(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-07-21
(45)【発行日】2023-07-31
(54)【発明の名称】絶縁抵抗測定装置と、絶縁抵抗測定方法
(51)【国際特許分類】
G11B 5/60 20060101AFI20230724BHJP
G11B 21/21 20060101ALI20230724BHJP
G11B 5/455 20060101ALI20230724BHJP
G01R 27/02 20060101ALI20230724BHJP
G01R 31/50 20200101ALI20230724BHJP
G01R 31/52 20200101ALI20230724BHJP
G01R 31/56 20200101ALI20230724BHJP
【ＦＩ】
G11B5/60 C
G11B5/60 P
G11B21/21 D
G11B5/455 C
G01R27/02 R
G01R31/50
G01R31/52
G01R31/56
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2020010199
(22)【出願日】2020-01-24
(65)【公開番号】P2021118012
(43)【公開日】2021-08-10
【審査請求日】2022-08-03
(73)【特許権者】
【識別番号】000004640
【氏名又は名称】日本発條株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001737
【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】長野 涼介
【審査官】川中 龍太
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１２－０３８３８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－１７８７７１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１１－３４４５３９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－１９６９６８（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ１１Ｂ ５／６０
Ｇ１１Ｂ ５／４５５
Ｇ１１Ｂ ２１／２１
Ｇ０１Ｒ ２７／０２
Ｇ０１Ｒ ３１／５０ － ３１／７４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークの被測定部の絶縁抵抗を測定する絶縁抵抗測定装置であって、基準面とワーク載置面とを有した下側治具と、
前記基準面と対向する当接面を有した上側治具と、
前記上側治具に設けられ前記ワーク載置面に向けて突出するプローブと該プローブを下方に付勢するばねとを含むプローブユニットと、
前記上側治具を前記下側治具に向けて降下させるサーボモータを含み、前記プローブを前記被測定部に接触させかつ前記当接面を前記基準面に当接させる昇降機構と、
前記プローブが前記被測定部に接触しかつ前記当接面が前記基準面に当接した状態において、前記サーボモータのトルクが増加し所定値に達すると、前記トルクが維持された状態において前記プローブにより前記被測定部の絶縁抵抗を測定する制御部と、
を具備したことを特徴とする絶縁抵抗測定装置。
【請求項2】
請求項１に記載の絶縁抵抗測定装置において、複数のサスペンションが所定ピッチで並ぶサスペンション連鎖品を搬送する搬送機構を有し、
前記搬送機構が前記サスペンションのテールパッド部を前記ワーク載置面に載置するアクチュエータを含むことを特徴とする絶縁抵抗測定装置。
【請求項3】
請求項１に記載の絶縁抵抗測定装置において、前記プローブユニットが、
前記被測定部の第１の接触部に接する第１のプローブと、
前記第１のプローブを下方に付勢する第１のばねと、
前記被測定部の第２の接触部に接する第２のプローブと、
前記第２のプローブを下方に付勢する第２のばねとを有し、
前記第１のプローブの先端が前記第１の接触部に当接し、前記第２のプローブの先端が前記第２の接触部に当接し、前記第１のばねと前記第２のばねとがそれぞれ圧縮された状態において、前記当接面が前記基準面に当接することを特徴とする絶縁抵抗測定装置。
【請求項4】
請求項１に記載の絶縁抵抗測定装置において、前記下側治具が前記基準面よりも低い位置に存する前記ワーク載置面を有し、
前記上側治具が前記当接面よりも高い位置に存するプローブ取付面を有したことを特徴とする絶縁抵抗測定装置。
【請求項5】
請求項１に記載の絶縁抵抗測定装置において、前記基準面と前記当接面とがそれぞれ水平方向に延びる平面からなり、
前記基準面と前記当接面とが互いに平行であることを特徴とする絶縁抵抗測定装置。
【請求項6】
ワークの被測定部の絶縁抵抗を測定する絶縁抵抗測定方法において、測定ステージに設けられた下側治具のワーク載置面に前記ワークの前記被測定部を載置し、
プローブを有する上側治具を前記被測定部に向けてサーボモータによって降下させ、
前記プローブの先端を前記被測定部に当接させ、
前記プローブをばねによって前記被測定部に向けて付勢し、
前記プローブの先端が前記被測定部に当接した状態において前記上側治具を前記サーボモータによってさらに降下させ、
前記上側治具の当接面を前記下側治具の基準面に当接させ、
前記当接面が前記基準面に当接した状態において前記サーボモータのトルクが上昇し、
前記トルクが所定値に達すると、前記トルクが維持された状態において、前記プローブによって前記被測定部の絶縁抵抗を測定することを特徴とする絶縁抵抗測定方法。
【請求項7】
請求項６に記載の絶縁抵抗測定方法において、前記ワークの加工に用いる金型セットの下側治具を前記下側治具に用い、前記金型セットの上側治具を前記上側治具に用いることを特徴とする絶縁抵抗測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、たとえばディスク装置用サスペンション等の被測定部の絶縁抵抗を測定する絶縁抵抗測定装置と、絶縁抵抗測定方法に関する。
【背景技術】
【0002】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置にディスク装置が使用されている。ディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームにディスク装置用サスペンションが設けられている。
【0003】
ディスク装置用サスペンションは、ベースプレートと、ロードビーム(load beam)と、フレキシャ(flexure)などを備えている。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部に、スライダが設けられている。スライダには、ディスクに記録されたデータの読取りや書込み等のアクセスを行なうための素子が設けられている。
【0004】
前記フレキシャは、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベースと、メタルベース上に形成された配線部を含んでいる。配線部は、ポリイミド等の電気絶縁材料からなるベース絶縁層と、ベース絶縁層上に形成された銅からなる複数の導体などを含んでいる。導体の一方の端部は、スライダに設けられた素子やフレキシャに設けられた電子部品に接続される。導体の他方の端部はアンプ等の電子機器に接続される。
【0005】
従来のサスペンションの一例が特許文献１に記載されている。そのサスペンションのフレキシャは、長さ方向に延びるフレキシャテールを有している。フレキシャテールの端部にテールパッド部が形成されている。テールパッド部には、アンプ等の電子回路に接続するための端子（テール電極）が配置されている。配線部の絶縁層はポリイミド等の樹脂からなり、その厚さは２－２０μｍときわめて薄い。しかし配線部の信頼性の要求は高く、絶縁性についても高度の信頼性が要求されている。このため全てのサスペンションについて、配線部の絶縁抵抗を測定すること（いわゆる全数検査）が求められている。
【0006】
フレキシャに設けられた配線部等の被測定部の絶縁性を検査するために、絶縁抵抗測定装置を用いて絶縁抵抗が検査されることがある。たとえば一対のプローブのうちの一方をテールパッド部の端子（テール電極）に接触させ、他方のプローブをフレキシャのメタルベースに接触させることによって、絶縁抵抗が測定される。このためプロービングを正確にかつ安定的に行なうことが求められている。たとえば特許文献２に記載されているように、プロービングを安定させるためにプローブの周囲に空気流を供給することも提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【文献】米国特許第９６７９５９２号明細書
【文献】特開２０１０－３２４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
サスペンションの絶縁抵抗を測定する際には、プローブを被測定部に確実に接触させる必要がある。しかし微小な部品であるサスペンションの生産ラインにおいて、プローブを被測定部に能率良くかつ安定的に接触させることは容易でない。たとえば被測定部の湿度変化による影響や、被測定部の形状ばらつき、変形の度合いなどの影響を受け、測定結果にノイズが入るなどして正確な測定を期待できないこともある。このためサスペンションの生産ライン上で絶縁抵抗を測定する際のプロービングを能率良くかつ正確に行なうことが可能な絶縁抵抗測定装置が望まれていた。
【0009】
従って本発明の目的は、たとえばディスク装置用サスペンション等の絶縁抵抗を測定する際のプロービングを能率良く、しかも正確に行なうことができる絶縁抵抗測定装置と、絶縁抵抗測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
１つの実施形態は、たとえばディスク装置用サスペンション等のワークの被測定部の絶縁抵抗を測定する絶縁抵抗測定装置であって、基準面とワーク載置面とを有した下側治具と、前記基準面と対向する当接面を有した上側治具と、前記上側治具に設けられ前記ワーク載置面に向けて突出するプローブと該プローブを下方に付勢するばねとを含むプローブユニットと、昇降機構と、制御部とを備えている。前記昇降機構は、前記上側治具を前記下側治具に向けて降下させるサーボモータを含み、前記プローブを前記被測定部に接触させかつ前記当接面を前記基準面に当接させる。前記制御部は、前記プローブが前記被測定部に接触しかつ前記当接面が前記基準面に当接した状態において、前記サーボモータのトルクが増加し所定値に達すると、前記トルクが維持された状態において前記プローブにより前記被測定部の絶縁抵抗を測定する。
【0011】
ワークの一例は、複数のサスペンションが所定ピッチで並ぶサスペンション連鎖品である。前記絶縁抵抗測定装置が前記サスペンション連鎖品を移動させるための搬送機構を有してもよい。前記搬送機構は、前記サスペンションのテールパッド部を前記ワーク載置面に載置するアクチュエータを有してもよい。
【0012】
前記プローブユニットが、前記被測定部の第１の接触部に接する第１のプローブと、前記第１のプローブを下方に付勢する第１のばねと、前記被測定部の第２の接触部に接する第２のプローブと、前記第２のプローブを下方に付勢する第２のばねとを有してもよい。前記第１のプローブの先端が前記第１の接触部に当接し、前記第２のプローブの先端が前記第２の接触部に当接し、前記第１のばねと前記第２のばねとがそれぞれ圧縮された状態において、前記当接面が前記基準面に当接する。
【0013】
前記下側治具が前記基準面よりも低い位置に存する前記ワーク載置面を有し、前記上側治具が前記当接面よりも高い位置に存するプローブ取付面を有していてもよい。また前記基準面と前記当接面とがそれぞれ水平方向に延びる平面からなり、前記基準面と前記当接面とが互いに平行であってもよい。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、測定の際のプロービングを能率良くかつ正確に行なうことができる。このため、たとえばディスク装置用サスペンション等のワークの絶縁抵抗を能率良くかつ正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】１つの実施形態に係る絶縁抵抗測定装置を模式的に示す斜視図。
【図8】ディスク装置の一例を示す斜視図。
【図10】ディスク装置用サスペンションの一例を示す平面図。
【図11】サスペンション連鎖品の一部の平面図。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下に１つの実施形態に係る絶縁抵抗測定装置について、図１から図７を参照して説明する。測定対象物（ワーク）の一例は、ディスクドライブ用サスペンションである。まずディスク装置用サスペンションの一例について、図８から図１１を参照して説明する。
【0017】
図８に示すようにディスク装置（ハードディスク装置）１は、ケース２と、スピンドル３を中心に回転するディスク（磁気ディスク）４と、ピボット軸５を中心に旋回するキャリッジ６と、キャリッジ６を旋回させるポジショニング用モータ７とを有している。ケース２は図示しない蓋によって密閉される。
【0018】
図９は、ディスク装置１の一部を模式的に示した断面図である。キャリッジ６にアーム８が設けられている。アーム８の先端部にサスペンション１０が取付けられている。サスペンション１０の先端部付近に磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられている。
【0019】
ディスク４が回転すると、ディスク４とスライダ１１との間にエアベアリングが形成される。ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、スライダ１１がディスク４の所望トラックへ移動する。スライダ１１には、ディスク４にデータを記録するための素子と、ディスク４に記録されたデータを読取るための素子とが設けられている。
【0020】
図１０に示されたヘッドジンバルアセンブリ１２は、サスペンション１０と、サスペンション１０に搭載されたスライダ１１とを有している。サスペンション１０は、ベースプレート１５と、ロードビーム１６と、フレキシャ２０などを含んでいる。ベースプレート１５のボス部１５ａは、キャリッジのアーム８（図８と図９に示す）に固定される。ロードビーム１６はステンレス鋼の板からなる。
【0021】
フレキシャ２０は、ロードビーム１６に重なる部分２１と、ベースプレート１５の後方に延びるフレキシャテール２２などを備えている。フレキシャテール２２はテールパッド部２２ａを含んでいる。テールパッド部２２ａには、アンプ等の電子機器に接続される端子（テール電極）２５が配置されている。
【0022】
フレキシャ２０は、メタルベース３０（図１０に一部を示す）と、メタルベース３０に沿って配置された配線部３１とを含んでいる。メタルベース３０は、レーザ溶接等の溶接部３２によってロードビーム１６に固定されている。メタルベース３０は、電気的なグランドとしても利用される。
【0023】
配線部３１は、メタルベース３０上に形成されたポリイミド等の絶縁材料からなる絶縁層と、絶縁層上に形成された複数の導体とを有している。導体の一方の端部は、スライダに設けられた素子等に電気的に接続される。導体の他方の端部は、テールパッド部２２ａの端子２５と導通している。
【0024】
図１１はサスペンション連鎖品(suspension chain blank)４０の一部を示している。サスペンション連鎖品４０は、多数のサスペンション１０を製造する過程で作られる中間製品である。サスペンション連鎖品４０は、フレーム４１と、フレーム４１に所定ピッチで配置された複数のロードビーム１６と、各ロードビーム１６に固定されたベースプレート１５と、各ロードビーム１６に固定されたフレキシャ２０とを含んでいる。
【0025】
サスペンション連鎖品４０に設けられた複数のサスペンション１０は、フレーム４１に所定間隔（ピッチＰ１）で配置されている。フレーム４１は、ロードビーム１６と共通のステンレス鋼の板からなる。複数のロードビーム１６がそれぞれ接続部４２において、フレーム４１と一体につながっている。
【0026】
サスペンション連鎖品４０に設けられたフレキシャ２０の絶縁抵抗が、本実施形態に係る絶縁抵抗測定装置５０（図１から図４に示す）によって検査される。検査が行われたのち、サスペンション連鎖品４０の接続部４２が金型セットによって切断されることにより、サスペンション１０がフレーム４１から切離される。
【0027】
以下に、１つの実施形態に係る絶縁抵抗測定装置５０の構成と作用について、図１から図７を参照して説明する。測定対象物（ワーク）の一例は、サスペンション連鎖品４０（図１１に示す）に設けられたサスペンション１０である。なお測定対象物がサスペンション１０以外の電子機器であってもよい。
【0028】
図１に示された絶縁抵抗測定装置５０は、測定ステージ５１に配置された治具ユニット５２と、制御部５３と、測定結果等を表示する表示部５４と、ワーク（サスペンション連鎖品４０）を移動させる搬送機構５５とを有している。搬送機構５５は、サスペンション連鎖品４０をサスペンション１０が並んでいる方向（矢印Ｍ１で示す方向）に、サスペンション１０の配置間隔（ピッチＰ１）ずつ、間欠的に移動させる。
【0029】
搬送機構５５の一例は、サスペンション連鎖品４０を載置するワーク支持部材５６と、ガイド部材５７と、アクチュエータ５８とを含んでいる。ワーク支持部材５６は、サスペンション連鎖品４０を所定位置に保持することができる。ガイド部材５７は、サスペンション連鎖品４０が移動する方向、すなわちサスペンション１０が並んでいる方向（矢印Ｍ１で示す方向）に延びている。
【0030】
アクチュエータ５８の一例は、制御部５３によって電気的に制御されるサーボモータである。アクチュエータ５８は、ボールねじ等の力伝達機構５９を介して、ワーク支持部材５６をガイド部材５７に沿う方向（図１に矢印Ｍ１で示す方向）に、ピッチＰ１ずつ、間欠的に移動させる。
【0031】
図１１に示すようにサスペンション連鎖品４０は、所定ピッチＰ１で並ぶ複数のサスペンション１０を含んでいる。搬送機構５５は、サスペンション連鎖品４０をピッチＰ１ずつ間欠的に移動させることにより、複数のフレキシャ２０のそれぞれのテールパッド部２２ａを１個づつ測定ステージ５１に送る。１つのサスペンション１０の測定が終了したのち、サスペンション連鎖品４０をピッチＰ１だけ移動させることにより、次に測定すべきサスペンション１０のテールパッド部２２ａが測定ステージ５１に送られる。
【0032】
図２は治具ユニット５２の側面図である。治具ユニット５２は、治具ユニット５２の本体をなすフレーム構体７０と、フレーム構体７０の下側支持部７０ａに配置された下側治具７１と、下側治具７１の上方に設けられた上側治具７２と、上側治具７２に設けられたプローブユニット７３と、フレーム構体７０の上側支持部７０ｂに配置されたサーボモータ７４とを含んでいる。
【0033】
図２に示すように上側治具７２は、サーボモータ７４によって、上昇側の退避位置Ｙ１（上昇側ストローク端）と、下降側の加圧位置Ｙ２（下降側ストローク端）との間を移動する。サーボモータ７４は、電気的な回路構成とメモリ等を有する制御部５３（図１に示す）によって制御される。サーボモータ７４は電力によって回転し、トルクを発生する。サーボモータ７４の回転はボールねじ機構などの力伝達機構７５によって上下方向の直線運動に変換され、接続部材７６に伝達される。
【0034】
図３は、上側治具７２が下側治具７１から離れて上昇側ストローク端まで移動した状態を示している。図４は、上側治具７２が下降側ストローク端まで移動し、上側治具７２と下側治具７１とが互いに接した状態を示している。下側治具７１は、水平方向に延びる平面からなる基準面８０と、基準面８０よりも高さＨ１だけ低い位置に形成されたワーク載置面８１とを有している。
【0035】
ワーク載置面８１にサスペンション１０の被測定部（たとえばテールパッド部２２ａ）が載置される。ワーク載置面８１は水平方向に延びる平面からなる。このため基準面８０とワーク載置面８１とは互いに平行である。ワーク載置面８１は、樹脂やセラミック等の電気絶縁性を有する絶縁部材８２の上面に形成されている。
【0036】
上側治具７２は、下側治具７１の基準面８０と対向する当接面８５と、当接面８５よりも高さＨ２だけ高い位置に形成されたプローブ取付面８６とを有している。当接面８５は水平方向に延びる平面からなる。プローブ取付面８６にプローブユニット７３が配置されている。上側治具７２の当接面８５は基準面８０と平行に水平方向に延びている。このため上側治具７２が下降ストローク端まで移動すると、下側治具７１の基準面８０と上側治具７２の当接面８５とが互いに面接触をなして当接する。
【0037】
プローブユニット７３は、第１のプローブ９１と第２のプローブ９２とを有している。これらのプローブ９１，９２は、それぞれワーク載置面８１の上方に配置されている。プローブ９１，９２の先端９１ａ，９２ａは、それぞれワーク載置面８１に向かって突出している。
【0038】
図３に示されるように上側治具７２が下側治具７１から離れた状態において、プローブ９１，９２の先端９１ａ，９２ａは、それぞれ上側治具７２の当接面８５から長さＬ１分だけ下方に突出している。なお、第１のプローブ９１と、第２のプローブ９２と、それ以外の追加のプローブを有していてもよい。
【0039】
第１のプローブ９１は、たとえばテールパッド部２２ａの端子２５のうち、測定すべき特定の端子２５ａと接するように、端子２５ａの上方に配置されている。第２のプローブ９２は、たとえばテールパッド部２２ａのメタルベース３０と接するように、メタルベース３０の上方に配置されている。テールパッド部２２ａの特定の端子２５ａは、第１のプローブ９１が接する第１の接触部の一例である。メタルベース３０は、第２のプローブ９２が接する第２の接触部の一例である。
【0040】
サーボモータ７４と、力伝達機構７５と、接続部材７６とによって、昇降機構７７が構成されている。昇降機構７７はサーボモータ７４のトルクによって、上側治具７２を下側治具７１に向けて降下させる。そして第１のプローブ９１と第２のプローブ９２とを、それぞれ被測定部の第１の接触部と第２の接触部とに接触させ、かつ、当接面８５を基準面８０に当接させる機能を担っている。
【0041】
第１のプローブ９１と第２のプローブ９２とは、プローブケース９５に対して上下方向に移動可能であり、それぞれプローブケース９５に収容された第１のばね９６と第２のばね９７とによって、下方に付勢されている。
【0042】
図４は、上側治具７２の当接面８５が基準面８０に接する位置（下降側ストローク端）まで下降した状態を示している。上側治具７２が下降側ストローク端まで降下する途中で、第１のプローブ９１の先端９１ａが端子２５ａに当接するとともに、端子２５ａの高さに応じて第１のばね９６が圧縮される。このため第１のプローブ９１は、第１のばね９６が圧縮された状態のもとで、端子２５ａとの電気的な接触が維持される。また第２のプローブ９２の先端９２ａがメタルベース３０に当接するとともに、メタルベース３０の高さに応じて第２のばね９７が圧縮される。このため第２のプローブ９２は、第２のばね９７が圧縮された状態のもとで、メタルベース３０との電気的な接触が維持される。
【0043】
第１のプローブ９１と第２のプローブ９２とは、それぞれ導電線１００，１０１を介して制御部５３に接続されている。制御部５３は、プローブ９１，９２によって検出された電気的な出力を処理することにより、被測定部の絶縁抵抗を測定する。測定された絶縁抵抗に関する情報は、必要に応じて制御部５３のメモリ等に記憶されるとともに、表示部５４に表示される。
【0044】
サーボモータ７４は電力によって回転し、トルクを発生する。サーボモータ７４の回転が力伝達機構７５によって直線運動に変換されることにより、上側治具７２が上下方向に移動する。すなわち上側治具７２は下側治具７１に対して、上下方向に相対的に移動することができる。サーボモータ７４は制御部５３によって制御される。制御部５３は、サーボモータ７４に供給する電力に基づいて、トルクの大きさを電気的に検出する手段を有している。
【0045】
以下に本実施形態の絶縁抵抗測定装置５０の作用について、図５から図７を参照して説明する。図５は、絶縁抵抗測定装置５０の作用を示すフローチャートである。図６は、サーボモータ７４の作動が開始してからの経過時間（横軸）とトルク（縦軸）との関係を表している。
【0046】
図５中のステップＳＴ１において、サーボモータ７４の回転が開始する。サーボモータ７４は第１の方向に回転する。これにより、上側治具７２が退避位置（上昇側ストローク端）から下側治具７１に向かって移動する。ステップＳＴ２では、上側治具７２が下側治具７１に向かって降下する途中で、第１のプローブ９１の先端９１ａが端子２５ａに当接する。また第２のプローブ９２の先端９２ａがメタルベース３０に当接する。
【0047】
図７はテールパッド部２２ａの一部と、プローブ９１，９２とを模式的に表している。図７に示すように第１のプローブ９１の先端９１ａがテールパッド部２２ａの特定の端子２５ａに当接する。第１のプローブ９１の先端９１ａが端子２５ａに当接すると、図４に示すように第１のばね９６が圧縮されるため、第１のプローブ９１は一定の高さにとどまる。このため第１のプローブ９１は、第１のばね９６の反発荷重によって、適正な接触圧のもとで端子２５ａとの接触が維持される。
【0048】
図７に示すように第２のプローブ９２の先端９２ａがテールパッド部２２ａのメタルベース３０に当接する。第２のプローブ９２の先端９２ａがメタルベース３０に当接すると、図４に示すように第２のばね９７が圧縮されるため、第２のプローブ９２は一定の高さにとどまる。このため第２のプローブ９２は、第２のばね９７の反発荷重によって、適正な接触圧のもとでメタルベース３０との接触が維持される。
【0049】
上側治具７２がさらに降下すると、図５中のステップＳＴ３（図６中の時間ｔ１）において、上側治具７２の当接面８５が下側治具７１の基準面８０に当接する。当接面８５が基準面８０に当接したのちも、サーボモータ７４に電力が供給され続ける。このためサーボモータ７４は回転を続けようとする。しかし当接面８５が基準面８０に突き当たっているため、上側治具７２は、見かけ上、その高さで停止し続ける。
【0050】
このため図６に示す時間ｔ１を境に、次第にサーボモータ７４のトルクが増加し始めるとともに（図５中のステップＳＴ４）、下側治具７１に対する上側治具７２の加圧力が大きくなってゆく。上側治具７２の見かけ上の高さは変化しないが、サーボモータ７４のトルクは増加してゆく。そしてステップＳＴ５において、トルクが所定値（測定トリガ点）に達したか否かが判断される。
【0051】
図６中の時間ｔ２においてトルクが所定値（測定トリガ点）に達すると、ステップＳＴ５が“ＹＥＳ”となり、ステップＳＴ６に進む。ステップＳＴ６では、サーボモータ７４が所定のトルク（図７の例では８０％のトルク）を維持するように、サーボモータ７４に供給する電力（電圧または電流の少なくとも一方）が制御部５３によって制御される。このため下側治具７１に対する上側治具７２の加圧力が維持され、この状態が図６中の時間ｔ３まで維持される。このとき第１のプローブ９１は端子２５ａに電気的に接したままである。第２のプローブ９２はメタルベース３０に当接したままである。
【0052】
図５中のステップＳＴ７では、図６中の時間ｔ２からｔ３に達するまでの間に絶縁抵抗の測定が行われる。すなわち第１のプローブ９１が接する端子２５ａと導通する導電部と、電気的なグランドとしてのメタルベース３０との間の電気的な絶縁抵抗が測定される。測定に必要な時間は僅かであるが、時間ｔ２からｔ３は測定に必要な時間よりも長く設定される。
【0053】
たとえば第１のプローブ９１と第２のプローブ９２との間に電圧を印加した状態において、端子２５ａに導通する導電部とメタルベース３０との間の漏れ電流が検出される。検出された漏れ電流の大きさに基づいて、制御部５３によって絶縁抵抗が求められる。こうして得られた絶縁抵抗のデータが制御部５３等のメモリに保存されるとともに、必要に応じて表示部５４に表示される。
【0054】
図５中のステップＳＴ８において、所定時間が経過したか否か（時間ｔ３に達したか否か）が判断される。時間ｔ３に達していなければ（ステップＳＴ８において“ＮＯ”）、ステップＳＴ９においてトルクが維持され、ステップＳＴ８にもどる。所定時間が経過すると（ステップＳＴ８において“ＹＥＳ”）、ステップＳＴ１０に進む。ステップＳＴ１０では、サーボモータ７４が第２の方向に回転する。これにより、時間ｔ３以降は上側治具７２が上昇することにより、上側治具７２が下側治具７１から離れる。そして図３に示す待機位置（昇降側ストローク端）に上側治具７２が復帰する。
【0055】
以上説明したように、本実施形態の絶縁抵抗測定方法は、下記の工程を含んでいる。
（１）測定ステージ５１に設けられた治具ユニット５２の下側治具７１のワーク載置面８１に、ワークとしてのサスペンション連鎖品４０のテールパッド部２２ａを載置し、
（２）第１のプローブ９１と第２のプローブ９２とが配置された上側治具７２を、被測定部としてのテールパッド部２２ａに向けて、昇降機構７７のサーボモータ７４によって降下させ、
（３）第１のプローブ９１の先端９１ａを被測定部の第１の接触部（たとえばテールパッド部の端子２５ａ）に当接させ、かつ、第１のプローブ９１を第１のばね９６によって第１の接触部に向けて付勢し、
（４）第２のプローブ９２の先端９２ａを被測定部の第２の接触部（たとえばメタルベース３０）に当接させ、かつ、第２のプローブ９２を第２のばね９７によって第２の接触部に向けて付勢し、
（５）プローブ９１，９２がそれぞれ第１の接触部と第２の接触部に当接した状態において、上側治具７２をサーボモータ７４によってさらに降下させ、
（６）上側治具７２の当接面８５を下側治具７１の基準面８０に当接させ、
（７）当接面８５が基準面８０に当接した状態において、サーボモータ７４のトルクが上昇し、
（８）前記トルクが所定値に達すると、前記トルクが維持された状態において、プローブ９１，９２によって被測定部の絶縁抵抗を測定する。
（１）測定ステージ５１に設けられた治具ユニット５２の下側治具７１のワーク載置面８１に、ワークとしてのサスペンション連鎖品４０のテールパッド部２２ａを載置し、
（２）第１のプローブ９１と第２のプローブ９２とが配置された上側治具７２を、被測定部としてのテールパッド部２２ａに向けて、昇降機構７７のサーボモータ７４によって降下させ、
（３）第１のプローブ９１の先端９１ａを被測定部の第１の接触部（たとえばテールパッド部の端子２５ａ）に当接させ、かつ、第１のプローブ９１を第１のばね９６によって第１の接触部に向けて付勢し、
（４）第２のプローブ９２の先端９２ａを被測定部の第２の接触部（たとえばメタルベース３０）に当接させ、かつ、第２のプローブ９２を第２のばね９７によって第２の接触部に向けて付勢し、
（５）プローブ９１，９２がそれぞれ第１の接触部と第２の接触部に当接した状態において、上側治具７２をサーボモータ７４によってさらに降下させ、
（６）上側治具７２の当接面８５を下側治具７１の基準面８０に当接させ、
（７）当接面８５が基準面８０に当接した状態において、サーボモータ７４のトルクが上昇し、
（８）前記トルクが所定値に達すると、前記トルクが維持された状態において、プローブ９１，９２によって被測定部の絶縁抵抗を測定する。
【0056】
本実施形態の絶縁抵抗測定装置５０によれば、上側治具７２の当接面８５が下側治具７１の基準面８０に当接することにより、下側治具７１と上側治具７２との相対位置が保たれる。この状態において、第１のばね９６の反発荷重により、第１のプローブ９１と第１の接触部（たとえば端子２５ａ）との電気的な接触が、一定の接触圧のもとで維持される。また第２のばね９７の反発荷重により、第２のプローブ９２と第２の接触部（たとえばメタルベース３０）との電気的な接触が、一定の接触圧のもとで維持される。
【0057】
このためサスペンション１０の生産ライン上で、測定のためのプロービングを能率良く行なうことができる。しかもプローブ９１，９２の接触圧が安定し、被測定部の湿度変化や形状ばらつき、変形の度合いなどの影響を受けにくく、正確なプロービングが可能となった。このため絶縁抵抗をより正確に測定することができ、サスペンション１０等の配線部を含む電気回路の絶縁性を適正に評価することが可能となった。
【0058】
本実施形態の治具ユニット５２は、下側治具７１のワーク載置面８１が電気絶縁性の材料からなる絶縁部材８２によって形成されている。このため、測定値のばらつきの原因となる電気的ノイズが下側治具７１を通じて測定信号に混入することが低減され、測定精度をさらに向上することができた。
【0059】
サスペンション１０の製造工程において、サスペンション１０の一部を曲げたり切断したりするために、下型と上型とを含む金型セットが使用されることがある。本実施形態の治具ユニット５２は、サスペンション１０の製造工程で使用される金型セットの下型と上型とを、そのまま治具ユニット５２の下側治具７１と上側治具７２として使用している。このため治具ユニット５２のコストを節減することができた。しかも下側治具７１と上側治具７２との相対位置を高精度に規制することができた。これにより、生産ライン上でのプローブ９１，９２の位置決め精度が高く、より正確なプロービングが可能となった。
【0060】
なお本発明を実施するに当たり、絶縁抵抗測定装置を構成する各要素を種々に変更して実施できることは言うまでもない。たとえば下側治具、上側治具、プローブユニット、サーボモータ等を種々に変更して実施できる。測定対象物（ワーク）はサスペンション以外の電子部品であってもよい。また被測定部は、テールパッド部の端子やメタルベース以外であってもよい。
【符号の説明】
【0061】
１０…ディスク装置用サスペンション、２０…フレキシャ、２２…フレキシャテール、２２ａ…テールパッド部、２５，２５ａ…端子（第１の接触部）、３０…メタルベース（第２の接触部）、４０…サスペンション連鎖品、５０…絶縁抵抗測定装置、５１…測定ステージ、５２…治具ユニット、５３…制御部、５４…表示部、５５…搬送機構、７０…フレーム構体、７０ａ…下側支持部、７０ｂ…上側支持部、７１…下側治具、７２…上側治具、７３…プローブユニット、７４…サーボモータ、７７…昇降機構、８０…基準面、８１…ワーク載置面、８２…絶縁部材、８５…当接面、８６…プローブ取付面、９１…第１のプローブ、９２…第２のプローブ、９６…第１のばね、９７…第２のばね。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】