特許 7312011 マスク製造方法及びマスク製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-11

(45)【発行日】2023-07-20

(54)【発明の名称】マスク製造方法及びマスク製造装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20230712BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20230712BHJP

   H10K 50/10 20230101ALI20230712BHJP

   C23C 14/24 20060101ALI20230712BHJP

【ＦＩ】

C23C14/04 A

H05B33/10

H05B33/14 A

C23C14/24 G

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2019089005

(22)【出願日】2019-05-09

(65)【公開番号】P2020183570

(43)【公開日】2020-11-12

【審査請求日】2022-04-26

(73)【特許権者】

【識別番号】510281944

【氏名又は名称】新東エスプレシジョン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112427

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 芳洋

(72)【発明者】

【氏名】畠山 直樹

(72)【発明者】

【氏名】川本 晃裕

【審査官】山本 一郎

(56)【参考文献】

【文献】特表２０２０－５２７７４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／０４

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

Ｈ１０Ｋ ５０／１０

Ｃ２３Ｃ １４／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接することによりメタルマスクを製造するマスク製造方法であって、
前記メタルマスクフレームをテーブルに載置した状態で、前記メタルマスクフレームの側部を前記メタルマスクフレームに形成されている開口部に向けて押圧することにより、前記メタルマスクフレームを変形させる押圧工程と、
前記側部を押圧した状態で、前記テーブルに形成された気体孔から供給される気体を前記メタルマスクフレームの下面に噴射する噴射工程と、
前記噴射工程による前記気体の噴射を停止する停止工程と、
前記メタルマスクフレームの変形量を計測する計測工程と、
前記変形量が所定範囲内であるか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程において前記変形量が前記所定範囲内であると判定された場合、前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する溶接工程と、
を含むことを特徴とするマスク製造方法。

【請求項2】

前記噴射工程は、前記気体孔から供給された前記気体を前記テーブル上に形成された流路溝を介して前記メタルマスクフレームの下面に噴射することを特徴とする請求項１記載のマスク製造方法。

【請求項3】

前記判定工程において前記変形量が前記所定範囲内でないと判定された場合、前記判定工程による判定結果に基づいて前記押圧工程による押圧力を調整する調整工程を含み、
前記調整工程により調整された前記押圧力で前記押圧工程、前記噴射工程、前記停止工程及び前記計測工程を再度行なうことを特徴とする請求項１または請求項２記載のマスク製造方法。

【請求項4】

前記メタルマスクは、複数の前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接することにより製造され、
前記押圧工程、前記噴射工程、前記停止工程及び前記計測工程は、前記溶接工程において前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する度に行なうことを特徴とする請求項１～請求項３の何れか一項に記載のマスク製造方法。

【請求項5】

帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接してメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、
前記メタルマスクフレームを載置するテーブルと、
前記メタルマスクフレームの側部を前記メタルマスクフレームに形成されている開口部に向けて押圧することにより、前記メタルマスクフレームを変形させる押圧部と、
前記テーブルに形成された気体孔から前記テーブル上に形成された流路溝を介して、気体を前記押圧部により変形された前記メタルマスクフレームの下面に噴射する噴射部と、
前記噴射部による前記気体の噴射を停止した後に前記メタルマスクフレームの変形量を計測する計測部と、
前記変形量が所定範囲内であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部において前記変形量が前記所定範囲内であると判定された場合、前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する溶接部と、
を備えることを特徴とするマスク製造装置。

【請求項6】

前記判定部において前記変形量が前記所定範囲内でないと判定された場合、前記押圧部は前記メタルマスクフレームの側部を、調整変更された押圧力で再度押圧し、前記噴射部は前記気体を前記メタルマスクフレームの下面に再度噴射し、前記計測部は前記変形量を再度計測することを特徴とすることを特徴とする請求項５記載のマスク製造装置。

【請求項7】

前記メタルマスクは、複数の前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接することにより製造され、
前記溶接部において前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する度に、前記押圧部は前記メタルマスクフレームの側部を押圧し、前記噴射部は前記気体を前記メタルマスクフレームの下面に噴射し、前記計測部は前記変形量を計測し、前記判定部は前記変形量が前記所定範囲内であるか否かを判定することを特徴とする請求項５または請求項６記載のマスク製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、メタルマスクを製造するためのマスク製造方法及びマスク製造装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクを製造する際に、張力装置で帯状のメタルマスクシートに一定の張力を付与することにより歪みや弛みのない状態でメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに貼り付けるマスク製造装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１５－１０１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載のマスク製造装置においては、メタルマスクシートをメタルマスクフレームに貼り付ける際、貼付の前後におけるメタルマスクフレームの変形を防止するために、予めメタルマスクフレームの両側部をメタルマスクフレームの開口部に向けて押圧することによりメタルマスクフレームを変形させる。このとき、メタルマスクフレームをテーブル上に載置した状態で、メタルマスクフレームを押圧し変形させているため、メタルマスクフレームとテーブルとの間の摩擦力やメタルマスクフレームの摩擦力に対する応力等によりメタルマスクフレームが所望の形状とならず、メタルマスクを設計通りに製造することができないという問題があった。

【0005】

本発明の目的は、メタルマスクの寸法精度を向上させることができるマスク製造方法及びマスク製造装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のマスク製造方法は、帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接することによりメタルマスクを製造するマスク製造方法であって、前記メタルマスクフレームをテーブルに載置した状態で、前記メタルマスクフレームの側部を前記メタルマスクフレームに形成されている開口部に向けて押圧することにより、前記メタルマスクフレームを変形させる押圧工程と、前記側部を押圧した状態で、前記テーブルに形成された気体孔から供給される気体を前記メタルマスクフレームの下面に噴射する噴射工程と、前記噴射工程による前記気体の噴射を停止する停止工程と、前記メタルマスクフレームの変形量を計測する計測工程と、前記変形量が所定範囲内であるか否かを判定する判定工程と、前記判定工程において前記変形量が前記所定範囲内であると判定された場合、前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する溶接工程と、を含むことを特徴とする。

【0007】

また、本発明のマスク製造方法は、前記噴射工程が前記気体孔から供給された前記気体を前記テーブル上に形成された流路溝を介して前記メタルマスクフレームの下面に噴射することを特徴とする。

【0008】

また、本発明のマスク製造方法は、前記判定工程において前記変形量が前記所定範囲内でないと判定された場合、前記判定工程による判定結果に基づいて前記押圧工程による押圧力を調整する調整工程を含み、前記調整工程により調整された前記押圧力で前記押圧工程、前記噴射工程、前記停止工程及び前記計測工程を再度行なうことを特徴とする。

【0009】

また、本発明のマスク製造方法は、前記メタルマスクが複数の前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接することにより製造され、前記押圧工程、前記噴射工程、前記停止工程及び前記計測工程は、前記溶接工程において前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する度に行なうことを特徴とする。

【0010】

また、本発明のマスク製造装置は、帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接してメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、前記メタルマスクフレームを載置するテーブルと、前記メタルマスクフレームの側部を前記メタルマスクフレームに形成されている開口部に向けて押圧することにより、前記メタルマスクフレームを変形させる押圧部と、前記テーブルに形成された気体孔から前記テーブル上に形成された流路溝を介して、気体を前記押圧部により変形された前記メタルマスクフレームの下面に噴射する噴射部と、前記噴射部による前記気体の噴射を停止した後に前記メタルマスクフレームの変形量を計測する計測部と、前記変形量が所定範囲内であるか否かを判定する判定部と、前記判定部において前記変形量が前記所定範囲内であると判定された場合、前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する溶接部と、を備えることを特徴とする。

【0011】

また、本発明のマスク製造装置は、前記判定部において前記変形量が前記所定範囲内でないと判定された場合、前記押圧部は前記メタルマスクフレームの側部を、調整変更された押圧力で再度押圧し、前記噴射部は前記気体を前記メタルマスクフレームの下面に再度噴射し、前記計測部は前記変形量を再度計測することを特徴とする。

【0012】

また、本発明のマスク製造装置は、前記メタルマスクが複数の前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接することにより製造され、前記溶接部において前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する度に、前記押圧部は前記メタルマスクフレームの側部を押圧し、前記噴射部は前記気体を前記メタルマスクフレームの下面に噴射し、前記計測部は前記変形量を計測し、前記判定部は前記変形量が前記所定範囲内であるか否かを判定することを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

本発明のマスク製造方法及びマスク製造装置によれば、メタルマスクの寸法精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】実施の形態に係るマスク製造装置の概略構成を示す斜視図である。

【図2】実施の形態に係るメタルマスクの構成を説明するための図である。

【図3】実施の形態に係るテーブルの構成を示す平面図である。

【図4】実施の形態に係る噴射部の構成を説明するための図である。

【図5】実施の形態に係る押圧部の構成を説明するための図である。

【図6】実施の形態に係るマスク製造装置のシステム構成を示すブロック図である。

【図7】実施の形態に係るマスク製造方法について説明するためのフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係るマスク製造装置について、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクを製造するメタルマスク製造装置を例に挙げて説明する。図１は、この実施の形態に係るメタルマスク製造装置の概略構成を示す斜視図である。なお、以下の説明においては、図１に示すＸＹＺ直交座標系を設定し、この直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係等について説明する。ＺＸ平面は、メタルマスク製造装置を載置する水平面に平行な面に設定されており、Ｙ軸は、鉛直方向に設定されている。

【0016】

メタルマスク製造装置２は、帯状のメタルマスクシート１８（図２参照）を枠状のメタルマスクフレーム２０（図２参照）に溶接することによりメタルマスク１６（図２参照）を製造するための装置であって、図１に示すように、テーブル４、押圧部５ａ～５ｆ、張力部６、計測部９、溶接部１０、及び基台１４を備えている。図２は、実施の形態に係るメタルマスク製造装置２により製造されるメタルマスク１６を示す図である。図２に示すように、メタルマスク１６は、複数のメタルマスクシート１８の両端部をメタルマスクフレーム２０の対向する二辺に順次溶接することにより製造され、有機ＥＬ素子の製造工程において有機材の真空蒸着を行う際に使用される。メタルマスクシート１８には、複数の正方形状、円形状、長方形状等の開口パターンがエッチングなどにより形成されている。

【0017】

図３はメタルマスク製造装置２のテーブル４の構成を示す平面図である。テーブル４は、メタルマスクフレーム２０を載置するためのテーブルであって、図３に示すように、矩形状のガラステーブル２２及びメタルマスクフレーム２０を載置するセラミック製のフレーム２４を備えている。フレーム２４の中央部には矩形状の開口部が形成されており、開口部にはガラステーブル２２が配置される。フレーム２４には、エアーを噴射する噴射部２６（図６参照）が設けられている。噴射部２６は、複数のバルブ２８ａ～２８ｄ、複数の気体孔３０ａ～３０ｄ、及び複数の流路溝３２ａ～３２ｄを備えている。噴射部２６は、メタルマスクシート２０をテーブル４（フレーム２４）に載置した状態で、気体孔３０ａ～３０ｄから流路溝３２ａ～３２ｄを介して、エアーを押圧部５ａ～５ｆにより変形されたメタルマスクフレーム２０の下面に噴射する。

【0018】

エアーはバルブ２８ａ～２８ｄから供給され、２個のバルブ２８ａはフレーム２４の＋Ｚ方向側の側面に、２個のバルブ２８ｂはフレーム２４の－Ｚ方向側の側面に、２個のバルブ２８ｃはフレーム２４の＋Ｘ方向側の側面に、２個のバルブ２８ｄはフレーム２４の－Ｘ方向側の側面にそれぞれ設けられている。

【0019】

また、気体孔３０ａ～３０ｄは、バルブ２８ａ～２８ｄから供給されたエアーをフレーム２４の表面（＋Ｙ方向側の面）へと導く流路である。６個の気体孔３０ａはフレーム２４の＋Ｚ方向側に、６個の気体孔３０ｂはフレーム２４の－Ｚ方向側に、８個の気体孔３０ｃはフレーム２４の＋Ｘ方向側に、８個の気体孔３０ｄはフレーム２４の－Ｘ方向側にそれぞれ設けられている。

【0020】

また、流路溝３２ａ～３２ｄは、気体孔３０ａ～３０ｄを経たエアーをフレーム２４の表面内において流す溝である。６個の流路溝３２ａはフレーム２４の＋Ｚ方向側の表面に、６個の流路溝３２ｂはフレーム２４の－Ｚ方向側の表面に、８個の流路溝３２ｃはフレーム２４の＋Ｘ方向側の表面に、８個の流路溝３２ｄはフレーム２４の－Ｘ方向側の表面にそれぞれ設けられている。

【0021】

なお、この実施の形態においては、８個のバルブ２８ａ～２８ｄを備えているが７個以下９個以上であってもよい。同様に、２８個の気体孔３０ａ～３０ｄを備えているが２７個以下２９個以上であってもよく、２８個の流路溝３２ａ～３２ｄを備えているが２７個以下２９個以上であってもよい。

【0022】

図４は、噴射部２６（バルブ２８ａ、気体孔３０ａ及び流路溝３２ａ）の構成について説明するための拡大図である。バルブ２８ａから供給されたエアーは、気体孔３０ａを介してフレーム２４の表面から排出され、フレーム２４の表面に形成されている流路溝３２ａを流れ、流路溝３２ａから＋Ｙ方向に向けて噴射する。即ち、エアーは、フレーム２４の表面からフレーム２４上に載置されるメタルマスクフレーム２０の下面に噴射される。メタルマスクフレーム２０は、その下面にエアーが噴射されることによりテーブル４（フレーム２４）から押し上げられる。なお、流路溝３２ａは、フレーム２４の表面に設けられているネジ穴等を回避する領域且つ機械加工可能な領域に設けられ、流路溝３２ａの面積（流路溝３２ａの幅）及び流路溝３２ａの深さは、メタルマスクフレーム２０を適度に押し上げることができるように、製造されるメタルマスク１６毎に設計される。また、この実施の形態においては、噴射部２６がエアー（空気）を噴射する場合を例に挙げて説明したが、エアー以外の気体を噴射する構成であってもよい。

【0023】

押圧部５ａ～５ｆは、メタルマスクフレーム２０の側部をメタルマスクフレーム２０に形成されている開口部に向けて押圧することにより、メタルマスクフレーム２０を変形させる。具体的には、押圧部５ａ～５ｃは、メタルマスクフレーム２０の＋Ｘ方向側の側部を－Ｘ方向側に向けて押圧し、メタルマスクフレーム２０の＋Ｘ方向側の側部を－Ｘ方向側に撓ませる。押圧部５ｄ～５ｆは、メタルマスクフレーム２０の－Ｘ方向側の側部を＋Ｘ方向側に向けて押圧し、メタルマスクフレーム２０の－Ｘ方向側の側部を＋Ｘ方向側に撓ませる。

【0024】

図５は、押圧部５ａの構成を説明するための図である。押圧部５ａは、図５に示すように、モーター３４、ローラーユニット３６及び押付ユニット３８を備えている。ローラーユニット３６は、モーター３４が駆動することにより±Ｙ方向に移動する。ローラーユニット３６は押付ユニット３８と接する部分（－Ｘ方向側）にくさび形状部を有し、押付ユニット３８はローラーユニット３６と接する部分（＋Ｘ方向側）にくさび形状部を有する。したがって、ローラーユニット３６が＋Ｙ方向に移動すると押付ユニット３８は－Ｘ方向に移動する。また、押付ユニット３８はメタルマスクフレーム２０と接する部分（－Ｘ方向側）にＬ字形状部を有する。したがって、押付ユニット３８は－Ｘ方向に移動すると、押付ユニット３８のＬ字形状部に載置されたメタルマスクフレーム２０が押付ユニット３８により－Ｘ方向に押圧される。押付ユニット３８のメタルマスクフレーム２０を押圧する面にはロードセル４０が設けられている。ロードセル４０は、押付ユニット３８によりメタスマスクフレーム２０を押圧する押圧力を制御する。なお、押圧部５ｂ及び５ｃの構成は、押圧部５ａの構成と同一である。また、押圧部５ｄ～５ｆの構成は、テーブル４のＺ軸方向の中心線を線対称として押圧部５ａの構成と同一である。

【0025】

張力部６は、メタルマスクシート１８の両端部を互いに離間させる方向（±Ｘ方向）に移動させることによりメタルマスクシート１８に所定の張力を付与する。張力部６は、±Ｚ方向にスライド可能に構成されており、メタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２に溶接される際に溶接箇所までスライド移動する。

【0026】

計測部９は、メタルマスクフレーム２０の変形量、即ち押圧部５ａ～５ｆにより押圧されたメタルマスクフレーム２０側部の撓み量を計測する。溶接部１０は、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接する。計測部９及び溶接部１０は、±Ｘ方向及び±Ｚ方向にスライド可能に構成されており、計測部９が計測する際には計測箇所まで、溶接部１０が溶接する際には溶接箇所までスライド移動する。

【0027】

図６は、マスク製造装置２のシステム構成を示すブロック図である。マスク製造装置２は、図６に示すように、マスク製造装置２の各部を統括的に制御する制御部５０を備えている。制御部５０には、押圧部５ａ～５ｆ、噴射部２６、張力部６、計測部９及び溶接部１０がそれぞれ接続されている。

【0028】

制御部５０は、メタルマスクフレーム２０がテーブル４に載置されると、押圧部５ａ～５ｆ（ロードセル４０）に対してメタルマスクフレーム２０の側部をメタルマスクフレーム２０に形成されている開口部に向けて押圧するよう指示する制御信号を出力する。制御部５０は、１枚目（ｎ枚目：ｎは自然数）のメタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に溶接された後であって、２枚目（ｎ＋１枚目）のメタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に溶接される前においても、押圧部５ａ～５ｆに対してメタルマスクフレーム２０の側部を押圧するよう指示する制御信号を出力する。制御部５０は、メタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に溶接される箇所によって、押圧部５ａ～５ｆそれぞれの押圧力を調整する。例えば、メタルマスクシート１８の溶接箇所がメタルマスクフレーム２０の中央部である場合には押圧部５ｂ及び５ｅの押圧力を押圧部５ａ，５ｃ，５ｄ，５ｆの押圧力より強くし、メタルマスクシート１８の溶接箇所がメタルマスクフレーム２０の＋Ｚ方向側である場合には押圧部５ａ及び５ｄの押圧力を押圧部５ｂ，５ｃ，５ｅ，５ｆの押圧力より強くする。

【0029】

また、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０を変形させた後、噴射部２６に対してエアーを噴射するよう指示する制御信号を出力する。制御部５０は、メタルマスクフレーム２０が押圧部５ａ～５ｆにより押圧される毎に、噴射部２６に対してエアーを噴射するよう指示する制御信号を出力する。また、制御部５０は、噴射部２６により噴射されるエアーの流量及び圧力等を調整する。また、制御部５０は、噴射部２６によるエアー噴射の停止を制御する。

【0030】

また、制御部５０は、噴射部２６によるエアーの噴射を停止した後、計測部９に対してメタルマスクフレーム２０の変形量を計測するよう指示する制御信号を出力する。また、制御部５０は、計測部９による計測結果を取得し、計測部９により計測されたメタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であるか否かを判定する。所定範囲は、製造されるメタルマスク１６毎に予め設定されている。

【0031】

また、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であると判定された場合、張力部６に対してメタルマスクシート１８に所定の張力を付与するよう指示する制御信号を出力する。そして、制御部５０は、溶接部１０に対してメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接するよう指示する制御信号を出力する。

【0032】

次に、図面を参照して、この実施の形態に係るメタルマスク製造装置２において、メタルマスク１６を製造するメタルマスク製造方法について説明する。図７は、メタルマスク製造装置２においてメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接する際の処理について説明するためのフローチャートである。

【0033】

まず、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０をテーブル４（フレーム２４）に載置する（ステップＳ１０）。次に、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０をテーブル４に載置した状態で、押圧部５ａ～５ｆを用いてメタルマスクフレーム２０の±Ｘ方向の両側部をメタルマスクフレーム２０に形成されている開口部に向けて（±Ｘ方向に）押圧することにより、メタルマスクフレーム２０を変形させる（ステップＳ１１）。具体的には、制御部５０は、押圧部５ａ～５ｆそれぞれに対して所定の押圧力で押圧するよう指示する制御信号を出力する。所定の押圧力は、メタルマスクシート１８が溶接される箇所に基づいて、押圧力５ａ～５ｆそれぞれに対して個別に設定されている。各押圧部５ａ～５ｆは、メタルマスクフレーム２０の側部を各々設定された押圧力で押圧する。

【0034】

次に、制御部５０は、噴射部２６を用いて、メタルマスクフレーム２０の±Ｘ方向の両側部を押圧した状態で、気体孔３０ａ～３０ｄ及び流路溝３２ａ～３２ｄから供給されるエアーをメタルマスクフレーム２０の下面に噴射する（ステップＳ１２）。具体的には、制御部５０は、噴射部２６に対してエアーを噴射するよう指示する制御信号を出力する。噴射部２６は、バルブ２８ａ～２８ｄから気体孔３０ａ～３０ｄを通過して流路溝３２ａ～３２ｄを介して供給されるエアーをメタルマスクフレーム２０の下面に噴射する。エアーはフレーム２４表面の広範囲に形成された流路溝３２ａ～３２ｄから噴射されるため、メタルマスクフレーム２０は、下面の略全域にエアーを噴射され、テーブル４（フレーム２４）から押し上げられる。メタルマスクフレーム２０がテーブル４（フレーム２４）から押し上げられることにより、メタルマスクフレーム２０の下面とフレーム２４の表面との間の摩擦力やメタルマスクフレーム２０の摩擦力に対する応力が除去される。

【0035】

次に、制御部５０は、摩擦力や摩擦力に対する応力が除去されるのに十分な時間が経過した後、噴射部２６によるエアーの噴射を停止する（ステップＳ１３）。具体的には、制御部５０は、噴射部２６に対してエアーの噴射を停止するよう指示する制御信号を出力する。噴射部２６は、バルブ２８ａ～２８ｄによるエアーの供給を停止する。

【0036】

次に、制御部５０は、計測部９を用いて、メタルマスクフレーム２０の変形量を計測する（ステップＳ１４）。具体的には、制御部５０は、計測部９に対してメタルマスクフレーム２０の変形量を計測するよう指示する制御信号を出力する。計測部９は、計測箇所までスライド移動し、メタルマスクフレーム２０の変形量を計測し、計測結果を制御部５０に対して出力する。

【0037】

次に、制御部５０は、計測部９より取得した計測結果に基づいて、メタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ１５）。ステップＳ１５においてメタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内でないと判定された場合には（ステップＳ１５，Ｎｏ）、制御部５０は、ステップＳ１５における判定結果（計測部９による計測結果）に基づいて、押圧部５ａ～５ｆによるメタルマスクフレーム２０の両側部への押圧力を調整する（ステップＳ１６）。即ち、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０が所望の形状となるように、押圧部５ａ～５ｆそれぞれの押圧力を調整する。そして、制御部５０は、ステップＳ１１の処理に戻り、ステップＳ１１～Ｓ１６の処理を再度実行する。即ち、制御部５０は、ステップＳ１６において調整変更された押圧力でメタルマスクフレーム２０の両側部を押圧し（ステップＳ１１）、メタルマスクフレーム２０の下面にエアーを噴射し（ステップＳ１２）、エアー噴射を停止し（ステップＳ１３）、メタルマスクフレーム２０の変形量を計測し（ステップＳ１４）、メタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ１５）。制御部５０は、ステップＳ１６においてメタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であると判定されるまで、ステップＳ１１～Ｓ１６の処理を繰り返す。

【0038】

一方、ステップＳ１５においてメタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であると判定された場合には（ステップＳ１５，Ｙｅｓ）、制御部５０は、張力部６及び溶接部１０を用いて、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０の所定の位置に溶接する（ステップＳ１７）。具体的には、制御部５０は、張力部６に対してメタルマスクシート１８に所定の張力を付与するよう指示する制御信号を出力する。張力部６は、メタルマスクシート１８に所定の張力を付与し、溶接箇所までスライド移動する。更に、制御部５０は、溶接部１０に対してメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接するよう指示する制御信号を出力する。溶接部１０は、溶接箇所までスライド移動し、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０の所定の箇所に溶接する。

【0039】

次に、制御部５０は、すべてのメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接し終えたか否かを判定する（ステップＳ１８）。すべてのメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接し終えてないと判定した場合には（ステップＳ１８、Ｎｏ）、制御部５０は、ステップＳ１１の処理に戻り、すべてのメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接し終えたと判定されるまで（ステップＳ１８、Ｙｅｓ）、ステップＳ１１～Ｓ１７の処理を繰り返す。すべてのメタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に溶接されることにより、図２に示すようなメタルマスク１６が製造される。

【0040】

この実施の形態に係るメタルマスク製造装置２及びメタルマスク製造方法によれば、噴射部２６を備えているため、メタルマスクフレーム２０の側部を押圧してメタルマスクフレーム２０を変形させた後、メタルマスクフレーム２０をテーブル４から押し上げることができる。したがって、メタルマスクフレーム２０とテーブル４との間の摩擦力やメタルマスクフレーム２０の摩擦力に対する応力を取り除くことができるため、摩擦力や応力の影響によりメタルマスク１６を設計通りに製造することができないという問題を解消することができ、メタルマスク１６の寸法精度を向上させることができる。

【符号の説明】

【0041】

２…メタルマスク製造装置、４…テーブル、５ａ～５ｆ…押圧部、６…張力部、９…計測部、１０…溶接部、１４…基台、１６…メタルマスク、１８…メタルマスクシート、２０…メタルマスクフレーム、２２…ガラステーブル、２４…フレーム、２６…噴射部、２８ａ～２８ｄ…バルブ、３０ａ～３０ｄ…気体孔、３２ａ～３２ｄ…流路溝、３４…モーター、３６…ローラーユニット、３８…押付ユニット、４０…ロードセル、５０…制御部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】