特許 7314072 ディスク装置用サスペンション

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-14

(45)【発行日】2023-07-25

(54)【発明の名称】ディスク装置用サスペンション

(51)【国際特許分類】

   G11B 21/21 20060101AFI20230718BHJP

   G11B 5/60 20060101ALI20230718BHJP

【ＦＩ】

G11B21/21 C

G11B21/21 D

G11B5/60 P

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2020014682

(22)【出願日】2020-01-31

(65)【公開番号】P2021121980

(43)【公開日】2021-08-26

【審査請求日】2022-08-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000004640

【氏名又は名称】日本発條株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】中山 浩志

(72)【発明者】

【氏名】半谷 正夫

(72)【発明者】

【氏名】西田 辰彦

【審査官】中野 和彦

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－２１８６６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７０８５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０８２１３１２２（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ１１Ｂ ２１／２１

Ｇ１１Ｂ ５／６０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面と、前記第１面とは反対側の第２面と、前記第１面から前記第２面に貫通する第１開口および第２開口と、を有するロードビームと、
少なくとも一部が前記第１面に対向するとともに前記ロードビームの基端側から先端側に向けて前記第１開口を横切る第１アウトリガーと、少なくとも一部が前記第１面に対向するとともに前記基端側から前記先端側に向けて前記第２開口を横切る第２アウトリガーと、前記第１アウトリガーおよび前記第２アウトリガーの間に配置されスライダが搭載されるタングと、を有したフレキシャと、
前記第１開口と重なる前記第１アウトリガーの一部および前記第１面に貼り付けられた第１ダンパー材と、
前記第２開口と重なる前記第２アウトリガーの一部および前記第１面に貼り付けられた第２ダンパー材と、を備え、
前記ロードビームの長さ方向において、前記第１開口の前記先端側の縁部と前記第１ダンパー材とが離間し、
前記長さ方向において、前記第２開口の前記先端側の縁部と前記第２ダンパー材とが離間している、ディスク装置用サスペンション。

【請求項2】

前記ロードビームの厚さ方向において、前記第１開口の前記先端側の縁部と前記第１アウトリガーの間、および、前記第２開口の前記先端側の縁部と前記第２アウトリガーの間にそれぞれ隙間が形成されている、
請求項１に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項3】

前記長さ方向において、前記第１開口の前記基端側の縁部と前記第１ダンパー材とが離間し、
前記長さ方向において、前記第２開口の前記基端側の縁部と前記第２ダンパー材とが離間している、
請求項１または２に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項4】

前記第１ダンパー材は、前記第１開口の前記基端側の縁部と重なり、
前記第２ダンパー材は、前記第２開口の前記基端側の縁部と重なる、
請求項１または２に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項5】

前記第１開口の前記基端側の縁部と前記第１アウトリガーとが接触し、
前記第２開口の前記基端側の縁部と前記第２アウトリガーとが接触している、
請求項３または４に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項6】

前記第１ダンパー材と前記第２ダンパー材は、前記ロードビームの幅方向において離間しており、
前記フレキシャは、前記第１ダンパー材と前記第２ダンパー材の間を通って前記スライダに接続される配線をさらに備える、
請求項１～５のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項7】

前記第１アウトリガーは、前記第１開口と重なる第１屈曲部を有し、
前記第２アウトリガーは、前記第２開口と重なる第２屈曲部を有し、
前記第１ダンパー材は、前記第１屈曲部に貼り付けられ、
前記第２ダンパー材は、前記第２屈曲部に貼り付けられている、
請求項１～６のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項8】

前記ロードビームは、前記第１開口において前記第１屈曲部に向けて突出する第１凸部と、前記第２開口において前記第２屈曲部に向けて突出する第２凸部と、を有し、
前記第１ダンパー材は、前記第１凸部に貼り付けられ、
前記第２ダンパー材は、前記第２凸部に貼り付けられている、
請求項７に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項9】

前記第１屈曲部の中心より前記先端側において前記第１ダンパー材と前記第１アウトリガーが重なる面積よりも、当該中心より前記基端側において前記第１ダンパー材と前記第１アウトリガーが重なる面積の方が大きく、
前記第２屈曲部の中心より前記先端側において前記第２ダンパー材と前記第２アウトリガーが重なる面積よりも、当該中心より前記基端側において前記第２ダンパー材と前記第２アウトリガーが重なる面積の方が大きい、
請求項７または８に記載のディスク装置用サスペンション。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ハードディスク装置等に使われるディスク装置用サスペンションに関する。

【背景技術】

【0002】

パーソナルコンピュータなどの情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクや、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジはアクチュエータアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによってピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。

【0003】

上記アクチュエータアームにディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称す）が取り付けられている。サスペンションは、ロードビームや、ロードビームに重ねて配置されたフレキシャなどを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部に、磁気ヘッドを構成するスライダが設けられている。スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。これらロードビームやフレキシャおよびスライダなどによって、ヘッドジンバルアセンブリが構成されている。

【0004】

上記ジンバル部は、スライダを搭載するタングと、タングの両側に形成された一対のアウトリガーとを含んでいる。これらアウトリガーは、それぞれフレキシャの両側部の外側に張り出す形状を有している。各アウトリガーの長さ方向の両端部付近は、それぞれ、例えばレーザ溶接等によりロードビームに固定されている。各アウトリガーは、それぞれ厚さ方向にばねのように撓むことができ、タングのジンバル運動を確保する上で重要な役割を担っている。

【0005】

ディスクの高記録密度化に対応するためには、ヘッドジンバルアセンブリをさらに小形化し、かつディスクの記録面に対してスライダをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。そのためには、ヘッドジンバルアセンブリに要求されるジンバル運動を確保した上で、フレキシャの揺れを極力小さくする必要がある。例えば特許文献１や特許文献２に記載されているように、フレキシャの揺れを抑制するために、サスペンションの一部にダンパー材を設けることも知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】米国特許第６，９６７，８２１号明細書

【文献】特開２０１０－８６６３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

振動が入力したときのフレキシャの揺れを小さくするには、アウトリガーの揺れを抑制することが効果的な場合がある。このためアウトリガーそのものにダンパー材を設けることも考えられた。つまりアウトリガーにダンパー材を貼り付けることにより、アウトリガーとダンパー材とが一体に動くようにする。しかしながらアウトリガーにダンパー材を貼り付けると、フレキシャの揺れを抑制できる反面、フレキシャの剛性が大きくなってしまうという問題がある。たとえばアウトリガーの長さ方向に延びるダンパー材をアウトリガーに貼り付けたフレキシャは、ダンパー材を有さないフレキシャと比較して、ピッチ方向の剛性とロール方向の剛性が増加するため、ジンバル運動にとって好ましくない。

【0008】

そこで、本発明は、フレキシャの揺れを効果的に抑制できるとともに、フレキシャの剛性が大きくなることも抑制できるディスク装置用サスペンションを提供することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

一実施形態に係るディスク装置用サスペンションは、ロードビームと、フレキシャと、第１ダンパー材と、第２ダンパー材とを備えている。前記ロードビームは、第１面と、前記第１面とは反対側の第２面と、前記第１面から前記第２面に貫通する第１開口および第２開口と、を有している。前記フレキシャは、少なくとも一部が前記第１面に対向するとともに前記ロードビームの基端側から先端側に向けて前記第１開口を横切る第１アウトリガーと、少なくとも一部が前記第１面に対向するとともに前記基端側から前記先端側に向けて前記第２開口を横切る第２アウトリガーと、前記第１アウトリガーおよび前記第２アウトリガーの間に配置されスライダが搭載されるタングと、を有している。前記第１ダンパー材は、前記第１開口と重なる前記第１アウトリガーの一部および前記第１面に貼り付けられている。前記第２ダンパー材は、前記第２開口と重なる前記第２アウトリガーの一部および前記第１面に貼り付けられている。さらに、前記ロードビームの長さ方向において、前記第１開口の前記先端側の縁部と前記第１ダンパー材とが離間し、前記長さ方向において、前記第２開口の前記先端側の縁部と前記第２ダンパー材とが離間している。

【0010】

前記ロードビームの厚さ方向において、前記第１開口の前記先端側の縁部と前記第１アウトリガーの間、および、前記第２開口の前記先端側の縁部と前記第２アウトリガーの間にそれぞれ隙間が形成されてもよい。

【0011】

前記長さ方向において、前記第１開口の前記基端側の縁部と前記第１ダンパー材とが離間し、前記第２開口の前記基端側の縁部と前記第２ダンパー材とが離間してもよい。

【0012】

前記第１ダンパー材が前記第１開口の前記基端側の縁部と重なり、前記第２ダンパー材が前記第２開口の前記基端側の縁部と重なってもよい。

【0013】

前記第１開口の前記基端側の縁部と前記第１アウトリガーとが接触し、前記第２開口の前記基端側の縁部と前記第２アウトリガーが接触してもよい。

【0014】

前記第１ダンパー材と前記第２ダンパー材は、前記ロードビームの幅方向において離間してもよい。この場合において、前記フレキシャは、前記第１ダンパー材と前記第２ダンパー材の間を通って前記スライダに接続される配線をさらに備えてもよい。

【0015】

前記第１アウトリガーが前記第１開口と重なる第１屈曲部を有し、前記第２アウトリガーが前記第２開口と重なる第２屈曲部を有してもよい。この場合において、前記第１ダンパー材が前記第１屈曲部に貼り付けられ、前記第２ダンパー材が前記第２屈曲部に貼り付けられてもよい。

【0016】

前記ロードビームは、前記第１開口において前記第１屈曲部に向けて突出する第１凸部と、前記第２開口において前記第２屈曲部に向けて突出する第２凸部と、を有してもよい。この場合において、前記第１ダンパー材が前記第１凸部に貼り付けられ、前記第２ダンパー材が前記第２凸部に貼り付けられてもよい。

【0017】

前記第１屈曲部の中心より前記先端側において前記第１ダンパー材と前記第１アウトリガーが重なる面積よりも、当該中心より前記基端側において前記第１ダンパー材と前記第１アウトリガーが重なる面積の方が大きくてもよい。また、前記第２屈曲部の中心より前記先端側において前記第２ダンパー材と前記第２アウトリガーが重なる面積よりも、当該中心より前記基端側において前記第２ダンパー材と前記第２アウトリガーが重なる面積の方が大きくてもよい。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、タングや一対のアウトリガーを有するフレキシャの揺れを効果的に抑制することができる。しかもフレキシャの剛性が大きくなることを抑制でき、ジンバル運動に悪影響が生じることを回避できる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】ディスク装置の一例を示す概略的な斜視図。

【図2】図１に示されたディスク装置の概略的な断面図。

【図3】第１実施形態に係るディスク装置用サスペンションの概略的な斜視図。

【図4】図３に示されたサスペンションをスライダ側から見た概略的な斜視図。

【図5】図４に示されたサスペンションの概略的な平面図。

【図6】図５中のＦ６－Ｆ６線に沿うサスペンションの概略的な断面図。

【図7】第１実施形態に係るサスペンションの第１制振部および第２制振部の構造を概略的に示す平面図。

【図8】図７中のＦ８－Ｆ８線に沿う第１制振部および第２制振部の概略的な断面図。

【図9】図７中のＦ９－Ｆ９線に沿う第１制振部の概略的な断面図。

【図10】比較例に係るサスペンションの概略的な平面図。

【図11】ダンパー材を有するサスペンションと、ダンパー材を有さないサスペンションとのそれぞれに関してフレキシャの剛性を示す図。

【図12】第１実施形態の一効果を説明するための断面図。

【図13】第２実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図。

【発明を実施するための形態】

【0020】

いくつかの実施形態につき、図面を参照しながら説明する。
［第１実施形態］
図１は、ディスク装置（ＨＤＤ）１の一例を示す概略的な斜視図である。このディスク装置１は、ケース２と、スピンドル３を中心に回転する複数のディスク４と、ピボット軸５を中心に旋回可能なキャリッジ６と、キャリッジ６を駆動するためのポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）７とを有している。ケース２は、図示しない蓋によって密閉される。

【0021】

図２は、ディスク装置１の一部を示す概略的な断面図である。図１および図２に示されるように、キャリッジ６に複数のアーム（キャリッジアーム）８が設けられている。各アーム８の先端部には、サスペンション１０が取り付けられている。各サスペンション１０の先端部には、磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられている。ディスク４が高速で回転すると、ディスク４とスライダ１１との間に空気が流入することによって、エアベアリングが形成される。

【0022】

ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、スライダ１１がディスク４の所望トラックまで移動する。

【0023】

図３は、本実施形態に係るサスペンション１０をスライダ１１の反対側から見た概略的な斜視図である。図４は、サスペンション１０の先端側の一部をスライダ１１側から見た概略的な斜視図である。

【0024】

サスペンション１０は、キャリッジ６のアーム８（図１および図２参照）に固定されるベースプレート２０と、ロードビーム２１と、フレキシャ２２とを備えている。ベースプレート２０には、アーム８に形成された孔８ａ（図２参照）に挿入されるボス部２０ａが形成されている。

【0025】

図３に示すように、ロードビーム２１は、先端部２１ａと、基端部２１ｂとを有している。図３の例において、ロードビーム２１は、基端部２１ｂから先端部２１ａに向けて先細る形状を有している。フレキシャ２２は、ロードビーム２１に沿って配置されている。

【0026】

本実施形態においては、基端部２１ｂから先端部２１ａに向かう方向（あるいはその逆方向）をサスペンション１０、ロードビーム２１およびフレキシャ２２などの長さ方向Ｘと定義する。また、長さ方向Ｘと直交する方向をサスペンション１０、ロードビーム２１およびフレキシャ２２などの幅方向Ｙと定義する。さらに、図３においてロードビーム２１の先端近傍に円弧状の矢印で示すようにスウェイ方向Ｓを定義する。

【0027】

ロードビーム２１は、図４に示す第１面ＳＦ１と、第１面ＳＦ１の反対側の図３に示す第２面ＳＦ２とを有している。第１面ＳＦ１は、フレキシャ２２が配置される側の面である。図３に示すように、第２面ＳＦ２にダンパー材２５が設けられてもよい。

【0028】

磁気ヘッドをなすスライダ１１の先端部には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な複数の素子２８が設けられている。スライダ１１は、これらの素子２８によってディスク４に対するデータの書込みあるいはディスク４からのデータの読取りを行う。スライダ１１、ロードビーム２１およびフレキシャ２２などによって、ヘッドジンバルアセンブリ（head gimbal assembly）が構成されている。

【0029】

図３に示すように、フレキシャ２２は、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベース４０を備えている。さらに図４に示すように、フレキシャ２２は、ロードビーム２１と重なる領域においてメタルベース４０に沿って配置された第１配線４１および第２配線４２を備えている。これら配線４１，４２の一部は、スライダ１１用の端子４３を介してスライダ１１の素子２８と電気的に接続されている。

【0030】

メタルベース４０の厚さは、ロードビーム２１の厚さよりも小さい。メタルベース４０の厚さは、好ましくは１２～２５μｍであり、一例では２０μｍである。ロードビーム２１の厚さは、一例では３０μｍである。

【0031】

第１配線４１および第２配線４２は、メタルベース４０の上に形成された絶縁層と、絶縁層の上に形成された導体層と、導体層を覆うカバー層とを含む。例えば、絶縁層およびカバー層はポリイミドで形成され、導体層は銅で形成されている。

【0032】

図５は、サスペンション１０の先端部付近をスライダ１１側から見た概略的な平面図である。フレキシャ２２は、タング４５と、第１アウトリガー５１と、第２アウトリガー５２とを有している。タング４５には、スライダ１１が搭載される。第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２は、幅方向Ｙにおいてタング４５の両外側にそれぞれ配置されている。

【0033】

第１アウトリガー５１と第２アウトリガー５２は、幅方向Ｙにおいてタング４５の両外側に張り出す形状である。タング４５、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２は、いずれもメタルベース４０の一部であり、例えばエッチングによってそれぞれの輪郭が形成されている。

【0034】

図６は、図５中のＦ６－Ｆ６線に沿うサスペンション１０の概略的な断面図である。ロードビーム２１の先端部２１ａ付近に、タング４５に向かって突出するディンプル５５が形成されている。ディンプル５５の先端５５ａは、タング４５に接している。タング４５は、ディンプル５５の先端５５ａを中心として揺動し、所望のジンバル運動をなすことができる。タング４５、第１アウトリガー５１、第２アウトリガー５２およびディンプル５５などによってジンバル部５６が構成されている。

【0035】

図４および図５に示すように、第１アウトリガー５１は、タング４５の一方の側部の外側において全体的に長さ方向Ｘに延びている。第２アウトリガー５２は、タング４５の他方の側部の外側において全体的に長さ方向Ｘに延びている。

【0036】

第１アウトリガー５１は、第１基端部５１ａと、第１基端アーム５１ｂと、第１先端アーム５１ｃと、第１接続部５１ｄとを有している。第１基端部５１ａは、固定部６１によってロードビーム２１に固定されている。

【0037】

第１基端アーム５１ｂは、第１基端部５１ａからフレキシャ２２の先端部２２ａに向けて延びている。第１先端アーム５１ｃの一端は第１基端アーム５１ｂに接続され、他端は先端部２２ａに接続されている。第１接続部５１ｄは、第１基端アーム５１ｂの一端とタング４５の一方の側部とを接続している。先端部２２ａは、固定部６２によってロードビーム２１の先端部２１ａ付近に固定されている。固定部６１，６２は、例えばレーザスポット溶接等によって形成されている。

【0038】

第２アウトリガー５２は、第１アウトリガー５１と同様の形状を有している。すなわち、第２アウトリガー５２は、第２基端部５２ａ、第２基端アーム５２ｂ、第２先端アーム５２ｃおよび第２接続部５２ｄを有している。第２基端部５２ａは、例えばレーザスポット溶接等で形成された固定部６３によってロードビーム２１に固定されている。

【0039】

上述の通り、第１アウトリガー５１の長さ方向Ｘの両端部が固定部６１，６２によって支持されている。さらに、第２アウトリガー５２の長さ方向Ｘの両端部が固定部６２，６３によって支持されている。これにより、第１アウトリガー５１の固定部６１，６２の間に位置する部分、および、第２アウトリガー５２の固定部６２，６３の間に位置する部分は、メタルベース４０の厚さ方向に撓むことができる。このように、タング４５は、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２によって弾性的に支持され、ディンプル５５を支点として揺動することができる。

【0040】

ジンバル部５６には、第１マイクロアクチュエータ素子６５および第２マイクロアクチュエータ素子６６が搭載されている。これらマイクロアクチュエータ素子６５，６６はそれぞれ圧電材料からなり、スライダ１１の両側に配置されている。第１マイクロアクチュエータ素子６５の両端部６５ａ，６５ｂは、それぞれタング４５のアクチュエータ支持部７０，７１に固定されている。第２マイクロアクチュエータ素子６６の両端部６６ａ，６６ｂは、それぞれタング４５のアクチュエータ支持部７２，７３に固定されている。

【0041】

マイクロアクチュエータ素子６５，６６は、タング４５をスウェイ方向Ｓ（図３参照）に回動させる機能を有している。図４および図５の例においては、タング４５の一方の側部と第１アウトリガー５１との間に、タング４５の過剰な揺れを抑制するリミッタ部材７５が設けられている。タング４５の他方の側部と第２アウトリガー５２との間にもリミッタ部材７６が設けられている。

【0042】

図５に示すように、本実施形態に係るサスペンション１０は、フレキシャ２２の振動を抑制する第１制振部８０および第２制振部９０を備えている。第１制振部８０は第１アウトリガー５１の第１基端部５１ａの近傍に設けられ、第２制振部９０は第２アウトリガー５２の第２基端部５２ａの近傍に設けられている。

【0043】

図７は、第１制振部８０および第２制振部９０の近傍におけるサスペンション１０の構造を概略的に示す平面図である。以下の説明においては、図３に示したロードビーム２１の基端部２１ｂが位置する側を基端側と呼び、図３に示したロードビーム２１の先端部２１ａが位置する側を先端側と呼ぶことがある。

【0044】

図７に示すように、ロードビーム２１は、第１基端部５１ａの近傍において第１開口８１を有している。第１開口８１は、基端側の縁部８１ａと、先端側の縁部８１ｂとを有している。第１開口８１の一部は、第１ダンパー材８２によって塞がれている。第１開口８１および第１ダンパー材８２によって第１制振部８０が構成される。

【0045】

第１基端アーム５１ｂは、基端側から先端側に向けて第１開口８１を横切っている。すなわち、第１基端アーム５１ｂは、縁部８１ａ，８１ｂと重なっている。さらに、第１基端アーム５１ｂは、第１開口８１と重なる位置において第１屈曲部５１ｅを有している。第１屈曲部５１ｅよりも基端側においては、第１基端アーム５１ｂが幅方向Ｙにおける中心Ｃ１に近づく方向に延びている。一方、第１屈曲部５１ｅよりも先端側においては、第１基端アーム５１ｂが中心Ｃ１から遠ざかる方向に延びている。

【0046】

第１配線４１の一部は、第１開口８１と重なっている。第１配線４１は、第１開口８１と中心Ｃ１の間において第１屈曲部４１ａを有している。第１屈曲部４１ａは、第１基端アーム５１ｂの第１屈曲部５１ｅと幅方向Ｙに並んでいる。

【0047】

第１配線４１は、基端側から第１屈曲部４１ａに向かうに連れて中心Ｃ１との間の距離が小さくなるように延び、第１屈曲部４１ａから先端側の他の屈曲部に向かうに連れて中心Ｃ１との間の距離が大きくなるように延びている。第１屈曲部４１ａが設けられたことにより、第１開口８１と第１配線４１の間に第１面ＳＦ１上のスペース８３が形成される。

【0048】

ロードビーム２１は、第１開口８１において第１屈曲部５１ｅに向けて突出する第１凸部８１ｃを有している。第１凸部８１ｃは、第１基端アーム５１ｂと幅方向Ｙにおいて離間している。図７の例においては、第１凸部８１ｃの縁部が滑らかな曲線状である。ただし、第１凸部８１ｃの形状はこの例に限られない。

【0049】

第１ダンパー材８２は、第１開口８１と重なる第１基端アーム５１ｂの一部および第１面ＳＦ１に貼り付けられている。図７の例においては、第１ダンパー材８２が第１開口８１を幅方向Ｙに横切っている。すなわち長さ方向Ｘにおいて、第１ダンパー材８２と縁部８１ａが離間するとともに、第１ダンパー材８２と縁部８１ｂが離間している。これにより、第１ダンパー材８２と縁部８１ａの間、および、第１ダンパー材８２と縁部８１ｂの間の各々に、第１開口８１が第１ダンパー材８２によって塞がれない領域が形成される。

【0050】

第１ダンパー材８２は、第１基端アーム５１ｂのうち第１屈曲部５１ｅを含む領域に貼り付けられている。さらに、第１ダンパー材８２の一部がスペース８３に貼り付けられ、第１ダンパー材８２の他の一部が第１凸部８１ｃを含む第１面ＳＦ１上の領域に貼り付けられている。このように第１ダンパー材８２と第１凸部８１ｃが重なれば、第１ダンパー材８２と第１面ＳＦ１との接触面積が増え、第１ダンパー材８２の貼り付け強度が向上する。

【0051】

図７の例においては、第１ダンパー材８２のうち第１基端アーム５１ｂよりも中心Ｃ１側の部分の長さ方向Ｘにおける幅が徐々に減少している。これにより、第１ダンパー材８２と第１配線４１との接触が防がれている。

【0052】

また、図７の例においては、第１基端アーム５１ｂのうち主に第１屈曲部５１ｅよりも基端側の部分に第１ダンパー材８２が貼り付けられている。すなわち、第１屈曲部５１ｅの中心Ｃ２より先端側において第１ダンパー材８２と第１基端アーム５１ｂが重なる面積よりも、中心Ｃ２より基端側において第１ダンパー材８２と第１基端アーム５１ｂが重なる面積の方が大きい。

【0053】

第２制振部９０は、第１制振部８０と同様の構造を有している。すなわち、第２制振部９０は、ロードビーム２１に形成された第２開口９１と、第２開口９１の一部を塞ぐ第２ダンパー材９２とを含む。

【0054】

第２基端アーム５２ｂは、基端側から先端側に向けて第２開口９１を横切り、第２開口９１の基端側の縁部９１ａおよび先端側の縁部９１ｂと重なっている。さらに、第２基端アーム５２ｂは、第２開口９１と重なる位置において第２屈曲部５２ｅを有している。第２配線４２は、第２開口９１と中心Ｃ１の間において第２屈曲部４２ａを有し、この第２屈曲部４２ａにより第２開口９１と第２配線４２の間に第１面ＳＦ１上のスペース９３が形成されている。ロードビーム２１は、第２開口９１において第２基端アーム５２ｂの第２屈曲部５２ｅに向けて突出する第２凸部９１ｃを有している。第２ダンパー材９２は、これらスペース９３および第２凸部９１ｃと重なっている。

【0055】

図７の例において、第２配線４２、第２基端アーム５２ｂ、第２開口９１および第２ダンパー材９２は、第１配線４１、第１基端アーム５１ｂ、第１開口８１および第１ダンパー材８２と中心Ｃ１に関して線対称の形状を有している。

【0056】

図７に示すように、第１基端部５１ａの近傍において第１基端アーム５１ｂに第１補強部８４が設けられてもよい。同様に、第２基端部５２ａの近傍において第２基端アーム５２ｂに第２補強部９４が設けられてもよい。これら補強部８４，９４は、例えばサスペンション１０をディスク装置に組付ける際に使用されるシッピングコウム（shipping comb）等の治具が接触する部分であり、当該治具による各部の損傷を抑制する役割を担う。

【0057】

補強部８４，９４は、例えば配線４１，４２と同じく絶縁層、導体層およびカバー層からなる積層構造を有している。図７の例においては、第１補強部８４が第１開口８１の縁部８１ａと重なるが、第１ダンパー材８２とは重なっていない。同様に、第２補強部９４が第２開口９１の縁部９１ａと重なるが、第２ダンパー材９２とは重なっていない。

【0058】

図８は、図７におけるＦ８－Ｆ８線に沿う第１制振部８０および第２制振部９０の概略的な断面図である。図９は、図７におけるＦ９－Ｆ９線に沿う第１制振部８０の概略的な断面図である。図８に示すように、第１ダンパー材８２は、第１面ＳＦ１および第１基端アーム５１ｂに貼り付く粘弾性層（viscoelastic material layer）８２ａと、拘束板（constrained plate）８２ｂとを有している。同様に、第２ダンパー材９２は、第１面ＳＦ１および第２基端アーム５２ｂに貼り付く粘弾性層９２ａと、拘束板９２ｂとを有している。

【0059】

粘弾性層８２ａ，９２ａは、例えば変形したときに粘性抵抗を発揮することができる高分子材料（例えばアクリル系樹脂）からなり、粘着性を有している。粘弾性層８２ａ，９２ａの厚さは、例えば５１μｍである。拘束板８２ｂ，９２ｂは、例えばポリエステル等の合成樹脂からなり、それぞれ粘弾性層８２ａ，９２ａに対してロードビーム２１の厚さ方向Ｚに積層されている。拘束板８２ｂ，９２ｂの厚さは、例えば粘弾性層８２ａ，９２ａと同じ５１μｍである。

【0060】

図７および図８に示すように、第１ダンパー材８２と第２ダンパー材９２は、幅方向Ｙにおいて離間している。さらに、これらダンパー材８２，９２の間に上述の配線４１，４２が通されている。このような構成であれば配線４１，４２がダンパー材８２，９２によって拘束されないので、フレキシャ２２の剛性の上昇を抑制できる。

【0061】

図９に示すように、第１基端アーム５１ｂは、第１ダンパー材８２によって第１開口８１内に押し込まれている。第１基端アーム５１ｂは、第１ダンパー材８２よりも先端側（図中右方）においてはロードビーム２１から徐々に離れるように傾斜している。

【0062】

上述の通り、第１ダンパー材８２は第１開口８１の縁部８１ｂと重なっていない。そのため、縁部８１ｂの近傍において、第１基端アーム５１ｂはロードビーム２１に強く押し付けられない。特に本実施形態においては、縁部８１ｂの近傍において第１基端アーム５１ｂがロードビーム２１に接触していない。すなわち、縁部８１ｂと第１基端アーム５１ｂの間に厚さ方向Ｚの隙間Ｇが形成されている。

【0063】

一方、第１ダンパー材８２よりも基端側（図中左方）においては、第１開口８１の近傍で上述の固定部６１により第１アウトリガー５１がロードビーム２１に固定されている。さらに、第１開口８１においては第１ダンパー材８２により第１基端アーム５１ｂが図中下方に押されている。そのため、縁部８１ａの近傍においては、第１基端アーム５１ｂがロードビーム２１に押し付けられる。

【0064】

第２制振部９０の断面構造は、図９に示した第１制振部８０の断面構造と同様である。すなわち、第２開口９１の縁部９１ｂと第２基端アーム５２ｂの間に隙間Ｇが形成されている。一方、第２開口９１の縁部９１ａの近傍において第２基端アーム５２ｂがロードビーム２１に押し付けられている。

【0065】

続いて、本実施形態に係るサスペンション１０の作用について説明する。
ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、磁気ヘッドのスライダ１１がディスク４の記録面の所望トラックまで移動する。マイクロアクチュエータ素子６５，６６に電圧が印加されると、電圧に応じてマイクロアクチュエータ素子６５，６６が歪むことにより、ロードビーム２１を図３に示したスウェイ方向Ｓに微小量移動させることができる。

【0066】

本実施形態に係るサスペンション１０は、一対のアウトリガー５１，５２の基端部５１ａ，５２ａの近傍（根元部）に、それぞれ制振部８０，９０を備えている。フレキシャ２２を振動させるエネルギーが外部から入力されると、制振部８０，９０のダンパー材８２，９２のそれぞれの粘弾性層８２ａ，９２ａが変形し、粘弾性層８２ａ，９２ａを構成する分子の摩擦による内部抵抗を生じる。このため振動エネルギーが熱エネルギーに変換され、フレキシャ２２の揺れを抑制することができる。

【0067】

ここで、比較例を参照して本実施形態に係るサスペンション１０の効果をさらに説明する。図１０は、比較例に係るサスペンション２００の概略的な平面図である。このサスペンション２００は、本実施形態と同じく、ロードビーム２０１と、第１アウトリガー２１１および第２アウトリガー２１２を含むフレキシャ２１０と、ジンバル部２２０とを備えている。第１アウトリガー２１１は第１基端アーム２１１ａを有し、第２アウトリガー２１２は第２基端アーム２１２ａを有している。

【0068】

さらに、第１アウトリガー２１１に第１ダンパー材２１３が設けられ、第２アウトリガー２１２に第２ダンパー材２１４が設けられている。第１ダンパー材２１３は、第１基端アーム２１１ａの大部分に貼り付けられている。第２ダンパー材２１４は、第２基端アーム２１２ａの大部分に貼り付けられている。ダンパー材２１３，２１４は、ロードビーム２０１には貼り付けられていない。

【0069】

このような構成のサスペンション２００であっても、ジンバル部２２０の揺れを抑制することができる。しかしながら、以下に説明するようにダンパー材２１３，２１４を有さないサスペンションと比較して、フレキシャの剛性が大きくなる。

【0070】

図１１は、図１０に示したようにダンパー材２１３，２１４を有するサスペンション２００と、ダンパー材を有さないサスペンションとのそれぞれに関してフレキシャの剛性を示すグラフである。図１１中のＥ，Ｆは、それぞれ図１０に示された比較例のサスペンション２００のピッチ方向の剛性とロール方向の剛性を示している。図１１中のＧ，Ｈは、それぞれダンパー材２１３，２１４を有さないサスペンションのピッチ方向の剛性とロール方向の剛性を示している。

【0071】

このグラフから分かるように、ダンパー材２１３，２１４を有するサスペンション２００におけるフレキシャの剛性Ｅ，Ｆは、ダンパー材２１３，２１４を有さない場合と比較していずれも約１３％増加した。このように剛性が増加することにより、サスペンション２００においてはジンバル運動に悪影響が生じ得る。

【0072】

これに対し本実施形態に係るサスペンション１０では、アウトリガー５１，５２の根本部の近傍においてロードビーム２１に開口８１，９１を設け、これら開口８１，９１と重なるアウトリガー５１，５２の一部とロードビーム２１にダンパー材８２，９２を貼り付けている。このようにダンパー材８２，９２が設けられるアウトリガー５１，５２の領域が限定的であれば、比較例の構成に比べてフレキシャ２２の剛性への影響を緩和できる。

【0073】

しかも本実施形態においては、図７に示したように第１ダンパー材８２と縁部８１ｂ、および、第２ダンパー材９２と縁部９１ｂがそれぞれ離間している。このような構成であれば、以下に説明するように、ダンパー材８２，９２の貼り付け位置のばらつきに伴うフレキシャ２２の振動モード周波数のばらつきを抑制できる。

【0074】

図１２は、上記効果を説明するための図であり、第１ダンパー材８２が第１開口８１の縁部８１ｂと厚さ方向Ｚにおいて重なった状態の断面を示している。この場合、縁部８１ｂの近傍において、第１基端アーム５１ｂが第１ダンパー材８２によりロードビーム２１の第１面ＳＦ１に押し当てられる。図中のＰは、第１ダンパー材８２とロードビーム２１とで挟まれた第１基端アーム５１ｂの部分のうち、最も先端側（図中右方）に位置する点（以下、拘束点と呼ぶ）を表す。

【0075】

サスペンション１０の製造に際して第１ダンパー材８２の先端側の端部８２ｃの位置が破線で示すようにばらつくと、拘束点Ｐの位置も変化する。また、フレキシャ２２の振動モード周波数は、拘束点Ｐの位置に応じて変化する。そのため、第１ダンパー材８２が貼り付けられる位置のばらつきにより、製造されるサスペンション１０の性能が不安定となり得る。第２ダンパー材９２に関しても同様の問題が生じる。

【0076】

一方、本実施形態のように、第１ダンパー材８２と縁部８１ｂおよび第２ダンパー材９２と縁部９１ｂが長さ方向Ｘにおいてそれぞれ離間していれば、縁部８１ｂ，９１ｂの近傍に拘束点が生じない。したがって、ダンパー材８２，９２の貼り付け位置のばらつきによる振動モード周波数の変動を抑制できる。

【0077】

さらに、図９を用いて説明したように、縁部８１ｂと第１基端アーム５１ｂの間に隙間Ｇが形成され、縁部９１ｂと第２基端アーム５２ｂの間に隙間Ｇが形成されていれば、フレキシャ２２の振動モード周波数を一層安定させることができる。

【0078】

また、図７に示したように、アーム５１ｂ，５２ｂのうち主に屈曲部５１ｅ，５２ｅよりも基端側の部分にダンパー材８２，９２が貼り付けられている構成も、フレキシャ２２の振動モード周波数や剛性の観点から好ましい。

【0079】

すなわち、仮に第１基端アーム５１ｂのうち第１屈曲部５１ｅより先端側の部分に第１ダンパー材８２が貼り付けられる面積が大きい場合、フレキシャ２２の振動モード周波数のばらつきが生じたり、フレキシャ２２の剛性が不所望に上昇したりする可能性がある。これに対し、第１基端アーム５１ｂのうち第１屈曲部５１ｅより基端側の部分は本来の拘束点である固定部６１に近いため、第１ダンパー材８２が貼り付けられても上記振動モード周波数のばらつきや剛性の上昇を生じにくい。第２基端アーム５２ｂおよび第２ダンパー材９２の関係についても同様である。
以上の他にも、本実施形態からは種々の好適な効果を得ることができる。

【0080】

［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。特に言及しない構成および効果については第１実施形態と同様である。

【0081】

図１３は、第２実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。このサスペンション１０は、第１開口８１および第２開口９１の形状において図７の例と相違する。

【0082】

すなわち、図１３に示すサスペンション１０においては、第１開口８１の基端側の縁部８１ａが第１ダンパー材８２と重なっている。さらに、第２開口９１の基端側の縁部９１ａが第２ダンパー材９２と重なっている。一方、第１開口８１の先端側の縁部８１ｂと第１ダンパー材８２、および、第２開口９１の先端側の縁部９１ｂと第２ダンパー材９２は、図７の例と同じく長さ方向Ｘにおいて離間している。

【0083】

図１３の例においては、縁部８１ａの近傍で第１基端アーム５１ｂがロードビーム２１と第１ダンパー材８２の間に挟み込まれる。同様に、縁部９１ａの近傍で第２基端アーム５２ｂがロードビーム２１と第２ダンパー材９２の間に挟み込まれる。これにより、縁部８１ａ，９１ａの近傍でアーム５１ｂ，５２ｂが安定的に拘束され、フレキシャ２２の振動モード周波数のばらつきが抑制される。

【0084】

なお、縁部８１ａ，９１ａは、ダンパー材８２，９２が無い場合の本来の拘束点である固定部６１，６２に近い位置にある。そのため、図１３の例のようにアーム５１ｂ，５２ｂがそれぞれ縁部８１ａ，９１ａの近傍で拘束されても、フレキシャ２２の振動モード周波数に与える影響は小さい。

【0085】

以上の各実施形態にて開示した発明を実施するに当たっては、ロードビームやフレキシャの形状、第１制振部および第２制振部の配置などの具体的な態様をはじめとして、ディスク装置用サスペンションを構成する各要素の具体的な態様を種々に変更できる。例えば、第１ダンパー材８２と第２ダンパー材９２が互いに一体に連なった１枚のダンパー材が使われてもよい。またマイクロアクチュエータ素子６５，６６を有さないサスペンションに各実施形態と同様の第１制振部および第２制振部が設けられてもよい。

【符号の説明】

【0086】

１…ディスク装置、１０…サスペンション、１１…スライダ、２１…ロードビーム、２２…フレキシャ、４０…メタルベース、４１…第１配線、４２…第２配線、４５…タング、５１…第１アウトリガー、５１ａ…第１基端部、５１ｂ…第１基端アーム、５１ｅ…第１屈曲部、５２…第２アウトリガー、５２ａ…第２基端部、５２ｂ…第２基端アーム、５２ｅ…第２屈曲部、５５…ディンプル、５６…ジンバル部、６１，６２，６３…固定部、８０…第１制振部、８１…第１開口、８１ａ，８１ｂ…第１開口の縁部、８１ｃ…第１凸部、８２…第１ダンパー材、９０…第２制振部、９１…第２開口、９１ａ，９１ｂ…第２開口の縁部、９１ｃ…第２凸部、９２…第２ダンパー材、ＳＦ１…ロードビームの第１面、ＳＦ２…ロードビームの第２面。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】