特許 7307983 基板移送ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-05

(45)【発行日】2023-07-13

(54)【発明の名称】基板移送ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230706BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20230706BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

【請求項の数】 16

(21)【出願番号】P 2022063415

(22)【出願日】2022-04-06

(65)【公開番号】P2022184738

(43)【公開日】2022-12-13

【審査請求日】2022-04-06

(31)【優先権主張番号】10-2021-0070273

(32)【優先日】2021-05-31

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】513217252

【氏名又は名称】株式会社ティーロボティクス

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】李壽鍾

(72)【発明者】

【氏名】金明辰

(72)【発明者】

【氏名】李昌成

(72)【発明者】

【氏名】白承ヨン

(72)【発明者】

【氏名】池昌絃

(72)【発明者】

【氏名】咸相輝

(72)【発明者】

【氏名】許文紀

(72)【発明者】

【氏名】朴宰ヒョン

(72)【発明者】

【氏名】李太韓

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－０９６０３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－３００６５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２９６６６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－２７９０４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０４３７９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１２８９９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０１１３０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０６４９９９３６（ＵＳ，Ｂ２）

【文献】特開２０１５－１７８１４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－３２６６７１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ ９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板移送ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボットにおいて、
真空チャンバの内部を密閉する筐体の外側の下部領域に位置し、上端が前記筐体の下部領域に形成された真空チャンバの貫通孔に封止されるように結合され、中空が形成された昇降駆動軸を前記真空チャンバの貫通孔で上下運動させる昇降部；
第１中央領域に前記昇降駆動軸の中空に対応する第１＿１貫通孔が形成された第１＿１係止部材により第１＿１上部空間と第１＿１下部空間とに区分され、前記第１＿１上部空間が第１＿１カバーにより封止された第１＿１結合孔、一方の第１先端領域に第１＿２貫通孔が形成された第１＿２係止部材により第１＿２上部空間と第１＿２下部空間とに区分され、前記第１＿２下部空間が第１＿２カバーにより封止された第１＿２結合孔、及び他方の第１先端領域に第１＿３貫通孔が形成された第１＿３係止部材により第１＿３上部空間と第１＿３下部空間とに区分され、前記第１＿３下部空間が第１＿３カバーにより封止された第１＿３結合孔が形成され、前記第１＿１下部空間に引き入れられた前記昇降駆動軸が前記第１＿１係止部材に固定結合された走行アームプラットフォーム；
密閉された内部空間に、第１走行駆動モータと、前記第１走行駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第１減速機とが設けられ、前記第１減速機に連動する中空が形成された第１＿１駆動軸と、前記第１＿１駆動軸に連動する第１＿１出力軸とが一方の第１＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第１走行駆動モータに連動する中空が形成された第１＿２駆動軸と、前記第１＿２駆動軸に連動する第１＿２出力軸とが他方の第１＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記走行アームプラットフォームの前記第１＿２上部空間に引き入れられ、前記第１＿２係止部材に固定結合された第１＿１連結部材に、前記第１＿１出力軸が固定結合された第１＿１走行リンクアーム：及び一方の第１＿２先端領域が前記第１＿１走行リンクアームの前記第１＿２出力軸に固定結合された第１＿２走行リンクアーム：を含む第１走行アーム部；
密閉された内部空間に、第２走行駆動モータと、前記第２走行駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第２減速機とが設けられ、前記第２減速機に連動する中空が形成された第２＿１駆動軸と、前記第２＿１駆動軸に連動する第２＿１出力軸とが一方の第２＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第２走行駆動モータに連動する中空が形成された第２＿２駆動軸と、前記第２＿２駆動軸に連動する第２＿２出力軸とが他方の第２＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記走行アームプラットフォームの前記第１＿３上部空間に引き入れられ、前記第１＿３係止部材に固定結合された第１＿２連結部材に前記第２＿１出力軸が固定結合された第２＿１走行リンクアーム：及び一方の第２＿２先端領域が前記第２＿１走行リンクアームの前記第２＿２出力軸に固定結合された第２＿２走行リンクアーム：を含む第２走行アーム部；及び
一方の第２先端領域が前記第１＿２走行リンクアームの他方の第１＿２先端領域に回転可能に結合され、他方の第２先端領域が前記第２＿２走行リンクアームの他方の第２＿２先端領域に回転可能に結合され、基板移送のための基板移送ロボットに中空を有する回転駆動軸が封止されるように結合される回転駆動モータが第２中央領域に形成された移送ロボットの結合部；
を含むことを特徴とする走行ロボット。

【請求項2】

前記移送ロボットの結合部は、前記一方の第２先端領域乃至前記他方の第２先端領域のうちいずれか一つの先端領域で、外力に対応して前記第１＿２走行リンクアームの前記他方の第１＿２先端領域が回転可能に結合された位置乃至前記第２＿２走行リンクアームの前記他方の第２＿２先端領域が回転可能に結合された位置のうちいずれか一つの位置を前記移送ロボットの結合部内で変更するコンプライアンスをさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項3】

前記コンプライアンスは、前記一方の第２先端領域乃至前記他方の第２先端領域のうちいずれか一つの先端領域の内部で、前記移送ロボットの結合部の長手方向に摺動して、前記第１＿２走行リンクアームの前記他方の第１＿２先端領域乃至前記第２＿２走行リンクアームの前記他方の第２＿２先端領域のうちいずれか一つに回転可能に結合される摺動部材と、前記一方の第２先端領域乃至前記他方の第２先端領域のうちいずれか一つの先端領域の内部の前記摺動部材の両側の摺動経路上にそれぞれ形成された弾性部材とを含むことを特徴とする、請求項２に記載の走行ロボット。

【請求項4】

前記走行アームプラットフォームは、前記第１＿１上部空間と前記第１＿２下部空間とを連結する第１配線孔と、前記第１＿１上部空間と前記第１＿３下部空間とを連結する第２配線孔とをさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項5】

前記走行アームプラットフォームは、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第１＿１上部空間をそれぞれ連結する第１＿１配線孔及び第１＿２配線孔、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第１＿２下部空間を連結する第２＿１配線孔、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第１＿３下部空間を連結する第２＿２配線孔、前記第１＿１配線孔及び前記第２＿１配線孔を前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第１封止カバー、及び、前記第１＿２配線孔及び前記第２＿２配線孔を前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第２封止カバーをさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項6】

前記昇降部は、前記昇降駆動軸を上下運動させるだけでなく、前記昇降駆動軸を回転運動させる動作をさらに遂行することを特徴とする、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項7】

前記第１走行駆動モータの動作のための第１配線と、前記第２走行駆動モータの動作のための第２配線とをさらに含み、
前記第１配線は、前記昇降駆動軸と前記第１＿１駆動軸とのそれぞれの中空を通じて、前記第１走行駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにし、
前記第２配線は、前記昇降駆動軸と前記第２＿１駆動軸とのそれぞれの中空を通じて、前記第２走行駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることを特徴とする、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項8】

前記走行アームプラットフォームの長手方向の中心ラインと前記第１＿１走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第１＿１接点、前記走行アームプラットフォームの長手方向の中心ラインと前記第２＿１走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第１＿２接点、前記第１＿１走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記第１＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第２＿１接点、前記第２＿１走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記第２＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第２＿２接点、前記第１＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記移送ロボットの結合部の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第３＿１接点、前記第２＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記移送ロボットの結合部の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第３＿２接点とする場合、
前記第１＿１接点と前記第１＿２接点との間の距離と前記第３＿１接点と前記第３＿２接点との間の距離を同一にし、前記第１＿１接点と前記第２＿１接点との間の距離、前記第２＿１接点と前記第３＿１接点との間の距離、前記第１＿２接点と前記第２＿２接点との間の距離、及び前記第２＿２接点と前記第３＿２接点との間の距離を同一にして、
前記第１＿１接点で前記走行アームプラットフォームと前記第１＿１走行リンクアームとが成す角度と、前記第１＿２接点で前記走行アームプラットフォームと前記第２＿１走行リンクアームとが成す角度との絶対値を同一にし、前記第２＿１接点で前記第１＿１走行リンクアームと前記第１＿２走行リンクアームとが成す角度と、前記第２＿２接点で前記第２＿１走行リンクアームと前記第２＿２走行リンクアームとが成す角度との絶対値を同一にして、前記第３＿１接点で前記第１＿２走行リンクアームと前記移送ロボットの結合部とが成す角度と、前記第３＿２接点で前記第２＿２走行リンクアームと前記移送ロボットの結合部とが成す角度との絶対値を同一にしたことを特徴とする、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項9】

前記第１走行駆動モータと前記第２走行駆動モータとは、同一に動作し、回転方向が反対となるようにすることを特徴とする、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項10】

前記基板移送ロボットは、
第３中央領域に前記移送ロボットの結合部の前記回転駆動モータの前記回転駆動軸の中空に対応する第２＿１貫通孔が形成された第２＿１係止部材により第２＿１上部空間と第２＿１下部空間とに区分され、前記第２＿１上部空間が第２＿１カバーにより封止された第２＿１結合孔、一方の第３先端領域に第２＿２貫通孔が形成された第２＿２係止部材により第２＿２上部空間と第２＿２下部空間とに区分され、前記第２＿２下部空間が第２＿２カバーにより封止された第２＿２結合孔、及び他方の第３先端領域に第２＿３貫通孔が形成された第２＿３係止部材により第２＿３上部空間と第２＿３下部空間とに区分され、前記第２＿３下部空間が第２＿３カバーにより封止された第２＿３結合孔が形成され、前方（前記前方は、前記真空チャンバに結合された工程チャンバに、基板を移送するために前記基板移送ロボットが位置した状態で、前記工程チャンバが位置する方向である）領域にリンク結合のための第１＿１ブレードと第１＿２ブレードとを含むリンク連結部材が固定結合され、前記第２＿１下部空間に引き入れられた前記回転駆動モータの前記回転駆動軸が前記第２＿１係止部材に固定結合された移送アームプラットフォーム；
密閉された内部空間に、第１移送駆動モータと、前記第１移送駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第３減速機とが設けられ、前記第３減速機に連動する中空が形成された第３＿１駆動軸と、前記第３＿１駆動軸に連動する第３＿１出力軸とが一方の第３＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第１移送駆動モータに連動する中空が形成された第３＿２駆動軸と、前記第３＿２駆動軸に連動する第３＿２出力軸とが他方の第３＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第２＿２上部空間に引き入れられ、前記第２＿２係止部材に固定結合された第２＿１連結部材に前記第３＿１出力軸が固定結合された第１＿１移送リンクアーム：一方の第３＿２先端領域が前記第１＿１移送リンクアームの前記第３＿２出力軸に第１固定結合軸を通じて固定結合された第１＿２移送リンクアーム：第４中央領域が前記第１固定結合軸に回転可能に結合される第１共通リンクアーム：前記第１＿１移送リンクアームに平行であり、一方の第３＿４先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第１＿１ブレードに回転可能に結合され、他方の第３＿４先端領域が前記第１共通リンクアームの一方の第３＿３先端領域に回転可能に結合される第１＿１補助リンクアーム：前記第１＿２移送リンクアームに平行であり、一方の第３＿５先端領域が前記第１共通リンクアームの他方の第３＿３先端領域に回転可能に結合される第１＿２補助リンクアーム：前記第１共通リンクアームに平行であり、一方の第３＿６先端領域が前記第１＿２補助リンクアームの他方の第３＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第３＿６先端領域が前記第１＿２移送リンクアームの他方の第３＿２先端領域に回転可能に結合される第１＿３補助リンクアーム：及び前記第１＿３補助リンクアームの前記他方の第３＿６先端領域に固定されて前記基板を支持する第１エンドエフェクタ：を含む第１移送アーム部；及び
密閉された内部空間に、第２移送駆動モータと、前記第２移送駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第４減速機とが設けられ、前記第４減速機に連動する中空が形成された第４＿１駆動軸と、前記第４＿１駆動軸に連動する第４＿１出力軸とが一方の第４＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第２移送駆動モータに連動する中空が形成された第４＿２駆動軸と、前記第４＿２駆動軸に連動する第４＿２出力軸とが他方の第４＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第２＿３上部空間に引き入れられ、前記第２＿３係止部材に固定結合された第２＿２連結部材に前記第４＿１出力軸が固定結合された第２＿１移送リンクアーム：一方の第４＿２先端領域が前記第２＿１移送リンクアームの前記第４＿２出力軸に第２固定結合軸を通じて固定結合された第２＿２移送リンクアーム：第５中央領域が前記第２固定結合軸に回転可能に結合される第２共通リンクアーム：前記第２＿１移送リンクアームに平行であり、一方の第４＿４先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第１＿２ブレードに回転可能に結合され、他方の第４＿４先端領域が前記第２共通リンクアームの一方の第４＿３先端領域に回転可能に結合される第２＿１補助リンクアーム：前記第２＿２移送リンクアームに平行であり、一方の第４＿５先端領域が前記第２共通リンクアームの他方の第４＿３先端領域に回転可能に結合される第２＿２補助リンクアーム：前記第２共通リンクアームに平行であり、一方の第４＿６先端領域が前記第２＿２補助リンクアームの他方の第４＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第４＿６先端領域が前記第２＿２移送リンクアームの他方の第４＿２先端領域に回転可能に結合される第２＿３補助リンクアーム：及び前記第２＿３補助リンクアームの前記他方の第４＿６先端領域に固定されて前記基板を支持する第２エンドエフェクタ：を含む第２移送アーム部；
を含むことを特徴とする、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項11】

前記第１移送アーム部の前記第１＿１移送リンクアームの前記他方の第３＿１先端領域は、前記移送アームプラットフォームの前方領域に位置し、前記第２移送アーム部の前記第２＿１移送リンクアームの前記他方の第４＿１先端領域は、前記移送アームプラットフォームの後方領域に位置することを特徴とする、請求項１０に記載の走行ロボット。

【請求項12】

前記第２固定結合軸の高さは、前記第１固定結合軸の高さよりも高くして、前記第１エンドエフェクタと前記第２エンドエフェクタとが同一経路上において互いに異なる高さに位置することを特徴とする、請求項１０に記載の走行ロボット。

【請求項13】

前記第２共通リンクアームは、前記第２固定結合軸の高さに対応し、前記第２固定結合軸を引き入れる中空が形成された中空管を含み、前記中空管の下部領域に前記一方の第４＿３先端領域を含む第２＿１ブレードが固定結合され、前記中空管の上部領域に前記他方の第４＿３先端領域を含む第２＿２ブレードが固定結合され、前記中空管の中心軸を基準に前記一方の第４＿３先端領域と前記他方の第４＿３先端領域とが対称となるようにしたことを特徴とする、請求項１０に記載の走行ロボット。

【請求項14】

前記移送アームプラットフォームは、前記第２＿１上部空間と前記第２＿２下部空間とを連結する第３配線孔と、前記第２＿１上部空間と前記第２＿３下部空間とを連結する第４配線孔とをさらに含むことを特徴とする、請求項１０に記載の走行ロボット。

【請求項15】

前記移送アームプラットフォームは、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第２＿１上部空間をそれぞれ連結する第３＿１配線孔及び第３＿２配線孔、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第２＿２下部空間を連結する第４＿１配線孔、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第２＿３下部空間を連結する第４＿２配線孔、前記第３＿１配線孔及び前記第４＿１配線孔を前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第３封止カバー、及び、前記第３＿２配線孔及び前記第４＿２配線孔を前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第４封止カバーをさらに含むことを特徴とする、請求項１０に記載の走行ロボット。

【請求項16】

前記第１移送駆動モータの動作のための第３配線と、前記第２移送駆動モータの動作のための第４配線とをさらに含み、
前記第３配線は、前記昇降駆動軸、前記第１＿１駆動軸、前記第１＿２駆動軸、前記回転駆動軸、前記第３＿１駆動軸のそれぞれの中空を通じて、前記第１移送駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにし、
前記第４配線は、前記昇降駆動軸、前記第２＿１駆動軸、前記第２＿２駆動軸、前記回転駆動軸、前記第４＿１駆動軸のそれぞれの中空を通じて、前記第２移送駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることを特徴とする、請求項１０に記載の走行ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、走行ロボットに関し、より詳細には、基板処理装置内の真空チャンバで基板を移送する基板移送基板ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

一般的に、半導体素子用ウエハ、表示装置用ガラス基板、または薄膜型太陽電池用ガラス基板などのような基板は、基板上に様々な工程を遂行して製造される。この際、基板は、それぞれの工程に必要な最適の条件を提供する基板処理装置にローディングされて処理される。

【0003】

最近、生産性を向上させるために基板を一括に処理することができるクラスタ（ｃｌｕｓｔｅｒ）型の基板処理装置が開発され、使用されている。

【0004】

クラスタ型の基板処理装置は、基板が格納されるロードロックチャンバ、基板を移送するための移送チャンバ、及びそれぞれの工程を遂行するための複数の工程チャンバを含む。

【0005】

そして、基板を移送する基板移送ロボットは、真空状態である移送チャンバに設けられ、ロードロックチャンバから移送チャンバへの基板移送、移送チャンバからロードロックチャンバへの基板移送、移送チャンバ間の基板移送、または工程チャンバへの引き入れ及び引き出しのための基板移送などを遂行することができる。

【0006】

最近では、基板の大型化に対応して基板処理能力を向上させるために、一つの工程チャンバにおいて二つの基板を処理することができる構造や、四つの工程チャンバが移送チャンバに等間隔で設けられた八角構造を、各工程チャンバが移送チャンバの基板移送経路上の両側に設けられた四角構造に変更するなどの研究が進行されている。

【0007】

特に、一つの工程チャンバにおいて二つの基板を配置する場合には、それぞれの基板の位置に応じたオフセットに対応し、四角構造においては、それぞれの各工程チャンバの設置位置に対応するために、基板移送ロボットの位置移動が必然的に伴う。

【0008】

そのために、移送チャンバ内にレールなどの移送経路を設けて、移送経路上で移送ロボットを走行させる方法などが提案されている。

【0009】

しかし、移送チャンバ内にレールなどの移送経路を設ける場合には、移送チャンバ内に移送経路を形成するための構造物を設けた後、構造物の上部に基板移送ロボットを設けなければならないため、基板移送ロボットの設置のための作業が困難なだけでなく、後に基板移送ロボットに対する維持補修のための作業においても困難である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【文献】韓国公開特許公報第１０－２０１９－００７２３７３号

【文献】韓国公開特許公報第１０－２０１２－００２４０２１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

本発明は、上述した問題点を全て解決することをその目的とする。

【0012】

本発明は、基板移送ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボットを提供することを他の目的とする。

【0013】

本発明は、真空チャンバ内に基板移送ロボットを走行させるための走行ロボットを容易に設けることを他の目的とする。

【0014】

本発明は、真空チャンバ内に設けられた基板移送ロボットを走行させるための走行ロボットに対する維持補修を容易にすることを他の目的とする。

【0015】

本発明は、真空チャンバの真空状態を維持して基板移送ロボットを走行させる走行ロボットを提供することを他の目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0016】

前記のような本発明の目的を達成し、後述する本発明の特徴的な効果を実現するための、本発明の特徴的な構成は以下のとおりである。

【0017】

本発明の一実施例によると、基板移送ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボットにおいて、真空チャンバの内部を密閉する筐体の外側の下部領域に位置し、上端が前記筐体の下部領域に形成された真空チャンバの貫通孔に封止されるように結合され、中空が形成された昇降駆動軸を前記真空チャンバの貫通孔で上下運動させる昇降部；第１中央領域に前記昇降駆動軸の中空に対応する第１＿１貫通孔が形成された第１＿１係止部材により第１＿１上部空間と第１＿１下部空間とに区分され、前記第１＿１上部空間が第１＿１カバーにより封止された第１＿１結合孔、一方の第１先端領域に第１＿２貫通孔が形成された第１＿２係止部材により第１＿２上部空間と第１＿２下部空間とに区分され、前記第１＿２下部空間が第１＿２カバーにより封止された第１＿２結合孔、及び他方の第１先端領域に第１＿３貫通孔が形成された第１＿３係止部材により第１＿３上部空間と第１＿３下部空間とに区分され、前記第１＿３下部空間が第１＿３カバーにより封止された第１＿３結合孔が形成され、前記第１＿１下部空間に引き入れられた前記昇降駆動軸が前記第１＿１係止部材に固定結合された走行アームプラットフォーム；密閉された内部空間に、第１走行駆動モータと、前記第１走行駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第１減速機とが設けられ、前記第１減速機に連動する中空が形成された第１＿１駆動軸と、前記第１＿１駆動軸に連動する第１＿１出力軸とが一方の第１＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第１走行駆動モータに連動する中空が形成された第１＿２駆動軸と、前記第１＿２駆動軸に連動する第１＿２出力軸とが他方の第１＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記走行アームプラットフォームの前記第１＿２上部空間に引き入れられ、前記第１＿２係止部材に固定結合された第１＿１連結部材に、前記第１＿１出力軸が固定結合された第１＿１走行リンクアーム：及び一方の第１＿２先端領域が前記第１＿１走行リンクアームの前記第１＿２出力軸に固定結合された第１＿２走行リンクアーム：を含む第１走行アーム部；密閉された内部空間に、第２走行駆動モータと、前記第２走行駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第２減速機とが設けられ、前記第２減速機に連動する中空が形成された第２＿１駆動軸と、前記第２＿１駆動軸に連動する第２＿１出力軸とが一方の第２＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第２走行駆動モータに連動する中空が形成された第２＿２駆動軸と、前記第２＿２駆動軸に連動する第２＿２出力軸とが他方の第２＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記走行アームプラットフォームの前記第１＿３上部空間に引き入れられ、前記第１＿３係止部材に固定結合された第１＿２連結部材に前記第２＿１出力軸が固定結合された第２＿１走行リンクアーム：及び一方の第２＿２先端領域が前記第２＿１走行リンクアームの前記第２＿２出力軸に固定結合された第２＿２走行リンクアーム：を含む第２走行アーム部；及び一方の第２先端領域が前記第１＿２走行リンクアームの他方の第１＿２先端領域に回転可能に結合され、他方の第２先端領域が前記第２＿２走行リンクアームの他方の第２＿２先端領域に回転可能に結合され、基板移送のための基板移送ロボットに中空を有する回転駆動軸が封止されるように結合される回転駆動モータが第２中央領域に形成された移送ロボットの結合部；を含むことを特徴とする走行ロボットが提供される。

【0018】

前記移送ロボットの結合部は、前記一方の第２先端領域乃至前記他方の第２先端領域のうちいずれか一つの先端領域で、外力に対応して前記第１＿２走行リンクアームの前記他方の第１＿２先端領域が回転可能に結合された位置乃至前記第２＿２走行リンクアームの前記他方の第２＿２先端領域が回転可能に結合された位置のうちいずれか一つの位置を前記移送ロボットの結合部内で変更するコンプライアンスをさらに含むことができる。

【0019】

前記コンプライアンスは、前記一方の第２先端領域乃至前記他方の第２先端領域のうちいずれか一つの先端領域の内部で、前記移送ロボットの結合部の長手方向に摺動し、前記第１＿２走行リンクアームの前記他方の第１＿２先端領域乃至前記第２＿２走行リンクアームの前記他方の第２＿２先端領域のうちいずれか一つに回転可能に結合される摺動部材と、前記一方の第２先端領域乃至前記他方の第２先端領域のうちいずれか一つの先端領域の内部の前記摺動部材の両側の摺動経路上にそれぞれ形成された弾性部材とを含むことができる。

【0020】

前記走行アームプラットフォームは、前記第１＿１上部空間と前記第１＿２下部空間とを連結する第１配線孔と、前記第１＿１上部空間と前記第１＿３下部空間とを連結する第２配線孔とをさらに含むことができる。

【0021】

前記走行アームプラットフォームは、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第１＿１上部空間をそれぞれ連結する第１＿１配線孔及び第１＿２配線孔、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第１＿２下部空間を連結する第２＿１配線孔、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第１＿３下部空間を連結する第２＿２配線孔、前記第１＿１配線孔及び前記第２＿１配線孔を前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第１封止カバー、及び、前記第１＿２配線孔及び前記第２＿２配線孔を前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第２封止カバーをさらに含むことができる。

【0022】

前記昇降部は、前記昇降駆動軸を上下運動させるだけでなく、前記昇降駆動軸を回転運動させる動作をさらに遂行することができる。

【0023】

前記走行ロボットは、前記第１走行駆動モータの動作のための第１配線と、前記第２走行駆動モータの動作のための第２配線とをさらに含み、前記第１配線は、前記昇降駆動軸と前記第１＿１駆動軸とのそれぞれの中空を通じて、前記第１走行駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにし、前記第２配線は、前記昇降駆動軸と前記第２＿１駆動軸とのそれぞれの中空を通じて、前記第２走行駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることができる。

【0024】

前記走行ロボットは、前記走行アームプラットフォームの長手方向の中心ラインと前記第１＿１走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第１＿１接点、前記走行アームプラットフォームの長手方向の中心ラインと前記第２＿１走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第１＿２接点、前記第１＿１走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記第１＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第２＿１接点、前記第２＿１走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記第２＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第２＿２接点、前記第１＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記移送ロボットの結合部の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第３＿１接点、前記第２＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記移送ロボットの結合部の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第３＿２接点とする場合、前記第１＿１接点と前記第１＿２接点との間の距離と前記第３＿１接点と前記第３＿２接点との間の距離を同一にし、前記第１＿１接点と前記第２＿１接点との間の距離、前記第２＿１接点と前記第３＿１接点との間の距離、前記第１＿２接点と前記第２＿２接点との間の距離、及び前記第２＿２接点と前記第３＿２接点との間の距離を同一にして、前記第１＿１接点で前記走行アームプラットフォームと前記第１＿１走行リンクアームとが成す角度と、前記第１＿２接点で前記走行アームプラットフォームと前記第２＿１走行リンクアームとが成す角度との絶対値を同一にし、前記第２＿１接点で前記第１＿１走行リンクアームと前記第１＿２走行リンクアームとが成す角度と、前記第２＿２接点で前記第２＿１走行リンクアームと前記第２＿２走行リンクアームとが成す角度との絶対値を同一にして、前記第３＿１接点で前記第１＿２走行リンクアームと前記移送ロボットの結合部とが成す角度と、前記第３＿２接点で前記第２＿２走行リンクアームと前記移送ロボットの結合部とが成す角度との絶対値を同一にすることができる。

【0025】

前記第１走行駆動モータと前記第２走行モータとは、同一に動作し、回転方向が反対となるようにすることができる。

【0026】

前記基板移送ロボットは、第３中央領域に前記移送ロボットの結合部の前記回転駆動モータの前記回転駆動軸の中空に対応する第２＿１貫通孔が形成された第２＿１係止部材により第２＿１上部空間と第２＿１下部空間とに区分され、前記第２＿１上部空間が第２＿１カバーにより封止された第２＿１結合孔、一方の第３先端領域に第２＿２貫通孔が形成された第２＿２係止部材により第２＿２上部空間と第２＿２下部空間とに区分され、前記第２＿２下部空間が第２＿２カバーにより封止された第２＿２結合孔、及び他方の第３先端領域に第２＿３貫通孔が形成された第２＿３係止部材により第２＿３上部空間と第２＿３下部空間とに区分され、前記第２＿３下部空間が第２＿３カバーにより封止された第２＿３結合孔が形成され、前方（前記前方は、前記真空チャンバに結合された工程チャンバに、基板を移送するために前記基板移送ロボットが位置した状態で、前記工程チャンバが位置する方向である）領域にリンク結合のための第１＿１ブレードと第１＿２ブレードとを含むリンク連結部材が固定結合され、前記第２＿１下部空間に引き入れられた前記回転駆動モータの前記回転駆動軸が前記第２＿１係止部材に固定結合された移送アームプラットフォーム；密閉された内部空間に、第１移送駆動モータと、前記第１移送駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第３減速機とが設けられ、前記第３減速機に連動する中空が形成された第３＿１駆動軸と、前記第３＿１駆動軸に連動する第３＿１出力軸とが一方の第３＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第１移送駆動モータに連動する中空が形成された第３＿２駆動軸と、前記第３＿２駆動軸に連動する第３＿２出力軸とが他方の第３＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第２＿２上部空間に引き入れられ、前記第２＿２係止部材に固定結合された第２＿１連結部材に前記第３＿１出力軸が固定結合された第１＿１移送リンクアーム：一方の第３＿２先端領域が前記第１＿１移送リンクアームの前記第３＿２出力軸に第１固定結合軸を通じて固定結合された第１＿２移送リンクアーム：第４中央領域が前記第１固定結合軸に回転可能に結合される第１共通リンクアーム：前記第１＿１移送リンクアームに平行であり、一方の第３＿４先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第１＿１ブレードに回転可能に結合され、他方の第３＿４先端領域が前記第１共通リンクアームの一方の第３＿３先端領域に回転可能に結合される第１＿１補助リンクアーム：前記第１＿２移送リンクアームに平行であり、一方の第３＿５先端領域が前記第１共通リンクアームの他方の第３＿３先端領域に回転可能に結合される第１＿２補助リンクアーム：前記第１共通リンクアームに平行であり、一方の第３＿６先端領域が前記第１＿２補助リンクアームの他方の第３＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第３＿６先端領域が前記第１＿２移送リンクアームの他方の第３＿２先端領域に回転可能に結合される第１＿３補助リンクアーム：及び前記第１＿３補助リンクアームの前記他方の第３＿６先端領域に固定されて前記基板を支持する第１エンドエフェクタ：を含む第１移送アーム部；及び密閉された内部空間に、第２移送駆動モータと、前記第２移送駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第４減速機とが設けられ、前記第４減速機に連動する中空が形成された第４＿１駆動軸と、前記第４＿１駆動軸に連動する第４＿１出力軸とが一方の第４＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第２移送駆動モータに連動する中空が形成された第４＿２駆動軸と、前記第４＿２駆動軸に連動する第４＿２出力軸とが他方の第４＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第２＿３上部空間に引き入れられ、前記第２＿３係止部材に固定結合された第２＿２連結部材に前記第４＿１出力軸が固定結合された第２＿１移送リンクアーム：一方の第４＿２先端領域が前記第２＿１移送リンクアームの前記第４＿２出力軸に第２固定結合軸を通じて固定結合された第２＿２移送リンクアーム：第５中央領域が前記第２固定結合軸に回転可能に結合される第２共通リンクアーム：前記第２＿１移送リンクアームに平行であり、一方の第４＿４先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第１＿２ブレードに回転可能に結合され、他方の第４＿４先端領域が前記第２共通リンクアームの一方の第４＿３先端領域に回転可能に結合される第２＿１補助リンクアーム：前記第２＿２移送リンクアームに平行であり、一方の第４＿５先端領域が前記第２共通リンクアームの他方の第４＿３先端領域に回転可能に結合される第２＿２補助リンクアーム：前記第２共通リンクアームに平行であり、一方の第４＿６先端領域が前記第２＿２補助リンクアームの他方の第４＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第４＿６先端領域が前記第２＿２移送リンクアームの他方の第４＿２先端領域に回転可能に結合される第２＿３補助リンクアーム：及び前記第２＿３補助リンクアームの前記他方の第４＿６先端領域に固定されて前記基板を支持する第２エンドエフェクタ：を含む第２移送アーム部；を含むことができる。

【0027】

前記第１移送アーム部の前記第１＿１移送リンクアームの前記他方の第３＿１先端領域は、前記移送アームプラットフォームの前方領域に位置し、前記第２移送アーム部の前記第２＿１移送リンクアームの前記他方の第４＿１先端領域は、前記移送アームプラットフォームの後方領域に位置することができる。

【0028】

前記第２固定結合軸の高さは、前記第１固定結合軸の高さよりも高くして、前記第１エンドエフェクタと前記第２エンドエフェクタとが同一経路上において互いに異なる高さに位置することができる。

【0029】

前記第２共通リンクアームは、前記第２固定結合軸の高さに対応し、前記第２固定結合軸を引き入れる中空が形成された中空管を含み、前記中空管の下部領域に前記一方の第４＿３先端領域を含む第２＿１ブレードが固定結合され、前記中空管の上部領域に前記他方の第４＿３先端領域を含む第２＿２ブレードが固定結合され、前記中空管の中心軸を基準に前記一方の第４＿３先端領域と前記他方の第４＿３先端領域とが対称となるようにすることができる。

【0030】

前記移送アームプラットフォームは、前記第２＿１上部空間と前記第２＿２下部空間とを連結する第３配線孔と、前記第２＿１上部空間と前記第２＿３下部空間とを連結する第４配線孔とをさらに含むことができる。

【0031】

前記移送アームプラットフォームは、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第２＿１上部空間をそれぞれ連結する第３＿１配線孔及び第３＿２配線孔、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第２＿２下部空間を連結する第４＿１配線孔、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第２＿３下部空間を連結する第４＿２配線孔、前記第３＿１配線孔及び前記第４＿１配線孔を前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第３封止カバー、及び、前記第３＿２配線孔及び前記第４＿２配線孔を前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第４封止カバーをさらに含むことができる。

【0032】

前記第１移送駆動モータの動作のための第３配線と、前記第２移送駆動モータの動作のための第４配線とをさらに含み、前記第３配線は、前記昇降駆動軸、前記第１＿１駆動軸、前記第１＿２駆動軸、前記回転駆動軸、前記第３＿１駆動軸のそれぞれの中空を通じて、前記第１移送駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにし、前記第４配線は、前記昇降駆動軸、前記第２＿１駆動軸、前記第２＿２駆動軸、前記回転駆動軸、前記第４＿１駆動軸のそれぞれの中空を通じて、前記第２移送駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることができる。

【発明の効果】

【0033】

本発明は、走行ロボットを真空チャンバ内に設けて真空チャンバ内で基板を移送する基板移送ロボットを走行させることができる。

【0034】

また、本発明は、走行ロボットをリンクアーム構造に形成することによって、移送経路を生成するための別途の構造物を設けることなく、真空チャンバ内に走行ロボットを容易に設けることができる。

【0035】

また、本発明は、移送経路を生成するための別途の構造物を設けることなく、リンクアーム構造に形成された走行ロボットを設けることによって、走行ロボットの維持補修を容易にすることができる。

【0036】

また、本発明は、走行ロボットの駆動部を密閉構造に形成し、かつ駆動部の動作のための配線を走行ロボットの内部に形成することによって、汚染源を未然に防ぎ、真空チャンバの真空状態を維持することができる。

【0037】

本発明の実施例の説明に利用されるために添付された以下の各図面は、本発明の実施例のうち単に一部であるに過ぎず、本発明の属する技術分野において通常の知識を有する者（以下「通常の技術者」）にとっては、発明的作業が行われずにこれらの図面に基づいて他の各図面が得られ得る。

【図面の簡単な説明】

【0038】

【図1】図１は、本発明の一実施例において、走行ロボットが設けられたクラスタ型の基板処理装置の一例を示す図面である。

【図2】図２は、本発明の一実施例において、走行ロボットが設けられたクラスタ型の基板処理装置の他の例を示す図面である。

【図3a】図３ａは、本発明の一実施例において、走行ロボットを簡略に示す図面である。

【図3b】図３ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボットを簡略に示す図面である。

【図4a】図４ａは、本発明の一実施例において、走行ロボットの走行アームプラットフォームを簡略に示す図面である。

【図4b】図４ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボットの走行アームプラットフォームを簡略に示す図面である。

【図4c】図４ｃは、本発明の一実施例において、走行ロボットの走行アームプラットフォームを簡略に示す図面である。

【図5】図５は、本発明の一実施例において、走行ロボットの第１＿１走行リンクアームを簡略に示す図面である。

【図6】図６は、本発明の一実施例において、走行ロボットのコンプライアンスを簡略に示す図面である。

【図7】図７は、本発明の一実施例において、走行ロボットのリンクアームを簡略に示す図面である。

【図8a】図８ａは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットを簡略に示す図面である。

【図8b】図８ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットを簡略に示す図面である。

【図9a】図９ａは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットの移送アームプラットフォームを簡略に示す図面である。

【図9b】図９ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットの移送アームプラットフォームを簡略に示す図面である。

【図10】図１０は、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットの第３＿１移送リンクアームを簡略に示す図面である。

【図11】図１１は、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットの第３＿１移送リンクアームと第３＿２移送リンクアームとの連結部品を簡略に示す図面である。

【発明を実施するための形態】

【0039】

後述する本発明に対する詳細な説明は、本発明が実施され得る特定の実施例を例示として示す添付図面を参照する。これらの実施例は、当業者が本発明を実施することができるように十分詳細に説明される。本発明の多様な実施例は互いに異なるが、相互に排他的である必要はないことが理解されるべきである。例えば、ここに記載されている特定の形状、構造及び特性は、一実施例に関連して本発明の精神及び範囲を逸脱せず、かつ他の実施例で具現され得る。

【0040】

また、それぞれの開示された実施例内の個別の構成要素の位置又は配置は、本発明の精神及び範囲を逸脱せず、かつ変更され得ることが理解されるべきである。したがって、後述の詳細な説明は、限定的な意味として受け取ろうとするものではなく、本発明の範囲は適切に説明されるのであれば、その請求項が主張することと均等な全ての範囲とともに添付された請求項によってのみ限定される。図面において類似の参照符号は、様々な側面にわたって同一であるか、類似する機能を指す。

【0041】

以下、本発明の属する技術分野において通常の知識を有する者が本発明を容易に実施し得るようにするために、本発明の好ましい実施例について、添付された図面を参照して詳細に説明することにする。

【0042】

図１及び図２は、本発明の一実施例において、走行ロボットが設けられたクラスタ型の基板処理装置を簡略に示す図面である。

【0043】

図１は八角構造の移送チャンバである真空チャンバＶＣに四つの工程チャンバＰＣ１、ＰＣ２、ＰＣ３、ＰＣ４が設けられ、それぞれの工程チャンバは二つの基板Ｓ１、Ｓ２を配置できるようにした基板処理装置に関し、走行ロボット１０００は、真空チャンバＶＣ内の特定の位置Ｐ１に固定されて設けられ、それぞれの工程チャンバにおける二つの基板の位置に応じたオフセットに対応するために、基板を移送する基板移送ロボットを走行させることになる。

【0044】

一例として、走行ロボット１０００は、特定の工程チャンバＰＣ１における第１基板Ｓ１の位置に対応するために基板移送ロボットを走行させて、第１位置Ｐ２に位置するようにした状態で、基板移送ロボットを回転させて、基板移送ロボットが第１基板Ｓ１の位置に対面することによって、基板移送ロボットが第１基板の位置に基板をローディングするか、第１基板の位置から基板をアンローディングすることができる。

【0045】

また、走行ロボット１０００は、特定の工程チャンバＰＣ１における第２基板Ｓ２の位置に対応するために基板移送ロボットを走行させて、第２位置Ｐ３に位置するようにした状態で、基板移送ロボットを回転させて、基板移送ロボットが第２基板Ｓ２の位置に対面することによって、基板移送ロボットが第２基板の位置に基板をローディングするか、第２基板の位置から基板をアンローディングすることができる。

【0046】

そして、図２は、四角構造の移送チャンバである真空チャンバＶＣの両側に、それぞれ２つの各工程チャンバＰＣ１、ＰＣ２、ＰＣ３、ＰＣ４が設けられ、それぞれの工程チャンバは、二つの基板を配置できるようにした基板処理装置に関し、走行ロボット１０００は、真空チャンバＶＣ内の特定の位置Ｐ１に固定されて設けられ、それぞれの工程チャンバの位置、及びそれぞれの工程チャンバにおける二つの基板の位置に対応するように基板移送ロボットを走行させることになる。

【0047】

一例として、走行ロボット１０００は、第１工程チャンバＶＣ１における第１基板Ｓ１の位置に対応するために基板移送ロボットを走行させて、第１位置Ｐ２に位置するようにした状態で、基板移送ロボットを回転させて、基板移送ロボットが第１基板の位置に対面することによって、基板移送ロボットが第１基板の位置に基板をローディングするか、第１基板の位置から基板をアンローディングすることができる。

【0048】

また、走行ロボット１０００は、第２工程チャンバＰＣ２における第２基板Ｓ２の位置に対応するために基板移送ロボットを走行させて、第２位置Ｐ５に位置するようにした状態で、基板移送ロボットを回転させて、基板移送ロボットが第２基板の位置に対面することによって、基板移送ロボットが第２基板の位置に基板をローディングするか、第２基板の位置から基板をアンローディングすることができる。

【0049】

前記図１及び図２は、八角構造及び四角構造の基板処理装置を例示的に説明したものであり、本発明は、これに限定されるわけではなく、様々な構造の真空チャンバ内で特定の位置に本発明の一実施例による走行ロボット１０００が固定されて設けられた状態で、基板移送ロボットを設定された様々な経路で走行させることができる。そのうえで、本発明の一実施例による走行ロボット１０００は、設けられた位置で回転動作を遂行することによって、走行ロボット１０００の回転角度、基板移送ロボットの走行位置、及び基板移送ロボットの回転角度の組み合せにより、基板移送ロボットに対する様々な走行経路を設定することができる。

【0050】

図３ａ及び図３ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボット１０００を簡略に示した図面である。

【0051】

図３ａ及び図３ｂを参照すると、走行ロボット１０００は、昇降部１００と、昇降部１００の上部に結合され、基板移送ロボット２０００が結合されるロボット本体２００とを含むことができる。

【0052】

まず、昇降部１００は、真空チャンバの内部を密閉する筐体ＶＣの外側の下部領域に位置し、上端が筐体ＶＣの下部領域に形成された真空チャンバの貫通孔に封止されるように結合され、中空が形成された昇降駆動軸１０１を真空チャンバの貫通孔で上下運動させることができる。これによって、走行ロボット１０００は、基板移送ロボット２０００の上下位置を調整することによって、基板移送ロボット２０００が工程チャンバなどにおいて基板をローディングまたはアンローディングするための適正な高さに位置させることができる。

【0053】

また、昇降部１００は、昇降駆動軸１０１を上下運動させるだけでなく、昇降駆動軸１０１を回転運動させる動作をさらに遂行することができる。これによって、走行ロボット１０００は、昇降部１００の回転角度に応じて基板移送ロボット２０００を様々な方向に走行させることができる。

【0054】

次に、ロボット本体２００は、昇降部１００に結合される走行アームプラットフォーム２１０、走行アームプラットフォーム２１０に互いに対称となるように結合された第１走行アーム部２２０と第２走行アーム部２５０、及び第１走行アーム部２２０と第２走行アーム部２５０とに結合され、基板移送のための基板移送ロボット２０００を支持する移送ロボットの結合部２８０とを含むことができ、第１走行アーム部２２０と第２走行アーム部２５０との動作により、移送ロボットの結合部２８０を前進及び後進させることによって基板移送ロボット２０００を真空チャンバ内で走行させることができる。

【0055】

これによって、走行ロボット１０００は、真空チャンバ内における特定の位置に固定された状態で、第１走行アーム部２２０と第２走行アーム部２５０との動作により、移送ロボットの結合部２８０を前進及び後進させることによって、移送ロボットの結合部２８０に結合された基板移送ロボット２０００を走行させて、基板移送ロボット２０００が設定した位置、即ち、基板をローディングまたはアンローディングするための工程チャンバなどに位置させ、昇降部１００による上下運動により、基板移送ロボット２０００の高さ方向の位置を調整することによって基板移送ロボット２０００が工程チャンバなどにおいて基板をローディングするか、基板をアンローディングすることができる。

【0056】

このような本発明の一実施例による走行ロボット１０００について、より詳細に説明すると以下の通りである。

【0057】

まず、走行アームプラットフォーム２１０が昇降部１００に結合され得る。

【0058】

この際、図４ａ乃至図４ｂを参照すると、走行アームプラットフォーム２１０は、第１中央領域に形成された第１＿１結合孔２１１、一方の第１先端領域に形成された第１＿２結合孔２１２、及び他方の第１先端領域に形成された第１＿３結合孔２１３を含むことができる。

【0059】

第１＿１結合孔２１１は、第１中央領域に昇降部１００の昇降駆動軸１０１の中空に対応する第１＿１貫通孔が形成された第１＿１係止部材により第１＿１上部空間２１１＿１と第１＿１下部空間２１１＿２とに区分され、第１＿１上部空間２１１＿１が第１＿１カバー２１４により封止され得る。

【0060】

そして、第１＿２結合孔２１２は、一方の第１先端領域に第１＿２貫通孔が形成された第１＿２係止部材により第１＿２上部空間２１２＿１と第１＿２下部空間２１２＿２とに区分され、第１＿２下部空間２１２＿２が第１＿２カバー２１５により封止され得る。

【0061】

また、第１＿３結合孔２１３は、他方の第１先端領域に第１＿３貫通孔が形成された第１＿３係止部材により第１＿３上部空間２１３＿１と第１＿３下部空間２１３＿２とに区分され、第１＿３下部空間２１３＿３が第１＿３カバー２１６により封止され得る。

【0062】

そして、走行アームプラットフォーム２１０は、昇降部１００に結合され得、具体的に、昇降部１００の昇降駆動軸１０１が第１＿１結合孔２１１の第１＿１下部空間２１１＿２に引き入れられるようにして、昇降駆動軸１０１が第１＿１係止部材に固定結合されるようにすることができる。この際、昇降駆動軸１０１を第１＿１係止部材に固定結合する場合、Ｏリング、ガスケットなどの封止部材を追加して、固定結合領域における密閉性能を向上させることができる。Ｏリング、ガスケットなどの封止部材を追加する構成は、後に説明する他の結合部においても同一に適用され得るため、以下の説明では、これに対する説明を省略することにする。

【0063】

これによって、昇降駆動軸１０１の中空による外部環境が、第１＿１結合孔２１１で真空チャンバの内部の真空環境から封止されるようにすることができる。

【0064】

一方、昇降部１００の昇降駆動軸１０１の中空を通じて引き入れられる配線を、第１走行アーム部２２０と第２走行アーム部２５０とに引き入れるための配線孔が走行アームプラットフォーム２１０に形成され得る。

【0065】

即ち、走行アームプラットフォーム２１０の本体の一側面にて第１＿１上部空間２１１＿１をそれぞれ連結する第１＿１配線孔ｈ１１と第１＿２配線孔ｈ１２とが形成され、走行アームプラットフォーム２１０の本体の一側面にて第１＿２下部空間２１２＿２を連結する第２＿１配線孔ｈ２１と走行アームプラットフォーム２１０の本体の一側面にて第１＿３下部空間２１３＿２を連結する第２＿２配線孔ｈ２２とが形成され得る。

【0066】

そして、各配線孔を封止するために、第１＿１配線孔ｈ１１と第２＿１配線孔ｈ２１とを走行アームプラットフォーム２１０の本体の一側面にて封止する第１封止カバー２１７と、第１＿２配線孔ｈ１２と第２＿２配線孔ｈ２２とを走行アームプラットフォーム２１０の本体の一側面にて封止する第２封止カバー２１８とが設けられ得る。

【0067】

また、図４ｃを参照すると、昇降部１００の昇降駆動軸１０１を通じて引き入れられる配線を第１走行アーム部２２０と第２走行アーム部２５０とに引き入れるための配線孔を、走行アームプラットフォーム２１０の内部に形成することができる。

【0068】

即ち、走行アームプラットフォーム２１０の本体内部で、第１＿１上部空間２１１＿１と第１＿２下部空間２１２＿２とを連結する第１配線孔ｈ３と、第１＿１上部空間２１１＿１と第１＿３下部空間２１３＿２とを連結する第２配線孔ｈ４とを形成して別途の封止部材なしで走行アームプラットフォーム２１０の内部で密閉が行われるようにすることができる。

【0069】

次に、走行アームプラットフォーム２１０の第１＿２結合孔２１２には、第１走行アーム部２２０の第１＿１走行リンクアーム２３０が結合され、走行アームプラットフォーム２１０の第１＿３結合孔２１３には、第２走行アーム部２５０の第２＿１走行リンクアーム２６０が結合され得る。

【0070】

この際、図５を参照すると、第１走行アーム部２２０の第１＿１走行リンクアーム２３０は、密閉された内部空間を有し、密閉された内部空間に、第１走行駆動モータ２３１と第１走行駆動モータ２３１とに連動して回転速度を１／２に減速する第１減速機２３２が設けられ得る。

【0071】

また、第１＿１走行リンクアーム２３０の一方の第１＿１先端領域には、第１減速機２３２に連動する中空が形成された第１＿１駆動軸２３３と、第１＿１駆動軸２３３に連動する第１＿１出力軸２３４とが封止されるように設けられ得、第１＿１走行リンクアーム２３０の他方の第１＿１先端領域には、第１走行駆動モータ２３１に連動する中空が形成された第１＿２駆動軸２３６と、第１＿２駆動軸２３６に連動する第１＿２出力軸２３７とが封止されるように設けられ得る。この際、第１走行駆動モータ２３１と第１減速機２３２との間の連動、第１減速機２３２と第１＿１駆動軸２３３との間の連動、及び第１走行駆動モータ２３１と第１＿２駆動軸２３６との間の連動は、それぞれプーリ方式により行われ得るが、本発明がこれに限定されるわけではなく、ギヤ方式など回転力の伝達のための様々な方式が利用され得る。また、第１＿１駆動軸２３３及び第１＿１出力軸２３４、並びに第１＿２駆動軸２３６及び第１＿２出力軸２３７は、それぞれ同一の減速比を有する減速機で形成することができる。そのうえで、第１＿１出力軸２３４と第１＿２出力軸２３７とは、回転方向が互いに反対方向となり得る。

【0072】

そして、第１走行アーム部２２０の第１＿１走行リンクアーム２３０の一方の第１＿１先端領域に設けられた第１＿１出力軸２３４が走行アームプラットフォーム２１０の第１＿２結合孔２１２の第１＿２上部空間２１２＿１に引き入れられ、第１＿２係止部材に固定結合され得る。

【0073】

この際、第１＿１出力軸２３４と第１＿２係止部材との結合のために第１＿１連結部材２３５が利用され得、第１＿１連結部材２３５は、走行アームプラットフォーム２１０と第１＿１走行リンクアーム２３０とが結合される位置から第１＿１出力軸２３４と第１＿２係止部材との間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第１＿１連結部材２３５の両方の終端がそれぞれ第１＿１出力軸２３４と第１＿２係止部材とに固定結合され得る。

【0074】

そして、第２走行アーム部２５０の第２＿２走行リンクアーム２７０は、図５を参照して説明した第１走行アーム部２２０の第１＿１走行リンクアーム２３０と同様に構成され得る。

【0075】

即ち、第２走行アーム部２５０の第２＿１走行リンクアーム２６０は、密閉された内部空間を有し、密閉された内部空間に、第２走行駆動モータと、第２走行駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第２減速機とが設けられ得る。

【0076】

また、第２＿１走行リンクアーム２６０の一方の第２＿１先端領域には、第２減速機に連動する中空が形成された第２＿１駆動軸と、第２＿１駆動軸に連動する第２＿１出力軸とが封止されるように設けられ得、第２＿１走行リンクアーム２６０の他方の第２＿１先端領域には、第２走行駆動モータに連動する中空が形成された第２＿２駆動軸と、第２＿２駆動軸に連動する第２＿２出力軸とが封止されるように設けられ得る。この際、第２走行駆動モータと第２減速機との間の連動、第２減速機と第２＿１駆動軸との間の連動、及び第２走行駆動モータと第２＿２駆動軸との間の連動は、それぞれプーリ方式により行われ得るが、本発明がこれに限定されるわけではなく、ギヤ方式など回転力の伝達のための様々な方式が利用され得る。また、第２＿１駆動軸及び第２＿１出力軸、並びに第２＿２駆動軸及び第２＿２出力軸は、それぞれ同一の減速比を有する減速機で形成することができる。そのうえで、第２＿１出力軸と第２＿２出力軸とは、回転方向が互いに反対方向となり得る。

【0077】

そして、第２走行アーム部２５０の第２＿１走行リンクアーム２６０の一方の第２＿１先端領域に設けられた第２＿１出力軸が走行アームプラットフォーム２１０の第１＿３結合孔２１３の第１＿３上部空間に引き入れられ、第１＿３係止部材に固定結合され得る。

【0078】

この際、第１＿２出力軸２３７と第１＿３係止部材との結合のために第１＿２連結部材が利用され得、第１＿２連結部材は、走行アームプラットフォーム２１０と第２＿１走行リンクアーム２６０とが結合される位置から第２＿１出力軸と第１＿３係止部材との間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第１＿２連結部材の両方の終端がそれぞれ第２＿１出力軸と第１＿３係止部材とに固定結合され得る。

【0079】

次に、第１走行アーム部２２０の第１＿１走行リンクアーム２３０の第１＿２出力軸２３７には、第１＿２走行リンクアーム２４０の一方の第１＿２先端領域が固定結合され得、第２走行アーム部２５０の第２＿１走行リンクアーム２６０の第２＿２出力軸には、第２＿２走行リンクアーム２７０の一方の第２＿２先端領域が固定結合され得る。

【0080】

この際、第１＿２出力軸２３７と一方の第１＿２先端領域との結合のために連結部材が利用され得、連結部材２３８は、第１＿１走行リンクアーム２３０と第１＿２走行リンクアーム２４０とが結合される位置から第１＿２出力軸２３７と一方の第１＿２先端領域との結合領域の間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、連結部材２３８の両方の終端がそれぞれ第１＿２出力軸２３７と一方の第１＿２先端領域との結合領域に固定結合され得る。また、第２＿２出力軸と一方の第２＿２先端領域との結合のために連結部材が利用され得、連結部材は、第２＿１走行リンクアーム２６０と第２＿２走行リンクアーム２７０とが結合される位置から第２＿２出力軸と一方の第２＿２先端領域との結合領域の間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、連結部材の両方の終端がそれぞれ第２＿２出力軸と一方の第２＿２先端領域との結合領域に固定結合され得る。

【0081】

次に、移送ロボットの結合部２８０が第１＿２走行リンクアーム２４０と第２＿２走行リンクアーム２７０とに結合され得る。

【0082】

即ち、移送ロボットの結合部２８０の一方の第２先端領域が第１＿２走行リンクアーム２４０の他方の第１＿２先端領域に回転可能に結合され、移送ロボットの結合部２８０の他方の第２先端領域が第２＿２走行リンクアーム２７０の他方の第２＿２先端領域に回転可能に結合され得る。

【0083】

そして、移送ロボットの結合部２８０の第２中央領域には中空を有する回転駆動軸２８１を含む回転駆動モータが封止されるように形成され得、基板移送のための基板移送ロボット２０００が中空を有する回転駆動軸２８１に封止されるように結合され得る。

【0084】

また、移送ロボットの結合部２８０の一方の第２先端乃至他方の第２先端のうちいずれか一つの先端には、外力に対応して第１＿２走行リンクアーム２４０の他方の第１＿２先端領域が回転可能に結合された位置乃至第２＿２走行リンクアーム２７０の他方の第２＿２先端領域が回転可能に結合された位置のうちいずれか一つの位置を移送ロボットの結合部２８０内で変更するコンプライアンス２８２が形成され得る。

【0085】

この際、図６を参照すると、コンプライアンス２８２は、一方の第２先端乃至他方の第２先端のうちいずれか一つの先端の内部で、移送ロボットの結合部２８０の長手方向に摺動し、第１＿２走行リンクアーム２４０の前記他方の第１＿２先端領域乃至第２＿２走行リンクアーム２７０の他方の第２＿２先端領域のうちいずれか一つに回転可能に結合される摺動部材２８３と、一方の第２先端乃至他方の第２先端のうちいずれか一つの先端の内部の摺動部材２８３の両側の摺動経路上にそれぞれ形成された各弾性部材２８４とを含んで構成され得る。しかし、本発明によるコンプライアンス２８２は、弾性部材を利用する構成の他にも、油圧を利用したシリンダ状など、様々な方式で具現され得る。

【0086】

一方、図７を参照すると、走行アームプラットフォーム２１０の長手方向の中心ラインと第１＿１走行リンクアーム２３０の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第１＿１接点Ｃ１、走行アームプラットフォーム２１０の長手方向の中心ラインと第２＿１走行リンクアーム２６０の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第１＿２接点Ｃ２、第１＿１走行リンクアーム２３０の長手方向の中心ラインと第１＿２走行リンクアーム２４０の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第２＿１接点Ｃ３、第２＿１走行リンクアーム２６０の長手方向の中心ラインと第２＿２走行リンクアーム２７０の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第２＿２接点Ｃ４、１＿２走行リンクアームの長手方向の中心ラインと移送ロボットの結合部２８０の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第３＿１接点Ｃ５、第２＿２走行リンクアーム２７０の長手方向の中心ラインと移送ロボットの結合部２８０の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第３＿２接点Ｃ６とする場合、第１＿１接点Ｃ１と第１＿２接点Ｃ２との間の距離と、第３＿１接点Ｃ５と第３＿２接点Ｃ６との間の距離とを同一にする。また、第１＿１接点Ｃ１と第２＿１接点Ｃ３との間の距離、第２＿１接点Ｃ３と第３＿１接点Ｃ５との間の距離、第１＿２接点Ｃ２と第２＿２接点Ｃ５との間の距離、及び第２＿２接点Ｃ４と第３＿２接点Ｃ６との間の距離を同一にする。

【0087】

そのうえで、第１＿１接点Ｃ１で走行アームプラットフォーム２１０と第１＿１走行リンクアーム２３０とが成す角度と、第１＿２接点Ｃ２で走行アームプラットフォーム２１０と第２＿１走行リンクアーム２６０とが成す角度との絶対値を同一にし、第２＿１接点Ｃ３で第１＿１走行リンクアーム２３０と第１＿２走行リンクアーム２４０とが成す角度と、第２＿２接点Ｃ４で第２＿１走行リンクアーム２６０と第２＿２走行リンクアーム２７０とが成す角度との絶対値を同一にして、第３＿１接点Ｃ５で第１＿２走行リンクアーム２４０と移送ロボットの結合部２８０とが成す角度と、第３＿２接点Ｃ６で第２＿２走行リンクアーム２７０と移送ロボットの結合部２８０とが成す角度との絶対値を同一にする。

【0088】

これによって、走行ロボット１０００は、移送ロボットの結合部２８０に支持される基板移送ロボット２０００を直線領域で前進または後進させて走行させることができる。

【0089】

この際、第１＿１走行リンクアーム２３０に設けられた第１走行駆動モータ２３１と、第２＿１走行リンクアーム２６０に設けられた第２走行モータとは、同一に動作し、回転方向が反対となるようにすることができる。

【0090】

そして、第１走行駆動モータ２３１の動作のための第１配線と、第２走行駆動モータの動作のための第２配線とがそれぞれ走行ロボット１０００内部の密閉された空間に配置され得る。

【0091】

この際、第１配線は、昇降駆動軸１０１と第１＿１駆動軸２３３とのそれぞれの中空を通じて、第１走行駆動モータ２３１に引き入れられるようにして、真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることができ、第２配線は、昇降駆動軸１０１と第２＿１駆動軸とのそれぞれの中空を通じて、第２走行駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることができる。一方、第１配線と第２配線とは、走行アームプラットフォーム２１０に形成された配線孔を通じて昇降駆動軸１０１から第１走行アーム部２２０と第２走行アーム部２５０とにそれぞれ分岐され得る。

【0092】

次に、本発明の一実施例において、走行ロボット１０００に対応する基板移送ロボット２０００について説明すると、以下の通りである。

【0093】

図８ａ及び図８ｂを参照すると、基板移送ロボット２０００は、走行ロボット１０００の移送ロボットの結合部２８０に結合される移送アームプラットフォーム２１００と、移送アームプラットフォーム２１００に結合された第１移送アーム部２２００と、第２移送アーム部２３００とを含むことができ、第１移送アーム部２２００と第２移送アーム部２３００とのそれぞれには、基板を支持する第１エンドエフェクタ２４００と第２エンドエフェクタ２５００とが結合され得る。

【0094】

これによって、基板移送ロボット２０００は、走行ロボット１０００の第１走行アーム部２２０と第２走行アーム部２５０との動作により、真空チャンバ内で走行して特定の位置に位置するか、さらなる走行ロボット１０００の昇降部１００の回転運動により特定の位置に位置することになり、昇降部１００の上下運動により、第１エンドエフェクタ２４００または第２エンドエフェクタ２５００が基板のローディングまたはアンローディング位置に位置した状態で、第１走行アーム部２２０または第２走行アーム部２５０の動作により、第１エンドエフェクタ２４００または第２エンドエフェクタ２５００が基板をローディングまたはアンローディングすることができるようになる。

【0095】

まず、図９ａ及び図９ｂを参照すると、移送アームプラットフォーム２１００は、第３中央領域に形成された第２＿１結合孔２１１０、一方の第３先端領域に形成された第２＿２結合孔２１２０、及び他方の第３先端領域に形成された第２＿３結合孔２１３０を含むことができる。移送アームプラットフォーム２１００は、走行ロボット１０００の走行アームプラットフォーム２１０と類似の構成を有することができる。

【0096】

第２＿１結合孔２１１０は、第３中央領域に移送ロボットの結合部２８０の回転駆動モータの回転駆動軸２８１の中空に対応する第２＿１貫通孔が形成された第２＿１係止部材により第２＿１上部空間と第２＿１下部空間とに区分され、第２＿１上部空間が第２＿１カバーにより封止され得る。

【0097】

そして、第２＿２結合孔２１２０は、一方の第３先端領域に第２＿２貫通孔が形成された第２＿２係止部材により第２＿２上部空間と第２＿２下部空間とに区分され、第２＿２下部空間が第２＿２カバーにより封止され得る。

【0098】

また、第２＿３結合孔２１３０は、他方の第３先端領域に第２＿３貫通孔が形成された第２＿３係止部材により第２＿３上部空間と第２＿３下部空間とに区分され、第２＿３下部空間が第２＿３カバーにより封止され得る。

【0099】

そして、移送アームプラットフォーム２１００は、前方領域にリンク結合のための第１＿１ブレード２１９１と第１＿２ブレード２１９２とを含むリンク連結部材２１９０が固定結合され得る。この際、前方は、真空チャンバに結合された工程チャンバに基板を移送するために基板移送ロボット２０００が位置した状態で工程チャンバが位置する方向であり得る。

【0100】

そして、移送アームプラットフォーム２１００は、走行ロボット１０００に結合され得、具体的に、走行ロボット１０００の回転駆動モータの回転駆動軸２８１が第２＿１結合孔２１１０の第２＿１下部空間に引き入れられるようにして、回転駆動軸２８１が第２＿１係止部材に固定結合されるようにすることができる。この際、回転駆動軸２８１を第２＿１係止部材に固定結合する場合、Ｏリング、ガスケットなどの封止部材を追加して、固定結合領域における密閉性能を向上させることができる。Ｏリング、ガスケットなどの封止部材を追加する構成は、後に説明する他の結合部においても同一に適用することができるため、以下の説明ではこれに対する説明を省略する。

【0101】

これによって、回転駆動軸２８１の中空による外部環境が、第２＿１結合孔２１１０で真空チャンバの内部の真空環境から封止されるようにすることができる。

【0102】

一方、走行ロボット１０００の回転駆動軸２８１の中空を通じて引き入れられる配線を第１移送アーム部２２００と第２移送アーム部２３００とに引き入れるための配線孔が移送アームプラットフォーム２１００に形成され得る。

【0103】

即ち、移送アームプラットフォーム２１００の本体の一側面にて第２＿１上部空間をそれぞれ連結する第３＿１配線孔ｈ１１０と第３＿２配線孔ｈ１２０とが形成され、移送アームプラットフォーム２１００の本体の一側面にて第２＿２下部空間を連結する第４＿１配線孔ｈ２１０と、移送アームプラットフォーム２１００の本体の一側面にて第２＿３下部空間を連結する第４＿２配線孔ｈ２２０とが形成され得る。

【0104】

そして、各配線孔を封止するために、第３＿１配線孔ｈ１１０と第４＿１配線孔ｈ２１０とを移送アームプラットフォーム２１００の本体の一側面にて封止する第３封止カバー２１７０と、第３＿２配線孔ｈ１２０と第４＿２配線孔ｈ２２０とを移送アームプラットフォーム２１００の本体の一側面にて封止する第４封止カバー２１８０とが設けられ得る。

【0105】

また、走行ロボット１０００の回転駆動軸２８１を通じて引き入れられる配線を第１移送アーム部２２００と第２移送アーム部２３００とに引き入れるための配線孔を、移送アームプラットフォーム２１００の内部に形成することができる。

【0106】

即ち、移送アームプラットフォーム２１００の内部で、第２＿１上部空間と第２＿２下部空間とを連結する第３配線孔と、第２＿１上部空間と第２＿３下部空間とを連結する第４配線孔とを形成して別途の封止部材なしで移送アームプラットフォーム２１００の内部で密閉が行われるようにすることができる。

【0107】

次に、移送アームプラットフォーム２１００の第２＿２結合孔２１２０には、第１移送アーム部２２００の第１＿１移送リンクアーム２２１０が結合され、移送アームプラットフォーム２１００の第２＿３結合孔２１３０には、第２移送アーム部２３００の第２＿１移送リンクアーム２３１０が結合され得る。

【0108】

この際、図１０を参照すると、第１移送アーム部２２００の第１＿１移送リンクアーム２２１０は、密閉された内部空間を有し、密閉された内部空間に、第１移送駆動モータ２２１１と第１移送駆動モータ２２１１とに連動して回転速度を１／２に減速する第３減速機２２１２が設けられ得る。

【0109】

また、第１＿１移送リンクアーム２２１０の一方の第３＿１先端領域には、第３減速機２２１２に連動する中空が形成された第３＿１駆動軸２２１３と第３＿１駆動軸２２１３に連動する第３＿１出力軸２２１４とが封止されるように設けられ得、第１＿１移送リンクアーム２２１０の他方の第３＿１先端領域には、第１移送駆動モータ２２１１に連動する中空が形成された第３＿２駆動軸２２１６と第３＿２駆動軸２２１６に連動する第３＿２出力軸２２１７とが封止されるように設けられ得る。この際、第１移送駆動モータ２２１１と第３減速機２２１２との間の連動、第３減速機２２１２と第３＿１駆動軸２２１３との間の連動、及び第１移送駆動モータ２２１１と第３＿２駆動軸２２１６との間の連動は、それぞれプーリ方式により行われ得るが、本発明がこれに限定されるわけではなく、ギヤ方式など回転力の伝達のための様々な方式が利用され得る。また、第３＿１駆動軸２２１３及び第３＿１出力軸２２１４、並びに第３＿２駆動軸２２１６及び第３＿２出力軸２２１７は、それぞれ同一の減速比を有する減速機で形成することができる。そのうえで、第３＿１出力軸２２１４と第３＿２出力軸２２１７とは、回転方向が互いに反対方向となり得る。

【0110】

そして、第１移送アーム部２２００の第１＿１走行リンクアーム２３０の一方の第３＿１先端領域に設けられた第３＿１出力軸２２１４が移送アームプラットフォーム２１００の第２＿２結合孔２１２０の第２＿２上部空間に引き入れられ、第２＿２係止部材に固定結合され得る。

【0111】

この際、第３＿１出力軸２２１４と第２＿２係止部材との結合のために第２＿１連結部材２２１５が利用され得、第２＿１連結部材２２１５は、移送アームプラットフォーム２１００と第１＿１移送リンクアーム２２１０とが結合される位置から第３＿１出力軸２２１４と第２＿２係止部材との間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第２＿１連結部材２２１５の両方の終端がそれぞれ第３＿１出力軸２２１４と第２＿２係止部材とに固定結合され得る。

【0112】

そして、第１移送アーム部２２００の第１＿１移送リンクアーム２２１０の第３＿２出力軸２２１７には、第１＿２移送リンクアーム２２２０の一方の第３＿２先端領域が固定結合され得る。

【0113】

この際、第３＿２出力軸２２１７と一方の第３＿２先端領域との結合のために第１固定結合軸２２１８が利用され得、第１固定結合軸２２１８は、第１＿１移送リンクアーム２２１０と第１＿２移送リンクアーム２２２０とが結合される位置から第３＿２出力軸２２１７と一方の第３＿２先端領域との結合領域の間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第１固定結合軸２２１８の両方の終端がそれぞれ第３＿２出力軸２２１７と一方の第３＿２先端領域との結合領域に固定結合され得る。

【0114】

そして、第３＿２出力軸２２１７と一方の第３＿２先端領域との結合領域に第１共通リンクアーム２２３０が設けられ得る。

【0115】

即ち、図１１を参照すると、第１共通リンクアーム２２３０は、第３＿２出力軸２２１７と一方の第３＿２先端領域とを結合する第１固定結合軸２２１８に第４中央領域が回転可能に結合され得る。

【0116】

そして、第１移送アーム部２２００は、第１＿１補助リンクアーム２２４０を含むことができ、第１＿１補助リンクアーム２２４０は、第１＿１移送リンクアーム２２１０に平行であり、一方の第３＿４先端領域が移送アームプラットフォーム２１００のリンク連結部材２１９０の第１＿１ブレード２１９１に回転可能に結合され、他方の第３＿４先端領域が第１共通リンクアーム２２３０の一方の第３＿３先端領域に回転可能に結合され得る。

【0117】

また、第１移送アーム部２２００は、第１＿２補助リンクアーム２２５０を含むことができ、第１＿２補助リンクアーム２２５０は、第１＿２移送リンクアーム２２２０に平行であり、一方の第３＿５先端領域が第１共通リンクアーム２２３０の他方の第３＿３先端領域に回転可能に結合され得る。

【0118】

そして、第１移送アーム部２２００は、第１＿３補助リンクアーム２２６０を含むことができ、第１＿３補助リンクアーム２２６０は、第１共通リンクアーム２２３０に平行であり、一方の第３＿６先端領域が第１＿２補助リンクアーム２２５０の他方の第３＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第３＿６先端領域が第１＿２移送リンクアーム２２２０の他方の第３＿２先端領域に回転可能に結合され得る。

【0119】

また、第１移送アーム部２２００は、第１エンドエフェクタ２４００を含むことができ、第１エンドエフェクタ２４００は、第１＿３補助リンクアーム２２６０の他方の第３＿６先端領域に固定されて基板を支持することができる。

【0120】

このように構成された第１移送アーム部２２００は、第１移送駆動モータ２２１１の動作によってそれぞれの移送アームと各補助アームとにより第１エンドエフェクタ２４００が直線上で前進及び後進することができるようにし、これに伴って第１エンドエフェクタ２４００を通じて設定された位置において基板をローディングするか、アンローディングすることができるようになる。

【0121】

一方、第２移送アーム部２３００は、第１移送アーム部２２００と同様に構成され得、移送アームプラットフォーム２１００の中央領域を中心に互いに対称となるように移送アームプラットフォーム２１００に設けられ得る。

【0122】

即ち、第２移送アーム部２３００の第２＿１移送リンクアーム２３１０は、密閉された内部空間を有し、密閉された内部空間に、第２移送駆動モータと、第２移送駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第４減速機とが設けられ得る。

【0123】

また、第２＿１移送リンクアーム２３１０の一方の第４＿１先端領域には、第４減速機に連動する中空が形成された第４＿１駆動軸と、第４＿１駆動軸に連動する第４＿１出力軸とが封止されるように設けられ得、第２＿１移送リンクアーム２３１０の他方の第４＿１先端領域には、第２移送駆動モータに連動する中空が形成された第４＿２駆動軸と、第４＿２駆動軸に連動する第４＿２出力軸とが封止されるように設けられ得る。この際、第２移送駆動モータと第４減速機との間の連動、第４減速機と第４＿１駆動軸との間の連動、及び第２移送駆動モータと第４＿２駆動軸との間の連動は、それぞれプーリ方式により行われ得るが、本発明がこれに限定されるわけではなく、ギヤ方式など回転力の伝達のための様々な方式が利用され得る。また、第４＿１駆動軸及び第４＿１出力軸、並びに第４＿２駆動軸及び第４＿２出力軸は、それぞれ同一の減速比を有する減速機で形成することができる。そのうえで、第４＿１出力軸と第４＿２出力軸とは、回転方向が互いに反対方向となり得る。

【0124】

そして、第２移送アーム部２３００の第２＿１移送リンクアーム２３１０の一方の第４＿１先端領域に設けられた第４＿１出力軸が移送アームプラットフォーム２１００の第２＿３結合孔２１３０の第２＿３上部空間に引き入れられ、第２＿３係止部材に固定結合され得る。

【0125】

この際、第４＿１出力軸と第２＿３係止部材との結合のために第２＿２連結部材が利用され得、第２＿２連結部材は、移送アームプラットフォーム２１００と第２＿１移送リンクアーム２３１０とが結合される位置から第４＿１出力軸と第２＿３係止部材との間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第２＿２連結部材の両方の終端がそれぞれ第４＿１出力軸と第２＿３係止部材とに固定結合され得る。

【0126】

そして、第２移送アーム部２３００の第２＿１移送リンクアーム２３１０の第４＿２出力軸には、第２＿２移送リンクアーム２３２０の一方の第４＿２先端領域が固定結合され得る。

【0127】

この際、第４＿２出力軸と一方の第４＿２先端領域との結合のために第２固定結合軸が利用され得、第２固定結合軸は、第２＿１移送リンクアーム２３１０と第２＿２移送リンクアーム２３２０とが結合される位置から第４＿２出力軸と一方の第４＿２先端領域との結合領域の間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第２固定結合軸の両方の終端がそれぞれ第４＿２出力軸と一方の第４＿２先端領域との結合領域に固定結合され得る。

【0128】

そして、第４＿２出力軸と一方の第４＿２先端領域との結合領域に第２共通リンクアーム２３３０が設けられ得る。

【0129】

即ち、第２共通リンクアーム２３３０は、第４＿２出力軸と一方の第４＿２先端領域とを結合する第２固定結合軸に、第５中央領域が回転可能に結合され得る。

【0130】

そして、第２移送アーム部２３００は、第２＿１補助リンクアーム２３４０を含むことができ、第２＿１補助リンクアーム２３４０は、第２＿１移送リンクアーム２３１０に平行であり、一方の第４＿４先端領域が移送アームプラットフォーム２１００のリンク連結部材２１９０の第１＿２ブレード２１９２に回転可能に結合され、他方の第４＿４先端領域が第２共通リンクアーム２３３０の一方の第４＿３先端領域に回転可能に結合され得る。

【0131】

また、第２移送アーム部２３００は、第２＿２補助リンクアーム２３５０を含むことができ、第２＿２補助リンクアーム２３５０は、第２＿２移送リンクアーム２３２０に平行であり、一方の第４＿５先端領域が第２共通リンクアーム２３３０の他方の第４＿３先端領域に回転可能に結合され得る。

【0132】

そして、第２移送アーム部２３００は、第２＿３補助リンクアーム２３６０を含むことができ、第２＿３補助リンクアーム２３６０は、第２共通リンクアーム２３３０に平行であり、一方の第４＿６先端領域が第２＿２補助リンクアーム２３５０の他方の第４＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第４＿６先端領域が第２＿２移送リンクアーム２３２０の他方の第４＿２先端領域に回転可能に結合され得る。

【0133】

また、第２移送アーム部２３００は、第２エンドエフェクタ２５００を含むことができ、第２エンドエフェクタ２５００は、第２＿３補助リンクアーム２３６０の他方の第４＿６先端領域に固定されて基板を支持することができる。

【0134】

このように構成された第２移送アーム部２３００は、第２移送駆動モータの動作によってそれぞれの移送アームと各補助アームとにより第２エンドエフェクタ２５００が直線上で前進及び後進することができるようにし、これに伴って第２エンドエフェクタ２５００を通じて設定された位置において基板をローディングするか、アンローディングすることができるようになる。

【0135】

この際、第１移送アーム部２２００の第１＿１移送リンクアーム２２１０の他方の第３＿１先端領域と、第２移送アーム部２３００の第２＿１移送リンクアーム２３１０の他方の第４＿１先端領域とが同一に移送アームプラットフォーム２１００の前方領域または後方領域に位置させることができる。

【0136】

また、これとは異なり、第１移送アーム部２２００の第１＿１移送リンクアーム２２１０の他方の第３＿１先端領域は、移送アームプラットフォーム２１００の前方領域に位置させ、第２移送アーム部２３００の第２＿１移送リンクアーム２３１０の他方の第４＿１先端領域は、移送アームプラットフォーム２１００の後方領域に位置させることができる。

【0137】

そして、第２移送アーム部２３００の第２＿１移送リンクアーム２３１０と第２＿２移送リンクアーム２３２０とを連結する第２固定結合軸の高さは、第１移送アーム部２２００の第１＿１移送リンクアーム２２１０と第１＿２移送リンクアーム２２２０とを連結する第１固定結合軸２２１８の高さよりも高くして、第１移送アーム部２２００の第１エンドエフェクタ２４００と第２移送アーム部２３００の第２エンドエフェクタ２５００とを同一の経路上で互いに異なる高さに位置させることができる。

【0138】

また、第１移送アーム部２２００の第２＿１移送リンクアーム２３１０と第２＿２移送リンクアーム２３２０とを連結する第２固定結合軸に回転可能に結合される第２共通リンクアーム２３３０は、第２固定結合軸の高さに対応し、第２固定結合軸を引き入れる中空が形成された中空管を含み、前記中空管の下部領域に一方の第４＿３先端領域を含む第２＿１ブレードが固定結合され、前記中空管の上部領域に他方の第４＿３先端領域を含む第２＿２ブレードが固定結合され、前記中空管の中心軸を基準に一方の第４＿３先端領域と他方の第４＿３先端領域とが対称となるように形成され得る。

【0139】

そして、第１移送駆動モータ２２１１の動作のための第３配線と第２移送駆動モータの動作のための第４配線とがそれぞれ基板移送ロボット２０００内部の密閉された空間に配置され得る。

【0140】

この際、第３配線は、昇降部１００の昇降駆動軸１０１、走行ロボット１０００の第１＿１駆動軸２３３、第１＿２駆動軸２３６、回転駆動軸２８１、基板移送ロボット２０００の第３＿１駆動軸２２１３のそれぞれの中空を通じて、第１走行駆動モータ２３１に引き入れられるようにして、真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることができ、第２配線は、昇降部１００の昇降駆動軸１０１、走行ロボット１０００の第２＿１駆動軸、第２＿２駆動軸、回転駆動軸２８１、基板移送ロボット２０００の第４＿１駆動軸のそれぞれの中空を通じて、第２走行駆動モータに引き入れられるようにして、真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることができる。一方、第３配線と第４配線とは、移送アームプラットフォーム２１００に形成された配線孔を通じて回転駆動軸２８１から第１移送アーム部２２００と第２移送アーム部２３００とにそれぞれ分岐され得る。

【0141】

一方、前記では、走行ロボット１０００に支持される基板移送ロボットの特徴的な構成について説明したが、本発明が上記で説明した基板移送ロボットに限定されるわけではなく、真空チャンバ内で基板を移送することができる全ての種類の基板移送ロボットを走行ロボットに結合し、走行ロボットによる真空チャンバ内における基板移送ロボットの走行及び、基板移送ロボットによる真空チャンバ内における基板移送を遂行することができる。

【0142】

また、前記では基板を移送することを説明したが、基板に工程を進行するために必要なマスクを移送することも同一に適用され得る。

【0143】

以上にて本発明が具体的な構成要素などのような特定事項と限定された実施例及び図面によって説明されたが、これは、本発明のより全般的な理解の一助とするために提供されたものであるに過ぎず、本発明が前記実施例に限られるものではなく、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、かかる記載から多様な修正及び変形が行われ得る。

【0144】

したがって、本発明の思想は、前記説明された実施例に局限されて定められてはならず、後述する特許請求の範囲だけでなく、本特許請求の範囲と均等または等価的に変形されたものすべては、本発明の思想の範囲に属するといえる。

【符号の説明】

【0145】

１０００：走行ロボット
１００：昇降部
２１０：走行アームプラットフォーム
２２０：第１走行アーム部
２３０：第１＿１走行リンクアーム
２４０：第１＿２走行リンクアーム
２５０：第２走行アーム部
２６０：第２＿１走行リンクアーム
２７０：第２＿２走行リンクアーム
２８０：移送ロボットの結合部

【図1】

【図2】

【図3a】

【図3b】

【図4a】

【図4b】

【図4c】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8a】

【図8b】

【図9a】

【図9b】

【図10】

【図11】