特許 7325793 バルブ、流体制御装置、および、パージガスラインの変更方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-08-04

(45)【発行日】2023-08-15

(54)【発明の名称】バルブ、流体制御装置、および、パージガスラインの変更方法

(51)【国際特許分類】

   F16K 27/00 20060101AFI20230807BHJP

   F17D 1/04 20060101ALI20230807BHJP

【ＦＩ】

F16K27/00 C

F17D1/04

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2018035540

(22)【出願日】2018-02-28

(65)【公開番号】P2019152218

(43)【公開日】2019-09-12

【審査請求日】2021-01-06

【審判番号】

【審判請求日】2022-07-20

(73)【特許権者】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(74)【代理人】

【識別番号】100183380

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 裕司

(72)【発明者】

【氏名】堂屋英宏

(72)【発明者】

【氏名】鈴木貴之

(72)【発明者】

【氏名】田中林明

【合議体】

【審判長】佐々木 芳枝

【審判官】窪田 治彦

【審判官】五十嵐 康弘

(56)【参考文献】

【文献】特開２００３－９１３２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３２０６９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－５１２０５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

F16K27/00

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１流路、第２流路、および第３流路が形成されたボディと、
常時連通される前記第１流路及び前記第２流路と、前記第３流路との間を連通または遮断する弁体と、
前記弁体を作動させる駆動部を有するアクチュエータと、を備えたバルブであって、
前記ボディには、その前記アクチュエータ側に対する反対側の面に、一直線上に並ぶ第１～第４凹部が形成され、
前記第１流路は、前記第１凹部を介して前記反対側の面に開口し、前記第２流路は、前記第２凹部を介して前記反対側の面に開口し、前記第３流路は、前記第３凹部を介して前記反対側の面に開口し、
前記第１凹部と前記第２凹部との間に、第３凹部と第４凹部とが位置するように形成され、前記第１凹部と前記第２凹部との中間位置と、前記第３凹部と前記第４凹部との中間位置とが同一位置となるように構成され、
前記ボディに形成されたいずれの流路も、前記第４凹部を介して、前記反対側の面に開口していない、バルブ。

【請求項2】

前記同一位置は、前記アクチュエータの中心軸からずれている、請求項１に記載のバルブ。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載のバルブと、当該バルブの上流側および下流側が接続される一対の継手とを備え、プロセスガスを流すための複数のガスラインと、
各ガスラインに連結される第１マニホールドを有し、パージガスを流すための第１パージガスラインと、
各ガスラインに連結される第２マニホールドを有し、パージガスを流すための第２パージガスラインと、を備え、
前記第１マニホールドは、各ガスラインにパージガスを流すための第１流出路を有し、
前記第２マニホールドは、各ガスラインにパージガスを流すための第２流出路を有し、
前記バルブは、
前記第１流路と前記一対の継手のうち上流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第２流路と前記一対の継手のうち下流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第３流路と前記第１流出路とが互いに連通し、前記第２流出路が、前記第４凹部に閉止された状態、または、
前記第２流路と前記一対の継手のうち上流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第１流路と前記一対の継手のうち下流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第３流路と前記第２流出路とが互いに連通し、前記第１流出路が、前記第４凹部に閉止された状態で、
前記一対の継手、前記第１マニホールド、前記第２マニホールドに連結される、流体制御装置。

【請求項4】

請求項３に記載の流体制御装置において、
前記第１流路と前記一対の継手のうち上流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第２流路と前記一対の継手のうち下流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第３流路と前記第１流出路とが互いに連通し、前記第２流出路が、前記第４凹部に閉止された状態で、前記一対の継手、前記第１マニホールド、前記第２マニホールドに連結され、前記第１パージガスラインに前記第３流路が接続されたバルブを取り外し、
取り外した前記バルブを１８０°回転させ、
反転させた前記バルブを、前記第２流路と前記一対の継手のうち上流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第１流路と前記一対の継手のうち下流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第３流路と前記第２流出路とが互いに連通し、前記第１流出路が、前記第４凹部に閉止された状態に、前記一対の継手、前記第１マニホールド、前記第２マニホールドに連結し、前記第２パージガスラインに前記第３流路を接続する、パージガスラインの変更方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バルブ、流体制御装置、および、パージガスラインの変更方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来の流体制御装置では、可燃性ガスを流す複数のガスラインにパージガスを流すためのパージガスラインと、支燃性ガスを流す複数のガスラインにパージガスを流すためのパージガスラインとは、分離して設置されている。これにより、パージガスの一つの供給ラインに可燃性ガスと支燃性ガスの両方が逆流することを防止している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１３－１７７９４８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、従来の流体制御装置では、可燃性ガスを流す複数のガスラインのうちの一つに支燃性ガスを流すように、または、支燃性ガスを流す複数のガスラインのうちの一つに可燃性ガスを流すように仕様変更があった場合には、パージガスラインを構成する配管全体を作りなおす必要がある

【0005】

特許文献１に開示されたパージライン変更用ブロック継手を用いることで、後から新たな種類のパージガスを利用することが可能になるが、パージガスラインの配管を一式作りなおす必要があるため、パージガスラインの変更は容易ではない。

【0006】

そこで本発明は、複数のガスラインにおいてパージガスラインの変更を容易にすることことを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を解決するために、本発明の一態様であるバルブは、第１流路、第２流路、および第３流路が形成されたボディと、常時連通される前記第１流路および前記第２流路と、前記第３流路との間を連通または遮断する弁体と、前記弁体を作動させる駆動部を有するアクチュエータと、を備える。前記ボディには、その前記アクチュエータ側に対する反対側の面に、一直線上に並ぶ第１～第４凹部が形成され、前記第１流路は、前記第１凹部を介して前記反対側の面に開口し、前記第２流路は、前記第２凹部を介して前記反対側の面に開口し、前記第３流路は、前記第３凹部を介して前記反対側の面に開口し、前記第１凹部と前記第２凹部との間に、第３凹部と第４凹部とが位置するように形成され、前記第１凹部と前記第２凹部との中間位置と、前記第３凹部と前記第４凹部との中間位置とが同一位置となるように構成されている。

【0008】

また、前記同一位置は、前記アクチュエータの中心軸からずれていてもよい。

【0009】

また、本発明の一態様である流体制御装置は、上記のバルブと、当該バルブの上流側および下流側が接続される一対の継手とを備え、プロセスガスを流すための複数のガスラインと、各ガスラインに連結される第１マニホールドを有し、パージガスを流すための第１パージガスラインと、各ガスラインに連結される第２マニホールドを有し、パージガスを流すための第２パージガスラインと、を備える。前記第１マニホールドは、各ガスラインにパージガスを流すための第１流出路を有し、前記第２マニホールドは、各ガスラインにパージガスを流すための第２流出路を有する。前記バルブは、前記第１流路と前記一対の継手のうち上流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第２流路と前記一対の継手のうち下流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第３流路と前記第１流出路とが互いに連通し、前記第２流出路が、前記第４凹部に閉止された状態、または、前記第２流路と前記一対の継手のうち上流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第１流路と前記一対の継手のうち下流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第３流路と前記第２流出路とが互いに連通し、前記第１流出路が、前記第４凹部に閉止された状態で、前記一対の継手、前記第１マニホールド、前記第２マニホールドに連結される。

【0010】

また、本発明の一態様であるパージガスラインの変更方法は、上記の流体制御装置において、 前記第１流路と前記一対の継手のうち上流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第２流路と前記一対の継手のうち下流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第３流路と前記第１流出路とが互いに連通し、前記第２流出路が、前記第４凹部に閉止された状態で、前記一対の継手、前記第１マニホールド、前記第２マニホールドに連結され、前記第１パージガスラインに前記第３流路が接続されたバルブを取り外し、前記バルブを１８０°回転させ、反転させた前記バルブを、前記第２流路と前記一対の継手のうち上流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第１流路と前記一対の継手のうち下流側に位置する継手の流路とが互いに連通し、前記第３流路と前記第２流出路とが互いに連通し、前記第１流出路が、前記第４凹部に閉止された状態に、前記一対の継手、前記第１マニホールド、前記第２マニホールドに連結し、前記第２パージガスラインに前記第３流路を接続する。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、複数のガスラインにおいてパージガスラインの変更を容易にすることができる技術を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の系統図である。

【図2】第１の実施形態に係る流体制御装置の平面図である。

【図3】図２に示した流体制御装置のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図である。

【図4】第１の実施形態のバルブの第３流路が、第１マニホールドの第１流出路に接続された状態を示す図である。

【図5】第１の実施形態のバルブの第３流路が、第２マニホールドの第２流出路に接続された状態を示す図である。

【図6】第２の実施形態に係る流体制御装置の平面図である。

【図7】第２の実施形態のバルブの第３流路が、第１マニホールドの第１流出路に接続された状態を示す図である。

【図8】第２の実施形態のバルブの第３流路が、第２マニホールドの第２流出路に接続された状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の実施形態に係るバルブ４０を備える流体制御装置１について、図面を参照して説明する。

【0014】

図１は、本実施形態に係る流体制御装置１の系統図である。図２は、流体制御装置１の平面図である。図３は、図２に示した流体制御装置１のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図である。

【0015】

流体制御装置１は、ベース２と、複数のガスライン１０と、第１パージガスライン２０と、第２パージガスライン３０とを備える。

【0016】

ベース２は、鋼材等により構成され、平板状をなしている。ベース２には、複数のボルト螺合孔２ａが形成されている。各ガスライン１０には、例えば可燃性ガスまたは支燃性ガスが流される。可燃性ガスは、例えば、水素（Ｈ_２）、メタン（ＣＨ_４）、シラン（ＳｉＨ_４）等であり、支燃性ガスは、例えば、酸素（Ｏ_２）、亜酸化窒素（Ｎ_２Ｏ）、塩素（Ｃｌ_２）等である。各ガスライン１０の構成は同じであるので、以下では複数のガスライン１０のうちの一つのガスライン１０についてのみ説明を行う。

【0017】

図１～図３に示すように、各ガスライン１０は、複数の継手１１と、複数の流体制御機器１２～１７、４０と、複数のボルト１８と、複数のガスケット１９（図４参照）とを備える。なお、図の簡略化のために、複数のボルト１８については、一つのボルト１８にのみ参照番号を付している。ガスケット１９は、シール部材であり、例えば金属または樹脂等により構成される。

【0018】

複数の継手１１は、ガスライン１０の長手方向に沿って一列に並ぶように配置され、ボルト螺合孔２ａに図示せぬボルトが螺合されることによりベース２に対し固定されている。継手１１は、略直方体形状をなし、略Ｖ字状の流路１１ａが形成されている。継手１１には、流路１１ａの各開口部に凹部１１ｂ（図４参照）が形成されている。なお、最上流側の継手１１は、図示せぬ入口配管に接続され、最下流側の継手１１は、図示せぬ出口配管に接続される。

【0019】

複数の流体制御機器１２～１７、４０は、手動弁であるバルブ１２と、レギュレータ（減圧弁）１３と、圧力計１４と、自動弁（例えば流体駆動式の自動弁）であるバルブ１５、４０と、流量制御機器（例えば、マスフローコントローラ（ＭＦＣ：Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ））１６と、フィルタ１７とにより構成されている。各流体制御機器１２～１７、４０は、ボルト１８により、対応する継手１１に固定されている。

【0020】

第１パージガスライン２０および第２パージガスライン３０は、複数のガスライン１０に隣接して設けられ、第２パージガスライン３０は、第１パージガスライン２０から分岐している。第１パージガスライン２０および第２パージガスライン３０は、一つのパージガス供給源からのパージガス（例えば、窒素）を複数のガスライン１０に流すためのラインであり、第１パージガスライン２０は、可燃性ガスが流れるガスライン１０に、第２パージガスライン３０は支燃性ガスが流れるガスライン１０にパージガスを流すために設けられている。

【0021】

第１パージガスライン２０は、複数の継手２１（図２では一つの継手２１のみ表示）と、複数の流体制御機器２２～２４と、複数のボルト２５と、図示せぬ複数のガスケットと、第１配管部２６と、第１マニホールド２７とを備える。なお、図の簡略化のために、複数のボルト２５については、一つのボルト２５にのみ参照番号を付している。ガスケットは、シール部材であり、例えば金属または樹脂等により構成される。

【0022】

継手２１の構成は、継手１０の構成と同じであるので説明を省略する。複数の流体制御機器２２～２４は、手動弁であるバルブ２２と、レギュレータ（減圧弁）２３と、圧力計２４とにより構成されている。各流体制御機器２２～２４は、ボルト２５により、対応する継手２１に固定されている。

【0023】

第１配管部２６は、一端が圧力計２４の出口側に接続され、他端が第１マニホールド２７の入口側に接続されている。第１マニホールド２７は、バルブ４０の下側を各ガスライン１０を横切るように配置され、各バルブ４０に対し連結されている。図４に示すように、第１マニホールド２７には、ガスライン１０に対し直交するように延びる第１共通流路２７ａと、第１共通流路２７ａから各バルブ４０に向かって延びる第１流出路２７ｂとが形成されている。また、第１マニホールド２７の第１流出路２７ｂの開口部には、凹部２７ｃが形成されている。

【0024】

図２に示すように、第２パージガスライン３０は、図示せぬ複数の継手と、複数の流体制御機器３１～３２と、複数のボルト３３と、図示せぬ複数のガスケットと、分岐部３４と、第２配管部３５と、第２マニホールド３６とを備える。なお、図の簡略化のために、複数のボルト３３については、一つのボルト３３にのみ参照番号を付している。ガスケットは、シール部材であり、例えば金属または樹脂等により構成される。

【0025】

図示せぬ継手の構成は、継手１０の構成と同じである。複数の流体制御機器３１、３２レギュレータ（減圧弁）３１と、圧力計３２とにより構成されている。各流体制御機器３１～３２は、ボルト３３により、対応する継手に固定されている。分岐部３４により、レギュレータ３１の上流側と、第１パージガスライン２０のバルブ２２とレギュレータ２３との間の部分とが接続されている。

【0026】

第２配管部３５は、一端が圧力計３２の出口側に接続され、他端が第２マニホールド３６の入口側に接続されている。第２マニホールド３６は、バルブ４０の下側を各ガスライン１０を横切るように配置され、各バルブ４０に対し接続されている。図４に示すように、第２マニホールド３６には、ガスライン１０に対し直交するように延びる第２共通流路３６ａと、第２共通流路３６ａから各バルブ４０に向かって延びる第２流出路３６ｂとが形成されている。また、第２マニホールド３６の第２流出路３６ｂの開口部には、凹部３６ｃが形成されている。

【0027】

バルブ４０の下側に位置する第１マニホールド２７、第２マニホールド３６、およびこれらの上流側・下流側に位置する継手１１において、第１マニホールド２７の凹部２７ｃおよび第２マニホールド３６の凹部３６ｃの中間位置と、上流側・下流側に位置する継手１１の凹部１１ｂの中間位置とは略同一位置Ａとなるように構成されている。当該同一位置Ａは、アクチュエータ４２の中心軸Ｃ上に位置する。なお、本実施形態では、第１マニホールド２７、第２マニホールド３６、およびこれらの上流側・下流側に位置する継手１１は、互いに隣り合う凹部２７ｃ、３６ｃ、１１ｂとの間が等距離となるように設置されている。

【0028】

次に、バルブ４０について図４、５を参照して説明する。

【0029】

図４は、バルブ４０の第３流路４６ｃが、第１マニホールド２７の第１流出路２７ｂに接続された状態を示す図であり、図５は、バルブ４０の第３流路４６ｃが、第２マニホールド３６の第２流出路３６ｂに接続された状態を示す図である。

【0030】

図４、５に示すように、バルブ４０は、ボディ４１と、アクチュエータ４２とを備える。

【0031】

ボディ４１は、本体部４３と円筒部４４とを備え、例えば、切削、鋳造、ロストワックス、または３Ｄプリンタにより製造される。本体部４３には、第１流路４６ａと、第２流路４６ｂと、第３流路４６ｃとが形成されている。円筒部４４は、本体部４３の上側に設けられ、弁室４４ａが形成されている。また、弁室４４ａには、環状の溝４４ｂが形成され、弁体であるダイヤフラム４４Ｃが設けられている。第１流路４６ａおよび第２流路４６ｂは、溝４４ｂに連通し、第３流路４６ｃは、溝４４ｂ以外の弁室４４ａに連通するように構成されている。よって、第１流路４６ａおよび第２流路４６ｂは、溝４４ｂのより常時連通している。なお、本体部４３の詳細な構成については後述する。

【0032】

アクチュエータ４２は、ボンネット４２Ａと、シート４２Ｂと、押さえアダプタ４２Ｃと、ダイヤフラム押さえ４２Ｄと、図示せぬステムと、図示せぬ駆動部とを有する。

【0033】

ボンネット４２Ａは、略円筒状をなし、ボディ４１の円筒部４４に対し固定されている。シート４２Ｂは、環状をなし、円筒部４４の弁室４４ａと第３流路４６ｃとが連通する箇所の周縁に設けられている。ダイヤフラム４４Ｃは、押さえアダプタ４２Ｃにより、その外周縁部が狭圧され、ボディ４１に対し保持されている。

【0034】

弁体であるダイヤフラム４４Ｃは、略球殻状をなし、上に凸の略円弧状が自然状態となっている。ダイヤフラム４４Ｃがシート４２Ｂに対し当接および離間することによって、第１流路４６ａおよび第２流路４６ｂと、第３流路４６ｃとの間の連通または遮断が行われる。バルブ４０が閉状態にあるときには、ダイヤフラム４４Ｃがシート４２Ｂに当接し、第１流路４６ａおよびと第２流路４６ｂと、第３流路４６ｃとが遮断される。バルブ４０が開状態にあるときには、ダイヤフラム４４Ｃがシート４２Ｂから離間し、第１流路４６ａおよび第２流路４６ｂと、第３流路４６ｃとが連通する。

【0035】

ダイヤフラム押さえ４２Ｄは、ダイヤフラム４４Ｃの上側に設けられ、ダイヤフラム４４Ｃの中央部を押圧可能に構成されている。ダイヤフラム押さえ４２Ｄは、ボンネット４２Ａにより上下方向に移動可能に支持されている。図示せぬステムは、ボンネット４２Ａにより、上下方向に移動可能に支持されている。図示せぬ駆動部は、外部からの流体により駆動力を発生させ、図示せぬステムを上下動させる。

【0036】

本体部４３は、そのアクチュエータ４２側に対する反対側に位置し、継手１１、第１マニホールド２７、第２マニホールド３６に当接する当接面４５を有する。当接面４５には、第１～第４凹部４５ａ～４５ｄが形成されている。第１～第４凹部４５ａ～４５ｄは、一直線上に並ぶように形成され、第１凹部４５ａおよび第２凹部４５ｂの中間位置と、第３凹部４５ｃおよび第４凹部４５ｄの中間位置とが略同一位置Ａとなるように構成されている。当該同一位置Ａは、アクチュエータ４２の中心軸Ｃ上に位置する。本実施形態では、第１～第４凹部４５ａ～４５ｄは、互いに隣り合う凹部との間が等距離に形成されている。

【0037】

上記のように本体部４３には、第１流路４６ａと、第２流路４６ｂと、第３流路４６ｃとが形成されている。

【0038】

第１流路４６ａは、プロセスガスおよびパージガスを流すための流路であり、第１凹部４５ａを介して当接面４５に開口する第１ポート４７ａを有する。第２流路４６ｂは、プロセスガスおよびパージガスを流すための流路であり、第２凹部４５ｂを介して当接面４５に開口する第２ポート４７ｂを有する。第３流路４６ｃは、パージガスを流すための流路であり、第３凹部４５ｃを介して当接面４５に開口する第３ポート４７ｃを有する。

【0039】

図４では、本体部４３の凹部４５ａおよび上流側に位置する継手１１の下流側の凹部１１ｂには、ガスケット１９が挿入され、本体部４３と上流側に位置する継手１１との連結部分がシールされている。本体部４３の凹部４５ｂおよび下流側に位置する継手１１の上流側の凹部１１ｂには、ガスケット１９が挿入され、本体部４３と下流側に位置する継手１１との連結部分がシールされている。本体部４３の凹部４５ｃおよび第１マニホールド２７の凹部２７ｃには、ガスケット１９が挿入され、本体部４３と第１マニホールド２７との連結部分がシールされている。本体部４３の凹部４５ｄおよび第２マニホールド３６の凹部３６ｃには、ガスケット１９が挿入され、本体部４３と第２マニホールド３６との連結部分がシールされている。

【0040】

これにより、第１流路４６ａは、上流側に位置する継手１１の流路１１ａに連通し、第２流路４６ｂは、下流側に位置する継手１１の流路１１ａに連通し、第３流路４６ｃは、第１マニホールド２７の第１流出路２７ｂに連通している。また、第２マニホールド３６の第２流出路３６ｂは、第４凹部４５ｄにより閉止され、第１～３流路４６ａ～４６ｃのいずれとも連通していない。すなわち、当該バルブ４０の第３流路４６ｃは、第１パージガスライン２０に接続されているが、第２パージガスライン３０には接続されていない。このように、バルブ４０は、第１パージガスライン２０に接続されているので、バルブ４０を有するガスライン１０には、可燃性ガスが流される。

【0041】

当該バルブ４０を有するガスライン１０では、バルブ４０は閉状態のまま、バルブ１５を開閉することにより、可燃性ガスの供給・遮断が行われる。また、パージガスによりマスフローコントローラ１６等をパージするときは、バルブ２２は開状態であり、バルブ１５を閉じ、バルブ４０を開閉することにより、パージガスの供給・遮断が行なわれる。バルブ４０は、第１パージガスライン２０に接続されているので、第１パージガスライン２０からのパージガスが当該ガスライン１０を流れる。

【0042】

次に、第２パージガスライン３０に接続した状態のバルブ４０について説明する。

【0043】

図５に示すように、バルブ４０は、図４に示した状態から１８０°反転させて、継手１１、第１マニホールド２７、および第２マニホールド３６に接続されている。

【0044】

本体部４３の凹部４５ａおよび下流側に位置する継手１１の上流側の凹部１１ｂには、ガスケット１９が挿入され、本体部４３と下流側に位置する継手１１との連結部分がシールされている。本体部４３の凹部４５ｂおよび上流側に位置する継手１１の下流側の凹部１１ｂには、ガスケット１９が挿入され、本体部４３と上流側に位置する継手１１との連結部分がシールされている。本体部４３の凹部４５ｄおよび第１マニホールド２７の凹部２７ｃには、ガスケット１９が挿入され、本体部４３と第１マニホールド２７との連結部分がシールされている。本体部４３の凹部４５ｃおよび第２マニホールド３６の凹部３６ｃには、ガスケット１９が挿入され、本体部４３と第２マニホールド３６との連結部分がシールされている。

【0045】

これにより、第１流路４６ａは、下流側に位置する継手１１の流路１１ａに連通し、第２流路４６ｂは、上流側に位置する継手１１の流路１１ａに連通し、第３流路４６ｃは、第２マニホールド３６の第２流出路３６ｂに連通している。また、第１マニホールド２７の第１流出路２７ｂは、第４凹部４５ｄにより閉止され、第１～３流路４６ａ～４６ｃのいずれとも連通していない。すなわち、当該バルブ４０の第３流路４６ｃは、第２パージガスライン３０に接続されているが、第１パージガスライン２０には接続されていない。このように、バルブ４０は、第２パージガスライン３０に接続されているので、バルブ４０を有するガスライン１０には、支燃性ガスが流される。

【0046】

当該バルブ４０を有するガスライン１０では、バルブ４０は閉状態のまま、バルブ１５を開閉することにより、支燃性ガスの供給・遮断が行われる。また、パージガスによりマスフローコントローラ１６等をパージするときは、バルブ２２は開状態であり、バルブ１５を閉じ、バルブ４０を開閉することにより、パージガスの供給・遮断が行なわれる。バルブ４０は、第２パージガスライン３０に接続されているので、第２パージガスライン３０からのパージガスが当該ガスライン１０を流れる。

【0047】

本実施形態のバルブ４０および流体制御装置１では、図４に示した連結状態のバルブ４０を取り外し、取り外したバルブ４０を１８０°回転させ、反転させたバルブ４０を図５に示した連結状態にすることにより、パージガスラインを変更することができる。

【0048】

このように、本実施形態のバルブ４０によれば、ボディ４１の本体部４３の当接面４５に、一直線上に並ぶ第１～第４凹部４５ａ～４５ｃが形成され、第１流路４６ａは、第１凹部４５ａを介して当接面４５に開口し、第２流路４６ｂは、第２凹部４５ｂを介して当接面４５に開口し、第３流路４６ｃは、第３凹部４５ｃを介して当接面４５に開口している。そして、第１凹部４５と第２凹部４５との間に、第３凹部４５と第４凹部４５とが位置するように形成され、第１凹部４５と第２凹部４５との中間位置と、第３凹部４５と第４凹部４５との中間位置とが同一位置となるように構成されている。

【0049】

当該構成によれば、バルブ４０を１８０°回転させることにより、バルブ４０は、第１流路４６ａが、上流側に位置する継手１１の流路１１ａに連通し、第２流路４６ｂが、下流側に位置する継手１１の流路１１ａに連通し、第３流路４６ｃが、第１マニホールド２７の第１流出路２７ｂに連通し、第２マニホールド３６の第２流出路３６ｂが、第４凹部４５ｄにより閉止された状態、または、第１流路４６ａが、下流側に位置する継手１１の流路１１ａに連通し、第２流路４６ｂが、上流側に位置する継手１１の流路１１ａに連通し、第３流路４６ｃが、第２マニホールド３６の第２流出路３６ｂに連通し、第１マニホールド２７の第１流出路２７ｂが、第４凹部４５ｄにより閉止された状態で、一対の継手１１、第１マニホールド２７、第２マニホールド３６に連結することができる。

【0050】

よって、可燃性ガスを流したいガスライン１０のバルブ４０を第１バージガスライン２０に接続し、支燃性ガスを流したいガスライン１０のバルブ４０を第２パージガスライン３０に接続することができる。したがって、パージガスラインの変更を容易にすることができ、複数のガスライン１０を備える流体制御装置１において、可燃性ガスと支燃性ガスとが混合するのを防止することができる。また、複数のパージガスラインを備える流体制御装置１において、パージガスラインの設計を共通化することができる。

【0051】

次に、本発明の第２の実施形態に係るバルブ５０を備える流体制御装置１０１について説明する。

【0052】

図６は、第２の実施形態に係る流体制御装置１０１の平面図である。図７は、バルブ５０の第３流路４６ｃが、第１マニホールド２７の第１流出路２７ｂに接続された状態を示す図であり、図８は、バルブ５０の第３流路４６ｃが、第２マニホールド３６の第２流出路３６ｂに接続された状態を示す図である。なお、第１の実施形態の流体制御装置１と同一の部材について、同一の参照番号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明を行う。

【0053】

本実施形態では、バルブ５０のボディ５１の構成が異なる。ボディ５１は、本体部５３と円筒部５４とを備える。第１の実施形態では、円筒部４４の軸は、同一位置Ａ上に位置していたが、本実施形態では円筒部５４の軸は、同一位置Ａからずれている。すなわち、同一位置Ａは、アクチュエータ４２の中心軸Ｃからずれるように構成されている。

【0054】

かかる構成によれば、バルブ５０を１８０°回転させた場合に、図６－８に示すようにアクチュエータ４２の位置がずれることとなる。これにより、バルブ５０が、第１パージガスライン２０または第２パージガスライン３０のどちらに接続されているかを容易に確認することができ、複数のガスライン１０を備える流体制御装置１０１において、パージガスラインの変更を容易にすることができ、可燃性ガスと支燃性ガスとが混合するのを防止することができる。また、複数のパージガスラインを備える流体制御装置１において、パージガスラインの設計を共通化することができる。

【0055】

また、本実施形態に係るバルブ５０および流体制御装置１０１においても、第１の実施形態のバルブ４０および流体制御装置１と同様の効果を奏する。

【0056】

なお、本発明は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。

【0057】

例えば、上記の実施形態において、第１パージガスライン２０および第２パージガスライン３０は、一つのパージガス供給源からのパージガスを流すように構成していたが、第１パージガスライン２０および第２パージガスライン３０において、異なるパージガス供給源から異なるパージガスを流すように構成してもよい。この場合には、分岐部３４が削除され、第２パージガスライン３０に新たに手動弁を設ける。

【符号の説明】

【0058】

１、１０１：流体制御装置
１０：ガスライン
１１：継手
１１ａ：流路
２０：第１バージガスライン
２７：第１マニホールド
２７ｂ：第１流出路
３０：第２パージガスライン
３６：第２マニホールド
３６ｂ：第２流出路
４０、５０：バルブ
４１、５１：ボディ
４２：アクチュエータ
４３：本体部
４４Ｃ：ダイヤフラム
４５：当接面
４５ａ：第１凹部
４５ｂ：第２凹部
４５ｃ：第３凹部
４５ｄ：第４凹部
４６ａ：第１流路
４６ｂ：第２流路
４６ｃ：第３流路
Ａ：同一位置
Ｃ：中心軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】