特許7303077マスクブランクスの製造方法及びフォトマスクの製造方法、マスクブランクス及びフォトマスク

発明の名称　マスクブランクスの製造方法及びフォトマスクの製造方法、マスクブランクス及びフォトマスク

出願人　アルバック成膜株式会社　（識別番号 101710）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7303077

公報発行日　2023年7月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7303077

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