特許 7310774 天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-10

(45)【発行日】2023-07-19

(54)【発明の名称】天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法

(51)【国際特許分類】

   B65G 43/00 20060101AFI20230711BHJP

   B65G 1/04 20060101ALI20230711BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20230711BHJP

【ＦＩ】

B65G43/00 K

B65G1/04 551D

H01L21/68 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020169670

(22)【出願日】2020-10-07

(65)【公開番号】P2022061622

(43)【公開日】2022-04-19

【審査請求日】2021-12-22

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(74)【代理人】

【識別番号】100156395

【弁理士】

【氏名又は名称】荒井 寿王

(72)【発明者】

【氏名】摺木 啓一郎

(72)【発明者】

【氏名】青本 和也

【審査官】田口 傑

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－２９２６４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０６６６１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０４３７２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５４－０７１０６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－３２１５４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－１６８１２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０４７７４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０２０／０１７６２９４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ ４３／００

Ｂ６５Ｇ １／０４

Ｂ６５Ｈ ２５／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７－６８

Ｈ０４Ｎ ５／６６

Ｂ２１Ｄ ２４／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を移載する昇降台と、前記昇降台に取り付けられた吊持材を重ね巻きする巻取ドラムと、前記巻取ドラムの回転量を制御することにより前記昇降台の昇降量を制御するコントローラと、を備えた天井搬送車であって、
前記コントローラは、
前記天井搬送車の個体値として、前記吊持材の全長の個体値、前記巻取ドラムの直径の個体値、及び、前記吊持材の厚みの個体値を算出する第１処理と、
前記第１処理で算出した前記吊持材の全長の個体値、前記巻取ドラムの直径の個体値、及び、前記吊持材の厚みの個体値に基づいて、前記昇降台の昇降量に対する前記巻取ドラムの回転量を算出する第２処理と、を実行し、
前記第１処理では、前記昇降台の昇降量が、前記吊持材の全長の個体値と前記巻取ドラムの直径の個体値と前記吊持材の厚みの個体値とを係数として含む、前記巻取ドラムの回転量の二乗関数で近似されることを利用して、前記吊持材の全長の個体値、前記巻取ドラムの直径の個体値、及び、前記吊持材の厚みの個体値を算出し、
前記吊持材の全長は、前記巻取ドラムから前記吊持材の全てが引き出された状態から前記昇降台が原点位置に位置するまで前記吊持材が巻き取られた場合における、前記巻取ドラムに巻き取られた前記吊持材の長さに相当する、天井搬送車。

【請求項2】

前記第１処理では、前記昇降台の昇降量及び当該昇降量のときの前記巻取ドラムの回転量からなるサンプルデータを２以上含むデータ群に基づいて、前記吊持材の全長の個体値、前記巻取ドラムの直径の個体値、及び、前記吊持材の厚みの個体値を算出する、請求項１に記載の天井搬送車。

【請求項3】

前記第１処理では、下式（１）～（６）に基づいて、前記吊持材の全長の個体値、前記巻取ドラムの直径の個体値、及び、前記吊持材の厚みの個体値を算出する、請求項２に記載の天井搬送車。

【数1】

但し、
Ｌ：前記昇降台の昇降量、ｎ：前記巻取ドラムの回転量、ｔ：前記吊持材の厚みの個体値、Ｄ：前記巻取ドラムの直径の個体値、Ｌ_０：前記吊持材の全長の個体値、ｎ_０：原点位置に前記昇降台が位置するときの前記巻取ドラムの回転量、Ｎ：サンプル数（２以上の整数）、ｎ_ｉ：第ｉサンプルにおける前記巻取ドラムの回転量、Ｌ_ｉ：第ｉサンプルにおける前記昇降台の昇降量。

【請求項4】

前記コントローラは、
原点位置に前記昇降台を位置させた状態において、前記昇降台に保持された第１計測用部材と前記第１計測用部材の直下に配置された第２計測用部材との間の距離を検出するセンサにより検出した距離を、第１距離として取得する第１データ取得用処理と、
前記昇降台を設定昇降量だけ昇降させた状態において、前記センサにより検出した距離を第２距離として取得すると共に、前記第２距離から前記第１距離を減算した値、及び、当該設定昇降量のときの前記巻取ドラムの回転量を、前記サンプルデータにおける前記昇降台の昇降量及び前記巻取ドラムの回転量として取得する第２データ取得用処理と、
前記第２データ取得用処理を前記設定昇降量を変更して繰り返し実行する第３データ取得用処理と、を実行する、請求項２又は３に記載の天井搬送車。

【請求項5】

複数回の前記第２データ取得用処理それぞれにおける前記設定昇降量を入力可能な入力部を備える、請求項４に記載の天井搬送車。

【請求項6】

前記第２処理では、下式（７）に基づいて、前記昇降台の昇降量に対する前記巻取ドラムの回転量を算出する、請求項１～５の何れか一項に記載の天井搬送車。

【数2】

但し、
Ｌ：前記昇降台の昇降量、ｎ：前記巻取ドラムの回転量、ｔ：前記吊持材の厚みの個体値、Ｄ：前記巻取ドラムの直径の個体値、Ｌ_０：前記吊持材の全長の個体値、ｎ_０：原点位置に前記昇降台が位置するときの前記巻取ドラムの回転量。

【請求項7】

物品を移載する昇降台と、前記昇降台に取り付けられた吊持材を重ね巻きする巻取ドラムと、前記巻取ドラムの回転量を制御することにより前記昇降台の昇降量を制御するコントローラと、を備えた天井搬送車における、前記巻取ドラムの回転量を算出する方法であって、
前記天井搬送車の個体値として、前記吊持材の全長の個体値、前記巻取ドラムの直径の個体値、及び、前記吊持材の厚みの個体値を算出する第１ステップと、
前記第１ステップで算出した前記吊持材の全長の個体値、前記巻取ドラムの直径の個体値、及び、前記吊持材の厚みの個体値に基づいて、前記昇降台の昇降量に対する前記巻取ドラムの回転量を算出する第２ステップと、を含み、
前記第１ステップでは、前記昇降台の昇降量が、前記吊持材の全長の個体値と前記巻取ドラムの直径の個体値と前記吊持材の厚みの個体値とを係数として含む、前記巻取ドラムの回転量の二乗関数で近似されることを利用して、前記吊持材の全長の個体値、前記巻取ドラムの直径の個体値、及び、前記吊持材の厚みの個体値を算出し、
前記吊持材の全長は、前記巻取ドラムから前記吊持材の全てが引き出された状態から前記昇降台が原点位置に位置するまで前記吊持材が巻き取られた場合における、前記巻取ドラムに巻き取られた前記吊持材の長さに相当する、天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法に関する。

【背景技術】

【0002】

物品を移載する昇降台と、昇降台に取り付けられた吊持材を重ね巻きする巻取ドラムと、巻取ドラムの回転量を制御することにより昇降台の昇降量を制御するコントローラと、を備えた天井搬送車が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－４３７２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したような技術では、天井搬送車個有の吊持材の厚みを求め、求めた吊持材の厚みを用いて、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を定めている。これにより、所望の高さ位置（移載高さ）に昇降台を昇降させる場合において、吊持材の厚みの個体差による影響を抑制することが図られている。しかしこの場合でも、天井搬送車の個体差を十分に考慮しているとは言えず、昇降させた昇降台が実際には所望の高さ位置からズレてしまう可能性があり、未だ改善の余地がある。

【0005】

そこで、本発明は、天井搬送車に個体差がある場合においても、所望の高さ位置に昇降台を確実に昇降させることが可能な天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る天井搬送車は、物品を移載する昇降台と、昇降台に取り付けられた吊持材を重ね巻きする巻取ドラムと、巻取ドラムの回転量を制御することにより昇降台の昇降量を制御するコントローラと、を備えた天井搬送車であって、コントローラは、天井搬送車の個体値として、吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値を算出する第１処理と、第１処理で算出した吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値に基づいて、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を算出する第２処理と、を実行する。

【0007】

この天井搬送車では、吊持材の全長の個体値と巻取ドラムの直径の個体値と吊持材の厚みの個体値とを算出し、これらの個体値に基づいて、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を算出する。これにより、天井搬送車の個体差を十分に考慮して、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を定めることができる。したがって、天井搬送車に個体差がある場合においても、所望の高さ位置に昇降台を確実に昇降させることが可能となる。

【0008】

本発明に係る天井搬送車において、第１処理では、昇降台の昇降量が、吊持材の全長の個体値と巻取ドラムの直径の個体値と吊持材の厚みの個体値とを係数として含む、巻取ドラムの回転量の二乗関数で近似されることを利用して、吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値を算出してもよい。本発明者等は、鋭意検討を重ねた結果、昇降台の昇降量が、吊持材の全長の個体値と巻取ドラムの直径の個体値と吊持材の厚みの個体値とを係数として含む、巻取ドラムの回転量の二乗関数で近似されることを見出した。そこで、当該近似を利用することで、これらの個体値を簡易且つ正確に求めることが可能となる。

【0009】

本発明に係る天井搬送車において、第１処理では、昇降台の昇降量及び当該昇降量のときの巻取ドラムの回転量からなるサンプルデータを２以上含むデータ群に基づいて、吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値を算出してもよい。この場合、吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値を、データ群を用いて簡易且つ正確に求めることができる。

【0010】

本発明に係る天井搬送車において、第１処理では、下式（１）～（６）に基づいて、吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値を算出してもよい。これにより、吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値を、より簡易且つ正確に求めることができる。

【数1】

但し、
Ｌ：昇降台の昇降量、ｎ：巻取ドラムの回転量、ｔ：吊持材の厚みの個体値、Ｄ：巻取ドラムの直径の個体値、Ｌ_０：吊持材の全長の個体値、ｎ_０：原点位置に昇降台が位置するときの巻取ドラムの回転量、Ｎ：サンプル数（２以上の整数）、ｎ_ｉ：第ｉサンプルにおける巻取ドラムの回転量、Ｌ_ｉ：第ｉサンプルにおける昇降台の昇降量。

【0011】

本発明に係る天井搬送車では、コントローラは、原点位置に昇降台を位置させた状態において、昇降台に保持された第１計測用部材と第１計測用部材の直下に配置された第２計測用部材との間の距離を検出するセンサにより検出した距離を、第１距離として取得する第１データ取得用処理と、昇降台を設定昇降量だけ昇降させた状態において、センサにより検出した距離を第２距離として取得すると共に、第２距離から第１距離を減算した値、及び、当該設定昇降量のときの巻取ドラムの回転量を、サンプルデータにおける昇降台の昇降量及び巻取ドラムの回転量として取得する第２データ取得用処理と、第２データ取得用処理を設定昇降量を変更して繰り返し実行する第３データ取得用処理と、を実行してもよい。これにより、少なくとも２つのサンプルデータを自動取得することができる。

【0012】

本発明に係る天井搬送車は、複数回の第２データ取得用処理それぞれにおける設定昇降量を入力可能な入力部を備えていてもよい。この場合、入力部を介して各設定昇降量を適宜に入力することができる。

【0013】

本発明に係る天井搬送車において、第２処理では、下式（７）に基づいて、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を算出してもよい。これにより、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を簡易且つ正確に求めることができる。

【数2】

但し、
Ｌ：昇降台の昇降量、ｎ：巻取ドラムの回転量、ｔ：吊持材の厚みの個体値、Ｄ：巻取ドラムの直径の個体値、Ｌ_０：吊持材の全長の個体値、ｎ_０：原点位置に昇降台が位置するときの巻取ドラムの回転量。

【0014】

本発明に係る天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法は、物品を移載する昇降台と、昇降台に取り付けられた吊持材を重ね巻きする巻取ドラムと、巻取ドラムの回転量を制御することにより昇降台の昇降量を制御するコントローラと、を備えた天井搬送車における、巻取ドラムの回転量を算出する方法であって、天井搬送車の個体値として、吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値を算出する第１ステップと、第１ステップで算出した吊持材の全長の個体値、巻取ドラムの直径の個体値、及び、吊持材の厚みの個体値に基づいて、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を算出する第２ステップと、を含む。

【0015】

この天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法では、吊持材の全長の個体値と巻取ドラムの直径の個体値と吊持材の厚みの個体値とを算出し、これらの個体値に基づいて、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を算出する。これにより、天井搬送車の個体差を十分に考慮して、昇降台の昇降量に対する巻取ドラムの回転量を定めることができる。したがって、天井搬送車に個体差がある場合においても、所望の高さ位置に昇降台を確実に昇降させることが可能となる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、天井搬送車に個体差がある場合においても、所望の高さ位置に昇降台を確実に昇降させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、一実施形態に係る天井搬送車示す側面図である。

【図2】図２は、図１の昇降駆動ユニットの概略構成を示す図である。

【図3】図３（ａ）は、図１の天井搬送車において原点位置に昇降台が位置するときの巻取ドラムの回転量を取得する場合を説明する側面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）の続きを示す側面図である。

【図4】図４（ａ）は、図１の天井搬送車において第１～３データ取得用処理を説明するための側面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）の続きを示す側面図である。

【図5】図５は、巻取ドラムの回転量に対する昇降台の昇降量の誤差を示すグラフである。

【図6】図６（ａ）は、図１の天井搬送車において第１～３データ取得用処理を説明するための他の側面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）の続きを示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明の対象と必ずしも一致していない。

【0019】

図１に示されるように、一実施形態の天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道１００に沿って走行する。一実施形態の天井搬送車１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）（物品）２００の搬送、及び、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート（移載部）３００等に対するＦＯＵＰ２００の移載を行う。

【0020】

天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット３と、ラテラルユニット４と、シータユニット５と、昇降駆動ユニット６と、昇降台７と、コントローラ８と、を備える。フレームユニット２は、センターフレーム２１と、フロントフレーム２２と、リアフレーム２３と、を有する。フロントフレーム２２は、センターフレーム２１における前側の端部から下側に延在している。リアフレーム２３は、センターフレーム２１における後側の端部から下側に延在している。なお、前側及び後側は、天井搬送車１の走行方向における前側及び後側をそれぞれ意味する。

【0021】

走行ユニット３は、センターフレーム２１の上側に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道１００に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、軌道１００に沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム２１の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び昇降台７を横方向（天井搬送車１の走行方向における側方）に移動させる。シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、昇降駆動ユニット６及び昇降台７を水平面内において回動させる。

【0022】

昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、昇降台７を昇降させる。昇降台７は、昇降駆動ユニット６の下側に配置されている。昇降台７は、ＦＯＵＰ２００を移載する。昇降台７は、ＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１を保持する一対のグリッパ（把持部）７２を有する。一対のグリッパ７２は、水平方向に沿って開閉可能となるように支持されている。一対のグリッパ７２は、駆動モータ（図示省略）及びリンク機構（図示省略）によって開閉させられる。コントローラ８は、センターフレーム２１に配置されている。コントローラ８は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等によって構成された電子制御ユニットである。コントローラ８は、天井搬送車１の各部を制御する。

【0023】

以上のように構成された天井搬送車１は、一例として、次のように動作する。ロードポート３００から天井搬送車１にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１がロードポート３００の上方に停止する。昇降台７の水平位置がロードポート３００の真上の位置からずれている場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、昇降駆動ユニット６ごと昇降台７の水平位置及び角度を微調整する。続いて、昇降駆動ユニット６が昇降台７を下降させ、昇降台７が、ロードポート３００に載置されているＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１を保持する。続いて、昇降駆動ユニット６が昇降台７を原点位置（上昇端）まで上昇させて、フロントフレーム２２とリアフレーム２３との間にＦＯＵＰ２００を配置する。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１が走行を開始する。

【0024】

一方、天井搬送車１からロードポート３００にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１がロードポート３００の上方に停止する。昇降台７（ＦＯＵＰ２００）の水平位置がロードポート３００の真上の位置からずれている場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、昇降駆動ユニット６ごと昇降台７の水平位置及び角度を微調整する。続いて、昇降駆動ユニット６が昇降台７を下降させて、ロードポート３００にＦＯＵＰ２００を載置し、昇降台７がＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１の保持を解放する。続いて、昇降駆動ユニット６が昇降台７を上昇端まで上昇させる。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１が走行を開始する。

【0025】

次に、昇降駆動ユニット６の構成について説明する。図１及び図２に示されるように、昇降駆動ユニット６は、巻取ドラム６１と、モータ６２と、エンコーダ６３と、ベルトＢと、アイドラローラ６５Ａ，６５Ｂと、を有する。

【0026】

巻取ドラム６１は、モータ６２による駆動によってベルトＢのそれぞれを巻き取る又は繰り出しする巻取駆動部である。ここでの巻取ドラム６１は、４つ設けられている。モータ６２は、各巻取ドラム６１を回転させるための駆動源である。モータ６２は、例えば共通の回動軸（図示しない）を介して、四つの巻取ドラム６１を駆動する。

【0027】

エンコーダ６３は、モータ６２の回転量（駆動量）を検出する。エンコーダ６３は、モータ６２の回転量に関するカウント値をコントローラ８へ出力する。ベルトＢは、昇降台７を吊り下げて保持する吊持材である。ベルトＢは、４つ設けられている。各ベルトＢの一端は、昇降台７に接続されている。各ベルトＢの他端は、４つの巻取ドラム６１のそれぞれに接続されている。アイドラローラ６５Ａ，６５Ｂは、ベルトＢの移動を案内する。

【0028】

本実施形態において、コントローラ８は、巻取ドラム６１の回転量を制御することにより昇降台７の昇降量を制御する。コントローラ８は、天井搬送車１の個体値として、ベルトＢの全長の個体値、巻取ドラム６１の直径の個体値、及び、ベルトの厚みの個体値を算出する第１処理を実行する。巻取ドラム６１の回転量は、エンコーダ６３のカウント値に基づき取得することができる。

【0029】

第１処理では、昇降台７の昇降量が、ベルトＢの全長の個体値と巻取ドラム６１の直径の個体値とベルトＢの厚みの個体値とを係数として含む、巻取ドラム６１の回転量の二乗関数（最小二乗法による誤差補正関数）で近似されることを利用して、ベルトＢの全長の個体値、巻取ドラム６１の直径の個体値、及び、ベルトＢの厚みの個体値を算出する。第１処理では、昇降台７の昇降量及び当該昇降量のときの巻取ドラム６１の回転量からなるサンプルデータを２以上含むデータ群に基づいて、ベルトＢの全長の個体値、巻取ドラム６１の直径の個体値、及び、ベルトＢの厚みの個体値を算出する。

【0030】

まず、第１処理の原理を説明する。昇降台７の昇降量の基礎計算式は下式（８）であり、それを整理して下式（９）で表現できる。

【数3】

但し、
Ｌ：昇降台７の昇降量、ｎ：巻取ドラム６１の回転量、ｔ：ベルトＢの厚みの個体値、Ｄ：巻取ドラム６１の直径の個体値、Ｌ_０：ベルトＢの全長の個体値、ｎ_０：原点位置に昇降台７が位置するときの巻取ドラム６１の回転量。

【0031】

上式（８）より、パラメータＡ，Ｂ，Ｃを下式（１０）～（１２）とすると、昇降台７の昇降量Ｌは下式（１３）と表現することができる。また、巻取ドラム６１の回転量ｎ＝０のとき、昇降台７の昇降量Ｌ＝０であるため、パラメータＣ＝０が成立する。

【数4】

【0032】

近似関数のデータ群と二乗誤差の和Ｓとは、取得したサンプル数をＮ（２以上の整数）とすると、下式（１４）で表現することができる。このとき、誤差が最小となるパラメータＡ，Ｂを求めるため、下式（１５）に示されるように、δＳ／δＡ＝０及びδＳ／δＢ＝０となる。

【数5】

【0033】

下式（１６），（１７）の連立方程式から、下式（１８）～（２３）に示されるようにパラメータＡ，Ｂを求められる。したがって、パラメータＡ，Ｂの結果から、ベルトＢの厚みの個体値ｔと巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄとを算出できることがわかる。そして、パラメータＣ（上式（１２）参照）において、ベルトＢの厚みの個体値ｔと巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄを代入することで、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０を算出できることがわかる。

【数6】

但し、
ｔ：ベルトＢの厚みの個体値、Ｄ：巻取ドラム６１の直径の個体値、Ｌ_０：ベルトＢの全長の個体値、ｎ_０：原点位置に昇降台７が位置するときの巻取ドラム６１の回転量、Ｎ：サンプル数（２以上の整数）、ｎ_ｉ：第ｉサンプルにおける巻取ドラム６１の回転量、Ｌ_ｉ：第ｉサンプルにおける昇降台７の昇降量。

【0034】

そこで、本実施形態では、第１処理において、上式（１０）～（１３），（２２），（２３）に基づいて、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔを算出する。

【0035】

コントローラ８は、昇降台７の昇降量Ｌが入力された場合、第１処理で算出したベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ及びベルトＢの厚みの個体値ｔに基づいて、当該昇降量Ｌに対する巻取ドラム６１の回転量を算出する第２処理を実行する。第２処理では、上式（８）に基づいて、昇降台７の昇降量Ｌに対する巻取ドラム６１の回転量を算出する。そして、コントローラ８は、第２処理で算出した巻取ドラム６１の回転量に基づいてモータ６２の駆動を制御し、所望の高さ位置（例えば、昇降台７がロードポート３００のＦＯＵＰ２００を保持する高さ位置、及び、昇降台７がロードポート３００にＦＯＵＰ２００を載置する高さ位置）に昇降台７を昇降させる。

【0036】

コントローラ８は、原点位置に昇降台７が位置するときの巻取ドラム６１の回転量ｎ_０を取得する次の処理を実行する。すなわち、コントローラ８は、まず、図３（ａ）に示されるように、巻取ドラム６１からベルトＢの全てが引き出されるようにモータ６２を駆動させ、このときの巻取ドラム６１の回転量（エンコーダ６３のカウント値）を第１回転量として取得する。続いて、コントローラ８は、図３（ｂ）に示されるように、昇降台７が原点位置に位置するまでベルトＢが巻取ドラム６１に巻き取られるようにモータ６２を駆動させ、このときの巻取ドラム６１の回転量（エンコーダ６３のカウント値）を第２回転量として取得する。そして、コントローラ８は、第１回転量から第２回転量を減算した値を、原点位置に昇降台７が位置するときの巻取ドラム６１の回転量ｎ_０として取得する。

【0037】

コントローラ８は、第１～３データ取得用処理を実行することで、第１～第Ｎサンプルデータを含むデータ群を取得する。第ｉサンプルデータ（ｉは１～Ｎまでの整数）は、第ｉサンプルにおける巻取ドラム６１の回転量ｎ_ｉと第ｉサンプルにおける昇降台７の昇降量Ｌ_ｉとからなるデータである。以下、第１～３データ取得用処理に関して、具体的に説明する。

【0038】

図４（ａ）に示されるように、まず、昇降台７に第１計測用部材１１を保持させると共に、フロア３１上の第１計測用部材１１の直下に第２計測用部材１２を配置する。第１計測用部材１１は、一対のグリッパ７２で保持されるフランジ部を有する。第１計測用部材１１の下面は、平面を有する。第２計測用部材１２は、フロア３１上に載置される台座を構成する。第２計測用部材１２の上面は、平面を有する。第２計測用部材１２上には、センサ８１が設けられている。センサ８１は、第１計測用部材１１と第２計測用部材１２との間の距離を検出するセンサである。センサ８１としては、例えばレーザ光Ｌ１を出射するレーザ距離計が用いられている。センサ８１は、検出した距離に関するデータをコントローラ８に送信する。

【0039】

コントローラ８により第１データ取得用処理を実行する。第１データ用取得処理では、巻取ドラム６１が回転量ｎ_０となるようにモータ６２を制御して原点位置に昇降台７を位置させ、この状態において、センサ８１により検出した第１計測用部材１１と第２計測用部材１２との間の距離を第１距離として取得する。

【0040】

続いて、コントローラ８により第２データ取得用処理を実行する。第２データ取得用処理では、図４（ｂ）に示されるように、昇降台７を設定昇降量だけ昇降させた状態において、センサ８１により検出した距離を第２距離として取得すると共に、当該第２距離から第１距離を減算した値、及び、当該設定昇降量のときの巻取ドラム６１の回転量を、第１サンプルデータにおける昇降台７の昇降量及び巻取ドラム６１の回転量として取得する。そして、コントローラにより第３データ取得用処理を実行する。第３データ取得用処理では、第２データ取得用処理を設定昇降量を変更して繰り返し（Ｎ－１回）実行する。これにより、第１～第Ｎサンプルデータを取得する。ここでは、Ｎは４である。

【0041】

図２に示されるように、天井搬送車１は、複数回の第２データ取得用処理それぞれにおける設定昇降量を入力可能な入力部９を備える。入力部９としては特に限定されず、例えば外部から通信で各設定昇降量を入力させる通信機器であってもよいし、タッチ操作により各設定昇降量を入力させるタッチパネルであってもよい。

【0042】

以上、天井搬送車１では、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０と巻取ドラム６１の直径の個体値ＤとベルトＢの厚みの個体値ｔとを算出し、これらの個体値に基づいて、昇降台７の昇降量に対する巻取ドラム６１の回転量を算出する。これにより、天井搬送車１の個体差を十分に考慮して、昇降台７の昇降量に対する巻取ドラム６１の回転量を定めることができる。したがって、天井搬送車１に個体差がある場合においても、所望の高さ位置に昇降台７を確実に昇降させることが可能となる。

【0043】

本発明者等は、鋭意検討を重ねた結果、昇降台７の昇降量が、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０と巻取ドラム６１の直径の個体値ＤとベルトＢの厚みの個体値ｔとを係数として含む、巻取ドラム６１の回転量の二乗関数で近似されることを見出した。そこで、天井搬送車１において、第１処理では、当該近似を利用して、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔを算出する。これにより、これらの個体値を簡易且つ正確に求めることが可能となる。

【0044】

天井搬送車１において、第１処理では、昇降台７の昇降量及び当該昇降量のときの巻取ドラム６１の回転量からなるサンプルデータを２以上含むデータ群に基づいて、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔを算出する。これにより、これらの個体値をデータ群を用いて簡易且つ正確に求めることができる。

【0045】

天井搬送車１において、第１処理では、上式（１０）～（１３），（２２），（２３）に基づいて、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔを算出する。これにより、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔを、より簡易且つ正確に求めることができる。

【0046】

天井搬送車１では、コントローラ８は、原点位置に昇降台７を位置させた状態においてセンサ８１により検出した距離を第１距離として取得する第１データ取得用処理と、昇降台７を設定昇降量だけ昇降させた状態においてセンサ８１により検出した距離を第２距離として取得すると共に、第２距離から第１距離を減算した値、及び、当該設定昇降量のときの巻取ドラム６１の回転量をサンプルデータとして取得する第２データ取得用処理と、第２データ取得用処理を設定昇降量を変更して繰り返し実行する第３データ取得用処理と、を実行する。これにより、少なくとも２つのサンプルデータを自動取得することができる。

【0047】

天井搬送車１は、複数回の第２データ取得用処理それぞれにおける設定昇降量を入力可能な入力部９を備えている。この場合、入力部９を介して各設定昇降量を適宜に入力することができる。

【0048】

天井搬送車１において、第２処理では、上式（８）に基づいて、昇降台７の昇降量に対する巻取ドラム６１の回転量を算出する。これにより、昇降台７の昇降量に対する巻取ドラム６１の回転量を簡易且つ正確に求めることができる。

【0049】

以上のように構成された天井搬送車１では、次の巻取ドラム６１の回転量算出方法を実施する。すなわち、天井搬送車１の個体値として、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔを算出する（第１ステップ）。続いて、算出したベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔに基づいて、昇降台７の昇降量に対する巻取ドラム６１の回転量を算出する（第２ステップ）。

【0050】

天井搬送車１における巻取ドラム６１の回転量算出方法においても、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０と巻取ドラム６１の直径の個体値ＤとベルトＢの厚みの個体値ｔとを算出し、これらの個体値に基づいて、昇降台７の昇降量に対する巻取ドラム６１の回転量を算出する。これにより、天井搬送車１の個体差を十分に考慮して、昇降台７の昇降量に対する巻取ドラム６１の回転量を定めることができる。したがって、天井搬送車１に個体差がある場合においても、所望の高さ位置に昇降台７を確実に昇降させることが可能となる。

【0051】

図５は、巻取ドラム６１の回転量に対する昇降台７の昇降量の誤差を示すグラフである。横軸は、巻取ドラム６１の回転量（エンコーダ６３のカウント値）を示す。縦軸は、昇降台７の昇降量についての実測値と計算値との誤差（ｍｍ）を示す。図中において、Ｑ１が実施例に係る評価結果であり、Ｑ２が比較例に係る評価結果である。実施例は、本実施形態の天井搬送車１に対応する。比較例は、一般的な巻取ドラム６１の回転量算出方法（ベルトＢの全長、巻取ドラム６１の直径及びベルトＢの厚みを固定値とした回転量算出方法）を用いた従来の天井搬送車に対応する。

【0052】

図５に示されるように、実施例では、昇降台７の昇降量の誤差を抑制できることがわかる。これにより、実施例では、所望の高さ位置に昇降台７を確実に昇降できることがわかる。また、比較例では、昇降台７の昇降量の誤差が大きく、特に、巻取ドラム６１の回転量の増加とともに当該誤差が二乗関数的に大きくなる関係にあることがわかる。

【0053】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。上記実施形態では、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0054】

図６に示されるように、第１～３データ取得用処理では、昇降台７に第１計測用部材９１を保持させると共に、フロア３１上の第１計測用部材９１の直下に第２計測用部材９２を配置してもよい。この場合、第１計測用部材９１と第２計測用部材９２との間の距離を検出するセンサ８２を、第１計測用部材９１の下部に設けてもよい。センサ８２としては、例えばレーザ光Ｌ２を出射するレーザ距離計を用いてもよい。

【0055】

上記実施形態では、第１～第３データ取得用処理によりサンプルデータを自動取得させたが、これに限定されず、ユーザの入力によりサンプルデータを取得してもよいし、外部からの通信によりサンプルデータを取得してもよい。また、原点位置に昇降台７が位置するときの巻取ドラム６１の回転量ｎ_０についても同様に、ユーザの入力により取得してもよいし、外部からの通信により取得してもよい。上記実施形態では、三本又は五本以上のベルトＢによって昇降台７を吊り下げてもよい。

【0056】

上記実施形態では、上式（１０）～（１３），（２２），（２３）に基づいて、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔを算出したが、これに限定されない。上式（１０）～（１３），（２２），（２３）とは別の近似関数を用いて、ベルトＢの全長の個体値Ｌ_０、巻取ドラム６１の直径の個体値Ｄ、及び、ベルトＢの厚みの個体値ｔを算出してもよい。

【0057】

上記実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。

【符号の説明】

【0058】

１…天井搬送車、６１…巻取ドラム、７…昇降台、８…コントローラ、９…入力部、１１，９１…第１計測用部材、１２，９２…第２計測用部材、８１，８２…センサ、２００…ＦＯＵＰ（物品）、Ｂ…ベルト（吊持材）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】