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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-07-06
(45)【発行日】2023-07-14
(54)【発明の名称】バルブ装置およびガス供給システム
(51)【国際特許分類】
   F16K 27/00 20060101AFI20230707BHJP
【FI】
F16K27/00 B
【請求項の数】 7
(21)【出願番号】P 2020553391
(86)(22)【出願日】2019-10-21
(86)【国際出願番号】 JP2019041310
(87)【国際公開番号】W WO2020085302
(87)【国際公開日】2020-04-30
【審査請求日】2022-09-21
(31)【優先権主張番号】P 2018201830
(32)【優先日】2018-10-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】390033857
【氏名又は名称】株式会社フジキン
(74)【代理人】
【識別番号】110002893
【氏名又は名称】弁理士法人KEN知財総合事務所
(72)【発明者】
【氏名】松田 隆博
(72)【発明者】
【氏名】相川 献治
(72)【発明者】
【氏名】原田 章弘
(72)【発明者】
【氏名】渡辺 一誠
(72)【発明者】
【氏名】中田 知宏
(72)【発明者】
【氏名】篠原 努
【審査官】篠原 将之
(56)【参考文献】
【文献】特開平10-300000(JP,A)
【文献】特開2014-070655(JP,A)
【文献】特開平09-329257(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2014/0020779(US,A1)
【文献】特開2013-117269(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
F16K 27/00
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
流路が形成された流路ブロックに取り外し可能に装着されるバルブ装置であって、
前記流路ブロックに形成され断面形状が円形の収容凹部に収容され、底面に第1のポートおよび第2のポートが形成されたバルブボディと、
外周に形成された外ねじ部が前記収容凹部の内周に形成された内ねじ部に螺合することにより、前記バルブボディを前記収容凹部の底部に向けて押圧しつつ当該バルブボディを前記流路ブロックに固定するボンネットナットと、を有し、
前記バルブボディは、前記流路ブロックの収容凹部の内周面部に嵌まる外周面部を有し、前記外周面部には、前記流路ブロックに対する前記バルブボディの中心軸線を中心とした回転位置を規定する位置決め用の凸部が形成されている、バルブ装置。
【請求項2】
前記位置決め用の凸部は、前記バルブボディの底面視において、前記ボンネットナットの外周のねじ部の外径内に収まっている、請求項1に記載のバルブ装置。
【請求項3】
前記位置決め用の凸部は、前記流路ブロックの収容凹部の内周の上端部から底部に向けて延びる溝部に係合する、請求項1又は2に記載のバルブ装置。
【請求項4】
前記溝部は、前記内ねじ部、および、前記外周面部が嵌まる前記内周面部に形成されている、請求項3に記載のバルブ装置。
【請求項5】
前記第1のポートおよび第2のポートは、前記バルブボディの中心軸線を含む仮想平面に関して左右対称に形成されている、請求項1ないし4のいずれかに記載のバルブ装置。
【請求項6】
複数の流体機器が配列されたガス供給システムであって、
前記複数の流体機器は、請求項1ないし5のいずれかに記載のバルブ装置を含む、ガス供給システム。
【請求項7】
前記バルブ装置は、ガス供給システムの供給経路の最終段に設けられている、請求項6に記載のガス供給システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、流路が形成された流路ブロックに取り外し可能に装着されるバルブ装置およびこのバルブを用いたガス供給システムに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造工程においては、半導体製造装置のチャンバに対して、各種のプロセスガスの供給を制御するバルブが用いられている。原子層堆積法(ALD:Atomic Layer Deposition 法)等のプロセスにおいては、小型化されつつ基板に膜を堆積させる処理プロセスに使用するプロセスガスの流量制御に高応答性、高精密性が求められている。これを実現するためには、配管を可能な限り省略して配管内の残留ガスを減らし、バルブを小型化して、プロセスガスの供給先にできるだけ近い場所に多数のバルブを集積化する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開平10-47514号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献1は、モジュール化され、継手部材を介さずにガス供給先である流路ブロックに直接にねじ結合した集積化バルブを開示している。
【0005】
本発明の目的の一つは、小型化、集積化により適した構造を有する半導体製造プロセス等に用いられるバルブ装置およびこれを用いたガス供給システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明のバルブ装置は、流路が形成された流路ブロックに取り外し可能に装着されるバルブ装置であって、
前記流路ブロックに形成され断面形状が円形の収容凹部に収容され、底面に第1のポートおよび第2のポートが形成されたバルブボディと、
外周に形成された外ねじ部が前記収容凹部の内周に形成された内ねじ部に螺合することにより、前記バルブボディを前記収容凹部の底部に向けて押圧しつつ当該バルブボディを前記流路ブロックに固定するボンネットナットと、を有し、
前記バルブボディは、前記流路ブロックの収容凹部の内周面部に嵌まる外周面部を有し、前記外周面部には、前記流路ブロックに対する前記バルブボディの中心軸線回りの回転位置を規定する位置決め用の凸部が形成されている。
【0007】
好適には、前記位置決め用の凸部は、前記バルブボディの底面視において、前記ボンネットナットの外周のねじ部の外径内に収まっている、構成を採用できる。
【0008】
好適には、前記位置決め用の凸部は、前記流路ブロックの収容凹部の内周の上端部から底部に向けて延びる溝部に係合する、構成を採用できる。
【0009】
さらに好適には、前記溝部は、前記内ねじ部および前記外周面部が嵌まる前記内周面部に形成されている、構成を採用できる。
【0010】
本発明のガス供給システムは、複数の流体機器が配列されたガス供給システムであって、前記複数の流体機器は上記のバルブ装置を含む。
【0011】
好適には、前記バルブ装置は、ガス供給システムの供給経路の最終段に設けられている。
【発明の効果】
【0012】
本発明によれば、バルブボディの外径を拡大することなくバルブボディと流路ブロックとの回転位置関係を規定できるため、より一層小型化され集積化に適した構造のバルブ装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0013】
図1】本発明の一実施形態に係るバルブ装置と、金属ガスケットおよび流路ブロックの一部に断面を含む斜視図。
図2図1のバルブ装置を流路ブロックに装着した状態の縦断面図。
図3図1のバルブ装置の底面図。
図4】流路ブロックの収容凹部内の構造を示す上面図。
図5】集積化された本実施形態に係るバルブ装置の斜視図。
図6】本実施形態に係るバルブ装置が適用されるガス供給システムの一例を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。説明において同様の要素には同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
図1は、本発明の一実施形態に係るバルブ装置1を装着先である流路ブロック30から取り外した状態を示している。図2はバルブ装置1を流路ブロック30に装着した状態の縦断面を示している。図3はバルブ装置1の底面図を示し、図4は流路ブロック30の収容凹部35の上面図である。
【0015】
バルブ装置1は、バルブボディ3、バルブシート5、インナーディスク7、ダイヤフラム10、アクチュエータ15、ボールベアリング17およびボンネットナット20を有している。
【0016】
バルブボディ3は、上部に円筒部3bを有し底部に拡径部3cを有する軸線Ctを中心軸線にもつ回転体であり、流路3Aおよび流路3Bが形成され、流路3Aの一端はバルブボディ3の底面で開口するポート3p1に連通し、流路3Bの一端はバルブボディ3の底面で開口するポート3p2に連通している。
【0017】
ポート3p1およびポート3p2は、図3の底面図に示すように、バルブボディ3の軸線Ctを含む仮想平面PLに関して左右対称に形成されている。ポート3p1およびポート3p2の周囲には、底面から突出して形成されたシール用の突起4がバルブボディ3に一体に形成されている。突起4は、ガスケット21に押し付けられて、ガスケット21を塑性変形させるために設けられている。
突起4は、2つの円環状突起4aおよび円環状突起4bからなり、円環状突起4aと円環状突起4bとは、一部を共用するように形成されている。すなわち、円環状突起4aおよび円環状突起4bの一部が共通の突起部分4cで構成されている。本実施形態においては、突起4は全体として8の字状の外輪郭形状を有するが、これに限定されるわけではない。円環状突起4aおよび円環状突起4bの一部が共通の突起部分4cで構成されることにより、ポート3p1およびポート3p2の距離をより近づけることが可能となり、バルブボディ3の外径を縮小させることができる。
【0018】
バルブボディ3は、円筒部3bの底部の流路3Bの開口の周囲に円環状のバルブシート5が設置され、このバルブシート5はインナーディスク7により定位置に保持されている。インナーディスク7上には、金属製のダイヤフラム10が設けられ、インナーディスク7を全面的に覆っている。ダイヤフラム10は、アクチュエータ15により駆動されるダイヤフラム押え12によりバルブシート5に当接、離隔することにより、流路3Aと流路3Bとの間を連通、遮断する。ダイヤフラム10は、バルブボディ3の円筒部3bの内周にねじ込まれるアクチュエータ15の下端部の先端面によりバルブボディ3に向けて押圧されることで、気密に固定されている。また、アクチュエータ15はバルブボディ3の円筒部3bの内周に螺合することでバルブボディ3に接続されている。
【0019】
バルブボディ3の底部に形成された拡径部3cは、その上端面でボールベアリング17を支持しており、外周面は後述する流路ブロック30の収容凹部35の内周に形成された内周面部35aに嵌合する外周面部3fとなっている。この外周面部3fに、流路ブロック30に対するバルブボディ3の軸線Ctを中心とした回転位置を規定する位置決め用の凸部3aが形成されている。凸部3aは軸線Ctに沿った方向に延在している。なお、凸部3aの形状は、これに限定されるわけではないが、軸線Ctに沿った方向に延在させると、後述する直線状の溝部35cに係合した際に移動が円滑となる。
【0020】
バルブボディ3の外周には、円筒状に形成されたボンネットナット20が配置され、ボンネットナット20の下端面はボールベアリング17を介してバルブボディ3の拡径部3c上に配置されている。ボンネットナット20の外周面には、外ねじ部20aが形成され、後述する流路ブロック30の収容凹部35の内ねじ部35sに螺合する。
図3に示すように、上記した位置決め用の凸部3aは、バルブボディ3の底面視において、ボンネットナット20の外周の外ねじ部20aの外径内に収まっている。
【0021】
流路ブロック30は、図1および図2に示したように、流路31および流路32が形成されているとともに、断面形状が円形の収容凹部35を有する。図4に示すように、収容凹部35の底面35bには、流路31に連通するポート31pと流路32に連通するポート32pが開口している。ポート31pとポート32pの形成位置は、バルブボディ3のポート3p1およびポート3p2にそれぞれ対応している。
また、ポート31pとポート32pの周囲には。収容凹部35の底面35bから突出して形成されたシール用の突起33が流路ブロック30に一体に形成されている。突起33は、ガスケット21に押し付けられて、ガスケット21を塑性変形させるために設けられている。
突起33は、2つの円環状突起33aおよび円環状突起33bからなり、円環状突起33aと円環状突起33bとは、一部を共用するように形成されている。すなわち、円環状突起33aおよび円環状突起33bの一部が共通の突起部分33cで構成されている。突起33は、バルブボディ3の突起4に対応する位置に形成されている。
【0022】
流路ブロック30の収容凹部35の内周には、上端側から底部に向けて内ねじ部35sが形成され、最底部には、バルブボディ3の外周面部3fが嵌る内周面部35aが形成されている。内ねじ部35sの内径は、内周面部35aの内径よりも若干大きく形成されているので、バルブボディ3の外周面部3fが内ねじ部35sと干渉することはない。
さらに、収容凹部35の内周には、軸線Ctに平行に上端部から底部に向けて延びる溝部35cが形成されている。溝部35cにバルブボディ3の凸部3aが係合し、流路ブロック30に対するバルブボディ3の軸線Ct回りの回転位置が規定される。溝部35cにバルブボディ3の凸部3aが係合することで、流路ブロック30のポート31pおよびポート32pに、バルブボディ3のポート3p1およびポート3p2がそれぞれ位置合わせされる。なお、図2から分かるように、溝部35cは、内ねじ部35sの谷径の内側に形成されている。
【0023】
ガスケット21は、図1に示したように、金属製の円盤状部材であり、流路ブロック30のポート31pおよびポート32pとバルブボディ3のポート3p1およびポート3p2に対応して2つの貫通孔が形成されている。ガスケット21は、上記したバルブボディの突起4および流路ブロック30の突起33により塑性変形を発生させるため、突起4および突起33よりも硬度が十分低い。ガスケット21は、バルブボディ3の底面3dおよび収容凹部35の底面35bにそれぞれ形成された凹部に外周面が嵌るようになっている。ガスケット21の外周面には図示しないガイドリングが設けられ、ガスケット21を凹部に嵌めると抜けおちない構造になっている。
【0024】
上記したバルブ装置1を流路ブロック30に組み付ける方法について説明する。先ず、ガスケット21をバルブボディ3の底面3dの凹部に保持させる、または、収容凹部35の底面3dに形成された凹部に配置する。この状態で、バルブボディ3の凸部3aを収容凹部35の溝部35cに係合させつつボンネットナット20の外ねじ部20aを収容凹部35の内ねじ部35sに螺合させ、工具を用いてボンネットナット20を回転させ、ボンネットナット20の推進力を、ボールベアリング17を介してバルブボディ3の拡径部3cに伝達させる。このとき、ボールベアリング17は、ボンネットナット20の回転方向の力を逃がし、下方に向かう推進力のみがバルブボディ3に作用するようにする。また、バルブボディ3に回転方向の力が多少かかったとしても、位置決め用の凸部3aが収容凹部35の溝部35cに係合しているので、バルブボディ3と流路ブロック30との相対的な回転位置がずれることがない。
【0025】
ボンネットナット20に必要な回転トルクを与えると、バルブボディ3の突起4および流路ブロック30の突起33がガスケット21を変形させ、流路3Aと流路31とが気密に連通し、流路3Bと流路32とが気密に連通する。
突起4および突起33は、仮想平面PLに関して左右対称に形成されているので、突起4および突起33に作用する力は均等化され、シール性が安定化される。
【0026】
以上のように、本実施形態によれば、バルブシート5、ダイヤフラム10等を内蔵するバルブボディ3を流路ブロック30の収容凹部35に収容し、かつ、バルブボディ3の流路ブロック30に対する回転方向の位置決め機構を、ねじ部領域を利用して最小化している。これにより、回転方向の位置決め機構がバルブボディ3の外径の縮小の妨げにならない。
さらに本実施形態によれば、シール用の突起4および突起33を2つの円環状突起の一部が共通の突起部分で構成されている構成としたので、ポート間の距離を短縮化でき、バルブボディの外径を縮小させることができる。この結果、収容凹部35の内径も小さくできるので、さらに小型化、集積化に適したバルブ装置が提供される。
【0027】
図5に集積化された複数のバルブ装置1を示す。
ボンネットナット20を操作できる範囲で、バルブ装置1の間を接近させることができるのが分かる。
【0028】
図6は、本実施形態に係るバルブ装置1が適用されるガス供給システムの一例を示す概略図である。
図6に示すシステムは、半導体製造プロセス等を実行するガス供給システムであり、200はガス供給源、210は手動弁、220は減圧弁、230は圧力計、240はフィルタ、250は自動弁、260はチャンバを示している。
このシステムにおいては、ガス供給源200から供給された処理ガスは、手動弁210、減圧弁220、圧力計230、フィルタ240、自動弁250等の複数の流体機器により制御される。本実施形態のバルブ装置1は、ユースポイント(供給先)であるチャンバ260の直近、すなわち、ガス供給システムの供給経路の最終段に設けられ、これを開閉制御することで、複数の流体機器より制御された処理ガスをチャンバ260へ供給する。
ここで、「流体機器」とは、流体の流れを制御する機器であって、流体流路を確定するボディを備え、このボディの表面で開口する少なくとも2つの流路口を有する機器である。具体的には、開閉弁(手動弁、自動弁)、レギュレータ、圧力計、フィルタ等が含まれるが、これらに限定されるわけではない。
【0029】
上記実施形態では、凸部3aと溝部35cを一カ所のみ形成したが、これに限定されるわけではなく、複数個所に形成可能である。
上記実施形態では、凸部3aをバルブボディ3に形成し溝部35cを流路ブロック30の収容凹部35に形成したが、凸部を流路ブロックの収容凹部の内周面部に形成し、溝部をバルブボディの拡径部に形成しても良い。
【0030】
上記実施形態では、突起4および突起33を構成する2つの環状突起を円環状突起としたが、環状突起であれば他の形状も採用可能である。また、上記実施形態では突起4および突起33は仮想平面PLに関して左右対称に形成されているが、安定したシール性を有していれば左右非対称に形成されていても良い。
【符号の説明】
【0031】
1 :バルブ装置
3 :バルブボディ
3A :流路
3B :流路
3a :凸部
3b :円筒部
3c :拡径部
3d :底面
3f :外周面部
3p1 :ポート
3p2 :ポート
4 :突起
4a :円環状突起
4b :円環状突起
5 :バルブシート
7 :インナーディスク
10 :ダイヤフラム
12 :ダイヤフラム押え
15 :アクチュエータ
17 :ボールベアリング
20 :ボンネットナット
20a :外ねじ部
21 :ガスケット
30 :流路ブロック
31 :流路
31p :ポート
32 :流路
32p :ポート
33 :突起
33a :円環状突起
33b :円環状突起
35 :収容凹部
35a :内周面部
35b :底面
35c :溝部
35s :内ねじ部
200 :ガス供給源
210 :手動弁
220 :減圧弁
230 :圧力計
240 :フィルタ
250 :自動弁
260 :チャンバ
Ct :軸線
PL :仮想平面
図1
図2
図3
図4
図5
図6