特許7312421IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

基板上に複数のチップが搭載されたワークを、各チップ表面を露出させて樹脂モールドするモールド金型、樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法並びにこれらの装置及び方法に用いられる搬送具

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

チップ表面を一旦モールド樹脂で覆った後、チップ表面を切削等(化学的に除去する場合も含む)で露出させる場合、モールド樹脂に混入したフィラーなどによりチップとモールド樹脂の境が破損するおそれがある。また、切削時のチップ欠けや応力による反りが発生し易くなっていた。近年のようにより薄い製品が望まれてきている為、この製造方法による不具合がより注目されるようになってきた。 また、チップを露出させて樹脂成形する例として、特許文献1のように、チップをバネによりクランプした後で下型のキャビティ外よりモールド樹脂が溶融され、キャビティ内に送られ、加圧するため、ワーク端を樹脂が跨ぐことによるワーク側面に樹脂バリが発生する。また、キャビティ外に不要樹脂が残る為、成形後当該不要樹脂を取り除かなければならない。また、チップの高さが異なる場合に追従できていないため、チップ上に樹脂フラッシュが発生していた。 また、特許文献2のように下型キャビティ内でチップの周囲にモールド樹脂を配置して加圧駒で加圧する場合、チップ同士を極めて近接して配置するため、加圧駒の設置スペースが確保できない場合もあり、かつフィルムを下型キャビティ内に多数存在する凹凸面に追従して吸着保持できるか否かは不透明である。仮にフィルムの伸びが大きくなる場合には、破損するおそれもある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

以下に述べるいくつかの実施形態に適用される開示は、課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、チップ表面を確実に露出させて樹脂モールドすることができるモールド金型、樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法並びにこれらの装置及び方法に最適な搬送具を提供することにある。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

チップの表面を確実に露出させて樹脂モールドすることができるモールド金型、樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法を提供することができる。また、これらの装置及び方法に用いられ、モールド樹脂及びフィルムを効率よく供給する搬送具を提供することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第一実施例に係るモールド金型の断面説明図である。
【図2】 図1に続くモールド金型の断面説明図である。
【図3】 図2に続くモールド金型の断面説明図である。
【図4】 図3に続くモールド金型の断面説明図である。
【図5】 図4に続くモールド金型の断面説明図である。
【図6】 図5に続くモールド金型の断面説明図である。
【図7】 図6に続くモールド金型の断面説明図である。
【図8】 下型の平面図である。
【図9】 搬送具の平面図である。
【図10】 チップ押さえ駒の他例を示す金型断面説明図である。
【図11】 図11Aは搬送具の他例を示す平面図、図11Bはチップと搬送具の樹脂投入孔の配置を示す透視図である。
【図12】 成形品の一例を示す平面図である。
【図13】 第二実施例に係るモールド金型の断面説明図である。
【図14】 図13に続くモールド金型の断面説明図である。
【図15】 下型の平面図である。
【図16】 第三実施例に係るモールド金型の断面説明図である。
【図17】 図16に続くモールド金型の断面説明図である。
【図18】 第四実施例に係るモールド金型の断面説明図である。
【図19】 図18の上型クランプ面の平面図である。
【図20】 図18の搬送具及び下型クランプ面の平面図である。
【図21】 他例に係る搬送具及び下型クランプ面の平面図である。
【図22】 他例に係る搬送具及び下型クランプ面の平面図である。
【図23】 他例に係る搬送具及び下型クランプ面の平面図である。
【図24】 第五実施例に係るモールド金型の断面説明図である。
【図25】 図25の搬送具及び下型クランプ面の平面図である。
【図26】 第六実施例に係るモールド金型の断面図及び上型クランプ面の平面図である。
【図27】 図26の搬送具及び下型クランプ面の平面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

1 モールド金型 K 基板 T チップ R モールド樹脂 E チップ搭載エリア F フィルム L ワークエリア 2,6 上型 2A 上型ベース 2B 上型ブロック 2D,7B プランジャ 2a,6a 上型クランプ面 2b,3q,6b ワーク吸着部 2c 上外壁 2d,3a 第一コイルばね 2e,3c チップ押さえ支持部 2f,3e 吊り下げピン 2g,3d チップ押さえ駒 2h,3f 第二コイルばね 2i ポットブロック 2j,7a,7d コイルばね 2k 上型クランパ 2m,3j,3n,5d,6c,7h 吸着孔 3,7 下型 3A,7A 下型ベース 2C,3B 連結板 3C 下型ブロック 3b 第一加圧駒 3g 第二加圧駒 7i 加圧駒 3h,7c 下型クランパ 3i 凹部 3k 下外壁 3m 吸引孔 3p 下型クランプ面 4 ワークローダ 5 搬送具 5a 搬送具本体 5b 貫通孔 5c 樹脂収容部 7b チップ押さえ駒 7e ポット孔 7f 下型カル 7g 下型ランナゲート 8 シール材

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