特許 7313984 部品実装装置およびノズル保持部材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-14

(45)【発行日】2023-07-25

(54)【発明の名称】部品実装装置およびノズル保持部材

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20230718BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 A

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2019160948

(22)【出願日】2019-09-04

(65)【公開番号】P2021040063

(43)【公開日】2021-03-11

【審査請求日】2022-03-23

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(72)【発明者】

【氏名】岡田 篤史

【審査官】三宅 達

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１５／０３３４０１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１８／１６３４２５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－２２５５１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００－１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に部品を実装するヘッドと、
前記ヘッドに対して着脱可能な交換用のノズルを保持するノズル保持部材と、
基台の上面に設けられ、前記ノズル保持部材が着脱可能に取り付けられる取付部材とを備え、
前記ノズル保持部材は、
前記交換用のノズルが収容されるノズル収容孔が形成された保持部材本体と、
前記保持部材本体の上面に対してスライド移動可能に配置され、前記ノズル収容孔に収容されたノズルを前記ノズル収容孔から出ないようにする保持状態と前記ノズル収容孔に収容されたノズルを前記ノズル収容孔から取出可能な解除状態とに切替可能なシャッタ部材と、
前記ノズル保持部材が前記取付部材に取り付けられた取付状態および前記ノズル保持部材が前記取付部材から取り外された取外状態のいずれにおいても、前記シャッタ部材の前記保持状態、および、前記シャッタ部材の前記解除状態を維持する維持機構とを含み、
前記取付状態において、前記シャッタ部材が前記解除状態の位置に配置された場合に、前記取外状態への切り替えのための移動を規制するとともに、前記シャッタ部材が前記保持状態の位置に配置された場合に、前記取外状態への切り替えのための移動の規制を解除する移動規制部をさらに備える、部品実装装置。

【請求項2】

前記維持機構は、
前記ノズル保持部材に設けられ、前記取付状態および前記取外状態のいずれにおいても、前記シャッタ部材を付勢して前記保持状態および前記解除状態のいずれか一方に維持する付勢部材と、
前記ノズル保持部材に設けられ、前記取付状態および前記取外状態のいずれにおいても、前記付勢部材の付勢力に抗して、前記シャッタ部材を前記保持状態および前記解除状態のいずれか他方に維持する維持部材とを含む、請求項１に記載の部品実装装置。

【請求項3】

前記シャッタ部材は、
前記ノズル収容孔に収容される前記交換用のノズルに係合する係合部と、
前記係合部に隣接して設けられ、前記ノズル収容孔に収容される前記交換用のノズルが通過するノズル通過部とを有し、
前記維持機構は、前記取付状態および前記取外状態のいずれにおいても、前記ノズル収容孔に対応する位置に前記係合部を配置した前記シャッタ部材の前記保持状態、および、前記ノズル収容孔に対応する位置に前記ノズル通過部を配置した前記シャッタ部材の前記解除状態を維持するように構成されている、請求項１または２に記載の部品実装装置。

【請求項4】

前記ノズル保持部材は、前記保持部材本体の前記取付部材側に設けられる保持側係止部を含み、
前記取付部材は、
前記保持側係止部と係合する取付側係止部と、
前記保持側係止部と前記取付側係止部との係合を解除する係合解除部とを含み、
前記解除状態の際、前記保持側係止部と前記取付側係止部との係合を解除して前記取付状態から前記取外状態にする前記係合解除部の移動を規制するとともに、前記保持状態の際、前記保持側係止部と前記取付側係止部との係合を前記係合解除部の移動により解除させて前記取付状態から前記取外状態にする前記移動規制部をさらに備える、請求項１～３のいずれか１項に記載の部品実装装置。

【請求項5】

駆動源と、前記駆動源の駆動力を前記シャッタ部材に伝達し、前記シャッタ部材をスライド移動させる伝達部材とを含む移動機構をさらに備え、
前記係合解除部は、前記シャッタ部材のスライド方向および上下方向に直交する方向に延びる回転中心軸線回りに回動することにより、前記保持側係止部と前記取付側係止部との係合および係合の解除を行う解除レバーを有し、
前記移動規制部は、
前記伝達部材に設けられ、前記移動機構による前記シャッタ部材のスライド方向と同じ方向に移動するピンと、
前記解除レバーに形成され、前記ピンが挿入されている溝部とを含み、
前記溝部は、
前記解除状態に前記シャッタ部材が維持される場合、前記解除レバーが係合の解除方向へ回動した際に、前記ピンが当接して前記ピンの移動を規制する内面を有する第１部分と、
前記保持状態に前記シャッタ部材が維持されている場合、前記解除レバーが係合の解除方向へ回動した際に、前記ピンが進入して前記ピンの移動を可能にする第２部分とを有している、請求項４に記載の部品実装装置。

【請求項6】

前記シャッタ部材に設けられて前記シャッタ部材とともにスライド移動し、前記解除状態または前記保持状態のいずれかにおいて前記保持部材本体に当接する当接面と、前記シャッタ部材のスライド方向において、前記当接面よりも前記保持部材本体側とは反対側に配置され、前記付勢部材のうち前記保持部材本体側とは反対側の端部が支持される支持面とを含む当接部材をさらに備え、
前記維持部材は、前記保持部材本体に設けられ、前記当接部材の前記当接面を吸着することにより前記付勢部材の付勢力に抗して前記シャッタ部材の位置を維持する磁石を有し、
前記シャッタ部材は、前記付勢部材による前記支持面に対する付勢力によって、前記保持状態および前記解除状態のいずれか一方に維持されるとともに、前記磁石により前記当接面を吸着することによって、前記保持状態および前記解除状態の他方に維持される、請求項２に記載の部品実装装置。

【請求項7】

前記付勢部材は、引張バネにより構成され、
前記維持部材は、前記シャッタ部材に係合する先端部と、前記先端部を付勢する付勢部とを有するプランジャを有し、
前記シャッタ部材には、前記プランジャの前記先端部が係合する係合孔、および、前記プランジャの前記先端部の係合を解除する逃げ孔が形成され、
前記シャッタ部材は、前記プランジャの前記先端部が前記逃げ孔に挿入される場合に前記付勢部材の付勢力により前記保持状態に維持されるとともに、前記プランジャの前記先端部が前記係合孔に係合される場合に前記解除状態に維持されるように構成されている、請求項２に記載の部品実装装置。

【請求項8】

前記付勢部材は、引張バネにより構成され、
前記維持部材は、前記シャッタ部材に吸着する磁石を有し、
前記シャッタ部材には、前記磁石の吸着を解除する逃げ孔が形成され、
前記シャッタ部材は、前記磁石が前記逃げ孔の位置に配置される場合に前記付勢部材の付勢力により前記保持状態に維持されるとともに、前記磁石が前記シャッタ部材を吸着する場合に前記解除状態に維持されるように構成されている、請求項２に記載の部品実装装置。

【請求項9】

基板に部品を実装するヘッドに対して着脱可能な交換用のノズルを保持するノズル保持部材であって、
前記交換用のノズルが収容されるノズル収容孔が形成された保持部材本体と、
前記保持部材本体の上面に対してスライド移動可能に配置され、前記ノズル収容孔に収容されたノズルを前記ノズル収容孔から出ないようにする保持状態と前記ノズル収容孔に収容されたノズルを前記ノズル収容孔から取出可能な解除状態とに切替可能なシャッタ部材と、
前記ノズル保持部材が着脱可能に取り付けられる取付部材に前記ノズル保持部材が取り付けられた取付状態および前記ノズル保持部材が前記取付部材から取り外された取外状態のいずれにおいても、前記シャッタ部材の前記保持状態、および、前記シャッタ部材の前記解除状態を維持する維持機構とを備え、
前記取付状態において、前記シャッタ部材が前記解除状態の位置に配置された場合に、前記取外状態への切り替えのための移動を規制するとともに、前記シャッタ部材が前記保持状態の位置に配置された場合に、前記取外状態への切り替えのための移動の規制を解除する移動規制部により、前記取付部材からの取り外しが規制される、ノズル保持部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、部品実装装置およびノズル保持部材に関し、特に、ヘッドに対して着脱可能な交換用のノズルを保持する部品実装装置およびノズル保持部材に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ヘッドに対して着脱可能な交換用のノズルを保持する部品実装装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

【0003】

上記特許文献１には、ヘッドに対して着脱可能な交換用の吸着ノズル（ノズル）を保持する表面実装機（部品実装装置）が開示されている。表面実装機は、基台と、ノズルストッカとを備えている。ノズルストッカは、基台に固定されている。

【0004】

上記特許文献１のノズルストッカは、交換用の吸着ノズルを保持する保持状態と、交換用の吸着ノズルの保持を開放する開放状態とを切替可能に構成されている。具体的には、ノズルストッカは、ストッカ本体と、シャッタ部材とを含んでいる。ストッカ本体には、ヘッドに装着される交換用の吸着ノズルを収容するノズル収容孔が形成されている。シャッタ部材は、ストッカ本体の上面をスライド移動可能に構成されている。

【0005】

上記特許文献１のシャッタ部材は、一方向へスライド移動することにより、ノズル収容孔に収容された吸着ノズルを保持するように構成されている。シャッタ部材は、他方向へスライド移動することにより、ノズル収容孔に収容された吸着ノズルの保持を開放するように構成されている。

【0006】

上記特許文献１の表面実装機では、作業者がノズル交換治具を用いて交換用の吸着ノズルをノズルストッカのノズル収容孔に収容している。すなわち、作業者は、まず、吸着ノズルのうちノズルストッカのノズル収容孔に収容される部分よりも上側の部分を、ノズル交換治具に配置する。作業者は、ノズル交換治具をノズルストッカに取り付けることにより、交換用の吸着ノズルをノズルストッカのノズル収容孔に挿入する。ここで、ノズルストッカにおいて、シャッタ部材を一方向へスライド移動させてすることによって、ノズル収容孔に収容された吸着ノズルをシャッタ部材により保持させる。作業者は、シャッタ部材により吸着ノズルを保持させた状態で、ノズル交換治具をノズルストッカから取り外す。これにより、交換用の吸着ノズルがノズルストッカのノズル収容孔に収容される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】国際公開第２０１８／１６３４２５号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、上記特許文献１の表面実装機では、作業者によりノズル交換治具に交換用の吸着ノズルを配置した後、作業者によりノズル交換治具を用いてノズルストッカのノズル収容孔に交換用の吸着ノズルを収容させて交換用の吸着ノズルを表面実装機に配置する。このため、交換用の吸着ノズルをノズル交換治具に配置する作業が必要な分だけ、交換用の吸着ノズルの表面実装機への配置作業が煩雑になる。そこで、上記特許文献１に開示されたような従来の表面実装機では、交換用の吸着ノズル（ノズル）の表面実装機（部品実装装置）への配置作業を容易に行えることが望まれている。

【0009】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、交換用のノズルの部品実装装置への配置作業を容易に行うことが可能な部品実装装置およびのノズル保持部材を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における部品実装装置は、基板に部品を実装するヘッドと、ヘッドに対して着脱可能な交換用のノズルを保持するノズル保持部材と、基台の上面に設けられ、ノズル保持部材が着脱可能に取り付けられる取付部材とを備え、ノズル保持部材は、交換用のノズルが収容されるノズル収容孔が形成された保持部材本体と、保持部材本体の上面に対してスライド移動可能に配置され、ノズル収容孔に収容されたノズルをノズル収容孔から出ないようにする保持状態とノズル収容孔に収容されたノズルをノズル収容孔から取出可能な解除状態とに切替可能なシャッタ部材と、ノズル保持部材が取付部材に取り付けられた取付状態およびノズル保持部材が取付部材から取り外された取外状態のいずれにおいても、シャッタ部材の保持状態、および、シャッタ部材の解除状態を維持する維持機構とを含み、取付状態において、シャッタ部材が解除状態の位置に配置された場合に、取外状態への切り替えのための移動を規制するとともに、シャッタ部材が保持状態の位置に配置された場合に、取外状態への切り替えのための移動の規制を解除する移動規制部をさらに備える。

【0011】

この発明の第１の局面による部品実装装置には、上記のように、ノズル保持部材と、取付部材とを設ける。そして、ノズル保持部材に、ノズル保持部材が取付部材に取り付けられた取付状態およびノズル保持部材が取付部材から取り外された取外状態のいずれにおいても、保持部材本体の上面に対してスライド移動することによりノズル収容孔に収容されたノズルの保持または保持の解除をするシャッタ部材の保持状態、および、シャッタ部材の解除状態を維持する維持機構を設ける。これにより、維持機構によりシャッタ部材を解除状態に維持させて、作業者によりノズルをノズル保持部材に配置した後、維持機構によりシャッタ部材を保持状態に切り替えることにより、取付状態だけでなく取外状態においても、交換用のノズルをノズル保持部材に保持させることができる。また、取外状態の場合、交換用のノズルをノズル保持部材に保持させた後、作業者によりノズル保持部材を取付部材にそのまま取り付けることができる。すなわち、交換用のノズルをノズル交換治具に配置する作業を行うことなく、交換用のノズルの部品実装装置への配置作業を行うことができる。これらの結果、取付状態だけでなく取外状態においても、作業者による交換用のノズルの部品実装装置への配置作業を容易に行うことができる。

【0012】

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、維持機構は、ノズル保持部材に設けられ、取付状態および取外状態のいずれにおいても、シャッタ部材を付勢して保持状態および解除状態のいずれか一方に維持する付勢部材と、ノズル保持部材に設けられ、取付状態および取外状態のいずれにおいても、付勢部材の付勢力に抗して、シャッタ部材を保持状態および解除状態のいずれか他方に維持する維持部材とを含む。このように構成すれば、付勢部材により生じる一方向への付勢力に対して抗する構造を有する維持部材を設ければよいので、維持機構の構造を簡易にすることができる。その結果、ノズル保持部材の構造の複雑化を抑制することができる。

【0013】

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、シャッタ部材は、ノズル収容孔に収容される交換用のノズルに係合する係合部と、係合部に隣接して設けられ、ノズル収容孔に収容される交換用のノズルが通過するノズル通過部とを有し、維持機構は、取付状態および取外状態のいずれにおいても、ノズル収容孔に対応する位置に係合部を配置したシャッタ部材の保持状態、および、ノズル収容孔に対応する位置にノズル通過部を配置したシャッタ部材の解除状態を維持するように構成されている。このように構成すれば、ノズル収容孔に対応する位置に、シャッタ部材に設けられた係合部を配置するだけで、取付状態および取外状態のいずれにおいても、交換用のノズルをノズル保持部材により容易に保持することができる。また、ノズル収容孔に対応する位置に、ノズル通過部を配置するだけで、取付状態および取外状態のいずれにおいても、交換用のノズルをノズル保持部材により保持した状態を容易に解除することができる。これらの結果、交換用のノズルのノズル保持部材への保持または保持の解除を切替可能な構造を簡易な構造にすることができる。

【0014】

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、ノズル保持部材は、保持部材本体の取付部材側に設けられる保持側係止部を含み、取付部材は、
保持側係止部と係合する取付側係止部と、保持側係止部と取付側係止部との係合を解除する係合解除部とを含み、解除状態の際、保持側係止部と取付側係止部との係合を解除して取付状態から取外状態にする係合解除部の移動を規制するとともに、保持状態の際、保持側係止部と取付側係止部との係合を係合解除部の移動により解除させて取付状態から取外状態にする移動規制部をさらに備える。このように構成すれば、シャッタ部材によりノズルを保持した保持状態でなければ、取付部材からノズル保持部材を取り外すことができない。その結果、取付部材からノズル保持部材を取り外す際、ノズル保持部材からノズルが脱落することを抑制することができる。

【0015】

この場合、好ましくは、駆動源と、駆動源の駆動力をシャッタ部材に伝達し、シャッタ部材をスライド移動させる伝達部材とを含む移動機構をさらに備え、係合解除部は、シャッタ部材のスライド方向および上下方向に直交する方向に延びる回転中心軸線回りに回動することにより、保持側係止部と取付側係止部との係合および係合の解除を行う解除レバーを有し、移動規制部は、伝達部材に設けられ、移動機構によるシャッタ部材のスライド方向と同じ方向に移動するピンと、解除レバーに形成され、ピンが挿入されている溝部とを含み、溝部は、解除状態にシャッタ部材が維持される場合、解除レバーが係合の解除方向へ回動した際に、ピンが当接してピンの移動を規制する内面を有する第１部分と、保持状態にシャッタ部材が維持されている場合、解除レバーが係合の解除方向へ回動した際に、ピンが進入してピンの移動を可能にする第２部分とを有している。このように構成すれば、伝達部材に設けられたピンを解除レバーに形成された溝部に配置するだけで、シャッタ部材によりノズルを保持した保持状態でなければ、取付部材からノズル保持部材を取り外すことができないようにすることができる。その結果、簡易な構造の移動規制部により、取付部材からノズル保持部材を取り外す際、ノズル保持部材からノズルが脱落することを抑制することができる。

【0016】

上記維持機構が維持部材を含む構成の部品実装装置において、好ましくは、シャッタ部材に設けられてシャッタ部材とともにスライド移動し、解除状態または保持状態のいずれかにおいて保持部材本体に当接する当接面と、シャッタ部材のスライド方向において、当接面よりも保持部材本体側とは反対側に配置され、付勢部材のうち保持部材本体側とは反対側の端部が支持される支持面とを含む当接部材をさらに備え、維持部材は、保持部材本体に設けられ、当接部材の当接面を吸着することにより付勢部材の付勢力に抗してシャッタ部材の位置を維持する磁石を有し、シャッタ部材は、付勢部材による支持面に対する付勢力によって、保持状態および解除状態のいずれか一方に維持されるとともに、磁石により当接面を吸着することによって、保持状態および解除状態の他方に維持される。このように構成すれば、当接部材に対する付勢部材の付勢力および磁石の吸着力を利用して、シャッタ部材の保持状態および解除状態のいずれかに維持することができるので、ノズル保持部材を簡易な構造にすることができる。

【0017】

上記維持機構が維持部材を含む構成の部品実装装置において、好ましくは、付勢部材は、引張バネにより構成され、維持部材は、シャッタ部材に係合する先端部と、先端部を付勢する付勢部とを有するプランジャを有し、シャッタ部材には、プランジャの先端部が係合する係合孔、および、プランジャの先端部の係合を解除する逃げ孔が形成され、シャッタ部材は、プランジャの先端部が逃げ孔に挿入される場合に付勢部材の付勢力により保持状態に維持されるとともに、プランジャの先端部が係合孔に係合される場合に解除状態に維持されるように構成されている。このように構成すれば、当接部材に対する付勢部材の付勢力と、プランジャの係合力とを利用して、シャッタ部材の保持状態および解除状態のいずれかに維持することができるので、ノズル保持部材を簡易な構造にすることができる。

【0018】

上記維持機構が維持部材を含む構成の部品実装装置において、好ましくは、付勢部材は、引張バネにより構成され、維持部材は、シャッタ部材に吸着する磁石を有し、シャッタ部材には、磁石の吸着を解除する逃げ孔が形成され、シャッタ部材は、磁石が逃げ孔の位置に配置される場合に付勢部材の付勢力により保持状態に維持されるとともに、磁石がシャッタ部材を吸着する場合に解除状態に維持されるように構成されている。このように構成すれば、当接部材に対する付勢部材の付勢力と、磁石の吸着力とを利用して、シャッタ部材の保持状態および解除状態のいずれかに維持することができるので、ノズル保持部材を簡易な構造にすることができる。

【0019】

この発明の第２の局面におけるノズル保持部材は、基板に部品を実装するヘッドに対して着脱可能な交換用のノズルを保持するノズル保持部材であって、交換用のノズルが収容されるノズル収容孔が形成された保持部材本体と、保持部材本体の上面に対してスライド移動可能に配置され、ノズル収容孔に収容されたノズルをノズル収容孔から出ないようにする保持状態とノズル収容孔に収容されたノズルをノズル収容孔から取出可能な解除状態とに切替可能なシャッタ部材と、ノズル保持部材が着脱可能に取り付けられる取付部材にノズル保持部材が取り付けられた取付状態およびノズル保持部材が取付部材から取り外された取外状態のいずれにおいても、シャッタ部材の保持状態、および、シャッタ部材の解除状態を維持する維持機構とを備え、取付状態において、シャッタ部材が解除状態の位置に配置された場合に、取外状態への切り替えのための移動を規制するとともに、シャッタ部材が保持状態の位置に配置された場合に、取外状態への切り替えのための移動の規制を解除する移動規制部により、取付部材からの取り外しが規制される。

【0020】

この発明の第２の局面によるノズル保持部材には、上記のように、ノズル保持部材に、ノズル保持部材が取付部材に取り付けられた取付状態およびノズル保持部材が取付部材から取り外された取外状態のいずれにおいても、シャッタ部材の保持状態、および、シャッタ部材の解除状態を維持する維持機構を設ける。これにより、維持機構によりシャッタ部材を解除状態に維持させて、作業者によりノズルをノズル保持部材に配置した後、維持機構によりシャッタ部材を保持状態に切り替えることにより、取付状態だけでなく取外状態においても、交換用のノズルをノズル保持部材に保持させることができる。また、交換用のノズルをノズル保持部材に保持させた後、作業者によりノズル保持部材を取付部材にそのまま取り付けることができる。すなわち、交換用のノズルをノズル交換治具に配置する作業を行うことなく、交換用のノズルの部品実装装置への配置作業を行うことができる。これらの結果、取付状態だけでなく取外状態においても、作業者による交換用のノズルの部品実装装置への配置作業を容易に行うことが可能なノズル保持部材を得ることができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、上記のように、交換用のノズルの部品実装装置への配置作業を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】第１～第３実施形態による部品実装装置の概略を示した平面図である。

【図2】第１～第３実施形態による部品実装装置の概略を示した正面図である。

【図3】図１のＺ部分に配置されたノズル保持部材が取付部材に取り付けられた取付状態である場合を示した模式的な正面図である。

【図4】図１のＺ部分に配置されたノズル保持部材が取付部材から取り外された取外状態である場合を示した模式的な正面図である。

【図5】図５（Ａ）は第１実施形態によるノズル保持部材の保持状態を示した平面図である。図５（Ｂ）は第１実施形態によるノズル保持部材の解除状態を示した平面図である。

【図6】図５（Ａ）の１０１－１０１線に沿った断面図である。

【図7】図５（Ｂ）の１０２－１０２線に沿った断面図である。

【図8】図５（Ａ）の１０３－１０３線に沿った断面図である。

【図9】図５（Ｂ）の１０４－１０４線に沿った断面図である。

【図10】第１実施形態によるノズル保持部材を取付部材に取り付けた取付状態のＸ１方向側の端部の状態を示した正面図である。

【図11】第１実施形態によるノズル保持部材を取付部材に取り付けた取付状態のＸ２方向側の端部の状態を示した正面図である。

【図12】第１実施形態によるノズル保持部材を取付部材から取り外した取外状態のＸ２方向側の端部の状態を示した正面図である。

【図13】第１実施形態によるノズル保持部材を取付部材から取り外した取外状態のＸ１方向側の端部の状態を示した正面図である。

【図14】第２実施形態によるノズル保持部材の保持状態を示した平面図である。

【図15】第２実施形態によるノズル保持部材の解除状態を示した平面図である。

【図16】図１４の２０１－２０１線に沿った断面図である。

【図17】図１５の２０２－２０２線に沿った断面図である。

【図18】図１４の２０３－２０３線に沿った断面図である。

【図19】図１５の２０４－２０４線に沿った断面図である。

【図20】第３実施形態によるノズル保持部材の保持状態を示した平面図である。

【図21】第３実施形態によるノズル保持部材の解除状態を示した平面図である。

【図22】図２０の３０１－３０１線に沿った断面図である。

【図23】図２１の３０２－３０２線に沿った断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

【0024】

［第１実施形態］
図１～図１３を参照して、第１実施形態による部品実装装置１００の構成について説明する。

【0025】

図１および図２に示すように、部品実装装置１００は、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの電子部品Ｅをプリント基板などの基板Ｍに実装するように構成されている。なお、電子部品Ｅは、特許請求の範囲の「部品」の一例である。

【0026】

ここで、部品実装装置１００において、基板Ｍを搬送する搬送方向をＸ１方向とし、基板Ｍを搬送する搬送方向の逆方向をＸ２方向とし、Ｘ１方向およびＸ２方向を合わせた方向をＸ方向とする。また、水平方向のうちのＸ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向の一方をＹ１方向とし、Ｙ方向の他方をＹ２方向とする。また、Ｘ方向およびＹ方向に直交する上下方向をＺ方向（上下方向）とし、Ｚ方向の一方をＺ１方向（上方向）とし、Ｚ方向の他方をＺ２方向（下方向）とする。

【0027】

部品実装装置１００は、基台１と、基板搬送部２と、支持部３と、レール部４と、ヘッドユニット５と、部品認識カメラ６と、基板認識カメラ７と、ノズル保持部材８と、当接部材９（図３参照）と、取付部材１０（図３参照）と、移動機構１１（図３参照）と、移動規制部１２（図３参照）とを備えている。

【0028】

（基台）
基台１は、部品実装装置１００において各構成要素を配置する基礎となる台である。基台１上には、構成要素として、基板搬送部２、レール部４、部品認識カメラ６および取付部材１０が設けられている。また、基台１には、Ｙ方向の両側（Ｙ１方向側およびＹ２方向側）に、複数のテープフィーダ１３を配置可能なフィーダ配置部１ａが設けられている。

【0029】

（基板搬送部）
基板搬送部２は、部品実装装置１００の外部から基板Ｍを搬入し、基板Ｍを搬送方向（Ｘ１方向）に搬送するように構成されている。基板搬送部２は、一対のコンベア部２ａと、一対のコンベア部２ａを回転駆動させるための駆動モータ（図示せず）とを含んでいる。一対のコンベア部２ａの各々は、プーリ（図示せず）と、プーリに掛け回された輪状の搬送ベルトとを有している。

【0030】

（支持部）
支持部３は、レール部４に複数（２個）配置されているが、両方とも同じ構造であるのでＹ１方向側の支持部３についてのみ説明を行う。

【0031】

支持部３は、ヘッドユニット５をＸ方向に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、支持部３は、Ｘ方向に延びるボールねじ軸３ａと、ボールねじ軸３ａを回転させるＸ軸モータ３ｂとを含んでいる。ヘッドユニット５には、支持部３のボールねじ軸３ａと係合するボールナット（図示せず）が設けられている。ヘッドユニット５は、Ｘ軸モータ３ｂによりボールねじ軸３ａが回転されることにより、ボールねじと係合するボールナットとともに、Ｘ方向に移動可能に構成されている。なお、支持部３は、Ｘ軸モータ３ｂを駆動源として回転するボールねじ軸３ａにより構成されのではなく、リニアモータにより構成されてもよい。

【0032】

（レール部）
レール部４は、支持部３をＹ方向に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、レール部４は、リニアモータにより構成されている。すなわち、レール部４は、固定子４ａと、可動子４ｂと、ガイドレール（図示せず）とを含んでいる。つまり、レール部４は、固定子４ａと可動子４ｂとの間の引力および斥力を制御して可動子４ｂにＹ方向の駆動力を発生させることにより、ガイドレールに沿って支持部３をＹ方向に移動させるように構成されている。なお、レール部４は、リニアモータにより構成されるのではなく、Ｙ軸モータを駆動源として回転するボールねじ軸により構成されてもよい。

【0033】

このような構成により、ヘッドユニット５は、基台１上を水平面内で（Ｘ方向およびＹ方向に）移動可能に構成されている。

【0034】

（ヘッドユニット）
図２に示すように、ヘッドユニット５は、部品実装用のヘッドユニット５であり、基板ＭのＺ１方向（上方）を移動するとともに基板Ｍに対して所定の作業（実装作業）を行うように構成されている。つまり、ヘッドユニット５は、作業位置において固定された基板Ｍに電子部品Ｅを実装するように構成されている。

【0035】

具体的には、ヘッドユニット５は、実装ヘッド５ａを含んでいる。実装ヘッド５ａは、電子部品Ｅを保持するとともに、基板Ｍ上の目標搭載位置（図示せず）に電子部品Ｅを実装するように構成されている。実装ヘッド５ａは、Ｘ方向に一列に複数（４個）並んで配置されている。なお、実装ヘッド５ａは、特許請求の範囲の「ヘッド」の一例である。

【0036】

複数の実装ヘッド５ａは、各々、圧力発生装置（図示せず）に接続されており、圧力発生装置により生じる負圧によって、先端に取り付けられた（装着された）ノズル５ｂに電子部品Ｅを保持（吸着）可能に構成されている。また、複数の実装ヘッド５ａは、各々、圧力発生装置による負圧を正圧に切り換えることによって、電子部品Ｅを基板Ｍに実装（搭載）可能に構成されている。

【0037】

複数の実装ヘッド５ａは、各々、Ｚ軸モータ５ｃによりＺ方向（上下方向）に移動可能に構成されている。また、複数の実装ヘッド５ａは、各々、Ｒ軸モータ（図示せず）により回転軸回りに回転可能に構成されている。

【0038】

（部品認識カメラ）
部品認識カメラ６は、基板Ｍへの電子部品Ｅの実装に先立ってノズル５ｂに保持（吸着）された電子部品Ｅを撮像する部品撮像用のカメラである。部品認識カメラ６は、基台１上に固定されており、電子部品Ｅの下方（Ｚ２方向）から、ノズル５ｂに保持（吸着）された電子部品Ｅを撮像するように構成されている。

【0039】

（基板認識カメラ）
基板認識カメラ７は、実装ヘッド５ａに取り付けられ、基板Ｍへの電子部品Ｅの実装に先立って、基板Ｍの上面に付されたフィデューシャルマーク（図示せず）を撮像するマーク撮像用のカメラである。フィデューシャルマークは、基板Ｍの位置を確認するためのマークである。

【0040】

（ノズル保持部材）
図３および図４に示すように、ノズル保持部材８は、実装ヘッド５ａに対して着脱可能な交換用のノズル５ｂを保持するように構成されている。詳細には、本実施形態のノズル保持部材８は、取付部材１０とは独立した状態で交換用のノズル５ｂの保持状態Ｈ１（図５（Ａ）参照）および解除状態Ｈ２（図５（Ｂ）参照）を切替可能であるとともに、取付部材１０に取り付けられた状態で交換用のノズル５ｂの保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２を切替可能であるように構成されている。

【0041】

ここで、ノズル保持部材８および取付部材１０の組は、基台１上に４個配置されているが、どれも同じ構造を有しているので、Ｚ部分に配置されたノズル保持部材８および取付部材１０の組について説明する。

【0042】

具体的には、ノズル保持部材８は、シャッタ部材８１と、移動規制部材８２と、保持部材本体８３と、維持機構８４と、保持側係止部８５とを含んでいる。

【0043】

シャッタ部材８１は、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すように、Ｘ方向に長い長方形状の平板形状を有している。シャッタ部材８１は、保持部材本体８３の上面１８３ａ（図６参照）に対してスライド移動可能に配置され、ノズル５ｂを保持状態Ｈ１と解除状態Ｈ２とに切替可能に構成されている。すなわち、シャッタ部材８１は、Ｘ方向のうちの一方向（Ｘ１方向）にスライド移動することにより、ノズル５ｂを保持状態Ｈ１にするとともに、Ｘ方向のうちの他方向（Ｘ２方向）にスライド移動することにより、ノズル５ｂを解除状態Ｈ２にするように構成されている。

【0044】

ここで、保持状態Ｈ１とは、ノズル収容孔８３ｂ（図６参照）に収容されたノズル５ｂをノズル収容孔８３ｂから出ないようにする状態を示す。解除状態Ｈ２とは、保持状態Ｈ１とノズル収容孔８３ｂに収容されたノズル５ｂをノズル収容孔８３ｂ（図７参照）から取出可能な状態を示す。

【0045】

具体的には、シャッタ部材８１は、ノズル挿通孔８１ａと、ノズル通過部８１ｂと、係合部８１ｃとを有している。

【0046】

ノズル挿通孔８１ａは、Ｘ方向に長い長孔形状を有している。ノズル挿通孔８１ａは、シャッタ部材８１をＺ方向に貫通している。ノズル挿通孔８１ａの内面には、複数の凹凸が形成されている。

【0047】

図５（Ａ）および図６に示すように、ノズル挿通孔８１ａの内面の凸部分は、係合部８１ｃである。係合部８１ｃは、ノズル収容孔８３ｂに収容される交換用のノズル５ｂに係合するように構成されている。詳細には、係合部８１ｃは、ノズル収容孔８３ｂに収容された交換用のノズル５ｂのフランジ部分５１ｂのＺ１方向側の面に係合する位置に配置されている。Ｙ方向において、ノズル挿通孔８１ａの内面の係合部８１ｃ同士の間隔は、ノズル収容孔８３ｂに収容される交換用のノズル５ｂのフランジ部分５１ｂの直径よりも小さい。

【0048】

図５（Ｂ）および図７に示すように、ノズル挿通孔８１ａの内面の凹部分は、ノズル通過部８１ｂである。ノズル通過部８１ｂは、貫通孔により構成されている。ノズル通過部８１ｂは、係合部８１ｃに隣接して設けられ、ノズル収容孔８３ｂに収容される交換用のノズル５ｂが通過するように構成されている。詳細には、ノズル通過部８１ｂは、ノズル収容孔８３ｂに収容された交換用のノズル５ｂのフランジ部分５１ｂのＺ１方向側の位置に配置されている。Ｙ方向において、ノズル通過部８１ｂの幅は、ノズル収容孔８３ｂに収容される交換用のノズル５ｂのフランジ部分５１ｂの直径よりも大きい。

【0049】

移動規制部材８２は、シャッタ部材８１のＺ１方向（上方向）への移動を規制するように構成されている。すなわち、移動規制部材８２の一部が、シャッタ部材８１のＺ１方向側の面に係合する位置に配置されている。

【0050】

具体的には、移動規制部材８２は、Ｚ方向に沿った断面形状が略Ｌ字状の平板形状を有している。移動規制部材８２は、Ｙ方向に並ぶ一対の平板により構成されている。移動規制部材８２の下部は、保持部材本体８３に固定されている。移動規制部材８２のＺ１方向側（上方向側）の部分は、Ｙ方向において、シャッタ部材８１の中央側に向かって突出している。

【0051】

図７および図８に示すように、保持部材本体８３は、シャッタ部材８１、移動規制部材８２、維持機構８４および保持側係止部８５を配置可能に構成されている。具体的には、保持部材本体８３は、ブロック状に形成されている。

【0052】

保持部材本体８３には、シャッタ部材８１を配置するために、Ｚ１方向側の上面１８３ａをＺ２方向（下方向）に窪ませた収容凹部８３ａが形成されている。保持部材の本体のＹ１方向側の側面には、一対の移動規制部材８２の一方が固定されている。保持部材の本体のＹ２方向側の側面には、一対の移動規制部材８２の他方が固定されている。保持部材の本体のＸ２方向側の側面には、維持機構８４の磁石８４ｂが埋め込まれている。保持部材の本体のＺ２方向側の底面には、保持側係止部８５が取り付けられている。

【0053】

保持部材本体８３は、交換用のノズル５ｂを保持可能に構成されている。具体的には、保持部材本体８３には、交換用のノズル５ｂが収容されるノズル収容孔８３ｂが形成されている。ノズル収容孔８３ｂは、保持部材本体８３の収容凹部８３ａの上面１８３ａをＺ２方向に窪ませて形成されている。ノズル収容孔８３ｂは、Ｚ１方向側の端部に、ノズル５ｂのフランジ部分５１ｂを支持する支持部８３ｃを有している。Ｚ方向に直交する方向において、支持部８３ｃの直径は、ノズル収容孔８３ｂの支持部８３ｃよりもＺ２方向側の部分の直径よりも大きい。Ｚ方向において、ノズル収容孔８３ｂの支持部８３ｃよりもＺ２方向側の部分の深さは、交換用のノズル５ｂのフランジ部分５１ｂよりもＺ２方向側の部分の長さよりも深い。

【0054】

図８および図９に示すように、維持機構８４は、ノズル保持部材８が取付部材１０に取り付けられた取付状態Ａ１およびノズル保持部材８が取付部材１０から取り外された取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材８１の保持状態Ｈ１、および、シャッタ部材８１の解除状態Ｈ２を維持するように構成されている。ここで、維持機構８４は、移動機構１１によるシャッタ部材８１の保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２の維持とは別個に、シャッタ部材８１の保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２を維持するように構成されている。

【0055】

具体的には、維持機構８４は、付勢部材８４ａと、磁石８４ｂとを有している。なお、磁石８４ｂは、特許請求の範囲の「維持部材」の一例である。

【0056】

付勢部材８４ａは、ノズル保持部材８に設けられ、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材８１を付勢して保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか一方に維持するように構成されている。具体的には、付勢部材８４ａは、圧縮バネにより構成されている。付勢部材８４ａは、Ｘ方向のうち保持部材本体８３から離れる方向（Ｘ２方向）に付勢するように構成されている。

【0057】

磁石８４ｂは、ノズル保持部材８に設けられ、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、付勢部材８４ａの付勢力に抗して、シャッタ部材８１を保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか他方に維持するように構成されている。すなわち、磁石８４ｂは、保持部材本体８３に設けられ、当接部材９の後述する当接面９ａを吸着することにより付勢部材８４ａの付勢力に抗してシャッタ部材８１の位置を維持するように構成されている。

【0058】

詳細には、磁石８４ｂは、当接部材９を付勢部材８４ａの付勢方向とは逆方向への吸着力を生じさせることにより、シャッタ部材８１に取り付けられた当接部材９への付勢部材８４ａの付勢力に抗して、シャッタ部材８１の位置を維持している。この際、磁石８４ｂは、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、ノズル収容孔８３ｂに対応する位置に係合部８１ｃを配置したシャッタ部材８１の保持状態Ｈ１（図６参照）、および、ノズル収容孔８３ｂに対応する位置にノズル通過部８１ｂを配置したシャッタ部材８１の解除状態Ｈ２（図７参照）を維持するように構成されている。

【0059】

磁石８４ｂは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）において、保持部材本体８３の当接部材９側の端部に配置されている。磁石８４ｂは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）および上下方向に直交する方向（Ｙ方向）において、保持部材本体８３の当接部材９側の両端部に配置されている。磁石８４ｂは、保持部材本体８３の当接部材９側の両端部に締結部材により固定されている。

【0060】

保持側係止部８５は、ノズル保持部材８を取付部材１０に取り付けるために設けられている。保持側係止部８５は、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）において、保持部材本体８３の中央側から外側に突出する爪状に形成されている。保持側係止部８５は、保持部材本体８３の取付部材１０側に設けられている。保持側係止部８５は、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）において、保持部材本体８３の両端部に配置されている。保持側係止部８５は、保持部材本体８３の当接部材９側の両端部に締結部材により固定されている。

【0061】

当接部材９は、保持部材本体８３に当接するように構成されている。すなわち、当接部材９は、シャッタ部材８１の移動に伴って移動し、保持部材本体８３に当接するように構成されている。具体的には、当接部材９は、シャッタ部材８１に設けられてシャッタ部材８１とともにスライド移動し、解除状態Ｈ２または保持状態Ｈ１のいずれかにおいて保持部材本体８３に当接する当接面９ａを含んでいる。当接面９ａは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）において、当接部材９の保持部材本体８３側の端面である。また、当接部材９は、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）において、当接面９ａよりも保持部材本体８３側とは反対側に配置され、付勢部材８４ａのうち保持部材本体８３側とは反対側の端部が支持される支持面９ｂを含んでいる。支持面９ｂは、保持部材本体８３側から当接部材９に向かう方向に付勢部材８４ａにより付勢されている。

【0062】

また、当接部材９は、磁石８４ｂに吸着可能に構成されている。具体的には、当接部材９は、磁性体（たとえば、鉄、フェライト系ステンレス鋼およびマルテンサイト系ステンレス鋼など）により形成されている。

【0063】

このように、シャッタ部材８１は、付勢部材８４ａによる支持面９ｂに対する付勢力によって、保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか一方に維持されるとともに、磁石８４ｂにより当接面９ａを吸着することによって、保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２の他方に維持される。具体的には、シャッタ部材８１は、付勢部材８４ａによる支持面９ｂに対する付勢力によって、解除状態Ｈ２（図５（Ａ）参照）に維持されている。また、シャッタ部材８１は、磁石８４ｂにより当接面９ａを吸着することによって、保持状態Ｈ１（図５（Ｂ）参照）に維持されている。

【0064】

（取付部材）
図１０および図１１に示すように、取付部材１０は、ノズル保持部材８を基台１に取り付けるように構成されている。すなわち、取付部材１０は、基台１の上面に設けられ、ノズル保持部材８が着脱可能に取り付けられるように構成されている。具体的には、取付部材１０は、取付部材本体１０ａと、取付側係止部１０ｂと、係合解除部１０ｃとを含んでいる。

【0065】

取付部材本体１０ａは、基台１に取り付けられている。取付部材本体１０ａには、取付側係止部１０ｂおよび係合解除部１０ｃが取り付けられている。

【0066】

取付側係止部１０ｂは、取付部材１０にノズル保持部材８を保持するために設けられている。取付側係止部１０ｂは、保持側係止部８５と係止するように構成されている。取付側係止部１０ｂは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）において、保持部材本体８３の中央側に向かって突出する爪状に形成されている。取付側係止部１０ｂは、取付部材本体１０ａのノズル保持部材８側に設けられている。取付側係止部１０ｂは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）において、取付部材１０の両端部に配置されている。取付側係止部１０ｂは、取付部材本体１０ａの当接部材９側の端部に回転中心軸線Ｃ１回りに回動可能に軸支されている。取付側係止部１０ｂは、取付部材本体１０ａの当接部材９とは反対側の端部に固定されている。

【0067】

係合解除部１０ｃは、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとの係合を解除するように構成されている。具体的には、係合解除部１０ｃは、解除レバー１１０ｃと、付勢部材１１１ｃとを有している。

【0068】

解除レバー１１０ｃは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）および上下方向に直交する方向（Ｙ方向）に延びる回転中心軸線Ｃ１回りに回動することにより、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとの係合および係合の解除を行うように構成されている。すなわち、解除レバー１１０ｃは、取付部材本体１０ａの当接部材９側の端部に回動可能に軸支された取付側係止部１０ｂを同方向に回動させるように構成されている。ここで、解除レバー１１０ｃは、付勢部材１１１ｃにより、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとが係合する方向に回動するように付勢されている。解除レバー１１０ｃは、付勢部材１１１ｃに抗して回動することにより、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとの係合が解除する解除方向（以下、Ｄ方向とする）に回動するように取付部材本体１０ａに取り付けられている。

【0069】

（移動機構）
移動機構１１は、ノズル保持部材８が取付部材１０に保持された状態で、シャッタ部材８１をスライド移動させるように構成されている。具体的には、移動機構１１は、駆動源１１ａと、伝達部材１１ｂとを有している。

【0070】

駆動源１１ａは、エアシリンダにより構成されている。伝達部材１１ｂは、駆動源１１ａの駆動力をシャッタ部材８１に伝達し、シャッタ部材８１をスライド移動させるように構成されている。伝達部材１１ｂは、リンクにより構成されている。伝達部材１１ｂは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）および上下方向に直交する方向（Ｙ方向）に延びる回転中心軸線Ｃ２回りに回動することにより、シャッタ部材８１をスライド移動させるように構成されている。伝達部材１１ｂのＺ１方向側の端部は、ノズル保持部材８の当接部材９に着脱可能に係合されている。伝達部材１１ｂのＺ方向の中央部は、取付部材本体１０ａに回動可能に取り付けられている。伝達部材１１ｂのＺ２方向側の端部は、駆動源１１ａに連結されている。

【0071】

このように、シャッタ部材８１は、駆動源１１ａにおいて、ロッド１１ｃがシリンダ１１ｄから突出するとともに伝達部材１１ｂが回動することによって、スライド方向の一方側（Ｘ１方向）にスライド移動する。シャッタ部材８１は、駆動源１１ａにおいて、ロッド１１ｃがシリンダ１１ｄに収容されるとともに伝達部材１１ｂが回動することによって、スライド方向の他方側（Ｘ２方向）にスライド移動する。

【0072】

（移動規制部）
図１１および図１２に示すように、移動規制部１２は、解除レバー１１０ｃの移動をシャッタ部材８１の配置位置によって規制するように構成されている。すなわち、移動規制部１２は、解除状態Ｈ２の際、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとの係合を解除する解除レバー１１０ｃの移動を規制するとともに、保持状態Ｈ１の際、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとの係合を解除レバー１１０ｃの移動により解除させるように構成されている。ここで、図１１および図１２では、解除レバー１１０ｃの一部がＺ方向に沿った断面図になっている。

【0073】

具体的には、移動規制部１２は、ピン１２ａと、溝部１２ｂとを含んでいる。ピン１２ａは、伝達部材１１ｂに設けられ、移動機構１１によるシャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）と同じ方向に移動するように構成されている。ピン１２ａは、伝達部材１１ｂの表面から解除レバー１１０ｃに向かって突出している。ピン１２ａは、Ｚ方向の中央部よりもＺ１方向側の位置に配置されている。溝部１２ｂは、解除レバー１１０ｃに形成され、ピン１２ａが挿入されている。溝部１２ｂは、解除レバー１１０ｃの伝達部材１１ｂ側の面を窪ませることにより形成されている。

【0074】

溝部１２ｂは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）および上下方向に直交する方向（Ｙ方向）から視て、折れ曲がった形状を有している。すなわち、溝部１２ｂは、第１部分１２０ｂと、第２部分１２１ｂとを有している。第１部分１２０ｂと第２部分１２１ｂとは、接続部分において、Ｚ方向に対して傾斜するように折れ曲がって接続されている。

【0075】

第１部分１２０ｂは、解除状態Ｈ２にシャッタ部材８１が維持される場合、解除レバー１１０ｃが係合のＤ方向へ回動した際に、ピン１２ａが当接してピン１２ａの移動を規制する内面１２２ｂを有している。第１部分１２０ｂは、シャッタ部材８１のスライド方向（Ｘ方向）に延びる溝である。第２部分１２１ｂは、第１部分１２０ｂの内面１２２ｂに設けられている。第２部分１２１ｂは、保持状態Ｈ１にシャッタ部材８１が維持されている場合、解除レバー１１０ｃが係合のＤ方向へ回動した際に、ピン１２ａが進入してピン１２ａの移動を可能にするように構成されている。この際、ピン１２ａは、第１部分１２０ｂの内面１２２ｂに当接していない。第２部分１２１ｂは、第１部分１２０ｂの取付部材本体１０ａ側の端部からＺ１方向側に延びる溝である。

【0076】

このように、ノズル保持部材８を取付部材１０に取り付けた取付状態Ａ１において、シャッタ部材８１を解除状態Ｈ２（図５（Ｂ）参照）に維持している際、移動規制部１２によりノズル保持部材８と取付部材１０との係合の解除が規制されている。ここで、シャッタ部材８１を保持状態Ｈ１（図５（Ａ）参照）に配置することにより、移動規制部１２によるノズル保持部材８と取付部材１０との係合が解除されて、ノズル保持部材８が取付部材１０から取り外した取外状態Ａ２になる。この際、図１２および図１３に示すように、取付部材本体１０ａの当接部材９側の端部に回動可能に軸支された取付側係止部１０ｂから、ノズル保持部材８の当接部材９側の端部に取り付けられた保持側係止部８５の係止が外れている。また、取付部材本体１０ａの当接部材９とは反対側の端部に固定された取付側係止部１０ｂから、ノズル保持部材８の当接部材９側とは反対側の端部に取り付けられた保持側係止部８５の係止が外れている。

【0077】

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0078】

第１実施形態では、上記のように、部品実装装置１００には、ノズル保持部材８と、取付部材１０とを設ける。そして、ノズル保持部材８に、ノズル保持部材８が取付部材１０に取り付けられた取付状態Ａ１およびノズル保持部材８が取付部材１０から取り外された取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材８１の保持状態Ｈ１、および、シャッタ部材８１の解除状態Ｈ２を維持する維持機構８４を設ける。これにより、維持機構８４によりシャッタ部材８１を解除状態Ｈ２に維持させて、作業者によりノズル５ｂをノズル保持部材８に配置した後、維持機構８４によりシャッタ部材８１を保持状態Ｈ１に切り替えることにより、取付状態Ａ１だけでなく取外状態Ａ２においても、交換用のノズル５ｂをノズル保持部材８に保持させることができる。また、取外状態Ａ２の場合、交換用のノズル５ｂをノズル保持部材８に保持させた後、作業者によりノズル保持部材８を取付部材１０にそのまま取り付けることができる。すなわち、交換用のノズル５ｂをノズル交換治具に配置する作業を行うことなく、交換用のノズル５ｂの部品実装装置１００への配置作業を行うことができる。これらの結果、取付状態だけでなく取外状態においても、作業者による交換用のノズル５ｂの部品実装装置１００への配置作業を容易に行うことができる。

【0079】

また、第１実施形態では、上記のように、維持機構８４に、付勢部材８４ａと、磁石８４ｂ（維持機構８４）とを設ける。これにより、付勢部材８４ａにより生じる一方向への付勢力に対して抗する構造を有する維持機構８４を設ければよいので、維持機構８４の構造を簡易にすることができる。この結果、ノズル保持部材８の構造の複雑化を抑制することができる。

【0080】

また、第１実施形態では、上記のように、維持機構８４を、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材８１の保持状態Ｈ１、および、シャッタ部材８１の解除状態Ｈ２を維持するように構成する。これにより、ノズル収容孔８３ｂに対応する位置に、シャッタ部材８１に設けられた係合部８１ｃを配置するだけで、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、交換用のノズル５ｂをノズル保持部材８により容易に保持することができる。また、ノズル収容孔８３ｂに対応する位置に、ノズル通過部８１ｂを配置するだけで、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、交換用のノズル５ｂをノズル保持部材８により保持した状態を容易に解除することができる。これらの結果、交換用のノズル５ｂのノズル保持部材８への保持または保持の解除を切替可能な構造を簡易な構造にすることができる。

【0081】

また、第１実施形態では、上記のように、ノズル保持部材８に、保持側係止部８５を設ける。取付部材１０に、取付側係止部１０ｂと、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとの係合を解除する係合解除部１０ｃとを設ける。部品実装装置１００に、解除状態Ｈ２の際、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとの係合を解除する係合解除部１０ｃの移動を規制するとともに、保持状態Ｈ１の際、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとの係合を係合解除部１０ｃの移動により解除させる移動規制部１２を設ける。これにより、シャッタ部材８１によりノズル５ｂを保持した保持状態Ｈ１でなければ、取付部材１０からノズル保持部材８を取り外すことができない。この結果、取付部材１０からノズル保持部材８を取り外す際、ノズル保持部材８からノズル５ｂが脱落することを抑制することができる。

【0082】

また、第１実施形態では、上記のように、移動規制部１２には、伝達部材１１ｂに設けられるピン１２ａと、解除レバー１１０ｃに形成される溝部１２ｂとを設ける。溝部１２ｂには、解除状態Ｈ２にシャッタ部材８１が維持される場合、解除レバー１１０ｃが係合のＤ方向へ回動した際に、ピン１２ａが当接してピン１２ａの移動を規制する内面１２２ｂを有する第１部分１２０ｂを設ける。また、溝部１２ｂには、保持状態Ｈ１にシャッタ部材８１が維持されている場合、解除レバー１１０ｃが係合のＤ方向へ回動した際に、ピン１２ａが進入してピン１２ａの移動を可能にする第２部分１２１ｂを設ける。これにより、伝達部材１１ｂに設けられたピン１２ａを解除レバー１１０ｃに形成された溝部１２ｂに配置するだけで、シャッタ部材８１によりノズル５ｂを保持した保持状態Ｈ１でなければ、取付部材１０からノズル保持部材８を取り外すことができないようにすることができる。この結果、簡易な構造の移動規制部１２により、取付部材１０からノズル保持部材８を取り外す際、ノズル保持部材８からノズル５ｂが脱落することを抑制することができる。

【0083】

また、第１実施形態では、上記のように、シャッタ部材８１を、付勢部材８４ａによる支持面９ｂに対する付勢力によって、保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか一方に維持されるとともに、磁石８４ｂにより当接面９ａを吸着することによって、保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２の他方に維持されるように構成する。これにより、当接部材９に対する付勢部材８４ａの付勢力および磁石８４ｂの吸着力を利用して、シャッタ部材８１の保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれかに維持することができるので、ノズル保持部材８を簡易な構造にすることができる。

【0084】

［第２実施形態］
次に、図１、図２および図１４～図１９を参照して、第２実施形態の部品実装装置２００について説明する。第２実施形態の部品実装装置２００は、詳細には、磁石８４ｂにより当接部材９を吸着する上記第１実施形態の部品実装装置１００とは異なり、プランジャ２８４ｂによりシャッタ部材２８１を係合する。なお、第２実施形態において、上記第１実施形態と同様の構成に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。

【0085】

図１および図２に示すように、第２実施形態の部品実装装置２００は、基台１と、基板搬送部２と、支持部３と、レール部４と、ヘッドユニット５と、部品認識カメラ６と、基板認識カメラ７と、ノズル保持部材２０８と、当接部材９と、取付部材１０と、移動機構１１と、移動規制部１２とを備えている。

【0086】

（ノズル保持部材）
ノズル保持部材２０８は、シャッタ部材２８１と、移動規制部材８２と、保持部材本体８３と、プランジャ２８４ｂを有する維持機構２８４と、保持側係止部８５とを含んでいる。

【0087】

シャッタ部材２８１は、図１４および図１５に示すように、付勢部材２８４ａおよびプランジャ２８４ｂにより、ノズル５ｂを保持状態Ｈ１と解除状態Ｈ２とに切替可能に構成されている。具体的には、シャッタ部材２８１は、ノズル挿通孔８１ａと、ノズル通過部８１ｂと、係合部８１ｃと、逃げ孔２８１ｄと、係合孔２８１ｅとを有している。すなわち、シャッタ部材２８１には、プランジャ２８４ｂが係合する係合孔２８１ｅ、および、プランジャ２８４ｂの係合を解除する逃げ孔２８１ｄが形成されている。

【0088】

図１４および図１６に示すように、逃げ孔２８１ｄは、Ｘ方向に長い長孔により形成されている。逃げ孔２８１ｄには、シャッタ部材２８１のＸ方向のスライド移動をガイドするガイドピン２８５が挿入されている。ここで、ガイドピン２８１ｆは、逃げ孔２８１ｄを挿通するピン本体２８５ａと、ピン本体２８５ａに設けられた頭部２８５ｂとを有している。また、ガイドピン２８５のピン本体２８５ａは、保持部材本体８３に取り付けられている。ガイドピン２８５の頭部２８５ｂの直径は、逃げ孔２８１ｄのＹ方向の幅よりも大きい。

【0089】

逃げ孔２８１ｄは、プランジャ２８４ｂの係合を解除するように構成されている。すなわち、ノズル５ｂの解除状態Ｈ２において、逃げ孔２８１ｄには、プランジャ２８４ｂの先端部２８４ｃが挿入されている。プランジャ２８４ｂの先端部２８４ｃは、ノズル５ｂの解除状態Ｈ２において、シャッタ部材２８１のスライド移動方向における当接部材９側とは反対側に配置されている。逃げ孔２８１ｄのＹ方向の幅は、ノズル５ｂの先端部の直径よりも大きい。

【0090】

図１５および図１７に示すように、係合孔２８１ｅは、シャッタ部材２８１をＺ方向に貫通する貫通孔により構成されている。係合孔２８１ｅは、プランジャ２８４ｂの係合を保持するように構成されている。すなわち、ノズル５ｂの保持状態Ｈ１において、係合孔２８１ｅには、プランジャ２８４ｂの先端部２８４ｃが挿入されている。係合孔２８１ｅは、逃げ孔２８１ｄよりもシャッタ部材２８１のスライド移動方向における当接部材９側とは反対側に配置されている。プランジャ２８４ｂの先端部２８４ｃは、ノズル５ｂの保持状態Ｈ１において、係合孔２８１ｅに挿入されている。逃げ孔２８１ｄの直径は、ノズル５ｂの先端部の直径よりも小さい。

【0091】

図１４および図１５に示すように、維持機構２８４は、ノズル保持部材２０８が取付部材１０に取り付けられた取付状態Ａ１およびノズル保持部材２０８が取付部材１０から取り外された取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材２８１の保持状態Ｈ１、および、シャッタ部材２８１の解除状態Ｈ２を維持するように構成されている。

【0092】

具体的には、維持機構２８４は、上記プランジャ２８４ｂと、付勢部材２８４ａとを有している。なお、プランジャ２８４ｂは、特許請求の範囲の「維持部材」の一例である。

【0093】

図１６および図１７に示すように、プランジャ２８４ｂは、保持部材本体８３に設けられ、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、付勢部材２８４ａの付勢力に抗して、シャッタ部材２８１を保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか他方に維持するように構成されている。すなわち、プランジャ２８４ｂは、保持部材本体８３に設けられ、シャッタ部材２８１の係合孔２８１ｅに係合することにより付勢部材２８４ａの付勢力に抗してシャッタ部材２８１の位置を維持するように構成されている。

【0094】

具体的には、プランジャ２８４ｂは、上記先端部２８４ｃと、圧縮バネ２８４ｄとを有している。先端部２８４ｃは、係合孔２８１ｅに係合可能な大きさを有する球形状を有している。圧縮バネ２８４ｄは、先端部２８４ｃをＺ１方向に付勢している。なお、圧縮バネ２８４ｄは、特許請求の範囲の「付勢部」の一例である。

【0095】

この際、プランジャ２８４ｂは、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、ノズル収容孔８３ｂに対応する位置に係合部８１ｃを配置したシャッタ部材２８１の保持状態Ｈ１（図１４参照）、および、ノズル収容孔８３ｂに対応する位置にノズル通過部８１ｂを配置したシャッタ部材２８１の解除状態Ｈ２（図１５参照）を維持するように構成されている。

【0096】

プランジャ２８４ｂは、シャッタ部材２８１のスライド方向（Ｘ方向）において、保持状態Ｈ１の際における係合孔２８１ｅに合う位置側の端部に配置されている。プランジャ２８４ｂは、保持部材本体８３をＺ方向に貫通する貫通孔に嵌め込まれて固定されている。

【0097】

図１８および図１９に示すように、付勢部材２８４ａは、ノズル保持部材２０８に設けられ、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材２８１を付勢して保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか一方に維持するように構成されている。具体的には、付勢部材２８４ａは、引張バネにより構成されている。付勢部材２８４ａは、Ｘ方向のうち保持部材本体８３に近付く方向（Ｘ１方向）に付勢するように構成されている。

【0098】

このように、シャッタ部材２８１は、プランジャ２８４ｂが逃げ孔２８１ｄに挿入される場合に付勢部材２８４ａの付勢力により保持状態Ｈ１に維持されるとともに、プランジャ２８４ｂが係合孔２８１ｅに係合される場合に解除状態Ｈ２に維持されるように構成されている。すなわち、シャッタ部材２８１は、付勢部材２８４ａによる支持面９ｂに対する付勢力によって、保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか一方に維持されるとともに、プランジャ２８４ｂが係合孔２８１ｅに係合することにより、保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２の他方に維持される。

【0099】

具体的には、シャッタ部材２８１は、付勢部材２８４ａによる支持面９ｂに対する付勢力によって、保持状態Ｈ１（図１４参照）に維持されている。また、シャッタ部材２８１は、プランジャ２８４ｂが係合孔２８１ｅに係合することによって、解除状態Ｈ２（図１５参照）に維持されている。なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

【0100】

（第２実施形態の効果）
第２実施形態の効果について説明する。

【0101】

第２実施形態では、上記のように、ノズル保持部材２０８に、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材２８１の保持状態Ｈ１、および、シャッタ部材２８１の解除状態Ｈ２を維持する維持機構２８４を設ける。これにより、取付状態Ａ１だけでなく取外状態Ａ２においても、作業者による交換用のノズル５ｂの部品実装装置２００への配置作業を容易に行うことができる。

【0102】

また、第２実施形態では、上記のように、シャッタ部材２８１は、プランジャ２８４ｂが逃げ孔２８１ｄに挿入される場合に付勢部材２８４ａの付勢力により保持状態に維持されるとともに、プランジャ２８４ｂが係合孔２８１ｅに係合される場合に解除状態に維持されるように構成されている。これにより、当接部材９に対する付勢部材２８４ａの付勢力と、プランジャ２８４ｂの係合力を利用して、シャッタ部材２８１の保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれかに維持することができるので、ノズル保持部材２０８を簡易な構造にすることができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

【0103】

［第３実施形態］
次に、図１、図２および図２０～図２３を参照して、第３実施形態の部品実装装置３００について説明する。第３実施形態の部品実装装置３００は、詳細には、磁石８４ｂにより当接部材９を吸着する上記第１実施形態の部品実装装置１００とは異なり、磁石３８４ｂによりシャッタ部材３８１を吸着する。なお、第３実施形態において、上記第１実施形態と同様の構成に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。

【0104】

図１および図２に示すように、第３実施形態の部品実装装置３００は、基台１と、基板搬送部２と、支持部３と、レール部４と、ヘッドユニット５と、部品認識カメラ６と、基板認識カメラ７と、ノズル保持部材３０８と、当接部材９と、取付部材１０と、移動機構１１と、移動規制部１２とを備えている。

【0105】

（ノズル保持部材）
ノズル保持部材３０８は、シャッタ部材３８１と、移動規制部材８２と、保持部材本体８３と、磁石３８４ｂを有する維持機構３８４と、保持側係止部８５とを含んでいる。

【0106】

シャッタ部材３８１は、図２０および図２１に示すように、付勢部材（図示せず）および磁石３８４ｂにより、ノズル５ｂを保持状態Ｈ１と解除状態Ｈ２とに切替可能に構成されている。具体的には、シャッタ部材３８１は、ノズル挿通孔８１ａと、ノズル通過部８１ｂと、係合部８１ｃと、逃げ孔３８１ｄとを有している。

【0107】

また、シャッタ部材３８１は、磁石３８４ｂに吸着可能に構成されている。具体的には、シャッタ部材３８１は、磁性体（たとえば、鉄、フェライト系ステンレス鋼およびマルテンサイト系ステンレス鋼など）により形成されている。

【0108】

シャッタ部材３８１には、磁石３８４ｂの吸着を解除する逃げ孔３８１ｄが形成されている。逃げ孔３８１ｄは、ノズル挿通孔８１ａのＸ方向における当接部材９とは反対側の端部により形成されている。逃げ孔３８１ｄのＹ方向の幅は、磁石３８４ｂの直径よりも大きい。

【0109】

維持機構３８４は、ノズル保持部材３０８が取付部材１０に取り付けられた取付状態Ａ１およびノズル保持部材３０８が取付部材１０から取り外された取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材３８１の保持状態Ｈ１、および、シャッタ部材３８１の解除状態Ｈ２を維持するように構成されている。

【0110】

具体的には、維持機構３８４は、付勢部材と、上記磁石３８４ｂと、を有している。なお、磁石３８４ｂは、特許請求の範囲の「維持部材」の一例である。

【0111】

図２２および図２３に示すように、磁石３８４ｂは、保持部材本体８３に設けられ、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、付勢部材の付勢力に抗して、シャッタ部材３８１を保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか他方に維持するように構成されている。すなわち、磁石３８４ｂは、保持部材本体８３に設けられ、シャッタ部材３８１を吸着することにより付勢部材の付勢力に抗してシャッタ部材３８１の位置を維持するように構成されている。

【0112】

この際、磁石３８４ｂは、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、ノズル収容孔８３ｂに対応する位置に係合部８１ｃを配置したシャッタ部材３８１の保持状態Ｈ１（図２０参照）、および、ノズル収容孔８３ｂに対応する位置にノズル通過部８１ｂを配置したシャッタ部材３８１の解除状態Ｈ２（図２１参照）を維持するように構成されている。

【0113】

磁石３８４ｂは、シャッタ部材３８１のスライド方向（Ｘ方向）において、解除状態Ｈ２の際におけるノズル挿通孔８１ａの逃げ孔３８１ｄに合う位置に配置されている。磁石３８４ｂは、保持部材本体８３の上面をＺ２方向に窪ませた凹部に締結部材により固定されている。

【0114】

このように、シャッタ部材３８１は、磁石３８４ｂが逃げ孔３８１ｄの位置に配置される場合に付勢部材の付勢力により保持状態Ｈ１に維持されるとともに、磁石３８４ｂがシャッタ部材３８１を吸着する場合に解除状態Ｈ２に維持されるように構成されている。すなわち、付勢部材は、ノズル保持部材３０８に設けられ、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材３８１を付勢して保持状態Ｈ１および解除状態Ｈ２のいずれか一方に維持するように構成されている。

【0115】

具体的には、付勢部材は、引張バネにより構成されている。付勢部材は、Ｘ方向のうち保持部材本体８３に近付く方向（Ｘ１方向）に付勢するように構成されている。なお、第３実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

【0116】

（第３実施形態の効果）
第３実施形態の効果について説明する。

【0117】

第３実施形態では、上記のように、ノズル保持部材３０８に、取付状態Ａ１および取外状態Ａ２のいずれにおいても、シャッタ部材３８１の保持状態Ｈ１、および、シャッタ部材３８１の解除状態Ｈ２を維持する維持機構３８４を設ける。これにより、取付状態Ａ１だけでなく取外状態Ａ２においても、作業者による交換用のノズル５ｂの部品実装装置３００への配置作業を容易に行うことができる。

【0118】

また、第３実施形態では、上記のように、シャッタ部材３８１は、磁石３８４ｂが逃げ孔３８１ｄの位置に配置される場合に付勢部材３８４ａの付勢力により保持状態に維持されるとともに、磁石３８４ｂがシャッタ部材３８１を吸着する場合に解除状態に維持されるように構成されている。これにより、当接部材９に対する付勢部材３８４ａの付勢力と、磁石３８４ｂの吸着力とを利用して、シャッタ部材３８１の保持状態および解除状態のいずれかに維持することができるので、ノズル保持部材３０８を簡易な構造にすることができる。なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

【0119】

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0120】

たとえば、上記第１実施形態では、付勢部材８４ａは、圧縮バネにより構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、付勢部材は、圧縮バネの代わりに引張バネなどの他の部材を用いてもよい。

【0121】

また、上記第２および３実施形態では、付勢部材２８４ａは、引張バネにより構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、付勢部材は、引張バネの代わりに圧縮バネなどの他の部材を用いてもよい。

【0122】

また、上記第１～第３実施形態では、ノズル保持部材８は、保持側係止部８５と取付側係止部１０ｂとを係合させ取付部材１０に取り付けられる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ノズル保持部材は、取付部材に対して着脱可能であれば他の方法により取り付けられてもよい。

【0123】

また、上記第１～第３実施形態では、部品実装装置１００（２００，３００）は、移動規制部１２を備える例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品実装装置は、移動規制部を備えていなくてもよい。

【0124】

また、上記第１～第３実施形態では、移動規制部１２は、伝達部材１１ｂに設けられるピン１２ａと、解除レバー１１０ｃに形成される溝部１２ｂとを含む例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、移動規制部は、解除レバーに設けられるピンと、伝達部材に形成される溝部とを含んでいてもよい。

【符号の説明】

【0125】

１ 基台
５ａ 実装ヘッド（ヘッド）
５ｂ ノズル
８、２０８、３０８ ノズル保持部材
９ 当接部材
９ａ 当接面
９ｂ 支持面
１０ 取付部材
１０ｂ 取付側係止部
１０ｃ 係合解除部
１１ 移動機構
１１ａ 駆動源
１１ｂ 伝達部材
１２ 移動規制部
１２ａ ピン
１２ｂ 溝部
８１、２８１、３８１ シャッタ部材
８１ｂ ノズル通過部
８１ｃ 係合部
８３ 保持部材本体
８３ｂ ノズル収容孔
８４、２８４、３８４ 維持機構
８４ａ、２８４ａ 付勢部材
８４ｂ，３８４ｂ 磁石（維持部材）
８５ 保持側係止部
１００、２００、３００ 部品実装装置
１１０ｃ 解除レバー
１２０ｂ 第１部分
１２１ｂ 第２部分
１２２ｂ 内面
１８３ａ （保持部材本体の）上面
２８１ｄ、３８１ｄ 逃げ孔
２８１ｅ 係合孔
２８４ｂ プランジャ
２８４ｃ 先端部
２８４ｄ 圧縮バネ（付勢部）
Ａ１ 取付状態
Ａ２ 取外状態
Ｃ１、Ｃ２ 回転中心軸線
Ｄ 解除方向
Ｈ１ 保持状態
Ｈ２ 解除状態
Ｍ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】