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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-07-20
(45)【発行日】2023-07-28
(54)【発明の名称】ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置
(51)【国際特許分類】
B65H 20/06 20060101AFI20230721BHJP
C03B 33/09 20060101ALI20230721BHJP
C03B 33/03 20060101ALI20230721BHJP
C03B 35/00 20060101ALI20230721BHJP
B28D 5/00 20060101ALI20230721BHJP
B65H 23/02 20060101ALI20230721BHJP
B65H 20/10 20060101ALI20230721BHJP
B28D 7/04 20060101ALI20230721BHJP
【ＦＩ】
B65H20/06
C03B33/09
C03B33/03
C03B35/00
B28D5/00 Z
B65H23/02
B65H20/10 B
B28D7/04
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2020001526
(22)【出願日】2020-01-08
(65)【公開番号】P2021109724
(43)【公開日】2021-08-02
【審査請求日】2022-09-27
(73)【特許権者】
【識別番号】000232243
【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100107423
【弁理士】
【氏名又は名称】城村 邦彦
(74)【代理人】
【識別番号】100120949
【弁理士】
【氏名又は名称】熊野 剛
(74)【代理人】
【識別番号】100196346
【弁理士】
【氏名又は名称】吉川 貴士
(72)【発明者】
【氏名】猪飼 直弘
(72)【発明者】
【氏名】村田 憲一
【審査官】大谷 謙仁
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１８／１６８３８０（ＷＯ，Ａ１）
【文献】登録実用新案第３０３８９２０（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２００１－０９７５２２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｈ ２０／０６
Ｃ０３Ｂ ３３／０９
Ｃ０３Ｂ ３３／０３
Ｃ０３Ｂ ３５／００
Ｂ２８Ｄ ５／００
Ｂ６５Ｈ ２３／０２
Ｂ６５Ｈ ２０／１０
Ｂ２８Ｄ ７／０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ガラスフィルムをベルトコンベアで搬送して製造関連処理を施すガラスフィルムの製造方法であって、前記ベルトコンベアは、前記ガラスフィルムを支持搬送可能なベルトと、前記ベルトの幅方向への移動を規制する第一規制部材と、前記ベルトの上方への移動を規制する第二規制部材とを備え、
前記ベルトの幅方向両側に、前記ベルトの長手方向に延びて前記ガラスフィルムの支持搬送面の下段に位置する下段面が設けられると共に、
前記第二規制部材に、前記ベルトの幅方向中央側に延びて前記下段面を下方に押さえ可能な押さえ部が設けられている、ガラスフィルムの製造方法。
【請求項2】
前記ベルトコンベアは、前記ベルトの下面を支持する支持体をさらに有し、前記ベルトコンベアは、前記支持体に前記ベルトを吸着不能に構成される請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項3】
前記第二規制部材が前記第一規制部材に固定されている請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項4】
前記第二規制部材の押さえ部と、前記ベルトとの間に、所定の幅方向隙間が設けられている請求項１～３の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項5】
前記ベルトの、前記ガラスフィルムと接触する前記支持搬送面と、前記押さえ部と接触する前記下段面とが互いに異なる材質で形成されている請求項１～４の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項6】
前記ベルトは、前記支持搬送面が設けられる第一層と、前記第一層の下方に位置し、前記下段面が設けられる第二層とを有し、前記第一層は、前記ガラスフィルムに対して接触性の良好な材料で形成され、前記第二層は、前記押さえ部に対して摺動性の良好な材料で形成されている請求項５に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項7】
前記製造関連処理は、前記ガラスフィルムをその長手方向に沿って切断する切断工程である請求項１～６の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項8】
ガラスフィルムを支持搬送可能なベルトコンベアと、前記ベルトコンベアで搬送されるガラスフィルムに製造関連処理を施す製造関連処理装置とを備えたガラスフィルムの製造装置であって、前記ベルトコンベアは、前記ガラスフィルムを支持搬送可能なベルトと、前記ベルトの幅方向への移動を規制する第一規制部材と、前記ベルトの上方への移動を規制する第二規制部材とを備え、
前記ベルトの幅方向両側に、前記ベルトの長手方向に延びて前記ガラスフィルムの支持搬送面の下段に位置する下段面が設けられると共に、
前記第二規制部材に、前記ベルトの幅方向中央側に延びて前記下段面を下方に押さえ可能な押さえ部が設けられている、ガラスフィルムの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置に関する。
【背景技術】
【0002】
ガラスフィルムの製造工程では、ガラスフィルムを所定方向に搬送しながら、ガラスフィルムに切断や印刷などの製造関連処理を施すのが一般的である。この際、製造関連処理を行う領域又はその周辺で、ベルトコンベアによりガラスフィルムをベルト表面に接触させた状態で搬送する場合がある（例えば、特許文献１を参照）。ガラスフィルムの搬送にベルトコンベアを用いることで、ガラスフィルムの一方の面が非接触の状態で搬送できること、搬送停止時にもガラスフィルムを安定的に保持できることなどの利点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１２－３１０３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、上述のようにガラスフィルムをベルトコンベアで搬送しながら切断等の製造関連処理を施す場合、ベルトコンベアの駆動部となるベルトが上下動（厚み方向に移動）することがある。この種の上下動は、ベルトにより支持されるガラスフィルムにも当然ながら伝わるため、製造関連処理を施す箇所に搬入されるガラスフィルムの高さ方向位置が安定せず、正確な製造関連処理を施すことが難しいといった問題が生じる。
【0005】
上述のようなベルトコンベアは、例えば図８に示すように、吸引機構を利用して、ベルトの上下動を抑制する方法が考えられる。ここで、符号１０１はベルト、符号１０２はベルトを下方から支持する支持体、符号１０３はベルト１０１の幅方向両端をガイドするガイド部材、符号１０４は支持体１０２外へ排気可能な排気空間をそれぞれ表している。このような構造にすることで、支持体１０２内の排気空間１０４に対して排気を行った際、支持体１０２の上部に設けられた穴１０５を通じて支持体１０２の上方に位置するベルト１０１が排気空間１０４からの吸気作用を受ける。これにより、吸着動作によりベルト１０１が下方に向けて吸着されることでベルト１０１の上下動を抑制しながら、ガラスフィルムＧをベルト１０１の上面で接触支持して搬送することができるものと期待される。
【0006】
しかしながら、ベルト１０１とその幅方向両端に配置されるガイド部材１０３との間には、相対移動を行う関係上、必然的に幅方向の隙間１０６が存在する（図９を参照）。そのため、吸気によりベルト１０１を吸引した際、ベルト１０１とガイド部材１０３との隙間１０６を通じてベルト１０１上に接触した状態のガラスフィルムＧにまで吸引作用が及ぶおそれが生じる。あるいは、強く吸引することでベルト１０１が下方に凸となる向きに湾曲変形することによってもベルト１０１とガイド部材１０３との間に相応の隙間１０６が生じる。これらにより、ガラスフィルムＧが上述の吸引作用により拘束されるために、ガラスフィルムＧにしわ等の変形が生じるおそれがある。このようにしわ等の変形した部分が上述した切断箇所など製造関連処理を受ける箇所に搬入されると、製造関連処理の処理不良やガラスフィルムＧの破損が生じる原因となり得る。
【0007】
以上の事情に鑑み、本発明は、ガラスフィルムをベルトコンベアで搬送するに際して、ガラスフィルムにしわ等の変形が生じるのを防止しつつ、ベルトの上下動を効果的に抑制可能とすることにより、ガラスフィルムに良好な製造関連処理を施すことを、解決すべき技術課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、ガラスフィルムをベルトコンベアで搬送して製造関連処理を施すガラスフィルムの製造方法であって、ベルトコンベアは、ガラスフィルムを支持搬送可能なベルトと、ベルトの幅方向への移動を規制する第一規制部材と、ベルトの上方への移動を規制する第二規制部材とを備え、ベルトの幅方向両側に、ベルトの長手方向に延びて支持搬送面の下段に位置する下段面が設けられると共に、第二規制部材に、ベルトの幅方向中央側に延びて下段面を下方に押さえ可能な押さえ部が設けられている点をもって特徴付けられる。なお、ここでいうベルトの幅方向とは、ベルトの長手方向と厚み方向の何れとも直交する向きをいう。また、ここでいう支持搬送面の下段に位置する、とは、段差を介して支持搬送面の下方に位置することを意味する。
【0009】
このように、本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、ベルトの幅方向への移動を規制する第一規制部材に加えて、ベルトの上方への移動を規制する第二規制部材を設けるようにした。また、ベルトの幅方向両側にベルトの長手方向に延びて支持搬送面よりもベルトの厚み方向中央側に位置する下段面を設けると共に、この下段面を下方に押さえ可能な押さえ部を第二規制部材に設けるようにした。これにより、ベルトは、押さえ部の位置に応じて上方への移動を規制されるので、ベルトの上下動を所定の範囲内に抑えることができる。また、ベルトをその幅方向両側に設けた下段面で下方に押さえ可能に構成したので、第二規制部材（の押さえ部）を支持搬送面よりもベルトの厚み方向中央側に退避させることができる。よって、ベルトの上下動を効果的に抑制しつつも、ガラスフィルムと第二規制部材とが干渉する事態を回避して、安全にガラスフィルムを搬送することが可能となる。上述した作用効果は、例えば帯状のガラスフィルムを複数のベルトコンベアで支持して搬送するに際し、各ベルトコンベアに本発明を適用した場合に顕著である。
【0010】
また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、ベルトコンベアは、ベルトの下面を支持する支持体をさらに有し、ベルトコンベアは、支持体にベルトを吸着不能に構成されてもよい。
【0011】
本発明に係る製造方法によれば、上述のように、ベルトの上下動を抑制することによりガラスフィルムに対する良好な製造関連処理を施すことができる。また、各規制部材を配置するだけでベルトの上下動を抑制することができる。よって、ベルトを敢えて吸着するための機構も必要なく、これにより支持体を含むベルトコンベアをより簡素化することが可能となる。
【0012】
また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、第二規制部材が第一規制部材に固定されてもよい。
【0013】
第一規制部材は、ベルトの幅方向移動を規制可能とするものであるから、通常、ベルトの支持体などに位置決めした状態で固定される。そのため、この第一規制部材に、本発明に係る第二規制部材を固定することで、容易にかつ正確に第二規制部材を位置決め固定することができる。
【0014】
また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、第二規制部材の押さえ部と、ベルトとの間に、所定の幅方向隙間が設けられてもよい。
【0015】
第一規制部材によりベルトの幅方向の移動が規制されるとはいえ、ベルトの駆動を円滑に行うためには、幅方向に多少の遊び（移動代）を残しておく必要がある。よって、第二規制部材の押さえ部とベルトとの間に、所定の幅方向隙間を設けておくことで、ベルトが幅方向にぶれた際にベルトが第二規制部材と幅方向で接触する事態を回避して、円滑なベルトの駆動を図ることが可能となる。
【0016】
また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、ベルトの、ガラスフィルムと接触する支持搬送面と、押さえ部と接触する下段面とが互いに異なる材質で形成されてもよい。
【0017】
上述のように、本発明に係るガラスフィルムの製造方法によれば、下段面を設けたベルトに第二規制部材の一部（押さえ部）で下方に押さえ可能な構成をとることから、ベルトは、ガラスフィルムだけでなく押さえ部とも接触しながら所定の向きに駆動する必要が生じる。ここで、押さえ部（第二規制部材）とガラスフィルムとは当然に異なる材料で形成されることが想定されるので、ベルトのうち、ガラスフィルムと接触する支持搬送面と、押さえ部と接触する下段面とを互いに異なる材質で形成することによって、ガラスフィルムだけでなく押さえ部に対しても良好な接触状態を得ることが可能となる。
【0018】
また、この場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、ベルトは、支持搬送面が設けられる第一層と、第一層の下方に位置し、下段面が設けられる第二層とを一体的に有してもよい。また、この場合、第一層は、ガラスフィルムに対して接触性の良好な材料で形成され、第二層は、押さえ部に対して摺動性の良好な材料で形成されてもよい。
【0019】
ベルトの支持搬送面と下段面とを互いに異なる材質で形成する手段は多々あるが、その中でも、上述のようにベルトを二層構造とするのがよい。二層構造であれば、各層をそれぞれガラスフィルムに対して接触性の良好な材料と、押さえ部に対する摺動性の良好な材料とで形成するだけで済む。また、支持搬送面を有する第一層と下段面を有する第二層とを重ね合わせるだけで、ベルトを構成することができる。よって、所定の部位に被膜形成処理を施すなど煩雑な作業を行うことなく簡易に上記構成のベルトを製作することが可能となる。また、この際、第一層を、ガラスフィルムに対して接触性の良好な材料で形成すると共に、第二層を、押さえ部に対して摺動性の良好な材料で形成することによって、ガラスフィルムとベルトとの接触によりガラスフィルムが破損する事態を防止できると共に、ベルトと押さえ部との間で円滑な摺動状態を作り出すことが可能となる。
【0020】
また、以上の説明に係るガラスフィルムの製造方法によれば、ガラスフィルムをベルトコンベアで搬送するに際して、ガラスフィルムにしわ等の変形が生じるのを防止しつつ、ベルトの上下動を効果的に抑制可能とすることにより、ガラスフィルムに良好な製造関連処理を施すことが可能となる。そのため、例えば製造関連処理としてガラスフィルムをその長手方向に沿って切断する切断工程に本発明を適用することによって、ガラスフィルムの正確な切断を安定的に実施することが可能となる。
【0021】
また、前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造装置によっても達成される。すなわち、この製造装置は、ガラスフィルムを支持搬送可能なベルトコンベアと、前記ベルトコンベアで搬送されるガラスフィルムに製造関連処理を施す製造関連処理装置とを備えたガラスフィルムの製造装置であって、ベルトコンベアは、ガラスフィルムを支持搬送可能なベルトと、ベルトの幅方向への移動を規制する第一規制部材と、ベルトの上方への移動を規制する第二規制部材とを備え、ベルトの幅方向両側に、ベルトの長手方向に延びてガラスフィルムの支持搬送面の下段に位置する下段面が設けられると共に、第二規制部材に、ベルトの幅方向中央側に延びて下段面を下方に押さえ可能な押さえ部が設けられている点をもって特徴付けられる。
【0022】
このように、本発明に係るガラスフィルムの製造装置においても、ベルトの幅方向への移動を規制する第一規制部材に加えて、ベルトの上方への移動を規制する第二規制部材を設けるようにした。また、ベルトの幅方向両側にベルトの長手方向に延びて支持搬送面よりもベルトの厚み方向中央側に位置する下段面を設けると共に、この下段面を下方に押さえ可能な押さえ部を第二規制部材に設けるようにした。これにより、ベルトは、押さえ部の位置に応じて上方への移動を規制されるので、ベルトの上下動を所定の範囲内に抑えることができる。また、ベルトをその幅方向両側に設けた下段面で下方に押さえ可能に構成したので、第二規制部材（の押さえ部）を支持搬送面よりもベルトの厚み方向中央側に退避させることができる。よって、ベルトの上下動を効果的に抑制しつつも、ガラスフィルムと第二規制部材とが干渉する事態を回避して、安全にガラスフィルムを搬送することが可能となる。
【発明の効果】
【0023】
以上に述べたように、本発明によれば、ガラスフィルムをベルトコンベアで搬送するに際して、ガラスフィルムにしわ等の変形が生じるのを防止しつつ、ベルトの上下動を効果的に抑制可能とすることにより、ガラスフィルムに良好な製造関連処理を施すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【発明を実施するための形態】
【0025】
【0026】
本発明の一実施形態に係るガラスフィルム（ガラスロール）の製造装置１は、図１に示すように、帯状の母材ガラスフィルムＧを成形する成形部２と、母材ガラスフィルムＧの進行方向を縦方向下方から横方向に変換する方向変換部３と、方向変換後に母材ガラスフィルムＧを横方向に搬送する第一搬送部４と、母材ガラスフィルムＧにおける幅方向両端部を切断する第一切断部５と、幅方向両端部が除去されたガラスフィルム（以下、第一ガラスフィルムと称する。）Ｇ１をロール状に巻き取って第一ガラスロールＧＲＬ１を得る第一巻取り部６とを備える。なお、本実施形態では、縦方向は鉛直方向であり、横方向は水平方向である。
【0027】
また、ガラスロールの製造装置１は、第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出す引出し部７と、引出し部７から引き出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向に搬送する第二搬送部８と、第一ガラスフィルムＧ１の一部を切断する第二切断部９と、第二切断部９により切断されてなるガラスフィルム（以下、第二ガラスフィルムと称する。）Ｇ２ａ，Ｇ２ｂをロール状に巻き取って第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得る第二巻取り部１０とをさらに備える。なお、本実施形態における第二切断部９が本発明に係る製造関連処理装置に相当する。
【0028】
成形部２は、上端部にオーバーフロー溝１１ａが形成された断面視略楔形の成形体１１と、成形体１１の直下に配置され、成形体１１から溢れ出した溶融ガラスＧＭを表裏両側から挟むエッジローラ１２と、エッジローラ１２の直下に配備されるアニーラ１３とを有する。
【0029】
成形部２は、成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢れ出した溶融ガラスＧＭを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端部で合流させてフィルム状に成形する。エッジローラ１２は、この溶融ガラスＧＭの幅方向収縮を規制して母材ガラスフィルムＧの幅方向寸法を調整する。アニーラ１３は、母材ガラスフィルムＧに対して除歪処理を施すためのものである。アニーラ１３は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ１４を有する。
【0030】
アニーラ１３の下方には、母材ガラスフィルムＧを表裏両側から挟持する支持ローラ１５が配設されている。支持ローラ１５とエッジローラ１２との間、又は支持ローラ１５と何れか一箇所のアニーラローラ１４との間には、母材ガラスフィルムＧを薄肉にすることを助長するための張力が付与されている。
【0031】
方向変換部３は、支持ローラ１５の下方位置に設けられている。方向変換部３には、母材ガラスフィルムＧを案内する複数のガイドローラ１６が湾曲状に配列されている。これらのガイドローラ１６は、鉛直方向に搬送される母材ガラスフィルムＧを横方向へと案内する。
【0032】
第一搬送部４は、方向変換部３の進行方向前方（下流側）に配置される。第一搬送部４は、支持搬送面を有する駆動部を駆動することにより、方向変換部３を通過した母材ガラスフィルムＧをその長手方向に沿って下流側に搬送する。なお、第一搬送部４は任意の構成をとることが可能であり、例えば一又は複数のベルトコンベアで構成することが可能である。この場合、支持搬送面を有する駆動部はベルトであり、このベルトを駆動することにより、母材ガラスフィルムＧを上述の態様で搬送し得る。もちろん、第一搬送部４は、上記例示の構成に限らず、ローラコンベアその他の各種搬送装置を使用することも可能である。
【0033】
第一切断部５は、第一搬送部４の上方に配置される。本実施形態では、第一切断部５は、レーザー割断により母材ガラスフィルムＧを切断可能に構成される。具体的には、第一切断部５は、一対のレーザー照射装置１７ａと、当該レーザー照射装置１７ａの下流側に配置される一対の冷却装置１７ｂとを有する。第一切断部５は、搬送される母材ガラスフィルムＧの所定部位に各レーザー照射装置１７ａからレーザー光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置１７ｂから冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却する。
【0034】
第一巻取り部６は、第一搬送部４及び第一切断部５の下流側に設置されている。第一巻取り部６は、巻芯１８を回転させることで、第一ガラスフィルムＧ１をロール状に巻き取る。このようにして得られる第一ガラスロールＧＲＬ１は、引出し部７の位置まで搬送される。引出し部７は、第一巻取り部６によって得られた第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出して、第二搬送部８上に供給する。
【0035】
第二搬送部８は、引出し部７において第一ガラスロールＧＲＬ１から引き出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向（以下、搬送方向Ｘと称する。）に沿って搬送する。ここで、第二搬送部８は、図２及び図３に示すように、相対的に第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向上流側に位置する上流側コンベア１９と、上流側コンベア１９よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向下流側に位置する下流側コンベア２０とで構成される。この場合、製造関連処理装置としての第二切断部９は、上流側コンベア１９と下流側コンベア２０との間に配設される。よって、第二切断部９による第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１（図２中の一点鎖線で囲まれた領域）は、上流側コンベア１９の支持搬送面上と下流側コンベア２０の支持搬送面上の何れにもない。
【0036】
上流側コンベア１９はベルトコンベアで構成される。本実施形態では、上流側コンベア１９は、複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇで構成される。これら複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇは何れも、ベルト（以下、第一ベルト２３ａ～２３ｇと称する。）で同じ方向に第一ガラスフィルムＧ１を接触支持して下流側に搬送可能に構成される。ここで、各第一ベルト２３ａ～２３ｇは例えば無端帯状のベルトであり、第一ガラスフィルムＧ１をその長手方向で接触する全域にわたって略水平姿勢に保持するように、各第一ベルト２３ａ～２３ｇが同じ高さ方向位置に設定される。
【0037】
ここで、各上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇは何れも同じベルト駆動構造を有する。最も幅方向一端側（図２の下側）の上流側ベルトコンベア２２ｇを例にとると、この上流側ベルトコンベア２２ｇは、図３に示すように、上述した無端帯状の第一ベルト２３ｇと、第一ベルト２３ｇに張力を付与しつつ第一ベルト２３ｇを所定の位置に配設するための複数のプーリ２４と、これら複数のプーリ２４を支持する第一支持体２５とを有する。第一支持体２５は床面に固定されている。また、複数のプーリ２４のうち所定のプーリ２４（ドライブプーリ２４ａ）には、モータなどの駆動源２６が連結されており（図２を参照）、この駆動源２６によりドライブプーリ２４ａに駆動力を付与することで、上流側ベルトコンベア２２ｇの第一ベルト２３ｇが所定の向きに駆動可能とされている。
【0038】
また、上記構成の複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇは、それぞれ所定の幅方向位置に設置されている。ここでは、幅方向寸法が互いに異なる複数種類の第一ガラスフィルムＧ１が上流側コンベア１９上を搬送されることを想定して、想定される各第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端側で接触支持するように、各第一ベルト２３ａ～２３ｇの幅方向位置が設定される。また、本実施形態では、幅方向寸法の大きさの如何によらず、全ての第一ガラスフィルムＧ１をその幅方向中央位置で接触支持可能なように上流側ベルトコンベア２２ｄが配設されている（図２を参照）。この幅方向中央の上流側ベルトコンベア２２ｄは、本実施形態では、その支持搬送面となる第一ベルト２３ｄの表面に第一ガラスフィルムＧ１を吸着可能なように構成されている。この吸着構造を含めた各第一ベルト２３ａ～２３ｇの支持構造については後述する。
【0039】
下流側コンベア２０はベルトコンベアで構成される。本実施形態では、下流側コンベア２０は、複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇで構成される。これら複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇは何れも、ベルト（以下、第二ベルト２８ａ～２８ｇと称する。）で同じ方向に切断後の第一ガラスフィルムＧ１、すなわち第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを接触支持して下流側に搬送可能に構成される。ここで、各第二ベルト２８ａ～２８ｇは例えば無端帯状のベルトであり、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをその長手方向で接触する全域にわたって略水平姿勢に保持するように、各第二ベルト２８ａ～２８ｇが同じ高さ方向位置に設定される。
【0040】
ここで、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇは何れも同じベルト駆動構造を有する。最も幅方向一端側（図２の下側）の下流側ベルトコンベア２７ｇを例にとると、この下流側ベルトコンベア２７ｇは、図３に示すように、上述した無端帯状の第二ベルト２８ａ～２８ｇと、第二ベルト２８ａ～２８ｇに張力を付与しつつ第二ベルト２８ａ～２８ｇを所定の位置に配設するための複数のプーリ２９と、これら複数のプーリ２９を支持する第一支持体３０とを有する。また、複数のプーリ２９のうち所定のプーリ２９（ドライブプーリ２９ａ）には、モータなどの駆動源３１が連結されており（図２を参照）、駆動源３１によりドライブプーリ２９ａに駆動力を付与することで、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの第二ベルト２８ａ～２８ｇが所定の向きに駆動可能とされている。この駆動源３１は、上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇの駆動源２６と別個独立して設けられている。そのため、連動することなく互いに独立して各駆動源２６，３１、ひいては上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇと下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの駆動を制御可能とされる。
【0041】
また、本実施形態では、複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇは、それぞれ所定の幅方向位置に設置可能であると共に、各第二ベルト２８ａ～２８ｇの位置が、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に調整可能に構成されている。具体的には、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの下方には、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に延びるレール部３２が配設されている。そして、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇを構成する各第一支持体３０の下部には、レール部３２との間で相対移動可能なスライド部３３が取付けられている。これにより、レール部３２に対して各第一支持体３０のスライド部３３が幅方向にスライドすることで、各第一支持体３０に支持された複数のプーリ２９及びこれらプーリ２９に支持された第二ベルト２８ａ～２８ｇが一体的に幅方向にスライド可能とされている。なお、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇのドライブプーリ２９ａは、共通のシャフト３４に対して幅方向にスライド可能に支持されている。そのため、シャフト３４に対する幅方向の位置を自由に変更しつつも、任意の幅方向位置で駆動源３１からの駆動力を受けて駆動することが可能とされている。なお、図示例では、最も幅方向他端側（図２の最も上側）に位置する下流側ベルトコンベア２７ａが、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの搬送路から幅方向に外れた位置（退避スペース３５）に配置されている。
【0042】
また、本実施形態では、全ての下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの第二ベルト２８ａ～２８ｇが、図２に示すように、その支持搬送面となる表面２８ａ１～２８ｇ１に第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを吸着可能に構成されている。この吸着構造を含めた各第二ベルト２８ａ～２８ｇの支持構造については後述する。
【0043】
次に、各ベルトコンベア２２ａ～２２ｇ，２７ａ～２７ｇのベルト支持構造の詳細を説明する。
【0044】
上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇのうち、幅方向中央の上流側ベルトコンベア２２ｄを除く残りの上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇは、同じベルト支持構造をなす。以下、幅方向一端側の上流側ベルトコンベア２２ｇを例にとってそのベルト支持構造の詳細を説明する。
【0045】
この上流側ベルトコンベア２２ｇは、上述したように、無端帯状の第一ベルト２３ｇと、複数のプーリ２４と、第一支持体２５と、駆動源２６とを有し（図２及び図３を参照）、さらに図４に示すように、第一ベルト２３ｇを下方から支持する第二支持体３６と、第一ベルト２３ｇの幅方向への移動を規制する第一規制部材３７と、第一ベルト２３ｇの上方への移動を規制する第二規制部材３８とを有する。
【0046】
このうち、第一ベルト２３ｇは、図５に拡大して示すように、その幅方向両側に段差構造を有し、具体的には、第一ベルト２３ｇの長手方向（図５の紙面を貫く方向）に延びて第一ガラスフィルムＧ１の支持搬送面３９の下段に位置する下段面４０を有する。本実施形態では、第一ベルト２３ｇは、支持搬送面３９が設けられる第一層４１と、第一層４１の下方（第二支持体３６の側）に位置し、下段面４０が設けられる第二層４２とを一体的に有する。そのため、第二層４２の幅方向寸法が第一層４１の幅方向寸法よりも大きく、かつその幅方向両側で第一層４１から第二層４２が食み出している。この食み出した部分で下段面４０が形成されている。
【0047】
ここで、第一層４１と第二層４２の材質、構造は任意である。例えば第一ガラスフィルムＧ１に対する接触性を考慮する場合、第一層４１の基材が第一ガラスフィルムＧ１に対して接触性の良好な材料で形成される。ここで、ガラスフィルムＧ１に対して接触性の良好な材料とは、ガラスフィルムＧ１と接触したとしてもガラスフィルムＧ１に対して傷等を生じさせない材料で、かつ、ガラスフィルムＧ１を円滑に搬送するために、ガラスフィルムＧ１に対してある程度の摩擦力を有する材料のことである。また、後述する第一規制部材３７と第二規制部材３８の少なくとも一方との摺動性を考慮する場合、第二層４２の基材が第一規制部材３７と第二規制部材３８の少なくとも一方に対する摺動性の良好な材料で形成される。
【0048】
第一規制部材３７は例えば帯板状をなし、第一ベルト２３ｇの幅方向外側でかつ第一ベルト２３ｇの長手方向に延びるように配設される。本実施形態では、図５に示すように、第二支持体３６に固定されている。これにより、第一ベルト２３ｇの幅方向への移動が所定の範囲で規制され得る。
【0049】
第二規制部材３８は、例えば第一ベルト２３ｇの幅方向中央側に延びて下段面４０を下方に押さえ可能な押さえ部４３と、押さえ部４３と第二支持体３６とを連結する連結部４４とを一体的に有する。本実施形態では、押さえ部４３と連結部４４はともに板状をなし、屈曲部を構成するように押さえ部４３の長手方向一端と連結部４４の長手方向一端とがつながっている。また、連結部４４と第二支持体３６とが、第一規制部材３７を介して相互に連結されている。このように連結部４４により第二規制部材３８が第二支持体３６に固定された状態では、第二規制部材３８が上下方向に位置決めされた状態となり、これにより第一ベルト２３ｇの上方への移動が所定の範囲で規制され得る。
【0050】
また、上述のように、第二規制部材３８が第二支持体３６に固定された状態において、第一ベルト２３ｇの第一層４１と押さえ部４３とが干渉しないように、第一層４１と押さえ部４３との幅方向隙間４５が所定の大きさに設定される。具体的には、第一ベルト２３ｇの幅方向への移動が第一規制部材３７により規制される範囲を考慮して、幅方向隙間４５の大きさが適宜の大きさ、例えば０．５ｍｍ以上でかつ５．０ｍｍ以下に設定される。幅方向隙間４５の大きさは、第一規制部材３７と第二層４２との間に設けられる隙間よりも、幅広であることが好ましい。これにより、第一層４１と押さえ部４３とが摺動するのを防止することができる。
【0051】
また、上述のように、第二規制部材３８が第二支持体３６に固定され、第一ガラスフィルムＧ１が第一ベルト２３ｇの支持搬送面３９で支持搬送される場合、第一ガラスフィルムＧ１と第二規制部材３８の押さえ部４３との間に所定の隙間が生じるように、言い換えると、第一ガラスフィルムＧ１と押さえ部４３とが干渉しないように、支持搬送面３９と下段面４０との段差、又は押さえ部４３の厚み方向寸法が設定される。
【0052】
第二支持体３６は第一支持体２５に取付けられ、これにより床面に固定されている。この第二支持体３６は、本実施形態では中空形状をなす枠状体、例えば角パイプで構成されている。一方で、この第二支持体３６の内部空間と、第二支持体３６と第一ベルト２３ｇとの間の空間とは遮断された状態にあり、また、何らの排気作用も生じない構造となっている。そのため、第一ベルト２３ｇを第二支持体３６に吸着されることもない（吸着不能に構成されている）。
【0053】
次に下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇのベルト支持構造の詳細を説明する。これら複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇは、本実施形態では、同じベルト支持構造を有するため、幅方向一端側（図２の最も下側）の下流側ベルトコンベア２７ｇを例にとってそのベルト支持構造の詳細を説明する。
【0054】
この下流側ベルトコンベア２７ｇは、上述したように、無端帯状の第二ベルト２８ｇと、複数のプーリ２９と、第一支持体３０と、駆動源３１とを有し（図２及び図３を参照）、さらに図６に示すように、第二ベルト２８ｇを下方から支持する第二支持体４６と、第二ベルト２８ｇの幅方向への移動を規制する第一規制部材４７と、第二ベルト２８ｇの上方への移動を規制する第二規制部材４８とを有する。
【0055】
このうち、第二ベルト２８ｇは、第一ベルト２３ｇと同様に、第二ベルト２８ｇの長手方向（図６の紙面を貫く方向）に延びて第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの支持搬送面４９の下段に位置する下段面５０を有する。本実施形態では、第二ベルト２８ｇは、支持搬送面４９が設けられる第一層５１と、第一層５１の下方に位置し、下段面５０が設けられる第二層５２とを一体的に有する。
【0056】
ここで、第一層５１と第二層５２の材質、構造については任意であり、例えば上述した第一ベルト２３ｇの第一層４１と第二層４２と同じ材質、構造を採ることが可能である。
【0057】
また、第一規制部材４７の形状や、第二ベルト２８ｇ並びに第二支持体４６に対する配置態様は、第一規制部材３７のそれらと同じである。
【0058】
第二規制部材４８は、上流側ベルトコンベア２２ｇと同様、押さえ部５３と連結部５４とを一体的に有する。これら押さえ部５３と連結部５４の形状、第二ベルト２８ｇや第二ガラスフィルムＧ２に対する配置態様についても、第二規制部材３８のそれらと同じである。
【0059】
第二支持体４６は第一支持体３０に取付けられ、これにより第一支持体３０と一体に移動可能とされている。この第二支持体４６は、本実施形態では中空形状をなす枠状体、例えば角パイプで構成されている。この第二支持体４６はその内部に排気可能な排気空間５５を有すると共に、排気空間５５は、排気装置としてのブロア５６と接続されている。また、第二支持体４６及び第二ベルト２８ｇには、第二ベルト２８ｇと第二支持体４６との間の空間と、排気空間５５とを連通させる連通部が設けられている。本図示例では、図６に示すように、第二ベルト２８ｇの長手方向に沿って延びる溝部５７と、溝部５７と排気空間５５とを連通する穴部５８とが、第二支持体４６の上部に設けられている。また、第二ベルト２８ｇの幅方向で溝部５７と重複する位置に複数の貫通穴５９が設けられている。よって、ブロア５６の駆動により排気空間５５の排気を行うことで、溝部５７と穴部５８、及び貫通穴５９を介して第二ベルト２８ｇ上の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂに下方への吸引力が作用し、これにより第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが第二ベルト２８ｇに吸着可能とされている。
【0060】
一方、上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇのうち、幅方向中央の上流側ベルトコンベア２２ｄは、上述した残りの上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｄ～２２ｇや下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇとは異なるベルト支持構造をなす。
【0061】
この上流側ベルトコンベア２２ｄは、上述したように、無端帯状の第一ベルト２３ｄと、複数のプーリ２４と、第一支持体２５と、駆動源２６とを有し（図２及び図３を参照）、さらに図７に示すように、他の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇと同様、第二支持体３６と、第一規制部材３７とを有する。この上流側ベルトコンベア２２ｄには、第二規制部材３８は設けられていない。
【0062】
このうち、第一ベルト２３ｄは、他の第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇと同様に、支持搬送面３９が設けられる第一層４１と、支持搬送面３９の下段に位置する下段面４０が設けられる第二層４２とを一体的に有する。
【0063】
第二支持体３６は第一支持体２５に取付けられ、これにより床面に固定されている。また、この第二支持体３６は、その内部に排気可能な排気空間５５を有すると共に、排気空間５５は、排気装置としてのブロア５６と接続されている。また、第二支持体３６の上部には、第一ベルト２３ｄの長手方向に沿って延びる溝部５７と、溝部５７と排気空間５５とを連通する穴部５８とが設けられている。また、第一ベルト２３ｄの幅方向で溝部５７と重複する位置に複数の貫通穴５９が設けられている。よって、ブロア５６の駆動により排気空間５５の排気を行うことで、溝部５７と穴部５８、及び貫通穴５９を介して第一ベルト２３ｄ上の第一ガラスフィルムＧ１に下方への吸引力が作用し、これにより第一ガラスフィルムＧ１が第一ベルト２３ｄに吸着可能とされている。
【0064】
第二切断部９は、第二搬送部８のうち上流側コンベア１９と下流側コンベア２０との間に位置する領域の上方に配置される（図１及び図３を参照）。本実施形態では、第二切断部９は、レーザー割断により第一ガラスフィルムＧ１を切断可能に構成され、複数のレーザー照射装置６０と、各レーザー照射装置６０の下流側に配置される冷却装置６１とを有する。この場合、冷却装置６１はレーザー照射装置６０と同数だけ配置される。本実施形態では、第二切断部９による第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１が幅方向の三箇所に設けられるため（図２を参照）、レーザー照射装置６０と冷却装置６１とが三個ずつ配設される。上記構成の第二切断部９は、搬送される第一ガラスフィルムＧ１の所定部位に各レーザー照射装置６０からレーザー光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置６１から冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却可能に構成される。
【0065】
また、本実施形態では、上述した第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１から幅方向に離れた位置に、図２に示すように、第二搬送部８により搬送されている第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第一定盤６２が配設されている。正確には、切断後の第一ガラスフィルムＧ１（第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ）の幅方向中央側に対応する位置に、第一定盤６２が配設されている。本実施形態では、二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが一枚の第一ガラスフィルムＧ１から切り出されるので、切断ゾーン２１に対して幅方向に位置し、かつ各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向中央に対応する位置に、第一定盤６２がそれぞれ配設されている。これら第一定盤６２は、図示は省略するが、床面に設置固定されており、常に静止した状態にある。
【0066】
また、第一定盤６２は、図２に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第一支持面６３と、第一ガラスフィルムＧ１を第一支持面６３に向けて吸引可能な第一吸引部６４とを有する。この第一吸引部６４によれば、第一定盤６２の第一支持面６３上に第一ガラスフィルムＧ１が搬送される場合、第一ガラスフィルムＧ１が第一支持面６３に対して吸引可能とされる。
【0067】
また、本実施形態では、上述した第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１に、図２に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二定盤６５が配設されている。本実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１を幅方向の三箇所で切断する形態を採っていることから、三箇所の切断ゾーン２１それぞれに対して三個の第二定盤６５が配設されている。これら第二定盤６５は、図示は省略するが、床面に設置固定されており、常に静止した状態にある。
【0068】
ここで、第二定盤６５は、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二支持面６６と、第一ガラスフィルムＧ１を第二支持面６６に向けて吸引可能な第二吸引部６７とを有する。この第二吸引部６７によれば、第二定盤６５の第二支持面６６上に第一ガラスフィルムＧ１が搬送される場合、第一ガラスフィルムＧ１が第二支持面６６に対して吸引可能とされる。
【0069】
第二搬送部８よりも下流側には、幅方向で隣り合う一組の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に幅方向隙間を形成するための隙間形成部６８が設けられている。この隙間形成部６８は、本実施形態では、各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが上方に凸となる向きに湾曲変形するように、幅方向中央が最も大径となる樽状の支持ローラ６９ａ，６９ｂを有する。本実施形態では二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出されるので、二個の支持ローラ６９ａ，６９ｂが配設される。
【0070】
第二巻取り部１０は、第二搬送部８よりも下流側に配設される。具体的に、第二巻取り部１０は、第二搬送部８で搬送される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを巻芯７０ａ，７０ｂによって巻き取ることで第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得る。本実施形態では、二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出されるので、これら二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをそれぞれ巻き取ることで、二個の第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂが得られる。
【0071】
上記構成の製造装置１により製造される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（第一ガラスフィルムＧ１）の材質としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。
【0072】
また、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（第一ガラスフィルムＧ１）の厚み寸法は、１０μｍ以上３００μｍ以下とされ、好ましくは３０μｍ以上２００μｍ以下であり、最も好ましくは３０μｍ以上１００μｍ以下である。
【0073】
以下、上記構成の製造装置１を使用して第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（本実施形態では第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ）を製造する方法について説明する。本方法は、成形工程Ｓ１と、両端部除去工程Ｓ２と、第一巻取り工程Ｓ３と、引出し工程Ｓ４と、切断工程Ｓ５と、第二巻取り工程Ｓ６とを備える。
【0074】
成形工程Ｓ１では、図１に示すように、成形部２における成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢れ出した溶融ガラスＧＭを成形体１１の両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端で合流させてフィルム状に成形する。この際、溶融ガラスＧＭの幅方向収縮をエッジローラ１２により規制して所定幅の母材ガラスフィルムＧとする。その後、母材ガラスフィルムＧに対してアニーラ１３により除歪処理を施す（徐冷工程）。支持ローラ１５の張力により、母材ガラスフィルムＧは所定の厚みに形成される。
【0075】
両端部除去工程Ｓ２では、同じく図１に示すように、方向変換部３及び第一搬送部４によって母材ガラスフィルムＧを下流側に送りつつ、第一切断部５において、レーザー照射装置１７ａからレーザー光Ｌを母材ガラスフィルムＧの一部に照射して加熱する。その後、加熱した部位に冷却装置１７ｂで冷媒Ｒを吹き付ける。これにより、母材ガラスフィルムＧに熱応力が生じる。母材ガラスフィルムＧには、予め初期クラックが形成されており、このクラックを熱応力によって進展させる。これにより、母材ガラスフィルムＧの幅方向両端部が除去され、第一ガラスフィルムＧ１が形成される。
【0076】
続く第一巻取工程Ｓ３では、同じく図１に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を巻芯１８に巻き取ることにより、第一ガラスロールＧＲＬ１を得る。その後、第一ガラスロールＧＲＬ１は、引出し部７に移送される。引出し工程Ｓ４では、引出し部７に移送された第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出し、第二搬送部８によって第二搬送部８上の切断ゾーン２１へと搬送する（図２及び図３を参照）。
【0077】
切断工程Ｓ５では、第一ガラスフィルムＧ１のうち第二搬送部８上の切断ゾーン２１を通過する部分に、レーザー照射装置６０によりレーザー光Ｌを照射し、かつ照射した領域に冷媒Ｒを吹き付けることにより、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘに沿った向きの切断を行う。また、この際、第一ガラスフィルムＧ１は、上流側コンベア１９により搬送方向Ｘに沿った向きに搬送される。この際、上流側コンベア１９を構成する複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇのうち、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向中央位置に対応する上流側ベルトコンベア２２ｄについて、その第二支持体３６内の排気空間５５をブロア５６により排気することで、溝部５７、穴部５８、及び貫通穴５９を介して（図７を参照）、第一ベルト２３ｄ上の第一ガラスフィルムＧ１に下向きの吸着力が作用する。これにより、第一ガラスフィルムＧ１が上流側ベルトコンベア２２ｄの第一ベルト２３ｄに吸着した状態で搬送方向Ｘに沿って搬送される。
【0078】
残りの上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇについては、第一ガラスフィルムＧ１を第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇに吸着不能に構成されているので（図４及び図５を参照）、第一ガラスフィルムＧ１は各第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇに接触支持された状態で搬送方向Ｘに沿って搬送される。この際、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇには、第二支持体３６に対する何らの吸引力も作用しておらず、また直上の第一ガラスフィルムＧ１を吸引することによる下方への押さえ力も発生しない。そのため、これら第一ベルト２３ａ～２３，２３ｅ～２３ｇは駆動に伴い幅方向への移動だけでなく、上下動を生じようとするが、これら第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの上方への移動は第二規制部材３８によって規制された状態にある（図４及び図５を参照）。よって、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの上下動を抑制した状態で、第一ガラスフィルムＧ１を搬送方向Ｘに沿って搬送することができる。
【0079】
切断工程Ｓ５では、上記のように上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇによって第一ガラスフィルムＧ１を所定の搬送方向Ｘに搬送しながら、レーザー照射装置６０のレーザー照射部から複数のレーザー光Ｌを第一ガラスフィルムＧ１に照射する（レーザー照射工程）。
【0080】
上記のようなレーザー光Ｌの照射により、第一ガラスフィルムＧ１が加熱される。その後、第一ガラスフィルムＧ１のうち加熱された部分は、冷却装置６１の直下に到達すると、冷却装置６１から下方に向けて噴射された冷媒Ｒを浴びて冷却される。レーザー照射装置６０の局部加熱による膨張と冷却装置６１の冷却による収縮とにより第一ガラスフィルムＧ１に熱応力が生じる。第一ガラスフィルムＧ１には、図示しない手段により予め初期クラックが形成されており、上述した熱応力を利用して初期クラックを進展させることで、第一ガラスフィルムＧ１がその幅方向所定位置において連続的に切断（割断）される。本実施形態では、幅方向の三箇所で上述したレーザー切断を行うことにより、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部が切り捨てられると共に、それぞれ所定の幅方向寸法を有する二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出される（図２を参照）。これら第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂは切断ゾーン２１よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する下流側コンベア２０により、下流側コンベア２０よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する第二巻取り部１０に向けて搬送される。
【0081】
この際、下流側コンベア２０を構成する複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇには、支持搬送する第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを吸着可能な構造が設けられている（図６を参照）。よって、各第二支持体４６内の排気空間５５をブロア５６により排気することで、溝部５７、穴部５８、及び貫通穴５９を介して、第二ベルト２８ａ～２８ｆ上の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂに下向きの吸着力が作用する。これにより、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｆの第二ベルト２８ａ～２８ｆに吸着した状態で搬送方向Ｘに沿って搬送される。
【0082】
第二巻取り工程Ｓ６では、それぞれ所定の位置に配設された巻芯７０ａ，７０ｂによって第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが巻き取られる。所定長さの第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが巻き取られることで、第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂが得られる。
【0083】
また、本実施形態では、下流側コンベア２０と、第二巻取り部１０との間に、隙間形成部６８としての支持ローラ６９ａ，６９ｂを配設したので、各支持ローラ６９ａ，６９ｂ上を通過する第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが支持ローラ６９ａ，６９ｂの外周面形状に倣って変形（ここでは上方に凸となる向きに湾曲変形）しながら下流側に搬送される。これにより、切断直後の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に所定の幅方向隙間が形成されるので、切断面同士の干渉を回避してそれぞれ第二巻取り部１０に搬送することができる。
【0084】
以上説明したように、本実施形態に係るガラスフィルム（第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ）の製造方法では、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの幅方向への移動を規制する第一規制部材３７に加えて、この第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの上方への移動を規制する第二規制部材３８を設けるようにした。また、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの幅方向両側に第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの長手方向に延びて支持搬送面３９よりも第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの厚み方向中央側に位置する下段面４０を設けると共に、この下段面４０を下方に押さえ可能な押さえ部４３を第二規制部材３８に設けるようにした（図５を参照）。これにより、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇは、押さえ部４３の位置に応じて上方への移動を規制されるので、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの上下動を所定の範囲内に抑えることができる。また、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇをその幅方向両側に設けた下段面４０で下方に押さえ可能に構成したので、第二規制部材３８の押さえ部４３を支持搬送面３９よりも第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの厚み方向中央側に退避させることができる。よって、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの上下動を効果的に抑制しつつも、第一ガラスフィルムＧ１と第二規制部材３８とが干渉する事態を回避して、安全に第一ガラスフィルムＧ１を搬送することが可能となる。
【0085】
特に、本実施形態の様に、帯状をなす第一ガラスフィルムＧ１を複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇで支持搬送する場合には、第一ベルト２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇの数だけ上下動が第一ガラスフィルムＧ１に及ぼす影響が大きくなるが、本実施形態に係る製造方法によれば、各第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの上下動を個別にかつ確実に抑止できるので、安定した搬送、ひいては安定した切断処理を第一ガラスフィルムＧ１に施すことが可能となる。
【0086】
また、本実施形態では、上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇのうち、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向中央に対応した位置に配設される上流側ベルトコンベア２２ｄについては第一ガラスフィルムＧ１を吸着可能な構造とし、残りの上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇについては吸着不能に構成した。このように、幅方向に対称な位置で第一ガラスフィルムＧ１を吸着して搬送することにより、第一ガラスフィルムＧ１全体の搬送時における平面方向の位置ずれを効果的に防止することができる。また、残りの上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇで第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの上下動を抑えながら第一ガラスフィルムＧ１の幅方向外側を接触支持して搬送することにより、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの上下動による高さ方向の位置ずれ（ばらつき）を可及的に防止することができる。以上より、本実施形態に係る上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇによれば、第一ガラスフィルムＧ１の各方向への位置ずれを防止して、より正確な切断処理を施すことが可能となる。
【0087】
また、本実施形態では、下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇを吸着可能な構造にすると共に、これら下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇに対しても、本発明に係るベルト支持構造を適用した。下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇで第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを吸着する際、あまりに吸着力を強くし過ぎると、切断直後の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂに不要な変形をもたらし、切断面同士の接触などを引き起こすおそれがある。これに対して、下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇを上述のように構成することで、吸着力を調整して第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂに必要最低限の拘束力を与えつつ、第二ベルト２８ａ～２８ｇの上下動を抑制することができる。よって、適度な力で拘束することにより第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの位置ずれ及び不要な変形を防止しつつも、第二ベルト２８ａ～２８ｇの上下動を抑制して、正確な巻取りが可能となる。
【0088】
以上、本発明に係るガラスフィルムの製造方法及び製造装置の一実施形態を説明したが、この製造方法及び製造装置は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。
【0089】
例えば上記実施形態では、第一ベルト２３ａ～２３ｇ及び第二ベルト２８ａ～２８ｇをともに二層構造とし、第一層４１，５１から第二層４２，５２が幅方向に食み出した形態をとることで、食み出した部分を下段面４０，５０とした場合を例示したが、もちろんこれには限定されない。例えば図示は省略するが、単層のベルトを準備し、この単層ベルトの幅方向両側を薄肉に削ることで、段差すなわち下段面４０，５０を形成することも可能である。
【0090】
また、上記実施形態では、第一層４１の基材の材質を、第一ガラスフィルムＧ１に対する接触性を考慮して選択し、かつ第二層４２の基材の材質を、第二規制部材３８の押さえ部４３に対する摺動性を考慮して選択することで、支持搬送面３９に第一ガラスフィルムＧ１に対する良好な接触性を付与すると共に、下段面４０に押さえ部４３に対する良好な摺動性を付与する場合を例示したが、もちろんこれ以外の構成をとることも可能である。例えば図示は省略するが、支持搬送面３９となる領域に、第一ガラスフィルムＧ１に対して接触性の良好な材料で成膜処理を施し、下段面４０となる領域に、押さえ部４３に対して摺動性の良好な材料で成膜処理を施すようにしてもよい。また、摺動特性以外に求められる特性がある場合、当該要求特性を満たし得るように支持搬送面３９及び下段面４０の材料を設定すればよい。
【0091】
また、上記実施形態では、第二規制部材３８，４８として、帯板状の部材を略直角に屈曲した形状をなすものを例示したが、もちろんこれには限定されない。例えば各ガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂと下段面４０，５０との間に収まる限りにおいて、押さえ部４３，５３の形状は任意である。またその搬送方向Ｘに沿った向きの寸法も任意である。例えば、押さえ部４３の幅方向寸法よりも搬送方向寸法が大きくてもよい。
【0092】
また、上記実施形態では、上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇと下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇに全て同一のベルト支持構造（第二規制部材３８，４８、下段面４０，５０）を設けた場合を例示したが、もちろんこれには限られない。例えば上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇと下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇとで互いに異なるベルト支持構造を適用してもよい。また、複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇ、又は下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの中で互いに異なるベルト支持構造を適用してもよい。また、上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇの一部に本発明に係るベルト支持構造を適用してもよく、あるいは下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの一部に本発明に係るベルト支持構造を適用してもよい。もちろん、下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇに吸着構造が設けられている場合、上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇのみに本発明に係るベルト支持構造を適用してもよい。
【0093】
また、以上の説明では、第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１に第二定盤６５を配置すると共に、切断ゾーン２１に対して幅方向に離れた位置に第一定盤６２を配置した場合を例示したが、もちろんこれには限られない。レーザー切断に対してそれほど大きな影響を及ぼさないようであれば、切断ゾーン２１を支持搬送面が通過するように第三のコンベア（図示は省略）を配設して、第一定盤６２と第二定盤６５の少なくとも一方を省略してもよい。
【0094】
また、搬送装置（第二搬送部８）の支持搬送面は、必ずしも搬送方向Ｘで切断ゾーン２１に対応する位置において分断されている必要はない。例えば切断ゾーン２１から搬送方向Ｘの下流側にずれた位置で、第二搬送部８の支持搬送面が分断されていてもよい。
【0095】
なお、以上の説明では、切断ゾーン２１で搬送装置としての第二搬送部８が分割されてなる上流側コンベア１９と下流側コンベア２０をともにベルトコンベアで構成した場合を例示したが、もちろんこれ以外の形態をとることも可能である。例えば上流側コンベア１９と下流側コンベア２０の少なくとも一方を、ローラコンベアその他の各種搬送装置で構成し、他方を本発明に係るベルト支持構造を有するベルトコンベアで構成してもよい。
【0096】
また、以上の説明では、第二搬送部８が、その搬送方向Ｘで、二つのコンベア１９，２０で構成される場合を例示したが、もちろんこれには限定されない。例えば第二搬送部８をその搬送方向Ｘの全域にわたって一つのベルトコンベアで構成し、このベルトコンベア上に切断ゾーン２１を設けると共に、本発明に係るベルト支持構造を適用してもよい。
【0097】
また、以上の説明では、第二搬送部８を、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に隣接する複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇと下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇとで構成した場合を例示したが、もちろんこれ以外の構成をとることも可能である。例えば上流側コンベア１９を一つのベルトコンベアで構成してもよい。あるいは、下流側コンベア２０を一つのベルトコンベアで構成してもよい。
【0098】
また、以上の説明では、一枚の第一ガラスフィルムＧ１から二枚（又は三枚）の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（Ｇ２ａ～Ｇ２ｃ）を切り出す場合を例示したが、もちろん、幅方向寸法の異なる一枚の第二ガラスフィルムＧ２ａを切り出す場合に本発明を適用することも可能であり、また四枚以上の第二ガラスフィルムＧ２ａ…を切り出す場合に本発明を適用することも可能である。
【0099】
また、以上の説明では、母材ガラスフィルムＧの幅方向両端部を第一切断部５で切断して得た第一ガラスフィルムＧ１に対して本発明を適用した場合を説明したが、母材ガラスフィルムＧの第一切断部５による切断に本発明を適用してもかまわない。この場合、第一搬送部４が、図２等に示す第二搬送部８と同様の構成をとることで、本発明を実施可能となる。また、これら第一切断部５及び第二切断部９には、レーザー切断以外の切断を可能とする構成を採用することも可能である。
【0100】
また、以上の説明では、ガラスフィルムに対する製造関連処理として長手方向に沿った向きの切断処理を行う場合を例示したが、もちろんこれ以外の処理、例えばコーティングや成膜、ラミネートの貼り合わせなど、ベルトコンベアで搬送した状態でガラスフィルムの成形から最終製品の出荷に至るまでに実施され得る限りにおいて、任意の製造関連処理を行う工程に本発明に係るベルトコンベアを適用することも可能である。
【0101】
また、以上の説明では、帯状をなす第一ガラスフィルムＧ１に本発明を適用した場合を説明したが、もちろんこれ以外の形態をなす第一ガラスフィルムＧ１に本発明を適用することも可能である。すなわち、図示は省略するが、矩形状など枚葉状の板ガラス（ガラスフィルム）に本発明を適用することも可能である。また、切断して得た第二ガラスフィルムＧ２ａ…を必ずしもロール状に巻き取らずともよい。言い換えると、ロール状に巻き取ることのない第二ガラスフィルムＧ２ａ…の製造工程に本発明を適用することも可能である。
【符号の説明】
【0102】
１ ガラスロールの製造装置
２ 成形部
３ 方向変換部
４ 第一搬送部
５ 第一切断部
８ 第二搬送部
９ 第二切断部
１１ 成形体
１７ａ レーザー照射装置
１７ｂ 冷却装置
１９ 上流側コンベア
２０ 下流側コンベア
２１ 切断ゾーン
２２ａ～２２ｇ 上流側ベルトコンベア
２３ａ～２３ｇ 第一ベルト
２４，２９ プーリ
２５，３０ 第一支持体
２６，３１ 駆動源
２７ａ～２７ｇ 下流側ベルトコンベア
２８ａ～２８ｇ 第二ベルト
２９ プーリ
２９ａ ドライブプーリ
３０ 第一支持体
３１ 駆動源
３２ レール部
３３ スライド部
３６，４６ 第二支持体
３７，４７ 第一規制部材
３８，４８ 第二規制部材
３９，４９ 支持搬送面
４０，５０ 下段面
４１，５１ 第一層
４２，５２ 第二層
４３，５３ 押さえ部
４４，５４ 連結部
４５ 幅方向隙間
５５ 排気空間
５６ ブロア
５７ 溝部
５８ 穴部
５９ 貫通穴
６０ レーザー照射装置
６１ 冷却装置
６２ 第一定盤
６３ 第一支持面
６４ 第一吸引部
６５ 第二定盤
６６ 第二支持面
６７ 第二吸引部
１０１ ベルト
１０２ 支持体
１０３ ガイド部材
１０４ 排気空間
１０５ 穴
１０６ 隙間
Ｇ，Ｇ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂ ガラスフィルム
ＧＲＬ１，ＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ ガラスロール
Ｌ レーザー光
Ｒ 冷媒
Ｘ 搬送方向
２ 成形部
３ 方向変換部
４ 第一搬送部
５ 第一切断部
８ 第二搬送部
９ 第二切断部
１１ 成形体
１７ａ レーザー照射装置
１７ｂ 冷却装置
１９ 上流側コンベア
２０ 下流側コンベア
２１ 切断ゾーン
２２ａ～２２ｇ 上流側ベルトコンベア
２３ａ～２３ｇ 第一ベルト
２４，２９ プーリ
２５，３０ 第一支持体
２６，３１ 駆動源
２７ａ～２７ｇ 下流側ベルトコンベア
２８ａ～２８ｇ 第二ベルト
２９ プーリ
２９ａ ドライブプーリ
３０ 第一支持体
３１ 駆動源
３２ レール部
３３ スライド部
３６，４６ 第二支持体
３７，４７ 第一規制部材
３８，４８ 第二規制部材
３９，４９ 支持搬送面
４０，５０ 下段面
４１，５１ 第一層
４２，５２ 第二層
４３，５３ 押さえ部
４４，５４ 連結部
４５ 幅方向隙間
５５ 排気空間
５６ ブロア
５７ 溝部
５８ 穴部
５９ 貫通穴
６０ レーザー照射装置
６１ 冷却装置
６２ 第一定盤
６３ 第一支持面
６４ 第一吸引部
６５ 第二定盤
６６ 第二支持面
６７ 第二吸引部
１０１ ベルト
１０２ 支持体
１０３ ガイド部材
１０４ 排気空間
１０５ 穴
１０６ 隙間
Ｇ，Ｇ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂ ガラスフィルム
ＧＲＬ１，ＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ ガラスロール
Ｌ レーザー光
Ｒ 冷媒
Ｘ 搬送方向
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】