特許 7305764 試料を検査するための顕微鏡システムおよび方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-30

(45)【発行日】2023-07-10

(54)【発明の名称】試料を検査するための顕微鏡システムおよび方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 21/26 20060101AFI20230703BHJP

   G02B 21/36 20060101ALN20230703BHJP

【ＦＩ】

G02B21/26

G02B21/36

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2021525678

(86)(22)【出願日】2019-11-12

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-02-07

(86)【国際出願番号】 EP2019080926

(87)【国際公開番号】W WO2020099353

(87)【国際公開日】2020-05-22

【審査請求日】2022-08-01

(31)【優先権主張番号】102018128281.8

(32)【優先日】2018-11-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(73)【特許権者】

【識別番号】511079735

【氏名又は名称】ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

【氏名又は名称原語表記】Ｌｅｉｃａ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ ＣＭＳ ＧｍｂＨ

【住所又は居所原語表記】Ｅｒｎｓｔ－Ｌｅｉｔｚ－Ｓｔｒａｓｓｅ １７－３７， Ｄ－３５５７８ Ｗｅｔｚｌａｒ， Ｇｅｒｍａｎｙ

(74)【代理人】

【識別番号】100114890

【弁理士】

【氏名又は名称】アインゼル・フェリックス＝ラインハルト

(74)【代理人】

【識別番号】100098501

【弁理士】

【氏名又は名称】森田 拓

(74)【代理人】

【識別番号】100116403

【弁理士】

【氏名又は名称】前川 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100134315

【弁理士】

【氏名又は名称】永島 秀郎

(74)【代理人】

【識別番号】100135633

【弁理士】

【氏名又は名称】二宮 浩康

(74)【代理人】

【識別番号】100162880

【弁理士】

【氏名又は名称】上島 類

(72)【発明者】

【氏名】ヤン ブラウン

【審査官】瀬戸 息吹

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１４１３９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０９１８９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００６／００１８０１３（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ １９／００ － ２１／３６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

顕微鏡（１０２）と制御装置（１０４）とを含む、試料（１１８）を検査するための顕微鏡システム（１００、２００）であって、前記顕微鏡（１０２）は、移動可能な顕微鏡ステージ（１１６）を備えており、前記顕微鏡ステージ（１１６）上に検査すべき前記試料（１１８）をポジショニング可能であり、
前記制御装置（１０４）は、以下のように構成されている。すなわち、
第１のポジション信号を前記顕微鏡ステージ（１１６）に伝達し、前記第１のポジション信号に基づき、前記顕微鏡ステージ（１１６）は、第１のステージポジションまで移動可能であり、
前記顕微鏡ステージ（１１６）が前記第１のステージポジションまで移動させられると、第１の検査ステップにおいて、前記第１のステージポジションに割り当てられた前記試料（１１８）の第１の領域を検査するよう、前記顕微鏡（１０２）に指示し、
少なくとも１つの第２のポジション信号を前記顕微鏡ステージ（１１６）に伝達し、前記第２のポジション信号に基づき、前記顕微鏡ステージ（１１６）は第２のステージポジションまで移動可能であり、
前記顕微鏡ステージ（１１６）が前記第２のステージポジションまで移動させられると、時間的に前記第１の検査ステップに続く第２の検査ステップにおいて、前記第２のステージポジションに割り当てられた前記試料（１１８）の第２の領域を検査するよう、前記顕微鏡（１０２）に指示する、
顕微鏡システム（１００、２００）において、
前記制御装置（１０４）は、さらに、
前記顕微鏡ステージ（１１６）が前記第１のステージポジションまで移動させられる間に、前記第２のポジション信号を前記顕微鏡ステージ（１１６）に伝達し、
前記第１の検査ステップにおいて前記顕微鏡（１０２）により検出された検査結果に応じて、第３のポジション信号を生成し、前記顕微鏡ステージ（１１６）が前記第２のステージポジションまで移動させられる間に、前記第３のポジション信号を前記顕微鏡ステージ（１１６）に伝達し、
前記顕微鏡ステージ（１１６）が第３のステージポジションまで移動させられると、時間的に前記第２の検査ステップに続く第３の検査ステップにおいて、前記第３のステージポジションに割り当てられた前記試料（１１８）の第３の領域を検査するよう、前記顕微鏡（１０２）に指示する、
ように構成されている、
顕微鏡システム（１００、２００）。

【請求項2】

前記顕微鏡ステージ（１１６）は、前記顕微鏡（１０２）の対物レンズ（１２０）の光軸（Ｏ）に対し垂直な平面内で移動可能である、
請求項１記載の顕微鏡システム（１００、２００）。

【請求項3】

前記顕微鏡（１０２）は、検出器（１２２）を含み、前記検出器（１２２）は、前記第１の検査ステップおよび／または前記第２の検査ステップにおいて求められた検査結果を、前記制御装置（１０４）に送信するように構成されている、
請求項１または２記載の顕微鏡システム（１００、２００）。

【請求項4】

前記顕微鏡ステージ（１１６）は、ステージ駆動部（１２１）およびステージ制御ユニット（１３０）を有し、前記ステージ制御ユニット（１３０）は、前記制御装置（１０４）から伝達された個々のポジション信号を受信し、受信した前記ポジション信号に基づき前記顕微鏡ステージ（１１６）を移動させるために前記ステージ駆動部（１２１）を作動させるように構成されている、
請求項１から３までのいずれか１項記載の顕微鏡システム（１００）。

【請求項5】

前記顕微鏡ステージ（１１６）は、記憶装置（１３１）を有し、前記記憶装置（１３１）内に個々のポジション信号を記憶可能である、
請求項１から４までのいずれか１項記載の顕微鏡システム（１００、２００）。

【請求項6】

前記顕微鏡（１０２）は、落射型顕微鏡または透過型顕微鏡である、
請求項１から５までのいずれか１項記載の顕微鏡システム（１００）。

【請求項7】

前記顕微鏡（１０２）は、正立顕微鏡または倒立顕微鏡である、
請求項１から６までのいずれか１項記載の顕微鏡システム。

【請求項8】

顕微鏡（１０２）を用いて試料（１１８）を検査するための方法であって、前記方法は、
検査すべき前記試料（１１８）を、前記顕微鏡（１０２）の移動可能な顕微鏡ステージ（１１６）上にポジショニングするステップと、
第１のポジション信号を前記顕微鏡ステージ（１１６）に伝達するステップと、
前記第１のポジション信号に基づき、前記顕微鏡ステージ（１１６）を第１のステージポジションまで移動させるステップと、
第１の検査ステップにおいて、前記第１のステージポジションに割り当てられた前記試料（１１８）の第１の領域を検査するよう、前記顕微鏡（１０２）に指示するステップと、
少なくとも１つの第２のポジション信号を前記顕微鏡ステージ（１１６）に伝達するステップと、
前記第２のポジション信号に基づき、前記顕微鏡ステージ（１１６）を第２のステージポジションまで移動させるステップと、
時間的に前記第１の検査ステップに続く第２の検査ステップにおいて、前記第２のステージポジションに割り当てられた前記試料（１１８）の第２の領域を検査するよう、前記顕微鏡（１０２）に指示するステップと、
を含む、
方法において、
前記顕微鏡ステージ（１１６）が前記第１のステージポジションまで移動される間に、前記第２のポジション信号を前記顕微鏡ステージ（１１６）に伝達し、
前記第１の検査ステップにおいて前記顕微鏡（１０２）により検出された検査結果に応じて、第３のポジション信号を生成し、前記顕微鏡ステージ（１１６）が前記第２のステージポジションまで移動させられる間に、前記第３のポジション信号を前記顕微鏡ステージ（１１６）に伝達し、
前記顕微鏡ステージ（１１６）が第３のステージポジションまで移動させられると、時間的に前記第２の検査ステップに続く第３の検査ステップにおいて、前記第３のステージポジションに割り当てられた前記試料（１１８）の第３の領域を検査するよう、前記顕微鏡（１０２）に指示する、
方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、顕微鏡と制御装置とを含む、試料を検査するための顕微鏡システムに関する。顕微鏡は移動可能な顕微鏡ステージを備えており、この顕微鏡ステージ上に検査すべき試料をポジショニング可能であり、制御装置は以下のように構成されている。すなわち、第１のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達し、この第１のポジション信号に基づき顕微鏡ステージは第１のステージポジションまで移動可能であり、顕微鏡ステージが第１のステージポジションまで移動させられると、第１の検査ステップにおいて、第１のステージポジションに割り当てられた試料の第１の領域を検査するよう顕微鏡に指示し、少なくとも１つの第２のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達し、この第２のポジション信号に基づき顕微鏡ステージは第２のステージポジションまで移動可能であり、顕微鏡ステージが第２のステージポジションまで移動させられると、時間的に第１の検査ステップに続く第２の検査ステップにおいて、第２のステージポジションに割り当てられた試料の第２の領域を検査するよう、顕微鏡に指示する。本発明はさらに、顕微鏡を用いて試料を検査するための方法に関する。

【背景技術】

【0002】

光学顕微鏡による実験を実施する際にしばしば必要とされるのは、さまざまな試料領域を１台の顕微鏡によって検査することである。このために必要とされるのは、試料を複数のステップで顕微鏡の顕微鏡対物レンズに対し相対的にポジショニングすることである。しばしばこの目的で、移動可能な顕微鏡ステージが使用され、このステージ上に試料が配置されており、このステージは対物レンズの光軸に対し垂直な平面内で動くことができる。その際に顕微鏡ステージの移動を、手動でまたはモータにより行うことができる。

【0003】

実験の状況によっては、例えば多数の試料領域を観察しなければならないなどの理由で、顕微鏡ステージの移動を自動化することが要求されることも多い。従来技術からこのために、顕微鏡ステージの位置調整を自動化する実質的に２つの方法が知られている。

【0004】

以下では「シーケンシャルリロード」とも称する１つめの公知の方法の場合、第１のステップにおいて顕微鏡ステージにポジション信号が伝達される。第２のステップにおいて、顕微鏡ステージがポジション信号に基づき所望のステージポジションまで移動させられる。第３のステップにおいて、ステージポジションに割り当てられた試料領域が検査される。これらのステップは、検査すべきすべての試料領域について時間的に相前後して、すなわちシーケンシャルに実施される。この方法の欠点は、ポジション信号の伝達に要する時間が試料の本来の検査のために使用されない、ということである。

【0005】

以下では「プレロード」とも称する２つめの方法の場合、実験進行中に向かうべきすべてのステージポジションが、すでに実験開始時にポジション信号の形態で顕微鏡ステージに伝達される。すべてのポジション信号が伝達されてしまった後、それらのポジション信号に対応するステージポジションまで、顕微鏡ステージが相前後して移動させられ、個々のステージポジションに割り当てられた試料領域が検査される。この方法の欠点は一方では、すべてのポジション信号が伝達されてしまうまで実験開始が遅れてしまう、ということである。他方、すべてのポジション信号が実験開始前にすでに伝達されてしまっているので、検査すべき試料領域に関する実験の整合を実験進行中にはもはや行えない、という点で不都合である。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

このような従来技術から出発して、本発明の課題は、検査すべき試料領域の実験進行中の整合、ならびにこれまでよりも高速な試料検査を可能にした、試料を検査するための顕微鏡システムおよび方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

この課題は、請求項１記載の特徴を備えた顕微鏡システムおよび請求項９記載の特徴を備えた方法によって解決される。従属請求項には有利な実施形態が記載されている。

【0008】

試料を検査するための本発明による顕微鏡システムは、顕微鏡と制御装置とを含み、顕微鏡は移動可能な顕微鏡ステージを備え、この顕微鏡ステージ上に検査すべき試料をポジショニング可能である。制御装置は以下のように構成されている。すなわち、第１のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達し、この第１のポジション信号に基づき、顕微鏡ステージは第１のステージポジションまで移動可能であり、顕微鏡ステージが第１のステージポジションまで移動させられると、第１の検査ステップにおいて、第１のステージポジションに割り当てられた試料の第１の領域を検査するよう、顕微鏡に指示し、少なくとも１つの第２のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達し、この第２のポジション信号に基づき、顕微鏡ステージは第２のステージポジションまで移動可能であり、顕微鏡ステージが第２のステージポジションまで移動させられると、時間的に第１の検査ステップに続く第２の検査ステップにおいて、第２のステージポジションに割り当てられた試料の第２の領域を検査するよう、顕微鏡に指示する。制御装置はさらに、顕微鏡ステージが第１のステージポジションまで移動させられる間に、第２のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達するように構成されている。

【0009】

制御装置により指示されるポジション信号の伝達は、顕微鏡システムを用いて実施される実験の進行中に初めて行われることから、検査すべき試料領域は実験開始時にはまだ明確には規定されていない。これによって例えば、検査すべき試料における動的なプロセスに合わせて反応することができ、顕微鏡ステージのポジショニングに関して実験のさらなる進行を相応に整合させることができる。本発明によれば、顕微鏡ステージを第１のステージポジションまで移動させるために必要とされる期間が、第２のポジション信号を顕微鏡ステージに送信するために利用される。したがって第１の検査ステップが終了するとただちに、顕微鏡ステージをすぐに、すなわちいかなる遅延もなく、第２のステージポジションまで動かすことができる。よって、ポジション信号を伝達するために時間が浪費されず、節約された時間を本来の実験のために利用することができる。したがって本発明による顕微鏡システムによれば、検査すべき試料領域の実験進行中のフレキシブルな整合のほか、従来よりも高速な光学顕微鏡検査が可能となる。

【0010】

本明細書では、個々のポジション信号と、作動信号またはトリガ信号と、を区別する必要がある。この場合、制御装置は所与の時点で顕微鏡ステージに個々のポジション信号を伝達し、以降の時点で顕微鏡ステージはこのポジション信号に基づき、配属されたステージポジションまで移動可能であり、作動信号またはトリガ信号は、上述の以降の時点で顕微鏡ステージの移動による所望のステージポジショニングを実際にトリガする。

【0011】

本発明による顕微鏡システムのさらなる利点は、顕微鏡ステージ、および／または顕微鏡駆動部を制御する制御装置が、顕微鏡ステージを所望のように移動させるために、僅かな個数のポジション信号を保持するだけでよい、ということである。このため、ここで挙げた顕微鏡コンポーネントに高性能の記憶素子を設ける必要がなくなる。

【0012】

自明のとおり、本発明による顕微鏡システムを用いることで、３つ以上の試料領域を検査することもできる。この目的で、さらなるポジション信号が制御ユニットにより顕微鏡ステージに伝達され、その間、顕微鏡ステージは、このさらなるポジション信号に先立つポジション信号に割り当てられたステージポジションまで移動させられる。次いで顕微鏡ステージはこのさらなるポジション信号に基づき、やはりさらなる試料領域が割り当てられているステージポジションまで移動させられる。その後、時間的に第２の検査ステップに続くさらなる検査ステップにおいて、このさらなる試料領域が顕微鏡を用いて検査される。これまでに挙げたステップは、すべての所望の試料領域が顕微鏡により検査されてしまうまで繰り返される。

【0013】

好ましくは、顕微鏡システムの制御装置は以下のように構成されている。すなわち、第１の検査ステップにおいて顕微鏡により検出された検査結果に応じて、第３のポジション信号を生成し、顕微鏡ステージが第２のステージポジションまで移動させられる間に、この第３のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達し、顕微鏡ステージが第３のステージポジションまで移動させられると、時間的に第２の検査ステップに続く第３の検査ステップにおいて、第３のステージポジションに割り当てられた試料の第３の領域を検査するよう、顕微鏡に指示する。この特に有利な実施形態によれば、顕微鏡ステージが向かうべきステージポジションの選択に関して、ひいてはそれらのステージポジションに割り当てられた検査すべき試料領域に関して、それまでに行われた検査の結果に実験をフレキシブルに整合させることができる。

【0014】

顕微鏡ステージが顕微鏡の対物レンズの光軸に対し垂直な平面内で移動可能であると、有利である。これによって、試料のできるかぎり多くの領域を検査することができる。択一的に顕微鏡ステージが、顕微鏡の対物レンズの光軸に対し垂直な１つの方向に沿ってのみ移動可能であるようにすることができる。

【0015】

１つの有利な実施形態によれば、顕微鏡は検出器を含み、この検出器は、第１の検査ステップおよび／または第２の検査ステップにおいて求められた検査結果を、制御装置に送信するように構成されている。この検査結果に基づき、検査すべきさらなる試料領域の選択を行うことができる。これによって、試料における動的なプロセスの自動化された検査が可能になる。

【0016】

好ましくは、顕微鏡ステージは、ステージ駆動部およびステージ制御ユニットを有し、このステージ制御ユニットは、制御装置から伝達された個々のポジション信号を受信し、受信したポジション信号に基づき顕微鏡ステージを移動させるためにステージ駆動部を作動させるように構成されている。すでに以前に説明したように、設定すべきステージポジションを表すポジション信号と、顕微鏡ステージの実際の位置調整をトリガする作動信号またはトリガ信号と、をここでは区別する必要がある。本実施形態の場合、顕微鏡ステージを所望のステージポジションまで移動させるよう、ステージ駆動部に指示するために、ステージ制御ユニットはかかるトリガ信号をステージ駆動部に送信する。ステージ駆動部は、例えば電動モータとして実装されており、供給されたポジション信号に応じて顕微鏡ステージを移動させることができる。

【0017】

好ましくは、顕微鏡ステージは記憶装置を有し、この記憶装置内に個々のポジション信号を記憶可能である。顕微鏡ステージが固有のステージ制御装置を有するケースであれば、上述の記憶装置は好ましくはステージ制御装置の一部である。択一的にまたは付加的に、顕微鏡システムの制御装置もポジション信号用の記憶装置を有することができる。

【0018】

顕微鏡を特に、透過型顕微鏡または落射型顕微鏡とすることができる。これに加え顕微鏡を、正立顕微鏡としても倒立顕微鏡としても構成することができる。

【0019】

本発明はさらに、顕微鏡を用いて試料を検査するための方法に関し、この方法は以下のステップを含む。すなわち、検査すべき試料を、顕微鏡の移動可能な顕微鏡ステージ上にポジショニングするステップと、第１のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達するステップと、第１のポジション信号に基づき、顕微鏡ステージを第１のステージポジションまで移動させるステップと、第１の検査ステップにおいて、第１のステージポジションに割り当てられた試料の第１の領域を検査するよう、顕微鏡に指示するステップと、少なくとも１つの第２のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達するステップと、第２のポジション信号に基づき、顕微鏡ステージを第２のステージポジションまで移動させるステップと、さらに時間的に第１の検査ステップに続く第２の検査ステップにおいて、顕微鏡ステージの第２のポジションに割り当てられた試料の第２の領域を検査するよう、顕微鏡に指示するステップと、を含む。さらに、顕微鏡ステージが第１のステージポジションまで移動される間に、第２のポジション信号を顕微鏡ステージに伝達するように構成されている。

【0020】

次に、図面を参照しながら本発明について説明する。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】実施例として顕微鏡システムを概略的に示す図である。

【図2】さらなる実施例として顕微鏡システムを概略的に示す図である。

【図3】図１もしくは図２による顕微鏡システムを用いて試料を検査するための方法を概略的に示す図である。

【図4】比較例として慣用の方法を概略的に示す図である。

【図5】比較例としてさらなる慣用の方法を概略的に示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１には、正立顕微鏡１０２および主制御ユニット１０４を含む顕微鏡システム１００が示されている。主制御ユニット１０４はパーソナルコンピュータであって、これにはモニタ１０６と、キーボード１０８およびマウス１１０の形態の入力機器と、が接続されている。主制御ユニット１０４は、顕微鏡システム１００の動作全体を制御する機能を有する。

【0023】

顕微鏡１０２は、照明装置１１４を備えた顕微鏡スタンド１１２を有する。顕微鏡スタンド１１２上に顕微鏡ステージ１１６が載置されており、その上に試料１１８が配置されている。顕微鏡ステージ１１６はステージ駆動部１２１を有し、これは例えば電動モータとして実装されていて、図１に２つの軸ｘおよびｙで示唆されている平面内で顕微鏡ステージ１１６を移動させる機能を有する。顕微鏡ステージ１１６の上方に、検出器１２２に向けて試料１１８を結像する対物レンズ１２０が設けられている。検出器１２２は例えばＣＣＤカメラである。図１に示されているように、ステージ駆動部１２１により顕微鏡ステージが移動可能である平面は、対物レンズ１２０の光軸Ｏに対し垂直に位置している。

【0024】

顕微鏡スタンド１１２および検出器１２２は、導線１２４もしくは１２６を介して、主制御ユニット１０４に接続されている。これに対しステージ駆動部１２１は、導線１２８を介してステージ制御ユニット１３０に接続されており、他方、ステージ制御ユニット１３０は導線１３２を介して主制御ユニット１０４に結合されている。ステージ制御ユニット１３０は、顕微鏡ステージ１１６が所望のように移動させられるように、ステージ駆動部１２１を制御する機能を有する。

【0025】

顕微鏡ステージ１１６を移動させるために、主制御ユニット１０４はｘ－ｙポジション信号をステージ制御ユニット１３０に伝達し、ステージ制御ユニット１３０は、伝達されたポジション信号を記憶する内部記憶装置１３１を有する。次いでステージ制御ユニット１３０は記憶されているポジション信号に基づき、顕微鏡ステージ１１６が所望のステージポジションまで動かされるように、ステージ駆動部１２１を制御する。ポジション信号の伝達およびそれに基づくステージ駆動部１２１の作動は、後で図３を参照しながら説明する時間体系に従って行われる。

【0026】

主制御ユニット１０４は、図１に示されている実施例の場合、接続されたモニタ１０６もしくは接続された入力機器１０８、１１０と共働して、入出力ユニットとしての役割も果たす。例えば操作員は、主制御ユニット１０４のキーボード１０８を介して、ステージポジションを予め設定することができ、主制御ユニット１０４はこのステージポジションを、ステージ駆動部１２１の作動のためにポジション信号の形態でステージ制御ユニット１３０に伝達する。さらに操作員に対し、本実施例では検出器１２２が顕微鏡画像の形態で供給する検査結果を、モニタ１０６上で表示させることができる。

【0027】

図１に示されている顕微鏡１０２は、正立透過型顕微鏡として構成されている。したがって図１の場合には、顕微鏡ステージ１１６の下方に照明装置１１４が設けられている。ただし択一的に顕微鏡１０２を、落射型顕微鏡として実装することもできる。かかる実施形態の場合には、図１に参照符号１３４で示されているように、顕微鏡ステージ１１６の上方に照明装置１１４が配置されている。

【0028】

図２には、さらなる実施例として顕微鏡システム２００が概略的に示されている。

【0029】

図２に示されている顕微鏡システム２００は、図１に示されている顕微鏡システム１００とは、図２による顕微鏡１０２が倒立顕微鏡として構成されている、という点で実質的に異なる。したがって図２による実施例の場合、対物レンズ１２０および検出器１２２は顕微鏡ステージ１１６の下方に配置されている一方、照明装置１１４は顕微鏡ステージ１１６の上方に設けられている。同じ部材または同じように作用する部材には、図１および図２において同じ参照符号が付されている。

【0030】

図３には、試料１１８を本発明に従って検査するために顕微鏡システム１００もしくは２００を使用して実施可能な方法が、概略的に示されている。

【0031】

第１のステップＳ１において、主制御ユニット１０４により第１のポジション信号が顕微鏡ステージ１１６のステージ制御ユニット１３０に伝達され、そこにおいて内部記憶装置１３１に記憶される。

【0032】

第２のステップＳ２において、ステージ制御ユニット１３０はトリガ信号を送信することで、第１のポジション信号に割り当てられた第１のステージポジションまで顕微鏡ステージ１１６が移動させられるように、顕微鏡ステージ１１６のステージ駆動部１２１を制御する。これと同時に主制御ユニット１０４は、第２のポジション信号をステージ制御ユニット１３０に伝達し、この信号を自身の内部記憶装置１３１に記憶する。

【0033】

第３のステップＳ３において、顕微鏡ステージ１１６の第１のステージポジションに割り当てられた試料１１８の第１の領域が検査され、これは本実施例では、検出器１２２が試料領域の画像を撮影するようにして行われる。この画像は主制御ユニット１０４に伝達され、そこにおいて引き続き処理される。例えば画像はモニタ１０６に表示される。

【0034】

第４のステップＳ４において、ステージ制御ユニット１３０はトリガ信号を送信することで、第２のポジション信号に割り当てられた第２のステージポジションまで顕微鏡ステージ１１６が移動させられるように、顕微鏡ステージ１１６のステージ駆動部１２１を制御する。これと同時に主制御ユニット１０４は、第３のポジション信号をステージ制御ユニット１３０に伝達し、この第３のポジション信号を自身の内部記憶装置１３１に記憶する。

【0035】

第５のステップＳ５において、検出器１２２は、第２のステージポジションに割り当てられた試料１１８の第２の領域の画像を撮影し、この画像はやはり主制御ユニット１０４に伝達され、そこにおいて引き続き処理される。

【0036】

以降のステップにおいて、それぞれさらなるポジション信号が主制御ユニット１０４によってステージ制御ユニット１３０に伝達され、そこにおいて記憶され、その間、顕微鏡ステージ１１６が、個々のさらなるポジション信号に先立つポジション信号に割り当てられたポジションまで移動させられる。顕微鏡ステージ１１６は、個々のポジション信号の伝達後、トリガ信号に基づき、検査すべきさらなる試料領域が割り当てられているさらなるステージポジションまで移動させられる。次いでこのさらなる領域が、検出器１２２により画像生成という手法で検査された後、主制御ユニット１０４によって新たにポジション信号が伝達される。これは、試料１１８の検査が終わるまで繰り返される。

【0037】

本発明による方法と対比するために、従来技術により「シーケンシャルリロード」および「プレロード」という名称で知られる冒頭で挙げた２つの方法について、以下で図４および図５を参照しながらさらに説明する。

【0038】

図４によるシーケンシャルリロード方法の場合、第１のステップＳ１１において顕微鏡ステージにポジション信号が伝達される。次いで、時間的に第１のステップＳ１１に続く第２のステップＳ１２において、事前に伝達されたこのポジション信号に対応するステージポジションまで、顕微鏡ステージが移動させられる。時間的に第２のステップＳ１２に続く第３のステップＳ１３において、このステージポジションに割り当てられた試料領域が検査される。検査すべきすべての試料領域のために、これまでに挙げたステップが相前後して繰り返される。

【0039】

図５によるプレロード方法の場合、本来の試料検査に先立つ開始フェーズ（ステップＳ２１～Ｓ２３）においてすでに、後で顕微鏡ステージが向かうべきすべてのステージポジションが、相前後して相応のポジション信号の形態で顕微鏡ステージに供給される。すべてのポジション信号が相前後して伝達されてしまった後、続いてステップＳ２４において、事前に伝達された複数のステージポジションのうち最初のものに対応する第１のステージポジションまで、顕微鏡ステージが移動させられる。次いでステップＳ２５において、第１のステージポジションに割り当てられた第１の試料領域が検査される。開始フェーズ中に伝達されてしまっているすべてのさらなるステージポジションのために、ステップＳ２４およびＳ２５が引き続き相前後して実施される。

【0040】

図４によるシーケンシャルリロード方法は、実験がいわば時間的に引き伸ばされる、という欠点を有する。これに対し図５によるプレロード方法の場合には一方では、実験の開始が遅れるという欠点がある。他方、プレロード方法は、実験中に向かうべきステージポジションに関して整合を行うことができない。しかも、ステージ制御ユニット１３０の利用可能なメモリサイズによって実験の規模が制限され、すなわち例えば実験進行中に向かうことのできるステージポジションの総数が制限される。

【0041】

これに対し本発明により提供される解決手段によれば、とりわけ高速な試料検査も、検査すべき試料領域の実験中のフレキシブルな整合も可能になり、その際に実験規模においていかなる制限もなされない。

【符号の説明】

【0042】

１００ 顕微鏡システム
１０２ 顕微鏡
１０４ 主制御ユニット
１０６ モニタ
１０８ キーボード
１１０ マウス
１１２ 顕微鏡スタンド
１１４ 照明装置
１１６ 顕微鏡ステージ
１１８ 試料
１２０ 対物レンズ
１２１ ステージ駆動部
１２２ 検出器
１２４、１２６、１２８ 導線
１３０ ステージ制御ユニット
１３１ 記憶装置
１３２ 導線
１３４ 照明装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】