(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-07-25
(45)【発行日】2023-08-02
(54)【発明の名称】半導体ストリップ切断及び分類設備におけるパッケージ乾燥装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20230726BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20230726BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 651L
H01L21/304 648A
H01L21/304 648L
H01L21/78 F
【請求項の数】
17
(21)【出願番号】P 2021177518
(22)【出願日】2021-10-29
(65)【公開番号】P2022081420
(43)【公開日】2022-05-31
【審査請求日】2021-10-29
(31)【優先権主張番号】10-2020-0155931
(32)【優先日】2020-11-19
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】520236767
【氏名又は名称】サムス カンパニー リミテッド
(74)【代理人】
【識別番号】110001519
【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】イ、ヨン ファン
(72)【発明者】
【氏名】イ、チ ス
【審査官】今井 聖和
(56)【参考文献】
【文献】韓国公開特許第１０－２００５－０１１８０１５（ＫＲ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第１０－２０２０－００４１５０１（ＫＲ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第２００３－００７０７４３（ＫＲ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１５－００７６７５２（ＫＲ，Ａ）
【文献】特開平０７－１３５１９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－２７３９３１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－０５５２９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０８－０２２９７４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージを乾燥させるためのパッケージ乾燥装置であって、前記パッケージを吸着し、上方又は下方を向くように回転可能な反転テーブルと、
前記反転テーブルの下部に配置され、前記パッケージから飛散した水気を収容するチャンバーと、
前記チャンバーの内部で水平方向に沿って移動可能に構成され、前記パッケージに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニットと、
前記チャンバーの下端に配置され、前記水気を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記反転テーブルは、前記チャンバーの上部に位置する間に、前記パッケージを吸引して上方を向いた状態から、下方を向いた状態に回転することによって、前記パッケージの水気が前記チャンバーに落ちるように誘導する、パッケージ乾燥装置。
【請求項2】
前記反転テーブルは、第１水平方向に沿って第１長さを有し、前記第１水平方向に対して直交する第２水平方向に沿って前記第１長さよりも長い第２長さを有し、前記上方空気噴射ユニットは、前記第１水平方向に沿って移動するように構成されることを特徴とする、請求項１に記載のパッケージ乾燥装置。
【請求項3】
前記上方空気噴射ユニットは、ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含むことを特徴とする、請求項１に記載のパッケージ乾燥装置。
【請求項4】
前記空気排出口は、前記水平方向に対して上方に垂直な垂直方向に設けられた第１排出口と、
前記垂直方向から第１水平方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第２排出口と、
前記垂直方向から第１水平方向の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第３排出口と、を含むことを特徴とする、請求項３に記載のパッケージ乾燥装置。
【請求項5】
前記チャンバーの両側面にそれぞれ配置され、下方に空気を噴射する側面空気噴射ユニットをさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のパッケージ乾燥装置。
【請求項6】
前記チャンバーの内部で前記吸引ユニットの上部に位置した区分壁をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のパッケージ乾燥装置。
【請求項7】
半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージをハンドリングするためのパッケージハンドリング装置であって、前記パッケージのボール面が上方を向いた状態で前記パッケージのマーク面を下部で吸着し、前記パッケージのボール面が下方を向くように回転する反転テーブルと、
前記反転テーブルの下部に位置し、前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、
前記反転テーブルの下部に位置し、前記パッケージの前記ボール面を検査するボール検査ユニットと、
前記ボール面が下方を向いた状態で前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパ
レットテーブルと、
前記パレットテーブルの上部に位置し、前記パッケージのマーク面を検査するマーク検査ユニットと、を含み、
前記乾燥ユニットは、
前記反転テーブルの下部に配置され、前記パッケージから飛散した水気を収容するチャンバーと、
前記チャンバーの内部で水平方向に沿って移動できるように構成され、前記パッケージに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニットと、
前記チャンバーの下端に配置され、前記水気を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記反転テーブルは、前記チャンバーの上部に位置する間に、前記パッケージを吸引して前記ボール面が上方を向いた状態から、前記ボール面が下方を向いた状態に回転することによって、前記パッケージの水気が前記チャンバーに落ちるように誘導する、パッケージハンドリング装置。
【請求項8】
前記反転テーブルは、第１水平方向に沿って第１長さを有し、前記第１水平方向に対して直交する第２水平方向に沿って前記第１長さよりも長い第２長さを有し、前記上方空気噴射ユニットは、前記第１水平方向に沿って移動するように構成されることを特徴とする、請求項７に記載のパッケージハンドリング装置。
【請求項9】
前記上方空気噴射ユニットは、ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含むことを特徴とする、請求項７に記載のパッケージハンドリング装置。
【請求項10】
前記空気排出口は、前記水平方向に対して上方に垂直な垂直方向に設けられた第１排出口と、
前記垂直方向から第１水平方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第２排出口と、
前記垂直方向から第１水平方向の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第３排出口と、を含むことを特徴とする、請求項９に記載のパッケージハンドリング装置。
【請求項11】
前記チャンバーの両側面にそれぞれ配置され、下方に空気を噴射する側面空気噴射ユニットをさらに含むことを特徴とする、請求項７に記載のパッケージハンドリング装置。
【請求項12】
前記チャンバーの内部で前記吸引ユニットの上部に位置した区分壁をさらに含むことを特徴とする、請求項７に記載のパッケージハンドリング装置。
【請求項13】
半導体ストリップ切断及び分類設備において、複数のパッケージが配置された半導体ストリップが積載されるローディングユニットと、
前記半導体ストリップを切断して個別化された半導体パッケージを移送する切断ユニットと、
前記半導体パッケージを乾燥及び検査してトレイに収納する分類ユニットと、を含み、
前記分類ユニットは、
前記パッケージのボール面が上方を向いた状態で前記パッケージのマーク面を下部で吸着し、前記パッケージのボール面が下方を向くように回転する反転テーブルと、
前記反転テーブルの下部に位置し、前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、
前記反転テーブルの下部に位置し、前記パッケージの前記ボール面を検査するボール検査ユニットと、
前記ボール面が下方を向いた状態で前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、
前記パレットテーブルの上部に位置し、前記パッケージのマーク面を検査するマーク検査ユニットと、を含み、
前記乾燥ユニットは、
前記反転テーブルの下部に配置され、前記パッケージから飛散した水気を収容するチャンバーと、
前記チャンバーの内部で水平方向に沿って移動できるように構成され、前記パッケージに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニットと、
前記チャンバーの下端に配置され、前記水気を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記反転テーブルは、前記チャンバーの上部に位置する間に、前記パッケージを吸引して前記ボール面が上方を向いた状態から、前記ボール面が下方を向いた状態に回転することによって、前記パッケージの水気が前記チャンバーに落ちるように誘導する、半導体ストリップ切断及び分類設備。
【請求項14】
前記反転テーブルは、第１水平方向に沿って第１長さを有し、前記第１水平方向に対して直交する第２水平方向に沿って前記第１長さよりも長い第２長さを有し、前記上方空気噴射ユニットは、前記第１水平方向に沿って移動するように構成されることを特徴とする、請求項１３に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
【請求項15】
前記上方空気噴射ユニットは、ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含むことを特徴とする、請求項１３に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
【請求項16】
前記空気排出口は、前記水平方向に対して上方に垂直な垂直方向に設けられた第１排出口と、
前記垂直方向から第１水平方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第２排出口と、
前記垂直方向から第１水平方向の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第３排出口と、を含むことを特徴とする、請求項１５に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
【請求項17】
前記チャンバーの両側面にそれぞれ配置され、下方に空気を噴射する側面空気噴射ユニットと、前記チャンバーの内部で前記吸引ユニットの上部に位置した区分壁と、をさらに含むことを特徴とする、請求項１３に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体ストリップ切断及び分類設備におけるパッケージ乾燥装置に係り、より具体的には、個別化されたパッケージを迅速かつ効果的に乾燥させるための装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造工程は、ウエハ上に半導体素子を製造するための工程であって、例えば露光、蒸着、エッチング、イオン注入、洗浄などを含む。半導体ストリップ切断及び分類装備は、複数のパッケージが配置されたストリップをパッケージ単位で切断して個別化し、各パッケージに対する洗浄、乾燥、検査を介して良好又は不良状態を区分して、最終的な収納容器であるトレイにそれぞれ分類して積載する。
【0003】
各パッケージに対する検査は、カメラなどのビジョン検査装置を用いて行われ、精密な検査のために、各パッケージに対しては、検査の妨げになるおそれのある異物が除去されなければならない。切断されたパッケージの洗浄に使用された洗浄液も、検査過程で邪魔になるおそれがあるので、パッケージに洗浄液が残っていないように管理する必要がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
そこで、本発明の実施形態は、個別化された半導体パッケージに残っている洗浄液を迅速かつ効果的に除去することができるパッケージ乾燥装置、及びパッケージ乾燥装置を含む半導体ストリップ切断及び分類装備を提供することを目的とする。
【0005】
本発明の解決課題は、上述したものに限定されず、上述してない他の解決課題は、以降の記載から当業者に明確に理解できるだろう。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージを乾燥させるためのパッケージ乾燥装置は、前記パッケージを吸着し、上方又は下方を向くように回転可能な反転テーブルと、前記反転テーブルの下部に配置され、前記パッケージから飛散した水気を収容するチャンバーと、前記チャンバーの内部で水平方向に沿って移動可能に構成され、前記パッケージに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニットと、前記チャンバーの下端に配置され、前記水気を吸引する吸引ユニットと、を含んでなる。
【0007】
本発明の実施形態によれば、前記反転テーブルは、上方を向いた状態で前記パッケージを吸引し、前記パッケージを吸引した状態で下方に回転して前記パッケージの水気が前記チャンバーに落ちるように誘導することができる。
【0008】
本発明の実施形態によれば、前記反転テーブルは、第１水平方向に沿って第１長さを有し、前記第１水平方向に対して直交する第２水平方向に沿って前記第１長さよりも長い第２長さを有し、前記上方空気噴射ユニットは、前記第１水平方向に沿って移動するように構成できる。
【0009】
本発明の実施形態によれば、前記上方空気噴射ユニットは、ハウジングと、前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含むことができる。
【0010】
本発明の実施形態によれば、前記空気排出口は、前記水平方向に対して上方に垂直な垂直方向に設けられた第１排出口と、前記垂直方向から第１水平方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第２排出口と、前記垂直方向から第１水平方向の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第３排出口と、を含むことができる。
【0011】
本発明の実施形態によれば、前記パッケージ乾燥装置は、前記チャンバーの両側面にそれぞれ配置され、下方に空気を噴射する側面空気噴射ユニットをさらに含むことができる。
【0012】
本発明の実施形態によれば、前記チャンバーの内部で前記吸引ユニットの上部に位置した区分壁をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【0013】
本発明の実施形態によれば、パッケージを吸引した反転テーブルの下部に水気を収容するチャンバーを配置し、上方空気噴射ユニットと吸引ユニットをチャンバーの内部に構成することにより、パッケージの水気を迅速かつ効果的に除去することができる。
【0014】
本発明の効果は、上述したものに限定されず、上述していない他の効果は、以降の記載から当業者に明確に理解できるだろう。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本発明の実施形態による半導体ストリップ切断及び分類設備の概略的な構造を示す図である。
【図2】パッケージを吸引した状態の反転テーブルを示す図である。
【図3】パッケージを吸引した状態の反転テーブルを示す図である。
【図4】本発明の実施形態に係るパッケージ乾燥装置を示す図である。
【図5】本発明の実施形態に係るパッケージ乾燥装置の配置及び移動方向を示す図である。
【図6】本発明の実施形態に係るパッケージ乾燥装置の配置及び移動方向を示す図である。
【図7a】本発明の実施形態に係る上方空気噴射ユニットを示す図である。
【図7b】本発明の実施形態に係る上方空気噴射ユニットを示す図である。
【図8】本発明の他の実施形態に係るパッケージ乾燥装置を示す図である。
【図9】本発明の実施形態に係るパッケージの乾燥及び検査工程を示す図である。
【図10】本発明の実施形態に係るパッケージの乾燥及び検査工程を示す図である。
【図11】本発明の実施形態に係るパッケージの乾燥及び検査工程を示す図である。
【図12】本発明の実施形態に係るパッケージの乾燥及び検査工程を示す図である。
【図13】本発明の別の実施形態に係るパッケージの乾燥過程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施し得るように詳細に説明する。本発明は、様々に異なる形態で実現でき、ここで説明する実施形態に限定されない。
【0017】
本発明を明確に説明するために、説明と関係のない部分は省略し、明細書全体にわたって、同一又は類似の構成要素については同一の参照符号を付する。
【0018】
また、いくつかの実施形態において、同一の構成を有する構成要素については同一の符号を使用して代表的な実施形態でのみ説明し、それ以外の他の実施形態では、代表的な実施形態とは異なる構成についてのみ説明する。
【0019】
明細書全体にわたって、ある部分が他の部分と「連結（又は結合）」されているとするとき、これは、「直接的に連結（又は結合）」されている場合だけでなく、別の部材を挟んで「間接的に連結（又は結合）」されている場合も含む。また、ある部分がある構成要素を「含む」とするとき、これは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
【0020】
他に定義されない限り、技術的又は科学的な用語を含めてここで使用されるすべての用語は、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者によって一般的に理解されるのと同じ意味を持っている。一般的に使用される辞典に定義されている用語は、関連技術の文脈上持つ意味と一致する意味を持つものと解釈されるべきであり、本出願において明白に定義しない限り、理想的又は過度に形式的な意味で解釈されない。
【0021】
図１は本発明の実施形態による半導体ストリップ切断及び分類設備１０の概略的な構造を示す。図１を参照すると、本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備１０は、ローディングユニット１００、切断ユニット２００、及び分類ユニット３００を含む。
【0022】
本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備１０は、複数のパッケージが配置された半導体ストリップＳが積載されるローディングユニット１００と、半導体ストリップＳを切断して個別化されたパッケージＰを移送する切断ユニット２００と、パッケージＰを乾燥及び検査してトレイに収納する分類ユニット３００と、を含む。
【0023】
ローディングユニット１００は、外部から移送された半導体ストリップＳを切断ユニット２００の一時保管ユニット２０５に伝達する。図１に詳細に示されていないが、ローディングユニット１００は、半導体ストリップＳが積載されるマガジンと、半導体ストリップＳを押して伝達するプッシャーと、を含むことができる。ローディングユニット１００に供給された半導体ストリップＳは、一時保管ユニット２０５に位置することができる。
【0024】
ストリップピッカー２１０は、一時保管ユニット２０５に位置した半導体ストリップＳを把持してチャックテーブル２４０へ移送する。パッケージピッカー２２０は、カッター２５０によって切断されてチャックテーブル２４０を介して移送されたパッケージＰを真空吸着方式で把持して洗浄ユニット２６０及び反転テーブル３１０へ移送する。ガイドフレーム２３０は、ストリップピッカー２１０、パッケージピッカー２２０がＸ軸方向に移動するための経路を提供する。ガイドフレーム２３０には、ストリップピッカー２１０及びパッケージピッカー２２０を移動させるための駆動部が結合できる。
【0025】
チャックテーブル２４０は、ストリップピッカー２１０とカッター２５０との間、及びカッター２５０とパッケージピッカー２２０との間で半導体ストリップＳとパッケージＰがそれぞれ移送されるようにすることができる。チャックテーブル２４０は、Ｙ軸方向に移動することができ、Ｚ軸方向を中心に回転することができ、半導体ストリップＳが搭載されることができる。チャックテーブル２４０は、ストリップピッカー２１０によって移送された半導体ストリップＳを吸着してカッター２５０へ移送する。また、チャックテーブル２４０は、カッター２５０によって切断が完了した複数のパッケージＰをパッケージピッカー２２０へ伝達する。つまり、チャックテーブル２４０は、カッター２５０と第１ガイドフレーム２３０との間を往復移動することができる。パッケージピッカー２２０は、洗浄ユニット２６０で洗浄された半導体パッケージＰを吸着して反転テーブル３１０へ移送し、反転テーブル３１０に移送された半導体パッケージＰは、乾燥ユニット３２０によって乾燥することができる。反転テーブル３１０は、第２ガイドフレーム３１５を沿って移動することができる。
【0026】
分類ユニット３００は、各半導体パッケージＰに対する検査結果に基づいて半導体パッケージＰをそれぞれ分類する。分類ユニット３００は、個別化されたパッケージＰをハンドリングするためのハンドリング装置と呼ばれることができる。より具体的には、分類ユニット３００は、ボール検査ユニット３３０Ｂ、マーク検査ユニット３３０Ｍ、アライン検査ユニット３６０によって検査が完了して第１パレットテーブル３４１と第２パレットテーブル３４６に積載された半導体パッケージＰを個別にピックアップし、検査結果に基づいて順次分類して他所へ移送する。第１パレットテーブル３４１と第２パレットテーブル３４６は、それぞれ、第１パレット駆動部材３４０と第２パレット駆動部材３４５によって移動することができる。
【0027】
このための分類ユニット３００は、ソーティングピッカー３７０、ソーティングピッカー駆動部材３８０、第１搬出トレイ３５１、第２搬出トレイ３５２、第１搬出トレイ駆動部材３５０及び第２搬出トレイ駆動部材３５５を含むことができる。
【0028】
ソーティングピッカー３７０は、ボール検査ユニット３３０Ｂ、マーク検査ユニット３３０Ｍ、アライン検査ユニット３６０によって検査が完了して第１パレットテーブル３４１と第２パレットテーブル３４６にそれぞれ積載された半導体パッケージＰをピックアップして、後述する第１搬出トレイ３５１、第２搬出トレイ３５６へ移送する。
【0029】
ソーティングピッカー駆動部材３８０は、レール形状をしてＸ軸方向に設置され、一部分はアライン検査ユニット３６０と隣接するように位置することができる。ソーティングピッカー駆動部材３８０は、ソーティングピッカー３７０をＸ軸方向に移動させる。このためのソーティングピッカー駆動部材３８０は、ソーティングピッカー３７０の移動のための駆動手段が内蔵されているものであり得る。
【0030】
第１搬出トレイ３５１と第２搬出トレイ３５６は、それぞれ良品半導体パッケージＰと不良品半導体パッケージＰを積載して他所へ搬出することができる。これとは異なり、第１搬出トレイ３５１と第２搬出トレイ３５６は、製造された状態に応じて半導体パッケージＰを等級付け、等級に応じてそれぞれ積載することも可能である。例えば、第１搬出トレイ３５１はＡ等級の半導体パッケージＰを積載し、第２搬出トレイ３５６はＡ等級よりも製造された状態が低いＢ等級の半導体パッケージＰを積載することができる。
【0031】
ソーティングピッカー３７０が第１パレットテーブル３４１と第２パレットテーブル３４６から半導体パッケージＰをピックアップして第１搬出トレイ３５１又は第２搬出トレイ３５６のそれぞれにすべて積載させると、第１搬出トレイ３５１又は第２搬出トレイ３５６は、Ｙ軸方向に移動して半導体パッケージＰを他所へ伝達する。
【0032】
第１搬出トレイ駆動部材３５０は、第１搬出トレイ３５１を移動させる。第１搬出トレイ駆動部材３５０は、第１搬出トレイ３５１の移動のための駆動手段が内蔵されているものであり得る。
【0033】
第２搬出トレイ駆動部材３５５は、第２搬出トレイ３５６を移動させる。第２搬出トレイ駆動部材３５５は、第２搬出トレイ３５６の移動のための駆動手段が内蔵されているものであり得る。
【0034】
半導体ストリップ切断及び分類設備１０は、前述したように、半導体ストリップＳを切断、洗浄、乾燥、及び検査後分類して他所へ排出することができる。一方、本発明の実施形態によるパッケージピッカー２２０が半導体ストリップ切断及び分類設備１０に含まれることに限定されず、一般的な半導体パッケージ製造システムに適用可能である。以下、洗浄ユニット２６０で洗浄液を用いて洗浄したパッケージＰを乾燥ユニット３２０で迅速かつ効果的に乾燥させるための装置及び方法について説明する。
【0035】
一般的に、半導体ストリップＳとパッケージＰは、電気的接続のためのボール（Ｂａｌｌ）が形成されたボール面Ｂと、各パッケージＰのマークが刻印されるマーク面Ｍとから構成される。一方、パッケージＰのボール面Ｂが上面を向き、マーク面Ｍが下方を向く状態がデッドバグ（Ｄｅａｄ Ｂｕｇ）と呼ばれ、パッケージＰのマーク面Ｍが上方を向き、ボール面が下方を向く状態がライブバグ（Ｌｉｖｅ Ｂｕｇ）と呼ばれる。切断ユニット２００における切断及び洗浄工程は、すべてボール面Ｂが上部を向いたデッドバグ状態で行われ、各パッケージＰは、デッドバグ状態でパッケージピッカー２２０によって反転テーブル３１０に伝達される。
【0036】
図２の（ａ）及び図３の（ａ）を参照すると、反転テーブル３１０は、水平方向に移動可能な外郭フレーム３１１と、パッケージＰを吸着して固定させる吸着テーブル３１２と、外郭フレーム３１１に対して吸着テーブル３１２が回転するようにした回転軸３１３と、を含む。吸着テーブル３１２は、パッケージＰのマーク面Ｍを吸引した状態で回転軸３１３を中心に回転して、図２の（ｂ）に示すようにパッケージＰのボール面Ｂが上方を向くようにすることができ、また、図３の（ｂ）に示すようにパッケージＰのボール面Ｂが下方を向くようにすることができる。
【0037】
本発明の実施形態によれば、図３に示すように、パッケージＰが下方を向いた状態で乾燥を行うが、下から上に空気を噴射して、パッケージＰに残っている洗浄液が重力と空気の圧力によってパッケージＰから分離されるようにする。また、本発明の実施形態によれば、パッケージＰから分離された洗浄液が収容される容器を下部に配置し、下端で洗浄液を吸引することにより、洗浄液が迅速かつ効果的に収集及び排出されることができる。以下、本発明の実施形態に係るパッケージＰの乾燥装置について詳細に説明する。
【0038】
図４は本発明の実施形態に係るパッケージ乾燥装置を示す。図４を参照すると、本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備１０で個別化されたパッケージＰを乾燥させるためのパッケージ乾燥装置は、パッケージＰを吸着し、上方又は下方を向くように回転可能な反転テーブル３１０と、反転テーブルの下部に配置され、前記パッケージから飛散した水気を収容するチャンバー３２１０と、チャンバー３２１０の内部で水平方向（例えば、ｘ方向）に沿って移動可能に構成され、パッケージＰを向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニット３２２０と、チャンバー３２１０の下端に配置され、水気を吸引する吸引ユニット３２３０と、を含む。
【0039】
図２及び図３に示されているように、反転テーブル３１０は、水平方向に移動可能な外郭フレーム３１１、パッケージＰを吸着して固定させる吸着テーブル３１２、及び外郭フレーム３１１に対して吸着テーブル３１２が回転するようにする回転軸３１３を含む。吸着テーブル３１２は、パッケージＰのマーク面Ｍを吸引した状態で回転軸３１３を中心に回転して、図２の（ｂ）に示すようにパッケージＰのボール面Ｂが上方を向くようにすることができ、また、図３の（ｂ）に示すようにパッケージＰのボール面Ｂが下方を向くようにすることができる。
【0040】
本発明の実施形態によれば、反転テーブル３１０は、上方を向いた状態でパッケージＰを吸引し、パッケージＰを吸引した状態で下方に回転してパッケージＰの水気がチャンバー３２１０に落ちるように誘導することができる。それにより、図２に示すように、パッケージＰのボール面Ｂが上方を向いた状態で乾燥を行う場合と比較して洗浄液が重力によってチャンバー３２１０に落ちるので、より洗浄液が効果的に除去されることができる。
【0041】
チャンバー３２１０は、パッケージＰから水気を収容する容器であって、上部から下部に行くほど狭くなる形状に提供されることができる。チャンバー３２１０の上端は、洗浄液を収容するために開口した形態で提供されることができ、チャンバー３２１０の下端は、洗浄液を吸い込む吸引ユニット３２３０及び洗浄液が排出される排出ラインと接続されることができる。一方、チャンバー３２１０には、上方空気噴射ユニット３２２０が水平方向に移動するためのガイド（図示せず）が形成されることができる。
【0042】
本発明の実施形態によれば、パッケージ乾燥装置（乾燥ユニット３２０）は、チャンバー３２１０の両側面にそれぞれ配置され、下方に空気を噴射する側面空気噴射ユニット３２４０をさらに含むことができる。側面空気噴射ユニット３２４０によって噴射された空気は、チャンバー３２１０の水気を下方に誘導し、それにより、チャンバー３２１０に残っている水気が上方に飛び散らずに下方の吸引ユニット３２３０によって吸引されることができる。
【0043】
また、パッケージ乾燥装置（乾燥ユニット３２０）は、チャンバー３２１０の内部で吸引ユニット３２３０の上部に位置した区分壁３２５０をさらに含むことができる。区分壁３２５０は、図４に示すように、チャンバー３２１０の中間地帯に垂直方向に設けられた隔壁と、隔壁の上部に設けられた遮断壁と、を含むことができ、側面空気噴射ユニット３２４０によって噴射された空気は、隔壁と遮断壁によって渦流を形成し、隔壁と遮断壁によって形成された渦流は、チャンバー３２１０内の水気が上方に飛び散らずに吸引ユニット３２３０によって吸引されるように誘導することができる。
【0044】
【0045】
本発明の実施形態によれば、反転テーブル３１０は、第１水平方向（例えば、ｘ方向）に沿って第１長さ（例えば、２３０ｍｍ）を有し、第１水平方向に対して直交する第２水平方向（例えば、ｙ方向）に沿って第１長さよりも長い第２長さ（例えば、３３０ｍｍ）を有することができる。例えば、図５に示すように、反転テーブル３１０は、ｙ方向に長い形状を有することができる。
【0046】
ここで、上方空気噴射ユニット３２２０は、第１水平方向（例えば、ｘ方向）に沿って移動するように構成できる。上方空気噴射ユニット３２２０は、チャンバー３２１０の内部に配置されたガイドに沿って移動することができ、また、チャンバー３２１０の移動によって一緒に移動することもできる。図５及び図６に示されているように、チャンバー３２１０及び上方空気噴射ユニット３２２０を始めとして、乾燥ユニット３２０は、第２水平方向（例えば、ｙ方向）に沿って長く構成され、第１水平方向（例えば、ｘ方向）に沿って往復移動することができる。それにより、第２水平方向（例えば、ｙ方向）に沿って移動する場合に比べて、往復時の移動経路をより短く構成することができ、乾燥のために必要な時間が短縮できる。
【0047】
一方、反転テーブル３１０が複数で構成でき、一つの乾燥ユニット３２０によって乾燥する場合、図１３に示すように乾燥ユニット３２０（チャンバー３２１０）が第１方向（例えば、ｘ方向）に往復しながらパッケージＰを乾燥させることができる。この場合にも、第２方向（例えば、ｙ方向）に移動する場合よりも短く形成された第１方向（例えば、ｘ方向）にチャンバー３２１０と上方空気噴射ユニット３２２０が移動することにより、乾燥時間を短縮させることができる。
【0048】
図７ａ及び図７ｂは本発明の実施形態に係る上方空気噴射ユニット３２２０を示す。図７ａに示されているように、本発明の実施形態に係る前記上方空気噴射ユニット３２２０は、ハウジング３２２１と、ハウジング３２２１の一側に設けられた空気流入口３２２２と、ハウジング３２２１の内部で空気流入口３２２２の周辺に配置されたヒーター３２２３と、ヒーター３２２３から発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルム３２２４と、ハウジング３２２１の他側に設けられた空気排出口３２２５と、を含むことができる。
【0049】
ハウジング３２２１は、チャンバー３２１０の内部で第２方向（例えば、ｙ方向）に沿って長く形成されることができ、第１方向（例えば、ｘ方向）に沿って移動するためのガイドと結合されて移動できるように構成されることができる。ハウジング３２２１の一側に設けられた空気流入口３２２２は、空気が流入するラインに接続され、空気流入口３２２２を介して流入した空気がハウジング３２２１の内部に供給される。ヒーター３２２３は、空気流入口３２２２を介して供給された空気に熱エネルギーを加え、熱伝導フィルム３２２４は、ヒーター３２２３によって放出された熱エネルギーをハウジング３２２１内の空間に均等に伝達する。熱エネルギーによって高温の空気は空気排気口３２２５によって排出されてパッケージＰから水気を除去することができる。本発明の実施形態によれば、上方空気噴射ユニット３２２０は、高温の空気をパッケージＰに向かって噴射し、ヘアドライヤーのように高温の空気が持つ熱エネルギーがパッケージＰの水気を蒸発させながら除去することができるので、より迅速かつ効果的にパッケージＰを乾燥させることができる。
【0050】
本発明の実施形態によれば、図７ｂに示すように、空気排出口３２２５は、水平方向（例えば、ｘ、ｙ方向）に対して上方に垂直な垂直方向（例えば、ｚ方向）に設けられた第１排出口３２２５Ａと、垂直方向（例えば、ｚ方向）から第１水平方向（例えば、ｘ方向）に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第２排出口３２２５Ｂと、垂直方向（例えば、ｚ方向）から第１水平方向の反対方向（例えば、－ｘ方向）に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第３排出口３２２５Ｃと、を含む。図７ｂに示されているように、上方空気噴射ユニット３２２０は、空気排出口３２２５を介して垂直方向だけでなく、傾いた方向にも空気を噴射し、それにより、パッケージＰの側面のように水気がよく生じる空間にも空気が噴射されて水気が効果的に除去されることができる。
【0051】
図８は本発明の他の実施形態によるパッケージ乾燥装置を示す。図８によるパッケージ乾燥装置は、チャンバー３２１０の両側面に設けられ、上方に空気を噴射することによりエアカーテンを形成するエアカーテン形成ユニット３２６０をさらに含む。エアカーテン形成ユニット３２６０は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に空気を排出し、上方空気噴射ユニット３２２０によって噴射された空気により落ちる洗浄液が外部に抜け出さないようにエアカーテンを形成する。洗浄液が外部に逸脱することなくチャンバー３２１０に収容されるので、乾燥ユニット３２０の周辺の装置、例えば、ボール検査ユニット３３０Ｂに水気が飛散するのを防止することができる。
【0052】
また、本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備１０で個別化されたパッケージＰをハンドリングするためのパッケージハンドリング装置は、パッケージＰのボール面Ｂが上方を向いた状態でパッケージＰのマーク面Ｍを下部で吸着し、パッケージＰのボール面Ｂが下方を向くように回転する反転テーブル３１０と、反転テーブル３１０の下部に位置し、パッケージＰを乾燥させる乾燥ユニット３２０と、反転テーブル３１０の下部に位置し、パッケージＰのボール面Ｂを検査するボール検査ユニット３３０Ｂと、ボール面Ｂが下方を向いた状態で反転テーブル３１０からパッケージＰを収容するパレットテーブル３４１、３４６と、パレットテーブル３４１、３４６の上部に位置し、パッケージＰのマーク面Ｍを検査するマーク検査ユニット３３０Ｍと、を含む。ここで、乾燥ユニット３２０は、反転テーブル３１０の下部に配置され、パッケージＰから飛散した水気を収容するチャンバー３２１０と、チャンバー３２１０の内部で水平方向に沿って移動できるように構成され、パッケージＰに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニット３２２０と、チャンバー３２１０の下端に配置され、水気を吸引する吸引ユニット３２３０と、を含むことができる。
【0053】
本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備１０は、複数のパッケージが配置された半導体ストリップＳが積載されるローディングユニット１００と、半導体ストリップＳを切断して個別化された半導体パッケージを移送する切断ユニット２００と、半導体パッケージＰを乾燥及び検査してトレイ３５１、３５６に収納する分類ユニット３００と、を含む。分類ユニット３００は、パッケージＰのボール面Ｂが上方を向いた状態でパッケージＰのマーク面Ｍを下部で吸着し、パッケージＰのボール面Ｂが下方を向くように回転する反転テーブル３１０と、反転テーブル３１０の下部に位置し、パッケージＰを乾燥させる乾燥ユニット３２０と、反転テーブル３１０の下部に位置し、パッケージＰのボール面Ｂを検査するボール検査ユニット３３０Ｂと、ボール面Ｂが下方を向いた状態で反転テーブル３１０からパッケージＰを収容するパレットテーブル３４１、３４６と、パレットテーブル３４１、３４６の上部に位置し、パッケージＰのマーク面Ｍを検査するマーク検査ユニット３３０Ｍと、を含む。ここで、乾燥ユニット３２０は、反転テーブル３１０の下部に配置され、パッケージＰから飛散した水気を収容するチャンバー３２１０と、チャンバー３２１０の内部で水平方向に沿って移動できるように構成され、パッケージＰに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニット３２２０と、チャンバー３２１０の下端に配置され、水気を吸引する吸引ユニット３２３０と、を含むことができる。
【0054】
図９乃至図１２は本発明の実施形態に係るパッケージＰの乾燥及び検査工程を示す。図９を参照すると、先立って説明したように反転テーブル３１０にパッケージＰが移送され、反転テーブル３１０によって吸着されたパッケージＰのボール面Ｂが反転テーブル３１０の回転によって下方を向く。上述したように、乾燥ユニット３２０が反転テーブル３１０の下部に位置してパッケージＰの水気を除去する。
【0055】
以後、図１０に示すように、反転テーブル３１０の下部に位置したボール検査ユニット３３０ＢによってパッケージＰに対する検査が行われ、検査が完了すると、図１１に示すように、反転テーブル３１０がパレットテーブル３４１、３４６の上部に位置する。その後、反転テーブル３１０が下降するか或いはパレットテーブル３４１、３４６が上昇してパレットテーブル３４１、３４６がパッケージＰと接触し、反転テーブル３１０による真空吸着が解除されてパッケージＰがパレットテーブル３４１、３４６上に搭載される。この時、パレットテーブル３４１、３４６に搭載されたパッケージＰは、ライブバグ状態であって、マーク面Ｍが上方を向く。以後、パッケージＰが搭載されたパレットテーブル３４１、３４６は、パレット駆動部材３４０、３４５によって移動しながら、上部に位置したマーク検査ユニット３３０Ｍによって検査が行われる。
【0056】
本発明の実施形態によれば、乾燥ユニット３２０による乾燥及びボール検査ユニット３３０Ｂによる検査が一緒に順次行われる。本発明の実施形態によれば、検査と乾燥が一緒に行われることにより、より迅速にパッケージＰをハンドリングすることができ、結果的にパッケージＰの処理効率を増加させることができる。
【0057】
たとえ、図１には反転テーブル３１０が一つである場合を例として説明したが、反転テーブル３１０は、第１反転テーブル３１０－１及び第２反転テーブル３１０－２のように複数提供されることができる。この場合、図１３に示されているように、乾燥ユニット３２０は、第１方向（例えば、ｘ方向）に沿って往復移動しながら、第１反転テーブル３１０－１及び第２反転テーブル３１０－２に吸着されたパッケージＰを乾燥させることができる。
【0058】
本実施形態及び本明細書に添付された図面は、本発明に含まれる技術的思想の一部を明確に示しているものに過ぎず、本発明の明細書及び図面に含まれている技術的思想の範囲内で当業者が容易に類推することができる変形例と具体的な実施形態はいずれも本発明の権利範囲に含まれることが自明であるというべきである。
【0059】
したがって、本発明の思想は、説明された実施形態に局限されて定められてはならず、後述する特許請求の範囲だけでなく、この特許請求の範囲と均等であるか或いは等価的変形があるすべてのものは、本発明の思想の範疇に属するというべきである。
【符号の説明】
【0060】
１００ ローディングユニット
２００ 切断ユニット
２０５ 一時保管ユニット
２１０ ストリップピッカー
２２０ ピッカー
２３０ ガイドフレーム
２４０ チャックテーブル
２５０ カッター
２６０ 洗浄ユニット
３００ 分類ユニット
３１０ 反転テーブル
３２０ 乾燥ユニット
３３０Ｂ ボール検査ユニット
３３０Ｍ マーク検査ユニット
３４０ 第１パレット駆動部材
３４１ 第１パレットテーブル
３４５ 第２パレット駆動部材
３４６ 第２パレットテーブル
３５０ 第１搬出トレイ駆動部材
３５１ 第１搬出トレイ
３５５ 第２搬出トレイ駆動部材
３５６ 第２搬出トレイ
３６０ 検査部
３７０ ソーティングピッカー
３８０ ソーティングピッカー駆動部材
８００ 分類部
Ｐ 半導体パッケージ
Ｓ 半導体ストリップ
２００ 切断ユニット
２０５ 一時保管ユニット
２１０ ストリップピッカー
２２０ ピッカー
２３０ ガイドフレーム
２４０ チャックテーブル
２５０ カッター
２６０ 洗浄ユニット
３００ 分類ユニット
３１０ 反転テーブル
３２０ 乾燥ユニット
３３０Ｂ ボール検査ユニット
３３０Ｍ マーク検査ユニット
３４０ 第１パレット駆動部材
３４１ 第１パレットテーブル
３４５ 第２パレット駆動部材
３４６ 第２パレットテーブル
３５０ 第１搬出トレイ駆動部材
３５１ 第１搬出トレイ
３５５ 第２搬出トレイ駆動部材
３５６ 第２搬出トレイ
３６０ 検査部
３７０ ソーティングピッカー
３８０ ソーティングピッカー駆動部材
８００ 分類部
Ｐ 半導体パッケージ
Ｓ 半導体ストリップ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7a】
【図7b】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
