特許 7300662 液体霧化システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-22

(45)【発行日】2023-06-30

(54)【発明の名称】液体霧化システム

(51)【国際特許分類】

   B05B 17/06 20060101AFI20230623BHJP

【ＦＩ】

B05B17/06

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2022511821

(86)(22)【出願日】2021-03-16

(86)【国際出願番号】 JP2021010661

(87)【国際公開番号】W WO2021200124

(87)【国際公開日】2021-10-07

【審査請求日】2022-09-14

(31)【優先権主張番号】P 2020064780

(32)【優先日】2020-03-31

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002527

【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】阪井 淳

(72)【発明者】

【氏名】植村 真利子

【審査官】鏡 宣宏

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－５６０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１２１０５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－７３５７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１０４９７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１４３７２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２５３３４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１９３５９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２５７４０８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｂ １／００－１７／０８

Ｂ０５Ｄ １／００－７／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面及び裏面を有する圧電性基板と、前記圧電性基板の前記表面上に設けられており、前記圧電性基板に表面弾性波を発生させるＩＤＴ電極と、を含むＳＡＷデバイスと、
前記圧電性基板の厚さ方向から見て前記表面弾性波の伝搬方向において前記ＩＤＴ電極に並んでおり、前記圧電性基板の前記表面上に配置されている多孔性金属シートと、を備え、
前記圧電性基板の前記表面上に位置し前記多孔性金属シートに保持された対象液体を前記表面弾性波によって霧化し、
前記対象液体は、少なくとも霧化される部位の厚みが前記多孔性金属シートによって制御される、
液体霧化システム。

【請求項2】

前記多孔性金属シートの一部に前記対象液体を供給する液体供給部を更に備える、
請求項１に記載の液体霧化システム。

【請求項3】

前記圧電性基板は、前記厚さ方向に貫通する貫通孔を有し、
前記液体供給部は、前記圧電性基板の前記裏面側から前記貫通孔を通して前記多孔性金属シートに前記対象液体を供給する、
請求項２に記載の液体霧化システム。

【請求項4】

前記液体供給部は、前記多孔性金属シートの表面又は側面から前記多孔性金属シートに前記対象液体を供給する、
請求項２に記載の液体霧化システム。

【請求項5】

前記液体供給部は、前記多孔性金属シートの表面に交差する方向に沿って前記対象液体を輸送する多孔性材料部を更に備える、
請求項２～４のいずれか一項に記載の液体霧化システム。

【請求項6】

前記多孔性材料部の材料が前記多孔性金属シートの材料と同じであり、
前記多孔性材料部は、第１端及び第２端を有し、
前記多孔性材料部の前記第１端が前記液体供給部の有する液体タンク内の前記対象液体に浸漬され、
前記多孔性材料部の前記第２端が前記多孔性金属シートにつながっている、
請求項５に記載の液体霧化システム。

【請求項7】

前記液体供給部は、複数種の液体から前記対象液体を調合する調合部を更に備え、
前記液体供給部は、前記調合部で調合した前記対象液体を前記多孔性金属シートへ供給する、
請求項２～４のいずれか一項に記載の液体霧化システム。

【請求項8】

前記多孔性金属シートを前記圧電性基板の前記表面との間に挟む部材を更に備える、
請求項１～７のいずれか一項に記載の液体霧化システム。

【請求項9】

前記部材は、前記厚さ方向から見て、前記多孔性金属シートにおける前記ＩＤＴ電極側の端部を露出させるように前記多孔性金属シートを前記圧電性基板の前記表面との間に挟んでいる、
請求項８に記載の液体霧化システム。

【請求項10】

前記部材は、
前記厚さ方向において前記多孔性金属シートに重なる第１部分と、
前記厚さ方向において前記多孔性金属シートに重ならない第２部分と、を有し、
前記第２部分と前記圧電性基板の前記表面との距離が、前記第１部分と前記圧電性基板の前記表面との距離よりも短い、
請求項８又は９に記載の液体霧化システム。

【請求項11】

前記部材の前記第２部分と前記圧電性基板の前記表面との間に介在し、前記対象液体をはじく性質を有する中間部材を更に備える、
請求項１０に記載の液体霧化システム。

【請求項12】

前記多孔性金属シートは、複数の繊維状金属を含む多孔質金属である、
請求項１～１１のいずれか一項に記載の液体霧化システム。

【請求項13】

前記多孔性金属シートは、複数の開気孔を有し、
前記複数の開気孔は、前記多孔性金属シートにおいて前記ＩＤＴ電極に対向する第１面及び前記第１面とは異なる第２面で開放されている、
請求項１～１２のいずれか一項に記載の液体霧化システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、一般に、液体霧化システムに関し、より詳細には、対象液体を霧化する液体霧化システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ＳＡＷデバイスを備え、ＳＡＷデバイスの表面に供給された液体を弾性表面波によって霧化させる液体霧化装置が記載されている。特許文献１に開示された液体霧化装置におけるＳＡＷデバイスは、圧電セラミック材料よりなる基板の表面に一組の櫛形電極が形成されている。

【0003】

特許文献１に開示された液体霧化装置では、ＳＡＷデバイスの一組の櫛形電極の近傍位置であって、弾性表面波の伝搬領域には、一組の櫛形電極の重なり幅（交差幅）の範囲内に、表面と裏面とを貫通する複数の液体供給孔（貫通孔）が弾性表面波の伝搬方向に対して横切るように列設されている。

【0004】

特許文献１に開示された液体霧化装置では、ＳＡＷデバイスの表面に供給された液体の厚みが不安定となり、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子を安定して発生させることが難しかった。ここにおいて、「ナノメートルサイズ」とは、１ｎｍ～９９９ｎｍである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１２－２４６４６号公報

【発明の概要】

【0006】

本開示の目的は、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子を、より安定して発生させることが可能な液体霧化システムを提供することにある。

【0007】

本開示に係る一態様の液体霧化システムは、ＳＡＷデバイスと、多孔性金属シートと、を備える。前記ＳＡＷデバイスは、圧電性基板と、ＩＤＴ電極と、を含む。前記圧電性基板は、表面及び裏面を有する。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板の前記表面上に設けられている。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板に表面弾性波を発生させる。前記多孔性金属シートは、前記圧電性基板の厚さ方向から見て前記表面弾性波の伝搬方向において前記ＩＤＴ電極に並んでいる。前記多孔性金属シートは、前記圧電性基板の前記表面上に配置されている。前記液体霧化システムは、前記圧電性基板の前記表面上に位置し前記多孔性金属シートに保持された対象液体を前記表面弾性波によって霧化する。前記対象液体は、少なくとも霧化される部位の厚みが前記多孔性金属シートによって制御される。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、実施形態１に係る液体霧化システムの平面図である。

【図2】図２は、同上の液体霧化システムを示し、図１のＡ－Ａ線断面図である。

【図3】図３は、同上の液体霧化システムを示し、図１のＢ－Ｂ線断面図である。

【図4】図４Ａは、同上の液体霧化システムの動作説明図である。図４Ｂは、同上の液体霧化システムにおける霧化ポイントの説明図である。

【図5】図５は、実施形態１に係る液体霧化システム及び比較例に係る液体霧化システムの投入電力－温度特性図である。

【図6】図６は、実施形態１の変形例に係る液体霧化システムの断面図である。

【図7】図７は、実施形態２に係る液体霧化システムの平面図である。

【図8】図８は、同上の液体霧化システムの断面図である。

【図9】図９は、実施形態２の変形例に係る液体霧化システムの断面図である。

【図10】図１０は、実施形態３に係る液体霧化システムの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

下記の実施形態１～３等において説明する図１～１０は、模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。

【0010】

（実施形態１）
以下では、実施形態１に係る液体霧化システム１について図１～４Ｂに基づいて説明する。

【0011】

（１）概要
実施形態１に係る液体霧化システム１は、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）デバイス５を備え、ＳＡＷデバイス５で発生させる表面弾性波のエネルギを対象液体１００（図２、４Ａ及び４Ｂ参照）に与えて対象液体１００を霧化する。液体霧化システム１では、対象液体１００を霧化することによって液滴粒子１０３（図４Ａ参照）を発生させる。ＳＡＷデバイス５は、圧電性基板２と、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極３と、を備える。圧電性基板２は、圧電性を有する。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２に表面弾性波を発生させる。液体霧化システム１では、圧電性基板２上に配置されている多孔性金属シート６を備える。液体霧化システム１では、対象液体１００のうち霧化される部位の厚みが、多孔性金属シート６によって制御される。対象液体１００は、例えば、アロマオイルであるが、これに限らず、水、美容用の液体、医療用の液体等であってもよい。液体霧化システム１は、例えば、ミストディフューザに適用することができる。

【0012】

（２）液体霧化システムの詳細
液体霧化システム１は、図１～４Ａに示すように、ＳＡＷデバイス５と、多孔性金属シート６と、を備える。ＳＡＷデバイス５は、圧電性基板２と、ＩＤＴ電極３と、を備える。

【0013】

圧電性基板２は、表面２１及び裏面２２を有する。表面２１及び裏面２２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０において離れており、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に交差する。圧電性基板２の表面２１及び裏面２２は、例えば、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に直交している。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、圧電性基板２の外周形状（外縁）は、例えば、長方形状である。

【0014】

圧電性基板２は、上述のように圧電性を有する。圧電性基板２は、圧電基板であり、一例として、１２８°ＹカットＬｉＮｂＯ_３単結晶基板である。圧電性基板２の材料は、ＬｉＮｂＯ_３に限らず、例えば、ＬｉＴａＯ_３等でもよい。圧電性基板２のカット角は、１２８°に限らず、１２８°以外のカット角であってもよい。圧電性基板２の厚さは、例えば、０．５ｍｍであるが、これに限らない。

【0015】

ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２の表面２１上に設けられており、圧電性基板２に表面弾性波を発生させる。ここで、ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２の表面２１上に直接設けられている。

【0016】

ＩＤＴ電極３は、一対の櫛形電極として、第１櫛形電極３１と、第２櫛形電極３２と、を有する。第１櫛形電極３１及び第２櫛形電極３２の各々は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、櫛形状である。第１櫛形電極３１は、複数の第１電極指３１１を含む。第１櫛形電極３１は、複数の第１電極指３１１がつながっている第１導電部３１２を更に含む。第２櫛形電極３２は、複数の第２電極指３２１を含む。第２櫛形電極３２は、複数の第２電極指３２１がつながっている第２導電部３２２を更に含む。

【0017】

ＩＤＴ電極３の材料は、例えば、アルミニウムであるが、これに限らず、他の金属又は合金等であってもよい。また、ＩＤＴ電極３は、単層構造に限らず積層構造を有していてもよい。

【0018】

以下では、説明の便宜上、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０を第１方向Ｄ１とし、第１櫛形電極３１の第１電極指３１１の並んでいる方向を第２方向Ｄ２とし、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とに直交する方向を第３方向Ｄ３として説明することもある。

【0019】

ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指３１１と複数の第２電極指３２１とが、第２方向Ｄ２において１つずつ交互に並んでいる。第２方向Ｄ２において隣り合う第１電極指３１１と第２電極指３２１とは互いに離れている。図示例では、図１、２及び４Ａ等はあくまで模式図であり、ＩＤＴ電極３における第１電極指３１１及び第２電極指３２１の数を実際の数よりも少なく描いてある。

【0020】

ＩＤＴ電極３では、第１導電部３１２と第２導電部３２２とが第３方向Ｄ３において互いに対向している。複数の第１電極指３１１は、第１導電部３１２につながっており、第２導電部３２２側に延びている。第３方向Ｄ３において、複数の第１電極指３１１の長さは、互いに同じである。ここにおいて、「同じ」とは、厳密に同じである場合のみに限定されず、略同じ（例えば、複数の第１電極指３１１の長さの平均値±５％の範囲内で同じ）でもよい。複数の第１電極指３１１の先端は、第３方向Ｄ３において第２導電部３２２から離れている。第３方向Ｄ３において、複数の第２電極指３２１の長さは、互いに同じである。ここにおいて、「同じ」とは、厳密に同じである場合のみに限定されず、略同じ（例えば、複数の第２電極指３２１の長さの平均値±５％の範囲内で同じ）でもよい。複数の第２電極指３２１の先端は、第３方向Ｄ３において第１導電部３１２から離れている。

【0021】

ＩＤＴ電極３は、複数の第１電極指３１１と複数の第２電極指３２１とで決まる交差領域３３を有する。交差領域３３は、複数の第１電極指３１１の先端の第１包絡線と複数の第２電極指３２１の先端の第２包絡線との間の領域である。交差領域３３の外周線は、第１包絡線及び第２包絡線を含む。見方を変えれば、交差領域３３は、第２方向Ｄ２から見て、複数の第１電極指３１１と複数の第２電極指３２１とが重なる領域である。なお、図１では、交差領域３３を見やすくするために、交差領域３３の外周線を、複数の第１電極指３１１の先端及び複数の第２電極指３２１の先端から僅かに離してある。同様に、図１では、交差領域３３を見やすくするために、交差領域３３の外周線を、図１における左端の第１電極指３１１及び右端の第２電極指３２１から僅かに離してある。

【0022】

圧電性基板２とＩＤＴ電極３とを含むＳＡＷデバイス５は、ＩＤＴ電極３により表面弾性波を発生させる。より詳細には、ＳＡＷデバイス５は、第１櫛形電極３１と第２櫛形電極３２との間に例えば高周波電源から高周波電圧が印加されることにより、表面弾性波を発生させる。高周波電圧の周波数は、例えば、数ＭＨｚ～数百ＭＨｚであり、一例として４０ＭＨｚであるが、これに限らない。液滴粒子１０３（図４Ａ参照）の粒径を小さくする観点からは、高周波電圧の周波数が高いほうが好ましい。

【0023】

ＳＡＷデバイス５では、ＩＤＴ電極３は、交差領域３３において、圧電性基板２に表面弾性波を励振させる。表面弾性波は、圧電性基板２において少なくとも伝搬領域２３を伝搬する。ここで、伝搬領域２３は、交差領域３３を第２方向Ｄ２に延長した延長領域に圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０で重複する領域である。

【0024】

伝搬領域２３の幅Ｌ１（以下、伝搬幅Ｌ１ともいう）は、第３方向Ｄ３における交差領域３３の幅（以下、交差幅Ｌ０ともいう）と同じである。伝搬幅Ｌ１は、例えば、０．５ｍｍ～１０ｍｍである。

【0025】

ＳＡＷデバイス５は、反射器４を更に含んでいる。反射器４は、圧電性基板２の表面２１上に設けられている。反射器４は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３と並んでいる。ＳＡＷデバイス５では、反射器４、ＩＤＴ電極３及び伝搬領域２３が、反射器４、ＩＤＴ電極３及び伝搬領域２３の順に並んでいる。したがって、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、伝搬領域２３は、ＩＤＴ電極３を基準として反射器４側とは反対側にある。反射器４は、ＩＤＴ電極３により発生され第２方向Ｄ２において伝搬領域２３側とは反対側へ伝搬する表面弾性波を反射する。

【0026】

反射器４は、第１電極４１と、第２電極４２と、を有している。第１電極４１及び第２電極４２の各々は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見てＩＤＴ電極３と同様に櫛形状である。反射器４の材料は、例えば、アルミニウムであるが、これに限らず、他の金属又は合金等であってもよい。

【0027】

反射器４は、第１電極４１及び第２電極４２を有する形状に限らず、例えば、短絡グレーティング、開放グレーティングであってもよい。

【0028】

ナノメートルサイズの液滴粒子１０３を得るためには、圧電性基板２の表面２１上の対象液体１００の液膜厚は、薄いほうが好ましい。ここにおいて、「ナノメートルサイズ」とは、１ｎｍ～９９９ｎｍである。

【0029】

多孔性金属シート６は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て表面弾性波の伝搬方向Ｄ４（図１及び４Ａ参照）においてＩＤＴ電極３に並んでいる。ここでいう表面弾性波の伝搬方向Ｄ４は、全ての表面弾性波の伝搬方向ではなく、第２方向Ｄ２に沿った方向（第２方向Ｄ２に平行な方向）である。多孔性金属シート６は、圧電性基板２の表面２１上に配置されている。ここにおいて、多孔性金属シート６は、圧電性基板２の表面２１上に直接配置されている。したがって、多孔性金属シート６は、圧電性基板２の表面２１に接している。

【0030】

液体霧化システム１は、圧電性基板２の表面２１上に位置し多孔性金属シート６に保持された対象液体１００を表面弾性波によって霧化する。液体霧化システム１では、対象液体１００は、少なくとも霧化される部位の厚み（液膜厚）が多孔性金属シート６によって制御される。言い換えれば、多孔性金属シート６は、対象液体１００のうち圧電性基板２の表面２１上において霧化される部位の厚みを制御する。

【0031】

多孔性金属シート６は、例えば、図４Ａに示すように、複数の繊維状金属６０１を含む多孔質金属である。ここでいう多孔質金属の形状は、例えば、３次元ネットワーク状である。多孔性金属シート６は、対象液体１００に対する耐食性を有する。多孔性金属シート６の材料は、オーステナイト系ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３１６）であるが、これに限らず、例えば、チタンであってもよい。ナノメートルサイズの液滴粒子１０３を得るためには、多孔性金属シート６の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以下であるのが好ましく、例えば、０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であるのが好ましい。

【0032】

多孔性金属シート６は、複数の開気孔を有する。これにより、液体霧化システム１では、多孔性金属シート６に、対象液体１００を含浸させることができる。言い換えれば、液体霧化システム１は、複数の開気孔内に対象液体１００を保持することができる。複数の開気孔は、多孔性金属シート６においてＩＤＴ電極３に対向する第１面６Ａ及び第１面６Ａとは異なる第２面６Ｂで開放されている。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、多孔性金属シート６の外周形状は、正方形状であるが、これに限らず、例えば、長方形状であってもよい。多孔性金属シート６は、表面６１と、裏面６２と、第１側面６３と、第２側面６４と、第３側面６５と、第４側面６６と、を有している。第１側面６３、第２側面６４、第３側面６５及び第４側面６６は、多孔性金属シート６の外周に沿う方向において、第１側面６３、第２側面６４、第３側面６５及び第４側面６６の順に並んでいる。多孔性金属シート６は、多孔性金属シート６の表面６１と裏面６２とのうち裏面６２が圧電性基板２の表面２１側となり、第１側面６３がＩＤＴ電極３に対向するように、圧電性基板２の表面２１上に直接配置されている。

【0033】

多孔性金属シート６では、第１面６Ａが、多孔性金属シート６の第１側面６３を含む。また、多孔性金属シート６では、第２面６Ｂが、多孔性金属シート６の表面６１、裏面６２、第２側面６４、第３側面６５及び第４側面６６を含んでいる。

【0034】

多孔性金属シート６の第１面６ＡをＩＤＴ電極３側から見たときの複数の開気孔の開口幅は、例えば、１０μｍ以上２００μｍ以下である。ここで、開口幅は、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）像において、開気孔の縁の任意の２点間を結ぶ直線の群のうち最長の直線の長さである。また、多孔性金属シート６の第２面６Ｂを第２面６Ｂに直交する方向から見たときの複数の開気孔の開口幅は、例えば、１０μｍ以上２００μｍ以下である。複数の開気孔の各々は、複数の空隙（孔）がつながって形成されている。多孔性金属シート６において対象液体１００を輸送する観点から、複数の空隙のサイズは、１０μｍ以上であるのが好ましい。また、多孔性金属シート６において対象液体１００を輸送する観点から、複数の空隙のサイズは、２００μｍ以下であるのが好ましい。

【0035】

実施形態１に係る液体霧化システム１は、部材８を更に備える。部材８は、多孔性金属シート６を圧電性基板２の表面２１との間に挟んでいる。部材８の材料は、例えば、剛性の観点から、金属系材料であるのが好ましい。ここにおいて、金属系材料は、オーステナイト系ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３１６）であるが、これに限らず、例えば、アルミニウム又はチタンであってもよい。部材８の熱伝導率は、圧電性基板２の熱伝導率よりも高い。要するに、部材８の熱伝導性は、圧電性基板２の熱伝導性よりも高い。部材８の材料は、対象液体１００に対する耐食性と、対象液体１００に対する撥液性と、を有していれば、ステンレス鋼、アルミニウム、チタン等に限らない。

【0036】

部材８は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、多孔性金属シート６におけるＩＤＴ電極３側の端部６１１の少なくとも一部を露出させるように多孔性金属シート６を圧電性基板２の表面２１との間に挟んでいる。部材８は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、Ｕ字状であるが、これに限らない。多孔性金属シート６は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３側の端部６１１（以下、第１端部６１１ともいう）と、ＩＤＴ電極３とは反対側の端部６１２（以下、第２端部６１２ともいう）と、を有する。

【0037】

部材８は、図３に示すように、第１部分８１と、第２部分８２と、を有する。第１部分８１は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０において多孔性金属シート６に重なる。第２部分８２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０において多孔性金属シート６に重ならない。実施形態１に係る液体霧化システム１では、第２部分８２と圧電性基板２の表面２１との距離が、第１部分８１と圧電性基板２の表面２１との距離よりも短い。部材８では、第２部分８２の厚さが第１部分８１の厚さよりも厚い。第２部分８２と圧電性基板２の表面２１との距離は、多孔性金属シート６の厚さよりも小さい。第２部分８２は、少なくとも第３方向Ｄ３に沿った方向において多孔性金属シート６を挟んでいる。部材８では、第２部分８２における圧電性基板２側とは反対側の表面８２１と、第１部分８１における圧電性基板２側とは反対側の表面８１１と、が面一となっているが、これに限らない。また、部材８は、第２部分８２における圧電性基板２側の面が、第１部分８１における圧電性基板２側の面と面一になっていてもよい。つまり、第２部分８２の厚さが第１部分８１の厚さと同じであってもよい。

【0038】

また、実施形態１に係る液体霧化システム１は、中間部材９（図３参照）を更に備える。中間部材９は、部材８の第２部分８２と圧電性基板２の表面２１との間に介在する。中間部材９は、対象液体１００をはじく性質（撥液性）を有する。ここにおいて、対象液体１００がアロマオイルの場合、対象液体１００をはじく性質は、撥油性である。また、対象液体１００が水の場合、対象液体１００をはじく性質は、撥水性である。中間部材９の材料は、例えば、部材８及び圧電性基板２それぞれとの密着性を高めるとともに熱伝導性を高める観点で、柔らかい熱伝導性樹脂材料を採用しているが、これに限らず、金属系材料であってもよい。熱伝導性樹脂材料は、例えば、樹脂と金属材料粉末又は炭素系粉末との複合材料である。このような複合材料を用いた中間部材９は、圧力が加えられたときに収縮するので、部材８及び圧電性基板２それぞれとの密着性を高めることが可能となる。中間部材９の熱伝導率は、圧電性基板２の熱伝導率よりも高い。要するに、中間部材９の熱伝導性は、圧電性基板２の熱伝導性よりも高い。

【0039】

液体霧化システム１では、図１に示すように、第３方向Ｄ３における多孔性金属シート６の幅Ｈ６が、伝搬幅Ｌ１よりも長い。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、伝搬領域２３は、第３方向Ｄ３において多孔性金属シート６の両端よりも内側に位置している。言い換えれば、厚さ方向Ｄ０から見て、多孔性金属シート６は、表面弾性波の伝搬方向Ｄ４に直交する方向において少なくとも交差領域３３の両端にわたって形成されている。液体霧化システム１では、例えば、交差幅Ｌ０が２ｍｍの場合、第３方向Ｄ３における多孔性金属シート６の幅Ｈ６が３ｍｍである。これらの数値は、あくまで一例であり、これらの数値に限定されない。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、多孔性金属シート６では、伝搬領域２３の中心線２３１（図４Ｂ参照）と第２側面６４との距離と、伝搬領域２３の中心線２３１と第４側面６６との距離とが、同じであるのが好ましいが、必ずしも同じである必要はない。第３方向Ｄ３における多孔性金属シート６の幅Ｈ６は、第３方向Ｄ３における伝搬領域２３の伝搬幅Ｌ１よりも長い場合のみに限らず、第３方向Ｄ３における伝搬領域２３の伝搬幅Ｌ１以上であればよい。つまり、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、第３方向Ｄ３において伝搬領域２３は多孔性金属シート６と同じ範囲であってもよい。部材８において多孔性金属シート６におけるＩＤＴ電極３側の端部６１１を露出させている切欠の幅をＨ３とすると、伝搬幅Ｌ１≦幅Ｈ３であるのがより好ましい。

【0040】

実施形態１に係る液体霧化システム１では、図１に示すように、第３方向Ｄ３における部材８の幅Ｈ８が、第３方向Ｄ３における圧電性基板２の幅Ｈ２よりも長い。実施形態１に係る液体霧化システム１では、部材８は、例えば、ＳＡＷデバイス５を支持しているベースに対してねじにより固定されてもよい。第３方向Ｄ３における部材８の幅Ｈ８は、第３方向Ｄ３における圧電性基板２の幅Ｈ２よりも長い場合に限らず、圧電性基板２の幅Ｈ２以下であってもよい。

【0041】

実施形態１に係る液体霧化システム１は、液体供給部７（図２参照）を更に備える。液体供給部７は、多孔性金属シート６の一部に対象液体１００を供給する。

【0042】

液体供給部７は、例えば、対象液体１００を多孔性金属シート６へ供給するための供給管７０と、供給管７０内の対象液体１００を多孔性金属シート６へ送り出すためのポンプと、を有する。

【0043】

液体供給部７は、例えば、多孔性金属シート６の表面６１から多孔性金属シート６に対象液体１００を供給する。液体供給部７は、多孔性金属シート６の表面６１から多孔性金属シート６に対象液体１００を供給する場合に限らず、例えば、多孔性金属シート６の第３側面６５から多孔性金属シート６に対象液体１００を供給してもよい。

【0044】

（３）液体霧化システムの動作
液体霧化システム１では、液体供給部７から多孔性金属シート６に対象液体１００が供給される。これにより、液体霧化システム１では、図４Ａ及び４Ｂに示すように、多孔性金属シート６に対象液体１００の少なくとも一部が保持される。

【0045】

また、液体霧化システム１では、ＳＡＷデバイス５が駆動される（ＩＤＴ電極３の第１櫛形電極３１と第２櫛形電極３２との間に例えば高周波電源から高周波電圧が印加される）ことにより、表面弾性波を発生させる。液体霧化システム１は、多孔性金属シート６に対象液体１００の少なくとも一部が保持された状態でＳＡＷデバイス５が駆動されると、表面弾性波によって対象液体１００を霧化することにより、ナノメートルサイズの液滴粒子１０３を含むミストＭ１（図４Ａ参照）を発生させる。図４Ａ及び４Ｂでは、対象液体１００にドットのハッチングを付してある。また、図４Ａでは、表面弾性波を波線矢印で模式的に示してある。

【0046】

液体霧化システム１では、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、対象液体１００のうち多孔性金属シート６におけるＩＤＴ電極３側の端部６１１に位置する部分を表面弾性波によって霧化することによって、液滴粒子１０３が発生する。多孔性金属シート６におけるＩＤＴ電極３側の端部６１１は、霧化ポイント６２０（図４Ｂ参照）を含む。霧化ポイント６２０は、多孔性金属シート６の端部６１１のうち対象液体１００から液滴粒子１０３が発生する領域である。要するに、液体霧化システム１では、対象液体１００のうち少なくとも多孔性金属シート６の霧化ポイント６２０に位置する部分を表面弾性波によって霧化させることによって、液滴粒子１０３が発生する。霧化ポイント６２０は、ＩＤＴ電極３の交差領域３３の第３方向Ｄ３における中央部に対して、第２方向Ｄ２において対向する。霧化ポイント６２０は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、伝搬領域２３の第２方向Ｄ２に沿った中心線２３１上に位置する。第３方向Ｄ３における霧化ポイント６２０の幅は、伝搬幅Ｌ０以下である。

【0047】

また、液体霧化システム１では、対象液体１００のはみ出し部１０２（図４Ａ及び４Ｂ参照）を表面弾性によって霧化させることによっても液滴粒子１０３が発生する。はみ出し部１０２は、対象液体１００のうち多孔性金属シート６からＩＤＴ電極３側で圧電性基板２の表面２１上にはみ出した部分である。ナノメートルサイズの液滴粒子１０３を発生させる観点から、対象液体１００のうちはみ出し部１０２を霧化するときには、はみ出し部１０２の液膜厚は、薄いほうが好ましい。これにより、対象液体１００のはみ出し部１０２を霧化することによって形成される液滴粒子１０３の粒径をナノメートルサイズとすることができる。

【0048】

実施形態１に係る液体霧化システム１では、液滴粒子１０３の粒径がナノメートルサイズである。

【0049】

対象液体１００を霧化することによって形成された液滴粒子１０３の粒径は、例えば、レーザ回折法により測定した値である。より詳細には、液滴粒子１０３の粒径は、レーザ回折式の粒度分布測定装置を用いて測定した値である。レーザ回折式の粒度分布測定装置は、例えば、Malvern Panalytical社のスプレーテック（商品名）である。スプレーテックは、例えば、レーザ光が、スプレーを通過するときに散乱した光のパターンから粒度分布を測定し、その後、散乱パターンを解析し、液滴径を計算することができる装置である。対象液体１００を霧化することによって形成された液滴粒子１０３の粒径は、個数分布におけるメディアン径（ｄ₅₀）である。

【0050】

（４）効果
実施形態１に係る液体霧化システム１では、ＳＡＷデバイス５と、多孔性金属シート６と、を備える。ＳＡＷデバイス５は、圧電性基板２と、ＩＤＴ電極３と、を含む。圧電性基板２は、表面２１及び裏面２２を有する。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２の表面２１上に設けられている。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２に表面弾性波を発生させる。多孔性金属シート６は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て表面弾性波の伝搬方向Ｄ４においてＩＤＴ電極３に並んでいる。多孔性金属シート６は、圧電性基板２の表面２１上に配置されている。液体霧化システム１は、圧電性基板２の表面２１上に位置し多孔性金属シート６に保持された対象液体１００を表面弾性波によって霧化する。対象液体１００は、少なくとも霧化される部位の厚みが多孔性金属シート６によって制御される。対象液体１００において霧化される部位は、圧電性基板２の表面２１上で多孔性金属シート６に保持されている部位を含む。対象液体１００において霧化される部位のうち多孔性金属シート６の霧化ポイント６２０に位置する部位の厚みは、多孔性金属シート６の厚みと略同じである。また、対象液体１００において霧化される部位のうちはみ出し部１０２の厚みは、多孔性金属シート６の厚み以下である。

【0051】

実施形態１に係る液体霧化システム１では、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子１０３を、より安定して発生させることが可能となる。

【0052】

実施形態１に係る液体霧化システム１では、多孔性シートとして多孔性金属シート６を用いているので、多孔性シートとして樹脂製多孔質シート及びガラスファイバろ紙のいずれを用いる場合と比べても、多孔性シートの機械強度及び耐久性を高めることが可能となる。実施形態１に係る液体霧化システム１では、対象液体１００を霧化するときに発生する圧力（噴射圧力）によって多孔性シートの霧化ポイント６２０が圧電性基板２の表面２１から離れる向きに膨らむように変形することを抑制することが可能となる。機械強度は、例えば、引っ張り強度である。また、実施形態１に係る液体霧化システム１では、多孔性金属シート６を洗浄して再利用することも可能である。

【0053】

また、実施形態１に係る液体霧化システム１は、多孔性金属シート６を用いているので、多孔性金属シート６の代わりにガラスファイバろ紙を用いた比較例の液体霧化システムと比べて、対象液体１００を霧化しているときの温度上昇を抑制することができる。言い換えれば、実施形態１に係る液体霧化システム１は、比較例の液体霧化システムと比べて放熱性を向上させることができる。

【0054】

図５は、実施形態１に係る液体霧化システム１及び比較例に係る液体霧化システムの投入電力－温度特性図の一例を示している。図５の横軸は、ＩＤＴ電極３への投入電力である。また、図５の縦軸は、多孔性金属シート６の霧化ポイント６２０及びガラスファイバろ紙の霧化ポイントの温度である。ここにおいて、ガラスファイバろ紙は、Glass Fiber Filter（商品名）である。

【0055】

図５中の「Ａ１」は、実施形態１に係る液体霧化システム１において多孔性金属シート６に対象液体１００を供給していない状態での霧化ポイント６２０の温度である。図５中の「Ａ２」は、実施形態１に係る液体霧化システム１において対象液体１００を霧化しているときの霧化ポイント６２０の温度である。図５中の「Ｂ１」は、比較例に係る液体霧化システムにおいてガラスファイバろ紙に対象液体１００を供給していない状態での霧化ポイントの温度である。図５中の「Ｂ２」は、比較例に係る液体霧化システムにおいて対象液体１００を霧化しているときの霧化ポイントの温度である。

【0056】

（５）変形例
以下では、実施形態１の変形例に係る液体霧化システム１ａについて、図６に基づいて説明する。変形例に係る液体霧化システム１ａに関し、実施形態１に係る液体霧化システム１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。

【0057】

変形例に係る液体霧化システム１ａでは、液体供給部７が、多孔性材料部７３を更に備える。多孔性材料部７３は、多孔質構造を有し、多孔性金属シート６の表面６１に交差する方向に沿って対象液体１００を輸送する。ここにおいて、多孔性材料部７３は、対象液体１００を浸透させる。多孔性金属シート６の表面６１に交差する方向は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に沿った方向である。

【0058】

液体霧化システム１ａでは、多孔性材料部７３の材料が多孔性金属シート６の材料と同じである。多孔性材料部７３は、第１端７３１及び第２端７３２を有する。多孔性材料部７３の第１端７３１は、液体供給部７の有する液体タンク７１内の対象液体１００に浸漬される。多孔性材料部７３の第２端７３２は、多孔性金属シート６につながっている。多孔性材料部７３は、多孔性金属シート６と一体であってもよいし多孔性金属シート６に結合されて一体化されていてもよい。多孔性材料部７３は、多孔性金属シート６と一体の場合、例えば、多孔性金属シート６と多孔性材料部７３とを含む構造体として形成されてもよいし、多孔性金属シート６と多孔性材料部７３とのもとになる多孔性金属シート部材を折り曲げて形成されてもよい。

【0059】

液体霧化システム１ａでは、多孔性材料部７３は、圧電性基板２の側方に配置されている。ここにおいて、多孔性材料部７３は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に沿って配置されており、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に沿って対象液体１００を輸送する。多孔性材料部７３の第２端７３２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、多孔性金属シート６における第１端部６１１とは反対側の第２端部６１２に重なっている。多孔性材料部７３の第２端７３２は、多孔性金属シート６の第２端部６１２とつながっている。

【0060】

液体霧化システム１ａでは、実施形態１に係る液体霧化システム１と同様、圧電性基板２の表面２１上に位置し多孔性金属シート６に保持された対象液体１００を表面弾性波によって霧化する。対象液体１００は、少なくとも霧化される部位の厚みが多孔性金属シート６によって制御される。よって、液体霧化システム１ａでは、実施形態１に係る液体霧化システム１と同様、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子１０３を、より安定して発生させることが可能となる。

【0061】

（実施形態２）
以下では、実施形態２に係る液体霧化システム１ｂについて図７及び８に基づいて説明する。実施形態２に係る液体霧化システム１ｂに関し、実施形態１に係る液体霧化システム１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。

【0062】

実施形態２に係る液体霧化システム１ｂでは、圧電性基板２は、厚さ方向Ｄ０に貫通する貫通孔２５を有する。液体供給部７は、圧電性基板２の裏面２２側から貫通孔２５を通して多孔性金属シート６に対象液体１００を供給する。

【0063】

貫通孔２５は、圧電性基板２を圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に貫通している。貫通孔２５は、圧電性基板２の裏面２２側から表面２１側の多孔性金属シート６へ対象液体１００を供給するための孔である。貫通孔２５は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、表面弾性波の伝搬方向Ｄ４においてＩＤＴ電極３に並んでいる。ここで、貫通孔２５とＩＤＴ電極３とは第２方向Ｄ２において並んでいる。貫通孔２５とＩＤＴ電極３とは、第２方向Ｄ２において離れている。

【0064】

圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、貫通孔２５は、例えば、円形状である。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、貫通孔２５の開口形状は、円形状であるが、これに限らず、例えば、多角形状であってもよい。

【0065】

液体霧化システム１ｂでは、液体供給部７が、多孔性材料部７３を更に備える。多孔性材料部７３は、少なくとも一部が貫通孔２５内に配置される。貫通孔２５の開口形状が円形状の場合、多孔性材料部７３は、例えば、丸棒状であるが、これに限らない。また、貫通孔２５の開口形状は、円形状に限らず、例えば、多角形状であってもよい。また、多孔性材料部７３がシート状の場合には、貫通孔２５が、スリット状であってもよい。多孔性材料部７３は、多孔質構造を有し、多孔性金属シート６の表面６１に交差する方向に沿って対象液体１００を輸送する。ここにおいて、多孔性材料部７３は、対象液体１００を浸透させる。多孔性金属シート６の表面６１に交差する方向は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に沿った方向である。

【0066】

液体霧化システム１ｂでは、多孔性材料部７３の材料は、例えば、多孔性金属シート６の材料とは異なる。多孔性材料部７３は、対象液体１００に対して耐食性を有する材料であればよい。多孔性材料部７３の材料は、例えば、ガラス、セラミック、ポリマーである。多孔性材料部７３の材料は、多孔性金属シート６の材料と異なる場合に限らず、多孔性金属シート６の材料と同じであってもよい。

【0067】

多孔性材料部７３は、第１端７３１及び第２端７３２を有する。多孔性材料部７３の第１端７３１は、液体供給部７の有する液体タンク７１内の対象液体１００に浸漬される。多孔性材料部７３の第２端７３２は、多孔性金属シート６につながっている。液体タンク７１は、例えば、圧電性基板２の表面２１と裏面２２とのうち裏面２２側において裏面２２から離れて配置される。

【0068】

多孔性材料部７３の少なくとも第２端７３２を含む一部は、圧電性基板２の貫通孔２５内に配置されている。多孔性材料部７３は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に沿って配置されており、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に沿って対象液体１００を輸送する。液体霧化システム１ｂでは、多孔性材料部７３は、圧電性基板２の貫通孔２５の内周面から離れて配置されているが、これに限らず、圧電性基板２の貫通孔２５の内周面と接触していてもよい。

【0069】

多孔性金属シート６は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て貫通孔２５を覆うように圧電性基板２の表面２１上に直接配置されている。

【0070】

圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、多孔性金属シート６とＩＤＴ電極３との距離は、貫通孔２５とＩＤＴ電極３との距離よりも短い。要するに、多孔性金属シート６におけるＩＤＴ電極３側の端部６１１と、ＩＤＴ電極３との距離は、貫通孔２５とＩＤＴ電極３との距離よりも短い。多孔性材料部７３を浸透した対象液体１００は、少なくとも多孔性金属シート６の端部６１１に輸送される。

【0071】

実施形態２に係る液体霧化システム１ｂでは、実施形態１に係る液体霧化システム１と同様、圧電性基板２の表面２１上に位置し多孔性金属シート６に保持された対象液体１００を表面弾性波によって霧化する。対象液体１００は、少なくとも霧化される部位の厚みが多孔性金属シート６によって制御される。よって、実施形態２に係る液体霧化システム１ｂでは、実施形態１に係る液体霧化システム１と同様、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子１０３を、より安定して発生させることが可能となる。

【0072】

以下では、実施形態２の変形例に係る液体霧化システム１ｃについて、図９に基づいて説明する。変形例に係る液体霧化システム１ｃに関し、実施形態２に係る液体霧化システム１ｂと同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。

【0073】

変形例に係る液体霧化システム１ｃでは、多孔性材料部７３の材料が多孔性金属シート６の材料と同じである。多孔性材料部７３は、第１端７３１及び第２端７３２を有する。多孔性材料部７３の第１端７３１は、液体供給部７の有する液体タンク７１内の対象液体１００に浸漬される。多孔性材料部７３の第２端７３２は、多孔性金属シート６につながっている。

【0074】

多孔性材料部７３の第２端７３２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、多孔性金属シート６における第１端部６１１とは反対側の第２端部６１２と重なっている。多孔性材料部７３の第２端７３２は、多孔性金属シート６の第２端部６１２とつながっている。変形例に係る液体霧化システム１ｃでは、多孔性金属シート６の第２端部６１２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０から見て、圧電性基板２の貫通孔２５に重なっている。

【0075】

実施形態２の変形例に係る液体霧化システム１ｃでは、実施形態２に係る液体霧化システム１ｂと同様、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子１０３を、より安定して発生させることが可能となる。

【0076】

（実施形態３）
以下では、実施形態３に係る液体霧化システム１ｄについて図１０に基づいて説明する。実施形態３に係る液体霧化システム１ｄに関し、実施形態２に係る液体霧化システム１ｂと同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。

【0077】

実施形態３に係る液体霧化システム１ｄでは、液体供給部７が、調合部７４を更に備える。

【0078】

調合部７４は、複数種の液体から対象液体１００を調合する。液体供給部７は、調合部７４で調合した対象液体１００を多孔性金属シート６へ供給する。ここにおいて、液体供給部７は、調合部７４で調合された対象液体１００を圧電性基板２の貫通孔２５を通して多孔性金属シート６へ供給する。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０（図８参照）から見て、貫通孔２５の開口形状は、円形状であるが、これに限らず、例えば、長方形状であってもよい。なお、液体供給部７は、実施形態２に係る液体霧化システム１ｂと同様に対象液体１００を浸透させる多孔性材料部７３（図８参照）を備えていてもよい。

【0079】

実施形態３に係る液体霧化システム１ｄでは、調合部７４を含む液体供給部７は、例えば、マイクロ流路形成基板７０１に形成されている。マイクロ流路形成基板７０１は、例えば、２枚のシリコン基板を利用して形成されている。より詳細には、マイクロ流路形成基板７０１は、２枚のシリコン基板のうち少なくとも一方のシリコン基板に、第１凹部と、第２凹部と、複数（例えば、３つ）の第３凹部と、を設けて２枚のシリコン基板を接合することによって形成されている。第１凹部は、液体供給部７のうち圧電性基板２の貫通孔２５に重なる部分を含み当該部分から調合部７４の出口までの部分を形成するための凹部である。第２凹部は、調合部７４を形成するための凹部である。複数（例えば、３つ）の第３凹部は、調合部７４に互いに異なる液体を供給する複数（例えば、３つ）のマイクロ流路７５を形成するための凹部である。また、マイクロ流路形成基板７０１は、複数のマイクロ流路７５に一対一につながっている複数の液体注入孔７６を有する。複数の液体注入孔７６は、複数種の液体に一対一に対応する。

【0080】

実施形態３に係る液体霧化システム１ｄでは、調合部７４で調合された対象液体１００を霧化させることによってナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子１０３（図４Ａ参照）を含むミストＭ１を発生させることが可能となる。液体霧化システム１ｄは、例えば、複数のマイクロ流路７５に一対一に対応する複数のマイクロバルブを更に備えていてもよい。この場合、液体霧化システム１ｄでは、複数のマイクロ流路７５のうち任意の１以上のマイクロ流路７５を通して調合部７４に１種類以上の液体を供給することが可能となる。これにより、液体霧化システム１ｄでは、例えば、対象液体１００の成分を適宜のタイミングで変更することが可能となる。各マイクロバルブを制御する制御回路は、マイクロ流路形成基板７０１に形成されていてもよいし、マイクロ流路形成基板７０１とは別の基板に形成されていてもよい。

【0081】

実施形態３に係る液体霧化システム１ｄでは、実施形態２に係る液体霧化システム１ｂと同様、圧電性基板２の表面２１上に位置し多孔性金属シート６に保持された対象液体１００を表面弾性波によって霧化する。対象液体１００は、少なくとも霧化される部位の厚みが多孔性金属シート６によって制御される。よって、実施形態３に係る液体霧化システム１ｄでは、実施形態２に係る液体霧化システム１ｂと同様、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子１０３を、より安定して発生させることが可能となる。

【0082】

上記の実施形態１～３等は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態１～３等は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。

【0083】

例えば、液体霧化システム１～１ｄは、部材８の第２部分８２と圧電性基板２の表面２１との間に中間部材９を必ずしも備えていなくてもよい。この場合、液体霧化システム１～１ｄは、部材８の第２部分８２と圧電性基板２の表面２１とが接していてもよい。

【0084】

また、多孔性金属シート６の第２側面６４の側方及び第４側面６６の側方への対象液体１００の漏れを抑制する観点において、液体霧化システム１～１ｄは、多孔性金属シート６の第２側面６４に近接するように圧電性基板２の表面２１から突出した第１凸部と、多孔性金属シート６の第４側面６６に近接するように圧電性基板２の表面２１から突出した第２凸部と、を備えていてもよい。

【0085】

また、液体霧化システム１～１ｄでは、圧電性基板２の表面２１において部材８の第２部分８２に対向する部位に対象液体１００をはじく性質を有するコーティング部が設けられていてもよい。

【0086】

また、部材８は、例えば、圧電性基板２の表面２１との間に多孔性金属シート６を挟んで多孔性金属シート６を圧電性基板２の表面２１に密着させているのが好ましい。ここにおいて、部材８は、ＳＡＷデバイス５を支持しているベースに対してねじにより固定される場合に限らず、例えば、弾性体（例えば、ばね）によって圧電性基板２又はベース側に押されていてもよい。

【0087】

また、液体霧化システム１～１ｄにおいて、部材８及び中間部材９は、いずれも必須の構成要素ではない。

【0088】

また、圧電性基板２の中央部上にＩＤＴ電極３を設けて、反射器４を無くすことで、ＩＤＴ電極３の両側に伝搬領域２３を設けて、２つの伝搬領域２３に一対一に対応する２つの多孔性金属シート６を設けてもよい。

【0089】

また、圧電性基板２は、圧電性を有していればよく、圧電基板に限らず、例えば、支持基板上に圧電体層（ＬｉＮｂＯ_３単結晶基板）が設けられた構成でもよい。

【0090】

また、液体霧化システム１において多孔性金属シート６に供給される対象液体１００の供給量は、対象液体１００の供給量を制御する制御部によって制御されるのが好ましい。制御部は、例えば、マイクロポンプ、マイクロバルブ、毛細管等であるが、これらに限らない。

【0091】

（態様）
以上説明した実施形態等から本明細書には以下の態様が開示されている。

【0092】

第１の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）は、ＳＡＷデバイス（５）と、多孔性金属シート（６）と、を備える。ＳＡＷデバイス（５）は、圧電性基板（２）と、ＩＤＴ電極（３）と、を含む。圧電性基板（２）は、表面（２１）及び裏面（２２）を有する。ＩＤＴ電極（３）は、圧電性基板（２）の表面（２１）上に設けられている。ＩＤＴ電極（３）は、圧電性基板（２）に表面弾性波を発生させる。多孔性金属シート（６）は、圧電性基板（２）の厚さ方向（Ｄ０）から見て表面弾性波の伝搬方向（Ｄ４）においてＩＤＴ電極（３）に並んでいる。多孔性金属シート（６）は、圧電性基板（２）の表面（２１）上に配置されている。液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）は、圧電性基板（２）の表面（２１）上に位置し多孔性金属シート（６）に保持された対象液体（１００）を表面弾性波によって霧化する。対象液体（１００）は、少なくとも霧化される部位の厚みが多孔性金属シート（６）によって制御される。

【0093】

第１の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子（１０３）を、より安定して発生させることが可能となる。

【0094】

第２の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）は、第１の態様において、液体供給部（７）を更に備える。液体供給部（７）は、多孔性金属シート（６）の一部に対象液体（１００）を供給する。

【0095】

第２の態様に係る液体システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子（１０３）を、より安定的に形成することが可能となる。

【0096】

第３の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ）では、第２の態様において、液体供給部（７）は、多孔性金属シート（６）の表面（６１）又は側面（第２側面６４又は第３側面６５又は第４側面６６）から多孔性金属シート（６）に対象液体（１００）を供給する。

【0097】

第３の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ）では、多孔性金属シート（６）と液体供給部（７）との相対的な位置合わせが容易になる。

【0098】

第４の態様に係る液体霧化システム（１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、第２の態様において、圧電性基板（２）は、厚さ方向（Ｄ０）に貫通する貫通孔（２５）を有する。液体供給部（７）は、圧電性基板（２）の裏面（２２）側から貫通孔（２５）を通して多孔性金属シート（６）に対象液体（１００）を供給する。

【0099】

第４の態様に係る液体霧化システム（１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、多孔性金属シート（６）において対象液体（１００）が供給される位置の自由度が高くなる。ここにおいて、第４の態様に係る液体霧化システム（１ｂ；１ｃ；１ｄ）は、多孔性金属シート（６）における霧化ポイント（６２０）と多孔性金属シート（６）における液体供給ポイントとをずらすことができる。

【0100】

第５の態様に係る液体霧化システム（１ａ；１ｂ；１ｃ）では、第２～４の態様のいずれか一つにおいて、液体供給部（７）は、多孔性材料部（７３）を更に備える。多孔性材料部（７３）は、多孔性金属シート（６）の表面（６１）に交差する方向に沿って対象液体（１００）を輸送する。

【0101】

第５の態様に係る液体霧化システム（１ａ；１ｂ；１ｃ）では、多孔性材料部（７３）の形状、材質等によって対象液体（１００）の輸送量を制御することが可能となる。

【0102】

第６の態様に係る液体霧化システム（１ａ；１ｃ）では、第５の態様において、多孔性材料部（７３）の材料が多孔性金属シート（６）の材料と同じである。多孔性材料部（７３）は、第１端（７３１）及び第２端（７３２）を有する。多孔性材料部（７３）の第１端（７３１）は、液体供給部（７）の有する液体タンク（７１）内の対象液体（１００）に浸漬される。多孔性材料部（７３）の第２端（７３２）は、多孔性金属シート（６）につながっている。

【0103】

第６の態様に係る液体霧化システム（１ａ；１ｃ）では、多孔性材料部（７３）の機械強度を向上させることが可能となる。また、第６の態様に係る液体霧化システム（１ａ；１ｃ）では、多孔性材料部（７３）での対象液体（１００）の浸透速度と多孔性金属シート（６）での対象液体（１００）の浸透速度との差を小さくすることが可能となる。

【0104】

第７の態様に係る液体霧化システム（１ｄ）では、第２～４の態様のいずれか一つにおいて、液体供給部（７）は、調合部（７４）を更に備える。調合部（７４）は、複数種の液体から対象液体（１００）を調合する。液体供給部（７）は、調合部（７４）で調合した対象液体（１００）を多孔性金属シート（６）へ供給する。

【0105】

第７の態様に係る液体霧化システム（１ｄ）では、成分の異なる複数の対象液体（１００）に対応可能となる。

【0106】

第８の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）は、第１～７の態様のいずれか一つにおいて、部材（８）を更に備える。部材（８）は、多孔性金属シート（６）を圧電性基板（２）の表面（２１）との間に挟む。

【0107】

第８の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子（１０３）を、更に安定して発生させることが可能となる。

【0108】

第９の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、第８の態様において、部材（８）は、厚さ方向（Ｄ０）から見て、多孔性金属シート（６）におけるＩＤＴ電極（３）側の端部（６１１）を露出させるように多孔性金属シート（６）を圧電性基板（２）の表面（２１）との間に挟んでいる。

【0109】

第９の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子（１０３）を、より安定して発生させることが可能となるとともに、霧化量を増やすことが可能となる。

【0110】

第１０の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、第８又は９の態様において、部材（８）は、第１部分（８１）と、第２部分（８２）と、を有する。第１部分（８１）は、厚さ方向（Ｄ０）において多孔性金属シート（６）に重なる。第２部分（８２）は、厚さ方向（Ｄ０）において多孔性金属シート（６）に重ならない。第２部分（８２）と圧電性基板（２）の表面（２１）との距離が、第１部分（８１）と圧電性基板（２）の表面（２１）との距離よりも短い。

【0111】

第１０の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、多孔性金属シート（６）の位置ずれを抑制することが可能となる。

【0112】

第１１の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）は、第１０の態様において、中間部材（９）を更に備える。中間部材（９）は、部材（８）の第２部分（８２）と圧電性基板（２）の表面（２１）との間に介在する。中間部材（９）は、対象液体（１００）をはじく性質を有する。

【0113】

第１１の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、対象液体（１００）が多孔性金属シート（６）よりも広い範囲に広がるのを抑制することが可能となる。

【0114】

第１２の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、第１～１１の態様のいずれか一つにおいて、多孔性金属シート（６）は、複数の繊維状金属（６０１）を含む多孔質金属である。

【0115】

第１２の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子（１０３）を、より安定した噴霧量で発生させることが可能となる。

【0116】

第１３の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、第１～１２の態様のいずれか一つにおいて、多孔性金属シート（６）は、複数の開気孔を有する。複数の開気孔は、多孔性金属シート（６）においてＩＤＴ電極（３）に対向する第１面（６Ａ）及び第１面（６Ａ）とは異なる第２面（６Ｂ）で開放されている。

【0117】

第１３の態様に係る液体霧化システム（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ）では、ナノメートルサイズの粒径を有する液滴粒子（１０３）を、より安定した噴霧量で発生させることが可能となる。

【符号の説明】

【0118】

１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ 液体霧化システム
２ 圧電性基板
２１ 表面
２２ 裏面
２３ 伝搬領域
２５ 貫通孔
３ ＩＤＴ電極
３１ 第１櫛形電極
３１１ 第１電極指
３２ 第２櫛形電極
３２１ 第２電極指
５ ＳＡＷデバイス
６ 多孔性金属シート
６Ａ 第１面
６Ｂ 第２面
６１ 表面
６２ 裏面
６３ 第１側面
６４ 第２側面
６５ 第３側面
６６ 第４側面
６０１ 繊維状金属
６１１ 端部（第１端部）
６２０ 霧化ポイント
７ 液体供給部
７１ 液体タンク
７３ 多孔性材料部
７３１ 第１端
７３２ 第２端
７４ 調合部
８ 部材
８１ 第１部分
８２ 第２部分
９ 中間部材
１００ 対象液体
Ｄ０ 厚さ方向
Ｄ４ 伝搬方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】