(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-07-31
(45)【発行日】2023-08-08
(54)【発明の名称】天井搬送車
(51)【国際特許分類】
B65G 1/04 20060101AFI20230801BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20230801BHJP
【ＦＩ】
B65G1/04 551B
H01L21/68 A
【請求項の数】
4
(21)【出願番号】P 2022561321
(86)(22)【出願日】2021-10-04
(86)【国際出願番号】 JP2021036619
(87)【国際公開番号】W WO2022102280
(87)【国際公開日】2022-05-19
【審査請求日】2023-02-03
(31)【優先権主張番号】P 2020187426
(32)【優先日】2020-11-10
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000006297
【氏名又は名称】村田機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100176245
【弁理士】
【氏名又は名称】安田 亮輔
(74)【代理人】
【識別番号】100180851
【弁理士】
【氏名又は名称】▲高▼口 誠
(72)【発明者】
【氏名】小林 誠
【審査官】板澤 敏明
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０２０／１７４８０９（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１８／０７９１４６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１９－２１８１８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１９／１４６２７６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０２０／２１７６３２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００６－８３５４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－１７６７６５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｇ １／０４
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｂ６１Ｂ ３／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有すると共に前記本体部に対して吊持部材によって昇降される昇降部と、を備えた天井搬送車であって、前記昇降部は、
前記把持部が設けられるベース部と、
鉛直方向下方から前記ベース部を鉛直方向に移動可能に支持する第一緩衝部を有し、鉛直方向から見た平面視において前記本体部の走行方向に直交する幅方向の一方において前記吊持部材に接続される第一支持部と、
鉛直方向下方から前記ベース部を鉛直方向に移動可能に支持する第二緩衝部を有し、前記本体部の前記幅方向の他方において前記吊持部材に接続される第二支持部と、
前記第一支持部と前記第二支持部とを連結すると共に、鉛直方向における前記第一支持部と前記ベース部との間の第一距離と、鉛直方向における前記第二支持部と前記ベース部との間の第二距離とを互いに近づけるように動作するリンク機構と、を備え、
前記リンク機構は、前記第一支持部及び前記第二支持部に対して前記ベース部の前記走行方向における相対移動を可能にする第三緩衝部、及び前記第一支持部と前記第二支持部とに対して前記ベース部の前記幅方向における相対移動を可能にする第四緩衝部の少なくとも一方を有している、天井搬送車。
【請求項2】
前記リンク機構は、前記第三緩衝部を有している、請求項１記載の天井搬送車。【請求項3】
前記リンク機構は、前記第三緩衝部及び前記第四緩衝部の両方を有している、請求項１又は２記載の天井搬送車。【請求項4】
前記第三緩衝部又は前記第四緩衝部は、弾性部材を含んで形成されている、請求項１～３の何れか一項記載の天井搬送車。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の一側面は、天井搬送車に関する。
【背景技術】
【0002】
軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有すると共に前記本体部に対し複数の吊持部材が巻き取り及び繰り出しされることにより昇降する昇降部と、を備えた天井搬送車が知られている。例えば、特許文献１には、昇降部が、把持部が設けられるベース部と、緩衝部を介してベース部を鉛直方向下方から鉛直方向に移動可能に支持する支持部を有すると共に吊持部材が取り付けられる複数の緩衝機構と、を備え、これらの複数の緩衝機構がリンク機構によって連結されている天井搬送車が開示されている。この天井搬送車では、リンク機構は、互いに連結されている複数の緩衝機構における支持部とベース部との間の各距離同士を互いに近づけるように動作するので、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品の揺れを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】国際公開第２０１８／０７９１４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記従来の天井搬送車は、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品の揺れを抑制することができるものの、搬送する物品の多様化に伴って、より一層の振動の低減が求められている。
【0005】
そこで、本発明の一側面の目的は、物品に伝わる振動の更なる低減を図りつつ、物品の揺れを抑制することができる、天井搬送車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一側面に係る天井搬送車は、軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有すると共に本体部に対して吊持部材によって昇降される昇降部と、を備えた天井搬送車であって、昇降部は、把持部が設けられるベース部と、鉛直方向下方からベース部を鉛直方向に移動可能に支持する第一緩衝部を有し、鉛直方向から見た平面視において本体部の走行方向に直交する幅方向の一方において吊持部材に接続される第一支持部と、鉛直方向下方からベース部を鉛直方向に移動可能に支持する第二緩衝部を有し、幅方向の他方において吊持部材に接続される第二支持部と、第一支持部と第二支持部とを連結すると共に、鉛直方向における第一支持部とベース部との間の第一距離と、鉛直方向における第二支持部とベース部との間の第二距離とを互いに近づけるように動作するリンク機構と、を備え、リンク機構は、第一支持部及び第二支持部に対してベース部の走行方向における相対移動を可能にする第三緩衝部、及び第一支持部と第二支持部とに対してベース部の幅方向における相対移動を可能にする第四緩衝部の少なくとも一方を有している。
【0007】
この構成の天井搬送車では、鉛直方向における第一支持部とベース部との間の第一距離と、鉛直方向における第二支持部とベース部との間の第二距離とを互いに近づけるように動作するリンク機構が設けられているので、昇降装置の左右方向における傾きが低減され、物品の揺れを抑制することができる。また、第一支持部及び第二支持部には、第一支持部及び第二支持部に対してベース部の鉛直方向における移動を可能にする緩衝部（第一緩衝部及び第二緩衝部）が設けられているので、昇降部を介して物品に伝達される鉛直方向の振動を低減することができる。更に、リンク機構には、第一支持部及び第二支持部に対してベース部の水平方向における移動を可能にする緩衝部（第三緩衝部及び第四緩衝部の少なくとも一方）が設けられているので、昇降部を介して物品に伝達される水平方向の振動を低減することができる。これらの結果、物品に伝わる振動の更なる低減を図りつつ、物品の揺れを抑制することができる。
【0008】
本発明の一側面に係る天井搬送車では、リンク機構は、第三緩衝部を有していてもよい。この構成では、昇降部を介して物品に伝達される前後方向の振動を低減することができる。
【0009】
本発明の一側面に係る天井搬送車では、リンク機構は、第三緩衝部及び第四緩衝部の両方を有していてもよい。この構成では、昇降部を介して物品に伝達される前後方向及び左右方向の両方の振動を低減することができる。
【0010】
本発明の一側面に係る天井搬送車では、第三緩衝部又は第四緩衝部は、弾性部材を含んで形成されていてもよい。昇降部を介して物品に伝達される水平方向の振動を低減することができる。この構成では、簡易な構成で効率的に振動を低減することができる。
【発明の効果】
【0011】
本発明の一側面によれば、物品に伝わる振動の更なる低減を図りつつ、物品の揺れを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【0014】
図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図であり、図２は、昇降装置を前方向から見た側面図である。図１及び図２では、リンク機構７０（図３参照）の図示は省略している。図１に示される天井搬送車１は、クリーンルームの天井等、床面より高い位置に設けられる走行レール（軌道）２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で物品としてのＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）９０を搬送する。ＦＯＵＰ９０には、例えば、複数枚の半導体ウェハ等が収容される。ＦＯＵＰ９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９８を有している。
【0015】
以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ軸方向）を天井搬送車１の走行方向とする（以下、「前後方向」とも称する）。図１における上下方向（Ｚ軸方向）を天井搬送車１の上下方向とする（以下、「鉛直方向」とも称する）。図１における奥行方向（Ｙ軸方向）を天井搬送車１の幅方向とする（以下、「左右方向」とも称する）。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は互いに直交する。
【0016】
図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部（本体部）５と、回転駆動部（本体部）６と、昇降駆動部（本体部）７と、昇降装置（昇降部）１０と、保持装置（把持部）１１と、第一支持部５０（図３及び図４参照）と、第二支持部４０（図３及び図４参照）と、リンク機構７０（図３及び図４参照）と、を有している。
【0017】
天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降装置１０及び保持装置１１を覆うように前後方向に一対のカバー８，８が設けられている。一対のカバー８，８は、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１の下方に、ＦＯＵＰ９０が収容される空間を形成している。落下防止機構８Ａは、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の落下を防止する。揺れ抑制機構８Ｂは、走行時における保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の天井搬送車１の前後方向（走行方向）及び左右方向の揺れを抑制する。
【0018】
走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動する。走行駆動部３の下部には、軸３Ａを介して水平駆動部５が設けられている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交する方向（左右方向）に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルト（吊持部材）９の巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１０を昇降させる。なお、昇降駆動部７におけるベルト９は、ワイヤ及びロープ等、適宜の吊持部材を用いてもよい。
【0019】
図１及び図２に示されるように、本実施形態における昇降装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。昇降装置１０は、ＦＯＵＰ９０を把持する保持装置１１を有すると共に、本体部としての水平駆動部５、回転駆動部６、及び昇降駆動部７に対してベルト９によって昇降される。保持装置１１は、ＦＯＵＰ９０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。
【0020】
一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に設けられている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９８の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（昇降装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９８の下面の下方へ進出し、この状態で昇降装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９８が保持（把持）され、ＦＯＵＰ９０の支持が行われる。
【0021】
昇降装置１０は、保持装置１１が設けられるベース部１０Ａと、ベース部１０Ａを覆うカバー部１０Ｂと、第一支持部５０と、第二支持部４０と、を備える。図３及び図４に示されるように、第一支持部５０及び第二支持部４０は、ベルト９と昇降装置１０とを連結する機構であると共に、走行駆動部３が走行するとき又は昇降装置１０が昇降するときの振動がＦＯＵＰ９０に伝わることを抑制する機構である。
【0022】
第一支持部５０は、鉛直方向下方からベース部１０Ａを鉛直方向に移動可能に支持する弾性部材（第一緩衝部）５８を有し、鉛直方向から見た平面視において天井搬送車１の走行方向に直交する幅方向の一方に配置される。本実施形態では、第一支持部５０は、左右方向において昇降装置１０の右側に設けられている。第一支持部５０は、接続部材５１と、揺動部材５３と、第一本体部材５４と、第二本体部材５６と、一対の弾性部材５８，５８と、を有している。
【0023】
接続部材５１は、ベルト９に取り付けられる部材である。揺動部材５３は、接続部材５１に連結される部材である。揺動部材５３は、ピン部材５２を介して接続部材５１に双方向に回転可能に連結される。第一本体部材５４は、略Ｌ字状の部材であり、その底部は、平坦となるように形成されている。第一本体部材５４は、その一部が揺動部材５３に接続されている。第一本体部材５４は、底部が第二本体部材５６の接続部５６Ｂにボルト等によって接続されている。
【0024】
図３、図４、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示されるように、第二本体部材５６は、本体部５６Ａと、接続部５６Ｂと、第一側面部５６Ｃと、第二側面部５６Ｄと、を有している。本体部５６Ａは、弾性部材５８を下方から支持する平板状の部材である。接続部５６Ｂは、一端が第一本体部材５４の底部に接続され、他端が本体部５６Ａ及び第一側面部５６Ｃに接続されている。第一側面部５６Ｃは、本体部５６Ａから立設している。第二側面部５６Ｄは、本体部５６Ａから立設すると共に、第一側面部５６Ｃに直交している。第一側面部５６Ｃ及び第二側面部５６Ｄは、本体部５６Ａから折り曲げられることにより形成されている。
【0025】
一対の弾性部材５８，５８は、所定のバネ定数を有するコイルバネである。一対の弾性部材５８，５８は、本体部５６Ａに支持されると共にベース部１０Ａを下方から支持する。弾性部材５８の下端は、本体部５６Ａに固定されている。弾性部材５８の上端は、ベース部１０Ａには固定されておらず、接触することによってベース部１０Ａを支持する。すなわち、一対の弾性部材５８，５８のそれぞれは、本体部５６Ａとベース部１０Ａとの両方に接触した状態で縮んだ状態にあるとき、本体部５６Ａとベース部１０Ａとを互いに遠ざける方向に付勢する。弾性部材５８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。なお、ベース部１０Ａに固定され、本体部５６Ａに離接可能に設けられてもよい。
【0026】
第二支持部４０は、鉛直方向下方からベース部１０Ａを鉛直方向に移動可能に支持する弾性部材（第二緩衝部）４８を有し、鉛直方向から見た平面視において天井搬送車１の走行方向に直交する幅方向の他方（幅方向において第一支持部５０とは反対側）に配置される。本実施形態では、第二支持部４０は、左右方向において昇降装置１０の左側に設けられている。第二支持部４０は、接続部材４１，４１と、揺動部材４３と、第三本体部材４５と、第四本体部材４６と、規制部材４７と、一対の弾性部材４８，４８と、を有している。
【0027】
接続部材４１，４１は、ベルト９，９が取り付けられる部材である。揺動部材４３は、一対の接続部材４１，４１と、第三本体部材４５とを連結する部材である。一対の接続部材４１，４１と揺動部材４３とは、双方向に回転可能に連結され、一対のピン部材４２，４２を介して連結される。揺動部材４３と第三本体部材４５とは、双方向に回転可能に連結され、ピン部材４４を介して連結されている。
【0028】
図５（Ａ）、図５（Ｂ）及び図７に示されるように、第四本体部材４６は、本体部４６Ａと、第一側面部４６Ｃと、第二側面部４６Ｄと、を有している。本体部４６Ａは、弾性部材４８，４８を下方から支持する。本体部４６Ａは、弾性部材４８，４８を下方から支持する平板状の部材である。第一側面部４６Ｃは、本体部４６Ａから立設している。第二側面部４６Ｄは、本体部４６Ａから立設すると共に、第一側面部４６Ｃに直交している。第一側面部４６Ｃ及び第二側面部４６Ｄは、本体部４６Ａから折り曲げられることにより形成されている。
【0029】
一対の弾性部材４８，４８は、所定のバネ定数を有するコイルバネである。一対の弾性部材４８，４８は、本体部４６Ａに支持されていると共にベース部１０Ａを下方から支持する。弾性部材４８の下端は、本体部４６Ａに固定されている。規制部材４７（図７参照）は、本体部４６Ａに対してベース部１０Ａが所定距離以上離れることを規制する。より詳細には、規制部材４７は、本体部４６Ａに対して所定距離以上離れようとするベース部１０Ａの上面を係止する。弾性部材４８の上端は、ベース部１０Ａには固定されておらず、接触することによってベース部１０Ａを支持する。すなわち、一対の弾性部材４８，４８のそれぞれは、本体部４６Ａとベース部１０Ａとの両方に接触した状態にあるとき、本体部４６Ａ及びベース部１０Ａを互いに遠ざける方向に付勢する。弾性部材４８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。なお、弾性部材４８は、ベース部１０Ａに固定され、本体部４６Ａに離接可能に設けられてもよい。
【0030】
図４に示されるように、リンク機構７０は、第一支持部５０と第二支持部４０とを連結すると共に、鉛直方向における第一支持部５０とベース部１０Ａとの間の距離（第一距離）と、鉛直方向における第二支持部４０とベース部１０Ａとの間の距離（第二距離）とを互いに近づけるように動作する。以下、リンク機構７０の詳細について説明する。
【0031】
リンク機構７０は、第一シャフト（第三緩衝部）７１と、第二シャフト（第三緩衝部）７２と、第三シャフト７３と、第一ブッシュ８１と、第二ブッシュ８２と、第一ブロック８３と、第二ブロック８４と、を有している。
【0032】
第一シャフト７１は、図３、図４、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示されるように、第二支持部４０における第四本体部材４６の第二側面部４６Ｄに設けられた第一ブッシュ８１に支持されており、前後方向に延在している。第一シャフト７１は、第一ブッシュ８１の挿通孔８１Ａに挿通され、第一ブッシュ８１に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。第一ブッシュ８１の材料は、第一シャフト７１の軸部７１Ｃが所定の回転性かつ所定の摺動性を有するように適宜選定される。第一シャフト７１，７１は、前後方向において、第二支持部４０の両端に配置されている。前後方向に配列される二つの第一シャフト７１，７１は、前後方向に略一直線上に配置されている。
【0033】
第一シャフト７１は、第一本体部７１Ａと、第二本体部７１Ｂと、軸部７１Ｃと、を有している。第一本体部７１Ａは、第三シャフト７３の一端に連結されており、軸部７１Ｃと一体的に形成されている。第一本体部７１Ａの径は、軸部７１Ｃの径よりも大きい。第二本体部７１Ｂは、軸部７１Ｃを外挿可能かつ軸部７１Ｃに対して移動可能に形成されている。第二本体部７１Ｂの径は、軸部７１Ｃの径よりも大きい。弾性部材（第三緩衝部）７５は、軸部７１Ｃに外挿されると共に、第一本体部７１Ａと第二本体部７１Ｂとの間に配置される。弾性部材７５は、所定のバネ定数を有するコイルバネであり、第二本体部７１Ｂを第四本体部材４６の第二側面部４６Ｄに対して付勢する。軸部７１Ｃの一方の端部には、第一シャフト７１が傾くことを防止するストッパ７１Ｄが設けられている。当該ストッパ７１Ｄは、第四本体部材４６の本体部４６Ａに対して前後方向への摺動を可能にする材料によって形成されている。
【0034】
このような構成の第一シャフト７１は、第二支持部４０がベース部１０Ａに対する定位置から前後方向（走行方向）へ相対的に移動することを可能としている。また、図４に示されるように、前後方向に第二支持部４０を挟んで設けられる一対の弾性部材７５，７５は、ベース部１０Ａに対する定位置から前後方向（走行方向）へ移動する第二支持部４０を上記定位置に復帰させる機能を有している。例えば、第二支持部４０がベース部１０Ａに対する定位置から前後方向の前側に相対的に移動した場合には、前後方向の前側に配置される第一シャフト７１に設けられている弾性部材７５が圧縮される。第二支持部４０は、このときの弾性部材７５の反発力によってベース部１０Ａに対する定位置に戻される。また、例えば、第二支持部４０がベース部１０Ａに対する定位置から前後方向の後側に相対的に移動した場合には、前後方向の後側に配置される第一シャフト７１に設けられている弾性部材７５が圧縮される。第二支持部４０は、このときの弾性部材７５の反発力によってベース部１０Ａに対する定位置に戻される。
【0035】
第二シャフト７２は、図３、図４、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示されるように、第一支持部５０における第二本体部材５６の第二側面部５６Ｄに設けられた第二ブッシュ８２に支持されており、前後方向に延在している。第二シャフト７２は、第二ブッシュ８２の挿通孔８２Ａに挿通され、第二ブッシュ８２に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。第二ブッシュ８２の材料は、第二シャフト７２の軸部７２Ｃが所定の回転性かつ所定の摺動性を有するように適宜選定される。第二シャフト７２，７２は、前後方向において、第一支持部５０の両端に配置されている。前後方向に配列される二つの第二シャフト７２，７２は、前後方向に略一直線上に配置されている。
【0036】
第二シャフト７２は、第一本体部７２Ａと、第二本体部７２Ｂと、軸部７２Ｃと、を有している。第一本体部７２Ａは、第三シャフト７３の他端に連結されており、軸部７２Ｃと一体的に形成されている。第一本体部７２Ａの径は、軸部７２Ｃの径よりも大きい。第二本体部７２Ｂは、軸部７２Ｃを外挿可能かつ軸部７２Ｃに対して移動可能に形成されている。第二本体部７２Ｂの径は、軸部７２Ｃの径よりも大きい。弾性部材（第三緩衝部）７６は軸部７２Ｃに外挿されると共に、第一本体部７２Ａと第二本体部７２Ｂとの間に配置される。弾性部材７６は、所定のバネ定数を有するコイルバネであり、第二本体部７２Ｂを第二本体部材５６の第二側面部５６Ｄに対して付勢する。
【0037】
このような構成の第二シャフト７２は、第一支持部５０がベース部１０Ａに対する定位置から前後方向（走行方向）へ相対的に移動することを可能としている。また、図４に示されるように、前後方向に第一支持部５０を挟んで設けられる一対の弾性部材７６，７６は、ベース部１０Ａに対する定位置から前後方向（走行方向）へ移動する第二支持部４０を上記定位置に復帰させる機能を有している。例えば、第一支持部５０がベース部１０Ａに対する定位置から前後方向の前側に相対的に移動した場合には、前後方向の前側に配置される第二シャフト７２に設けられている弾性部材７６が圧縮される。第一支持部５０は、このときの弾性部材７６の反発力によってベース部１０Ａに対する定位置に戻される。また、例えば、第一支持部５０がベース部１０Ａに対する定位置から前後方向の後側に相対的に移動した場合には、前後方向の後側に配置される第二シャフト７２に設けられている弾性部材７６が圧縮される。第一支持部５０は、このときの弾性部材７６の反発力によってベース部１０Ａに対する定位置に戻される。
【0038】
第三シャフト７３は、図３、図４、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示されるように、ベース部１０Ａの底面に固着された第一ブロック８３及び第二ブロック８４に支持されており、左右方向に延在している。第三シャフト７３は前後方向にそれぞれ配置されており、二本の第三シャフト７３，７３は、それぞれ平行となるように配置されている。第三シャフト７３は、第一ブロック８３の挿通孔８３Ａ及び第二ブロック８４の挿通孔８４Ａに挿通され、第一ブロック８３及び第二ブロック８４に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。
【0039】
左右方向における第三シャフト７３の一端は第一シャフト７１に連結され、第三シャフト７３の他端は、第二シャフト７２に連結されている、具体的には、第三シャフト７３の一端が第一シャフト７１に形成された挿通孔に挿通されることによって連結され、第三シャフト７３の他方の端部が第二シャフト７２に形成された挿通孔に挿通されることによって連結されている。
【0040】
次に、主に図３、図４、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）を用いて第一支持部５０の動作の一例を説明する。保持装置１１によって被収容物が収容されたＦＯＵＰ９０又は空のＦＯＵＰ９０が把持されると、弾性部材５８に荷重が作用され、弾性部材５８が圧縮される。弾性部材５８が圧縮されると反発力が生じ、ベース部１０Ａは付勢される。走行駆動部３が走行するとき又は昇降装置１０が昇降するときに保持装置１１を介してＦＯＵＰ９０に伝達される振動は、第一支持部５０に設けられた弾性部材５８によって低減される。
【0041】
次に、第二支持部４０の動作の一例を説明する。保持装置１１によって被収容物が収容されたＦＯＵＰ９０又は空のＦＯＵＰ９０が把持されると、弾性部材４８に荷重が作用され、弾性部材４８が圧縮される。弾性部材４８が圧縮されると反発力が生じ、ベース部１０Ａは付勢される。走行駆動部３が走行するとき又は昇降装置１０が昇降するときに保持装置１１を介してＦＯＵＰ９０に伝達される振動は、第二支持部４０に設けられた弾性部材４８によって低減される。
【0042】
次に、左右方向に配列された第二支持部４０と第一支持部５０とを連結するリンク機構７０の動作の一例を説明する。例えば、走行時の遠心力により、左側の第二支持部４０の弾性部材４８，４８に力が作用したとする。第二支持部４０の弾性部材４８，４８に力が作用すると弾性部材４８，４８は縮められ、第四本体部材４６は上方（矢印Ｄ１）に移動する。すなわち、第四本体部材４６とベース部１０Ａとの距離が近くなる。なお、本動作における上方への移動とは、ベース部１０Ａに近づく相対的な移動を示しており、下方への移動とは、ベース部１０Ａから遠ざかる相対的な移動を示している。第四本体部材４６が上方に移動すると、第四本体部材４６に第一ブッシュ８１を介して固定された第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が上方（矢印Ｄ２）に移動し、第一シャフト７１の第三シャフト７３に連結される側の端部が下方（矢印Ｄ３）に移動する。
【0043】
第一シャフト７１の第三シャフト７３側の端部が下方に移動すると、第三シャフト７３も下方（矢印Ｄ４）に移動する。第三シャフト７３が下方に移動すると、第三シャフト７３に連結される共に第二本体部材５６に第二ブッシュ８２を介して固定された第二シャフト７２の第三シャフト７３側の端部が下方（矢印Ｄ５）に移動し、第二ブッシュ８２側の端部が上方（矢印Ｄ６）に移動する。これにより、第二本体部材５６は上方（矢印Ｄ７）に押し上げられる。第二本体部材５６が押し上げられると、第一支持部５０の弾性部材５８，５８が縮められ、第一本体部材５４とベース部１０Ａとの距離が短くなる。
【0044】
一方、弾性部材４８，４８が引っ張られ、弾性部材４８，４８が伸ばされると、第四本体部材４６は下方（矢印Ｄ１とは反対方向）に移動する。すなわち、第四本体部材４６とベース部１０Ａとの距離が広がる。第四本体部材４６が下方に移動すると、第四本体部材４６に第一ブッシュ８１を介して固定された第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が下方（矢印Ｄ２とは反対方向）に移動し、第一シャフト７１の第三シャフト７３に連結される側の端部が上方（矢印Ｄ３とは反対方向）に移動する。
【0045】
第一シャフト７１の第三シャフト７３側の端部が上方に移動すると、第三シャフト７３も上方（矢印Ｄ４とは反対方向）に移動する。第三シャフト７３が上方に移動すると、第三シャフト７３に連結される共に第二本体部材５６に第二ブッシュ８２を介して固定された第二シャフト７２の第三シャフト７３側の端部が上方（矢印Ｄ５とは反対方向）に移動し、第二ブッシュ８２側の端部が下方（矢印Ｄ６とは反対方向）に移動する。これにより、第二本体部材５６は下方（矢印Ｄ７とは反対側）に押し下げられる。第二本体部材５６が押し下げられると、第一支持部５０の弾性部材５８，５８が伸ばされ、第一本体部材５４とベース部１０Ａとの距離が長くなる。
【0046】
このように、左右方向に配列される第二支持部４０と第一支持部５０とを連結するリンク機構７０は、第二支持部４０の弾性部材４８，４８及び第一支持部５０の弾性部材５８，５８が縮んだり伸びたりすれば、ベース部１０Ａの底面に固着された第一ブロック８３及び第二ブロック８４を支点に第三シャフト７３が追従して回転運動し、第二支持部４０の弾性部材４８，４８及び第一支持部５０の弾性部材５８，５８を縮めたり、伸ばしたりする。すなわち、リンク機構７０は、互いに連結されている第二支持部４０及び第一支持部５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第二本体部材５６との距離との間に差が生じたときに、互いに連結されている第二支持部４０及び第一支持部５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第二本体部材５６との距離とを互いに近づけるように動作する。
【0047】
リンク機構７０は、ベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第二本体部材５６との距離との間に差が生じたときに応力（捻り応力）が発生する第三シャフト７３を有している。第三シャフト７３に発生した応力に対する反力は、ベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第二本体部材５６との距離とを互いに近づける力として作用する。
【0048】
上記実施形態の天井搬送車１の作用効果について説明する。上記実施形態の天井搬送車１では、鉛直方向における第一支持部５０とベース部１０Ａとの間の距離と、鉛直方向における第二支持部４０とベース部１０Ａとの間の距離とを互いに近づけるように動作するリンク機構７０が設けられている。これにより、昇降装置１０（ベース部１０Ａ）にロール運動が生じることを抑制できる。このため、ベース部１０Ａにおける左右方向における傾きを小さくすることができ、ＦＯＵＰ９０の揺れを抑制できる。
【0049】
また、第一支持部５０及び第二支持部４０には、第一支持部５０及び第二支持部４０に対してベース部１０Ａの鉛直方向における移動を可能にする弾性部材４８，５８が設けられているので、昇降装置１０を介してＦＯＵＰ９０に伝達される鉛直方向の振動を低減することができる。更に、リンク機構７０は、第一支持部５０に対してベース部１０Ａの水平方向における移動を可能にすると共に弾性部材７６、７６によって定（中立）位置に戻そうとする力が常時作用し、また、第二支持部４０に対してベース部１０Ａの水平方向における移動を可能にすると共に弾性部材７５、７５によって定位置に戻そうとする力が常時作用するので、昇降装置１０を介してＦＯＵＰ９０に伝達される水平方向の振動、より詳細には前後方向の振動を低減することができる。これらの結果、ＦＯＵＰ９０に伝わる振動の更なる低減を図りつつ、ＦＯＵＰ９０の揺れを抑制することができる。
【0050】
上記実施形態の天井搬送車１では、弾性部材４８，５８，７５，７６は、バネ部材により形成されているので、簡易な構成で効率的に振動を低減することができる。
【0051】
以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【0052】
上記実施形態の天井搬送車１では、ベース部１０Ａに対して第一支持部５０の走行方向における相対移動を可能にすると共に弾性部材７６，７６によって第一支持部５０を定位置に戻そうとする力が常時作用し、また、ベース部１０Ａに対して第二支持部４０の走行方向における相対移動を可能にすると共に弾性部材７５，７５によって第二支持部４０を定位置に戻そうとする力が常時作用している例を挙げて説明したが、当該構成に加えて、ベース部１０Ａに対して第一支持部５０及び第二支持部４０の左右方向における相対移動を可能にすると共に、弾性部材７７によって第一支持部５０及び第二支持部４０を定位置に戻そうとする力が常時作用する構成を備えてもよい。
【0053】
具体的には、図８に示されるように、第三シャフト（第四緩衝部）７３のそれぞれには、第一本体部７２Ａと第二ブロック８４との間に弾性部材７７が配置され、第一本体部７１Ａと第一ブロック８３との間に弾性部材７７が配置されている。このような構成の第三シャフト７３は、第一支持部５０及び第二支持部４０がベース部１０Ａに対する定位置から左右方向（幅方向）へ相対的に移動することを可能としている。また、左右方向において第三シャフト７３の両端に配置される弾性部材７７，７７は、ベース部１０Ａに対する定位置から左右方向（幅方向）へ移動する第一支持部５０及び第二支持部４０を上記定位置に復帰させる機能を有している。
【0054】
例えば、第一支持部５０又は第二支持部４０がベース部１０Ａに対する定位置から左右方向の右側に相対的に移動した場合には、左右方向の右側に配置されている弾性部材７７が圧縮される。第一支持部５０又は第二支持部４０は、このときの弾性部材７７の反発力によってベース部１０Ａに対する定位置に戻される。また、例えば、第一支持部５０又は第二支持部４０がベース部１０Ａに対する定位置から左右方向の左側に相対的に移動した場合には、左右方向の左側に配置されている弾性部材７７が圧縮される。第一支持部５０又は第二支持部４０は、このときの弾性部材７７の反発力によってベース部１０Ａに対する定位置に戻される。この変形例に係る構成の天井搬送車１では、昇降装置１０を介してＦＯＵＰ９０に伝達される前後方向及び左右方向の両方の振動を低減することができる。
【0055】
また、上記実施形態の天井搬送車１のベース部１０Ａに対して第一支持部５０の走行方向における相対移動を可能にする構成（第二シャフト７２及び弾性部材７６，７６）及び第二支持部４０の走行方向における相対移動を可能にする構成（第一シャフト７１及び弾性部材７５，７５）を備える構成に代えて、上述の変形例の構成（弾性部材７７）を備える構成としてもよい。この変形例に係る構成の天井搬送車１では、昇降装置１０を介してＦＯＵＰ９０に伝達される左右方向の振動を低減することができる。
【0056】
上記実施形態及び変形例では、弾性部材４８，５８，７５，７６，７７の例としてコイルバネを例に挙げて説明したが、例えばシリコーン樹脂等によって形成されるゲル状の弾性体を配置してもよい。この場合であっても、コイルバネと同様に振動及び衝撃を吸収することができる。
【0057】
上記実施形態及び変形例では、第一支持部５０は左右方向において昇降装置１０の右側に設けられ、第二支持部４０は左右方向において昇降装置１０の左側に設けられる例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、左右方向において第一支持部５０と第二支持部４０との位置を入れ替えた構成の天井搬送車１であってもよい。また、例えば、左右方向の両側に第一支持部５０又は第二支持部４０を配置する等、ベルト９とベース部１０Ａとを接続する支持部の構成は、互いに同じであってもよい。
【符号の説明】
【0058】
１…天井搬送車、２…走行レール（軌道）、９…ベルト（吊持部材）、１０…昇降装置（昇降部）、１０Ａ…ベース部、１１…保持装置（把持部）、４０…第二支持部、４８…弾性部材（第二緩衝部）、５０…第一支持部、５８…弾性部材（第一緩衝部）、７０…リンク機構、７１…第一シャフト（第三緩衝部）、７２…第二シャフト（第三緩衝部）、７３…第三シャフト（第四緩衝部）、７５…弾性部材（第三緩衝部）、７６…弾性部材（第三緩衝部）、７７…弾性部材（第四緩衝部）、９０…ＦＯＵＰ（物品）。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】