特許 7320336 非破壊試験のための装置、システム、及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-26

(45)【発行日】2023-08-03

(54)【発明の名称】非破壊試験のための装置、システム、及び方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 99/00 20110101AFI20230727BHJP

   G01N 21/954 20060101ALI20230727BHJP

   B64F 5/60 20170101ALN20230727BHJP

【ＦＩ】

G01M99/00 Z

G01N21/954

B64F5/60

【請求項の数】 13

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2017093813

(22)【出願日】2017-05-10

(65)【公開番号】P2018009969

(43)【公開日】2018-01-18

【審査請求日】2020-05-08

【審判番号】

【審判請求日】2022-05-11

(31)【優先権主張番号】15/158,057

(32)【優先日】2016-05-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】500520743

【氏名又は名称】ザ・ボーイング・カンパニー

【氏名又は名称原語表記】Ｔｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】サファイ， モルテザ

(72)【発明者】

【氏名】メレディス， キムバーリー ディー．

【合議体】

【審判長】樋口 宗彦

【審判官】上田 泰

【審判官】▲高▼見 重雄

(56)【参考文献】

【文献】特開昭５２－１２２１３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１１／０８３５１３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００５－３１５８２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－６１７３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２５５５７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２５８０１１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

G01M 99/00

G01N 21/84 - 21/958

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

環形状の空洞、
前記空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つ前記レーザービームを前記空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子、及び
前記空洞内で形成されて、前記空洞に沿って離間された複数の出力素子であって、前記複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられた前記レーザービームの各部分が、実質的に同じような強度を有するように、前記複数の出力素子の各出力素子が、前記レーザービームの部分を前記空洞の外へと方向付けるように構成されている、複数の出力素子
を備え、
前記空洞が、第１の環状側部、及び前記第１の環状側部に対向する第２の環状側部を備え、前記レーザービームは前記第１の環状側部及び前記第２の環状側部により反射され、
前記複数の出力素子のうちの少なくとも一つの出力素子は部分的反射材料を備え、前記レーザービームの第１の部分が前記部分的反射材料を通って前記空洞の外に方向付けられ、且つ前記レーザービームの第２の部分が前記部分的反射材料により反射されて前記空洞内に方向付けられている、装置。

【請求項2】

前記複数の出力素子のそれぞれが材料を含み、且つ
前記複数の出力素子のうちの少なくとも１つの出力素子の材料が、前記複数の出力素子のうちの少なくとも別の出力素子の材料と異なる、請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記複数の出力素子のうちの最後の出力素子が、非反射材料であって、前記レーザービームの残りの部分が当該非反射材料を通って前記空洞の外に方向付けられる非反射材料を備え、且つ
前記レーザービームの前記第１の部分及び前記レーザービームの前記残りの部分が、実質的に同じような強度を含む、
請求項１又は２に記載の装置。

【請求項4】

前記複数の出力素子の第１の出力素子が、前記レーザービームの前記第１の部分を前記空洞の外に方向付ける第１の部分的反射材料を備え、
前記複数の出力素子のうちの第２の出力素子が、前記レーザービームの第３の部分を前記空洞の外に方向付ける第２の部分的反射材料を備え、且つ
前記第１の部分的反射材料及び前記第２の部分的反射材料が、異なる反射特性を含み、前記レーザービームの前記第１の部分及び前記レーザービームの前記第３の部分が、実質的に同じような強度を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。

【請求項5】

前記レーザービームの前記第３の部分が前記空洞の外に方向付けされる前に、前記レーザービームの前記第１の部分が前記空洞の外に方向付けされ、
前記レーザービームの前記第１の部分が、前記レーザービームの第１のパーセンテージを有し、
前記レーザービームの前記第１の部分が前記空洞の外に方向付けられた後に、前記レーザービームの前記第２の部分が前記空洞内に残り、
前記レーザービームの前記第３の部分が、前記レーザービームの前記第２の部分の第２のパーセンテージを有し、且つ
前記第２のパーセンテージが前記第１のパーセンテージより大きい、請求項４に記載の装置。

【請求項6】

前記空洞が前記第１の環状側部及び前記第２の環状側部に囲まれている、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。

【請求項7】

前記複数の出力素子の各出力素子が、前記複数の出力素子のうちの隣接する出力素子から実質的に等間隔で離間されている、請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。

【請求項8】

前記入力素子が、前記空洞の前記第１の環状側部上に配置され、且つ
前記複数の出力素子が、前記空洞の前記第２の環状側部上に配置されている、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。

【請求項9】

前記空洞の前記第１の環状側部の内表面が、反射性コーティングを含む、請求項８に記載の装置。

【請求項10】

前記空洞の前記第２の環状側部の内表面が、第１の不透明度から第２の不透明度まで変動する不透明度を有する部分的反射材料を含み、前記第１の不透明度が前記第２の不透明度より大きい、請求項８に記載の装置。

【請求項11】

物体の非破壊試験の方法であって、
装置を用いて物体（１０２）に照射を行うことであって、前記装置が、環形状の空洞と、前記空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つ前記レーザービームを前記空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子と、前記空洞内で形成されて、前記空洞に沿って離間された複数の出力素子であって、前記複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられた前記レーザービームの各部分が、実質的に同じような強度を有するように、前記複数の出力素子の各出力素子が、前記レーザービームの部分を前記空洞の外へと方向付けるように構成されている、複数の出力素子とを備えている、照射を行うことと、
前記複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられた前記レーザービームの各部分によって照射された前記物体の画像を撮ることと、
前記物体が欠陥を有するかどうかを判断するために前記画像を分析することと
を含み、
前記空洞が、第１の環状側部、及び前記第１の環状側部に対向する第２の環状側部を備え、前記レーザービームは前記第１の環状側部及び前記第２の環状側部により反射され、
前記複数の出力素子のうちの少なくとも一つの出力素子は部分的反射材料を備え、前記レーザービームの第１の部分が前記部分的反射材料を通って前記空洞の外に方向付けられ、且つ前記レーザービームの第２の部分が前記部分的反射材料により反射されて前記空洞内に方向付けられる、方法。

【請求項12】

前記物体（１０２）が欠陥を有するかどうかを判断するために前記画像を分析することが、面外変位を測定することを含む、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

前記面外変位を測定することが、画像減算を使用して、光学縞により検知された前記物体の表面における変化を差し引くことを含む、請求項１２に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、概して構造体の試験に関し、より具体的には、シェアログラフィーを用いた材料の非破壊試験に関する。

【背景技術】

【0002】

材料の試験には非破壊試験が使用され得る。非破壊試験を使用することにより、材料を破損せずに材料の特性を分析することができる。ある非破壊試験は、シェアログラフィーを用いて行われる。シェアログラフィーは、材料の品質に関する情報を提供するためにコヒーレント光又はコヒーレント音波を使用する。場合によっては、シェアログラフィーは、レーザー光を用いて、物体の表面領域を照射し、第１のパターンをつくる。第１のパターンは、物体が荷重下にある間にレーザー光が物体を照射した際に作られた第２のパターンから減算してもよい。物体に欠陥がないかを判断するためにその結果を分析することができる。

【0003】

あるレーザー割断装置は、レーザービームを割断して、物体を不均一に照射し得る。したがって、このようなレーザー割断装置で照射された物体は、シェアログラフィーを用いて分析することが難しい場合がある。

【0004】

これらの観点及び他の観点から、ここに本開示が提示される。

【発明の概要】

【0005】

本出願の主題は、先行技術の上述の欠点を克服するような、それぞれ実質的に同じような強度を有する入力レーザービームの部分を出力する出力素子を有する装置の実施例、及びその製造のための関連する方法を提供する。本出願の主題は、当技術分野の現行技術に対応して、具体的には、シェアログラフィーの実行に使用された従来のレーザー装置の欠点に対応して開発されたものである。

【0006】

一実施例によると、装置は、空洞を含む。この装置は、空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子をさらに含む。この装置は、さらに、空洞内で形成されて、且つ空洞に沿って離間されている複数の出力素子を含む。複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分が実質的に同じような強度を有するように、複数の出力素子の各出力素子は、レーザービームの部分を空洞の外へと方向付けるように構成されている。

【0007】

この装置の幾つかの実装形態では、複数の出力素子はそれぞれ材料を含む。複数の出力素子のうちの少なくとも１つの出力素子の材料は、複数の出力素子のうちの少なくとも別の出力素子の材料と異なる。

【0008】

この装置の特定の実装形態によると、複数の出力素子のうちの第１の出力素子は、部分的反射材料であって、レーザービームの第１の部分が当該部分的反射材料を通って空洞の外に方向付けられ、且つレーザービームの第２の部分が反射する、部分的反射材料を含み、複数の出力素子のうちの最後の出力素子は、非反射材料であって、レーザービームの残りの部分が当該非反射材料を通って空洞の外に方向付けられる非反射材料を含み、且つレーザービームの第１の部分及びレーザービームの残りの部分は、実質的に同じような強度を有する。

【0009】

この装置の特定の実施態様では、複数の出力素子の第１の出力素子は、レーザービームの第１の部分を空洞の外に方向付ける第１の部分的反射材料を含み、複数の出力素子のうちの第２の出力素子は、レーザービームの第２の部分を空洞の外に方向付ける第２の部分的反射材料を含み、且つ第１の部分的反射材料及び第２の部分的反射材料は、異なる反射特性を含み、レーザービームの第１の部分及びレーザービームの第２の部分は、実質的に同じような強度を有する。

【0010】

この装置の別の実装形態によると、レーザービームの第２の部分が空洞の外に方向付けされる前に、レーザービームの第１の部分は空洞の外に方向付けされ、レーザービームの第１の部分は、レーザービームの第１のパーセンテージを含み、レーザービームの第１の部分が空洞の外に方向付けられた後に、残りのレーザービームは空洞内に残り、レーザービームの第２の部分は、残りのレーザービームの第２のパーセンテージを含み、且つ第２のパーセンテージは第１のパーセンテージより大きい。

【0011】

この装置の幾つかの実装形態によると、空洞は囲まれている。この装置の幾つかの実装形態によると、複数の出力素子の各出力素子が、複数の出力素子のうちの隣接する出力素子から実質的に等間隔で離間されている。

【0012】

この装置の様々な実装形態では、空洞は、第１の側部、及び第１の側部に対向する第２の側部を備え、入力素子は、空洞の第１の側部上に配置され、且つ複数の出力素子は、空洞の第２の側部上に配置されている。

【0013】

この装置の特定の実装形態では、空洞の第１の側部は、反射性コーティングを含む。この装置の幾つかの実装形態では、空洞の第２の側部は、第１の不透明度から第２の不透明度まで変動する不透明度を有する部分的反射材料を含み、第１の不透明度は、第２の不透明度より大きい。

【0014】

別の実施例では、システムは、レーザービームを生成するように選択的に作動可能なレーザーを含む。このシステムは、空洞と、空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子と、空洞内で形成されて、空洞に沿って離間された複数の出力素子とを含む装置を含む。複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分が実質的に同じような強度を有するように、複数の出力素子の各出力素子は、レーザービームの部分を空洞の外へと方向付けるように構成されている。このシステムは、複数の出力素子の各出力素子から出るレーザービームの部分を拡散させるように構成された少なくとも１つのレーザービームダイバータをさらに含む。

【0015】

このシステムの幾つかの実装形態によると、少なくとも１つのレーザービームダイバータは、複数の出力素子のそれぞれの素子から出るレーザービームの部分を拡散させるように構成された複数のレーザービームダイバータを含む。

【0016】

このシステムの特定の実装形態では、システムは、複数の出力素子とレーザービームダイバータとの間に位置付けされた少なくとも１つの偏光子を含む。少なくとも１つの偏光子は、複数の出力素子の各出力素子から出るレーザービームの部分を偏光させるように構成されている。このシステムの幾つかの実装形態では、少なくとも１つの偏光子は、複数の出力素子から出るレーザービームの部分を実質的に同じような方向に偏光させるように構成されている。このシステムの幾つかの実装形態では、偏光子は、各出力素子から出るレーザービームの部分を複数の方向に偏光させるように構成されている。

【0017】

このシステムの幾つかの実装形態によると、システムは、複数の出力素子から出るレーザービームの部分によって照射された画像を撮るように位置付けされたカメラを含む。

【0018】

このシステムの幾つかの実装形態によると、複数の出力素子から出るレーザービームの部分は、実質的に同じような相を有する。

【0019】

さらに別の実施例によると、物体の非破壊試験の方法は、装置を用いて物体に照射を行うことを含む。この装置は、空洞と、空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子と、空洞内で形成されて、空洞に沿って離間された複数の出力素子とを含む。複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分が実質的に同じような強度を有するように、複数の出力素子の各出力素子は、レーザービームの部分を空洞の外へと方向付けるように構成されている。この方法は、複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分によって照射された物体の画像を撮ることをさらに含む。この方法は、物体が欠陥を有するかどうかを判断するために画像を分析することを含む。

【0020】

この方法の幾つかの実装形態では、物体が欠陥を有するかどうかを判断するために画像を分析することは、面外変位を測定することを含む。

【0021】

この方法の特定の実装形態によると、面外変位を測定することは、画像減算を使用して、光学縞により検知された物体の表面における変化を差し引くことを含む。

【0022】

記載されている本開示の主題の特徴、構造、利点、及び／又は特性は、１つ又は複数の実施例及び／又は実装態様において任意の適切な態様により組み合せてもよい。本開示の主題の実施例の包括的な理解を促すために、後述の記載において、数々の具体的な詳細が提供される。当業者であれば、本開示の主題は、特定の実施例又は実装態様の具体的な特徴、詳細、構成要素、材料、及び／又は方法のうちの１つ又は複数がなくても実施することができることを認識するであろう。他の場合では、さらなる特徴及び利点は、特定の実施例及び／又は実装態様において認識され得るが、すべての実施例又は実装態様には存在しない場合がある。さらに、ある場合には、本開示の主題の態様を不明瞭にしないように周知の構造、材料、又は工程を詳細に図示又は記載しない。本開示の主題の特徴及び利点は、後述の記載及び添付の特許請求の範囲によってさらに明らかとなるか、或いは、本主題を下記に記載するように実施することによって理解されるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0023】

本主題の利点がより容易に理解され得るように、上記で概説した主題のより具体的な記載が、添付図面に示す特定の実施例を参照して提供される。これらの図面は、本主題の実施例のみを図示していることから、本主題の範囲を限定するものと見なされるべきではない。本主題は、図面の使用を通じて、さらに具体的且つ詳細に記載され説明される。

【0024】

【図1】本開示の１つ又は複数の実施例に係る、シェアログラフィーによる非破壊試験を実行するためのシステムの概略ブロック図である。

【図2】本開示の１つ又は複数の実施例に係る、シェアログラフィーによる非破壊試験の対象となり得る構造体の斜視図である。

【図3】本開示の１つ又は複数の実施例に係る、レーザー複製システムの実施例の概略ブロック図である。

【図4】本開示の１つ又は複数の実施例に係る、レーザー複製システムの別の実施例の概略ブロック図である。

【図5A】本開示の１つ又は複数の実施例に係る、環形状レーザービームガイドの実施例の概略ブロック図である。

【図5B】本開示の１つ又は複数の実施例に係る、環形状レーザービームガイドの別の実施例の概略ブロック図である。

【図6】本開示の１つ又は複数の実施例に係る、物体の非破壊試験の方法の概略フロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

本明細書において「一実施例」、「ある実施例」、又は同様の文言に対して言及がなされるとき、それは、実施例に関連して記載された特定の特徴、構造、又は特性が、本開示の少なくとも１つの実施例に含まれることを意味する。本明細書を通して記載されている「一実施例」、「ある実施例」、又は同様の文言は、すべて同じ実施例を指してもよいが、必ずしもそうでなくともよい。同様に、「実装形態」という用語は、本開示の１つ又は複数の実施例に関連して記載された特定の特徴、構造、又は特性を有する実装形態を意味するが、そうでないことを示唆する明らかな相関性がない限り、その実装形態は、１つ又は複数の実施例に関連付けられてよい。

【0026】

図１で示されているように、及び一実施例によると、構造体１０２にシェアログラフィーによる非破壊試験を実行するためのシステム１００が示されている。構造体１０２は、航空機の一部（例えば、翼、胴体など）或いはその他の被製造構造物のような任意の適切な構造体であってもよい。システム１００は、構造体１０２の画像を撮るために使用される撮像システム１０４、及び撮像システム１０４によって撮られた画像を処理する画像プロセッサ１０６を含む。画像プロセッサ１０６は、撮られた画像を処理することができる任意の適切な情報取扱装置であってもよい。例えば、画像プロセッサ１０６は、コンピュータ、スマートフォン、処理装置等であってもよい。画像プロセッサ１０６は、撮られた画像を処理するプロセッサ、及び撮られた画像を表示するディスプレイを含み得る。

【0027】

真空チャンバ１０８は、撮像システム１０４による画像の撮像を補助するため、画像プロセッサ１０６及び撮像システム１０４に連結され得る。例えば、特定の実施例における真空チャンバ１０８は、撮像システム１０４が励起状態の構造体１０２の画像を撮ることができるように、構造体１０２を励起させることができる。幾つかの実装形態では、画像プロセッサ１０６は、励起状態の構造体１０２の画像を非励起状態の構造体１０２の画像と比べて、構造体１０２の欠陥を検知することができる。本明細書で使用される構造体１０２（例えば、物体）は、構造体１０２の表面上に変形（構造体１０２の表面下で捕捉された空気に起因する変形など）があると欠陥を有する場合がある。構造体１０２の表面下で捕捉された空気は、構造体１０２の表面下で材料が未接合（例えば、材料間の接合の欠如）である結果として生じ得る。

【0028】

撮像システム１０４は、カメラ１１０、レーザー１１２、及びレーザー複製システム１１４を含む。カメラ１１０は、構造体１０２の画像を撮るために使用され、任意の適切な画像撮像装置であってもよい。さらに、レーザー１１２は、カメラ１１０が構造体１０２の画像を撮る前に構造体１０２に照射を行うために使用されるレーザービームを生成するように選択的に作動可能である。レーザー１１２は、ガスレーザー、化学レーザー、色素レーザー、固体レーザー、半導体レーザーなどのレーザービームを生成するように選択的に作動可能な任意の適切なレーザーであり得る。レーザー複製システム１１４は、図３、図４、図５Ａ、及び図５Ｂでより詳細に説明されているように、レーザー１１２からレーザービームを受け入れ、レーザービームを分割し、且つそれぞれ実質的に同じような強度を有するレーザービームの部分を出力するために使用される。

【0029】

図２を参照し、一実施例によると、非破壊試験の対象となる構造体１０２は、飛行機であってもよく、或いは、構造体１０２は、ビークル、航空機、タービン、エンジン、及び宇宙のような環境で動作可能な装置（例えば、衛星、ロケット、ミサイル、宇宙ステーション、宇宙飛行体、宇宙シミュレータ）などの任意の適切な製造された装置であってもよい。特定の実施例では、構造体１０２は、非破壊試験を用いて試験され得る。このような実施例では、構造体１０２は、レーザー複製システム１１４を用いて照射され得る。レーザー複製システム１１４は、空洞と、空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子と、空洞内で形成されて、空洞に沿って離間された複数の出力素子とを含み得る。複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分が実質的に同じような強度を有するように、複数の出力素子の各出力素子は、レーザービームの部分を空洞の外へと方向付けるように構成され得る。

【0030】

図３を参照すると、レーザー複製システム１１４の概略ブロック図の一実施例が示されている。レーザー複製システム１１４は、平面形状のレーザービームガイド３００を含む。レーザービームガイド３００は実質的に平面であるが、他の実装形態では、レーザービームガイド３００は、図５Ａ及び図５Ｂで示されているように環形状のような異なる形状であり得ることに留意するべきである。レーザービームガイド３００は、囲まれてもよく、又は部分的に囲まれてもよい。

【0031】

レーザービームガイド３００は、入力素子３０２、及び出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４を含む。６つの出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４が示されているが、１を超える任意の数の出力素子がレーザービームガイド３００の一部であってもよい。入力素子３０２及び／又は出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４は、レーザービームが入力素子３０２を通ってレーザービームガイド３００に入り、レーザービームが出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のうちの１つ又は複数を通ってレーザービームガイド３００から出ることを補助する開口部、コーティング、及び材料のうちの１つ又は複数を含み得る。例えば、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４は、それぞれ、ある材料を含み得る。出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のうちの少なくとも１つの出力素子の材料は、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のうちの少なくとも別の出力素子の材料と異なり得る。出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４の間で異なる材料を有することにより、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４は、それぞれ、異なる比率の、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４に接触するレーザービームを出力することができる。この材料は、部分的反射材料又は非反射材料など、任意の適切な材料であってもよい。

【0032】

入力素子３０２は、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６上に位置付けされ、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４は、レーザービームガイド３００の第２の側部３１８上に位置付けされている。幾つかの実装形態では、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６は、レーザービームを反射する反射材料又はコーティングを含む。レーザービームガイド３００の第１の側部３１６及びレーザービームガイド３００の第２の側部３１８は、レーザービームが通過する空洞３２０を囲む。本明細書では、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６は、空洞３２０の第１の側部であるとみなしてもよく、レーザービームガイド３００の第２の側部３１８は、空洞３２０の第２の側部であるととみなしてもよい。

【0033】

入力素子３０２は、空洞３２０に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞３２０の中へと方向付ける。さらに、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４は、空洞３２０内で形成されて、空洞３２０に沿って離間されている。幾つかの実装形態では、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４は、実質的に等間隔で隣接する出力素子から離間されている。実質的に等間隔とは、１、２、５、１０、又は１５パーセント未満しか変動しない距離であり得る。

【0034】

レーザービームガイド３００から出るレーザービームの部分は、図示されているように、偏光子３２２及び／又はダイバータ３２４（例えば、レーザービームダイバータ（ｌａｓｅｒ ｂｅａｍ ｄｉｖｅｒｔｅｒ））を通して方向付けられ得る。偏光子３２２は、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４とダイバータ３２４との間に位置付けされている。レーザービームガイド３００全体で１つの偏光子３２２、又は、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のそれぞれにつき１つの偏光子３２２など、任意の適切な数の偏光子３２２があってもよい。特定の実装形態では、偏光子３２２は、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のそれぞれから出るレーザービームの部分を偏光するために使用される。特定の実装形態では、偏光子３２２は、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のそれぞれから出るレーザービームの部分を実質的に同じような方向に偏光する。例えば、偏光子３２２は、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のそれぞれから出るレーザービームの部分を他の出力素子から１、２、５、又は１０度以内の方向に偏光する。様々な実装形態では、偏光子３２２は、複数の異なる方向（例えば、散乱方向）に偏光するように、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のそれぞれから出るレーザービームの部分を偏光する。

【0035】

ダイバータ３２４は、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のそれぞれから出るレーザービームの部分を拡散させ得る。レーザービームガイド３００全体で１つのダイバータ３２４、又は、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４のそれぞれにつき１つのダイバータ３２４など、任意の適切な数のダイバータ３２４があってもよい。

【0036】

作動中、レーザー１１２は、入力素子３０２を通して空洞３２０の中へとレーザービーム３２６を方向付ける。レーザービーム３２６は、空洞３２０を通って移動し、出力素子３０４に接触する。出力素子３０４は、レーザービーム３２６の第１の部分３２８を空洞３２０の外へと方向付け、レーザービーム３２６の第２の部分３３０を空洞３２０の中へと反射する。出力素子３０４は、レーザービーム３２６の第１の部分３２８を空洞３２０の外へと方向付け、且つレーザービーム３２６の第２の部分３３０を空洞３２０の中へと反射する部分的反射材料を含み得る。幾つかの実装形態では、レーザービーム３２６の第１の部分３２８は、レーザービーム３２６の約１７パーセント（例えば、６分の１）であってもよく、レーザービーム３２６の第２の部分３３０は、レーザービーム３２６の約８３パーセント（例えば、６分の５）であってもよい。レーザービームの比率を説明するために様々なパーセンテージが本明細書で使用されているが、これらのパーセンテージは、例示のみを目的としており、様々な実施例では任意の適切なパーセンテージであり得る。さらに、レーザービーム３２６の第２の部分３３０は、空洞３２０の中に残るレーザービーム３２６の残りの部分であるとみなしてもよい。

【0037】

レーザービーム３２６の第２の部分３３０は、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６で反射して出力素子３０６に接触する。出力素子３０６は、レーザービーム３２６の第３の部分３３２を空洞３２０の外へと方向付け、レーザービーム３２６の第４の部分３３４を空洞３２０の中へと反射する。出力素子３０６は、レーザービーム３２６の第３の部分３３２を空洞３２０の外へと方向付け、且つレーザービーム３２６の第４の部分３３４を空洞３２０の中へと反射する部分的反射材料を含み得る。幾つかの実装形態では、レーザービーム３２６の第３の部分３３２は、レーザービーム３２６の第２の部分３３０の約２０パーセント（例えば、５分の１）であってもよく、レーザービーム３２６の第４の部分３３４は、レーザービーム３２６の第２の部分３３０の約８０パーセント（例えば、５分の４）であってもよい。したがって、レーザービーム３２６の第３の部分３３２は、元のレーザービーム３２６に対して、レーザービーム３２６の第１の部分３２８とほとんど同じパーセンテージであり得る。したがって、レーザービーム３２６の第１の部分３２８及びレーザービーム３２６の第３の部分３３２は、実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーであり得る。本明細書において、実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーを有するということは、強度、エネルギー、及び／又はパワーが、互いの１、２、５、又は１０パーセント以内であり得ることを意味する。さらに、レーザービーム３２６の第４の部分３３４は、空洞３２０の中に残るレーザービーム３２６の残りの部分であるとみなしてもよい。

【0038】

レーザービーム３２６の第２の部分３３４は、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６で反射して出力素子３０８に接触する。出力素子３０８は、レーザービーム３２６の第５の部分３３６を空洞３２０の外へと方向付け、レーザービーム３２６の第６の部分３３８を空洞３２０の中へと反射する。出力素子３０８は、レーザービーム３２６の第５の部分３３６を空洞３２０の外へと方向付け、且つレーザービーム３２６の第６の部分３３８を空洞３２０の中へと反射する部分的反射材料を含み得る。幾つかの実装形態では、レーザービーム３２６の第５の部分３３６は、レーザービーム３２６の第４の部分３３４の約２５パーセント（例えば、４分の１）であってもよく、レーザービーム３２６の第６の部分３３８は、レーザービーム３２６の第４の部分３３４の約７５パーセント（例えば、４分の３）であってもよい。したがって、レーザービーム３２６の第５の部分３３６は、元のレーザービーム３２６に対して、レーザービーム３２６の第１の部分３２８及び第３の部分３３２とほとんど同じパーセンテージであり得る。したがって、レーザービーム３２６の第１の部分３２８及びレーザービーム３２６の第３の部分３２６、並びにレーザービーム３２６の第５の部分３３６は、実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーであり得る。さらに、レーザービーム３２６の第６の部分３３８は、空洞３２０の中に残るレーザービーム３２６の残りの部分であるとみなしてもよい。

【0039】

レーザービーム３２６の第６の部分３３８は、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６で反射して出力素子３１０に接触する。出力素子３１０は、レーザービーム３２６の第７の部分３４０を空洞３２０の外へと方向付け、レーザービーム３２６の第８の部分３４２を空洞３２０の中へと反射する。出力素子３１０は、レーザービーム３２６の第７の部分３４０を空洞３２０の外へと方向付け、且つレーザービーム３２６の第８の部分３４２を空洞３２０の中へと反射する部分的反射材料を含み得る。幾つかの実装形態では、レーザービーム３２６の第７の部分３４０は、レーザービーム３２６の第６の部分３３８の約３３パーセント（例えば、３分の１）であってもよく、レーザービーム３２６の第８の部分３４２は、レーザービーム３２６の第６の部分３３８の約６７パーセント（例えば、３分の２）であってもよい。したがって、レーザービーム３２６の第７の部分３４０は、元のレーザービーム３２６に対して、レーザービーム３２６の第１の部分３２８、第３の部分３３２、及び第５の部分３３６とほとんど同じパーセンテージであり得る。したがって、レーザービーム３２６の第１の部分３２８、レーザービーム３２６の第３の部分３３２、レーザービーム３２６の第５の部分３３６、及びレーザービーム３２６の第７の部分３４０は、実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーであり得る。さらに、レーザービーム３２６の第８の部分３４２は、空洞３２０の中に残るレーザービーム３２６の残りの部分であるとみなしてもよい。

【0040】

レーザービーム３２６の第８の部分３４２は、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６で反射して出力素子３１２に接触する。出力素子３１２は、レーザービーム３２６の第９の部分３４４を空洞３２０の外へと方向付け、レーザービーム３２６の第１０の部分３４６を空洞３２０の中へと反射する。出力素子３１２は、レーザービーム３２６の第９の部分３４４を空洞３２０の外へと方向付け、且つレーザービーム３２６の第１０の部分３４６を空洞３２０の中へと反射する部分的反射材料を含み得る。幾つかの実装形態では、レーザービーム３２６の第９の部分３４４は、レーザービーム３２６の第８の部分３４２の約５０パーセント（例えば、２分の１）であってもよく、レーザービーム３２６の第１０の部分３４６は、レーザービーム３２６の第８の部分３４２の約５０パーセント（例えば、２分の１）であってもよい。したがって、レーザービーム３２６の第９の部分３４４は、元のレーザービーム３２６に対して、レーザービーム３２６の第１の部分３２８、第３の部分３３２、第５の部分３３６、及び第７の部分３４０とほとんど同じパーセンテージであり得る。したがって、レーザービーム３２６の第１の部分３２８、レーザービーム３２６の第３の部分３３２、レーザービーム３２６の第５の部分３３６、レーザービーム３２６の第７の部分３４０、及びレーザービーム３２６の第９の部分３４４は、実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーであり得る。さらに、レーザービーム３２６の第１０の部分３４６は、空洞３２０の中に残るレーザービーム３２６の残りの部分であるとみなしてもよい。

【0041】

レーザービーム３２６の第１０の部分３４６は、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６で反射して出力素子３１４に接触する。出力素子３１４は、レーザービーム３２６の第１１の部分３４８を空洞３２０の外へと方向付ける。出力素子３１４は、レーザービーム３２６の第１１の部分３４８を空洞３２０の外へと方向付ける非反射材料を含み得る。幾つかの実装形態では、レーザービーム３２６の第１１の部分３４８は、レーザービーム３２６の第１０の部分３４６の約１００パーセントであり得る。したがって、レーザービーム３２６の第１１の部分３４８は、元のレーザービーム３２６に対して、レーザービーム３２６の第１の部分３２８、第３の部分３３２、第５の部分３３６、第７の部分３４０、及び第９の部分３４４とほとんど同じパーセンテージであり得る。したがって、レーザービーム３２６の第１の部分３２８、レーザービーム３２６の第３の部分３３２、レーザービーム３２６の第５の部分３３６、レーザービーム３２６の第７の部分３４０、レーザービーム３２６の第９の部分３４４、及びレーザービーム３２６の第１１の部分３４８は、実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーであり得る。様々な実装形態では、レーザービーム３２６の第１の部分３２８、レーザービーム３２６の第３の部分３３２、レーザービーム３２６の第５の部分３３６、レーザービーム３２６の第７の部分３４０、レーザービーム３２６の第９の部分３４４、及びレーザービーム３２６の第１１の部分３４８は、実質的に同じような相（例えば、互いに対して同相であり得る）を有し得る。本明細書において、実質的に同じような相とは、相が互いに対して１、２、５、又は１０度以内であることを意味し得る。

【0042】

したがって、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４の対応する素子から外に導かれたレーザービームの各部分が実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーを有するように、出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４は、それぞれ、レーザービーム３２６の部分を空洞３２０の外へと方向付ける。

【0043】

出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２の部分的反射材料は、種々の反射特性を有することができ、結果として、種々のパーセンテージのレーザービーム３２６を出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２を通して方向付ける（例えば、通過可能にする）ことに留意されたい。例えば、出力素子３０４は、出力素子３０６の部分的反射材料よりも不透明な部分的反射材料を含み得る。別の例として、出力素子３０６は、出力素子３０８の部分的反射材料よりも不透明な部分的反射材料を含み得る。さらなる例として、出力素子３０８は、出力素子３１０の部分的反射材料よりも不透明な部分的反射材料を含み得る。さらに別の例として、出力素子３１０は、出力素子３１２の部分的反射材料よりも不透明な部分的反射材料を含み得る。本明細書において、不透明とは、透明ではないこと、或いは、レーザービームの部分による材料の通過を遮断することを指す場合がある。例えば、第１の材料が第２の材料よりも不透明である場合、第１の材料は、より大きなパーセンテージのレーザービームの通過を遮断する。さらに、本明細書では、不透明度とは、材料がどれだけ不透明であるかを指す場合がある。例えば、より高い不透明度を有する材料は、より低い透明度を有する材料よりも不透明である。出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４が、最も高い不透明度（例えば、出力素子３０４）から最も低い不透明度（例えば、出力素子３１４）へと不透明度が下がる順で並べられるように、レーザービームが通過する出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４の材料の不透明度は変化することができる。最も低い不透明度は、低い値のパーセンテージ又はゼロパーセントのレーザービームの通過しか遮断し得ない。

【0044】

レーザービーム３２６の部分が出力素子３０４、３０６、３０８、３１０、３１２、３１４を出た後、レーザービーム３２６の各部分は、構造体１０２に照射を行う前に、偏光子３２２及び／又はダイバータ３２４を通過し得る。構造体１０２が照射されている間、構造体１０２の画像を撮るように位置付けされたカメラ１１０は、レーザービーム３２６の部分によって照射された画像を撮ることができる。

【0045】

図４を参照すると、レーザー複製システム１１４の概略ブロック図の別の実施例が示されている。レーザー複製システム１１４は、上述のレーザービームガイド３００、偏光子３２２、ダイバータ３２４、カメラ１１０、及びレーザー１１２に実質的に類似し得るレーザービームガイド３００、偏光子３２２、ダイバータ３２４、カメラ１１０、及びレーザー１１２を含む。

【0046】

さらに、図４のレーザービームガイド３００は、レーザービームガイド３００の第１の側部３１６上に配置された第１の材料４０２、及びレーザービームガイド３００の第２の側部３１８上に配置された第２の材料４０４を含む。第１の材料４０２は、レーザービーム３２６を反射するように設計された実質的に反射性の材料であり得る。第２の材料４０４は、レーザービームガイド３００の長さに沿って変動する部分的反射材料であり得る。例えば、第２の材料４０４は、出力素子３０４の隣接する点に接触するレーザービーム３２６を大きなパーセンテージ反射することができ、第２の材料４０４は、出力素子３１４に隣接する点に接触するレーザービーム３２６を小さなパーセンテージ（例えば、０パーセント）反射することができる。幾つかの実施例では、第２の材料４０４は、出力素子３０４に隣接して最も高い不透明度、出力素子３０６に隣接して２番目に高い不透明度、出力素子３０８に隣接して３番目に高い不透明度、出力素子３１０に隣接して４番目に高い不透明度、出力素子３１２に隣接して５番目に高い不透明度、出力素子３１４に隣接して６番目に高い不透明度（例えば、最も低い不透明度）を有することになる可変量の物質を含み得る。

【0047】

図５Ａを参照すると、環形状レーザー複製システム５００の概略ブロック図の一実施例が示されている。レーザービームガイド５００は、第１の側部５０２、第２の側部５０４、及び第１の側部５０２と第２の側部５０４との間の空洞５０６を含む。レーザービームガイド５００は、第２の側部５０４上に位置付けされた入力素子を通してレーザービーム５０８を受け入れる。入力素子は、レーザービームをレーザービームガイド５００の空洞５０６の中に方向付ける。ここでは、レーザービーム５１０の反射が例示されている。レーザービーム５０８の部分５１２は、第１の側部５０２上に位置付けされた出力素子を通してレーザービームガイド５００の外に方向付けられる。レーザービームガイド５００の外に方向付けられたレーザービーム５０８の各部分５１２は、実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーを有し得る。図示されているように、レーザービーム５０８の部分５１２は、レーザービームガイド５００の中央領域に向けて、レーザービームガイド５００外に方向付けられ、その中に位置付けされ得る構造体に照射を行う。

【0048】

図５Ｂを参照すると、環形状レーザービームガイド５０２の概略ブロック図の別の実施例が示されている。レーザービームガイド５２０は、第１の側部５０２、第２の側部５０４、及び第１の側部５０２と第２の側部５０４との間の空洞５０６を含む。レーザービームガイド５２０は、第１の側部５０２上に位置付けされた入力素子を通してレーザービーム５２２を受け入れる。入力素子は、レーザービームをレーザービームガイド５２０の空洞５０６の中に方向付ける。ここでは、レーザービーム５２４の反射が例示されている。レーザービーム５２２の部分５２６は、出力素子を通してレーザービームガイド５２０の外に方向付けられる。レーザービームガイド５２０の外に方向付けられたレーザービーム５２２の各部分５２６は、実質的に同じような強度、エネルギー、及び／又はパワーを有し得る。図示されているように、レーザービーム５２２の部分５２６は、放射状にレーザービームガイド５２０外に方向付けられ、レーザービームガイド５２０の周りに配置され得る構造体に照射を行う。

【0049】

図６を参照すると、物体の非破壊試験の方法６００の一実施例が示されている。方法６００は、６０２において、レーザービームガイドを設けることを含む。レーザービームガイドは、空洞と、空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子と、空洞内で形成されて、空洞に沿って離間された複数の出力素子とを含み得る。複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分が実質的に同じような強度を有するように、複数の出力素子の各出力素子は、レーザービームの部分を空洞の外へと方向付けるように構成されている。

【0050】

さらに、方法６００は、６０４において、レーザービームガイドを使用して、物体に照射を行うことを含む。次いで、方法６００は、６０６において、物体の画像を撮ることを含み得る。この物体は、複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分によって照射され得る。方法６００は、６０８において、物体が欠陥を有するかどうかを判断するために画像を分析することをさらに含む。

【0051】

特定の実装形態では、物体が欠陥を有するかどうかを判断するために画像を分析することは、面外変位を測定することを含む。本明細書では、面外変位とは、構造体の表面に対して垂直方向にずれている構造体の部分のことを指す場合がある。

【0052】

幾つかの実装形態では、面外変位を測定することは、画像減算を使用して、光学縞により検知された物体の表面における変化を差し引くことを含む。例えば、２つの画像を得て、第１の画像を第２の画像から減算してもよい。第１の画像は、ノミナル状態（例えば、非励起状態）で得られた光学縞を示す第１のスペックル画像であってもよく、第２の画像は、励起状態で得られた光学縞を示す第２のスペックル画像であってもよい。第１のスペックル画像は、スペックル減算を用いて第２のスペックル画像から減算され得る。面外変位は、第１の画像を第２の画像から減算することによって生成された画像における光学縞を分析することにより、物体において検知され得る。本明細書では、光学縞とは、光の干渉及び回析によって生じた光及び／又は暗帯のことを指し得る。

【0053】

以上の説明では、「上」、「下」、「上部」、「下部」、「水平」、「垂直」、「左」、「右」、「～の上」、「～の下」などの特定の用語が使用され得る。これらの用語は、必要に応じ、相関関係を取り扱う際に説明に何らかの明確性をもたらすために用いられている。しかしながら、これらの用語には絶対的な関係、位置、及び／又は向きを含意させる意図はない。例えば、ある物体に関して、単純にこの物体の上下を逆にすることで「上方の」表面が「下方の」表面となり得る。それでもなお、これは同じ物体である。さらに、「含む」、「備える」、「有する」などの用語及びこれらの変化形は、別途明示的な記載がない限り、「～を含むがそれらに限定されない」ことを意味する。列挙されたアイテムは、別途明示的な記載がない限り、それらアイテムのうちの任意のもの又はすべてが互いを排除する及び／又は互いを含むものであることを含意しない。「１つの（ａ）」、「１つの（ａｎ）」、及び「その（ｔｈｅ）」などの用語は、別途明示的な記載がない限り、「１つ又は複数の」という意味も表す。さらに、「複数」という用語は、「少なくとも２つ」と定義され得る。

【0054】

さらに、本明細書において、１つの要素が他の要素に「連結される」とは、直接的な連結及び間接的な連結を含み得る。直接的連結とは、１つの要素が別の要素と連結し、且つ何らかの形で接触していることと定義され得る。間接的連結とは、互いに直接接触しておらず、連結された要素間に１つ又は複数の追加の要素を有する、２つの要素間の連結と定義され得る。さらに、１つの要素を他の要素に固定することとは、本明細書で使用される場合、直接的な固定及び間接的な固定を含み得る。さらに、「隣接」とは、本明細書で使用される場合、必ずしも接触を意味しない。例えば、ある要素は、別の要素と接触せずに、その要素に隣接することができる。

【0055】

本明細書で使用されるように、列挙されたアイテムと共に使用される「～のうちの少なくとも１つ」という表現は、列挙されたアイテムのうちの１つ又は複数の種々の組み合わせが使用可能であり、且つ、列挙されたアイテムのうち１つだけが必要であり得ることを意味する。アイテムとは、特定の物体、物品、又はカテゴリであり得る。すなわち、「～のうち少なくとも１つ」とは、列挙された中から任意の組み合わせのアイテム又は幾つかのアイテムを使用してもよいが、列挙されたアイテムの全てが必要ではない場合があることを意味する。例えば、「アイテムＡ、アイテムＢ、及びアイテムＣのうちの少なくとも１つ」とは、例えば、「アイテムＡ」、「アイテムＡとアイテムＢ」、「アイテムＢ」、「アイテムＡとアイテムＢとアイテムＣ」、又は「アイテムＢとアイテムＣ」を意味し得る。幾つかの場合には、「アイテムＡ、アイテムＢ、及びアイテムＣのうちの少なくとも１つ」は、例えば、限定するものではないが、「２個のアイテムＡと１個のアイテムＢと１０個のアイテムＣ」、「４個のアイテムＢと７個のアイテムＣ」、又は他の好適な組み合わせを意味し得る。

【0056】

別途提示されない限り、「第１」、「第２」などの用語は、本明細書では単に符号として使用されており、これらの用語が表すアイテムに対して、順序的、位置的、又は序列的な要件を課すことを意図していない。さらに、例えば、「第２」のアイテムが言及された場合、例えば、「第１」の若しくはより小さい数のアイテム、及び／又は、「第３」の若しくはより大きい数のアイテムが必要とされたり、除外されたりすることはない。

【0057】

本明細書に含まれる概略フロー図は、一般的に、論理フロー図として提示されている。したがって、記載の順序及び名付けられたステップは、提示された方法の一実施例を示す。図示された方法の１つ又は複数のステップ或いはそれらの部分の機能、論理、又は効果と均等である他のステップ及び方法を想起してもよい。さらに、用いられている形式及びシンボルは、本方法の論理的ステップを説明するために提供されており、本方法の範囲を限定するものではないと理解される。フロー図において様々な種類の矢印及び線が用いられ得るが、これらは、対応する方法の範囲を限定するものではないことが理解されよう。実際、幾つかの矢印又はその他のコネクタは、本方法の論理的フローのみを示すために用いられ得る。例えば、矢印は、記載の方法の列挙されたステップの間の、不特定の長さの待機時間又はモニタリング時間を示し得る。さらに、具体的な方法が発生する順序は、図示されている対応するステップの順序に厳密に従うこともあるが、従わないこともある。

【0058】

本明細書に記載された幾つかの機能ユニットは、その実装の独立性をより具体的に強調するためにモジュールと名付けられている。例えば、モジュールは、カスタムＶＬＳＩ回路又はゲートアレイを含むハードウェア回路や、論理チップ、トランジスタ、又は他のディスクリートコンポーネントなどの既製の半導体として実装され得る。さらに、モジュールは、フィールドプログラマブルゲートアレイ、プログラマブルアレイロジック、プログラマブルロジックデバイスなどのプログラマブルハードウェアデバイスに実装され得る。

【0059】

さらに、モジュールは、様々なタイプのプロセッサで実行するためのソフトウェアに実装され得る。コンピュータ可読プログラムコードの特定されたモジュールは、例えば、１つ又は複数のコンピュータ指令の物理的ブロック又は論理的ブロックを含んでもよく、これらは例えば、オブジェクト、工程、又は機能として整理され得る。しかしながら、特定されたモジュールの実行可能物（ｅｘｅｃｕｔａｂｌｅｓ）は、物理的に共に位置している必要はなく、種々の位置に記憶された異種の（ｄｉｓｐａｒａｔｅ）指令を含み得る。これらの指令は、論理的に集められると、モジュールを構成し、モジュールの規定の目的を達成する。

【0060】

実際、コンピュータ可読プログラムコードのモジュールは、単一の指令又は複数の指令であってもよく、異なるプログラム間で、且つ幾つかのメモリデバイスにわたって、幾つかの異なるコードセグメントにわたって分散されてもよい。同様に、動作的データは、本明細書では、モジュール内で特定且つ例示されてもよく、任意の適切な形態で具現化され、任意の適切な種類のデータ構造内で整理され得る。動作的データは、単一のデータセットとして収集されてもよく、又は、種々の記憶デバイス含む種々の位置にわたって分散されてもよく、少なくとも部分的に、システム又はネットワーク上の単なる電子信号として存在し得る。モジュール又はモジュールの一部がソフトウェア内に実装される場合、コンピュータ可読プログラムコードは、１つ又は複数のコンピュータ可読媒体に記憶されるか、且つ／又は伝達され得る。

【0061】

コンピュータ可読媒体は、コンピュータ可読プログラムコードを記憶する有形のコンピュータ可読記憶媒体であり得る。コンピュータ可読記憶媒体は、例えば、電子式、磁気式、光学式、電磁式、赤外線、ホログラフ式、微小機械式、又は半導体のシステム、装置、又はデバイス、或いはこれらの任意の適切な組み合わせであり得るが、これらに限定されない。

【0062】

コンピュータ可読媒体のより具体的な実施例は、携帯コンピュータフロッピーディスク、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読取専用メモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブル読取専用メモリ（ＥＰＲＯＭ又はフラッシュメモリ）、携帯コンパクトディスク読取専用メモリ（ＣＤ－ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、光学式ストレージデバイス、磁気ストレージデバイス、ホログラフィックストレージ媒体、マイクロメカニカルストレージデバイス、又は上記の任意の適切な組み合わせであり得るが、これらに限定されない。本明細書の文脈では、コンピュータ可読記憶媒体は、指令実行システム、装置、又はデバイスによって使用される且つ／又はこれらと接続しているコンピュータ可読プログラムコードを包含及び／又は記憶し得る任意の有形媒体であり得る。

【0063】

さらに、コンピュータ可読媒体は、コンピュータ可読信号媒体であり得る。コンピュータ可読信号媒体は、例えば、ベースバンドにおいて又は搬送波の一部として、コンピュータ可読プログラムコードが具現化された伝播データ信号を含んでもよい。そのような伝播信号は、電気式、電磁式、磁気式、光学式、又はこれらの任意の適切な組み合わせを含むがこれらに限定されない、様々な形態のうちの任意のものであり得る。コンピュータ可読信号媒体は、指令実行システム、装置、又はデバイスによって使用される且つ／又はこれらと接続されているコンピュータ可読プログラムコードを通信、伝播、又は搬送することが可能な、コンピュータ可読記憶媒体でない任意のコンピュータ可読媒体であってもよい。コンピュータ可読信号媒体上で具現化されたコンピュータ可読プログラムコードは、無線、有線、光ファイバケーブル、無線周波数（ＲＦ）等、又は上記の任意の適切な組み合わせを含むがこれらに限定されない任意の適切な媒体を使用して伝送され得る。

【0064】

一実施例では、コンピュータ可読媒体は、１つ又は複数のコンピュータ可読記憶媒体と１つ又は複数のコンピュータ可読信号媒体との組み合わせを含み得る。例えば、コンピュータ可読プログラムコードは、プロセッサによる実行のために光ファイバケーブルを介して電磁信号として伝搬されてもよく、或いは、プロセッサによる実行のためにＲＡＭ記憶デバイス上に記憶されてもよい。

【0065】

本開示の態様の動作を実施するためのコンピュータ可読プログラムコードは、Ｊａｖａ、Ｓｍａｌｌｔａｌｋ、Ｃ＋＋などのオブジェクト指向のプログラミング言語、及び「Ｃ」プログラミング言語又は類似のプログラミング言語などの従来の手続き型プログラミング言語を含む１つ又は複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで書かれてもよい。コンピュータ可読プログラムコードは、完全にユーザのコンピュータ上で、部分的にユーザのコンピュータ上で実行することができ、独立型ソフトウェアパッケージとしては、部分的にユーザのコンピュータ上で、部分的にリモートコンピュータ上で、又は完全にリモートコンピュータ又はサーバ上で実行することができる。後者の場合、リモートコンピュータは、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）又はワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を含む任意の種類のネットワークを介してユーザのコンピュータに接続されてもよく、或いは、（例えば、インターネットサービスプロバイダを利用してインターネットを介して）外部のコンピュータへの接続がなされてもよい。

【0066】

更に、本開示は下記の条項による実施形態を含む。

【0067】

条項１
空洞、
空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子、及び
空洞内で形成されて、空洞に沿って離間された複数の出力素子であって、複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分が、実質的に同じような強度を有するように、複数の出力素子の各出力素子が、レーザービームの部分を空洞の外へと方向付けるように構成されている、複数の出力素子
を備えている装置。

【0068】

条項２
複数の出力素子のそれぞれが材料を含み、且つ
複数の出力素子のうちの少なくとも１つの出力素子の材料が、複数の出力素子のうちの少なくとも別の出力素子の材料と異なる、条項１に記載の装置。

【0069】

条項３
複数の出力素子のうちの第１の出力素子が、部分的反射材料であって、レーザービームの第１の部分が当該部分的反射材料を通って空洞の外に方向付けられ、且つレーザービームの第２の部分が反射する、部分的反射材料を備え、
複数の出力素子のうちの最後の出力素子が、非反射材料であって、レーザービームの残りの部分が当該非反射材料を通って空洞の外に方向付けられる、非反射材料を備え、且つ
レーザービームの第１の部分及びレーザービームの残りの部分が、実質的に同じような強度を含む、
条項１に記載の装置。

【0070】

条項４
複数の出力素子の第１の出力素子が、レーザービームの第１の部分を空洞の外に方向付ける第１の部分的反射材料を備え、
複数の出力素子のうちの第２の出力素子が、レーザービームの第２の部分を空洞の外に方向付ける第２の部分的反射材料を備え、且つ
第１の部分的反射材料及び第２の部分的反射材料が、異なる反射特性を含み、レーザービームの第１の部分及びレーザービームの第２の部分が、実質的に同じような強度を含む、条項１に記載の装置。

【0071】

条項５
レーザービームの第２の部分が空洞の外に方向付けされる前に、レーザービームの第１の部分が空洞の外に方向付けされ、
レーザービームの第１の部分が、レーザービームの第１のパーセンテージを含み、
レーザービームの第１の部分が空洞の外に方向付けられた後に、レーザービームの残りの部分が空洞内に残り、
レーザービームの第２の部分が、レーザービームの残りの部分の第２のパーセンテージを含み、且つ
第２のパーセンテージが第１のパーセンテージより大きい、条項４に記載の装置。

【0072】

条項６
空洞が囲まれている、条項１に記載の装置。

【0073】

条項７
複数の出力素子の各出力素子が、複数の出力素子のうちの隣接する出力素子から実質的に等間隔で離間されている、条項１に記載の装置。

【0074】

条項８
空洞が、第１の側部、及び第１の側部に対向する第２の側部を備え、
入力素子が、空洞の第１の側部上に配置され、且つ
複数の出力素子が、空洞の第２の側部上に配置されている、条項１に記載の装置。

【0075】

条項９
空洞の第１の側部の内表面が、反射性コーティングを含む、条項８に記載の装置。

【0076】

条項１０
空洞の第２の側部の内表面が、第１の不透明度から第２の不透明度まで変動する不透明度を有する部分的反射材料を含み、第１の不透明度が第２の不透明度より大きい、条項８に記載の装置。

【0077】

条項１１
レーザービームを生成するように選択的に作動可能であるレーザーと、
装置であって、
空洞、
空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子、及び
空洞内で形成されて、空洞に沿って離間された複数の出力素子であって、複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分が、実質的に同じような強度を有するように、複数の出力素子の各出力素子が、レーザービームの部分を空洞の外へと方向付けるように構成されている、複数の出力素子を備えている装置と
複数の出力素子の各出力素子から出るレーザービームの部分を拡散させるように構成された少なくとも１つのレーザービームダイバータと
を備えているシステム。

【0078】

条項１２
少なくとも１つのレーザービームダイバータが、複数のレーザービームダイバータを含み、そのそれぞれが、複数の出力素子のそれぞれの素子から出るレーザービームの部分を拡散させるように構成されている、条項１１に記載のシステム。

【0079】

条項１３
複数の出力素子と少なくとも１つのレーザービームダイバータとの間に位置付けされた少なくとも１つの偏光子をさらに備えており、少なくとも１つの偏光子が、複数の出力素子の各出力素子から出るレーザービームの部分を偏光させるように構成されている、条項１１に記載のシステム。

【0080】

条項１４
少なくとも１つの偏光子が、複数の出力素子の各出力素子から出るレーザービームの部分を実質的に同じような方向に偏光させるように構成されている、条項１３に記載のシステム。

【0081】

条項１５
少なくとも１つの偏光子が、複数の出力素子の各出力素子から出るレーザービームの部分を複数の方向に偏光させるように構成されている、条項１３に記載のシステム。

【0082】

条項１６
複数の出力素子の各出力素子から出るレーザービームの各部分によって照射された画像を撮るように構成されたカメラをさらに備えている、条項１１に記載のシステム。

【0083】

条項１７
複数の出力素子の各出力素子から出るレーザービームの各部分が、実質的に同じような相を有する、条項１１に記載のシステム。

【0084】

条項１８
物体の非破壊試験の方法であって、
装置を用いて物体に照射を行うことであって、前記装置が、空洞と、空洞に連結され、レーザービームを受け入れ、且つレーザービームを空洞の中へと方向付けるように構成された入力素子と、空洞内で形成されて、空洞に沿って離間された複数の出力素子であって、複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分が、実質的に同じような強度を有するように、複数の出力素子の各出力素子が、レーザービームの部分を空洞の外へと方向付けるように構成されている、複数の出力素子とを備えている、照射を行うことと、
複数の出力素子のそれぞれの素子から外に方向付けられたレーザービームの各部分によって照射された物体の画像を撮ることと、
物体が欠陥を有するかどうかを判断するために画像を分析することと
を含む方法。

【0085】

条項１９
物体が欠陥を有するかどうかを判断するために画像を分析することが、面外変位を測定することを含む、条項１８に記載の方法。

【0086】

条項２０
面外変位を測定することが、画像減算を使用して、光学縞により検知された物体の表面における変化を差し引くことを含む、条項１９に記載の方法。

【0087】

本主題は、その精神や本質的な特性から逸脱することなく、他の具体的な形態で具現化され得る。記載された実施例は、あらゆる点で、例示にすぎず限定的ではないと解釈するべきである。特許請求の範囲の意味及び均等性の範囲の中に該当する全ての変更は、特許請求の範囲の中に含まれるべきである。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】