特許 7318589 物品搬送設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-24

(45)【発行日】2023-08-01

(54)【発明の名称】物品搬送設備

(51)【国際特許分類】

   G01M 99/00 20110101AFI20230725BHJP

   G05D 1/02 20200101ALI20230725BHJP

【ＦＩ】

G01M99/00 Z

G05D1/02 P

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020090372

(22)【出願日】2020-05-25

(65)【公開番号】P2021185353

(43)【公開日】2021-12-09

【審査請求日】2022-02-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】萩原 孝一

(72)【発明者】

【氏名】正村 彰太

【審査官】亀澤 智博

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－２２１６８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０４３２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１９９３４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１３２３３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１０４５８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２５７３６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００７／００２１８４５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２００６－３３１１１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－０１９５４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｍ １３／００ －１３／０４５

Ｇ０１Ｍ ９９／００

Ｇ０５Ｄ １／００ － １／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

規定の走行経路に沿って走行して物品を搬送する複数の物品搬送車と、前記物品搬送車の運行を制御する制御装置とを備えた物品搬送設備であって、
前記走行経路は、複数の前記物品搬送車の中から検査対象として指定された対象搬送車を走行させるための検査エリアの中に設定された経路を含み、
前記対象搬送車は、走行中の自車両の挙動を検出するセンサを備え、
前記制御装置は、メンテナンス時期を判定するための前記物品搬送車の状態を表す情報を条件を揃えて取得するために、前記検査エリアの中に１台の前記対象搬送車のみが存在するように複数の前記物品搬送車を制御すると共に、前記検査エリアの中において当該対象搬送車を予め規定された検査走行パターンで走行させ、
前記制御装置は、前記検査走行パターンで走行中の前記対象搬送車から前記センサの検出結果に基づく検査データを取得する、物品搬送設備。

【請求項2】

前記センサは、前記対象搬送車を走行させるモータのトルク、前記対象搬送車の車輪又は前記車輪に連動する回転部材の回転速度、前記対象搬送車の振動の少なくとも１つを検出する、請求項１に記載の物品搬送設備。

【請求項3】

前記検査エリアには、直線状の経路、曲線状の経路、経路が複数に分岐する分岐部、複数の経路が合流する合流部が含まれ、
前記検査走行パターンは、加速、減速、定速走行を含む、請求項１又は２に記載の物品搬送設備。

【請求項4】

前記検査エリアは、前記物品搬送車の進行方向が同方向且つ並行して配置された２つの経路の内の一方を含んで設定されている、請求項１から３の何れか一項に記載の物品搬送設備。

【請求項5】

前記物品搬送車が搬送中の物品の重量を搬送重量として、
前記制御装置は、前記搬送重量が規定値であることを条件として、前記物品搬送車を前記対象搬送車として指定する、請求項１から４の何れか一項に記載の物品搬送設備。

【請求項6】

前記対象搬送車は、前記検査データを取得する検出結果取得部と、前記検査データを送信する検査データ送信部と、を備え、
前記検査データ送信部は、前記制御装置へ前記検査データをワイヤレス送信する、請求項１から５の何れか一項に記載の物品搬送設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、規定の走行経路に沿って走行して物品を搬送する複数の物品搬送車と、物品搬送車の運行を制御する制御装置とを備えた物品搬送設備に関する。

【背景技術】

【0002】

走行経路に沿って走行する物品搬送車を備えた物品搬送設備を適切にメンテナンスする上で、物品搬送車の消耗の程度を把握することが好ましい。特開２０１８－１３２３３２号公報（特許文献１）には、物品搬送車の車輪の摩耗の程度を検査する検査システムが開示されている。この検査システムは、複数の車輪のそれぞれの側面に設けられた車輪ごとに固有の識別マークと、走行経路の側方から走行中の車輪の全体像を撮影する撮影装置とを備え、撮影された画像データに基づいて、車輪の摩耗の程度を検査すると共に識別マークにより検査対象の車輪の個体特定を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１８－１３２３３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の検査システムは、車輪の摩耗を適切に検査することができる。しかし、物品を搬送中の物品搬送車は、様々な走行条件で走行するため、走行中の物品搬送車の挙動によって車輪の姿勢等も異なる場合がある。このため、検査結果にばらつきが生じる可能性がある。従って、メンテナンス時期を判定するための物品搬送車の状態を、条件を揃えて適切に検査できることが好ましい。

【0005】

上記背景に鑑みて、メンテナンス時期を判定するための物品搬送車の状態を表す情報を適切に取得することが望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記に鑑みた物品搬送設備は、規定の走行経路に沿って走行して物品を搬送する複数の物品搬送車と、前記物品搬送車の運行を制御する制御装置とを備えた物品搬送設備であって、前記走行経路が、複数の前記物品搬送車の中から検査対象として指定された対象搬送車を走行させるための検査エリアの中に設定された経路を含み、前記対象搬送車は、走行中の自車両の挙動を検出するセンサを備え、前記制御装置は、メンテナンス時期を判定するための前記物品搬送車の状態を表す情報を条件を揃えて取得するために、前記検査エリアの中に１台の前記対象搬送車のみが存在するように複数の前記物品搬送車を制御すると共に、前記検査エリアの中において当該対象搬送車を予め規定された検査走行パターンで走行させ、前記制御装置は、前記検査走行パターンで走行中の前記対象搬送車から前記センサの検出結果に基づく検査データを取得する。

【0007】

この構成によれば、予め規定された検査走行パターンで走行中の対象搬送車の挙動をセンサによって検出して、当該センサによる検査データを制御装置が取得する。従って、物品搬送車の状態を同じ条件で取得することができる。検査エリアの中には、１台の対象搬送車のみが存在するように制御されるから、対象搬送車は、他の物品搬送車の影響を受けることなく、検査エリアの中に設定された経路を予め規定された検査走行パターンで走行することができる。即ち、本構成によれば、メンテナンス時期を判定するための物品搬送車の状態を表す情報を適切に取得することができる。

【0008】

物品搬送車のさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】物品搬送設備の平面図

【図2】物品搬送車の側面図

【図3】物品搬送車の正面図

【図4】分岐部において直進する物品搬送車の挙動を示す図

【図5】分岐部において分岐する物品搬送車の挙動を示す図

【図6】検査エリアの一例を模式的に示す図

【図7】物品搬送設備の構成の一例を示すブロック図

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。図１及び図７に示すように、物品搬送設備１００は、走行経路１に沿って設置された走行レール２と、走行経路１に沿って走行して物品Ｗを搬送する複数の物品搬送車３と、物品搬送車３の運行を制御する設備コントローラＨ（制御装置）を備えている。本実施形態では、物品搬送車３として、後述するように天井に吊り下げ支持された走行レール２（図２、図３等参照）を走行し、物品Ｗを吊り下げ支持して搬送する天井搬送車を例示する。また、本実施形態では、物品搬送車３は、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を物品Ｗとして搬送する。図１に示すように、物品搬送設備１００には、半導体ウエハに種々の処理を行う物品処理部Ｐが複数備えられている。物品搬送車３は、複数の物品処理部Ｐへ物品Ｗを搬送する。

【0011】

以下、走行経路１に沿う方向を経路長手方向Ｘと称し、上下方向Ｚに見て、経路長手方向Ｘに対して直交する方向を経路幅方向Ｙと称して説明する。また、走行経路１において、物品搬送車３の走行方向（物品搬送車３が走行する方向）を下流側、その反対側を上流側と称して説明する。

【0012】

図１に示すように、走行経路１は、１つの環状の主経路１Ｐと、複数の環状の副経路１Ｓと、主経路１Ｐと副経路１Ｓとを接続する接続経路１Ｎとを備えている。副経路１Ｓは、それぞれ複数の物品処理部Ｐを経由して環状に形成され、分岐部１ｃと合流部１ｄとにおいて主経路１Ｐに接続されている。接続経路１Ｎには、主経路１Ｐから副経路１Ｓに向けて物品搬送車３を分岐走行させる分岐部１ｃにおける分岐用の接続経路１Ｎと、副経路１Ｓから主経路１Ｐに向けて物品搬送車３を合流走行させる合流部１ｄにおける合流用の接続経路１Ｎとを含む。物品搬送車３は、主経路１Ｐ及び複数の副経路１Ｓにおいては、いずれも同じ周回方向（本実施形態では時計回り）に走行する。尚、図１においては、物品搬送車３の走行方向を矢印で示している。

【0013】

図３に示すように、走行レール２は、左右一対のレール部７により構成されている。図２及び図３に示すように、物品搬送車３は、天井から吊り下げ支持された走行レール２上を走行する走行部９と、走行レール２の下方に位置して走行部９に吊り下げ支持された本体部１０と、走行経路１に沿って配設された給電線１１から非接触で駆動用電力を受電する受電部１２とを備えている。本体部１０には、本体部１０に昇降自在に備えられて物品Ｗを吊り下げ状態で支持する支持機構１３が備えられている。

【0014】

走行部９は、物品搬送車３の前後方向に並ぶ第１走行部９Ｆと第２走行部９Ｒとを含む。第１走行部９Ｆ及び第２走行部９Ｒは、同一構成であり、以下特に区別する必要がない場合には、単に走行部９として説明する。走行部９には、走行用モータ１４と、走行用モータ１４により回転駆動される左右一対の走行輪１５とが備えられている。左右一対の走行輪１５は、走行レール２（左右一対のレール部７）の上面を転動する。また、走行部９には、上下方向Ｚに沿う縦軸心周り（上下軸心周り）で回転する案内輪１６が備えられている。案内輪１６は、走行部９の左右の片側において前後方向に２個並んで配置されると共に、走行部９の左右にそれぞれ配置されている。つまり、案内輪１６は、１つの走行部９に４つずつ備えられている。案内輪１６は、左右一対のレール部７の互いに対向する側面を転動する。案内輪１６は、経路長手方向Ｘ（走行経路１に沿う方向）に離間した複数個所で走行レール２に接触する。

【0015】

第１走行部９Ｆ及び第２走行部９Ｒには、走行輪１５の下端より下方に突出する状態でそれぞれ連結軸１９が備えられている。第１走行部９Ｆの連結軸１９と本体部１０とは、上下方向Ｚに沿う縦軸心周りに相対回転可能に連結されている。第２走行部９Ｒの連結軸１９と本体部１０とも、上下方向Ｚに沿う縦軸心周りに相対回転可能に連結されている。つまり、第１走行部９Ｆと、第２走行部９Ｒとは、それぞれ異なる縦軸心周りに独立して回転可能である。

【0016】

物品搬送車３は、走行部９の走行輪１５が走行用モータ１４により回転駆動され、走行部９の案内輪１６が一対の走行レール２により案内されることによって、経路幅方向Ｙでの位置が規制されながら、走行経路１に沿って走行する。また、物品搬送車３は、第１走行部９Ｆ及び第２走行部９Ｒが本体部１０に対して縦軸心周りに揺動することにより、曲線経路１ｂ、分岐部１ｃ、合流部１ｄなど、曲線状の経路であっても走行経路１に沿って走行することができる。

【0017】

図３～図５に示すように、走行経路１における分岐部１ｃには、物品搬送車３の走行方向視において断面形状がＴ字形に形成されたガイドレール４が備えられている。また、物品搬送車３には、上下方向Ｚに沿う縦軸心周り（上下軸心周り）で回転する案内補助輪１７が備えられている。案内補助輪１７は、走行部９の中央部において左右方向に移動可能に、前後方向に２個並んで配置されている。案内補助輪１７は、左右一対のレール部７の経路幅方向Ｙの中央部に配置されたガイドレール４よりも右側及び左側に位置変更可能に備えられ、ガイドレール４の右側面或いは左側面に接触して回転する。ビークルコントローラ３１は、分岐部１ｃにおいて案内補助輪１７を図３～図４に示すように車体横幅方向（経路幅方向Ｙ）に移動させる。

【0018】

図４に示すように、物品搬送車３を分岐部１ｃにおいて分岐させずに直進させる場合、ビークルコントローラ３１は、案内補助輪１７をガイドレール４の第１案内面４１の側（進行方向に向いて左側）に位置させる。これにより、走行部９は、ガイドレール４の第１案内面４１と案内補助輪１７とが当接する状態で案内される。図４に示すように、分岐部１ｃを直進する際、一対のレール部７の内、左右一方側（ここでは右側）の走行レール２が途切れるが、ガイドレール４が案内補助輪１７を介して荷重を受止めて案内支持することで、走行部９が途切れていない左右他方側（ここでは左側）の走行レール２から脱落することが抑制され、物品搬送車３が分岐部１ｃにおいて直進走行できる。

【0019】

図５に示すように、物品搬送車３を分岐部１ｃにおいて分岐させる場合、ビークルコントローラ３１は、案内補助輪１７をガイドレール４の第２案内面４２の側（進行方向に向いて右側）に位置させる。これにより、走行部９は、ガイドレール４の第２案内面４２と案内補助輪１７とが当接する状態で案内される。図５に示すように、分岐部１ｃにおいて分岐する際、一対のレール部７の内、左右一方側（ここでは左側）の走行レール２が途切れるが、ガイドレール４が案内補助輪１７を介して荷重を受止めて案内支持することで、走行部９が途切れていない左右他方側（ここでは右側）の走行レール２から脱落することが抑制され、物品搬送車３が分岐部１ｃにおいて分岐走行できる。

【0020】

上記においては、分岐部１ｃにおいて物品搬送車３が直進走行及び分岐走行する形態について説明したが、合流部１ｄにおいても同様である。

【0021】

図７に示すように、物品搬送車３は、ビークルコントローラ３１と、通信部３２と、アクチュエータ群Ａと、センサ群Ｓとを備えている。センサ群Ｓには、走行経路１に沿って配置された位置情報を示す位置標章を読み取る不図示のコードリーダや、走行輪１５の回転量に基づいて物品搬送車３の走行距離を検出する不図示のロータリエンコーダ、進行方向における他の物品搬送車３や障害物を検出する不図示の障害物センサ等を含む。アクチュエータ群Ａには、走行輪１５を駆動する走行用モータ１４、案内補助輪１７を車体横幅方向（経路幅方向Ｙ）に移動させる不図示のアクチュエータ、支持機構１３を昇降させる不図示のアクチュエータ等を含む。

【0022】

ビークルコントローラ３１は、コードリーダやロータリエンコーダの検出結果に基づいて、走行経路１上における物品搬送車３の位置を判定する。それぞれの物品搬送車３の位置情報は、設備コントローラＨ及び他の物品搬送車３にワイヤレス通信によって送信される。設備コントローラＨは、それぞれの物品搬送車３の位置情報に基づき、物品搬送設備１００における物品搬送車３の走行を制御する。ビークルコントローラ３１は、設備コントローラＨからの搬送指令に基づいて物品Ｗを搬送する。ビークルコントローラ３１は、当該搬送指令、自車両の位置情報、他車両の位置情報、障害物センサの検出結果等に基づき、物品Ｗを吊り下げ支持した物品搬送車３を自律走行させる。

【0023】

上述したように、物品搬送車３には、走行輪１５、案内輪１６、案内補助輪１７などの走行レール２やガイドレール４との接触によって摩耗する部材や、走行用モータ１４などのアクチュエータなど、物品搬送車３の走行に伴って消耗する部材がある。また、走行輪１５、案内輪１６、案内補助輪１７などの車軸を支持する軸受けも、消耗したり、破損したりする場合がある。例えば軸受けが破損すると回転抵抗が大きくなる。このため、物品搬送車３は、点検や部品交換など、定期的にメンテナンスされることが好ましい。時期を定めてメンテナンスを行うことも可能であるが、必ずしもそれぞれの物品搬送車３にとって適切な時期にメンテナンスが行われるとは限らない。従って、物品搬送車３の各部の状態を検出して、物品搬送車３の状態に応じて部品交換や調整などのメンテナンスが行われると好ましい。

【0024】

そこで、本実施形態の物品搬送設備１００では、実際に物品Ｗを搬送している物品搬送車３から検査データを収集し、当該検査データに基づいて部品の交換や調整等のメンテナンスの時期を判定する。この際、正常な基準値と検査データとを比較して、判定を行っても良いし、複数の検査データを集積したいわゆるビッグデータに基づいて判定を行ってもよい。ここで、検査データを抽出する対象の物品搬送車３を対象搬送車３Ｔと称する。対象搬送車３Ｔは、走行中の自車両の挙動を検出するセンサ（例えば振動センサＳ１）を備えている。対象搬送車３Ｔは、設備コントローラＨにより、複数の物品搬送車３の中から検査対象として指定された物品搬送車３である。尚、全ての物品搬送車３が、対象搬送車３Ｔとして指定され得る形態であっても良いし、全ての物品搬送車３の内の一部が対象搬送車３Ｔとして指定され得る形態であっても良い。

【0025】

また、図１及び図６に示すように、走行経路１は、指定された対象搬送車３Ｔを走行させるための検査エリアＥの中に設定された経路Ｋを含む。設備コントローラＨは、検査エリアＥの中に１台の対象搬送車３Ｔのみが存在するように複数の物品搬送車３を制御する。物品搬送車３は、自車両の前方に他の物品搬送車３（他車両）が存在する場合には、衝突を回避するために、走行速度を低下させたり、一旦停止して待機したりする場合がある。図６に符号“３ａ”で示すように、対象搬送車３Ｔの前方に他車両が存在し、対象搬送車３Ｔが上述したように走行速度を低下させたり一旦停止したりすると、検査に適した走行ではなくなり、設備コントローラＨが適切な検査データを得ることができない可能性がある。しかし、本実施形態では、検査エリアＥの中に１台の対象搬送車３Ｔのみが存在するように複数の物品搬送車３の走行が制御される。従って、対象搬送車３Ｔは、自車両の前方の他車両に影響されることなく、検査に適した形態で走行することができる。

【0026】

また、設備コントローラＨは、検査エリアＥの中において対象搬送車３Ｔを予め規定された検査走行パターンで走行させる。設備コントローラＨは、検査走行パターンで走行中の対象搬送車３Ｔからセンサ（振動センサＳ１など）の検出結果に基づく検査データを取得する。上述したように、検査エリアＥには、対象搬送車３Ｔ以外の物品搬送車３（他車両）が存在しないように制御されているから、対象搬送車３Ｔは他車両に影響されることなく、規定の検査走行パターンで走行することができる。対象搬送車３Ｔが、他車両に影響されることなく、規定の検査走行パターンで走行することで、設備コントローラＨは、再現性の高い検査データを得ることができる。

【0027】

ここで、対象搬送車３Ｔにおいて走行中の自車両の挙動を検出するセンサは、対象搬送車３Ｔを走行させる走行用モータ１４のトルク、対象搬送車３Ｔの走行輪１５又は走行輪１５に連動する回転部材の回転速度、対象搬送車３Ｔの振動の少なくとも１つを検出するものである。

【0028】

例えば、走行輪１５、案内輪１６、案内補助輪１７等が消耗によって摩擦力が大きくなった場合には、回転抵抗が大きくなって走行用モータ１４に大きなトルクが必要になる場合がある。トルクの大きさは、トルクセンサによって検出しても良いし、走行用モータ１４の駆動回路に流れる電流の大きさ等に基づいて検出してもよい。尚、トルクの大きさは、トルクセンサを用いる形態に限らず、ビークルコントローラ３１において走行用モータ１４を制御するサーボドライバを用いて算出される形態であってもよい。

【0029】

また、走行輪１５の径が摩耗等によって小さくなると、同じ回転速度であっても、走行距離が異なる。例えば、上述したように、走行経路１に沿って位置情報を示す位置標章が配置されている場合には、位置標章に基づいて走行距離を検出することができる。この走行距離と、回転速度に基づく走行距離とを比較することで、走行輪１５の摩耗の状態を判定することができる。従って、走行輪１５の回転速度を検出するセンサ（ロータリエンコーダなどの回転センサ）を、挙動を検出するセンサとすることができる。尚、走行輪１５の回転速度に限らず、走行用モータ１４から走行輪１５までの動力伝達経路に備えられた回転部材の回転速度を検出するセンサであってもよい。また、位置標章を読み取るコードリーダも、挙動を検出するセンサに含まれていてもよい。

【0030】

また、走行輪１５、案内輪１６、案内補助輪１７等が摩耗等によって消耗すると、物品搬送車３の安定性が崩れ、走行中の物品搬送車３の振動が増加する場合がある。振動センサＳ１によって、振動の大きさを検出することによって、設備コントローラＨは、走行輪１５、案内輪１６、案内補助輪１７等の消耗の度合いを判定することができる。従って、振動センサＳ１は、挙動を検出するセンサに相当する。

【0031】

ところで、上記においては、主に物品搬送車３の部品の摩耗等の状態を判定する形態を例示した。しかし、そのような形態に限らず、ロータリエンコーダの検出結果に基づく物品搬送車３の位置と、コードリーダの検出結果に基づく物品搬送車３の位置との差に基づいて、ロータリエンコーダの状態が診断されてもよい。また、走行経路１上に指定された停止位置と、物品搬送車３の実際の停止位置との差を検査データとして、コードリーダやその他の停止位置検出センサ（不図示）等のセンサ感度などが診断されてもよい。

【0032】

上述したように、走行輪１５は走行レール２の上面を転がり、案内輪１６は走行レール２の側面を転がる。つまり、走行輪１５及び案内輪１６は、分岐部１ｃや合流部１ｄ内の一部を除く走行経路１の全域で、走行レール２に接触する。一方、案内補助輪１７はガイドレール４の側面を転がる。ガイドレール４は、分岐部１ｃや合流部１ｄに設けられているため、案内補助輪１７は、走行経路１の一部、具体的には分岐部１ｃや合流部１ｄでのみ、ガイドレール４に接触する。従って、検査エリアＥには、経路Ｋが複数に分岐する分岐部１ｃ、複数の経路Ｋが合流する合流部１ｄが含まれていると好ましい。また、分岐部１ｃ及び合流部１ｄ以外の経路Ｋの形状は、直線に限らず曲線の場合もある。従って、検査エリアＥには、直線状の経路（直線経路１ａ）及び曲線状の経路（曲線経路１ｂ）が含まれていると好ましい。

【0033】

図１には、１つのまとまった検査エリアＥに、直線経路１ａ、曲線経路１ｂ、分岐部１ｃ、合流部１ｄが含まれている形態を例示している。しかし、検査エリアＥは、複数箇所に分かれて配置されていてもよい。例えば、直線経路１ａのみを含む第１の検査エリアＥ、曲線経路１ｂのみを含む第２の検査エリアＥ、分岐部１ｃを含む第３の検査エリアＥ、合流部１ｄを含む第４の検査エリアＥが分かれて配置されていてもよい。

【0034】

また、図１及び図６には、通常、物品Ｗを搬送するために物品搬送車３が走行する経路Ｋ（通常経路Ｋ１）とは別に、検査用の経路Ｋ（検査用経路Ｋ２）が設けられている形態を例示している。しかし、検査用経路Ｋ２の全て、又は一部が、通常経路Ｋ１を兼用して設けられていてもよい。例えば、図１及び図６に例示する形態のように、検査用経路Ｋ２が通常経路Ｋ１とは別に設けられている場合であっても、通常経路Ｋ１から検査用経路Ｋ２への分岐部１ｃ、検査用経路Ｋ２から通常経路Ｋ１への合流部１ｄは、通常経路Ｋ１と検査用経路Ｋ２とで兼用されているということができる。

【0035】

また、検査走行パターンは、加速、減速、定速走行を含むように設定されている。例えば、加速や減速の際には、走行レール２と走行輪１５との摩擦力も影響する。走行輪１５の消耗の程度に応じて、走行輪１５に滑りが生じる場合もある。定速走行だけでなく、加速や減速も含んで検査走行パターンが設定されていることで、設備コントローラＨは、適切な検査データを得ることができる。

【0036】

また、図１及び図６に示すように、本実施形態では、検査エリアＥは、物品搬送車３の進行方向が同方向且つ並行して配置された２つの経路Ｋの内の一方（検査用経路Ｋ２）を含んで設定されている。このように検査エリアＥが設定されることで、図６に符号“３ｂ”で示す物品搬送車３のように、通常経路Ｋ１を使って対象搬送車３Ｔに指定されていない物品搬送車３を走行させると共に、並行する検査用経路Ｋ２を使って対象搬送車３Ｔを走行させることができる。対象搬送車３Ｔは、他車両の影響を受けること無く、検査用経路Ｋ２を検査走行パターンに基づいて走行することができる。また、検査用経路Ｋ２に並行する通常経路Ｋ１には、物品Ｗを搬送するために他の物品搬送車３を走行させることができるので、物品搬送設備１００の搬送効率の低下も抑制される。

【0037】

図６に示すように、検査用経路Ｋ２と通常経路Ｋ１とが並行して設置されている場合、通常経路Ｋ１から検査用経路Ｋ２への分岐部１ｃと、検査用経路Ｋ２から通常経路Ｋ１への合流部１ｄは、検査用経路Ｋ２と通常経路Ｋ１との双方を含む。従って、検査エリアＥ（検査用経路Ｋ２）は、図６に示すように、分岐部１ｃ及び合流部１ｄを含む通常経路Ｋ１における並行区間Ｆに並行して配置されているということができる。

【0038】

ところで、上述したように、複数の物品搬送車３の内の一部である複数台、或いは全てが対象搬送車３Ｔに指定される可能性がある。本実施形態では、搬送中の物品Ｗの重量（搬送重量）が共通の規定値であることを条件として対象搬送車３Ｔとして指定される。これにより、設備コントローラＨは、条件を揃えて検査データを収集することができる。

【0039】

物品ＷとしてのＦＯＵＰには、半導体ウエハが収容されるので、例えば、半導体ウエハが満載されているＦＯＵＰの重量、半導体ウエハが収容されていないＦＯＵＰ（空のＦＯＵＰ）の重量、或いは半導体ウエハが規定された枚数分収容されているＦＯＵＰの重量を搬送重量の規定値とすることができる。例えば、物品搬送車３の走行にとって最も厳しい条件、すなわち最も主に搬送重量である、半導体ウエハが満載されているＦＯＵＰの重量を、規定値とすると好適である。尚、搬送重量は、物品搬送車３が物品Ｗを支持していない状態、つまりゼロも含む。設備コントローラＨは、搬送重量が規定値であることを条件として、規定値の搬送重量の物品Ｗを搬送中の物品搬送車３を対象搬送車３Ｔとして指定する。

【0040】

図７に示すように、物品搬送車３は、設備コントローラＨとの間でワイヤレス通信可能な通信部３２を備えている。センサ群Ｓからビークルコントローラ３１が取得した検査データは、通信部３２から設備コントローラＨにワイヤレス送信される。即ち、対象搬送車３Ｔは、検査データを取得する検出結果取得部としてのビークルコントローラ３１と、検査データを送信する検査データ送信部としての通信部３２とを備えており、通信部３２は、設備コントローラＨへ検査データをワイヤレス送信する。設備コントローラＨは、逐次、検査データを受け取り、蓄積することができる。

【0041】

尚、図７に示すように、対象搬送車３Ｔは、ビークルコントローラ３１が取得した検査データを記憶するメモリなどの記憶媒体によって構成された検出結果記憶部３３を備えていてもよい。この場合、通信部３２は、検出結果記憶部３３に蓄積された検査データを定期的に設備コントローラＨに送信してもよい。また、検出結果記憶部３３に蓄積された検査データは、設備コントローラＨとの有線接続によって、設備コントローラＨに送信されてもよい。或いは、検査データは、対象搬送車３Ｔ及び設備コントローラＨに対して着脱可能なメモリーカード等を介して送信されてもよい。また、検出結果記憶部３３が対象搬送車３Ｔに対して着脱可能な場合は、設備コントローラＨは、対象搬送車３Ｔから取り外した検出結果記憶部３３を設備コントローラＨに接続して検査データを取得してもよい。

【0042】

〔その他の実施形態〕
以下、その他の実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。

【0043】

（１）上記においては、物品搬送車３として、走行レール２に吊り下げ支持された状態で走行する天井搬送車を例示して説明したが、物品搬送車３は、レール上に載置支持された状態で走行する搬送車であってもよい。或いは、物品搬送車３は、レール以外によって構成された経路（例えば床面）を走行する搬送車であっても良い。

【0044】

（２）上記においては、１つ或いは複数の検査エリアＥに、経路Ｋとして、直線経路１ａ、曲線経路１ｂ、分岐部１ｃ、合流部１ｄが含まれている形態を例示した。つまり、検査用経路Ｋ２が、これら全ての形状の経路Ｋを含む形態を例示した。しかし、検査用経路Ｋ２は、これらの内の少なくとも１つを含んで構成されていてもよい。また、分岐部１ｃ及び合流部１ｄの他、走行経路１に２つの経路Ｋが交差する交差部（不図示）が含まれる場合には、検査用経路Ｋ２に交差部がふくまれていると好適である。

【0045】

（３）上記においては、設備コントローラＨが、搬送重量が規定値であることを条件として、対象搬送車３Ｔとなる物品搬送車３を指定する形態を例示した。しかし、設備コントローラＨは、搬送重量に関係なく、例えば、物品搬送車３の走行経路１における位置（検査用経路Ｋ２に対する位置）に基づいて対象搬送車３Ｔを指定してもよい。尚、搬送重力に関係なく対象搬送車３Ｔを指定する場合には、搬送重量も検査データとして取得されると好適である。

【0046】

（４）上記においては、検査データの送信先が設備コントローラＨである形態を例示した。しかし、この形態に限らず、検査データの送信先は、設備コントローラＨとは別に設けられたデータサーバ等であってもよい。

【0047】

（５）上記においては、検査走行パターンが、加速、減速、定速走行を含むように設定されている形態を例示した。しかし、この形態に限らず、例えば、検査走行パターンが定速走行のみとなるように設定されていても良い。

【0048】

〔実施形態の概要〕
以下、上記において説明し物品搬送設備の概要について簡単に説明する。

【0049】

１つの態様として、物品搬送設備は、規定の走行経路に沿って走行して物品を搬送する複数の物品搬送車と、前記物品搬送車の運行を制御する制御装置とを備えた物品搬送設備であって、前記走行経路が、複数の前記物品搬送車の中から検査対象として指定された対象搬送車を走行させるための検査エリアの中に設定された経路を含み、前記対象搬送車は、走行中の自車両の挙動を検出するセンサを備え、前記制御装置は、前記検査エリアの中に１台の前記対象搬送車のみが存在するように複数の前記物品搬送車を制御すると共に、前記検査エリアの中において当該対象搬送車を予め規定された検査走行パターンで走行させ、前記制御装置は、前記検査走行パターンで走行中の前記対象搬送車から前記センサの検出結果に基づく検査データを取得する。

【0050】

この構成によれば、予め規定された検査走行パターンで走行中の対象搬送車の挙動をセンサによって検出して、当該センサによる検査データを制御装置が取得する。従って、物品搬送車の状態を同じ条件で取得することができる。検査エリアの中には、１台の対象搬送車のみが存在するように制御されるから、対象搬送車は、他の物品搬送車の影響を受けることなく、検査エリアの中に設定された経路を予め規定された検査走行パターンで走行することができる。即ち、本構成によれば、メンテナンス時期を判定するための物品搬送車の状態を表す情報を適切に取得することができる。

【0051】

また、前記センサは、前記対象搬送車を走行させるモータのトルク、前記対象搬送車の車輪又は前記車輪に連動する回転部材の回転速度、前記対象搬送車の振動の少なくとも１つを検出すると好適である。

【0052】

制御装置は、トルクや回転速度が検出されることによって、車輪やモータの消耗度合いを判定することができる。また、振動が検出されることによって、制御装置は車輪の偏った摩耗や、回転部材の緩み等を判定することができる。

【0053】

また、前記検査エリアには、直線状の経路、曲線状の経路、経路が複数に分岐する分岐部、複数の経路が合流する合流部が含まれ、前記検査走行パターンは、加速、減速、定速走行を含むと好適である。

【0054】

この構成によれば、検査エリアに種々の形態の経路が含まれることによって、様々な経路を走行する場合の検査データが得られる。また、検査走行パターンが、種々の走行状態を含むことによって、様々な走行形態の場合の検査データが得られる。

【0055】

また、前記検査エリアは、前記物品搬送車の進行方向が同方向且つ並行して配置された２つの経路の内の一方を含んで設定されていると好適である。

【0056】

この構成によれば、例えば、対象搬送車が、通常の経路から検査用の経路に分岐して検査用の経路を走行し、再び、通常の経路に戻り易い。また、対象搬送車の走行によって、物品を搬送するための経路が塞がれないため、対象搬送車以外の物品搬送車による物品の搬送を妨げにくい。従って、本構成によれば、物品搬送設備における物品搬送車の利用効率の低下を抑制しながら、適切に検査データを得ることができる。

【0057】

また、前記物品搬送車が搬送中の物品の重量を搬送重量として、前記制御装置は、前記搬送重量が規定値であることを条件として、前記物品搬送車を前記対象搬送車として指定すると好適である。

【0058】

この構成によれば、対象搬送車の搬送重量に関する条件を一定に揃えることで、複数の対象搬送車同士における検査データの比較が容易となる。また、複数の対象搬送車の検査データに基づいて、物品搬送車の全体の傾向も判定し易くなる。

【0059】

また、前記対象搬送車が、記検査データを取得する検出結果取得部と、前記検査データを送信する検査データ送信部と、を備え、前記検査データ送信部が前記制御装置へ前記検査データをワイヤレス送信すると好適である。

【0060】

この構成によれば、制御装置は、対象搬送車から逐次、検査データを取得することができる。また、対象搬送車は、複数回の検査データを蓄積するような大きな容量の記憶装置を持たなくてよい。

【符号の説明】

【0061】

１ ：走行経路
１ａ ：直線経路（直線状の経路）
１ｂ ：曲線経路（曲線状の経路）
１ｃ ：分岐部
１ｄ ：合流部
３ ：物品搬送車
３Ｔ ：対象搬送車
１４ ：走行用モータ（対象搬送車を走行させるモータ）
１５ ：走行輪（対象搬送車の車輪）
３２ ：通信部（検査データ送信部）
１００ ：物品搬送設備
Ｅ ：検査エリア
Ｈ ：設備コントローラ（制御装置）
Ｋ ：経路
Ｓ ：センサ群（走行中の自車両の挙動を検出するセンサ）
Ｓ１ ：振動センサ（走行中の自車両の挙動を検出するセンサ）
Ｗ ：物品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】