてロードボードに接触するまで移動させること、テストヘッド及びテスト固定具を少なくとも１つの係合部材により固定することを含むテストヘッド接続方法を開示する。テスト固定具はプロービング機械において配置され、テスト固定具はロードボードを収容するために使用され、ロードボードは直接プロービングによりウエハを接続するように構成される。

【0007】

いくつかの実施形態において、テスト固定具は第１上面を画定し、第１上面は第１収容空間を画定し、第１収容空間はロードボードを収容するために使用され得る。ロードボードが第１収容空間に収容されるとき、ロードボード及び第１上面は同一平面を形成し得る。加えて、テストヘッド接続方法は、プロービング機械に取り外し可能に係止された固定プレートを提供することをさらに含み得る。固定プレートの第２上面は第２収容空間を画定し、第２収容空間はテスト固定具を収容するために使用され得る。加えて、第１上面及び第２上面は同一平面上になく、テスト固定具は固定プレートの第２収容空間において取り外し可能に係止される。

【0008】

いくつかの実施形態において、ロードボードは第１収容空間において取り外し可能に係止され得る。加えて、テスト固定具を整列させるようにテストヘッドを移動させるステップにおいて、テストヘッドをテスト固定具と整列するように案内するためにテスト固定具に配置された整列部材を提供することをさらに含み得る。加えて、テストヘッドはロードボードの上面に接触してもよく、テスト固定具はロードボードの下面に接触してもよい。さらに、ロードボードの上面が少なくとも真空領域を画定し、真空領域は金属帯により囲まれ得る。

【0009】

上記に基づき、本発明により提供されたテストヘッド接続方法はテストヘッドをプロービング機械に接続するために使用され得、ロードボードがテストヘッドに対してより効率的に押し付けられるように、テストヘッドの真空機能がロードボードをきつく吸い込むために使用され得る。加えて、ロードボードがプロービング機械において配置されるため、テストヘッドとプロービング機械との間の安定性もまた増し得る。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態によるテストヘッド及びプロービング機械の概略図である。

【図2】本発明の実施形態によるテストヘッドの斜視図である。

【図3】本発明の実施形態によるテストヘッドの別の角度からの斜視図である。

【図4】本発明の実施形態によるプロービング機械の斜視図である。

【図5】本発明の実施形態によるロードボードの概略図である。

【図6】本発明の実施形態によるロードボード及び固定プレートの概略図である。

【図7】本発明の実施形態によるテストヘッド接続方法のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明の特徴、目的、及び機能が以下にさらに開示される。しかしながら、これは可能な本発明の実施形態のうちのわずかのものにすぎず、本発明の範囲はこれに限定されず、すなわち、本発明の特許請求の範囲によりなされた均等な変更及び修正は本発明の対象のままである。本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなしに、これは本発明のさらなる実施可能形態として検討されるべきである。

【0012】

図１を参照されたい。図１は本発明の実施形態によるテストヘッド及びプロービング機械の概略図である。図１に示されるとおり、本発明のテストヘッド接続方法はテストヘッド１をプロービング機械２に接続するために使用され得る。プロービング機械２には試験されるウエハ（図示せず）が設けられ得、テストヘッド１はロードボード（図１には示さず）を介してウエハに電気的に接続され得る。テストヘッド１とプロービング機械２との間の構造及びコンポーネントを示すために、図１は、テストヘッド１がプロービング機械２からわずかに離れている状態を示す。テストヘッド１がプロービング機械２より上にあり、テストヘッド１がプロービング機械２に接続されていないことが分かり得る。実際には、テストヘッド１はまたロボットアーム又はクレーン（図示せず）と接続され得、このことはテストヘッド１が任意の方向に移動するか、傾くか、又ははじかれることを可能にする。例えば、ロボットアーム又はクレーンはテストヘッド１がプロービング機械２、ロボットアーム又はクレーンに垂直に接近することもプロービング機械２、ロボットアーム又はクレーンから離れて移動することも可能とし、テストヘッド１の内部コンポーネントに調整が必要なときにテストヘッド１を回転させ得る。当然のことながら、ロボットアーム又はクレーンがテストヘッド１を他の位置へ水平に移動させることも可能であり、これはこの実施形態において限定されているものではない。テストヘッド１及びプロービング機械２の構造及び運転モードはそれぞれ以下に記載される。

【0013】

図１、図２及び図３をあわせて参照されたい。図２は本発明の実施形態によるテストヘッドの斜視図であり、図３は本発明の実施形態によるテストヘッドの別の角度からの斜視図である。図に示されるとおり、テストヘッド１は、ハウジング１０と、ハウジング１０から外観上突出している基体１２とを有し得る。一例において、ハウジング１０は底面１０ａを画定することができ、基体１２はまたテスト面１２ａを画定することができる。底面１０ａ及びテスト面１２ａは両方とも図１においてプロービング機械２に面している。基体１２は略立方体形であり、基体１２の幅Ｗ２は、同じ軸方向において、ハウジング１０の幅Ｗ１よりわずかに幅が狭い。本発明の実施形態は、幅Ｗ１と幅Ｗ２との間の数値的又は比率的値を限定しない。基体１２は底面１０ａから突出するため、当業者は底面１０ａ及びテスト面１２ａが同一平面上にないことを理解し得る。一例において、テスト面１２ａは、図１において、底面１０ａよりもプロービング機械２により近い。加えて、ハウジング１０には、電気試験及び真空機能のための様々なコンポーネントが設けられ得る。例えば、ハウジング１０には複数のプローブカードが設けられ得、各プローブカードは２つ以上のプローブセットを有し得る。プローブセットは、テスト面１２ａからテスト面１２ａ上の開口１２０を通じて突出し得る。

【0014】

例において、テスト面１２ａ上の各開口１２０はプローブカードのうちの１つと必ずしも対応していない。例えば、開口１２０の中に突出しているプローブセットを有しないものがあってもよいように、ハウジング１０内にわずかなプローブカードのみがあってもよい。図２及び図３に示されている例をとると、テスト面１２ａ上の開口１２０は２つの列に分割され得、各列における開口１２０の数は同じである。この実施形態はテスト面１２ａ上の開口１２０の数を限定しない。各列における開口は、外観上シーリング帯１２２により囲まれ得る。実際には、シーリング帯１２２により囲まれる領域には、真空吸引のための１つ又は複数の貫通孔が設けられ、すなわち、シーリング帯１２２により囲まれる領域はテストヘッド１の真空機能に関連し、このことは後で説明される。

【0015】

加えて、ハウジング１０にはまた、係合部材１００、固定部材１０２、及び整列部材１０４が設けられてもよい。係合部材１００、固定部材１０２、及び整列部材１０４がプロービング機械２へどのように固定されるか理解するため、図４に示されたプロービング機械２が説明のために使用される。図１、図３及び図４をあわせて参照されたい。図４は本発明の実施形態によるプロービング機械の斜視図である。図に示されるとおり、プロービング機械２はハウジング２０を含んでもよく、テスト固定具２２及び固定プレート２４はハウジング２０の、テストヘッド１に隣接する側面に提供され得る。一例において、固定プレート２４がハウジング２０上に第１に配置され、テスト固定具２２が次いでハウジング２０に固定プレート２４により固定される。詳細には、テスト固定具２２は、固定プレート２４に取り外し可能に係止される。例えば、テスト固定具２２は固定プレート２４にねじで固定され得、このことはこの実施形態において限定されるものではない。

【0016】

加えて、テスト固定具２２には係合部材２２０及び整列部材２２２が設けられてもよく、係合部材２２０及び係合部材１００は互いに構造的に対応し得る。例えば、係合部材１００はスロットでもよく、係合部材２２０は、スロット内へ摺動して互いに係止及び固定され得る短い柱状部であってもよい。係合部材２２０が係合部材１００と係合するのを支援するために、整列部材１０４及び整列部材２２２がテストヘッド１及びプロービング機械２を整列させるために使用され得る。図３及び図４に示されるとおり、整列部材１０４は溝であってもよく、整列部材２２２は柱状部であってもよく、整列部材１０４は整列部材２２２を収納し得る。この実施形態は、整列部材２２２の形状が整列部材１０４の形状に対応し得る限り整列部材１０４の形状及び整列部材２２２の形状を限定せず、これはこの実施形態において説明された範囲にあるべきである。図４に示された係合部材２２０及び整列部材２２２をテスト固定具２２のエッジ上に図１におけるテストヘッド１に面して設定する代わりに、係合部材２２０及び整列部材２２２は固定プレート２４上に設定され得る。一例において、係合部材１００及び係合部材２２０が一緒に固定されることを確実にするために、ユーザは、係合部材１００及び係合部材２２０を係止するとともにテストヘッド１及びプロービング機械２を適所に大まかに固定された状態するために、固定部材１０２（例えばハンドル）をテストヘッド１上で引くことができる。例えば、固定部材１０２は、係合部材２２０が係合部材１００を出る又は係合部材１００から分離するのを防ぎ得るブロック構造（図示せず）をもたらし得る。この実施形態はブロック構造の手段を限定しない。

【0017】

直接ドッキングの定義により、テストヘッド１のテスト面１２ａはロードボードに接触し、ロードボードはウエハに直接ドッキングする。上記の直接ドッキングを説明するために、図５及び図６をあわせて参照されたい。図５は本発明の実施形態によるロードボードの概略図である。図６は本発明の実施形態によるロードボード及び固定プレートの概略図である。図６はテスト固定具２２及び固定プレート２４が分離可能であることを示す。図に示されるとおり、テスト固定具２２は上面２２ａ（第１上面）を有し、上面２２ａは収容空間２２４（第１収容空間）を画定する。固定プレート２４は上面２４ａ（第２上面）で画定され、上面２４ａの中心は凹部を有し、凹部は収容空間２４０（第２収容空間）として画定される。図６において示された例において、固定プレート２４は中空フレームであってもよい。本発明の実施形態は、収容空間２４０がテスト固定具２２を収容するために使用され得る限り固定プレート２４のサイズを限定しない。

【0018】

前述の係合部材２２０及び整列部材２２２を除き、テスト固定具２２は外観上たらい形である。たらい形テスト固定具２２のエッジは固定プレート２４に係止され得、たらい形テスト固定具２２の底部は固定プレート２４に収容され得る。一例において、テスト固定具２２は上面２４ａに係止され、そのため、テスト固定具２２のエッジはテスト固定具２２の底部よりも高くなる。すなわち、テスト固定具２２のエッジは、テスト固定具２２の底部よりもテストヘッド１のテスト面１２ａに近い。実際には、テスト固定具２２の底部は上面２２ａ（第１上面）である。テスト固定具２２が固定プレート２４に含まれる場合、上面２２ａ及び上面２４ａは同一平面上にない。加えて、収容空間２２４は上面２２ａ上のわずかに凹んだ領域であり、収容空間２２４はロードボード２６を収容するために使用され得る。収容空間２２４は上面２２ａと一体的に形成されてもよく、又は上面２２ａの一部であってもよい。ロードボード２６のサイズは収容空間２２４以下であるべきである、すなわち、ロードボード２６は収容空間２２４内にいれられることが可能であるべきである。

【0019】

（図５に示された）テストヘッド１に隣接しているロードボード２６の上面２６ａは、複数のパッド２６０及び真空領域２６２を有してもよい。図２及び図３において示された例と同様に、ロードボード２６上のパッド２６０もまた２つの列に分割され得、パッド２６０の各列は真空領域２６２のうちの１つに位置する。一例において、ロードボード２６には、上面２６ａのエッジに金属帯２６４がさらに設けられる。金属帯２６４は外観上長方形として見なされ得るとともに真空領域２６２の両方を囲み得る。本発明の実施形態は金属帯２６４の位置及び形状を限定しない。例えば、金属帯２６４は上面２６ａのエッジ上に配置されずに、各真空領域２６２のエッジ上に配置されてもよい。この場合、金属帯２６４は２つの矩形とみなされ得、各長方形は真空領域２６２のうちの１つを囲む。当然のことながら、ロードボード２６の、テストヘッド１から離れたより低い側（例えば、図５に示された他方の表面）では、ウエハを接続するための複数のプローブ（図示せず）を有してもよく、プローブはテスト固定具２２におけるスロット２２６を通じて上面２２ａを通過することができ、下に配置されたウエハ（図示せず）に直接接触することができ、これはｒｅｐではない

【0020】

実際には、テスト固定具２２が固定プレート２４に係止され、固定プレート２４がハウジング２０に固定されることに加えて、ロードボード２６はまたテスト固定具２２の収容空間２２４において予め係止される。一例において、ロードボード２６が収容空間２２４において係止されると、ロードボード２６の上面２６ａはテスト固定具２２の上面２２ａと同じ高さ（同一平面上）になることができ、又は、上面２６ａ上に位置する金属帯２６４の頂部は、テスト固定具２２の上面２２ａと同じ高さ（同一平面上）になることができ、このことはこの実施形態において限定されるものではない。換言すると、ロードボード２６が収容空間２２４において係止されると、ロードボード２６の少なくとも一部は上面２２ａ同一平面上にある。加えて、テストヘッド１及びプロービング機械２が互いに近づいているとき、テストヘッド１の基体１２はテスト固定具２２と整列され、このことはまた、ロードボード２６及びテスト固定具２２は互いに対して移動しないため、テスト面１２ａ上の開口１２０が上面２６ａ上のパッド２６０と整列され得ないことを表す。実際には、ロードボード２６の上面２６ａはテストヘッド１の基体１２に接触するために使用され、ロードボード２６の、上面２６ａの反対側にある表面（例えばより低い側）はテスト固定具２２に接触するために使用される。

【0021】

その後、テストヘッド１及びプロービング機械２が、基体１２のテスト面１２ａがテスト固定具２２の上面２２ａに接触するか隣接し、ロードボード２６の上面２６ａに隣接するまで引き続き互いに近づく。プローブセットが、パッド２６０にしっかりと接触するために開口１２０から突出することを可能にするために、テストヘッド１は第１に真空機能を作動させることができ、これは、基体１２のテスト面１２ａがロードボード２６の上面２６ａに向かって移動するときに、基体１２上の、開口１２０に隣接する位置から排気することを意味する。換言すると、テスト面１２ａが上面２６ａへ押されると、シーリング帯１２２は、テスト面１２ａ、上面２６ａ、及びシーリング帯１２２により囲まれた空間が気密になるように真空領域２６２のエッジに押し当てられる。そしてこのとき、基体１２はテスト面１２ａから排気し得る。テストヘッド１及びプロービング機械２が互いに近づいているとき、テストヘッド１及びプロービング機械２が整列手順、例えば整列部材１０４及び整列部材２２２を互いに対して整列させることを実施し得、係合部材２２０を係合部材１００に嵌合させる又は入れることができることには言及する価値がある。テストヘッド１及びプロービング機械２が第１に整列されることも、テストヘッド１が真空機能を第１に開始することもでき、これらの２つのステップは交換可能でなければならない。加えて、上面２６ａでのシーリング帯１２２の過剰な圧縮並びに開口１２０から突出するプローブセット及びパッド２６０への損傷を回避するために、金属帯２６４は、テスト面１２ａと上面２６ａとの間の間隙を維持するために支持体として使用され得る。

【0022】

上述のとおり係合部材２２０が係合部材１００に入った後で、ユーザは、係合部材１００及び係合部材２２０の相対的位置を係止するためにテストヘッド１上の固定部材１０２を引くことができる。このステップにおいて、テストヘッド１はプロービング機械２に完全に接続又は固定されたと言うことができる。テストヘッド１がプロービング機械２に接続されると、基体１２の一部はテスト固定具２２の凹部、たらい形構造内へと押し込まれることには言及する価値がある。例えば、テスト固定具２２の凹部、たらい形構造は、外観上四角形であってもよく、軸方向において幅Ｗ３を有し得る。この時点で、軸方向における基体１２の幅Ｗ２が幅Ｗ３より小さい限り、基体１２の一部は、基体１２のテスト面１２ａが上面２２ａ（又は上面２６ａ）と上面２４ａとの間の位置にあるように、上面２４ａ内に沈むことができる。従来のポゴタワーとは異なり、従来のポゴタワーが除去されると、ロードボードとウエハとの間の距離が大きくなりすぎ、ロードボードがウエハに接触できないという問題が生じる。この実施形態において、基体１２がプロービング機械２内へ押し込まれ得るとともにロードボード２６のより近くにあるように、テスト固定具２２は凹部、たらい形構造を有するように設計され、それによりロードボードがウエハに接触できないという問題を解決する。

【0023】

他方、この実施形態において言及されたテストヘッド１の真空機能は、プローブセットとパッド２６０との間の電気的接続の安定化に加えて他の目的のために使用され得る。テストヘッド１は元から真空機能を備えて設計されてもよいが、これはプローブセットとパッド２６０との間の電気的接続の安定化のために使用されない。例えば、真空機能は、テスト対象物の周りで排出ガスを吸い込むか交換されたポゴタワーを吸引するように設計され得る、すなわち、真空機能の新たな適用がこの実施形態において導入されている。

【0024】

本発明により提供されたテストヘッド接続方法を説明するために、図１～図７をあわせて参照されたい。図７は、本発明の一実施形態によるテストヘッド接続方法のフローチャートを示す。図に示されるとおり、ステップＳ３０において、ロードボード２６及びテスト固定具２２はテストヘッド１とプロービング機械２との間に配置される。テスト固定具２２はプロービング機械２においてセットされ、テスト固定具２２はロードボード２６を収容するために使用される。ステップＳ３２において、テストヘッド１の真空機能が作動され、ステップＳ３４において、テストヘッド１はテスト固定具２２を整列させるために移動される。次に、ステップＳ３６において、テストヘッド１は、テスト固定具２２においてロードボード２６に接触するように移動される。そしてステップＳ３８において、係合部材１００及び係合部材２２０がテストヘッド１及びテスト固定具２２を固定するために使用される。上のステップにおいて、テストヘッド１及びプロービング機械２は直接プロービング接続において接続され、ロードボード２６はウエハに直接接触し得る。テストヘッド接続方法の他のステップは先行する実施形態において説明され、この実施形態はここでは繰り返されない。

【0025】

要約すると、本発明により提供されたテストヘッド接続方法は、古いプロービング機械により使用され得る。テスト固定具が凹んだたらい形構造と交換される限り、古いプロービング機械及びテストヘッドは直接ドッキング接続において互いに接続され得る。このようにして、従来のポゴタワーに対応する長い信号伝送路という問題は解決される。加えて、本発明はまた、ロードボードがテストヘッドに向かってより効率的に押し付けられ得るように、ロードボードをきつく吸い込むために使用され得るテストヘッドの真空機能を使用することができる。ロードボードはプロービング機械において配置されるため、テストヘッドとプロービング機械との間の安定性もまた増し得る。

【符号の説明】

【0026】

１ テストヘッド
２ プロービング機械
１０ ハウジング
１０ａ 底面
１２ 基体
１２ａ テスト面
２０ ハウジング
２２ テスト固定具
２２ａ 上面
２４ 固定プレート
２４ａ 上面
２６ ロードボード
２６ａ 上面
１００ 係合部材
１０２ 固定部材
１０４ 整列部材
１２０ 開口
１２２ シーリング帯
２２０ 係合部材
２２２ 整列部材
２２４ 収容空間
２２６ スロット
２４０ 収容空間
２６０ パッド
２６２ 真空領域
２６４ 金属帯
Ｓ３０ ステップ
Ｓ３２ ステップ
Ｓ３４ ステップ
Ｓ３６ ステップ
Ｓ３８ ステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】