特許 7321637 ノズルメンテナンス方法、ノズル検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-28

(45)【発行日】2023-08-07

(54)【発明の名称】ノズルメンテナンス方法、ノズル検査装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/08 20060101AFI20230731BHJP

【ＦＩ】

H05K13/08 Z

H05K13/08 Q

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2019011876

(22)【出願日】2019-01-28

(65)【公開番号】P2020120058

(43)【公開日】2020-08-06

【審査請求日】2021-09-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105935

【弁理士】

【氏名又は名称】振角 正一

(74)【代理人】

【識別番号】100136836

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 一正

(72)【発明者】

【氏名】稲吉 聖也

【審査官】大塚 多佳子

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－１８３１６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－００２９１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０５５８３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０３５８７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２４９７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１３７２８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－０１３０９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３１０８１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２２０６４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１２８４０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－３４０５８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１１７５４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００－１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

実装ヘッドに装着されたノズルに貫通して設けられた吸着孔に負圧を与えることで前記ノズルにより吸着した部品を前記実装ヘッドにより基板に実装する部品実装機で用いられる前記ノズルにＸ線を照射しつつ前記ノズルを撮像することでノズルＸ線画像を取得するＸ線撮像を実行する工程と、
前記吸着孔の内側の異物の有無を前記ノズルＸ線画像に基づき判定するＸ線検査を実行する工程と
を備えたノズルメンテナンス方法。

【請求項2】

前記Ｘ線検査では、前記ノズルと同一種類であって異物が付着していない良品ノズルにＸ線を照射しつつ前記良品ノズルを撮像することで取得された良品Ｘ線画像と、前記ノズルＸ線画像との比較に基づき、前記吸着孔の内側の異物の有無を判定する請求項１に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項3】

前記ノズルＸ線画像の取得の前に予め前記良品Ｘ線画像を取得する請求項２に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項4】

前記ノズルの表面で反射される前記Ｘ線と異なる波長の照明を前記ノズルに照射して前記ノズルの外観画像を撮像する外観撮像を実行する工程と、
前記ノズルにおける異常の有無を前記外観画像に基づき判定する外観検査を実行する工程と
を、前記Ｘ線撮像の前に実行し、
前記外観検査で異常がないと判定された前記ノズルに対して、前記Ｘ線撮像および前記Ｘ線検査を実行する請求項１ないし３のいずれか一項に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項5】

前記外観撮像では、前記ノズルの二次元画像を前記外観画像として撮像する請求項４に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項6】

前記外観撮像では、前記吸着孔の開口から前記吸着孔の内側に前記照明を照射しつつ前記吸着孔の内側を撮像することで、前記二次元画像を撮像し、
前記外観検査では、前記ノズルの前記吸着孔の内側における異物の有無を前記二次元画像に基づき判定することで、前記ノズルにおける異常の有無を判定する請求項５に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項7】

前記外観撮像では、前記ノズルの三次元画像を前記外観画像として撮像する請求項４に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項8】

前記外観撮像では、前記ノズルをノズルホルダーにより保持することで前記ノズルの姿勢を固定した状態で、所定の方向から前記ノズルを撮像する請求項４ないし７のいずれか一項に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項9】

前記ノズルホルダーは、互いに異なる複数の姿勢のそれぞれで前記ノズルを保持可能であり、
前記外観撮像では、前記ノズルホルダーにより前記ノズルの姿勢を前記複数の姿勢の間で変更しつつ、前記各姿勢で前記ノズルを撮像する請求項８に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項10】

前記部品実装機は、前記基板を搬送する基板搬送部と、前記部品を供給する部品供給部とをさらに有し、
前記実装ヘッドは、前記部品供給部により供給された前記部品を前記ノズルにより吸着することで、前記基板搬送部に支持される前記基板に実装し、
前記基板搬送部が前記ノズルホルダーを搬入すると、前記実装ヘッドが前記ノズルを前記ノズルホルダーに移載し、前記基板搬送部が前記ノズルの移載された前記ノズルホルダーを搬出する請求項８または９に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項11】

前記部品実装機は、前記ノズルを保管するノズル保管部をさらに有し、前記実装ヘッドは、前記ノズルホルダーに前記ノズルを移載すると、前記ノズル保管部で保管された前記ノズルを装着する請求項１０に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項12】

前記部品実装機での前記ノズルの使用状態に応じて、前記Ｘ線撮像および前記Ｘ線検査を開始するタイミングを決定する請求項１ないし１１のいずれか一項に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項13】

前記部品実装機で使用中の前記ノズルが前記部品を吸着する際に前記ノズルに生じる負圧の変化に応じて、前記Ｘ線撮像および前記Ｘ線検査を開始するタイミングを決定する請求項１２に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項14】

前記Ｘ線検査において前記吸着孔の内側に異物が確認された前記ノズルを洗浄するノズル洗浄を実行する工程をさらに備えた請求項１ないし１３のいずれか一項に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項15】

前記Ｘ線撮像では、複数のノズルを撮像した前記ノズルＸ線画像を取得し、
前記Ｘ線検査では、前記複数のノズルのそれぞれについて、前記吸着孔の内側の異物の有無を判定し、
前記ノズル洗浄では、前記複数のノズルのうち、前記Ｘ線検査において前記吸着孔の内側に異物が確認された前記ノズルを選択的に洗浄する請求項１４に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項16】

前記Ｘ線撮像では、複数のノズルを撮像した前記ノズルＸ線画像を取得し、
前記Ｘ線検査では、前記複数のノズルのそれぞれについて、前記吸着孔の内側の異物の有無を判定し、
前記複数のノズルのうちの一部について前記Ｘ線検査において前記吸着孔の内側に異物が確認されると、前記ノズル洗浄では、前記複数のノズルの全てを洗浄する請求項１４に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項17】

前記ノズルを洗浄するノズル洗浄を実行する工程をさらに備え、
前記Ｘ線撮像および前記Ｘ線検査は、前記ノズル洗浄が実行された前記ノズルに対して実行され、
前記Ｘ線検査において前記吸着孔の内側に異物が確認されると、前記ノズルの異常を作業者に報知する請求項１ないし１３のいずれか一項に記載のノズルメンテナンス方法。

【請求項18】

実装ヘッドに装着されたノズルに貫通して設けられた吸着孔に負圧を与えることで前記ノズルにより吸着した部品を前記実装ヘッドにより基板に実装する部品実装機で用いられる前記ノズルにＸ線を照射しつつ前記ノズルを撮像することでノズルＸ線画像を取得する撮像部と、
前記吸着孔の内側の異物の有無を前記ノズルＸ線画像に基づき判定する判定部と
を備えたノズル検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、ノズルにより吸着した部品を基板に実装する部品実装機で用いられるノズルをメンテナンスする技術に関する。

【背景技術】

【0002】

部品実装機では、部品の保持のためにノズルが用いられる。このノズルには吸着孔が貫通して形成されており、吸着孔に与えられた負圧を利用してノズルに部品を吸着することで、部品がノズルに保持される。ところで、ノズルの使用に伴って、半田ペースト等の異物がノズルの吸着孔の内側に付着すると、ノズルの吸着孔に十分な負圧が発生せず、ノズルにより部品を保持することが難しくなる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－１８３１６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

そこで、特許文献１では、ノズルを撮像した画像に基づき、ノズルの吸着孔の内側に付着した異物を検知することで、ノズルが使用に適するか否かを判定している。しかしながら、特許文献１に示される手法で撮像した画像により、ノズルの吸着孔の内側の状態を十分に捉えることは必ずしも容易ではなく、異物の有無を的確に判定できない場合があった。

【0005】

この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、部品吸着に用いられるノズルの吸着孔の内側における異物の有無を的確に判定することを可能とする技術の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係るノズルメンテナンス方法は、実装ヘッドに装着されたノズルに貫通して設けられた吸着孔に負圧を与えることでノズルにより吸着した部品を実装ヘッドにより基板に実装する部品実装機で用いられるノズルにＸ線を照射しつつノズルを撮像することでノズルＸ線画像を取得するＸ線撮像を実行する工程と、吸着孔の内側の異物の有無をノズルＸ線画像に基づき判定するＸ線検査を実行する工程とを備える。

【0007】

本発明に係るノズル検査装置は、実装ヘッドに装着されたノズルに貫通して設けられた吸着孔に負圧を与えることでノズルにより吸着した部品を実装ヘッドにより基板に実装する部品実装機で用いられるノズルにＸ線を照射しつつノズルを撮像することでノズルＸ線画像を取得する撮像部と、吸着孔の内側の異物の有無をノズルＸ線画像に基づき判定する判定部とを備える。

【0008】

このように構成された本発明（ノズルメンテナンス方法、ノズル検査装置）では、ノズルにＸ線を照射しつつノズルを撮像することでノズルＸ線画像が取得される。そして、吸着孔の内側の異物の有無がノズルＸ線画像に基づき判定される。したがって、部品吸着に用いられるノズルの吸着孔の内側における異物の有無を的確に判定することが可能となっている。

【0009】

また、Ｘ線検査では、ノズルと同一種類であって異物が付着していない良品ノズルにＸ線を照射しつつ良品ノズルを撮像することで取得された良品Ｘ線画像と、ノズルＸ線画像との比較に基づき、吸着孔の内側の異物の有無を判定するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、良品ノズルにＸ線を照射しつつ良品ノズルを撮像した良品Ｘ線画像に基づき、部品吸着に用いられるノズルの吸着孔の内側における異物の有無を的確に判定することができる。

【0010】

また、ノズルＸ線画像の取得の前に予め良品Ｘ線画像を取得するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。これによって、ノズルＸ線画像の取得後、速やかに異物の有無の判定を実行できる。

【0011】

また、ノズルの表面で反射されるＸ線と異なる波長の照明をノズルに照射してノズルの外観画像を撮像する外観撮像を実行する工程と、ノズルにおける異常の有無を外観画像に基づき判定する外観検査を実行する工程とを、Ｘ線撮像の前に実行し、外観検査で異常がないと判定されたノズルに対して、Ｘ線撮像およびＸ線検査を実行するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、ノズルの外観画像に基づく判定の結果、異常が確認されたノズルは、Ｘ線撮像およびＸ線検査の対象から外される。したがって、Ｘ線を用いたノズルの検査の実行頻度を抑えることができる。

【0012】

また、外観撮像では、ノズルの二次元画像を外観画像として撮像するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、比較的容易に取得可能な二次元画像に基づき、ノズルの外観検査を実行できる。

【0013】

また、外観撮像では、吸着孔の開口から吸着孔の内側に照明を照射しつつ吸着孔の内側を撮像することで、二次元画像を撮像し、外観検査では、ノズルの吸着孔の内側における異物の有無を二次元画像に基づき判定することで、ノズルにおける異常の有無を判定するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、ノズルの外観画像に基づく判定の結果、吸着孔の内側に異物が確認されたノズルは、Ｘ線撮像およびＸ線検査の対象から外される。したがって、Ｘ線を用いたノズルの検査の実行頻度を抑えることができる。

【0014】

また、外観撮像では、ノズルの三次元画像を外観画像として撮像するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、ノズルの立体的形状に基づき、ノズルの異常の有無を的確に判定することができる。

【0015】

また、外観撮像では、ノズルをノズルホルダーにより保持することでノズルの姿勢を固定した状態で、所定の方向からノズルを撮像するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、ノズルホルダーによってノズルの姿勢を安定させつつ、適切なノズルの外観画像を撮像することができる。

【0016】

また、ノズルホルダーは、互いに異なる複数の姿勢のそれぞれでノズルを保持可能であり、外観撮像では、ノズルホルダーによりノズルの姿勢を複数の姿勢の間で変更しつつ、各姿勢でノズルを撮像するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、複数の角度からノズルを撮像して得られた外観画像に基づき、ノズルの異常の有無を的確に判定することができる。

【0017】

また、部品実装機は、基板を搬送する基板搬送部と、部品を供給する部品供給部とをさらに有し、実装ヘッドは、部品供給部により供給された部品をノズルにより吸着することで、基板搬送部に支持される基板に実装し、基板搬送部がノズルホルダーを搬入すると、実装ヘッドがノズルをノズルホルダーに移載し、基板搬送部がノズルの移載されたノズルホルダーを搬出するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、検査対象となるノズルの部品実装機からの搬出に、基板搬送用の基板搬送部を用いることができる。よって、ノズルの搬出に要する機構を別途設ける必要が無く、部品実装機の構成の複雑化を抑制することができる。

【0018】

また、部品実装機は、ノズルを保管するノズル保管部をさらに有し、実装ヘッドは、ノズルホルダーにノズルを移載すると、ノズル保管部で保管されたノズルを装着するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、検査対象となるノズルが実装ヘッドから外されると、ノズル保管部に保管されていた別のノズルが実装ヘッドに装着される。したがって、部品実装の中断時間を短く抑えつつ、ノズルの検査を実行することができる。

【0019】

また、部品実装機でのノズルの使用状態に応じて、Ｘ線撮像およびＸ線検査を開始するタイミングを決定するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、ノズルの使用状態に応じた適切なタイミングで、Ｘ線撮像およびＸ線検査を開始できる。

【0020】

また、部品実装機で使用中のノズルが部品を吸着する際にノズルに生じる負圧の変化に応じて、Ｘ線撮像およびＸ線検査を開始するタイミングを決定するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、ノズルの吸着孔の内側に異物が付着したことでノズルに生じる負圧が変化すると、このノズルに対してＸ線撮像およびＸ線検査を速やかに開始することができる。

【0021】

また、Ｘ線検査において吸着孔の内側に異物が確認されたノズルを洗浄するノズル洗浄を実行する工程をさらに備えるように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、Ｘ線検査において吸着孔の内側に異物が確認されると、この異物をノズルから速やかに取り除くことができる。

【0022】

また、Ｘ線撮像では、複数のノズルを撮像したノズルＸ線画像を取得し、Ｘ線検査では、複数のノズルのそれぞれについて、吸着孔の内側の異物の有無を判定し、ノズル洗浄では、複数のノズルのうち、Ｘ線検査において吸着孔の内側に異物が確認されたノズルを選択的に洗浄するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、ノズル洗浄が必要なノズルに対して選択的にノズル洗浄を実行することができる。

【0023】

また、Ｘ線撮像では、複数のノズルを撮像したノズルＸ線画像を取得し、Ｘ線検査では、複数のノズルのそれぞれについて、吸着孔の内側の異物の有無を判定し、複数のノズルのうちの一部についてＸ線検査において吸着孔の内側に異物が確認されると、ノズル洗浄では、複数のノズルの全てを洗浄するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、複数のノズルのうちから、異物が付着したノズルのみを選択する作業を省略することができ、ノズル洗浄を速やかに開始することができる。

【0024】

また、ノズルを洗浄するノズル洗浄を実行する工程をさらに備え、Ｘ線撮像およびＸ線検査は、ノズル洗浄が実行されたノズルに対して実行され、Ｘ線検査において吸着孔の内側に異物が確認されると、ノズルの異常を作業者に報知するように、ノズルメンテナンス方法を構成しても良い。かかる構成では、ノズル洗浄を行ったにも拘わらずノズルの吸着孔に異物が付着したままである場合には、作業者にこれを報知することができる。

【発明の効果】

【0025】

以上のように、本発明によれば、部品吸着に用いられるノズルの吸着孔の内側における異物の有無を的確に判定することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明に係るノズルメンテナンス方法を実行する基板生産システムの一例を示すブロック図。

【図2】部品実装機を模式的に示す平面図。

【図3】外観検査機を模式的に例示するブロック図。

【図4】Ｘ線検査機を模式的に例示するブロック図。

【図5】図１の基板生産システムで実行されるノズルメンテナンスの第１例を示すフローチャート。

【図6】図１の基板生産システムで実行されるノズルメンテナンスの第２例を示すフローチャート。

【図7】ノズルの外観撮像・検査の変形例で使用されるノズルホルダーの構成を模式的に示す図。

【発明を実施するための形態】

【0027】

図１は本発明に係るノズルメンテナンス方法を実行する基板生産システムの一例を示すブロック図である。図１および以下に示す図では、ＸＹＺ直交座標を適宜示す。ここで、Ｘ方向およびＹ方向は水平方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。

【0028】

基板生産システム１は、基板に部品を実装する基板生産を実行するシステムであり、システム全体を制御する制御装置１０を備える。この制御装置１０は、例えばパーソナルコンピューターであり、基板生産システム１で実行される動作の制御の他、ＵＩ(User Interface)を介した作業者への報知を実行する。

【0029】

また、基板生産システム１は、基板生産に使用されるノズルＮ（図３、図４）のメンテナンスを行うメンテナンスユニット１１を備える。このメンテナンスユニット１１は、洗浄機２、Ｘ線検査機４および外観検査機６を有する。洗浄機２は、ノズルＮに対して超音波洗浄を実行し、Ｘ線検査機４および外観検査機６は、洗浄機２でのノズルＮの洗浄の要否を判定するための検査を実行する。メンテナンスユニット１１は、洗浄機２とＸ線検査機４との間に配置された一対のコンベア１２と、Ｘ線検査機４と外観検査機６との間に配置された一対のコンベア１３とを有し、コンベア１２は、洗浄機２とＸ線検査機４との間でノズルＮを搬送し、コンベア１３は、Ｘ線検査機４と外観検査機６との間でノズルＮを搬送する。つまり、洗浄機２、Ｘ線検査機４および外観検査機６の間では、コンベア１２、１３を介してノズルホルダー９を搬送することができる。

【0030】

さらに、基板生産システム１は、ノズルＮを用いて部品を基板に実装する部品実装機８を備える。図２は部品実装機を模式的に示す平面図である。部品実装機８は、装置全体を統括的に制御する実装制御部８１を備える。実装制御部８１は、演算部８１１、駆動制御部８１２、負圧制御部８１３および通信部８１４を有する。演算部８１１は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)やＲＡＭ(Random Access Memory)で構成されたプロセッサーであり、部品実装機８における演算機能を担う。駆動制御部８１２は部品実装機８の駆動系を制御し、負圧制御部８１３はノズルＮに与える負圧を制御する。また、通信部８１４は外部の装置（洗浄機２、Ｘ線検査機４、外観検査機６、制御装置１０）と通信を行う。

【0031】

部品実装機８は、基板ＢをＸ方向（基板搬送方向）に搬送する基板搬送部８２を備える。この基板搬送部８２は、Ｘ方向に並列に配置された一対のコンベア８２１を有し、コンベア８２１によって基板ＢをＸ方向に搬送する。これらコンベア８２１の間隔は、Ｘ方向に直交するＹ方向（幅方向）に変更可能であり、基板搬送部８２は、搬送する基板Ｂの幅に応じてコンベア８２１の間隔を調整する。この基板搬送部８２は、基板搬送方向であるＸ方向の上流側から所定の実装作業位置８２２に基板Ｂを搬入するとともに、実装作業位置８２２で部品Ｃが実装された基板Ｂを実装作業位置８２２からＸ方向の下流側に搬出する。

【0032】

基板搬送部８２のＹ方向の両側それぞれでは２つの部品供給部８３がＸ方向に並んでおり、各部品供給部８３では、複数のテープフィーダー８３１がＸ方向に並ぶ。部品供給部８３では、Ｘ方向に並ぶ複数の部品供給位置８３２が設けられており、各部品供給位置８３２に供給すべき部品Ｃを供給するテープフィーダー８３１が、各部品供給位置８３２に対応付けられて着脱可能に装着される。各テープフィーダー８３１に対しては、集積回路、トランジスター、コンデンサー等の小片状の部品Ｃを所定間隔おきに収容したキャリアテープが巻き付けられた部品供給リールが配置されており、各テープフィーダー８３１は部品供給リールから引き出されたキャリアテープを間欠的に送り出すことで、その先端部の部品供給位置８３２に部品Ｃを供給する。

【0033】

また、部品実装機８では、Ｙ方向に延設された一対のＹ軸レール８４１と、Ｙ方向に延設されたＹ軸ボールネジ８４２と、Ｙ軸ボールネジ８４２を回転駆動するＹ軸モーター８４３とが設けられている。そして、Ｘ方向に延設されたＸ軸ビーム８４４が一対のＹ軸レール８４１にＹ方向に移動可能に支持された状態で、Ｙ軸ボールネジ８４２のナットに固定されている。Ｘ軸ビーム８４４には、Ｘ方向に延設されたＸ軸ボールネジ８４５と、Ｘ軸ボールネジ８４５を回転駆動するＸ軸モーター８４６とが取り付けられており、ヘッドユニット８５がＸ軸ビーム８４４にＸ方向に移動可能に支持された状態でＸ軸ボールネジ８４５のナットに固定されている。したがって、駆動制御部８１２は、Ｙ軸モーター８４３によりＹ軸ボールネジ８４２を回転させてヘッドユニット８５をＹ方向に移動させたり、Ｘ軸モーター８４６によりＸ軸ボールネジ８４５を回転させてヘッドユニット８５をＸ方向に移動させたりすることができる。

【0034】

ヘッドユニット８５は、Ｘ方向に直線状に並ぶ複数の実装ヘッド８５１を有する。各実装ヘッド８５１は、互いに独立してＺ方向およびＲ方向へ可動である。ここで、Ｒ方向はＺ方向に平行な回転軸を中心に回転する方向である。したがって、駆動制御部８１２は、Ｚ軸モーター（不図示）により実装ヘッド８５１をＺ方向に昇降させたり、Ｒ軸モーター（不図示）により実装ヘッド８５１をＲ方向に回転させたりすることができる。

【0035】

ヘッドユニット８５が有する各実装ヘッド８５１は、その下端に着脱可能に装着されたノズルＮにより、基板Ｂへの部品Ｃの実装を行う。つまり、実装ヘッド８５１は、その下端のノズルＮを部品供給位置８３２の上方に位置させつつノズルＮを下降させることで、テープフィーダー８３１が部品供給位置８３２に供給する部品ＣにノズルＮを当接させる。そして、実装ヘッド８５１は、ノズルＮ内に負圧を与えてノズルＮにより部品Ｃを吸着すると、ノズルＮを上昇させる。実装ヘッド８５１は、こうして部品供給位置８３２からピックアップした部品ＣをノズルＮによって吸着・保持しつつ、実装作業位置８２２の基板Ｂの上方へ移動する。そして、実装ヘッド８５１は、ノズルＮを下降させて部品Ｃを基板Ｂに接触させると、ノズルＮの負圧を解除して、部品Ｃを基板Ｂに載置する。この間、ノズルＮへ与える負圧は、負圧制御部８１３により制御される。このように、部品実装機８では、部品Ｃを供給する部品供給部８３と実装作業位置８２２との間を移動する実装ヘッド８５１を用いて、部品供給部８３から実装作業位置８２２の基板Ｂに部品Ｃを移載する部品実装が実行される。

【0036】

また、部品実装機８は、実装ヘッド８５１に装着されるノズルＮを変更するノズルチェンジャー８６を有する。このノズルチェンジャー８６は、複数のノズル保管孔８６１を有し、各ノズル保管孔８６１は、実装ヘッド８５１に装着されるノズルＮの姿勢である起立姿勢でノズルＮを保管する。ノズルＮがその下端に装着されていない実装ヘッド８５１は、ノズル保管孔８６１に保管されたノズルＮの上方に移動してから下降することで、その下端にノズルＮを装着することができる。また、ノズルＮがその下端に装着された実装ヘッド８５１は、空のノズル保管孔８６１の上方に移動してから下降することでノズル保管孔８６１にノズルＮを挿入してから、ノズルＮの装着を解除して、その下端からノズル保管孔８６１にノズルＮを外すことができる。

【0037】

図３は外観検査機を模式的に例示するブロック図である。図３の外観検査機６は、Ｘ方向に並列に配置された一対のコンベア６１、検査ヘッド６２、ヘッド駆動機構６３および外観検査制御部６４を備え、ノズルＮの外観画像に基づきノズルＮを検査する。

【0038】

ノズルＮには、吸着孔Ｎｈが貫通しており、上述の部品実装機８の実装ヘッド８５１は、ノズルＮの吸着孔Ｎｈに負圧を与えることで、ノズルＮにより部品Ｃを吸着する。このノズルＮは、ノズルホルダー９により保持された状態で、外観検査機６に搬入される。ノズルホルダー９は、ノズル保持孔９１が開口した保持プレート９２を有し、保持プレート９２は、ノズル保持孔９１に押し込まれたノズルＮを起立姿勢で保持する。こうしてノズルホルダー９により保持されたノズルＮの吸着孔Ｎｈは、Ｚ方向に平行となり、ノズルＮの上端および下端のそれぞれで開口する。

【0039】

コンベア６１は、ノズルＮを保持するノズルホルダー９をＸ方向に搬送する。具体的には、コンベア６１は、ノズルホルダー９を外観検査機６内の検査位置に搬入し、ノズルホルダー９を検査位置で保持する。こうして、起立姿勢でノズルＮを保持するノズルホルダー９が検査位置に固定される。そして、ノズルホルダー９に保持されるノズルＮの外観検査が終了すると、コンベア６１は、ノズルホルダー９を検査位置から外観検査機６の外へ搬出する。

【0040】

検査ヘッド６２は、撮像視野Ｖ内を上方から撮像する撮像カメラ６２１を有しており、検査位置のノズルホルダー９に保持されたノズルＮを撮像視野Ｖに収めて撮像カメラ６２１によって撮像する。さらに、検査ヘッド６２は、撮像視野Ｖに対して可視光を照射する照明６２４を有する。そして、ノズルＮに対して撮像カメラ６２１を上方から対向させた状態で、照明６２４から可視光をノズルＮに照射しつつ、ノズルＮで反射された光を撮像カメラ６２１により撮像する。これによって、起立姿勢のノズルＮの外観を上方から撮像することができる。

【0041】

ヘッド駆動機構６３は、検査ヘッド６２を支持しつつ、モーターによって水平方向および鉛直方向へ検査ヘッド６２を駆動する。このヘッド駆動機構６３の駆動によって、検査ヘッド６２はノズルＮの上方に移動して、ノズルＮを撮像することができる。

【0042】

外観検査制御部６４は、ＣＰＵやＲＡＭで構成されたプロセッサーである演算部６４１を有しており、演算部６４１が装置各部の制御を統括することで、検査が実行される。この外観検査制御部６４は、照明６２４を制御する照明制御部６４２、撮像カメラ６２１を制御する撮像制御部６４３、コンベア６１およびヘッド駆動機構６３を制御する駆動制御部６４４、ＨＤＤ(Hard Disk Drive)等で構成された記憶部６４５および外部の装置（洗浄機２、Ｘ線検査機４、部品実装機８、制御装置１０）と通信を行う通信部６４６を有する。

【0043】

コンベア６１が検査位置にノズルホルダー９を搬入すると、演算部６４１は、駆動制御部６４４によりヘッド駆動機構６３を制御して、ノズルホルダー９に保持されるノズルＮの上方へ検査ヘッド６２を移動させる。これによって、撮像カメラ６２１の撮像視野Ｖ内にノズルＮが収まる。続いて、演算部６４１は、撮像視野Ｖ内のノズルＮへ照明６２４から可視光を照射しつつノズルＮで反射された光を撮像カメラ６２１により撮像する。こうして、起立姿勢のノズルＮを上方から撮像した二次元画像がノズルＮの実測外観画像Ｉａｍとして取得される。

【0044】

この実測外観画像Ｉａｍは、記憶部６４５に保存される。また、記憶部６４５には、ノズルホルダー９に保持された検査対象のノズルＮと同一種類であって、異常を有さない良品ノズルを予め撮像する外観事前撮像により取得された良品外観画像Ｉａｇが保存されている。この外観事前撮像は、検査位置のノズルホルダー９により起立姿勢で保持された良品ノズルを上方から撮像し、良品外観画像Ｉａｇと実測外観画像Ｉａｍとは同一の撮像条件で取得される。

【0045】

そして、演算部６４１は、実測外観画像Ｉａｍと良品外観画像Ｉａｇとを比較した結果に基づき、実測外観画像Ｉａｍが示すノズルＮに異常があるか否かを判定する。具体的には、ノズルＮの欠損やノズルＮに付着した異物が、異常として判定される。特に、演算部６４１は、ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無を判定することができる。つまり、実測外観画像Ｉａｍおよび良品外観画像Ｉａｇのそれぞれは、ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側を上方から撮像している。そこで、演算部６４１は、実測外観画像Ｉａｍおよび良品外観画像Ｉａｇのそれぞれに含まれる吸着孔Ｎｈの内側の画像を比較することで、ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無を判定する。

【0046】

図４はＸ線検査機を模式的に例示するブロック図である。図４のＸ線検査機４は、Ｘ方向に並列に配置された一対のコンベア４１、Ｘ線照射ユニット４２１、Ｘ線カメラ４２２およびＸ線検査制御部４４を備え、ノズルＮのＸ線画像に基づきノズルＮを検査する。

【0047】

コンベア４１は、ノズルＮを保持するノズルホルダー９をＸ方向に搬送する。具体的には、コンベア４１は、ノズルホルダー９をＸ線検査機４内の検査位置に搬入し、ノズルホルダー９を検査位置で保持する。こうして、起立姿勢でノズルＮを保持するノズルホルダー９が検査位置に固定される。そして、ノズルホルダー９に保持されるノズルＮのＸ線検査が終了すると、コンベア４１は、ノズルホルダー９を検査位置からＸ線検査機４の外へ搬出する。

【0048】

Ｘ線照射ユニット４２１は、検査位置のノズルホルダー９に保持されるノズルＮに上方から対向する。一方、Ｘ線カメラ４２２は、検査位置のノズルホルダー９に保持されるノズルＮに下方から対向する。つまり、Ｘ線照射ユニット４２１とＸ線カメラ４２２とは、検査位置のノズルホルダー９に保持されるノズルＮをＺ方向から挟む。そして、Ｘ線照射ユニット４２１がノズルＮにＸ線を照射し、Ｘ線カメラ４２２がノズルＮを透過したＸ線を撮像する。これによって、起立姿勢のノズルＮのＸ線画像を下方から撮像することができる。

【0049】

Ｘ線検査制御部４４は、ＣＰＵやＲＡＭで構成されたプロセッサーである演算部４４１を有しており、演算部４４１が装置各部の制御を統括することで、検査が実行される。このＸ線検査制御部４４は、Ｘ線照射ユニット４２１を制御するＸ線制御部４４２、Ｘ線カメラ４２２を制御する撮像制御部４４３、コンベア４１を制御する駆動制御部４４４、ＨＤＤ等で構成された記憶部４４５および外部の装置（洗浄機２、外観検査機６、部品実装機８、制御装置１０）と通信を行う通信部４４６を有する。

【0050】

コンベア４１が検査位置にノズルホルダー９を搬入すると、演算部４４１は、Ｘ線照射ユニット４２１からノズルＮへＸ線を照射しつつノズルＮを透過したＸ線をＸ線カメラ４２２により撮像する。こうして、起立姿勢のノズルＮを下方から撮像したＸ線画像がノズルＮの実測Ｘ線画像Ｉｘｍとして取得される。

【0051】

この実測Ｘ線画像Ｉｘｍは、記憶部４４５に保存される。また、記憶部４４５には、ノズルホルダー９に保持された検査対象のノズルＮと同一種類であって、異常を有さない良品ノズルを予め撮像するＸ線事前撮像により取得された良品Ｘ線画像Ｉｘｇが保存されている。このＸ線事前撮像は、検査位置のノズルホルダー９により起立姿勢で保持された良品ノズルを下方から撮像し、良品Ｘ線画像Ｉｘｇと実測Ｘ線画像Ｉｘｍは同一の撮像条件で取得される。

【0052】

そして、演算部４４１は、実測Ｘ線画像Ｉｘｍと良品Ｘ線画像Ｉｘｇとを比較した結果に基づき、実測Ｘ線画像Ｉｘｍが示すノズルＮに異常があるか否かを判定する。具体的には、ノズルＮに付着した異物が、異常として判定される。特に、演算部４４１は、ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無を判定することができる。つまり、実測Ｘ線画像Ｉｘｍおよび良品Ｘ線画像Ｉｘｇのそれぞれは、ノズルＮのＸ線画像を撮像している。そこで、演算部４４１は、実測Ｘ線画像Ｉｘｍおよび良品Ｘ線画像Ｉｘｇのそれぞれに含まれる吸着孔Ｎｈの内側の画像を比較することで、ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無を判定する。かかるＸ線検査は、樹脂製のノズルＮとＸ線の透過率が異なる異物を検知することができ、特にノズルＮに付着した半田ペースト等を的確に検知することができる。

【0053】

図５は図１の基板生産システムで実行されるノズルメンテナンスの第１例を示すフローチャートである。部品実装機８での部品実装が開始されると、制御装置１０は、部品実装機８で使用中のノズルＮの検査が必要であるかを、所定の検査実行基準に基づき判断する（ステップＳ１０１）。具体的には、部品実装機８では、ノズルＮが部品Ｃを吸着する際にノズルＮに生じる負圧の値が負圧制御部８１３により監視されており、負圧の値（絶対値）が所定の閾値（ゼロより大きい値）以下となると、検査実行基準が満たされたと判断される。なお、検査実行基準は、ノズルＮに生じる負圧の値に限られず、例えばノズルＮを使用して生産した基板の累積枚数あるいはノズルＮの累積使用時間等が所定値を越えると、検査実行基準が満たされたと判断する。つまり、これらの検査実行基準のうちのいずれかが満たされると、ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」と判断される。

【0054】

検査実行基準が満たされて、ノズル検査が必要と判断されると（ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」）、制御装置１０は、部品実装機８にノズルホルダー９を準備するように、作業者に報知する（ステップＳ１０２）。かかる報知を受けた作業者は、部品実装機８の基板搬送部８２にノズルホルダー９を載置する。これによって、部品Ｃが実装された基板Ｂが実装作業位置８２２から搬出されるのに伴って、ノズルホルダー９が実装作業位置８２２に搬入される。

【0055】

そして、部品実装機８の実装ヘッド８５１は、実装作業位置８２２に搬入されたノズルホルダー９に、検査対象となるノズルＮを載置する（ステップＳ１０３）。具体的には、実装ヘッド８５１は、ノズルホルダー９のノズル保持孔９１の上方に移動してから下降することでノズル保持孔９１にノズルＮを挿入してから、ノズルＮの装着を解除して、ノズル保持孔９１にノズルＮを載置することができる。

【0056】

部品実装機８は、ノズルホルダー９へのノズルＮの載置が完了すると、その旨を制御装置１０に通知するとともに、ノズルホルダー９を搬出する。通知を受けた制御装置１０は、ノズルＮを保持するノズルホルダー９を外観検査機６に運搬するように、作業者に報知する（ステップＳ１０４）。かかる報知を受けた作業者は、ノズルホルダー９を外観検査機６まで運搬して、コンベア６１上に載置する。

【0057】

一方、部品実装機８では、実装ヘッド８５１がノズルホルダー９にノズルＮを移載すると、ノズルチェンジャー８６の上方に移動して、ノズルチェンジャー８６に保管されたノズルＮをその下端に装着する。そして、実装ヘッド８５１は、ノズルホルダー９の搬出後に、実装作業位置８２２に搬入された基板Ｂに対する部品実装を、新たに下端に装着したノズルＮにより実行する。

【0058】

外観検査機６は、コンベア６１上に載置されたノズルホルダー９を搬入して（ステップＳ１０５）、上述の要領で、ノズルＮの実測外観画像Ｉａｍを撮像して（ステップＳ１０６）、この実測外観画像Ｉａｍと良品外観画像Ｉａｇとの比較に基づきノズルＮの外観を検査する（ステップＳ１０７）。そして、ノズルＮの外観に異常がある場合（ステップＳ１０７で「ＹＥＳ」の場合）には、ノズルホルダー９は洗浄機２まで搬送され、洗浄機２がノズルホルダー９により保持されるノズルＮに超音波洗浄を実行する（ステップＳ１１１）。ノズルＮの洗浄が完了すると、制御装置１０は、ノズルＮを保持するノズルホルダー９を洗浄機２から部品実装機８に運搬するように、作業者に報知する（ステップＳ１１２）。

【0059】

一方、ノズルＮの外観に異常がない場合（ステップＳ１０７で「ＮＯ」の場合）には、外観検査機６からＸ線検査機４にノズルホルダー９が搬送される（ステップＳ１０８）。そして、Ｘ線検査機４は、上述の要領で、ノズルＮの実測Ｘ線画像Ｉｘｍを撮像して（ステップＳ１０９）、この実測Ｘ線画像Ｉｘｍと良品Ｘ線画像Ｉｘｇとの比較に基づきノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側を検査する（ステップＳ１１０）。

【0060】

ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側に異物がある場合（ステップＳ１１０で「ＹＥＳ」の場合）には、ノズルホルダー９は洗浄機２まで搬送されて、ノズルＮに対して超音波洗浄が実行されてから（ステップＳ１１１）、ステップＳ１１２でノズルホルダー９の運搬の報知が実行される。一方、ノズルＮの内側に異物がない場合（ステップＳ１１０で「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ１１１を省略して、ステップＳ１１２が実行される。

【0061】

以上に説明したノズルメンテナンスの第１例では、ノズルＮにＸ線を照射しつつノズルＮを撮像することで実測Ｘ線画像Ｉｘｍが取得される（ステップＳ１０９）。そして、吸着孔Ｎｈの内側の異物の有無が実測Ｘ線画像Ｉｘｍに基づき判定される（ステップＳ１１０）。したがって、部品吸着に用いられるノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無を的確に判定することが可能となっている。

【0062】

また、ノズルＮと同一種類であって異物が付着していない良品ノズルにＸ線を照射しつつ良品ノズルを撮像するＸ線事前撮像が実行されており、Ｘ線検査（ステップＳ１１０）では、Ｘ線事前撮像により取得された良品外観画像Ｉａｇと実測Ｘ線画像Ｉｘｍとの比較に基づき、吸着孔Ｎｈの内側の異物の有無が判定される。かかる構成では、部品吸着に用いられるノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無を、良品Ｘ線画像Ｉｘｇとの比較に基づき的確に判定することができる。

【0063】

特に、Ｘ線事前撮像はＸ線撮像（ステップＳ１０９）より前に予め実行されており、実測Ｘ線画像Ｉｘｍの取得の前に予め良品Ｘ線画像Ｉｘｇが取得されている。これによって、実測Ｘ線画像Ｉｘｍの取得後、速やかに異物の有無の判定を実行できる。

【0064】

また、ノズルＮの表面で反射されるＸ線と異なる波長の可視光（照明）をノズルＮに照射してノズルＮの実測外観画像Ｉａｍを撮像する外観撮像（ステップＳ１０６）と、ノズルＮにおける異常の有無を実測外観画像Ｉａｍに基づき判定する外観検査（ステップＳ１０７）とが、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９）の前に実行される。そして、外観検査（ステップＳ１０７）で異常がない（ＮＯ）と判定されたノズルＮに対して、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９）およびＸ線検査（ステップＳ１１０）が実行される。かかる構成では、ノズルＮの実測外観画像Ｉａｍに基づく判定の結果、異常が確認されたノズルＮは、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９）およびＸ線検査（ステップＳ１１０）の対象から外される。したがって、Ｘ線を用いたノズルＮの検査の実行頻度を抑えることができる。

【0065】

また、外観撮像（ステップＳ１０６）では、ノズルＮの二次元画像が実測外観画像Ｉａｍとして撮像される。かかる構成では、比較的容易に取得可能な二次元画像に基づき、ノズルＮの外観検査を実行できる。

【0066】

特に、外観撮像（ステップＳ１０６）では、吸着孔Ｎｈの開口から吸着孔Ｎｈの内側に可視光（照明）を照射しつつ吸着孔Ｎｈの内側を撮像することで、二次元画像が撮像される。そして、外観検査（ステップＳ１０７）では、ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無を二次元画像に基づき判定することで、ノズルＮにおける異常の有無が判定される。かかる構成では、ノズルＮの外観画像（ステップＳ１０６）に基づく判定の結果、吸着孔Ｎｈの内側に異物が確認されたノズルは、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９）およびＸ線検査（ステップＳ１１０）の対象から外される。したがって、Ｘ線を用いたノズルＮの検査の実行頻度を抑えることができる。

【0067】

また、外観撮像（ステップＳ１０６）では、ノズルＮをノズルホルダー９により保持することでノズルＮの姿勢を通常姿勢に固定した状態で、所定の方向（上方）からノズルＮが撮像される。かかる構成では、ノズルホルダー９によってノズルＮの姿勢を安定させつつ、適切なノズルＮの実測外観画像Ｉａｍを撮像することができる。

【0068】

また、部品実装機８では、基板搬送部８２がノズルホルダー９を搬入すると、実装ヘッド８５１がノズルＮをノズルホルダー９に移載し、基板搬送部８２がノズルＮの移載されたノズルホルダー９を搬出する。かかる構成では、検査対象となるノズルＮの部品実装機８からの搬出に、基板搬送用の基板搬送部８２を転用することができる。よって、ノズルＮの搬出に要する機構を別途設ける必要が無く、部品実装機８の構成の複雑化を抑制することができる。

【0069】

また、部品実装機８でのノズルＮの使用状態（ノズルＮを使用して生産した基板の枚数、ノズルＮの累積使用時間）に応じて、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９）およびＸ線検査（ステップＳ１１０）を開始するタイミングが決定される（ステップＳ１０１）。かかる構成では、ノズルＮの使用状態に応じた適切なタイミングで、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９）およびＸ線検査（ステップＳ１１０）を開始できる。

【0070】

また、部品実装機８で使用中のノズルＮが部品Ｃを吸着する際にノズルＮに生じる負圧の変化に応じて、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９）およびＸ線検査（ステップＳ１１０）を開始するタイミングが決定される（ステップＳ１０１）。かかる構成では、ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側に異物が付着したことでノズルＮに生じる負圧が変化すると、このノズルＮに対してＸ線撮像（ステップＳ１０９）およびＸ線検査（ステップＳ１１０）を速やかに開始することができる。

【0071】

また、Ｘ線検査（ステップＳ１１０）において吸着孔Ｎｈの内側に異物が確認されたノズルＮを洗浄するノズル洗浄を実行する工程（ステップＳ１１１）が設けられている。かかる構成では、Ｘ線検査（ステップＳ１１０）において吸着孔Ｎｈの内側に異物が確認されると、この異物をノズルＮから速やかに取り除くことができる（ステップＳ１１１）。

【0072】

また、部品実装機８は、ノズルＮを保管するノズルチェンジャー８６有する。そして、実装ヘッド８５１は、ノズルホルダー９にノズルＮを移載すると、ノズルチェンジャー８６で保管されていたノズルＮを装着する。かかる構成では、検査対象となるノズルＮが実装ヘッド８５１からノズルチェンジャー８６に外されると、ノズルチェンジャー８６に保管されていた別のノズルＮが実装ヘッド８５１に装着されて、部品実装に使用される。したがって、部品実装の中断時間を短く抑えつつ、ノズルＮの検査を実行することができる。

【0073】

図６は図１の基板生産システムで実行されるノズルメンテナンスの第２例を示すフローチャートである。以下では、図６の第２例と図５の第１例とが異なる部分を中心に説明することとし、これらで共通する部分については適宜説明を省略する。ただし、共通する構成によって同様の効果が奏されることは言うまでもない。

【0074】

図６の第２例においても、図５の第１例と同様に、ステップＳ１０１～Ｓ１０４が実行される。ただし、図６の第２例では、ステップＳ１０４において、制御装置１０は、ノズルＮを保持するノズルホルダー９を洗浄機２に運搬するように、作業者に報知する。したがって、作業者は、ノズルホルダー９を洗浄機２まで運搬する。ステップＳ２０１では、洗浄機２がノズルホルダー９により保持されるノズルＮに超音波洗浄を実行する。ノズルＮの洗浄が完了すると、ノズルＮを保持するノズルホルダー９は、洗浄機２からＸ線検査機４に搬送される（ステップＳ２０２）。

【0075】

そして、Ｘ線検査機４は、上述の要領で、ノズルＮの実測Ｘ線画像Ｉｘｍを撮像して（ステップＳ２０３）、この実測Ｘ線画像Ｉｘｍと良品Ｘ線画像Ｉｘｇとの比較に基づきノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側を検査する（ステップＳ２０４）。

【0076】

ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側に異物がある場合（ステップＳ２０４で「ＹＥＳ」の場合）には、その旨がＸ線検査機４から制御装置１０に通知され、制御装置１０は、洗浄後のノズルＮの吸着孔Ｎｈ内に異物が残っていることを、作業者に報知する（ステップＳ２０５）。一方、ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側に異物がない場合（ステップＳ２０４で「ＮＯ」の場合）には、制御装置１０は、ノズルＮを保持するノズルホルダー９をＸ線検査機４から部品実装機８に運搬するように、作業者に報知する（ステップＳ２０６）。

【0077】

かかるノズルメンテナンスの第２例においても、ノズルＮにＸ線を照射しつつノズルＮを撮像することで実測Ｘ線画像Ｉｘｍが取得される（ステップＳ２０３）。そして、吸着孔Ｎｈの内側の異物の有無が実測Ｘ線画像Ｉｘｍに基づき判定される（ステップＳ２０４）。したがって、部品吸着に用いられるノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無を的確に判定することが可能となっている。

【0078】

また、ノズルメンテナンスの第２例によれば、Ｘ線撮像（ステップＳ２０３）およびＸ線検査（ステップＳ２０４）は、ノズル洗浄（ステップＳ２０１）が実行されたノズルＮに対して実行される。そして、Ｘ線検査（ステップＳ２０４）において吸着孔Ｎｈの内側に異物が確認されると（ステップＳ２０４で「ＹＥＳ」）、ノズルＮの異常が作業者に報知される（ステップＳ２０５）。かかる構成では、ノズル洗浄を行ったにも拘わらずノズルＮの吸着孔Ｎｈに異物が付着したままである場合には、作業者にこれを報知することができる。

【0079】

このように上述の実施形態では、図５および図６のそれぞれに示すノズルメンテナンスが本発明の「ノズルメンテナンス方法」の一例に相当し、Ｘ線検査機４が本発明の「ノズル検査装置」の一例に相当し、照明６２４が射出する可視光が本発明の「照明」の一例に相当し、部品実装機８が本発明の「部品実装機」の一例に相当し、基板搬送部８２が本発明の「基板搬送部」の一例に相当し、部品供給部８３が本発明の「部品供給部」の一例に相当し、実装ヘッド８５１が本発明の「実装ヘッド」の一例に相当し、ノズルチェンジャー８６が本発明の「ノズル保管部」の一例に相当し、ノズルホルダー９が本発明の「ノズルホルダー」の一例に相当し、ノズルＮが本発明の「ノズル」の一例に相当し、吸着孔Ｎｈが本発明の「吸着孔」の一例に相当し、部品Ｃが本発明の「部品」の一例に相当し、基板Ｂが本発明の「基板」の一例に相当し、実測Ｘ線画像Ｉｘｍが本発明の「ノズルＸ線画像」の一例に相当し、良品Ｘ線画像Ｉｘｇが本発明の「良品Ｘ線画像」の一例に相当し、ステップＳ１０９、Ｓ２０３が本発明の「Ｘ線撮像」の一例に相当し、ステップＳ１１０、ステップＳ２０４が本発明の「Ｘ線検査」の一例に相当し、実測外観画像Ｉａｍが本発明の「外観画像」あるいは「二次元画像」の一例に相当し、ステップＳ１０６が本発明の「外観撮像」の一例に相当し、ステップＳ１０７が本発明の「外観検査」の一例に相当する。

【0080】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、図５のノズルメンテナンスの第１例において、ノズルＮの外観撮像および外観検査（ステップＳ１０６、Ｓ１０７）での具体的な内容を変形しても良い。

【0081】

図７はノズルの外観撮像・検査の変形例で使用されるノズルホルダーの構成を模式的に示す図である。このノズルホルダー９は、水平方向に平行な回転軸Ａを中心に保持プレート９２を回転可能に支持する支持フレーム９３と、支持フレーム９３に取り付けられたモーター９４とを有する。そして、保持プレート９２がモーター９４からの駆動力を受けて回転軸Ａを中心に回転することで、保持プレート９２に保持されたノズルＮの姿勢が変更される。具体的には、上記の通常姿勢と、回転軸Ａを中心に当該通常姿勢を１８０度回転させた反転姿勢との間で、ノズルＮの姿勢を切り換えることができる。

【0082】

かかるノズルホルダー９を用いたノズルメンテナンスによれば、ステップＳ１０６で、通常姿勢および反転姿勢の間でノズルＮの姿勢を変更しつつ、各姿勢のノズルＮを撮像することで、実測外観画像Ｉａｍが撮像される。これによって、ノズルＮの平面視と低面視それぞれについて、実測外観画像Ｉａｍが取得される。そして、ステップＳ１０７では、こうして取得された実測外観画像Ｉａｍに基づき、ノズルＮの外観が検査される。

【0083】

つまり、この変形例では、ノズルホルダー９は、互いに異なる複数の姿勢（通常姿勢、反転姿勢）のそれぞれでノズルＮを保持可能である。そして、外観撮像（ステップＳ１０６）では、ノズルホルダー９によりノズルＮの姿勢を複数の姿勢（通常姿勢、反転姿勢）の間で変更しつつ、各姿勢でノズルＮを撮像する。かかる構成では、複数の角度からノズルＮを撮像して得られた実測外観画像Ｉａｍに基づき、ノズルＮの異常の有無を的確に判定することができる。

【0084】

また、ステップＳ１０６（外観撮像）で撮像される実測外観画像Ｉａｍは二次元画像ではなく、三次元画像でも良い。かかる構成では、ノズルＮの立体的形状に基づき、ノズルの異常（例えばノズルＮへの異物の付着や、ノズルＮの欠損等）の有無を的確に判定することができる。

【0085】

あるいは、図５のノズルメンテナンスの第１例において、ステップＳ１０５～Ｓ１０７を省略して、ステップＳ１０４の次に、ステップＳ１０８以後を実行するように構成しても良い。つまり、ノズルＮの外観に基づくノズルＮの異物判定は省略しても構わない。

【0086】

また、ステップＳ１０９、Ｓ１１０を複数のノズルＮに同時に行うように、図５および図６のノズルメンテナンスの第１例および第２例を変形しても良い。この変形例によれば、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９、Ｓ２０３）では、複数のノズルＮを撮像した実測Ｘ線画像Ｉｘｍが取得される。そして、Ｘ線検査（ステップＳ１１０、Ｓ２０４）では、実測Ｘ線画像Ｉｘｍに示される複数のノズルＮそれぞれの画像に基づき、各ノズルＮの吸着孔Ｎｈの内側における異物の有無が判定される。

【0087】

特に、Ｘ線検査（ステップＳ１１０）の結果に応じてノズル洗浄（ステップＳ１１１）を実行するノズルメンテナンスの第１例では、ノズル洗浄の実行態様に、次のような変形がさらに可能である。

【0088】

一の変形例によれば、ノズル洗浄（ステップＳ１１１）では、複数のノズルＮのうち、Ｘ線検査（ステップＳ１１０）において吸着孔Ｎｈの内側に異物が確認されたノズルＮのみが選択的に洗浄される。かかる構成では、ノズル洗浄が必要なノズルＮに対して選択的にノズル洗浄を実行することができる。

【0089】

別の変形例によれば、ノズル洗浄（ステップＳ１１１）では、複数のノズルＮの全てを洗浄する。かかる構成では、複数のノズルＮのうちから、異物が付着したノズルＮのみを選択する作業を省略することができ、ノズル洗浄を速やかに開始することができる。

【0090】

また、Ｘ線撮像（ステップＳ１０９、Ｓ２０３）で撮像されるノズルＮの姿勢は起立姿勢に限られず、起立姿勢と異なる姿勢でも良い。

【0091】

また、Ｘ線検査（ステップＳ１１０、Ｓ２０４）において、実測Ｘ線画像Ｉｘｍに基づきノズルＮの異常の有無を判定するにあたって、良品Ｘ線画像Ｉｘｇを併用することは必ずしも必要ではない。つまり、実測Ｘ線画像Ｉｘｍのみに基づいて、ノズルＮの異常の有無を判定しても良い。外観検査（ステップＳ１０７）についても同様である。

【0092】

また、部品実装機８から外観検査機６あるいは洗浄機２へのノズルホルダー９の運搬は、作業者によらず、コンベアあるいはＡＧＶ（無人搬送車）により実行しても良い。

【0093】

また、洗浄機２、Ｘ線検査機４および外観検査機６の間のノズルホルダー９の運搬は、作業者により、あるいはＡＧＶにより実行しても良い。

【符号の説明】

【0094】

４…Ｘ線検査機（ノズル検査装置）
６２４…照明
８…部品実装機
８２…基板搬送部
８３…部品供給部
８５１…実装ヘッド
８６…ノズルチェンジャー（ノズル保管部）
９…ノズルホルダー
Ｂ…基板
Ｃ…部品
Ｎ…ノズル
Ｎｈ…吸着孔
Ｉｘｍ…実測Ｘ線画像（ノズルＸ線画像）
Ｉｘｇ…良品Ｘ線画像
Ｉａｍ…実測外観画像（外観画像、二次元画像、三次元画像）
Ｓ１０６…外観撮像
Ｓ１０７…外観検査
Ｓ１０９、Ｓ２０３…Ｘ線撮像
Ｓ１１０、Ｓ２０４…Ｘ線検査

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】