特許7318570IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

レジスト用樹脂組成物および感光性樹脂組成物に関し、より詳しくは、耐薬品性および耐熱性に優れる樹脂膜を与えるレジスト用樹脂組成物および感光性樹脂組成物

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の目的は、耐薬品性および耐熱性に優れる樹脂膜を与えるレジスト用樹脂組成物および感光性樹脂組成物を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者らは、前記課題を解決すべく検討した結果、特定構造の有機過酸化物を用いたレジスト用樹脂組成物により課題を解決できることを見出した。 すなわち、本発明は、以下のものである。 [1]不飽和塩基酸モノマー(A)、該不飽和塩基酸モノマー(A)と共重合可能なモノマー(B)、及び重合開始剤(C)を含むレジスト用樹脂組成物であって、該重合開始剤(C)が下記一般式(1)で示される有機過酸化物を・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、耐薬品性および耐熱性に優れる樹脂膜を与えるレジスト用樹脂組成物および感光性樹脂組成物を得ることができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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