特許 7305237 流量制御弁

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-30

(45)【発行日】2023-07-10

(54)【発明の名称】流量制御弁

(51)【国際特許分類】

   F16K 1/36 20060101AFI20230703BHJP

   F16K 1/42 20060101ALI20230703BHJP

   F16K 31/04 20060101ALN20230703BHJP

【ＦＩ】

F16K1/36 Z

F16K1/42 Z

F16K31/04 K

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2022556714

(86)(22)【出願日】2020-10-13

(86)【国際出願番号】 JP2020038598

(87)【国際公開番号】W WO2022079790

(87)【国際公開日】2022-04-21

【審査請求日】2022-08-24

(73)【特許権者】

【識別番号】000108557

【氏名又は名称】タイム技研株式会社

(72)【発明者】

【氏名】菱川 実

(72)【発明者】

【氏名】今西 正和

【審査官】加藤 昌人

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－２３５９６９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｋ １／００－ １／５４

Ｆ１６Ｋ ３１／００－３１／０５

Ｆ１６Ｋ ４７／００－４７／１６

Ｆ２３Ｋ ５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

弁室と、
前記弁室に連通する一次口及び二次口と、
前記二次口の弁口に設けられた弁座と、
前記弁座に着座する弁体と、
前記弁体に接続し、前記弁体を弁開閉方向に位置移動可能にする駆動部とからなり、
前記弁体と前記二次口の弁口の開度を増減制御して前記弁口を通過する流体の流量を制御する流量制御弁において、
前記弁体は、中心に前記二次口の弁口に挿入可能なプラグを備え、
前記弁体と前記弁座との間には、前記弁体の移動により圧縮／解放する多孔質の弾性体が介在して設けられ、
前記弁体が前記弁座方向に移動し前記弾性体が前記弁体と前記弁座との両方に当接した状態で前記弁体の移動により前記弾性体を圧縮／解放して、流体の極微の流量の制御を可能にするとともに、
前記弁体が前記弁座方向とは逆方向に移動し前記弾性体が前記弁体と前記弁座とのいずれか一方と隔離した状態で前記弁体の移動により前記プラグが前記弁口内を移動して、流体の前記極微の流量より大きな流量の制御を可能にすることを特徴とする流量制御弁。

【請求項4】

前記弁口は、前記プラグが挿入、かつ、摺動可能な上部弁口と、前記弾性体が着座する弁座を上端部に備える下部弁口とを備え、
前記弾性体は、外径が前記上部弁口の開口径より小さく、かつ、前記下部弁口の開口径より大きい円柱形状或いは多角柱形状であり、前記弁体の前記プラグの下端面と前記弁座との間に介在し、前記弾性体の上端面は、前記プラグの下端面に固着して設けられることを特徴とする請求項１に記載の流量制御弁。

【請求項6】

前記駆動部はステッピングモータにより前記弁体を弁開閉方向に位置に移動制御することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の流量制御弁。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願に開示の技術は、主に空気や燃料ガスなどの流量を制御する流量制御弁に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ニードル弁を用いた流量制御弁が特許文献１などに開示されている。

【0003】

特許文献１には、弁室に連通する一次口及び二次口を有し該二次口側隔壁の連通弁口に弁座を設けた弁本体と該弁本体の弁口弁座に接離するニードル弁と、ステータコイルの通電励磁によって回転される弁開閉方向に位置移動可能なロータを設けたステッピングモータと、該ステッピングモータの回転によるねじ送り作用で前記ニードル弁を開閉作動させる弁作動機構とを具備する電動流量制御弁が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第３１８１１１８号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１などに開示されたニードル弁を用いた流量制御弁では、ニードルを長くすることや傾斜するテーパ面の傾斜角度を小さくすることで、低流量の流量制御を可能にしている。

【0006】

しかしながら、これら従来のニードル弁を用いた流量制御弁では、流量制御できる下限の流量には限度があり、さらに小さい極微の流量を安定して流量制御することは困難であるという問題がある。そのため、制御できる最大流量と最小流量との差であるターンダウンの大きさには限界があった。

【0007】

本願に開示される技術は、上記の課題に鑑み提案されたものであって、従来のニードル弁では不可能であった極めて小さな流量の制御を可能にし、大きなターンダウンを実現する流量制御弁を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記目的を達成するため請求項１に係る流量制御弁は、弁室と、弁室に連通する一次口及び二次口と、二次口の弁口に設けられた弁座と、弁座に着座する弁体と、弁体に接続し、弁体を弁開閉方向に位置移動可能にする駆動部とからなり、弁体と二次口の弁口の開度を増減制御して弁口を通過する流体の流量を制御する流量制御弁において、弁体は、中心に二次口の弁口に挿入可能なプラグを備え、弁体と弁座との間には、弁体の移動により圧縮／解放する多孔質の弾性体が介在して設けられ、弁体が弁座方向に移動し弾性体が弁体と弁座との両方に当接した状態で弁体の移動により弾性体を圧縮／解放して、流体の極微の流量の制御を可能にするとともに、弁体が弁座方向とは逆方向に移動し弾性体が弁体と弁座とのいずれか一方と隔離した状態で弁体の移動によりプラグが弁口内を移動して、流体の極微の流量より大きな流量の制御を可能にすることを特徴とする。

【0009】

請求項２に係る流量制御弁は、請求項１に記載の流量制御弁において、弾性体は、内径がプラグの最大径より大きい円筒形状であり、弁体と弁座との間においてプラグの周囲を囲うように介在し、弾性体の上端面は、プラグに固着して設けられることを特徴とする。

【0010】

請求項３に係る流量制御弁は、請求項１に記載の流量制御弁において、弾性体は、内径がプラグの最大径より大きい円筒形状であり、弁体のプラグと弁座との間においてプラグの周囲を囲うように介在し、弾性体の下端面は、弁座の上面に固着して設けられることを特徴とする。

【0011】

請求項４に係る流量制御弁は、請求項１に記載の流量制御弁において、弁口は、プラグが挿入、かつ、摺動可能な上部弁口と、弾性体が着座する弁座を上端部に備える下部弁口とを備え、弾性体は、外径が上部弁口の開口径より小さく、かつ、下部弁口の開口径より大きい円柱形状或いは多角柱形状であり、弁体のプラグの下端面と弁座との間に介在し、弾性体の上端面は、プラグの下端面に固着して設けられることを特徴とする。

【0012】

請求項５に係る流量制御弁は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の流量制御弁において、弾性体は合成ゴム素材のスポンジであることを特徴とする。

【0013】

請求項６に係る流量制御弁は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の流量制御弁において、駆動部はステッピングモータにより弁体を弁開閉方向に位置に移動制御することを特徴とする。

【発明の効果】

【0014】

請求項１に係る流量制御弁では、中心に二次口の弁口に挿入可能なプラグを備えた弁体が駆動部により弁座の方向に移動し、弁体と弁座との間に介在する弾性体を弁体と弁座との両方に当接させ、さらに弁体が弁座の方向に移動して弾性体を完全に圧縮して、弾性体の空孔の体積の総和をゼロにすることにより、弾性体により弁口を閉弁することができる。そして、弾性体の相対する２つの端面が弁体および弁座に当接した状態で、弁体を弁座に対して接近／乖離方向に移動させて、弾性部材を圧縮／解放して弾性体の空孔の体積の総和を増減させることにより、従来のニードル弁では不可能であった極めて小さな流量を可変制御可能にする。また、弁体が駆動部により弁座の方向とは逆方向に移動し、弾性体の相対する２つの端面のいずれか一端が弁体あるいは弁座のいずれか一方と隔離した状態で、弁体のプラグを弁口に対して挿入／隔離し、さらに、プラグを弁口から完全に隔離することにより、従来のニードル弁と同等な流量の可変制御も可能となる。これにより、流量制御可能な最小流量と最大流量との差が大きくなり、大きなターンダウンの実現が可能になる。

【0015】

請求項２および３に係る流量制御弁では、弾性体を内径がプラグの最大径より大きい円筒形状とし、弁体と弁座との間においてプラグの周囲を囲うように介在させて、プラグの下端面或いは弁座の上面に固着して設けることにより、閉弁時において弾性体を完全に圧縮して、弾性体の空孔の体積をゼロにして、弾性体により確実に弁口を閉止することができる。さらに、弾性体が弁座に当接した状態で、弁体を弁座に対して上下に移動させて弾性部材を圧縮／解放し、弾性体の空孔の体積を増減させることにより、極めて小さな流量の制御を可能にする。また、弾性体がプラグの周囲を囲うように介在させるため、弁体の移動量と弁口を通過する流体の流量との関係が略一定となり、極めて小さな流量の制御が容易に、かつ、安定して可能になる。

【0016】

請求項４に係る流量制御弁では、弁口をプラグが挿入し摺動可能な上部弁口と、弾性体が着座する弁座を上端部に備える下部弁口とを備える。そして、弾性体を外径が上部弁口の開口径より小さく、かつ、下部弁口の開口径より大きい円柱形状或いは多角柱形状とし、弁体のプラグの下端面と弁座との間に介在し、弾性体の上端面をプラグの下端面に固着して設けている。そのため、弁体を上下に移動させることにより、弾性体が下部弁口の上端部に設けた弁座に着座して当接した状態では弾性部材の圧縮／解放により、弾性体が下部弁口の上端部に設けた弁座から離隔した状態ではプラグが上部弁口を上下移動或いは上部弁口から離隔することにより、上記請求項１から３に記載した流量制御弁と同様、極めて小さな流量の制御を可能にするとともに、従来のニードル弁と同等な流量の流量制御も可能になる。

【0017】

請求項５に係る流量制御弁では、弾性体を合成ゴム素材のスポンジで形成することにより、部品コストを低減できる。

【0018】

請求項６に係る流量制御弁では、駆動部にステッピングモータを用いることにより、弁体の移動を微細に制御することができることから、弁口を通過する流体の流量を微細に制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明にかかる一実施形態である流量制御弁の閉弁状態での断面図である。

【図2】本発明にかかる一実施形態である流量制御弁の開弁状態での断面図である。

【図3】本発明にかかる弁体を構成するプラグ（ニードルに相当）の（Ａ）上面図、（Ｂ）正面図である。

【図4】本発明にかかる弁体を構成するスポンジ（弾性体に相当）の（Ａ）上面図、（Ｂ）正面図である。

【図5】弁体の移動量（ストローク）と流量との関係を説明する図である。

【図6】本発明にかかる他の実施形態（その１）である流量制御弁の開弁状態での断面図である。

【図7】図６にかかる実施形態における弁体の移動の状態を説明する図である。

【図8】本発明にかかる他の実施形態（その２）である流量制御弁の開弁状態での断面図である。

【図9】図８にかかる実施形態における弁体の移動の状態を説明する図である。

【図10】本発明にかかる他の実施形態（その３）、（その４）および（その５）である流量制御弁を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

まず、本発明にかかる一実施形態である流量制御弁１について図面を参照して説明する。

【0021】

図１および図２は、バーナなどへのガス供給路に介設する本発明にかかる一実施形態である流量制御弁１を示したものであり、図１は閉弁状態での断面図であり、図２は開弁状態での断面図である。

【0022】

図１に示すように、流量制御弁１はガスなどの流体の流路を形成するボディ１０に組み込まれている。ボディ１０には、流量制御弁１の弁体２５が収納される弁室２２と、弁室２２に連通する一次口２０および二次口２１とが設けられている。弁室２２と二次口２１との間には弁口１９が設けられ、弁口１９の上端面は、流量制御弁１の弁体２５が着座する弁座１８が設けられている。ボディ１０の下面は弾性材であるパッキン２４を介して下部プレート１１で支持され、ボディ１０と下部プレート１１との間のシール状態を保持されている。

【0023】

流量制御弁１は、（図示しない）ステッピングモータやギアなどで構成されている駆動部１３と、駆動部１３内のステッピングモータやギアなどにより、図面に対して上下方向に移動するシャフト１５と、シャフト１５の下端部に接続する弁体２５と、弁体２５を図面下方（閉弁方向）に付勢するコイルバネ１７とから構成される。本実施形態では、弁体２５は、中心に図面下方に向けて突出し弁口１９を貫通可能な円錐台形状の突出部を設けたプラグ１４と、プラグ１４の突出部の外周面を囲む円筒形状のスポンジ１６とから構成される。駆動部１３は上部プレート１２とボディ１０との間に介設するＯリング２３を介してボディ１０に対してシール状態を保持して組み付けられている。尚、弁体２５のプラグ１４は、弁口１９に挿入可能に設けられ、スポンジ１６は、下端部が弁座１８に着座するようになっている。尚、本実施形態では駆動部１３にステッピングモータを採用しているが、駆動部１３はシャフト１５を図面に対して上下に移動制御できればいいのであって、ＤＣモータやギヤードモータ、アクチュエータなども採用可能である。

【0024】

ここで、本発明の特徴である弁体２５を構成するプラグ１４およびスポンジ１６について図３および図４を参照して説明する。

【0025】

図３の（Ａ）は、プラグ１４の上面図であり、図３の（Ｂ）は、プラグ１４の正面図である。図３の（Ｂ）に示すように、プラグ１４は、図面上方から、シャフト１５と接続する円柱状のプラグ接続部１４ａ、コイルバネ１７を支持する円柱状のプラグ支持部１４ｂおよび図面下方に向けて徐々に径が小さくなる略円錐台形状のプラグ本体１４ｄから構成されている。また、プラグ接続部１４ａの上端部にはシャフト１５に取り付けるためのネジ穴１４ｃが設けられている。プラグ本体１４ｄの最大径は弁口１９の開口径よりやや小さく設定されており、これにより、プラグ本体１４ｄは弁口１９対して挿入／隔離可能になっている。

【0026】

図４の（Ａ）は、スポンジ１６の上面図であり、図４の（Ｂ）は、スポンジ１６の正面図である。図４に示すように、スポンジ１６は内周面１６ａを有する円筒形状に形成されている。スポンジ１６の円筒部の外径は、プラグ１４のプラグ支持部１４ｂの外径と略同一に、また、スポンジ１６の内周面１６ａの内径は、プラグ１４のプラグ本体１４ｄの最大径よりやや大きく設定されている。これにより、スポンジ１６は、プラグ１４のプラグ本体１４ｄの外周を囲うようにプラグ１４のプラグ支持部１４ｂの下面に固着される。本実施形態では、スポンジ１６は合成ゴム素材の多孔質の弾性部材で形成されているが、素材は合成ゴム素材に限定されるものではなく、スポンジ１６の圧縮／解放により多孔質の空孔の体積の和が増減可能であれば、他の素材も採用可能である。

【0027】

次に、流量制御弁１の閉弁状態および開弁状態について説明する。

【0028】

図１に示すように、流量制御弁１の閉弁状態では、駆動部１３によりシャフト１５が図面下方に移動する。これにより、弁体２５のスポンジ１６が弁座１８に着座するとともに、弁体２５のプラグ１４（詳細にはプラグ本体１４ｄ）は弁口１９に挿入する。そして、さらにシャフト１５を下方に移動させて、スポンジ１６の多孔質の空孔の体積の総和がゼロになるまでスポンジ１６を圧縮すると、弁口１９がスポンジ１６によりシールされて、閉弁状態になる。

【0029】

また、図２に示すように、流量制御弁１の開弁状態では、駆動部１３によりシャフト１５が矢印（１）に示すように図面上方に移動する。これにより、弁体２５がコイルバネ１７の付勢力に抗して上方に移動し、弁体２５のスポンジ１６が弁座１８から隔離するとともに、弁体２５のプラグ１４（詳細ではプラグ本体１４ｄ）も弁口１９から隔離して、流量制御弁１は開弁状態になり、弁室２２および弁口１９を介して一次口２０と二次口２１とが連通する。

【0030】

次に、本発明にかかる流量制御弁１のプラグ１４とスポンジ１６とからなる弁体２５の効果について図５を参照して説明する。

【0031】

図５の（Ａ）から（Ｅ）は、流量制御弁１が閉弁状態（図５の（Ａ））から、駆動部１３によりシャフト１５を上方に移動して、プラグ１４（弁体２５）を徐々に上方（開弁方向）に移動させた状態を図示したものである。図５の（Ａ）の状態をストロークゼロ（Ｓ（Ａ）＝０）とし、図５の（Ｂ）から（Ｅ）は、図５の（Ａ）に対して、それぞれ、図５の（Ｂ）ではストロークＳ（Ｂ）、図５の（Ｃ）ではストロークＳ（Ｃ）、図５の（Ｄ）ではストロークＳ（Ｄ）、図５の（Ｅ）ではストロークＳ（Ｅ）と、プラグ１４を徐々に上方に移動した状態を示した図である。

【0032】

図５の（Ｆ）は、ストローク（プラグ１４が図５の（Ａ）の状態から上方に移動した距離）と、プラグ１４の（上方への）移動により開弁して弁口１９を流れる流体の流量との関係を示したグラフである。図５の（Ｆ）のグラフの中の黒丸（「●」）は、図５の（Ａ）から（Ｅ）の各状態におけるストローク（Ｓ（Ａ）、Ｓ（Ｂ）、Ｓ（Ｃ）、Ｓ（Ｄ）、Ｓ（Ｅ））に対する流量（Ｆ（Ａ）、Ｆ（Ｂ）、Ｆ（Ｃ）、Ｆ（Ｄ）、Ｆ（Ｅ））を示した点である。図５の（Ａ）から（Ｃ）の状態では、スポンジ１６の下端面が弁座１８に当接した状態で、スポンジ１６が圧縮／解放される。この状態では、弁口１９を流れる流体の流量は、スポンジ１６の多孔質の空孔の体積の総和に略比例するため、ストロークに対して図５の（Ｆ）のライン（１）に沿って変化する。これにより、従来のニードル弁に対して極めて小さな流量の制御が可能になる。そして、スポンジ１６の下端面が弁座１８から隔離すると（図５の（Ｃ）から（Ｅ）の状態）、従来のニードル弁のようにプラグ１４のストロークの大きさに略比例するため、ストロークに対して、図５の（Ｆ）のライン（２）に沿って変化する。これにより、従来のニードル弁と同等な流量の制御が可能になる。

【0033】

上記のように、本発明にかかる流量制御弁１では、弁口１９を流れる流体の流量は、スポンジ１６の下端面が弁座１８に当接した状態では、ストロークに対して、図５の（Ｆ）のライン（１）に沿って変化するため、従来のニードル弁（図５の（Ｆ）のライン（２））に比べて極めて小さな流量の制御が可能となり、スポンジ１６の下端面が弁座１８から隔離すると、弁口１９を流れる流体の流量は、ストロークに対して、従来のニードル弁のように図５の（Ｆ）のライン（２）に沿って変化するため、従来のニードル弁と同等な大きな流量まで制御可能となり、結果として流量制御可能な最小流量と最大流量との差が大きくなり、大きなターンダウンの実現が可能になるのである。

【0034】

ここで、流量制御弁１は流量制御弁の一例であり、弁室２２は弁室の一例であり、一次口２０は一次口の一例であり、二次口２１は二次口の一例であり、弁座１８は弁座の一例であり、弁体２５は弁体の一例であり、弁口１９は弁口の一例であり、駆動部１３は駆動部の一例であり、プラグ１４はプラグの一例であり、スポンジ１６は多孔質の弾性体の一例である。

【0035】

以上、本発明の実施形態について詳述してきたが、これらはあくまでも例示であって、本発明はかかる実施形態における具体的な記載によって、何等、限定的に解釈されるものでなく、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることが、理解されるべきである。

【0036】

図６は、本発明にかかる他の実施形態（その１）である流量制御弁１００の開弁状態での断面図を示す。上記実施形態の流量制御弁１では、スポンジ１６は弁体２５を構成するプラグ１４に固着したが、スポンジの配置は、これに限定するものではなく、図６に示す流量制御弁１００のように、スポンジ１１６を弁座１１８の上面に固着して配置してもよい。スポンジ１１６は、流量制御弁１にかかるスポンジ１６と同様、内径がプラグ１１４のプラグ本体１１４ａの最大径より大きい円筒形状であり、プラグ１１４のプラグ本体１１４ａの外周面を囲うように弁座１１８の上面に配置される。

【0037】

図７は、流量制御弁１００にかかる弁体のプラグ１１４の移動の状態を説明する図である。図７の（Ａ）は、上記、図５の（Ａ）と同様、プラグ１１４によりスポンジ１１６を完全に圧縮し、スポンジ１１６の空孔の体積の総和をゼロにして閉弁した状態で、この場合のプラグ１１４のストロークをゼロ（Ｓ１（Ａ）＝０）とし、図７の（Ｂ）から（Ｅ）は、徐々にプラグ１１４を上方（開弁方向）に移動した各状態（ストロークＳ１（Ｂ）、ストロークＳ１（Ｃ）、ストロークＳ１（Ｄ）、ストロークＳ１（Ｅ））を示した図である。スポンジ１１６がプラグ１１４と当接している間（図７の（Ａ）から（Ｃ））では、流量制御弁１の場合と同様、弁口１１９を流れる流体の流量は、スポンジ１１６の多孔質の空孔の体積の総和に略比例するため、ストロークに対して、例えば、上記の図５の（Ｆ）のライン（１）のように変化し、スポンジ１１６がプラグ１１４と隔離する状態（図７の（Ｃ）から（Ｅ））では、ストロークに対して、例えば、上記の図５の（Ｆ）のライン（２）のように変化する。よって、スポンジ１１６を弁座１１８の上面に固着した流量制御弁１００でも、流量制御弁１と同様、極めて小さな流量の制御も可能になることから、流量制御可能な最小流量と最大流量との差が大きくなり、大きなターンダウンの実現が可能になる。

【0038】

図８は、本発明にかかる他の実施形態（その２）である流量制御弁２００の開弁状態での断面図を示す。図８に示すように、流量制御弁２００では、本発明に特徴であるスポンジ２１６はプラグ２１４の下端面に固着して設けられ、プラグ２１４とスポンジ２１６とで弁体２２５が構成される。また、弁口は、プラグ２１４が挿入し摺動可能な上部弁口２２６と、スポンジ２１６の下端面が着座する弁座２１８を上端部に設けた下部弁口２１９とを備える。そして、スポンジ２１６は、外径が上部弁口２２６の開口径より小さく、かつ、下部弁口２１６の開口径より大きい円柱形状のスポンジを採用したものである。ここで、スポンジ２１６の形状は、円柱形状に限定されるものではなく、多角柱形状であってもよい。

【0039】

図９は、流量制御弁２００にかかる弁体のプラグ２１４の移動の状態を説明する図である。図９の（Ａ）は、上記、図５の（Ａ）と同様、プラグ２１４によりスポンジ２１６を完全に圧縮し、スポンジ２１６の空孔の体積の総和をゼロにして閉弁した状態であり、この場合のプラグ２１４のストロークをゼロ（Ｓ２（Ａ）＝０）とし、図９の（Ｂ）から（Ｅ）は、徐々にプラグ２１４を上方（開弁方向）に移動した各状態（ストロークＳ２（Ｂ）、ストロークＳ２（Ｃ）、ストロークＳ２（Ｄ）、ストロークＳ２（Ｅ））を示した図である。スポンジ２１６の下端面が弁座２１８と当接している間（図９の（Ａ）から（Ｃ））では、流量制御弁１の場合と同様、弁口２１９を流れる流体の流量は、スポンジ２１６の多孔質の空孔の体積の総和に略比例するため、ストロークに対して、例えば、上記の図５の（Ｆ）のライン（１）のように変化し、スポンジ２１６が弁座２１８と隔離する状態（図９の（Ｃ）から（Ｅ））では、プラグ２１４が上部弁口２２６を移動し、さらに、上部弁口２２６から離隔するため、ストロークに対して、例えば、上記の図５の（Ｆ）のライン（２）のように変化する。よって、流量制御弁２００においても、流量制御弁１と同様、極めて小さな流量の制御も可能になることから、流量制御可能な最小流量と最大流量との差が大きくなり、大きなターンダウンの実現が可能になる。

【0040】

流量制御弁１および１００、２００では、スポンジ（１６、１１６、２１６）を圧縮させて、弁口（１９、１１９、２１９）をシールして閉弁したが、スポンジの材質によっては、スポンジを圧縮させても弁口を完全にシールできない場合がある。その場合、スポンジとは別に弾性部材からなるシール部材を追加してもよい。

【0041】

図１０にはシール部材を追加した他の実施形態（その３）、（その４）および（その５）を示した図である。図１０の（Ａ）および（Ｂ）は、一例として上記実施形態の流量制御弁１にシール部材を追加した流量制御弁３００（実施形態（その３））の閉弁時および開弁時の断面図であり、図１０の（Ｃ）および（Ｄ）は、一例として上記実施形態の流量制御弁２００にシール部材を追加した流量制御弁４００（実施形態（その４））の閉弁時および開弁時の断面図である。シール部材３３０および４３０は、いずれも内径が各々のプラグ３１４および４１４の外周径より大きい円筒形状であり、閉弁時において、図１０の（Ａ）および（Ｃ）に示すように、各々の弁座３１８および４１８に着座して各々の弁口を完全にシールすることができるようにしたものである。尚、流量制御弁３００および流量制御弁４００には、図１０に示すように、スポンジ３１６およびスポンジ４１６が設けられている。

【0042】

また、シール部材は、シール部材３３０および４３０のような円筒形状のシール部材に限定するものではなく、例えば、図１０の（Ｅ）に示す流量制御弁５００（実施形態（その５））のように、Ｏリング５３０を採用してもよい。プラグ５１４の上端外周部にＯリング５３０に嵌合する凹溝５１４ａを設けてＯリング５３０を装着して、Ｏリング５３０により弁口をシールすることができる。

【符号の説明】

【0043】

１、１００、２００、３００、４００、５００・・流量制御弁
１０、１１０、２１０・・ボディ
１１・・下部プレート
１２・・上部プレート
１３・・駆動部
１４、１１４、２１４、３１４、４１４、５１４・・プラグ
１５・・シャフト
１６、１１６、２１６、３１６、４１６・・スポンジ
１７・・コイルバネ
１８、１１８、２１８、３１８、４１８・・弁座
１９、１１９、２１９、２２６・・弁口
２０・・一次口
２１・・二次口
２２・・弁室
２３・・Ｏリング
２４・・パッキン
２５、２２５・・弁体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】