特許 7313229 処理システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-13

(45)【発行日】2023-07-24

(54)【発明の名称】処理システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230714BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20230714BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2019145018

(22)【出願日】2019-08-07

(65)【公開番号】P2021027210

(43)【公開日】2021-02-22

【審査請求日】2022-08-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】小林 敏之

(72)【発明者】

【氏名】細川 正己

(72)【発明者】

【氏名】河原 啓之

(72)【発明者】

【氏名】橋本 光治

(72)【発明者】

【氏名】菊本 憲幸

(72)【発明者】

【氏名】墨 周武

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１８２８１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１８３６６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２８２６６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２０７６０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－９２３３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－３２８７７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ ９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置と、前記処理装置からの前記処理対象物の搬出および前記処理装置への前記処理対象物の搬入の少なくともいずれか一方を行う搬送ロボットとを備え、
前記処理装置には、前記処理装置の内部と前記処理装置の外部との間で前記処理対象物を搬送するための開口部が形成され、
前記搬送ロボットは、前記処理対象物が載置されるハンドと、一定方向を向いた状態の前記ハンドを直線的に移動させるハンド移動機構と、前記ハンドよりも下側に配置され前記処理対象物からの落下物を受けるための受け部材と、前記受け部材の少なくとも一部を前記ハンドの往復移動方向に移動させる受け部材移動機構とを備え、
前記ハンド移動機構は、前記開口部から前記処理装置に入り込んだ前記ハンドが前記処理装置の内部に配置される第１位置と、前記ハンドが前記処理装置の外部に配置される第２位置との間で前記ハンドを移動させ、
前記受け部材は、前記第２位置に配置された前記ハンドに載置される前記処理対象物の下側に少なくとも配置され、
前記受け部材移動機構は、前記開口部から前記処理装置に入り込んだ前記受け部材の一部が前記処理装置の内部に配置される第３位置と、前記受け部材が前記処理装置の外部に配置される第４位置との間で前記受け部材の少なくとも一部を移動させるとともに、少なくとも前記処理対象物が載置された状態の前記ハンドが前記第１位置と前記第２位置との間を移動するときに、前記受け部材の少なくとも一部を前記第３位置に移動させることを特徴とする処理システム。

【請求項2】

前記第１位置から前記第２位置に向かって移動する前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記ハンドの往復移動方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記搬送ロボットは、前記第２位置に配置される前記ハンドを上下方向の両側、第２方向の両側および第１方向側から覆うカバー部材を備え、
前記カバー部材の底部が前記受け部材となっていることを特徴とする請求項１記載の処理システム。

【請求項3】

前記カバー部材は、固定カバーと、前記固定カバーに対して移動可能な可動カバーとを備え、
前記受け部材移動機構は、少なくとも前記処理対象物が載置された状態の前記ハンドが前記第１位置と前記第２位置との間を移動するときに、前記可動カバーを前記第３位置に移動させて、前記可動カバーの一部を前記処理装置の内部に配置することを特徴とする請求項２記載の処理システム。

【請求項4】

前記搬送ロボットは、前記カバー部材の内部から空気を吸引する吸引機構を備えることを特徴とする請求項２または３記載の処理システム。

【請求項5】

前記カバー部材は、金属で形成されていることを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の処理システム。

【請求項6】

前記受け部材移動機構は、エアシリンダを備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の処理システム。

【請求項7】

前記ハンド移動機構は、前記ハンドが先端側に回動可能に連結される多関節アームと、前記多関節アームを伸縮させるアーム駆動機構とを備え、
前記第１位置は、前記多関節アームが所定位置まで伸びているときの前記ハンドの位置であり、
前記第２位置は、前記多関節アームが所定位置まで縮んでいるときの前記ハンドの位置であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の処理システム。

【請求項8】

前記搬送ロボットは、前記多関節アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材と、前記アーム支持部材を昇降可能に保持する保持フレームと、前記保持フレームに対して前記アーム支持部材を昇降させる昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として前記保持フレームを回動させる回動機構とを備え、
前記回動機構は、前記ハンドが前記第２位置にあるときに、前記保持フレームを回動させることを特徴とする請求項７記載の処理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ等の処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置と、処理装置に対する処理対象物の搬送を行う搬送ロボットとを備える処理システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが載置されるハンドと、ハンドが回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。この産業用ロボットは、半導体製造システムに組み込まれて使用されており、半導体ウエハに対して所定の処理を行う処理装置からの半導体ウエハの搬出と、処理装置への半導体ウエハの搬入とを行っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－１１９３２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

半導体製造システムに組み込まれる処理装置の中には、可燃性の有機溶剤を使用して半導体ウエハに対する処理を行う処理装置がある。この場合、半導体製造システムに組み込まれる産業用ロボットは、可燃性の有機溶剤が上面に載っている半導体ウエハを搬送しなければならない状況が生じうる。可燃性の有機溶剤が上面に載っている半導体ウエハを産業用ロボットが搬送する場合、半導体ウエハの上面に載っている可燃性の有機溶剤が半導体ウエハからこぼれ落ちて処理装置の外部で拡散すると、種々の問題が生じるおそれがある。

【0005】

そこで、本発明の課題は、処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置と、処理装置に対する処理対象物の搬送を行う搬送ロボットとを備える処理システムにおいて、搬送ロボットが処理対象物を搬送するときに、処理対象物に載っている物が処理対象物からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた物が処理装置の外部で拡散するのを抑制することが可能な処理システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するため、本発明の処理システムは、処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置と、処理装置からの処理対象物の搬出および処理装置への処理対象物の搬入の少なくともいずれか一方を行う搬送ロボットとを備え、処理装置には、処理装置の内部と処理装置の外部との間で処理対象物を搬送するための開口部が形成され、搬送ロボットは、処理対象物が載置されるハンドと、一定方向を向いた状態のハンドを直線的に移動させるハンド移動機構と、ハンドよりも下側に配置され処理対象物からの落下物を受けるための受け部材と、受け部材の少なくとも一部をハンドの往復移動方向に移動させる受け部材移動機構とを備え、ハンド移動機構は、開口部から処理装置に入り込んだハンドが処理装置の内部に配置される第１位置と、ハンドが処理装置の外部に配置される第２位置との間でハンドを移動させ、受け部材は、第２位置に配置されたハンドに載置される処理対象物の下側に少なくとも配置され、受け部材移動機構は、開口部から処理装置に入り込んだ受け部材の一部が処理装置の内部に配置される第３位置と、受け部材が処理装置の外部に配置される第４位置との間で受け部材の少なくとも一部を移動させるとともに、少なくとも処理対象物が載置された状態のハンドが第１位置と第２位置との間を移動するときに、受け部材の少なくとも一部を第３位置に移動させることを特徴とする。

【0007】

本発明の処理システムでは、ハンドよりも下側に配置され処理対象物からの落下物を受けるための受け部材は、第２位置に配置されたハンドに載置される処理対象物の下側（すなわち、処理装置の外部に配置された処理対象物の下側）に少なくとも配置されている。そのため、本発明では、ハンドに載置された処理対象物を処理装置の外部で搬送ロボットが搬送するときに、処理対象物に載っている物が処理対象物からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた物が拡散（飛散）するのを受け部材によって抑制することが可能になる。

【0008】

また、本発明では、受け部材移動機構は、少なくとも処理対象物が載置された状態のハンドが第１位置と第２位置との間を移動するときに、開口部から処理装置に入り込んだ受け部材の一部が処理装置の内部に配置される第３位置に、受け部材の少なくとも一部を移動させている。そのため、本発明では、ハンドに載置された処理対象物を搬送ロボットが処理装置から搬出するときや、ハンドに載置された処理対象物を搬送ロボットが処理装置に搬入するときに、処理対象物に載っている物が処理対象物からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた物が拡散するのを受け部材によって抑制することが可能になる。

【0009】

このように本発明では、処理装置の外部で処理対象物を搬送ロボットが搬送するときに、処理対象物に載っている物が処理対象物からこぼれ落ちても、また、搬送ロボットが処理対象物を処理装置から搬出するときや、搬送ロボットが処理対象物を処理装置に搬入するときに、処理対象物に載っている物が処理対象物からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた物が拡散するのを受け部材によって抑制することが可能になる。したがって、本発明では、搬送ロボットが処理対象物を搬送するときに、処理対象物に載っている物が処理対象物からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた物が処理装置の外部で拡散するのを抑制することが可能になる。

【0010】

本発明において、第１位置から第２位置に向かって移動するハンドの移動方向を第１方向とし、ハンドの往復移動方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、搬送ロボットは、第２位置に配置されるハンドを上下方向の両側、第２方向の両側および第１方向側から覆うカバー部材を備え、カバー部材の底部が受け部材となっていることが好ましい。このように構成すると、揮発性が高い物が処理対象物に載っていて、処理対象物に載っていた物が気化する場合であっても、第２位置に配置されるハンドを上下方向の両側、第２方向の両側および第１方向から覆うカバー部材によって、気化した物が処理装置の外部で拡散するのを抑制することが可能になる。

【0011】

本発明において、カバー部材は、固定カバーと、固定カバーに対して移動可能な可動カバーとを備え、受け部材移動機構は、少なくとも処理対象物が載置された状態のハンドが第１位置と第２位置との間を移動するときに、可動カバーを第３位置に移動させて、可動カバーの一部を処理装置の内部に配置することが好ましい。このように構成すると、受け部材移動機構がカバー部材の全体を移動させる場合と比較して、受け部材移動機構の駆動力が小さくても、可動カバーを移動させることが可能になる。したがって、受け部材移動機構の構成を簡素化して、受け部材移動機構を小型化することが可能になる。

【0012】

本発明において、搬送ロボットは、カバー部材の内部から空気を吸引する吸引機構を備えることが好ましい。このように構成すると、揮発性が高い物が処理対象物に載っていて、処理対象物に載っていた物がカバー部材の内部で気化する場合であっても、気化した物を空気と一緒に吸引してカバー部材の外部の所定の位置に排出することが可能になる。したがって、揮発性が高い物が処理対象物に載っている場合であっても、気化した物が処理装置の外部で拡散するのを効果的に抑制することが可能になる。また、このように構成すると、処理対象物から受け部材（すなわち、カバー部材の底部）にこぼれ落ちた落下物を空気と一緒に吸引してカバー部材の外部の所定の位置に排出することが可能になる。したがって、処理対象物に載っている物が処理対象物からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた物が処理装置の外部で拡散するのを効果的に抑制することが可能になる。

【0013】

本発明において、カバー部材は、たとえば、金属で形成されている。また、本発明において、受け部材移動機構は、たとえば、エアシリンダを備えている。

【0014】

本発明において、たとえば、ハンド移動機構は、ハンドが先端側に回動可能に連結される多関節アームと、多関節アームを伸縮させるアーム駆動機構とを備え、第１位置は、多関節アームが所定位置まで伸びているときのハンドの位置であり、第２位置は、多関節アームが所定位置まで縮んでいるときのハンドの位置である。

【0015】

また、本発明において、たとえば、搬送ロボットは、多関節アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材と、アーム支持部材を昇降可能に保持する保持フレームと、保持フレームに対してアーム支持部材を昇降させる昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として保持フレームを回動させる回動機構とを備え、回動機構は、ハンドが第２位置にあるときに、保持フレームを回動させる。

【発明の効果】

【0016】

以上のように、本発明では、処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置と、処理装置に対する処理対象物の搬送を行う搬送ロボットとを備える処理システムにおいて、搬送ロボットが処理対象物を搬送するときに、処理対象物に載っている物が処理対象物からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた物が処理装置の外部で拡散するのを抑制することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の実施の形態にかかる処理システムの構成を説明するための平面図である。

【図2】図１に示す処理システムの構成を説明するための側面図である。

【図3】図１に示す搬送ロボットの斜視図である。

【図4】図３に示す搬送ロボットの構成を説明するためのブロック図である。

【図5】図２のＥ－Ｅ方向からハンド、アーム支持部材およびカバー部材等を示す図である。

【図6】図３に示す搬送ロボットの動作を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0019】

（処理システムの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる処理システム１の構成を説明するための平面図である。図２は、図１に示す処理システム１の構成を説明するための側面図である。

【0020】

本形態の処理システム１は、半導体を製造するための半導体製造システムの一部を構成している。処理システム１は、処理対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）に対して所定の処理を行う処理装置３と、処理装置３からのウエハ２の搬出および処理装置３へのウエハ２の搬入の少なくともいずれか一方を行う搬送ロボット４（以下、「ロボット４」とする。）とを備えている。ウエハ２は、円板状に形成されている。

【0021】

処理装置３の内部には、ウエハ２を処理するための各種の機器が配置されている。処理装置３には、処理装置３の内部と処理装置３の外部との間でウエハ２を搬送するための開口部３ａが形成されている（図２参照）。すなわち、処理装置３の筐体には、処理装置３の内部と処理装置３の外部との間でウエハ２を出し入れするための開口部３ａが形成されている。開口部３ａは、水平方向の細長い長方形に形成されている。本形態では、処理装置３でのウエハ２の処理工程、および、処理装置３でのウエハ２の処理工程の前工程の少なくともいずれか一方において、可燃性の有機溶剤（薬液）が使用される。そのため、処理装置３から搬出されるウエハ２の上面、および、処理装置３に搬入されるウエハ２の上面の少なくともいずれか一方には、可燃性の有機溶剤が載っている。

【0022】

ロボット４は、水平多関節型ロボットである。ロボット４は、ウエハ２が載置されるハンド６と、ハンド６が先端側に回動可能に連結される多関節アーム７（以下、「アーム７」とする。）と、アーム７の基端側が連結される本体部８とを備えている。以下、ロボット４の構成およびロボット４の概略動作を説明する。

【0023】

（搬送ロボットの構成および概略動作）
図３は、図１に示すロボット４の斜視図である。図４は、図３に示すロボット４の構成を説明するためのブロック図である。図５は、図２のＥ－Ｅ方向からハンド６、アーム支持部材９およびカバー部材１５等を示す図である。図６は、図３に示すロボット４の動作を説明するための図である。

【0024】

上述のように、ロボット４は、ハンド６とアーム７と本体部８とを備えている。本体部８は、アーム７の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材９と、アーム支持部材９を昇降可能に保持する保持フレーム１０と、ロボット４の下端部を構成するベース部材１１とを備えている。また、ロボット４は、アーム７を伸縮させるアーム駆動機構１２と、保持フレーム１０に対してアーム支持部材９を昇降させる昇降機構１３と、上下方向を回動の軸方向としてベース部材１１に対して保持フレーム１０を回動させる回動機構１４とを備えている。

【0025】

また、ロボット４は、ハンド６およびアーム７を覆うためのカバー部材１５を備えている。カバー部材１５は、固定カバー１６と、固定カバー１６に対して移動可能な可動カバー１７とを備えている。本形態のカバー部材１５は、固定カバー１６と可動カバー１７とから構成されている。固定カバー１６および可動カバー１７は、金属で形成されている。すなわち、カバー部材１５は、金属で形成されている。ロボット４は、さらに、可動カバー１７を移動させるカバー移動機構１８（図２参照）と、カバー部材１５の内部から空気を吸引する吸引機構１９、２０（図５参照）とを備えている。

【0026】

アーム７は、第１アーム部２２と第２アーム部２３とから構成されている。第１アーム部２２の基端側は、本体部８に回動可能に連結されている。第２アーム部２３の基端側は、第１アーム部２２の先端側に回動可能に連結されている。ハンド６は、ウエハ２が載置されるウエハ載置部２４と、アーム７に連結されるハンド基部２５とから構成されている。ウエハ載置部２４は、二股状に形成されている。ウエハ載置部２４の基端部は、ハンド基部２５の先端部に固定されている。ハンド基部２５の基端側は、第２アーム部２３の先端側に回動可能に連結されている。ハンド６、第２アーム部２３および第１アーム部２２は、上側からこの順番で配置されている。

【0027】

アーム支持部材９は、中空のブロック状に形成されている。第１アーム部２２の基端側は、アーム支持部材９の上面に回動可能に連結されている。保持フレーム１０は、アーム７を挟んで配置される２本の柱部２６を備えている。柱部２６は、上下方向を長手方向とする柱状に形成されている。また、保持フレーム１０は、柱部２６の下端部が固定されるとともに保持フレーム１０の下端部を構成するフレーム下部２７を備えている。ベース部材１１は、平板状に形成されている。保持フレーム１０の下端部は、ベース部材１１の上面に回動可能に連結されている。

【0028】

昇降機構１３は、モータと、モータの動力をアーム支持部材９に伝達する動力伝達機構と、アーム支持部材９を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、柱部２６の内部に配置されるボールねじを備えている。あるいは、動力伝達機構は、柱部２６の内部に配置されるベルトおよびプーリを備えている。ガイド機構は、柱部２６に沿って配置されるガイドレールと、ガイドレールに係合するガイドブロックとを備えている。回動機構１４は、モータと、モータの動力をフレーム下部２７に伝達する動力伝達機構とを備えている。回動機構１４の動力伝達機構は、たとえば、フレーム下部２７の内部に配置されるベルトおよびプーリを備えている。

【0029】

アーム駆動機構１２は、モータと、モータの動力をアーム７に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構１２の動力伝達機構は、アーム７の内部に配置されるベルトおよびプーリ等を備えている。アーム駆動機構１２は、ハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。具体的には、アーム駆動機構１２は、ハンド６が一定方向を向いた状態で、かつ、ハンド６とアーム７との連結部分が直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。たとえば、アーム駆動機構１２は、ハンド６の先端が図１の左側を向いた状態でハンド６が図１の左右方向に直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。

【0030】

また、アーム駆動機構１２は、処理装置３の開口部３ａから処理装置３に入り込んだハンド６が処理装置３の内部に配置される第１位置６Ａ（図６（Ｂ）参照）と、ハンド６が処理装置３の外部に配置される第２位置６Ｂ（図１、図６（Ａ）参照）との間でハンド６が移動するようにアーム７を伸縮させる。本形態では、アーム７とアーム駆動機構１２とによって、一定方向を向いた状態のハンド６を直線的に移動させるハンド移動機構が構成されており、このハンド移動機構は、第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間でハンド６を移動させる。

【0031】

第１位置６Ａは、アーム７が所定位置まで伸びているときのハンド６の位置である。本形態では、第１位置６Ａにハンド６があるときに、ハンド６と処理装置３との間でウエハ２の受渡しが行われる。第２位置６Ｂは、アーム７が所定位置まで縮んでいるときのハンド６の位置である。本形態では、ハンド６が第２位置６Ｂにあるときに、回動機構１４によって上下方向を回動の軸方向として回動するロボット４の回動半径が最も小さくなる。回動機構１４は、ハンド６が第２位置６Ｂにあるときに、保持フレーム１０を回動させる。すなわち、回動機構１４は、ハンド６が第２位置６Ｂにあるときに、ロボット４を回動させる。

【0032】

以下の説明では、説明の便宜上、ハンド６の往復移動方向（図１等のＸ方向）を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する図１等のＹ方向を左右方向とする。また、前後方向のうちの、第２位置６Ｂから第１位置６Ａに向かって移動するハンド６の移動方向（図１等のＸ１方向）を「前」方向とし、前後方向のうちの、第１位置６Ａから第２位置６Ｂに向かって移動するハンド６の移動方向（図１等のＸ２方向）を「後ろ」方向とする。本形態の後ろ方向（Ｘ２方向）は第１方向であり、左右方向（Ｙ方向）は第２方向である。

【0033】

固定カバー１６は、前面が開口する略直方体の箱状に形成されている。固定カバー１６は、アーム支持部材９の上面に固定されている。上述のように、固定カバー１６は、金属で形成されている。具体的には、固定カバー１６は、ステンレス鋼板で形成されている。固定カバー１６は、固定カバー１６の底面を構成する底板１６ａと、固定カバー１６の上面を構成する天板１６ｂと、固定カバー１６の左右の側面を構成する２枚の側板１６ｃと、固定カバー１６の後面を構成する後面板１６ｄとから構成されている。底板１６ａおよび天板１６ｂは、上下方向に直交する平板状に形成され、側板１６ｃは、左右方向に直交する平板状に形成されている。

【0034】

可動カバー１７は、前面の一部および後面が開口する略直方体の箱状に形成されている。上述のように、可動カバー１７は、金属で形成されている。具体的には、可動カバー１７は、ステンレス鋼板で形成されている。可動カバー１７は、可動カバー１７の底面を構成する底板１７ａと、可動カバー１７の上面を構成する平板状の天板１７ｂと、可動カバー１７の左右の側面を構成する平板状の２枚の側板１７ｃとから構成されている。天板１７ｂは、上下方向に直交する平板状に形成され、側板１７ｃは、左右方向に直交する平板状に形成されている。

【0035】

底板１７ａは、底板１７ａの前端側部分を構成する底板部１７ｄ、１７ｅと、底板１７ａの、底板部１７ｄ、１７ｅを除いた部分である底板部１７ｆとを備えている。底板１７ｄ～１７ｆは、上下方向に直交する平板状に形成されている。底板部１７ｄは、底板部１７ｅよりも前側に配置されている。底板部１７ｅは、底板部１７ｆよりも上側に配置され、底板部１７ｄは、底板部１７ｅよりも上側に配置されている。底板部１７ｆは、底板１６ａよりも上側に配置されている。

【0036】

また、底板１７ａは、底板部１７ｄの後端と底板部１７ｅの前端とを繋ぐ段差部１７ｇと、底板部１７ｅの後端と底板部１７ｆの前端とを繋ぐ段差部１７ｈとを備えている。本形態の底板１７ａは、底板部１７ｄ～１７ｆと、段差部１７ｇ、１７ｈとから構成されている。段差部１７ｇ、１７ｈは、前後方向に直交する平板状に形成されており、底板１７ａは、階段状に形成されている。可動カバー１７の前面では、底板部１７ｄと天板１７ｂとの間が開口している。

【0037】

可動カバー１７の後端側部分は、固定カバー１６の中に収容されている。可動カバー１７の、底板部１７ｄ、１７ｅが形成されている部分は、固定カバー１６の前端よりも前側に配置されている。可動カバー１７は、固定カバー１６に対して前後方向へ移動可能になっている。また、可動カバー１７は、アーム支持部材９に対して前後方向への移動が可能となるように、アーム支持部材９の上面側に配置されている。

【0038】

底板部１７ｄは、ハンド６よりも下側に配置されている。すなわち、底板１６ａ、１７ａは、ハンド６よりも下側に配置されている。本形態では、底板１６ａと底板１７ａとによってカバー部材１５の底部１５ａが構成されている。また、本形態の底部１５ａは、ハンド６よりも下側に配置されウエハ２からの落下物を受けるための受け部材となっている。なお、以下の説明では、可動カバー１７の、底板部１７ｄが形成されている部分を「前端部１７ｊ」とする。

【0039】

第２位置６Ｂに配置されるハンド６は、カバー部材１５の中に配置されている。第２位置６Ｂに配置されるハンド６の下側には、底部１５ａ（すなわち、底板１６ａ、１７ａ）が配置されており、第２位置６Ｂに配置されるハンド６の全体は、底部１５ａによって下側から覆われている。また、底部１５ａは、第２位置６Ｂに配置されたハンド６に載置されるウエハ２の下側に配置されており、第２位置６Ｂに配置されたハンド６に載置されるウエハ２の全体は、底部１５ａによって下側から覆われている。

【0040】

また、第２位置６Ｂに配置されるハンド６の全体は、天板１６ｂ、１７ｂによって上側から覆われ、側板１６ｃ、１７ｃによって左右方向の両側から覆われるとともに、後面板１６ｄによって後ろ側から覆われている。すなわち、カバー部材１５は、第２位置６Ｂに配置されるハンド６を上下方向の両側、左右方向の両側および後ろ側から覆っている。具体的には、カバー部材１５は、第２位置６Ｂに配置されるハンド６の全体を上下方向の両側、左右方向の両側および後ろ側から覆っている。また、カバー部材１５は、第２位置６Ｂに配置されたハンド６に載置されるウエハ２の全体を上下方向の両側、左右方向の両側および後ろ側から覆っている。さらに、カバー部材１５は、アーム７の全体を上下方向の両側、左右方向の両側および後ろ側から覆っている。

【0041】

吸引機構１９、２０は、たとえば、真空ポンプである。吸引機構１９は、配管３２を介してカバー部材１５に接続され、吸引機構２０は、配管３３を介してカバー部材１５に接続されている。吸引機構１９は、カバー部材１５の内部で気化（揮発）した有機溶剤を空気と一緒に吸引してカバー部材１５の外部の所定位置に排出する機能を果たしている。配管３２の端部は、たとえば、カバー部材１５の上端側部分に接続されている。

【0042】

吸引機構２０は、カバー部材１５の内部でウエハ２からこぼれ落ちた液体状の有機溶剤を空気と一緒に吸引してカバー部材１５の外部の所定位置に排出する機能を果たしている。配管３３の端部は、たとえば、カバー部材１５の底部１５ａに接続されている。なお、底部１５ａの上面には、ウエハ２からこぼれ落ちた液体状の有機溶剤を配管３３に案内するドレーン（溝）が形成されている。

【0043】

カバー移動機構１８は、可動カバー１７を前後方向に移動させる。すなわち、カバー移動機構１８は、ハンド６の往復移動方向に可動カバー１７を移動させる。カバー移動機構１８は、駆動源となるエアシリンダ３０を備えている（図２参照）。エアシリンダ３０は、アーム支持部材９の内部に配置されている。また、エアシリンダ３０の本体部は、アーム支持部材９に固定されている。エアシリンダ３０のロッドは、所定の部材を介して可動カバー１７の底板１７ａに取り付けられている。本形態のカバー移動機構１８は、受け部材である底部１５ａの一部をなす底板１７ａを前後方向に移動させる受け部材移動機構となっている。

【0044】

カバー移動機構１８は、可動カバー１７の前端部１７ｊの一部が開口部３ａから処理装置３の内部に入り込む第３位置１７Ａ（図２、図６参照）と、可動カバー１７の前端部１７ｊが処理装置３の外部に配置される第４位置１７Ｂ（図１参照）との間で可動カバー１７を移動させる。すなわち、カバー移動機構１８は、開口部３ａから処理装置３に入り込んだ底部１５ａの一部が処理装置３の内部に配置される第３位置１７Ａと、底部１５ａが処理装置３の外部に配置される第４位置１７Ｂとの間で可動カバー１７を移動させる。

【0045】

また、カバー移動機構１８は、少なくともウエハ２が載置された状態のハンド６が第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間を移動するときに、可動カバー１７を第３位置１７Ａに移動させて、前端部１７ｊの一部を処理装置３の内部に配置する。すなわち、カバー移動機構１８は、少なくともウエハ２が載置された状態のハンド６が第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間を移動するときに、受け部材である底部１５ａの一部を第３位置１７Ａに移動させる。

【0046】

本形態では、ウエハ２が載置された状態のハンド６が第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間を移動するとき、および、ウエハ２が載置されていない状態のハンド６が第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間を移動するときのいずれにおいても、可動カバー１７を第３位置１７Ａに移動させて、前端部１７ｊの一部を処理装置３の内部に配置する。ただし、ウエハ２が載置された状態のハンド６が第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間を移動するときのみに、可動カバー１７を第３位置１７Ａに移動させて、前端部１７ｊの一部を処理装置３の内部に配置しても良い。この場合、ウエハ２が載置されていない状態のハンド６が第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間を移動するときには、可動カバー１７は第４位置１７Ｂに配置されている。

【0047】

なお、可動カバー１７が第３位置１７Ａに配置されている状態においても、可動カバー１７の後端側部分は、固定カバー１６の中に収容されている。また、第２位置６Ｂに配置されるハンド６の全体は、可動カバー１７が第３位置１７Ａおよび第４位置１７Ｂのいずれの位置にあっても、カバー部材１５によって、上下方向の両側、左右方向の両側および後ろ側から覆われている。また、本形態では、第１位置６Ａに配置されるハンド６の後端部は、第３位置１７Ａに配置される可動カバー１７の内部に配置されている（図６（Ｂ）参照）。

【0048】

ロボット４が、たとえば、処理装置３で処理された処理後のウエハ２を処理装置３から搬出するときには、第４位置１７Ｂに配置された可動カバー１７を第３位置１７Ａに移動させてから（図６（Ａ）参照）、第２位置６Ｂに配置されるハンド６を第１位置６Ａに移動させて、処理装置３からウエハ２を受け取る（図６（Ｂ）参照）。また、ウエハ２を受け取ったハンド６を第１位置６Ａから第２位置６Ｂに移動させた後、第３位置１７Ａに配置された可動カバー１７を第４位置１７Ｂに移動させる。

【0049】

その後、アーム支持部材９を昇降させたり、保持フレーム１０を回動させたりした後に、後工程が行われる処理装置にウエハ２を搬入する。なお、後工程が行われる処理装置にも、開口部３ａと同様の開口部が形成されており、第４位置１７Ｂに配置された可動カバー１７を第３位置１７Ａに移動させてから、第２位置６Ｂに配置されるハンド６を第１位置６Ａに移動させて、後工程が行われる処理装置にウエハ２を引き渡す。また、ウエハ２を引き渡したハンド６を第１位置６Ａから第２位置６Ｂに移動させた後、第３位置１７Ａに配置された可動カバー１７を第４位置１７Ｂに移動させる。

【0050】

また、ロボット４が、たとえば、処理装置３に処理前のウエハ２を搬入するときには、第４位置１７Ｂに配置された可動カバー１７を第３位置１７Ａに移動させてから、第２位置６Ｂに配置されるハンド６を第１位置６Ａに移動させて、処理装置３にウエハ２を引き渡す。また、ウエハ２を引き渡したハンド６を第１位置６Ａから第２位置６Ｂに移動させた後、第３位置１７Ａに配置された可動カバー１７を第４位置１７Ｂに移動させる。

【0051】

なお、前工程が行われる処理装置にも、開口部３ａと同様の開口部が形成されており、第４位置１７Ｂに配置された可動カバー１７を第３位置１７Ａに移動させてから、第２位置６Ｂに配置されるハンド６を第１位置６Ａに移動させて、前工程が行われる処理装置からウエハ２を受け取る。また、ウエハ２を受け取ったハンド６を第１位置６Ａから第２位置６Ｂまで移動させた後、第３位置１７Ａに配置された可動カバー１７を第４位置１７Ｂに移動させる。その後、アーム支持部材９を昇降させたり、保持フレーム１０を回動させたりした後に、処理装置３にウエハ２を搬入する。

【0052】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド６よりも下側に配置されウエハ２からの落下物を受けるための底部１５ａは、第２位置６Ｂに配置されたハンド６に載置されるウエハ２の下側（すなわち、処理装置３の外部に配置されたウエハ２の下側）に配置されている。そのため、本形態では、ハンド６に載置されたウエハ２を処理装置３の外部でロボット４が搬送するときに、ウエハ２に載っている有機溶剤がウエハ２からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた有機溶剤が拡散するのを底部１５ａによって抑制することが可能になる。

【0053】

また、本形態では、ウエハ２が載置された状態のハンド６が第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間を移動するときに、カバー移動機構１８は、可動カバー１７の前端部１７ｊの一部を開口部３ａから処理装置３の内部に移動させて配置している。すなわち、本形態では、ウエハ２が載置された状態のハンド６が第１位置６Ａと第２位置６Ｂとの間を移動するときに、カバー移動機構１８は、底面部１７ｄの前端部を開口部３ａから処理装置３の内部に移動させて配置している。そのため、本形態では、ハンド６に載置されたウエハ２をロボット６が処理装置３から搬出するときや、ハンド６に載置されたウエハ２をロボット４が処理装置３に搬入するときに、ウエハ２に載っている有機溶剤がウエハ２からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた有機溶剤が拡散するのを底部１５ａによって抑制することが可能になる。

【0054】

このように本形態では、処理装置３の外部でウエハ２をロボット４が搬送するときに、ウエハ２に載っている有機溶剤がウエハ２からこぼれ落ちても、また、ロボット４がウエハ２を処理装置３から搬出するときや、ロボット４がウエハ２を処理装置３に搬入するときに、ウエハ２に載っている有機溶剤がウエハ２からこぼれ落ちても、こぼれ落ちた有機溶剤が拡散するのを底部１５ａによって抑制することが可能になる。さらに、本形態では、第２位置６Ｂに配置されるハンド６が、上下方向の両側、左右方向の両側および後ろ側からカバー部材１５に覆われているため、気化した有機溶剤が処理装置３の外部で拡散するのをカバー部材１５によって抑制することが可能になる。したがって、本形態では、ロボット４がウエハ２を搬送するときに、有機溶剤が処理装置３の外部で拡散するのを抑制することが可能になる。

【0055】

特に本形態では、吸引機構２０が、カバー部材１５の内部でウエハ２からこぼれ落ちた液体状の有機溶剤を吸引してカバー部材１５の外部の所定位置に排出する機能を果たしているため、ウエハ２からこぼれ落ちた有機溶剤が処理装置３の外部で拡散するのを効果的に抑制することが可能になる。また、本形態では、吸引機構１９が、カバー部材１５の内部で気化した有機溶剤を吸引してカバー部材１５の外部の所定位置に排出する機能を果たしているため、気化した有機溶剤が処理装置３の外部で拡散するのを効果的に抑制することが可能になる。

【0056】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0057】

上述した形態において、処理装置３で処理された処理後のウエハ２をロボット４が処理装置３から搬出する場合に、ハンド６を第２位置６Ｂから第１位置６Ａに移動させながら、可動カバー１７を第４位置１７Ｂから第３位置１７Ａに移動させても良い。また、ハンド６を第１位置６Ａから第２位置６Ｂに移動させながら、可動カバー１７を第３位置１７Ａから第４位置１７Ｂに移動させても良い。この場合であっても、第２位置６Ｂに向かって移動するハンド６に載置されたウエハ２の下側には、常に底部１５ａが配置されている。

【0058】

また、上述した形態において、ロボット４が処理装置３に処理前のウエハ２を搬入する場合に、ハンド６を第２位置６Ｂから第１位置６Ａに移動させながら、可動カバー１７を第４位置１７Ｂから第３位置１７Ａに移動させても良い。この場合であっても、第１位置６Ａに向かって移動するハンド６に載置されたウエハ２の下側には、常に底部１５ａが配置されている。また、ハンド６を第１位置６Ａから第２位置６Ｂに移動させながら、可動カバー１７を第３位置１７Ａから第４位置１７Ｂに移動させても良い。

【0059】

上述した形態において、固定カバー１６と可動カバー１７とが一体化されていても良い。この場合には、ロボット４は、固定カバー１６と可動カバー１７とが一体化されて形成されたカバー部材１５を前後方向に移動させるカバー移動機構を備えている。すなわち、この場合には、ロボット４は、受け部材である底部１５ａの全体を前後方向に移動させる受け部材移動機構としてのカバー移動機構を備えている。この場合、カバー移動機構は、アーム支持部材９に対してカバー部材１５を前後方向に移動させても良いし、保持フレーム１０に対してアーム支持部材９と一緒にカバー部材１５を前後方向に移動させても良い。

【0060】

ただし、上述した形態のように、固定カバー１６と可動カバー１７とが別体で形成されていて、カバー移動機構１８が可動カバー１７のみを移動させる場合には、カバー部材１５の全体を移動させる場合と比較して、カバー移動機構１８の駆動力が小さくても、可動カバー１７を移動させることが可能になる。したがって、上述した形態では、カバー移動機構１８の構成を簡素化して、カバー移動機構１８を小型化することが可能になる。

【0061】

上述した形態では、ロボット４は、カバー部材１５の内部で気化した有機溶剤をカバー部材１５の外部の所定位置に排出する吸引機構１９と、カバー部材１５の内部でウエハ２からこぼれ落ちた液体状の有機溶剤をカバー部材１５の外部の所定位置に排出する吸引機構２０とを個別に備えているが、ロボット４は、カバー部材１５の内部で気化した有機溶剤およびカバー部材１５の内部でウエハ２からこぼれ落ちた液体状の有機溶剤をカバー部材１５の外部の所定位置に排出する共通の吸引機構を備えていても良い。

【0062】

上述した形態では、底部１５ａは、第２位置６Ｂに配置されるハンド６の全体を下側から覆っているが、底部１５ａは、第２位置６Ｂに配置されたハンド６に載置されるウエハ２の全体を下側から覆っているのであれば、第２位置６Ｂに配置されるハンド６の全体を下側から覆っていなくても良い。また、上述した形態において、カバー移動機構１８は、エアシリンダ３０以外の駆動源を備えていても良い。たとえば、カバー移動機構１８は、駆動源となるモータを備えていても良い。

【0063】

上述した形態において、ロボット４は、アーム７およびアーム駆動機構１２に代えて、ハンド６を前後方向にスライドさせるハンド移動機構を備えていても良い。この場合には、ハンド移動機構は、たとえば、モータ、ボールねじ、ガイドレールおよびガイドブロック等を備えている。あるいは、ハンド移動機構は、たとえば、モータ、ベルト、プーリ、ガイドレールおよびガイドブロック等を備えている。

【0064】

上述した形態において、処理装置３から搬出されるウエハ２の上面や、処理装置３に搬入されるウエハ２の上面に有機溶剤以外の物が載っていても良い。ウエハ２の上面に載っている物が揮発性のない物あるいは揮発性の低い物である場合には、ロボット４は、カバー部材１５に代えて、たとえば、底板１６ａと底板１７ａとから構成される受け部材を備えていても良いし、底板１７ａによって構成される受け部材を備えていても良い。底板１７ａによって構成される受け部材をロボット４が備えている場合には、処理装置３の外部において、ハンド６に載置されるウエハ２の下側に受け部材が常に配置されるように、受け部材がハンド６と一緒に前後方向へ移動する。また、上述した形態において、ウエハ２以外の処理対象物が処理装置３で処理されても良い。たとえば、ガラス基板が処理装置３で処理されても良い。

【符号の説明】

【0065】

１ 処理システム
２ ウエハ（半導体ウエハ、処理対象物）
３ 処理装置
３ａ 開口部
４ ロボット（搬送ロボット）
６ ハンド
６Ａ 第１位置
６Ｂ 第２位置
７ アーム（多関節アーム、ハンド移動機構の一部）
９ アーム支持部材
１０ 保持フレーム
１２ アーム駆動機構（ハンド移動機構の一部）
１３ 昇降機構
１４ 回動機構
１５ カバー部材
１５ａ 底部（受け部材）
１６ 固定カバー
１７ 可動カバー
１７Ａ 第３位置
１７Ｂ 第４位置
１８ カバー移動機構（受け部材移動機構）
１９、２０ 吸引機構
３０ エアシリンダ
Ｘ ハンドの往復移動方向
Ｘ２ 第１方向
Ｙ 第２方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】