特許 7314081 ディスク装置用サスペンション

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-14

(45)【発行日】2023-07-25

(54)【発明の名称】ディスク装置用サスペンション

(51)【国際特許分類】

   G11B 21/21 20060101AFI20230718BHJP

   G11B 5/60 20060101ALI20230718BHJP

【ＦＩ】

G11B21/21 C

G11B5/60 P

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2020041726

(22)【出願日】2020-03-11

(65)【公開番号】P2021144770

(43)【公開日】2021-09-24

【審査請求日】2022-08-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000004640

【氏名又は名称】日本発條株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山田 幸恵

【審査官】中野 和彦

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－２１６２６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７０８５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１５６２４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２６２６８５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ１１Ｂ ２１／２１

Ｇ１１Ｂ ５／６０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ロードビームと、
スライダが搭載されるタングと、前記タングに接続されたアウトリガーとを有し、前記ロードビームに重ねられたフレキシャと、
前記ロードビームに貼り付けられたダンパー材と、を備え、
前記アウトリガーは、前記ロードビームに対向するアームと、前記アームから延出するとともに前記アームの厚さ方向に折り返された折り返し部と、を有し、
前記折り返し部が前記ダンパー材に貼り付けられている、ディスク装置用サスペンション。

【請求項2】

前記ロードビームは、第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面から前記第２面に貫通する開口と、を有し、
前記アウトリガーは、前記第１面側に配置され、
前記ダンパー材は、前記第２面に貼り付けられるとともに前記開口の少なくとも一部と重なり、
前記折り返し部は、前記開口を通じて前記ダンパー材に貼り付けられている、
請求項１に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項3】

前記アームは、前記開口と重なる屈曲部を有し、
前記折り返し部は、前記屈曲部から延出している、
請求項２に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項4】

前記アウトリガーは、前記ロードビームの幅方向における両側辺から延出した一対の前記折り返し部を有している、
請求項１～３のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項5】

前記一対の折り返し部は、前記アームの幅方向に並んでいる、
請求項４に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項6】

前記一対の折り返し部は、前記アームの延出方向においてずれた位置に設けられている、
請求項４に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項7】

前記折り返し部の先端は、少なくとも１つの凹部または凸部を有している、
請求項１～６のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項8】

前記アームは、開口を有し、
前記折り返し部は、前記アームの前記開口の内縁から延出している、
請求項１～７のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項9】

前記折り返し部と前記ダンパー材の間に配置された絶縁層をさらに備え、
前記折り返し部は、前記絶縁層を介して前記ダンパー材に貼り付けられている、
請求項１～８のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項10】

前記フレキシャは、前記アームおよび前記折り返し部をそれぞれ有する一対の前記アウトリガーを含み、
前記一対のアウトリガーの各々に対して前記ダンパー材が設けられ、かつこれらダンパー材が互いに離間している、
請求項１～９のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。

【請求項11】

前記フレキシャは、前記アームおよび前記折り返し部をそれぞれ有する一対の前記アウトリガーを含み、
前記ダンパー材は、前記一対のアウトリガーの双方と重なる大きさを有している、
請求項１～９のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ハードディスク装置等に使われるディスク装置用サスペンションに関する。

【背景技術】

【0002】

パーソナルコンピュータなどの情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクや、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジはアクチュエータアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによってピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。

【0003】

上記アクチュエータアームにディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称す）が取り付けられている。サスペンションは、ロードビームや、ロードビームに重ねて配置されたフレキシャなどを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部に、磁気ヘッドを構成するスライダが設けられている。スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。これらロードビームやフレキシャおよびスライダなどによって、ヘッドジンバルアセンブリが構成されている。

【0004】

上記ジンバル部は、スライダを搭載するタングと、タングの両側に形成された一対のアウトリガーとを含んでいる。これらアウトリガーは、それぞれフレキシャの両側部の外側に張り出す形状を有している。各アウトリガーの長さ方向の両端部付近は、それぞれ、例えばレーザ溶接等によりロードビームに固定されている。各アウトリガーは、それぞれ厚さ方向にばねのように撓むことができ、タングのジンバル運動を確保する上で重要な役割を担っている。

【0005】

ディスクの高記録密度化に対応するためには、ヘッドジンバルアセンブリをさらに小形化し、かつディスクの記録面に対してスライダをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。そのためには、ヘッドジンバルアセンブリに要求されるジンバル運動を確保した上で、フレキシャの揺れを極力小さくする必要がある。例えば特許文献１や特許文献２に記載されているように、フレキシャの揺れを抑制するために、サスペンションの一部にダンパー材を設けることも知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】米国特許第６，９６７，８２１号明細書

【文献】特開２０１０－８６６３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

振動が入力したときのフレキシャの揺れを小さくするには、アウトリガーの揺れを抑制することが効果的な場合がある。このためアウトリガーそのものにダンパー材を設けることも考えられた。つまりアウトリガーにダンパー材を貼り付けることにより、アウトリガーとダンパー材とが一体に動くようにする。しかしながらアウトリガーにダンパー材を貼り付けると、フレキシャの揺れを抑制できる反面、フレキシャの剛性が大きくなってしまうという問題がある。たとえばアウトリガーの長さ方向に延びるダンパー材をアウトリガーに貼り付けたフレキシャは、ダンパー材を有さないフレキシャと比較して、ピッチ方向の剛性とロール方向の剛性が増加するため、ジンバル運動にとって好ましくない。

【0008】

そこで、本発明は、フレキシャの揺れを効果的に抑制できるとともに、フレキシャの剛性が大きくなることも抑制できるディスク装置用サスペンションを提供することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

一実施形態に係るディスク装置用サスペンションは、ロードビームと、フレキシャと、ダンパー材と、を備えている。前記フレキシャは、スライダが搭載されるタングと、前記タングに接続されたアウトリガーとを有し、前記ロードビームに重ねられている。前記ダンパー材は、前記ロードビームに貼り付けられている。前記アウトリガーは、前記ロードビームに対向するアームと、前記アームから延出するとともに前記アームの厚さ方向に折り返された折り返し部と、を有している。さらに、前記折り返し部が前記ダンパー材に貼り付けられている。

【0010】

例えば、前記ロードビームは、第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面から前記第２面に貫通する開口と、を有している。また、前記アウトリガーは前記第１面側に配置され、前記ダンパー材は前記第２面に貼り付けられるとともに前記開口の少なくとも一部と重なり、前記折り返し部は前記開口を通じて前記ダンパー材に貼り付けられている。

【0011】

前記アームが前記開口と重なる屈曲部を有し、前記折り返し部が前記屈曲部から延出してもよい。この場合において、前記アウトリガーは、前記ロードビームの幅方向における両側辺から延出した一対の前記折り返し部を有してもよい。

【0012】

前記一対の折り返し部は、前記アームの幅方向に並んでもよい。他の例として、前記一対の折り返し部は、前記アームの延出方向においてずれた位置に設けられてもよい。前記折り返し部の先端は、少なくとも１つの凹部または凸部を有してもよい。

【0013】

前記アームが開口を有し、前記折り返し部が前記アームの前記開口の内縁から延出してもよい。

【0014】

前記ディスク装置用サスペンションは、前記折り返し部と前記ダンパー材の間に配置された絶縁層をさらに備えてもよい。この場合において、前記折り返し部は、前記絶縁層を介して前記ダンパー材に貼り付けられてもよい。

【0015】

前記フレキシャは、前記アームおよび前記折り返し部をそれぞれ有する一対の前記アウトリガーを含んでもよい。この場合においては、例えば前記一対のアウトリガーの各々に対して前記ダンパー材が設けられ、かつこれらダンパー材が互いに離間している。他の例として、前記ダンパー材は、前記一対のアウトリガーの双方と重なる大きさを有してもよい。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、フレキシャの揺れを効果的に抑制できるとともに、フレキシャの剛性が大きくなることも抑制できるディスク装置用サスペンションを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】ディスク装置の一例を示す概略的な斜視図。

【図2】図１に示されたディスク装置の概略的な断面図。

【図3】第１実施形態に係るディスク装置用サスペンションの概略的な斜視図。

【図4】図３に示されたサスペンションをスライダ側から見た概略的な斜視図。

【図5】図４に示されたサスペンションの概略的な平面図。

【図6】図５中のＦ６－Ｆ６線に沿うサスペンションの概略的な断面図。

【図7】第１実施形態に係るサスペンションの第１制振部および第２制振部の構造を概略的に示す平面図。

【図8】図７中のＦ８－Ｆ８線に沿う第１制振部の概略的な断面図。

【図9】比較例に係るサスペンションの概略的な平面図。

【図10】ダンパー材を有するサスペンションと、ダンパー材を有さないサスペンションとのそれぞれに関してフレキシャの剛性を示す図。

【図11】第２実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図。

【図12】第３実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図。

【図13】第４実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図。

【図14】第４実施形態に係る折り返し部の形状の一例を示す平面図。

【図15】第５実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図。

【図16】第６実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図。

【図17】第７実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図。

【図18】図１７中のＦ１８－Ｆ１８線に沿う第１制振部の概略的な断面図。

【図19】第８実施形態に係るサスペンションの概略的な平面図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

いくつかの実施形態につき、図面を参照しながら説明する。
［第１実施形態］
図１は、ディスク装置（ＨＤＤ）１の一例を示す概略的な斜視図である。このディスク装置１は、ケース２と、スピンドル３を中心に回転する複数のディスク４と、ピボット軸５を中心に旋回可能なキャリッジ６と、キャリッジ６を駆動するためのポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）７とを有している。ケース２は、図示しない蓋によって密閉される。

【0019】

図２は、ディスク装置１の一部を示す概略的な断面図である。図１および図２に示されるように、キャリッジ６に複数のアーム（キャリッジアーム）８が設けられている。各アーム８の先端部には、サスペンション１０が取り付けられている。各サスペンション１０の先端部には、磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられている。ディスク４が高速で回転すると、ディスク４とスライダ１１との間に空気が流入することによって、エアベアリングが形成される。

【0020】

ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、スライダ１１がディスク４の所望トラックまで移動する。

【0021】

図３は、本実施形態に係るサスペンション１０の概略的な斜視図である。サスペンション１０は、キャリッジ６のアーム８（図１および図２に示す）に固定されるベースプレート２０と、ロードビーム２１と、フレキシャ２２とを備えている。ベースプレート２０には、アーム８に形成された孔８ａ（図２に示す）に挿入されるボス部２０ａが形成されている。

【0022】

フレキシャ２２は、ロードビーム２１に沿って配置されている。ロードビーム２１およびフレキシャ２２は、いずれもサスペンション１０の長さ方向Ｘに延びている。以下、長さ方向Ｘに直交する方向をサスペンション１０、ロードビーム２１およびフレキシャ２２などの幅方向Ｙと呼ぶ。また、ロードビーム２１の先端近傍に円弧状の矢印で示すように、スウェイ方向Ｓを定義する。

【0023】

図４は、サスペンション１０の先端側の一部をスライダ１１側から見た概略的な斜視図である。ロードビーム２１は、図４に示す第１面２１ａと、図３に示す第２面２１ｂとを有している。第１面２１ａは、フレキシャ２２が配置される側の面である。図３に示すように、第２面２１ｂにダンパー部材２５が設けられてもよい。

【0024】

図４に示すように、磁気ヘッドをなすスライダ１１の先端部には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子２８が設けられている。これらの素子２８によって、ディスク４に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。スライダ１１、ロードビーム２１およびフレキシャ２２などによって、ヘッドジンバルアセンブリ（head gimbal assembly）が構成されている。

【0025】

フレキシャ２２は、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベース４０と、メタルベース４０に沿って配置された配線部４１とを有している。メタルベース４０の厚さは、ロードビーム２１の厚さよりも小さい。メタルベース４０の厚さは、好ましくは１２～２５μｍであり、一例では２０μｍである。ロードビーム２１の厚さは、例えば３０μｍである。配線部４１の一部は、スライダ１１用の端子４１ａを介してスライダ１１の素子２８に電気的に接続されている。

【0026】

図５は、サスペンション１０の先端部付近をスライダ１１側から見た概略的な平面図である。フレキシャ２２は、タング４５と、第１アウトリガー５１と、第２アウトリガー５２とを有している。タング４５には、スライダ１１が搭載されている。第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２は、幅方向Ｙにおいてタング４５の両外側にそれぞれ配置されている。

【0027】

第１アウトリガー５１と第２アウトリガー５２は、タング４５の幅方向の両外側に張り出す形状を有している。タング４５、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２は、いずれもメタルベース４０の一部であり、例えばエッチングによってそれぞれの輪郭が形成されている。

【0028】

図６は、図５中のＦ６－Ｆ６線に沿うサスペンション１０の概略的な断面図である。ロードビーム２１の先端付近に、タング４５に向かって突出するディンプル５５が形成されている。ディンプル５５の先端５５ａは、タング４５に接している。タング４５は、ディンプル５５の先端５５ａを中心として揺動し、所望のジンバル運動をなすことができる。タング４５、第１アウトリガー５１、第２アウトリガー５２およびディンプル５５などによってジンバル部５６が構成されている。

【0029】

図４および図５に示すように、第１アウトリガー５１はタング４５の一方の側部の外側に配置され、フレキシャ２２の長さ方向Ｘに延びている。第２アウトリガー５２はタング４５の他方の側部の外側に配置され、フレキシャ２２の長さ方向Ｘに延びている。

【0030】

第１アウトリガー５１は、第１基端部５１ａと、第１基端アーム５１ｂと、第１先端アーム５１ｃと、第１接続部５１ｄとを有している。第１基端部５１ａは、固定部６１によってロードビーム２１に固定されている。第１基端アーム５１ｂは、第１基端部５１ａからフレキシャ２２の先端に向けて延びている。第１先端アーム５１ｃの一端は第１基端アーム５１ｂに接続され、他端はフレキシャ２２の先端部２２ａに接続されている。第１接続部５１ｄは、第１基端アーム５１ｂの先端とタング４５の一方の側部とを接続している。先端部２２ａは、固定部６２によってロードビーム２１の先端付近に固定されている。固定部６１，６２は、例えばレーザスポット溶接等によって形成されている。

【0031】

第２アウトリガー５２は、第１アウトリガー５１と同様の形状を有している。すなわち、第２アウトリガー５２は、第２基端部５２ａ、第２基端アーム５２ｂ、第２先端アーム５２ｃおよび第２接続部５２ｄを有している。第２基端部５２ａは、例えばレーザスポット溶接等で形成された固定部６３によってロードビーム２１に固定されている。

【0032】

上述の通り、第１アウトリガー５１の長さ方向Ｘの両端部が固定部６１，６２によって支持されている。さらに、第２アウトリガー５２の長さ方向Ｘの両端部が固定部６２，６３によって支持されている。これにより、第１アウトリガー５１の固定部６１，６２の間に位置する部分、および、第２アウトリガー５２の固定部６２，６３の間に位置する部分は、メタルベース４０の厚さ方向に撓むことができる。このように、タング４５は、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２によって弾性的に支持され、ディンプル５５を支点として揺動することができる。

【0033】

ジンバル部５６には、第１マイクロアクチュエータ素子６５および第２マイクロアクチュエータ素子６６が搭載されている。これらマイクロアクチュエータ素子６５，６６はそれぞれ圧電材料からなり、幅方向Ｙにおけるスライダ１１の両側に配置されている。第１マイクロアクチュエータ素子６５の両端部６５ａ，６５ｂは、それぞれタング４５のアクチュエータ支持部７０，７１に固定されている。第２マイクロアクチュエータ素子６６の両端部６６ａ，６６ｂは、それぞれタング４５のアクチュエータ支持部７２，７３に固定されている。

【0034】

マイクロアクチュエータ素子６５，６６は、タング４５をスウェイ方向Ｓ（図３に示す）に回動させる機能を有している。図４および図５の例においては、タング４５の一方の側部と第１アウトリガー５１との間に、タング４５の過剰な揺れを抑制するリミッタ部材７５が設けられている。タング４５の他方の側部と第２アウトリガー５２との間にもリミッタ部材７６が設けられている。

【0035】

図３～図５に示すように、本実施形態に係るサスペンション１０は、フレキシャ２２の振動を抑制する第１制振部８０および第２制振部９０を備えている。第１制振部８０は第１アウトリガー５１の第１基端部５１ａの近傍に設けられ、第２制振部９０は第２アウトリガー５２の第２基端部５２ａの近傍に設けられている。以下、これら第１制振部８０および第２制振部９０の詳細について説明する。

【0036】

図７は、第１制振部８０および第２制振部９０の近傍におけるサスペンション１０の構造を概略的に示す平面図である。図８は、図７におけるＦ８－Ｆ８線に沿う第１制振部８０の概略的な断面図である。

【0037】

図７に示すように、ロードビーム２１は、第１面２１ａから第２面２１ｂに貫通する第１開口８１を第１基端部５１ａの近傍に有している。第１基端アーム５１ｂの一部は、第１開口８１と重なっている。さらに、第１基端アーム５１ｂは、第１開口８１と重なる位置において、第１屈曲部５１ｅを有している。第１基端部５１ａと第１屈曲部５１ｅの間においては、第１基端アーム５１ｂがサスペンション１０の幅方向Ｙにおける中心Ｃに近づく方向に延びている。一方、第１屈曲部５１ｅと第１先端アーム５１ｃ（図５に示す）の間においては、第１基端アーム５１ｂが中心Ｃから遠ざかる方向に延びている。

【0038】

第１開口８１は、ロードビーム２１の第２面２１ｂに貼り付けられた第１ダンパー材８２と重なっている。図７の例においては第１ダンパー材８２が第１開口８１の全体を塞いでいるが、第１ダンパー材８２は第１開口８１の一部のみを塞いでもよい。

【0039】

さらに、第１アウトリガー５１は、第１屈曲部５１ｅにおいて第１基端アーム５１ｂから延出する一対の第１折り返し部５１ｆ，５１ｇを有している。第１折り返し部５１ｆは、幅方向Ｙにおける第１基端アーム５１ｂの一方の側辺から延出した部分を第１基端アーム５１ｂの厚さ方向に折り返すことにより形成されている。同様に、第１折り返し部５１ｇは、幅方向Ｙにおける第１基端アーム５１ｂの他方の側辺から延出した部分を第１基端アーム５１ｂの厚さ方向に折り返すことにより形成されている。

【0040】

図７の例では、長さ方向Ｘにおける第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの位置が一致している。すなわち、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇは、幅方向Ｙに並んでいる。また、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇは、それぞれの先端が向かい合うように折り返されている。

【0041】

第１折り返し部５１ｆの一部は第１基端アーム５１ｂの下方に位置し、第１開口８１内に露出した第１ダンパー材８２に貼り付けられている。同様に、第１折り返し部５１ｇの一部は第１基端アーム５１ｂの下方に位置し、第１開口８１内に露出した第１ダンパー材８２に貼り付けられている。本実施形態においては、第１開口８１、第１ダンパー材８２および第１折り返し部５１ｆ，５１ｇによって第１制振部８０が構成される。

【0042】

ロードビーム２１は、第１面２１ａから第２面２１ｂに貫通する第２開口９１を第２基端部５２ａの近傍に有している。第２開口９１は、ロードビーム２１の第２面２１ｂに貼り付けられた第２ダンパー材９２によって塞がれている。第２ダンパー材９２は、第２開口９１の一部のみを塞いでもよい。第２ダンパー材９２は、第１ダンパー材８２と幅方向Ｙにおいて離間している。

【0043】

第２基端アーム５２ｂは、第２屈曲部５２ｅを有している。さらに、第２アウトリガー５２は、第２基端アーム５２ｂから延出する一対の第２折り返し部５２ｆ，５２ｇを有している。第２折り返し部５２ｆの一部は第２基端アーム５２ｂの下方に位置し、第２開口９１内に露出した第２ダンパー材９２に貼り付けられている。同様に、第２折り返し部５２ｇの一部は第２基端アーム５２ｂの下方に位置し、第２開口９１内に露出した第２ダンパー材９２に貼り付けられている。

【0044】

図７の例において、第２基端アーム５２ｂ、第２折り返し部５２ｆ，５２ｇ、第２開口９１および第２ダンパー材９２は、第１基端アーム５１ｂ、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇ、第１開口８１および第１ダンパー材８２と中心Ｃに関して線対称の形状を有している。第２開口９１、第２ダンパー材９２および第２折り返し部５２ｆ，５２ｇによって第２制振部９０が構成される。

【0045】

図８に示すように、第１基端アーム５１ｂ（第１屈曲部５１ｅ）は、ロードビーム２１の第１面２１ａと平行である。第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの各々は、第１基端アーム５１ｂと第１ダンパー材８２の間に位置する平坦部５１１と、第１基端アーム５１ｂと平坦部５１１を繋ぐ湾曲部５１２とを有している。湾曲部５１２の一部と平坦部５１１は、第１開口８１内に位置している。

【0046】

平坦部５１１は、第１基端アーム５１ｂと平行である。湾曲部５１２は、円弧状に曲げられている。平坦部５１１および湾曲部５１２は、ロードビーム２１に接触していない。第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの平坦部５１１と第１基端アーム５１ｂの間には、それぞれ隙間Ｇ１が設けられている。

【0047】

第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの平坦部５１１は、先端５１３をそれぞれ有している。これら先端５１３は、隙間Ｇ２を介して互いに対向している。図８の例においては、隙間Ｇ２が隙間Ｇ１よりも大きい（Ｇ２＞Ｇ１）。他の例として、隙間Ｇ２が隙間Ｇ１以下であってもよい（Ｇ２≦Ｇ１）。

【0048】

第１ダンパー材８２は、粘弾性層（viscoelastic material layer）８３と、拘束板（constrained plate）８４とを有している。粘弾性層８３は、変形したときに粘性抵抗を発揮することができる高分子材料（例えばアクリル系樹脂）からなり、粘着性を有している。粘弾性層８３の厚さは、例えば５１μｍである。拘束板８４は、ポリエステル等の合成樹脂からなり、粘弾性層８３に対して積層されている。拘束板８４の厚さは、例えば５１μｍである。

【0049】

第１ダンパー材８２は、第１開口８１の周囲において、粘弾性層８３により第２面２１ｂに貼り付けられている。第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの平坦部５１１は、それぞれ粘弾性層８３に貼り付いている。

【0050】

第２制振部９０の断面構造は、図８に示した第１制振部８０の断面構造と同様である。すなわち、第２ダンパー材９２が粘弾性層と拘束板を有し、第２折り返し部５２ｆ，５２ｇが平坦部と屈曲部を有し、第２折り返し部５２ｆ，５２ｇの平坦部がそれぞれ第２ダンパー材９２の粘弾性層に貼り付いている。

【0051】

以下に、本実施形態に係るサスペンション１０の作用について説明する。
ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６（図１と図２に示す）が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、磁気ヘッドのスライダ１１がディスク４の記録面の所望トラックまで移動する。マイクロアクチュエータ素子６５，６６に電圧が印加されると、電圧に応じてマイクロアクチュエータ素子６５，６６が歪むことにより、ロードビーム２１をスウェイ方向Ｓ（図３に示す）に微小量移動させることができる。

【0052】

本実施形態に係るサスペンション１０は、一対のアウトリガー５１，５２の基端部５１ａ，５２ａの近傍（根元部）に、それぞれ制振部８０，９０を備えている。フレキシャ２２を振動させるエネルギーが外部から入力されると、当該振動エネルギーが折り返し部５１ｆ，５１ｇ，５２ｆ，５２ｇを通じてダンパー材８２，９２に伝わる。このとき、ダンパー材８２，９２のそれぞれの粘弾性層８３が変形し、粘弾性層８３を構成する分子の摩擦による内部抵抗を生じる。このため振動エネルギーが熱エネルギーに変換され、フレキシャ２２の揺れを抑制することができる。

【0053】

ここで、比較例を参照して本実施形態に係るサスペンション１０の効果をさらに説明する。図９は、比較例に係るサスペンション２００の概略的な平面図である。このサスペンション２００は、本実施形態と同じく、第１アウトリガー２１１および第２アウトリガー２１２を含むフレキシャ２１０と、ジンバル部２２０とを備えている。

【0054】

さらに、第１アウトリガー２１１に第１ダンパー材２１３が設けられ、第２アウトリガー２１２に第２ダンパー材２１４が設けられている。ダンパー材２１３，２１４は、それぞれアウトリガー２１１，２１２のみに接着し、アウトリガー２１１，２１２の長さ方向に延びている。

【0055】

このような構成のサスペンション２００であっても、ジンバル部２２０の揺れを抑制することができる。しかしながら、以下に説明するようにダンパー材２１３，２１４を有しないサスペンションと比較して、フレキシャの剛性が大きくなる。

【0056】

図１０は、図９に示したようにダンパー材２１３，２１４を有するサスペンション２００と、ダンパー材を有さないサスペンションとのそれぞれに関し、フレキシャの剛性を示すグラフである。図１０中のＥ，Ｆは、それぞれ図９に示された比較例のサスペンション２００のピッチ方向の剛性とロール方向の剛性を示している。図１０中のＧ，Ｈは、それぞれダンパー材２１３，２１４を有さないサスペンションのピッチ方向の剛性とロール方向の剛性を示している。

【0057】

このグラフから分かるように、ダンパー材２１３，２１４を有するサスペンション２００におけるフレキシャの剛性Ｅ，Ｆは、ダンパー材２１３，２１４を有さない場合と比較していずれも約１３％増加した。このように剛性が増加することにより、サスペンション２００においてはジンバル運動に悪影響が生じ得る。

【0058】

これに対し、本実施形態に係るサスペンション１０においては、アウトリガー５１，５２の基端アーム５１ｂ，５２ｂから延出した折り返し部５１ｆ，５１ｇ，５２ｆ，５２ｇが開口８１，９１を通じてダンパー材８２，９２に貼り付けられている。このような構造であれば、基端アーム５１ｂ，５２ｂや先端アーム５１ｃ，５２ｃはダンパー材８２，９２によって直接は拘束されないので、ダンパー材８２，９２によるアウトリガー５１，５２の剛性への影響を抑制できる。

【0059】

また、折り返し部５１ｆ，５１ｇ，５２ｆ，５２ｇは、基端アーム５１ｂ，５２ｂから延出した部分であるため、これら折り返し部の曲げに起因したアウトリガー５１，５２の機能への影響も抑制できる。

【0060】

なお、図９に示した比較例に係るサスペンション２００においては、ダンパー材２１３，２１４がアウトリガー２１１，２１２の長さ方向に大きく延びている。これらダンパー材２１３，２１４は、ロードビームのフレキシャ２１０が配置される側の面（本実施形態における第１面２１ａに相当する面）と対向する。サスペンション２００をディスク装置に組付ける際に使用されるシッピングコウム（shipping comb）はロードビームの当該面に接触するため、シッピングコウムがダンパー材２１３，２１４と干渉し、ダンパー材２１３，２１４が破損するおそれがある。これに対し、本実施形態に係るサスペンション１０においては、ロードビーム２１の第２面２１ｂにダンパー材８２，９２が設けられている。このような構造であれば、ダンパー材８２，９２とシッピングコウムとの干渉を抑制することができる。

【0061】

また、仮に折り返し部５１ｆ，５１ｇ，５２ｆ，５２ｇを設けない場合、第１基端アーム５１ｂの振動を第１ダンパー材８２に伝えるためのスペーサが必要となる。これに対し、本実施形態ではアウトリガー５１，５２の一部である折り返し部５１ｆ，５１ｇ，５２ｆ，５２ｇがスペーサの役割を担うので、部品点数が削減できるとともに、製造工程も簡略化できる。
以上の他にも、本実施形態からは種々の好適な効果を得ることができる。

【0062】

本実施形態にて開示した制振部８０，９０の構造は一例に過ぎない。以下の第２～第８実施形態においては、制振部８０，９０に適用し得る他の構造を例示する。各実施形態において特に言及しない部分については、第１実施形態と同様の構造を適用できる。

【0063】

［第２実施形態］
図１１は、第２実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。このサスペンション１０は、第１アウトリガー５１が第１折り返し部５１ｇを有しておらず、さらに第２アウトリガー５２が第２折り返し部５２ｇを有していない点で図７の例と相違する。

【0064】

アウトリガー５１，５２をそれぞれダンパー材８２，９２に対し良好に貼り付けて制振力を高める観点からは、第１実施形態のようにアウトリガー５１，５２にそれぞれ２つの折り返し部を設けるなどしてダンパー材８２，９２と折り返し部の接触面積を大きくすることが好ましい。しかしながら、本実施形態のように第１アウトリガー５１が１つの第１折り返し部５１ｆを有し、第２アウトリガー５１が１つの第２折り返し部５２ｆを有する構成であっても、フレキシャ２２の揺れを抑制することが可能である。

【0065】

図１１に示す第１折り返し部５１ｆは、図７に示した第１折り返し部５１ｆよりも幅方向Ｙに長い形状を有している。同様に、図１１に示す第２折り返し部５２ｆは、図７に示した第２折り返し部５２ｆよりも幅方向Ｙに長い形状を有している。このように折り返し部５１ｆ，５２ｆを大きくすれば、折り返し部５１ｆ，５２ｆとダンパー材８２，９２との接触面積が増えるので、制振部８０，９０の制振力を高めることができる。

【0066】

なお、図１１における折り返し部５１ｆ，５２ｆは、図７に示した折り返し部５１ｇ，５２ｇの位置にそれぞれ設けられてもよい。また、第１アウトリガー５１または第２アウトリガー５２が有する折り返し部の数は、第１実施形態のように２つである場合や、本実施形態のように１つである場合に限られず、３つ以上であってもよい。

【0067】

［第３実施形態］
図１２は、第３実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。このサスペンション１０は、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇおよび第２折り返し部５２ｆ，５２ｇの位置において図７の例と相違する。

【0068】

図１２の例においては、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの位置が長さ方向Ｘ（あるいは第１基端アーム５１ｂの延出方向）においてずれている。具体的には、第１折り返し部５１ｆは第１屈曲部５１ｅと第１基端部５１ａの間に位置し、第１折り返し部５１ｇは第１屈曲部５１ｅと第１先端アーム５１ｃ（図５に示す）の間に位置している。

【0069】

同様に、第２折り返し部５２ｆ，５２ｇの位置も長さ方向Ｘ（あるいは第２基端アーム５２ｂの延出方向）においてずれている。具体的には、第２折り返し部５２ｆは第２屈曲部５２ｅと第２基端部５２ａの間に位置し、第２折り返し部５２ｇは第２屈曲部５２ｅと第２先端アーム５２ｃ（図５に示す）の間に位置している。

【0070】

図１２の例において、第１折り返し部５１ｆは第１延出方向Ｄ１に延びている。一方、第１折り返し部５１ｇは第１延出方向Ｄ１と異なる第２延出方向Ｄ２に延びている。これら延出方向Ｄ１，Ｄ２は、例えば長さ方向Ｘおよび幅方向Ｙと交差する方向である。同様に、第２折り返し部５２ｆ，５２ｇも異なる方向に延びている。

【0071】

図１２に示す第１折り返し部５１ｆ，５１ｇは、図７の例に比べて長い。この場合であっても、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇが長さ方向Ｘにおいてずれているため、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇが第１基端アーム５１ｂの下方で接触しない。したがって、図１２の構成であれば第１折り返し部５１ｆ，５１ｇと第１ダンパー材８２の接触面積を増やし、制振力を高めることができる。第２折り返し部５２ｆ，５２ｇについても同様の効果を得ることができる。

【0072】

［第４実施形態］
図１３は、第４実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。このサスペンション１０は、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇおよび第２折り返し部５２ｆ，５２ｇの形状において図７の例と相違する。すなわち、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇは、第１基端アーム５１ｂの下方において長さ方向Ｘに拡大するとともに、先端が蛇行している。同様に、第２折り返し部５２ｆ，５２ｇは、第２基端アーム５２ｂの下方において長さ方向Ｘに拡大するとともに、先端が蛇行している。

【0073】

図１４は、本実施形態に係る第１折り返し部５１ｆの形状の一例を示す図であり、第１折り返し部５１ｆをロードビーム２１の第２面２１ｂ側から見た平面図に相当する。第１折り返し部５１ｇおよび第２折り返し部５２ｆ，５２ｇに対しても同様の形状を適用し得る。

【0074】

図１４に示す第１折り返し部５１ｆにおいて、平坦部５１１の先端５１３は、幅方向Ｙに窪む２つの凹部５１３ａを有している。他の観点から言えば、先端５１３は、凹部５１３ａに隣り合う３つの凸部５１３ｂを有している。なお、先端５１３が有する凹部５１３ａおよび凸部５１３ｂの数は、図示した例より多くてもよいし少なくてもよい。

【0075】

このように先端５１３が凹部５１３ａや凸部５１３ｂを有することにより非直線状であれば、先端５１３が第１ダンパー材８２に食い込み、平坦部５１１と第１ダンパー材８２の剥がれを抑制できる。

【0076】

また、図１４に示す第１折り返し部５１ｆにおいては、平坦部５１１の長さ方向Ｘにおける幅Ｗ１が湾曲部５１２の長さ方向Ｘにおける幅Ｗ２よりも大きい。これにより、第１ダンパー材８２と接触する平坦部５１１の面積が向上するので、平坦部５１１と第１ダンパー材８２の剥がれをより好適に抑制できる。

【0077】

なお、図１４に例示した形状は、折り返し部５１ｆ，５１ｇ，５２ｆ，５２ｇの全てに適用されてもよいし、一部のみに適用されてもよい。また、図１４に例示した形状は、他の実施形態にて開示する折り返し部に適用することもできる。

【0078】

［第５実施形態］
図１５は、第５実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。このサスペンション１０においては、第１アウトリガー５１の第１基端アーム５１ｂが第１屈曲部５１ｅの近傍において第１アーム開口５１ｈを有している。第１アーム開口５１ｈは、少なくとも一部が第１開口８１と重なっている。さらに、第１アウトリガー５１は、第１アーム開口５１ｈの内縁から延出する第１折り返し部５１ｉを有している。

【0079】

第１折り返し部５１ｉは、図８に示した第１折り返し部５１ｆ，５１ｇと同様に第１基端アーム５１ｂの厚さ方向に折り返され、第１基端アーム５１ｂの下方において第１ダンパー材８２に貼り付いている。図１５の例において、第１折り返し部５１ｉの延出方向Ｄは、長さ方向Ｘおよび幅方向Ｙの双方に対して傾いている。

【0080】

図１５の例において、第２アウトリガー５２、第２開口９１および第２ダンパー材９２は、第１アウトリガー５１、第１開口８１および第１ダンパー材８２と中心Ｃに関して線対称の形状を有している。すなわち、第２基端アーム５２ｂが第２アーム開口５２ｈを有し、この第２アーム開口５２ｈの内縁から第２折り返し部５２ｉが延出している。第２折り返し部５２ｉは第２基端アーム５２ｂの厚さ方向に折り返され、第２ダンパー材９２に貼り付いている。

【0081】

本実施形態のように第１アーム開口５１ｈの内側に第１折り返し部５１ｉを設けた場合、第１基端アーム５１ｂをその幅方向における中心付近でバランス良く固定できる。同様に、第２アーム開口５２ｈの内側に第２折り返し部５２ｉを設けた場合、第２基端アーム５２ｂをその幅方向における中心付近でバランス良く固定できる。

【0082】

［第６実施形態］
図１６は、第６実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。このサスペンション１０は、上述の第１ダンパー材８２および第２ダンパー材９２に代えて、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２の双方と重なる大きさのダンパー材１００を備える点で図７の例と相違する。

【0083】

ダンパー材１００は、ロードビーム２１の第２面２１ｂ（図３に示す）に貼り付けられている。ダンパー材１００には、図８に示した第１ダンパー材８２と同様の構造を適用できる。

【0084】

ダンパー材１００は、第１開口８１と重なる第１部分１０１と、第２開口９１と重なる第２部分１０２と、これら第１部分１０１および第２部分１０２を繋ぐ中間部分１０３とを有している。中間部分１０３は、２つの配線部４１と重なっている。図１６の例においては、中間部分１０３の長さ方向Ｘにおける幅が、第１部分１０１および第２部分１０２の長さ方向Ｘにおける幅よりも小さい。

【0085】

第１折り返し部５１ｆ，５１ｇは、第１開口８１を通じて第１部分１０１に貼り付いている。第２折り返し部５２ｆ，５２ｇは、第２開口９１を通じて第２部分１０２に貼り付いている。

【0086】

本実施形態のように１つのダンパー材１００にてアウトリガー５１，５２の双方を制振する構造であれば、２つのダンパー材８２，９２を用いる場合に比べサスペンション１０の部品点数が低減されるとともに製造工程が簡略化される。また、ダンパー材１００とロードビーム２１の接着面積が大きくなるので、ダンパー材１００がロードビーム２１から剥がれにくくなる。

【0087】

本実施形態の構造は、ダンパー材１００がロードビーム２１の第２面２１ｂに貼り付けられていることにより実現可能となる。すなわち、仮にダンパー材１００を第１面２１ａに貼り付ける場合、ダンパー材１００が配線部４１を拘束してフレキシャ２２の剛性やジンバル運動に悪影響が生じ得る。これに対し、ダンパー材１００が第２面２１ｂに貼り付けられていれば配線部４１が拘束されないので、フレキシャ２２の剛性やジンバル運動への影響が抑制される。

【0088】

なお、他の実施形態に係るサスペンション１０において、本実施形態と同様に第１ダンパー材８２および第２ダンパー材９２に代えてダンパー材１００を用いてもよい。

【0089】

［第７実施形態］
図１７は、第７実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。このサスペンション１０の基本的な構造は、図７の例と同様である。ただし、図１７に示すサスペンション１０は、第１制振部８０が一対の第１絶縁層８５を備え、第２制振部９０が一対の第２絶縁層９５を備える点で図７に示した例と相違する。

【0090】

一対の第１絶縁層８５は、第１開口８１においてそれぞれ第１折り返し部５１ｆ，５１ｇと重なっている。一対の第２絶縁層９５は、第２開口９１においてそれぞれ第２折り返し部５２ｆ，５２ｇと重なっている。

【0091】

図１８は、図１７中のＦ１８－Ｆ１８線に沿う第１制振部８０の概略的な断面図である。第１絶縁層８５は、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの平坦部５１１の外面（第１ダンパー材８２と対向する面）に形成されている。

【0092】

第１絶縁層８５は、平坦部５１１と第１ダンパー材８２とで挟まれている。すなわち、本実施形態においては、平坦部５１１が第１絶縁層８５を介して第１ダンパー材８２に貼り付けられている。

【0093】

図１８の例においては、第１絶縁層８５の厚さがロードビーム２１や平坦部５１１の厚さよりも小さい。第１絶縁層８５は、例えばポリイミドを平坦部５１１に塗布し、これを硬化させることで形成できる。なお、配線部４１もポリイミドで形成された絶縁層を含んでいる。第１絶縁層８５と配線部４１の絶縁層は、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇが曲げられる前の平坦なフレキシャ２２に対するポリイミドの成膜とパターニングにより、同一の製造工程にて形成されてもよい。

【0094】

図１８の例において、各第１絶縁層８５は、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの先端５１３から突出している。図１７に示すように、長さ方向Ｘにおいても各第１絶縁層８５が第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの両側部（平坦部５１１の両側部）から突出している。

【0095】

このように各第１絶縁層８５を第１折り返し部５１ｆ，５１ｇよりも大きくすれば、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇが第１ダンパー材８２に安定して接着される。結果として、第１ダンパー材８２による制振効果が向上する。また、フレキシャ２２を曲げて第１折り返し部５１ｆ，５１ｇを形成する際に、曲げ加工のためのツールとの接触によって第１折り返し部５１ｆ，５１ｇが損傷することを抑制できる。

【0096】

一方、図１８の例において、各第１絶縁層８５は、第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの湾曲部５１２には及んでいない。これにより、上記曲げ加工における第１折り返し部５１ｆ，５１ｇの変形が阻害されにくい。また、曲げによる第１絶縁層８５の損傷を抑制できる。

【0097】

第２制振部９０の断面構造も図１８に示した第１制振部８０の断面構造と同様である。すなわち、各第２絶縁層９５は第２折り返し部５２ｆ，５２ｇの平坦部に形成され、これら平坦部と第２ダンパー材９２の間に介在している。

【0098】

なお、本実施形態のように絶縁層８５，９５を設ける構成は、他の実施形態に係るサスペンション１０に対しても同様に適用できる。絶縁層８５，９５は、アウトリガー５１，５２が有する複数の折り返し部の一部のみに設けられてもよい。

【0099】

［第８実施形態］
図１９は、第８実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。このサスペンション１０は、第２アウトリガー５２が第２折り返し部５２ｇを有していない点で図７の例と相違する。

【0100】

すなわち、図１９の例においては、第１アウトリガー５１が有する折り返し部の数が、第２アウトリガー５２が有する折り返し部の数よりも多い。他の例として、第２アウトリガー５２が有する折り返し部の数が、第１アウトリガー５１が有する折り返し部の数より多くてもよい。

【0101】

このように、第１制振部８０の構造と第２制振部９０の構造とが非対称であっても、アウトリガー５１，５２の制振効果を得ることができる。第１制振部８０の構造と第２制振部９０の構造とが非対称となる例としては、アウトリガー５１，５２が有する折り返し部の数が異なる場合の他にも、アウトリガー５１，５２の折り返し部の延出方向が異なる場合、アウトリガー５１，５２の折り返し部の長さ方向Ｘにおける位置が異なる場合、開口８１，９１の形状や位置が異なる場合、ダンパー材８２，９２の形状や位置が異なる場合などが想定される。

【0102】

以上の各実施形態にて開示した発明を実施するに当たっては、ロードビームやフレキシャの形状、第１制振部および第２制振部の配置などの具体的な態様をはじめとして、ディスク装置用サスペンションを構成する各要素の具体的な態様を種々に変更できる。例えば、マイクロアクチュエータ素子６５，６６を有しないサスペンションに各実施形態と同様の第１制振部および第２制振部が設けられてもよい。

【符号の説明】

【0103】

１…ディスク装置、１０…サスペンション、１１…スライダ、２１…ロードビーム、２１ａ…第１面、２１ｂ…第２面、２２…フレキシャ、４０…メタルベース、４１…配線部、４５…タング、５１…第１アウトリガー、５１ａ…第１基端部、５１ｂ…第１基端アーム、５１ｅ…第１屈曲部、５１ｆ，５１ｇ，５１ｉ…第１折り返し部、５２…第２アウトリガー、５２ａ…第２基端部、５２ｂ…第２基端アーム、５２ｅ…第２屈曲部、５２ｆ，５２ｇ，５２ｉ…第２折り返し部、５５…ディンプル、５６…ジンバル部、６１，６２，６３…固定部、６５，６６…マイクロアクチュエータ素子、８０…第１制振部、８１…第１開口、８２…第１ダンパー材、８３…粘弾性層、８４…拘束板、９０…第２制振部、９１…第２開口、９２…第２ダンパー材。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】